KR960039245A

KR960039245A - 반도체 소자검사기의 소자로딩, 언로딩장치

Info

Publication number: KR960039245A
Application number: KR1019950009646A
Authority: KR
Inventors: 김두철
Original assignee: 정문술; 미래산업 주식회사
Priority date: 1995-04-24
Filing date: 1995-04-24
Publication date: 1996-11-21
Also published as: DE19615919A1; KR0146216B1; US5675957A; DE19615919C2; JPH08297153A; JP2774264B2; MY112828A; TW360936B

Abstract

본 발명은 생산완료된 소자를 검사하는 검사기(Handler)에서 플라스틱재의 고객트레이내에 담겨져 있던 소자를 금속재의 테스트트레이에 로딩 및 언로딩하는 장치에 관한 것으로써, 좀더 구체적으로는 TSOP(Thin Small Outline Package)타입의 소자를 테스트트레이의 저면에서 테스트트레이에로딩 및 언로딩하도록 구성하여 테스트시 소자의 리드가 콘택되는 테스트헤드를 테스트부의 하방에 위치시킬 수 있도록 한 것이다.

이를 위해, 본 발명은 고객트레이와 테스트트레이(14)사이에 왕복이동가능하게 설치되어 소자(2)의 픽업수단이 고객트레이에 담겨져 있던 소자를 로딩시킴에 따라 소자의 위치결정하는 소자 위치결정수단과, 상기 소자위치결정수단에 위치결정된 소자의 저면이 하부로 노출되게 안착하도록 저면에 공간부(17)가 형성됨과 동시에 소자가 공간부에서 자유낙하되지 않도록 지지하는 걸림부재(15)가 구비된 복수개의 캐리어 모듈(16)로 구성되는 테스트트레이(14)와, 상기 테이트트레이(14)의 상부에 소자 위치결정수단의 이송방향과 동일한 방향으로 이송가능하게 설치되어 소자 위치결정수단에 위치결정된 소자를 캐리어 모듈의 공간부(17)내에 로딩시키거나, 캐리어 모듈의 공간부(17)에 로딩된 소자(2)를 소자 위치결정수단으로 언로딩시키는 걸림부재 벌림수단과, 상기 걸림부재 벌림수단을 테스트트레이(14)의 캐리어 모듈(16)의 어느 1열과 일치되게 이송시키는 이송수단으로 구성하여서 된 것이다.

Description

반도체 소자검사기의 소자로딩, 언로딩장치

본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

제4도는 본 발명의 일부를 절결하여 나타낸 정면도, 제5도는 제4도의 평면도, 제6도는 제4도의 A-A선 단면도.

Claims

고객트레이와 테스트트레이(14)사이에 왕복이동가능하게 설치되어 소자(2)의 픽업수단이 고객트레이에 담겨져 있던 소자를 로딩시킴에 따라 소자의 위치결정하는 소자 위치결정수단과, 상기 소자위치결정수단에 위치결정된 소자의 저면이 하부로 노출되게 안착되도록 저면에공간부(17)가 형성됨과 동시에 소자가 공간부에서 자유낙하되지 않도록 지지하는 걸림부재(15)가 구비된 복수개의 캐리어 모듈(16)로 구성되는 테스트트레이(14)와, 상기 테스트트레이(14)의 상부에 소자 위치결정수단의 이송방향과 동일한 방향으로 이송가능하게 설치되어 소자 위치결정수단에 위치결정된 소자를 캐리어 모듈의 공간부(17)내에 로딩시키거나, 캐리어 모듈의 공간부(17)에 로딩된 소자(2)를 소자 위치결정수단으로 언로딩시키는 걸림부재 벌림수단과, 상기 걸립부재 벌림수단을 테스트트레이(14)의 캐리어 모듈(16)의 어느 1열과 일치되게 이송시키는 이송수단으로 구성된 반도체 소자검사기의 소자로딩, 언로딩장치.
제1항에 있어서, 소자 위치결정수단이 측판(18)을 따라 수평이동하는 이송편(20)과, 상기 이송편에 설치된 제1, 3실린더(23)(21)의 구동에 따라 승,하강하며, 픽업수단에 의해 이송되어온 소자가 안착되는 복수개의 안착블럭(24)이 고정된 제1승강편(25)과, 상기 제1승강편에 스프링(27)으로 탄력설치되며, 각 안착블럭이 끼워지는 공간부(26a)가 형성된 얼라인블럭(26)으로 구성된 반도체 소자검사기의 소자로딩, 언로딩장치.
제2항에 있어서, 상기 얼라인블럭(26)의 상부에 경사면(26b)을 형성하여 소자(2)가 픽업수단에 의해 이송되어와 안착블럭(24)에 안착될 때 상기 경사면이 소자의 로딩을 안내하도록 된 반도체 소자검사기의 소자로딩, 언로딩장치.
제1항에 있어서, 테스트트레이(14)를 구성하는 캐리어 모듈(16)은 저면에 형성된 공간부의 양측으로 소자의 길이방향폭보다 외측에 위치되도록 통공(29)을 형성하고 상기 통공내에는 걸림편(15a)을 갖는 걸림부재(15)를 고정하여 상기 걸림부재에 외력이 가해지지 않은 상태에서 걸림편이 소자의 길이방향폭보다 내측에 위치되도록 구성됨을 특징으로 하는 반도체 소자검사기의 소자로딩, 언로딩장치.
제4항에 있어서, 캐리어 모듈(16)의 중심부에 공간부(17)내에 로딩된 소자(2)를 취출시키기 위한 취출공(31)을 형성함을 특징으로 하는 반도체 소자검사기의 소자로딩, 언로딩장치.
제1항에 있어서, 걸림부재 벌림수단이 상판(34)에 설치된 제2실린더(36)의 구동에 따라 승, 하강하는 제2승강편(35)과, 상기 제2승강편에 좌, 우로 이동가능하게 결합된 한쌍의 걸림부재 벌림블럭(38)과, 상기 걸림부재 벌림블럭의 사이에 진퇴가능하게 설치되어 상기 걸림부재 벌림블럭을 양측으로 벌려주거나, 오므려주는 슬라이더(41)와, 상기 제2승강편의 일측에 고정되어 슬라이더를 진퇴시키는 구동수단과, 상기 걸림부재 벌림블럭의 하방에 고정되어 걸림부재 벌림블럭이 슬라이더에의해 외측으로 이동됨에 따라 각 캐리어 모듈(16)에 고저된 걸림부재(15)를 외측으로 벌려주는 걸림부재 벌림핀(42)으로 구성된 반도체 소자검사기의 소자로딩, 언로딩장치.
제6항에 있어서, 슬라이더(41)를 진퇴시키는 구동수단으로 제2승강편(35)의 일측에 제4실린더(40)를 고정하여 상기 제4실린더의 로드를 슬라이더(41)의 일측에 고정함을 특징으로 하는 반도체 소자검사기의 소자로딩, 언로딩장치.
제6항에 있어서, 슬라이더(41)의 양단에 돌출부(41a)를 형성하여 상기 돌출부가 걸림부재 벌림블럭(38)에 형성된 요입부(38a)내에 수용되도록 하고 상기 요입부내에는 돌출부일측의 소폭부(41b)가 접속되는 돌출부재(43)를 구비함과 동시에 한쌍의 걸림부재 벌림블럭(38)사이에는 일정간격으로 스프링(44)을 고정함을 특징으로 하는 반도체 소자검사기의 소자로딩, 언로딩장치.
제8항에 있어서, 돌출부(41a)가 접속되는 돌출부재(43)를 베어링으로 함을 특징으로 하는 반도체 소자검사기의 소자로딩, 언로딩장치.
제5항 또는 제6항에 있어서, 제2승강편(35)의 중심에 각 캐리어 모듈(16)의 취출공(31)으로 삽입되는 취출핀(45)을 스프링(46)으로 탄력설치함을 특징으로 하는 반도체 소자검사기의 소자로딩, 언로딩장치.
제10항에 있어서, 제2승강편(35)의 중심에 형성된 취출핀(45)의 양측으로 캐리어 모듈 유동방지핀(47)을 스프링(48)으로 탄력설치하여 상기 제2승강편(35)의 하강시 상기 캐리어 모듈 유동방지핀이 캐리어 모듈(16)의 상면을 눌러 주도록 됨을 특징으로 하는 반도체 소자검사기의 소자로딩, 언로딩장치.
제1항에 있어서, 걸림부재 벌림수단의 이송수단은 측판(18)에 고정된 제1로드레스 실린더(49)와, 상기 제1로드레스 실린더에 하부가 결합되어 제1로드레스 실린더가 구동함에 따라 수평이동하는 이송블럭(50)과, 상기 이송블럭의 상부에 결합됨과 동시에 걸림부재 벌림수단의 상판에 고정되어 걸림부재 벌림수단을 수평이동시키는 제2로드레스 실린더(51)로 구성하여 상기 제1, 2로드레스 실린더가 순차동작함에 따라 걸림부재 벌림수단이 캐리어 모듈(16)중 어느 1열의 캐리어 모듈과 일치하도록 함을 특징으로 하는 반도체 소자검사기의 소자로딩, 언로딩장치.

※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.