KR20080075755A - 트레이이송장치 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (11)
- 상부에 다수개의 반도체디바이스가 적재되는 트레이가 안착되는 본체부와, 상기 본체부와 수직으로 승하강 가능하도록 상기 본체부의 일단에 설치되어 수직으로 승강되었을 때 상기 트레이의 일단을 지지하는 승강부와, 상기 승강부가 상기 트레이의 일단을 지지할 때 회전에 의하여 상기 트레이의 타단을 상기 승강부 쪽으로 밀어서 상기 트레이를 홀딩하도록 상기 본체부의 타단에 설치되는 회동부, 상기 승강부의 상하이동 및 상기 회동부의 회전운동을 구동하는 구동부를 포함하는 트레이홀딩부와상기 트레이홀딩부에 트레이가 안착되어 홀딩되었을 때 상기 본체부를 이동시켜 트레이를 이송시키는 이동부를 포함하는 것을 특징으로 트레이이송장치.
- 제 1항에 있어서,상기 승강부는기어부가 형성되며 트레이의 일단을 지지하는 지지면을 가지는 승강부재와,상기 본체부의 일단에 설치되어 상기 승강부재의 승강을 가이드하는 가이드홈이 형성된 제 1 브라켓과,상기 기어부와 기어결합되면서 제 1 브라켓에 회전가능하게 설치되며 상기 구동부에 의하여 회전하는 제 1 회전축과 결합되는 회동기어를 포함하는 것을 특징으로 하는 트레이이송장치.
- 제 1항에 있어서,상기 승강부는트레이의 일단을 지지하는 지지면과 가이드핀을 가지는 승강부재와,상기 본체부의 일단에 설치되어 상기 승강부재의 승강을 가이드하는 가이드홈이 형성된 제 1 브라켓과,상기 제 1 브라켓에 회전가능하게 설치되며 상기 구동부에 의하여 회전하는 제 1 회전축과 결합되며 타단에는 상기 승강부재의 상기 가이드핀을 지지하여 승강상기 승강부재를 승강시키는 승강지지부를 가지는 구동암을 포함하는 것을 특징으로 하는 트레이이송장치.
- 제 2항 또는 제 3항에 있어서,상기 회동부는상기 본체부의 타단에 설치되는 제 2 브라켓과;상기 제 2 브라켓에 상기 구동부와 연결되어 회전하는 제 2 회전축과,상기 제 2 회전축과 결합되어 상기 제 2 회전축의 회전에 의하여 상기 트레이의 타단을 밀어주는 회동부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 트레이이송장치.
- 제 2항 또는 제 3항에 있어서,상기 트레이홀딩부의 양측에는 상기 트레이의 양단을 지지하여 그 이동을 가 이드하는 한 쌍의 가이드레일를 포함하는 것을 특징으로 하는 트레이이송장치.
- 제 1항에 있어서,상기 트레이승강부를 승하강시킬 때 선형이동에 의하여 상기 트레이의 양측을 지지하거나 그 지지를 해제하는 훅킹부재와, 상기 훅킹부재와 결합되어 상기 훅킹부재를 선형구동하기 위한 선형구동부를 포함하는 훅킹부를 포함하는 것을 특징으로 하는 트레이 이송방치.
- 상부에 다수개의 반도체디바이스가 적재되는 트레이를 홀딩하여 가이드레일을 따라서 트레이를 이송시키는 트레이홀딩부와, 상기 트레이승강부의 양 끝단 중 적어도 하나에 설치되어 상기 트레이를 승하강시키는 트레이승강부를 포함하며,상기 트레이승강부를 승하강시킬 때 선형이동에 의하여 상기 트레이의 양측을 지지하거나 그 지지를 해제하는 훅킹부재와, 상기 훅킹부재와 결합되어 상기 훅킹부재를 선형구동하기 위한 선형구동부를 포함하는 훅킹부를 포함하는 것을 특징으로 하는 트레이 이송방치.
- 제 6항 또는 제 7항에 있어서,상기 선형구동부는 유압 또는 공압에 의하여 구동하는 것을 특징으로 하는 트레이이송장치.
- 제 6항 또는 제 7항에 있어서,상기 선형구동부는내부에 실린더공간이 형성되고 상기 훅킹부재의 훅킹부분만이 돌출되도록 상기 훅킹부재의 일부를 감싸는 하우징과,상기 하우징 내에 형성된 실린더공간에 삽입되고 상기 훅킹부재와 결합되어 공압 또는 유압에 의하여 이동하는 피스톤부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 트레이이송장치.
- 제 9항에 있어서,상기 하우징은 훅킹부재와 결합된 부분에서 공압 또는 유압이 가해지지 않은 상태에서 상기 훅킹부가 돌출되도록 상기 훅킹부를 가압하는 탄성부재가 추가로 설치된 것을 특징으로 하는 트레이이송장치.
- 제 10항에 있어서,상기 탄성부재는 상기 피스톤부재가 설치된 실린더공간과 직선을 이루어 설치되는 것을 특징으로 하는 트레이이송장치.
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