KR100884257B1 - 트레이이송장치 - Google Patents

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KR100884257B1
KR100884257B1 KR1020070015104A KR20070015104A KR100884257B1 KR 100884257 B1 KR100884257 B1 KR 100884257B1 KR 1020070015104 A KR1020070015104 A KR 1020070015104A KR 20070015104 A KR20070015104 A KR 20070015104A KR 100884257 B1 KR100884257 B1 KR 100884257B1
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Abstract

본 발명은 트레이이송장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 검사 또는 분류를 위하여 다수개의 반도체디바이스가 적재되어 이송되는 트레이를 이송하는 트레이이송장치에 관한 것이다.
본 발명은 상부에 다수개의 반도체디바이스가 적재되는 트레이가 안착되는 본체부와, 상기 본체부와 수직으로 승하강 가능하도록 상기 본체부의 일단에 설치되어 수직으로 승강되었을 때 상기 트레이의 일단을 지지하는 승강부와, 상기 승강부가 상기 트레이의 일단을 지지할 때 회전에 의하여 상기 트레이의 타단을 상기 승강부 쪽으로 밀어서 상기 트레이를 홀딩하도록 상기 본체부의 타단에 설치되는 회동부, 상기 승강부의 상하이동 및 상기 회동부의 회전운동을 구동하는 구동부를 포함하는 트레이홀딩부와 상기 트레이홀딩부에 트레이가 안착되어 홀딩되었을 때 상기 본체부를 이동시켜 트레이를 이송시키는 이동부를 포함하는 것을 특징으로 트레이이송장치를 개시한다.
Figure R1020070015104
반도체디바이스, 트레이, 이송, 승강

Description

트레이이송장치 {Device for Transfering Tray}
도 1은 본 발명에 따른 트레이이송장치가 설치되는 장치의 일례를 보여주는 평면도이다.
도 2는 본 발명에 따른 트레이이송장치를 보여주는 평면도이다.
도 3은 도 2의 트레이이송장치의 트레이홀딩부를 보여주는 사시도이다.
도 4a는 도 3에 도시된 트레이홀딩부의 승강부를 보여주는 일부사시도이며, 도 4b는 도 3에 도시된 트레이홀딩부의 회동부를 보여주는 일부사시도이다.
도 5a 및 도 5b는 도 3 에 도시된 트레이홀딩부의 승강부의 다른 예를 보여주는 일부사시도 및 절개도이다.
도 6a 및 도 6b는 트레이홀딩부의 작동 일부를 보여주는 작동도이다.
도 7은 본 발명에 따른 트레이이송장치를 보여주는 사시도이다.
도 8a 및 도 8b는 도 7에 도시된 트레이승강부의 훅킹부재를 보여주는 단면도들이다.
도 9a 내지 도 9d는 도 7에 도시된 트레이승강부의 작동을 보여주는 작동도들이다.
***** 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *****
101 : 트레이
200 : 트레이홀딩부
210 : 본체부 220 : 승강부
230 : 회동부
300 : 트레이승강부
310 : 훅킹부 330 : 트레이지지부
340 : 구동부
본 발명은 트레이이송장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 검사 또는 분류를 위한 장치에 설치되어 다수개의 반도체디바이스가 적재되어 이송되는 트레이를 이송하는 트레이이송장치에 관한 것이다.
일반적으로 패키지 공정까지 완료된 반도체디바이스는 외부 열적 요인에 의한 신뢰성 테스트를 하기 위한 번인테스트, 직류(DC) 특성과 같은 전기적 특성에 대한 테스트 등 여러가지 테스트를 수행하여 그 테스트결과에 따라서 양품 및 불량품으로 분류된다.
상기와 같이 반도체디바이스의 검사 및 분류는 반도체디바이스 검사장치 및/또는 반도체디바이스 분류장치에 의하여 수행된다.
그런데 상기와 같은 검사장치 또는 분류장치는 트레이에 다수개의 반도체디바이스들을 적재한 후에 트레이를 순차적으로 이송하면서 검사 및 분류를 수행하게 된다. 이때 검사장치 또는 분류장치에 사용되는 트레이들은 트레이이송장치에 의하여 순차적으로 이동된다.
한편 상기와 같은 반도체디바이스 검사장치 또는 반도체디바이스 분류장치의 성능은 단위 시간당 소팅 개수(UPH: Units Per Hour)로 평가되며, 이러한 UPH는 반도체디바이스 검사장치 또는 반도체디바이스 분류장치의 구성요소에 따라서 결정된다.
또한 반도체디바이스 검사장치 또는 반도체디바이스 분류장치를 구성하는 트레이이송장치 또한 오작동이 있는 경우 그 처리속도를 저하시키는 등 그 처리속도에 많은 영향을 준다.
본 발명의 목적은 상기와 같은 점들을 고려하여 트레이를 보다 안정적으로 홀딩하여 이송할 수 있는 트레이이송장치를 제공하는 데 있다.
본 발명의 다른 목적은 트레이의 이송을 위하여 트레이를 승하강시킬 때 트레이의 양측을 안정적으로 지지할 수 있는 트레이이송장치를 제공하는 데 있다.
본 발명은 상기와 같은 본 발명의 목적을 달성하기 위하여 창출된 것으로서, 본 발명은 상부에 다수개의 반도체디바이스가 적재되는 트레이가 안착되는 본체부와, 상기 본체부와 수직으로 승하강 가능하도록 상기 본체부의 일단에 설치되어 수직으로 승강되었을 때 상기 트레이의 일단을 지지하는 승강부와, 상기 승강부가 상기 트레이의 일단을 지지할 때 회전에 의하여 상기 트레이의 타단을 상기 승강부 쪽으로 밀어서 상기 트레이를 홀딩하도록 상기 본체부의 타단에 설치되는 회동부, 상기 승강부의 상하이동 및 상기 회동부의 회전운동을 구동하는 구동부를 포함하는 트레이홀딩부와 상기 트레이홀딩부에 트레이가 안착되어 홀딩되었을 때 상기 본체부를 이동시켜 트레이를 이송시키는 이동부를 포함하는 것을 특징으로 트레이이송장치를 개시한다.
상기 승강부는 기어부가 형성되며 트레이의 일단을 지지하는 지지면을 가지는 승강부재와, 상기 본체부의 일단에 설치되어 상기 승강부재의 승강을 가이드하는 가이드홈이 형성된 제 1 브라켓과, 상기 기어부와 기어결합되면서 제 1 브라켓에 회전가능하게 설치되며 상기 구동부에 의하여 회전하는 제 1 회전축과 결합되는 회동기어를 포함하여 구성될 수 있으며, 상기 회동부는 상기 본체부의 타단에 설치되는 제 2 브라켓과; 상기 제 2 브라켓에 상기 구동부와 연결되어 회전하는 제 2 회전축과, 상기 제 2 회전축과 결합되어 상기 제 2 회전축의 회전에 의하여 상기 트레이의 타단을 밀어주는 회동부재를 포함하여 구성될 수 있다.
또한 상기 승강부는 트레이의 일단을 지지하는 지지면과 가이드핀을 가지는 승강부재와, 상기 본체부의 일단에 설치되어 상기 승강부재의 승강을 가이드하는 가이드홈이 형성된 제 1 브라켓과, 상기 제 1 브라켓에 회전가능하게 설치되며 상기 구동부에 의하여 회전하는 제 1 회전축과 결합되며 타단에는 상기 승강부재의 상기 가이드핀을 지지하여 승강상기 승강부재를 승강시키는 승강지지부를 가지는 구동암을 포함하여 구성될 수 있다.
상기 트레이홀딩부의 양측에는 상기 트레이의 양단을 지지하여 그 이동을 가 이드하는 한 쌍의 가이드레일를 포함하여 구성될 수 있다.
본 발명은 또한 상부에 다수개의 반도체디바이스가 적재되는 트레이를 홀딩하여 가이드레일을 따라서 트레이를 이송시키는 트레이홀딩부와, 상기 트레이승강부의 양 끝단 중 적어도 하나에 설치되어 상기 트레이를 승하강시키는 트레이승강부를 포함하며, 상기 트레이승강부를 승하강시킬 때 선형이동에 의하여 상기 트레이의 양측을 지지하거나 그 지지를 해제하는 훅킹부재와, 상기 훅킹부재와 결합되어 상기 훅킹부재를 선형구동하기 위한 선형구동부를 포함하는 훅킹부를 포함하여 구성될 수 있다.
상기 선형구동부는 유압 또는 공압에 의하여 구동될 수 있으며, 내부에 실린더공간이 형성되고 상기 훅킹부재의 훅킹부분만이 돌출되도록 상기 훅킹부재의 일부를 감싸는 하우징과, 상기 하우징 내에 형성된 실린더공간에 삽입되고 상기 훅킹부재와 결합되어 공압 또는 유압에 의하여 이동하는 피스톤부재를 포함하여 구성될 수 있다.
상기 하우징은 훅킹부재와 결합된 부분에서 공압 또는 유압이 가해지지 않은 상태에서 상기 훅킹부가 돌출되도록 상기 훅킹부를 가압하는 탄성부재가 추가로 설치될 수 있으며, 상기 탄성부재는 상기 피스톤부재가 설치된 실린더공간과 직선을 이루어 설치될 수 있다.
이하, 본 발명에 따른 트레이이송장치에 관하여 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.
본 발명에 따른 트레이이송장치는 반도체디바이스가 적재되는 트레이(101)를 이송하는 장치로서, 트레이(101)를 이송하기 위한 구성을 구비하는 반도체디바이스 검사장치 또는 분류장치 등에 사용된다.
즉, 본 발명에 따른 트레이이송장치가 사용되는 장치로는 도 1에 도시된 바와 같이, 본체(1)에 설치되어 검사될 반도체디바이스가 로딩되는 로딩부(10)와, 로딩부(10)에 로딩된 트레이(101)에 적재된 반도체디바이스들을 이송툴(미도시)에 의하여 이송하여 검사하는 검사부(20)와, 검사부(20)의 검사결과에 따라서 양품, 불량품 등으로 분류하는 소팅부(30) 등으로 구성될 수 있다.
이때 상기 로딩부(10)는 물론 소팅부(30) 등은 트레이(101)를 이송하는 트레이이송장치가 설치될 수 있으며, 트레이이송장치에 의하여 트레이(101)들이 이송된다.
본 발명에 따른 트레이이송장치는 도 2 및 도 7에 도시된 바와 같이, 본체(1)에 설치되어 트레이(101)가 안착되었을 때 트레이(101)를 홀딩하는 트레이홀딩부(200)와, 트레이홀딩부(200)를 이동시키기 위한 이동부를 포함하여 구성된다.
상기 트레이홀딩부(200)는 본체부(210)와, 본체부(210)의 일단에 설치되는 승강부(220)와, 본체부(210)의 타단에 설치되는 회동부(230)와, 승강부(220) 및 회동부(230)를 구동하기 위한 구동부(240)를 포함하여 구성된다.
상기 트레이홀딩부(200)의 양측에는 트레이(101)의 양측을 지지하여 그 이동을 가이드하는 한 쌍의 가이드레일(110)이 본체(1)에 설치될 수 있다.
상기 본체부(210)는 장치를 구성하는 본체(1) 상에 이동가능하게 설치되어 상부에 다수개의 반도체디바이스가 적재되는 트레이(101)가 안착되며, 바람직하게 는 이동부인 선형구동장치(미도시)에 의하여 선형이동이 가능하도록 설치된다.
상기 트레이홀딩부(200)에 트레이(101)가 안착되어 홀딩되었을 때 본체부(210)를 이동시켜 트레이(101)를 이송시키는 이동시키기 위한 이동부의 구성인 선형구동장치는 벨트 및 풀리 조합, 랙과 피니언 등 다양한 구성이 가능하며, 설명의 편의상 생략한다.
상기 승강부(220)는 도 3 및 도 4a에 도시된 바와 같이, 본체부(210)의 안착면과 수직으로 승하강 가능하도록 본체부(210)의 일단에 설치되어 수직으로 승강되었을 때 트레이(101)의 일단을 지지하도록 구성된다.
상기 승강부(220)는 승강부재(221)가 본체부(210)의 상측으로 승하강되도록 설치되는 바, 승강부재(221)를 승강시키기 위한 구성은 모두 가능하다.
즉, 상기 승강부(220)는 도 4a에 도시된 바와 같이, 승강부재(221)는 기어부(221a)가 형성되며 트레이(101)의 일단을 지지하는 지지면(221b)을 가지는 승강부재(221)와, 본체부(210)의 일단에 설치되어 승강부재(221)의 승강을 가이드하는 가이드홈(222a)이 형성된 제 1 브라켓(222)과, 기어부(221a)와 기어결합되면서 제 1 브라켓(222)에 회전가능하게 설치되며 구동부(240)에 의하여 회전하는 제 1 회전축(224)과 결합되는 회동기어(223)를 포함하여 구성될 수 있다. 그리고 상기 제 1 회전축(224)은 제 1 회동암(225)과 연결되어 제 1 회동암(225)의 회전에 의하여 회전된다.
한편 상기 제 1 회동암(225)의 끝단에는 구동레일(241)에 형성된 가이드홈(241a)에 끼워지는 롤러(226)가 결합된다.
상기 제 1 브라켓(222)은 본체부(210)와 일체로 구성되거나 별도의 부재로 구성될 수 있다.
한편 상기 회동부(230)는 승강부(220)가 트레이(101)의 일단을 지지할 때 회전에 의하여 트레이(101)의 타단을 승강부(220) 쪽으로 밀어서 트레이(101)를 홀딩하도록 본체부(210)의 타단에 설치되며, 회전에 의하여 트레이(101)의 타단을 밀도록 하는 구성이면 어떠한 구성도 가능하며, 도 3 및 도 4b에 도시된 바와 같이, 본체부(210)의 타단에 설치되는 제 2 브라켓(232), 제 2 브라켓(232)에 구동부(240)와 연결되어 회전하는 제 2 회전축(234)과, 제 2 회전축(234)과 결합되어 제 2 회전축(234)의 회전에 의하여 트레이(101)의 타단을 밀어주는 회동부재(231)를 포함하여 구성될 수 있다.
그리고 상기 제 2 회전축(234)은 제 2 회동암(235)과 연결되어 제 2 회동암(235)의 회전에 의하여 회전된다. 상기 제 2 회동암(235)의 끝단에는 구동레일(241)에 형성된 가이드홈(241a)에 끼워지는 롤러(236)가 결합된다.
상기 제 1 브라켓(222)은 본체부(210)와 일체로 구성되거나 별도의 부재로 구성될 수 있다.
상기 구동부(240)는 승강부(220)의 상하이동 및 회동부(230)의 회전운동을 구동하도록 구성되며 다양한 구성이 가능하며, 도 3에 도시된 바와 같이, 본체(1)에 2개 이상의 힌지부재(242)와 연결되며 승강부(210)의 롤러(226) 및 회동부(230)의 롤러(236)이 끼워지는 가이드홈(241a)이 형성된 구동레일(241)과, 구동레일(241)을 힌지부재(242)에 구속되어 회전시키도록 구동레일(241)을 밀고 당기는 선형구동부(243)을 포함하여 구성된다.
한편 상기 구동부(240)는 가이드레일(110)을 따라서 설치되며 하나 또는 복수개로 구성될 수 있으며, 구동부(240)는 승강부(220) 및 회동부(230)와 각각 별도로 결합될 수 있다.
상기 선형구동부(243)는 공압 또는 유압실린더는 물론 선형모터 등 다양한 장치가 사용될 수 있다.
한편 상기 승강부(210)는 트레이(101)의 일단을 지지하는 승강부재(221)를 트레이(101)가 안착된 후에 수직으로 승하강하기 위한 구성이면 어떠한 구성도 가능한 바, 도 4a에 도시된 랙과 피니언 구성이외에도 다양한 구성이 가능하다.
도 5a 및 도 5b는 도 4a에 도시된 승강부의 다른 예를 도시한 것으로, 설명의 편의상 도 4a의 구성과 다른 부분만 설명한다.
즉, 상기 승강부(210)는 승강부재(221)를 상하로 이동시키기 위한 구조로서, 도 5a 및 도 5b에 도시된 바와 같이, 트레이(101)의 일단을 지지하는 지지면(221b)를 가지며 가이드핀(221c)을 가지는 승강부재(221)와, 본체부(210)의 일단에 설치되어 승강부재(221)의 승강을 가이드하는 가이드홈(222a-1)이 형성된 제 1 브라켓(222)과, 제 1 브라켓(222)에 회전가능하게 설치되며 구동부(240)에 의하여 회전하는 제 1 회전축(224)과 결합되며 타단에는 승강부재(221)의 가이드핀(221c)을 지지하여 승강부재(221)를 승강시키는 승강지지부(223a-1)를 가지는 구동암(223-1)을 포함하여 구성될 수 있다. 여기서 승강부(220)에서 도 4a에 도시된 구조와 동일한 구조는 동일한 도면부호를 부여하였으며 설명의 편의상 생략한다.
상기 승강지지부(223a-1)는 승강부재(221)의 가이드핀(221c)를 지지하기 위한 구성으로서, 상측으로만 지지하도록 구성되거나, 구동암(223-1)에 형성된 슬롯으로 구성되거나, 도 5b에 도시된 바와 같이, 일부가 절개된 슬롯으로 구성되는 등 다양한 구성이 가능하다. 이때 가이드핀(221c) 또한 구동암(223-1)의 승강지지부(223a-1)의 지지될 수 있는 구조로서 다양한 구성이 가능함을 물론이다.
상기와 같은 구성을 가지는 승강부(220)는 구동부(240)의 제 1 회동암(225)의 회전에 의하여 제 1 회전축(224)가 회전하게 되면, 제 1 회전축(224)에 결합된 구동암(223-1)이 회전하게 되고, 구동암(223-1)에 의하여 지지되는 승강부재(221)의 가이드핀(221c)이 상측으로 이동되거나, 하강되어 승강부재(221)가 상하로 이동된다.
이하 상기와 같은 구성을 가지는 트레이홀딩부의 작동에 관하여 첨부된 도면을 참조하여 설명한다.
도 6a 및 도 6b는 트레이홀딩부의 작동 일부를 보여주는 작동도이다.
먼저 도 6a에 도시된 바와 같이, 트레이(101)가 본체부(210)에 안착되면 제어부(미도시)는 구동부(240)를 작동하게 된다.
상기 구동부(240)의 작동을 자세히 설명하면, 구동부(240)의 선형구동부(243)은 구동레일(241)을 밀게 된다. 구동레일(241)이 밀리게 되면 힌지축(242)에 구속된 구동레일(241)은 선회하면서 상측으로 이동하게 된다.
이때 상기 구동레일(241)이 상측으로 이동하게 되면, 구동레일(241)의 가이드홈(241a)에 끼워진 롤러(226, 236)들이 상측으로 이동된다.
상기 롤러(226 236)가 상측으로 이동하게 되면 롤러(226, 236)와 결합된 제 1 회동암(225) 및 제 2 회동암(235)들이 각각 회전하여 제 1 회전축(224) 및 제 2 회전축(234)을 회전시키게 된다.
그리고 제 1 회전축(224)가 회전하게 되면, 제 1 회전축(224)에 결합된 회동기어(223)가 회전하게 되고, 회동기어(223)의 회전에 의하여 회동기어(223)와 기어결합된 승강부재(221)는 도 6b에 도시된 바와 같이, 상측으로 이동되어 트레이(101)의 일단을 지지하게 된다. 물론 반대의 과정을 거치게 되면 상기 승강부재(221)는 하측으로 이동하게 된다.
또한 제 2 회전축(234)이 회전하게 되면, 제 2 회전축(234)에 결합된 회동부재(231)도 함께 회전하여 도 6b에 도시된 바와 같이, 트레이(101)의 타단을 밀게 된다. 물론 반대의 과정을 거치게 되면 상기 회동부(230)는 회전에 의하여 트레이(101)가 간섭되지 않은 방향으로 위치된다.
상기와 같이 구동부(240)의 구동에 의하여 트레이홀딩부(200)는 승강부(220) 및 회동부(230)에 의하여 트레이(101)를 홀딩하게 되고, 홀딩상태를 마치게 되면 제어부는 이동부를 구동시켜 가이드레일(110)을 따라서 제어신호에 따라서 소정의 간격 또는 속도를 가지며 이동하게 된다.
한편 종래에는 트레이(101)의 양끝단을 회전에 의하여 홀딩하는 구성을 가짐으로써 트레이(101)가 불안정하게 안착되는 경우 회동부재에 의하여 트레이(101)가 밀려나가 오작동을 일으킬 수 있는 문제점이 있었다.
이에 대하여 본 발명은 상기와 같이 상기 트레이홀딩부(200)를 일단에는 승 하강에 의하여 트레이(101)의 일단을 지지하게 함으로써 트레이(101)가 비록 불안정하게 안착되더라도 오작동 없이 트레이(101)를 홀딩할 수 있게 된다.
한편 본 발명에 따른 트레이이송장치는 가이드레일(110)의 양 끝단 중 적어도 하나에 설치된 다수개의 트레이(101)를 상측에 적재시키거나 상측에 적재된 트레이(101)를 하측으로 하강시켜 가이드레일(110)을 따라서 이동시키도록 트레이승강부(300)를 추가로 구비할 수 있다.
상기 트레이승강부(300)는 도 7에 도시된 바와 같이, 트레이(101)의 상하이동을 가이드하기 위하여 트레이(101)의 형상에 대응되어 설치되는 다수개의 가이드부재(320)들과, 트레이(101)를 상측에 위치될 수 있도록 트레이(101)를 지지하는 훅킹부(310)와, 트레이(101)의 저면을 지지하여 트레이홀딩부(200)에 안착시키거나 트레이홀딩부(200)로부터 상측으로 이동시키는 트레이지지부(330)와, 트레이지지부(330)를 상하로 이동시키기 위한 구동부(340)를 포함하여 구성된다.
상기 트레이지지부(330)는 트레이홀딩부(200)에 방해되지 않으면서 트레이(101)를 지지하여 상하로 이동할 수 있도록 구성되며, 도 7에 도시된 바와 같이, 트레이의 저면을 지지하는 복수개의 지지봉(331)로 구성될 수 있다. 물론 구동부(340)의 위치 등에 따라서 'ㄱ'자 형상 등 다향한 형상으로 구성될 수 있다.
상기 구동부(340)는 트레이지지부(330)를 지지하여 트레이(101)를 상하로 이동될 수 있도록 하는 구성으로서, 선형모터, 공압실린더, 유압실린더 등 다양한 구성이 가능하며 정해진 이동거리를 가지도록 복수개의 장치들로 구성될 수 있다.
상기 가이드부재(320)는 트레이(101)의 꼭지점에 대응되는 위치에 설치되며, 트레이(101)의 이동을 고려하여 가이드레일(110)에 위치된 부분을 일부가 절개되어 형성될 수 있다.
상기 훅킹부(310)는 도 7에 도시된 바와 같이, 트레이(101)를 승하강시킬 때 선형이동에 의하여 트레이(101)의 양측을 지지하거나 그 지지를 해제하는 훅킹부재(311)와, 훅킹부재(311)와 결합되어 훅킹부재(311)를 선형구동하기 위한 선형구동부(340)를 포함하여 구성될 수 있다.
상기 훅킹부재(311)는 트레이(101)의 저면 또는 트레이(101)의 측면에 형성된 지지홈(101a)에 삽입되는 훅킹부분이 형성된다.
상기 선형구동부(340)는 본체(1) 상에 설치되어 훅킹부재(311)를 선형이동시키기 위한 구성으로서, 유압 또는 공압에 의하여 구동되는 장치가 사용되는 등 다양한 구성이 가능하다.
즉, 상기 선형구동부(340)는 도 8a 및 도 8b에 도시된 바와 같이, 내부에 실린더공간(341)이 형성되고 훅킹부재(311) 만이 돌출되도록 훅킹부재(311)의 일부를 감싸는 하우징(342)과, 하우징(342) 내에 형성된 실린더공간(341)에 삽입되고 훅킹부재(311)와 결합되어 공압 또는 유압에 의하여 이동하는 피스톤부재(343)를 포함하여 구성될 수 있다.
상기 하우징(342)은 그 조립이 용이하도록 복수개의 부재(342a, 342b)들의 결합에 의하여 형성되며, 내부에 형성된 실린더공간(341)은 피스톤부재(343)을 밀수 있도록 공기가 유입되는 공기유입공(346)이 일단에 외측으로 관통되어 형성되며, 타단 쪽으로는 피스톤부재(343)가 밀려갈 때 공기가 배출될 수 있도록 공기배 출공(347)이 형성된다.
상기 공기유입공(346)은 제어부의 제어에 의하여 실린더공간(341) 내로 공기를 공급하기 위한 공기공급관(345)이 연결된다.
또한 상기 하우징(342)은 피스톤부재(343)가 외측으로 돌출되면서 실린더공간(341) 내부를 실링하도록 실링부재가 개재된 상태로 덮개부재(349)에 의하여 밀폐된다.
상기 피스톤부재(343)는 실린더공간(341) 내에서 공압에 의하여 이동되도록 구성되며, 실린더공간(341)을 두개의 공간으로 구획하도록 실린더공간(341)의 내주면과 밀착되는 돌출부(343a)가 형성되며 돌출부(343a) 전후에는 두개의 공간이 서로 격리되면서 실린더공간(341)을 따라서 이동이 용이하도록 하는 실링부재가 설치된다.
한편 상기 하우징(342)은 훅킹부재(311)와 결합된 부분에서 공압 또는 유압이 가해지지 않은 상태에서 훅킹부재(311)가 돌출되도록 훅킹부재(311)를 가압하는 탄성부재(348)가 추가로 설치될 수 있다.
상기 탄성부재(348)는 도 8a에 도시된 바와 같이, 피스톤부재(343)가 설치된 실린더공간(341)과 직선을 이루어 설치될 수 있다.
상기와 같은 구성을 가지는 트레이승강부의 작동에 관하여 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.
트레이승강부(300)는 상측에 적재된 트레이(101)를 하측으로 이동시켜 트레이홀딩부(200)로 안착시키거나, 상측으로 이동시켜 상측에 적재시킬 수 있으며 트 레이의 승강과정은 트레이(101)의 하강과정의 반대이므로 이하 설명은 하강과정만 설명한다.
먼저 도 9a에 도시된 바와 같이, 제어부는 구동부(340)를 구동하게 되고, 구동부(340)의 구동에 의하여 트레이지지부(330)가 상측에 적재된 트레이(101)의 저면까지 이동하여 트레이(101)의 저면을 지지하게 된다.
트레이지지부(330)가 트레이(101)의 저면을 지지하게 되면 제어부는 훅킹부(310)의 선형구동부(340)를 구동하여 트레이(101)에 형성된 지지홈(101a)에 삽입된 훅킹부재(311)를 이동시켜 트레이(101)에 대한 훅킹상태를 해제하게 된다.
보다 자세히 설명하면, 상기 선형구동부(340)의 실린더공간(341) 내에는 공기공급관(345)와 연결된 공기유입공(346)를 통하여 공기가 유입된다.
실린더공간(341) 내의 공기유입에 의하여 피스톤부재(343)는 다른 실린더공간(341) 내의 공기가 공기배출공(347)으로 외부로 배출되어 후방으로 밀리게 되고 피스톤부재(343)의 이동에 의하여 피스톤부재(343)와 결합된 훅킹부재(311)를 이동시켜 트레이(101)의 훅킹상태를 해제하게 된다.
트레이(101)의 훅킹상태가 해제되면 구동부(340)는 트레이지지부(330)를 하측으로 이동시키게 된다. 이때 트레이(101)는 도 9b에 도시된 바와 같이, 하나만 하측으로 이동되어야 하므로 트레이(101)의 높이 만큼만 1차이동을 하게 된다.
트레이(101)의 1차이동을 완료하면 제어부는 도 9c에 도시된 바와 같이, 선형구동부(340)를 구동하여 훅킹부재(311)를 상측에 위치하는 트레이(101)의 지지홈(101a)으로 이동하여 상측에 위치하는 트레이(101)를 지지하게 된다.
상측에 위치되는 트레이(101)가 훅킹부재(311)에 의하여 지지가 되면 트레이지지부(330)는 도 9d에 도시된 바와 같이, 다시 하측으로 이동하여 트레이홀딩부(200)로 이동시켜 안착되게 된다.
트레이홀딩부(200)에 트레이(101)가 안착되면 트레이홀딩부(200)는 트레이(101)를 홀딩하여 가이드레일(110)을 따라서 트레이(101)를 이동시키게 된다.
상기와 같이 트레이승강부를 이루는 훅킹부(310)의 훅킹부재(311)를 선형이동하도록 구성함으로써 회전하는 회동부재에 의하여 트레이(101)를 훅킹하는 종래기술에 비하여 보다 안정적으로 트레이(101)를 지지할 수 있게 된다.
본 발명에 따른 트레이이송장치는 트레이를 고정하는 트레이홀딩부를 일단에승하강에 의하여 트레이의 일단을 지지하게 함으로써 트레이가 비록 불안정하게 안착되더라도 오작동 없이 트레이를 안정적으로 홀딩할 수 있게 되어 오작동을 방지할 수 있는 이점이 있다.
또한 본 발명에 따른 트레이 이송장치는 트레이를 승하강시키는 트레이승강부를 구성하는 훅킹부의 훅킹부재를 선형이동하도록 구성함으로써 회전하는 보다 안정적으로 트레이를 지지할 수 있는 이점이 있다.
이상에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 예시적으로 설명하였으나, 본 발명의 범위는 이와 같은 특정 실시예에만 한정되는 것은 아니며, 특허청구범위에 기재된 범주 내에서 적절하게 변경 가능한 것이다.

Claims (11)

  1. 상부에 다수개의 반도체디바이스가 적재되는 트레이가 안착되는 본체부와, 상기 본체부와 수직으로 승하강 가능하도록 상기 본체부의 일단에 설치되어 수직으로 상승되었을 때 상기 트레이의 일단을 지지하는 승강부와, 상기 승강부가 상기 트레이의 일단을 지지할 때 회전에 의하여 상기 트레이의 타단을 상기 승강부 쪽으로 밀어서 상기 트레이를 홀딩하도록 상기 본체부의 타단에 설치되는 회동부, 상기 승강부의 상하이동 및 상기 회동부의 회전운동을 구동하는 구동부를 포함하는 트레이홀딩부와
    상기 트레이홀딩부에 트레이가 안착되어 홀딩되었을 때 상기 본체부를 이동시켜 트레이를 이송시키는 이동부를 포함하는 것을 특징으로 트레이이송장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 승강부는
    기어부가 형성되며 트레이의 일단을 지지하는 지지면을 가지는 승강부재와,
    상기 본체부의 일단에 설치되어 상기 승강부재의 승강을 가이드하는 가이드홈이 형성된 제 1 브라켓과,
    상기 기어부와 기어결합되면서 제 1 브라켓에 회전가능하게 설치되며 상기 구동부에 의하여 회전하는 제 1 회전축과 결합되는 회동기어를 포함하는 것을 특징으로 하는 트레이이송장치.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 승강부는
    트레이의 일단을 지지하는 지지면과 가이드핀을 가지는 승강부재와,
    상기 본체부의 일단에 설치되어 상기 승강부재의 승강을 가이드하는 가이드홈이 형성된 제 1 브라켓과,
    상기 제 1 브라켓에 회전가능하게 설치되며 상기 구동부에 의하여 회전하는 제 1 회전축과 결합되며 타단에는 상기 승강부재의 상기 가이드핀을 지지하여 승강상기 승강부재를 승강시키는 승강지지부를 가지는 구동암을 포함하는 것을 특징으로 하는 트레이이송장치.
  4. 제 2항 또는 제 3항에 있어서,
    상기 회동부는
    상기 본체부의 타단에 설치되는 제 2 브라켓과;
    상기 제 2 브라켓에 상기 구동부와 연결되어 회전하는 제 2 회전축과,
    상기 제 2 회전축과 결합되어 상기 제 2 회전축의 회전에 의하여 상기 트레이의 타단을 밀어주는 회동부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 트레이이송장치.
  5. 제 2항 또는 제 3항에 있어서,
    상기 트레이홀딩부의 양측에는 상기 트레이의 양단을 지지하여 그 이동을 가 이드하는 한 쌍의 가이드레일를 포함하는 것을 특징으로 하는 트레이이송장치.
  6. 제 1항에 있어서,
    상기 트레이의 이동을 가이드하는 가이드레일의 양 끝단 중 적어도 하나에 설치되어 상기 트레이를 승하강시키는 트레이승강부를 추가로 포함하며,
    상기 트레이승강부를 승하강시킬 때 선형이동에 의하여 상기 트레이의 양측을 지지하거나 그 지지를 해제하는 훅킹부재와, 상기 훅킹부재와 결합되어 상기 훅킹부재를 선형구동하기 위한 선형구동부를 포함하는 훅킹부를 포함하는 것을 특징으로 하는 트레이 이송장치.
  7. 상부에 다수개의 반도체디바이스가 적재되는 트레이를 홀딩하여 가이드레일을 따라서 트레이를 이송시키는 트레이홀딩부와, 상기 가이드레일의 양 끝단 중 적어도 하나에 설치되어 상기 트레이를 승하강시키는 트레이승강부를 포함하며,
    상기 트레이승강부를 승하강시킬 때 선형이동에 의하여 상기 트레이의 양측을 지지하거나 그 지지를 해제하는 훅킹부재와, 상기 훅킹부재와 결합되어 상기 훅킹부재를 선형구동하기 위한 선형구동부를 포함하는 훅킹부를 포함하는 것을 특징으로 하는 트레이 이송장치.
  8. 제 6항 또는 제 7항에 있어서,
    상기 선형구동부는 유압 또는 공압에 의하여 구동하는 것을 특징으로 하는 트레이이송장치.
  9. 제 6항 또는 제 7항에 있어서,
    상기 선형구동부는
    내부에 실린더공간이 형성되고 상기 훅킹부재의 훅킹부분만이 돌출되도록 상기 훅킹부재의 일부를 감싸는 하우징과,
    상기 하우징 내에 형성된 실린더공간에 삽입되고 상기 훅킹부재와 결합되어 공압 또는 유압에 의하여 이동하는 피스톤부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 트레이이송장치.
  10. 제 9항에 있어서,
    상기 하우징은 훅킹부재와 결합된 부분에서 공압 또는 유압이 가해지지 않은 상태에서 상기 훅킹부가 돌출되도록 상기 훅킹부를 가압하는 탄성부재가 추가로 설치된 것을 특징으로 하는 트레이이송장치.
  11. 제 10항에 있어서,
    상기 탄성부재는 상기 피스톤부재가 설치된 실린더공간과 직선을 이루어 설치되는 것을 특징으로 하는 트레이이송장치.
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