KR200445198Y1 - 테스트핸들러의 테스트트레이용 인서트 - Google Patents

Abstract

본 발명은 테스트핸들러의 테스트트레이용 인서트에 관한 것으로, 본 발명에 따른 인서트는 반도체소자를 적재시키기 위한 적재공간과, 상기 적재공간의 양 측에 각각 위치되는 한 쌍의 장착공간 및 안내홈이 형성된 인서트 본체; 및 상기 인서트 본체에 형성된 상기 한 쌍의 장착공간에 각각 장착되어 상기 적재공간에 적재된 반도체소자의 양 단을 홀딩(holding)시키기 위해 마련되는 한 쌍의 홀딩장치; 를 포함하고, 상기 장착공간과 안내홈은 수직 방향으로 높이를 달리하여 형성되되, 상기 안내홈이 상기 장착공간의 상측에 위치됨으로써 인서트의 크기를 줄일 수 있는 효과가 있다.

테스트핸들러, 테스트트레이, 인서트, 반도체 검사장비

Description

테스트핸들러의 테스트트레이용 인서트{INSERT FOR TEST TRAY OF TEST HANDLER}

본 발명은 반도체소자 검사장비인 테스트핸들러의 테스트트레이용 인서트에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 홀딩장치가 장착되는 장착공간과 푸셔의 정합을 안내하기 위한 안내홈의 배치구조에 관한 것이다.

생산된 반도체소자는 테스터에 의해 테스트된 후 양품과 불량품으로 나뉜 후 양품만이 출하되는데, 테스터에 의한 테스트공정을 지원하기 위해 테스트핸들러라 불리는 자동화 검사장비가 이용되고 있다. 이러한 테스트핸들러에는 테스트핸들러 내부의 일정경로를 순환하는 다수의 테스트트레이가 구비되는데, 테스트트레이는 반도체소자들을 적재한 상태로 일정경로를 순환하면서 일정경로 상의 테스트 지점(테스터의 위치에 대응되는 지점)에서 테스터에 도킹됨으로써 적재한 반도체소자들의 테스트가 이루어질 수 있도록 지원한다.

도1은 종래의 테스트트레이(100)를 도시하고 있다.

도1에서 참조되는 바와 같이, 테스트트레이(100)는 행렬형태로 배열되며 반도체소자가 적재되는 인서트(110)와 인서트(110)들을 지지하기 위한 프레임(120)을 구비한다.

인서트(110)는 인서트 본체(10)와 홀딩장치를 포함하여 구성된다. 여기서 홀딩장치 및 홀딩장치의 개방에 관한 기술은 본 발명의 출원인이 앞서 제시한 대한민국 특허등록 등록번호 제486412호를 통해 자세히 설명되어 있으며, 도1에는 설명의 편의상 홀딩장치에 관한 도시를 생략하였다.

인서트 본체(10)에는, 도1에 도시된 바와 같이, 반도체소자를 적재시키기 위한 적재공간(11)과 적재공간(11)의 양 측에 각각 위치되는 한 쌍의 장착공간(12) 및 안내홈(13)이 형성되어 있다.

한 쌍의 장착공간(12)에는 적재공간(11)에 적재된 반도체소자의 양 단을 홀딩(holding)시키기 위한 홀딩장치가 장착된다.

한 쌍의 안내홈(13)은 각각 한 쌍의 장착공간(12)의 외측에 위치되는데, 이러한 안내홈(13)과 관련된 기술에 대하여 좀 더 자세히 설명한다.

테스트트레이(100)가 테스트위치에 위치되면 푸셔가 행렬형태로 구비된 매치플레이트에 의해 인서트(110)의 적재공간(11)에 적재된 반도체소자를 테스터의 테스트소켓에 교합시키게 된다. 이 때 푸셔가 반도체소자를 적절히 밀어주도록 안내하기 위해서, 도2에 도시된 바와 같이, 푸셔(20)에는 안내핀(21)이 형성되어 있고 인서트 본체(10)에는 안내홈(13)이 형성되어 있는 것이다. 이러한 구조에서 매치플레이트가 테스트트레이(100) 측으로 전진하게 되면, 푸셔(20)의 안내핀(21)이 인서트 본체(10)의 안내홈(13)에 적절히 삽입되어 인서트(10)와 푸셔(20) 간의 정합을 안내함으로써 궁극적으로 푸셔(20)가 반도체소자를 적절히 밀어줄 수 있게 되는 것 이다. 인서트(110)와 푸셔(20) 간의 정합에 관한 기술적 내용은 본 발명의 출원인이 앞서 제안한 대한민국 등록특허 등록번호 제10-0709114호에 비교적 자세히 설명되어 있다.

그런데, 종래에는 안내홈(13)이 장착공간(12)의 외측에 수평방향으로 병렬 형성되어 있었기 때문에 안내홈(13)과 장착공간(12) 간의 거리만큼 인서트의 길이가 더 확보되어야 했다. 인서트의 길이가 더 확보되어야 한다는 점은 한 장의 테스트트레이에 적재될 수 있는 반도체소자의 개수를 줄이는 요소로 작용하였으며, 궁극적으로 1회에 테스트될 수 있는 반도체소자의 개수를 줄이는 결과를 초래하는 원인이 되었다.

본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로, 본 발명의 목적은 장착공간과 안내홈이 수직방향으로 병렬 위치되는 인서트에 관한 기술을 제공하는 것이다.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 테스트핸들러의 테스트트레이용 인서트는, 반도체소자를 적재시키기 위한 적재공간과, 상기 적재공간의 양 측에 각각 위치되는 한 쌍의 장착공간 및 안내홈이 형성된 인서트 본체; 및 상기 인서트 본체에 형성된 상기 한 쌍의 장착공간에 각각 장착되어 상기 적재공간에 적재된 반도체소자의 양 단을 홀딩(holding)시키기 위해 마련되는 한 쌍의 홀딩장치; 를 포함하고, 상기 장착공간과 안내홈은 수직 방향으로 높이를 달리하여 형성되되, 상기 안내홈이 상기 장착공간의 상측에 위치되는 것을 특징으로 한다.

상기 인서트 본체는 상기 적재공간의 양 측으로 상기 적재공간 측으로 돌출된 돌출부위를 가지며, 상기 장착공간은 상기 돌출부위의 하측에 형성된 것을 더 구체적인 특징으로 한다.

상기 홀딩장치는, 일 측이 회전 가능하게 고정되는 래치(latch); 상기 래치의 회전 중심을 제공하며, 상기 래치의 일 측을 회전 가능하게 고정시키는 래치축; 및 상기 래치의 타 측이 상기 적재공간에 적재된 반도체소자의 일단을 홀딩시키는 상태를 유지하도록 탄성력을 가하는 스프링; 을 포함하는 것을 더 구체적인 특징으 로 한다. 여기서 상기 돌출부위는 상기 래치가 상기 스프링에 의해 가해지는 탄성력의 반대방향으로 회전되었을 시에 상기 래치의 타 측보다 상측에 위치되는 것을 또 하나의 특징으로 한다.

또한, 상기 홀딩장치는, 일 측이 회전 가능하게 고정되는 래치(latch); 상기 래치의 회전 중심을 제공하며, 상기 래치의 일 측을 회전 가능하게 고정시키는 래치축; 및 상기 래치의 타 측이 상기 적재공간에 적재된 반도체소자의 일단을 홀딩시키는 상태를 유지하도록 탄성력을 가하는 스프링; 을 포함하며, 상기 안내홈은 상기 래치가 상기 스프링에 의해 가해지는 탄성력의 반대방향으로 회전되었을 시에 상기 래치의 타 측보다 상측에 위치되는 것을 또 다른 특징으로 한다.

위와 같은 본 발명에 따르면, 장착공간의 상방에 안내홈이 형성되어 있기 때문에 장착공간과 안내홈 간의 수평방향으로의 거리를 생략할 수 있으므로 테스트트레이에 구비될 수 있는 인서트의 개수를 늘릴 수 있게 된다. 따라서 한 장의 테스트트레이에 적재될 수 있는 반도체소자의 개수를 늘릴 수 있게 되고, 궁극적으로 1회에 테스트될 수 있는 반도체소자의 개수를 늘려 테스트핸들러의 처리용량을 증대시킬 수 있게 되는 것이다.

이하에서는 상술한 바와 같은 본 발명에 따른 테스트핸들러의 테스트트레이용 인서트(이하 ‘인서트’라 약칭함)에 대한 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 더 상세히 설명한다.

도3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 인서트(300)에 대한 일부 분해 사시도이고, 도4는 도3의 인서트(300)를 I-I선에 절개하여 A방향에서 바라본 결합 단면도이다.

도3 및 도4에서 참조되는 바와 같이, 본 실시예에 따른 인서트(300)는 인서트 본체(30) 및 홀딩장치(40)를 포함하여 구성된다.

인서트 본체(30)에는 반도체소자를 적재시키기 위한 적재공간(31)과, 적재공간(31)의 양 측에 각각 위치되는 한 쌍의 장착공간(32) 및 안내홈(33)이 형성되어 있다.

장착공간(32)과 안내홈(33)은 수직 방향으로 높이를 달리하여 형성되어 있는 데, 보다 구체적으로는 안내홈(33)이 장착공간(32)의 상측에 위치되어 있다.

위와 같은 장착공간(32)과 안내홈(33)의 배치구조를 위해, 본 실시예에 적용된 인서트 본체(30)는 적재공간(31)의 양 측으로 적재공간(31) 측으로 돌출된 돌출부위(E)를 가지며, 장착공간(32)은 돌출부위(E)의 하측에 형성되고 안내홈(33)은 돌출부위(E)에 형성되도록 되어 있다.

홀딩장치(40)는 래치(lacth, 41), 래치축(42), 스프링(43) 등을 포함하여 구성된다.

래치(41)는 래치축(42)을 개제하여 일 측이 회전 가능하게 고정된 상태로 장착공간(32) 상에 설치된다.

래치축(42)은 래치(41)의 회전 중심을 제공하며, 래치(41)의 일 측을 회전 가능하게 고정시키는 역할을 수행한다.

스프링(43)은 래치(41)의 타 측이 적재공간(31)에 적재된 반도체소자의 일단을 홀딩시키는 상태를 유지하도록 래치(41)에 탄성력을 가한다.

한편, 래치(41)는, 도5에서 참조되는 바와 같이, 개방핀(51)이 형성된 개방소자(50)와 인서트(300)가 정합할 시에 개방핀(51)에 의해 스프링(43)으로부터 가해지는 탄성력을 극복하면서 탄성력의 반대방향으로 회전하게 되는데, 이렇게 탄성력의 반대방향으로 래치(41)가 회전할 시에 래치(41)의 타 측이 회전 상승하게 된다. 따라서 상기한 돌출부위(E)는 래치(41)가 탄성력의 반대방향으로 회전하였을 시에도 래치(41)의 타 측보다 상측에 위치되는 것이 바람직하다. 이러한 구조는 돌출부위(E)에 형성된 안내홈(33)도 래치(41)가 탄성력의 반대방향으로 회전하였을 시에 당연히 래치(41)의 타 측보다 상측에 위치시킨다. 그리고 또한 이러한 구조는 안내홈(33)이 홀딩장치(40, 래치, 래치축 및 스프링 포함)의 상측에 위치되는 구조로 바꾸어 설명될 수도 있다.

상술한 실시예에서는 안내홈을 돌출부위에 형성하였다. 하지만, 안내홈은 돌출부위 외에도 인서트 본체의 다른 구성들과 간섭이 일어나지 않는 임의의 위치에 형성될 수 있을 것이다.

위에서 설명한 바와 같이 본 발명에 대한 구체적인 설명은 첨부된 도면을 참조한 실시예에 의해서 이루어졌지만, 상술한 실시예는 본 발명의 바람직한 예를 들어 설명하였을 뿐이기 때문에, 본 발명이 상기의 실시예에만 국한되는 것으로 이해 되어져서는 아니 되며, 본 발명의 권리범위는 후술하는 청구범위 및 그 등가개념으로 이해되어져야 할 것이다.

도1은 종래기술에 따른 테스트트레이에 대한 분해 사시도이다.

도2는 인서트와 푸셔의 정합관계를 설명하기 위한 참조도이다.

도3은 본 발명의 실시예에 따른 인서트에 대한 일부 분해 사시도이다.

도4는 도3의 인서트를 I-I선에서 절개하여 A방향에서 바라본 단면도이다.

도5는 도3의 인서트와 개방소자의 정합관계를 보여주는 참조도이다.

*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명*

300 : 인서트

30 : 인서트 본체

31 : 적재공간 32 : 장착공간

33 : 안착홈

40 : 홀딩장치

41 : 래치 42 : 래치축

43 : 스프링

E : 돌출부위

Claims (5)

1. 반도체소자를 적재시키기 위한 적재공간과, 상기 적재공간의 양 측에 각각 위치되는 한 쌍의 장착공간 및 푸셔의 안내핀이 삽입되기 위한 안내홈이 형성된 인서트 본체; 및

   상기 인서트 본체에 형성된 상기 한 쌍의 장착공간에 각각 장착되어 상기 적재공간에 적재된 반도체소자의 양 단을 홀딩(holding)시키기 위해 마련되는 한 쌍의 홀딩장치; 를 포함하고,

   상기 장착공간과 안내홈은 수직 방향으로 높이를 달리하여 형성되되, 상기 안내홈이 상기 장착공간의 상측에 위치되며,

   상기 홀딩장치는,

   일 측이 회전 가능하게 고정되는 래치(latch);

   상기 래치의 회전 중심을 제공하며, 상기 래치의 일 측을 회전 가능하게 고정시키는 래치축; 및

   상기 래치의 타 측이 상기 적재공간에 적재된 반도체소자의 일단을 홀딩시키는 상태를 유지하도록 탄성력을 가하는 스프링; 을 포함하며,

   상기 안내홈은 상기 래치가 상기 스프링에 의해 가해지는 탄성력의 반대방향으로 회전되었을 시에 상기 래치의 타 측보다 상측에 위치되는 것을 특징으로 하는

   테스트핸들러의 테스트트레이용 인서트.
2. 제1항에 있어서,

   상기 인서트 본체는 상기 적재공간의 양 측으로 상기 적재공간 측으로 돌출된 돌출부위를 가지며,

   상기 장착공간은 상기 돌출부위의 하측에 형성된 것을 특징으로 하는

   테스트핸들러의 테스트트레이용 인서트.
3. 삭제
4. 제2항에 있어서,

   상기 돌출부위는 상기 래치가 상기 스프링에 의해 가해지는 탄성력의 반대방향으로 회전되었을 시에 상기 래치의 타 측보다 상측에 위치되는 것을 특징으로 하는

   테스트핸들러의 테스트트레이용 인서트.
5. 삭제

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