KR100899927B1 - 캐리어모듈 개방장치, 그를 포함하는 테스트 핸들러, 및그를 이용한 반도체 소자 제조방법 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (17)
- 복수개의 캐리어모듈을 가지는 테스트트레이를 홀딩하는 프레임;상기 캐리어모듈을 개방시키는 개방핀을 포함하고, 상하 이동하면서 상기 캐리어모듈을 개방시키기 위한 개방영역을 형성하는 개방유닛;상기 프레임과 결합되는 프레임결합부를 포함하고, 상기 프레임을 이동시키면서 상기 테스트트레이의 캐리어모듈을 상기 개방영역에 순차적으로 위치시키는 이송부; 및상기 이송부가 결합되는 본체를 포함하고,상기 개방유닛은 상기 본체에 승하강 가능하게 결합되는 것을 특징으로 하는 캐리어모듈 개방장치.
- 제 1 항에 있어서, 상기 이송부는 테스트트레이를 상기 본체의 내측 및 외측간에 이동시키면서 개방영역에 순차적으로 위치시키는 것을 특징으로 하는 캐리어모듈 개방장치.
- 제 1 항에 있어서, 상기 이송부는상기 본체의 저면 내측에 결합되는 가이드부; 및상기 가이드부에 이동가능하게 결합되어 상기 가이드부에 의해 이동경로가 안내되는 연결부를 포함하는 것을 특징으로 하는 캐리어모듈 개방장치.
- 제 3 항에 있어서, 상기 이송부는 동력원으로부터 제공되는 동력을 상기 연 결부에 전달하는 동력전달부를 포함하고;상기 동력전달부는 동력원으로부터 동력을 제공받아 회전하는 회전부, 및 상기 회전부의 회전운동을 선형운동으로 전환시켜 상기 연결부를 선형이동시키는 제1전달부를 포함하는 것을 특징으로 하는 캐리어모듈 개방장치.
- 제 4 항에 있어서, 상기 연결부는상기 가이드부에 이동 가능하게 결합되는 연결블록; 및상기 제1전달부에 결합되는 이동블록을 포함하는 것을 특징으로 하는 캐리어모듈 개방장치.
- 제 5 항에 있어서, 상기 프레임은 테스트트레이의 양측을 홀딩할 수 있도록 복수개가 구비되고;상기 연결부, 상기 가이드부, 상기 회전부, 및 상기 제1전달부는 복수개가 구비되는 상기 프레임을 이동시킬 수 있도록 복수개가 구비되는 것을 특징으로 하는 캐리어모듈 개방장치.
- 제 6 항에 있어서, 상기 동력전달부는 하나의 동력원에 의해 복수개가 구비되는 상기 회전부를 동시에 회전시키는 제2전달부를 포함하는 것을 특징으로 하는 캐리어모듈 개방장치.
- 제 3 항에 있어서, 상기 프레임은 상기 본체의 상측에서 테스트트레이를 홀딩할 수 있도록 형성되고, 걸림부를 포함하며;상기 걸림부는 상기 개방유닛에 의해 상기 캐리어모듈이 개방될 시에 상기 본체의 저면에 지지되도록 형성되는 것을 특징으로 하는 캐리어모듈 개방장치.
- 제 1 항에 있어서, 상기 프레임은 테스트트레이에 일측 방향으로 외력이 작용하면 홀딩하고, 테스트트레이에 타측 방향으로 외력이 작용하면 홀딩을 해제하는 홀딩구를 포함하고;상기 캐리어모듈 개방장치는 상기 프레임의 이동시 상기 테스트트레이를 지지하며, 상기 테스트트레이가 해제위치로 이동하면 지지를 해제하는 지지부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 캐리어모듈 개방장치.
- 제 9 항에 있어서, 상기 이송부는 상기 프레임과 결합되어 함께 이동하는 연결부를 포함하고;상기 지지부는 상기 연결부에 회전 가능하게 결합되는 연결축을 포함하며;상기 본체는 상기 해제위치에 형성되어 상기 지지부를 회전시켜 상기 테스트트레이에 대한 지지를 해제시키는 돌출부를 포함하는 것을 특징으로 하는 캐리어모듈 개방장치.
- 제 10 항에 있어서, 상기 지지부는 탄성구를 포함하고;상기 탄성구는 상기 지지부 및 상기 연결부를 탄성적으로 연결하며;상기 지지부는 일단 및 타단에 각각 결합되는 회전체를 포함하는 것을 특징으로 하는 캐리어모듈 개방장치.
- 테스트트레이에 담겨진 반도체 소자들을 테스트 온도로 조절하는 제1챔버;테스트 온도로 조절된 테스트트레이의 반도체 소자들을 테스트장치에 접속시키는 테스트챔버;테스트가 완료된 테스트트레이의 반도체 소자들을 상온으로 복원시키는 제2챔버;테스트트레이에 테스트할 반도체 소자를 장착하여 상기 제1챔버에 공급하고, 상기 제2챔버로부터 테스트트레이를 공급받아 테스트가 완료된 반도체 소자를 테스트트레이로부터 분리하여 테스트 결과에 따라 분류하는 교환부; 및상기 교환부에 설치되는 상기 제 1 항 내지 제 11 항 중 어느 하나의 캐리어모듈 개방장치를 포함하는 테스트 핸들러.
- 제 12 항에 있어서, 상기 교환부는 테스트할 반도체 소자들을 테스트트레이에 장착하는 로딩부, 및 테스트가 완료된 반도체 소자들을 테스트트레이로부터 분리하여 테스트 결과에 따라 분류하는 언로딩부를 포함하고;상기 캐리어모듈 개방장치는 상기 로딩부 및 상기 언로딩부에 각각 설치되는 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러.
- 제 12 항에 있어서, 상기 본체는 핸들러본체에 회전가능하게 결합되고, 핸들러본체에 구비되는 회전축에 결합되는 회전축연결부를 포함하는 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러.
- 제 14 항에 있어서, 상기 제1챔버, 상기 테스트챔버, 및 상기 제2챔버는 상하로 적층 배열되면서 설치되는 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러.
- 반도체 소자를 준비하는 단계;상기 제 1 항 내지 제 11 항 중 어느 하나의 캐리어모듈 개방장치를 이용하여 테스트트레이의 캐리어모듈을 개방시키는 단계;테스트할 반도체 소자들을 테스트트레이의 개방된 캐리어모듈에 장착하는 단계;반도체 소자의 장착이 완료되어 상기 테스트트레이에 담겨진 반도체 소자들을 테스트 온도로 조절하는 단계;테스트 온도로 조절된 반도체 소자들을 테스트장비에 접속시켜 테스트하는 단계;테스트가 완료된 반도체 소자들을 상온으로 복원시키는 단계; 및상온으로 복원된 반도체 소자들을 상기 테스트트레이의 개방된 캐리어모듈로 부터 분리하여 테스트 결과에 따라 분류하는 단계를 포함하는 반도체 소자 제조방법.
- 제 16 항에 있어서, 상기 테스트트레이의 캐리어모듈을 개방시키는 단계는테스트트레이를 이동시켜 일부의 캐리어모듈을 개방영역에 위치시키는 단계;개방유닛이 상승하여 개방영역에 위치한 캐리어모듈을 개방시키는 단계;개방유닛이 하강하여 개방영역에 위치한 캐리어모듈을 폐쇄시키는 단계; 및테스트트레이를 이동시켜 다른 일부의 캐리어모듈을 개방영역에 위치시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 소자 제조방법.
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