KR100819836B1 - 캐리어모듈, 그를 이용한 테스트 핸들러, 및 그를 이용한반도체 소자 제조방법 - Google Patents
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Abstract
Description
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- 반도체 소자가 안착되는 복수개의 수납부를 가지는 본체;상기 본체에 회전가능하게 결합되는 랫치연결부;상기 랫치연결부에 결합되어 상기 수납부의 내측 및 외측 사이에서 이동하고, 상기 수납부 중에서 적어도 두 개의 수납부의 내측으로 이동하여 적어도 두 개의 반도체 소자를 고정하는 랫치부; 및상기 랫치부가 상기 수납부의 내측으로 이동하도록 상기 랫치연결부를 탄성적으로 가압하는 탄성부재를 포함하는 캐리어모듈.
- 제 1 항에 있어서, 상기 랫치부는 그 이동방향에 수직한 방향으로 돌출되게 상기 랫치연결부에 결합되는 것을 특징으로 하는 캐리어모듈.
- 제 2 항에 있어서, 상기 랫치연결부는 상기 수납부의 경계선 상에서 상기 본체에 결합되고,상기 랫치부는 상기 랫치연결부의 양측방향으로 돌출되게 결합되는 것을 특징으로 하는 캐리어모듈.
- 제 2 항에 있어서, 상기 랫치부는 장방형의 봉형태로 형성되는 것을 특징으로 하는 캐리어모듈.
- 제 1 항에 있어서, 상기 본체는상기 수납부 중에서 두 개의 수납부의 경계선 상에 형성되고, 상기 랫치부가 상기 수납부의 내측으로 이동하면 상기 랫치연결부를 지지하는 구획부를 포함하는 것을 특징으로 하는 캐리어모듈.
- 제 1 항에 있어서, 상기 랫치연결부 및 상기 랫치부는 상기 수납부를 기준으로 대향되게 한쌍을 이루며 설치되는 것을 특징으로 하는 캐리어모듈.
- 제 1 항에 있어서, 상기 랫치연결부는 그 회전축으로서 상기 본체에 결합되는 고정구를 포함하고;상기 탄성부재는 상기 고정구에 결합되는 몸체와, 상기 본체에 지지되는 제1지지부와, 상기 랫치연결부를 가압하는 제2지지부를 포함하며;상기 본체는 상기 제1지지부가 삽입되는 지지홈을 포함하는 것을 특징으로 하는 캐리어모듈.
- 제 1 항에 있어서, 상기 본체는 수용홈을 더 포함하고;상기 수용홈은 상기 수납부의 외측으로 이동하는 상기 랫치부를 수용하는 것을 특징으로 하는 캐리어모듈.
- 제 1 항에 있어서, 상기 본체는 테스트트레이에 결합되는 트레이결합부를 더 포함하고;상기 캐리어모듈은 상기 트레이결합부 및 상기 테스트트레이 사이에 개재되는 탄성구를 더 포함하여서, 상기 테스트트레이에 탄성적으로 결합되는 것을 특징으로 하는 캐리어모듈.
- 제 1 항에 있어서, 상기 수납부는 2개의 행 및 4개의 열을 이루며 형성되는 것을 특징으로 하는 캐리어모듈.
- 테스트트레이에 담겨진 반도체 소자를 테스트 온도로 조절하는 제1챔버;테스트 온도로 조절된 반도체 소자를 테스트보드에 접속시키는 테스트챔버; 테스트가 완료된 반도체 소자를 상온으로 복원시키는 제2챔버;테스트트레이를 상기 제1챔버로 공급하고, 상기 제2챔버로부터 테스트트레이를 공급받으며, 테스트할 반도체 소자를 테스트트레이에 장착하는 로딩공정 및 테스트가 완료된 반도체 소자를 분류하는 언로딩공정이 이루어지는 교환부;반도체 소자를 이송하면서 상기 로딩공정 및 상기 언로딩공정을 수행하는 픽커부;상기 테스트트레이에 설치되어 반도체 소자를 수납하는 상기 제 1 항 내지 제 10 항 중 어느 하나의 캐리어모듈; 및상기 캐리어모듈을 개방 또는 폐쇄시키는 개방유닛을 포함하는 테스트 핸들 러.
- 제 11 항에 있어서, 상기 개방유닛은 상기 랫치연결부를 가압하여 상기 랫치부를 상기 수납부의 외측으로 이동시키는 개방핀, 및 상기 개방핀이 상기 랫치연결부를 가압할 수 있도록 안내하는 안내핀을 포함하고;상기 본체는 상기 안내핀이 삽입되는 안내홈을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러.
- 제 12 항에 있어서, 상기 테스트챔버는 반도체 소자를 테스트보드에 접속시키고, 가이드핀을 가지는 콘택유닛을 포함하며;상기 안내홈은 상기 가이드핀이 삽입되는 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러.
- 반도체 소자를 준비하는 단계;테스트트레이에 설치되는 상기 제 1 항 내지 제 10 항 중 어느 하나의 캐리어모듈을 개방시키는 단계;상기 준비된 반도체 소자를 상기 테스트트레이의 개방된 캐리어모듈에 장착하는 단계;테스트트레이에 담겨진 반도체 소자를 테스트 온도로 조절하는 단계;테스트 온도로 조절된 반도체 소자를 테스트보드에 접속시키는 단계;테스트가 완료된 반도체 소자를 상온으로 복원시키는 단계;상온으로 복원된 반도체 소자를 테스트트레이의 개방된 캐리어모듈로부터 분리하여 테스트 결과에 따라 분류하는 단계; 및개방된 캐리어모듈을 폐쇄시키는 단계를 포함하는 반도체 소자 제조방법.
- 제 14 항에 있어서, 상기 캐리어모듈을 개방시키는 단계는 상기 캐리어모듈의 랫치연결부를 가압하여 상기 랫치부를 상기 수납부의 외측으로 이동시키는 단계를 포함하고;상기 개방된 캐리어모듈을 폐쇄시키는 단계는 상기 캐리어모듈의 랫치연결부에 대한 가압력을 소멸시켜 상기 랫치부를 상기 수납부의 내측으로 이동시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 소자 제조방법.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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KR1020070055865A KR100819836B1 (ko) | 2007-06-08 | 2007-06-08 | 캐리어모듈, 그를 이용한 테스트 핸들러, 및 그를 이용한반도체 소자 제조방법 |
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Country Status (1)
Country | Link |
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KR (1) | KR100819836B1 (ko) |
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2007
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