CN101622702B

CN101622702B - 托盘传输装置

Info

Publication number: CN101622702B
Application number: CN2008800045715A
Authority: CN
Inventors: 柳弘俊; 张元鎭
Original assignee: JT Corp
Current assignee: JT Corp
Priority date: 2007-02-13
Filing date: 2008-02-13
Publication date: 2012-10-10
Anticipated expiration: 2028-02-13
Also published as: KR100884257B1; KR20080075755A; WO2008100081A1; CN101622702A; TW200836285A; TWI423372B

Abstract

本发明公开了一种能够传输上面具有多个用于测试或分拣工序的半导体装置的托盘的托盘传输装置。该托盘传输装置包括托盘传输装置，其包括：托盘把持单元，包括：用于安放托盘的本体单元，该托盘上面装载有多个半导体装置；提升单元，安装在该本体单元一端，以在与该本体单元垂直的方向垂直移动，用于在被垂直提升时支撑该托盘一端；旋转单元，安装在该本体单元另一端，用于当该托盘的一端被该提升单元支撑时通过旋转而将该托盘的另一端推向该提升单元，从而把持该托盘；以及用于驱动该提升单元上下移动并驱动该旋转单元旋转的驱动单元；和通过传输该本体单元传输安放于该托盘把持单元的托盘的传输单元。

Description

托盘传输装置

技术领域

本发明涉及一种托盘传输装置，尤其涉及安装于测试器或者分拣器上、用于传输上面装载了多个半导体装置的托盘的托盘传输装置。

背景技术

在制造半导体的过程中，经过了封装处理的半导体装置需要经过各种测试，如电气特性测试，例如用于测试抗外部加热的可靠性的直流特性和老化测试。根据测试结果，半导体装置被分拣为好的或者坏的。

通过半导体装置测试器和/或半导体装置分拣器对半导体装置测试和分拣。

半导体装置测试器或半导体装置分拣器通过将多个半导体装置载入各自的托盘并顺序传输各自的托盘来实现它的功能。这里，通过托盘传输装置顺序传输这些托盘。

半导体装置测试器或半导体装置分拣器的性能根据UPH(每小时产量)，即每小时分拣的半导体装置的数量来确定。UPH根据半导体装置测试器或半导体装置分拣器的每个元件来确定。

当半导体装置测试器或半导体装置分拣器的托盘传输装置被误操作，测试或分拣过程的运行速度可能会减小。

发明内容

[技术问题]

因此，本发明的一个目的是提供一种能够通过稳定地把持托盘来传输托盘的托盘传输装置。

本发明的另一目的是提供一种当通过垂直移动传输托盘时，能够稳定地支撑托盘侧面的托盘传输装置。

[技术方案]

为了达到这些目的，提供了一种托盘传输装置，包括：托盘把持单元，包括：用于安放托盘的本体单元，该托盘上面装载有多个半导体装置；提升单元，安装在该本体单元一端，以在垂直于该本体单元的方向垂直移动，用于在被垂直提升时支撑该托盘一端；旋转单元，安装在该本体单元另一端，用于当该托盘的一端被该提升单元支撑时通过旋转而将该托盘的另一端推向该提升单元，从而把持该托盘；以及驱动单元，用于驱动该提升单元上下移动并驱动该旋转单元旋转，和通过传输该本体单元传输安放于该托盘把持单元的托盘的传输单元。

该提升单元可以包括具有齿轮部分和用于支撑托盘一端的支撑表面的提升部件；安装于该本体单元一端的第一支架，该第一支架具有用于引导该提升部件的垂直运动的导向槽；以及与该齿轮部分连接、可旋转地安装于该第一支架，且与由该驱动单元旋转的第一旋转轴连接的转动齿轮。

该旋转单元可以包括安装于该本体单元另一端的第二支架；安装于该第二支架、且由该驱动单元旋转的第二旋转轴；以及与该第二旋转轴连接，用于当该第二旋转轴转动时推动该托盘的另一端的旋转部件。

该托盘把持单元可以包括用于支撑该托盘的两端并在该托盘的侧面引导该托盘运动的一对导轨。

依据本发明的托盘传输装置可以包括托盘把持单元，用于支撑上面装载有多个半导体装置的托盘，并沿着导轨传输该托盘；托盘提升单元，安装于该导轨的一端或两端，用于上下移动该托盘；以及挂钩单元，包括用于支撑该托盘侧面或者当该托盘垂直移动时通过线性移动解除该托盘的被支撑状态的挂钩部件，和与该挂钩部件连接，用于线性驱动该挂钩部件的线性驱动单元。

该线性驱动单元可以通过液压或气压运行，且可以包括其中具有汽缸空间，且覆盖该挂钩部件的一部分以使该挂钩部件可以伸出的外壳，以及插入该外壳内部的该汽缸空间中、与该挂钩部件连接，且通过液压或气压移动的活塞部件。

该外壳还可以安装有用于对该挂钩单元的连接部分向该挂钩部件加压，以使该挂钩部件可以在没有液压或气压时伸出的弹性部件，且该弹性部件可以被安装为与安装该活塞部件的汽缸空间呈线性。

[有益效果]

依据本发明的托盘传输装置具有一个优点：由于该托盘把持单元被配置为当其一端被上下移动时支撑托盘的一端，即使该托盘没有稳固地安放于该托盘把持单元，该托盘把持单元也可以没有误操作地稳定地把持该托盘。

依据本发明的该托盘传输装置还具有一个优点：由于用于上下移动托盘的托盘支撑单元的挂钩单元中的挂钩部件被配置为线性移动，从而相比传统的旋转部件而言更稳定地支撑该托盘。

附图说明

图1是示出了安装依据本发明的托盘传输装置的设备的一个实施例的平面图；

图2是依据本发明的托盘传输装置的平面图；

图3是图2的托盘传输装置的托盘支撑单元的透视图；

图4是图3的托盘把持单元的提升单元的部分透视图；且图5是图3的托盘把持单元的旋转单元的部分透视图；

图6和7是示出了图3的托盘把持单元的提升单元的另一实施例的部分切取透视图；

图8和9是托盘把持单元的运行视图；

图10是依据本发明的托盘传输装置的透视图；

图11和12和示出了图10的托盘提升单元的挂钩单元的剖面图；以及

图13至16是图10的托盘提升单元的运行视图。

具体实施方式

下面将参考附图更详细地解释依据本发明的托盘传输装置。

依据本发明的托盘传输装置用于传输上面装载了多个半导体装置的托盘101，且应用于具有用于传输托盘101的构造的半导体装置测试器或半导体装置分类器。

如图1所示，依据本发明的具有该托盘传输装置的设备包括：装载单元10，安装于用于装载要测试的半导体装置的本体1；检查单元20，用于通过传输工具(未示出)传输装载于用装载单元10装载的托盘101上的半导体装置来检查该半导体装置；以及分拣单元30，用于依据该检查单元20的测试结果将半导体装置分拣为好或者坏。

装载单元10、分拣单元30等可以装备有用于传输托盘101的托盘传输装置。

如图2和7所示，依据本发明的托盘传输装置包括安装于该本体1，且把持于其安放的托盘101的托盘把持单元200；以及用于传输该托盘把持单元200的传输单元。

该托盘把持单元200包括本体单元210，安装于该本体单元210一端的提升单元220，安装于该本体单元210另一端的旋转单元230，以及用于驱动该提升单元220和该旋转单元230的驱动单元240。

该托盘支撑单元200可以包括一对用于支撑该托盘101两端，且在其侧面引导托盘101运动的导轨110。

该本体单元210可移动地安装于形成该设备的本体1上，且上面装载有半导体装置的托盘101安放在本体单元210之上。优选地，安装该本体单元210以使它通过作为传输单元的线性驱动单元(未示出)被线性移动。

用于传输托盘把持单元200，以通过移动本体单元210传输安放于托盘把持单元200的托盘101的该线性驱动单元可以具有各种结构，例如皮带和皮带轮、齿条和齿轮的组合。为了方便，省略了具体的解释。

如图3和4A所示，提升单元220被安装于本体单元210的一端，以使它在垂直于该本体单元的方向上被垂直移动，用于当被垂直提升时支撑托盘101的一端。

安装该提升单元220以使得提升部件221可以在本体单元210的上侧被垂直移动。因此，可以实现垂直移动提升部件221的任意结构。

如图4A所示，提升单元220可以包括具有齿轮部分221a和用于支撑托盘101一端的支撑表面221b的提升部件221；安装于本体单元210一端的第一支架222，该第一支架222具有用于引导提升部件221的垂直运动的导向槽222a；以及与齿轮部分221a连接、可旋转地安装于第一支架222，且与由驱动单元240旋转的第一旋转轴224连接的转动齿轮223。第一旋转轴224连接于第一旋转臂225，且随着第一旋转臂225的旋转而转动。

插入形成于驱动轨241的导向槽241a的滚轴226与第一旋转臂225的一端连接。

第一支架222可以与本体单元210一体形成，或者可以与本体单元210分别形成。

该旋转单元230安装于本体单元210的另一端，从而将托盘101的另一端推向提升单元220，并当提升单元220支撑托盘101的一端时通过旋转把持托盘101。旋转单元230可以具有任意结构，只要它可以通过旋转推动托盘101的另一端。如图3和5所示，旋转单元可以包括安装于本体单元210另一端的第二支架232；安装于第二支架232，由驱动单元240旋转的第二旋转轴234；以及与该第二旋转轴234连接，用于当第二旋转轴234转动时推动101托盘的另一端的旋转部件231。

第二旋转轴234连接于第二旋转臂235，且随着第二旋转臂235的旋转而转动。插入形成于驱动轨241中的导向槽241a的滚轴236与第二旋转臂235的一端连接。

驱动单元240被配置以垂直移动提升单元220并转动旋转单元230，且可以具有各种结构。如图3所示，驱动单元240包括通过一个或更多个铰合部件连接于本体1的驱动轨241，该驱动轨241具有用于插入提升单元210的滚轴226和旋转单元230的滚轴236的导向槽241a；以及用于拉动和推动该驱动轨241，以使得驱动轨241可以被限制于铰合部件242，从而能够旋转的线性驱动单元243。

驱动单元240沿着导轨110安装，且数量上可以被配置为一个或多个。驱动单元240可以分别连接于提升单元220和旋转单元230。

可以使用气动或液压缸、线性电动机等作为线性驱动单元243。

提升单元210可以具有垂直移动用于支撑被安放的托盘101的一端的提升部件221的任意结构。提升单元210可以具有包括如图4所示的齿轮和齿条的各种结构。

图6和7是示出了图4的提升单元的另一实施例的部分切取透视图。以下，将参考图6和7解释提升单元与图4的区别。

提升单元210具有垂直移动提升部件221的结构。如图6和7所示，提升单元210可以包括具有用于支撑托盘101一端的支撑表面221b以及定位销221c的提升部件221；安装于本体单元210一端的第一支架222，第一支架222具有用于引导提升部件221的垂直运动的导向槽222a-1；以及可旋转地安装于第一支架222，与由驱动单元240转动的第一旋转轴224连接的驱动臂223-1，该驱动臂223-1具有用于通过支撑位于其另一端的提升部件221的定位销221c来上下移动提升部件221的上下运动支撑单元223a-1。对提升单元220中与图4中具有相同结构的元件赋予相同的附图标记，其解释被省略了。

用于支撑提升部件221的定位销221c的上下运动支撑单元223a-1可以被配置为仅仅向上支撑定位销221c，可以被配置为形成于驱动臂223-1的狭缝，或者可以被配置为如图7所示的部分切取的狭缝。这里，定位销221c也可以具有被驱动臂223-1的上下运动支撑单元223a-1支撑的各种结构。

一旦第一旋转轴224随着驱动单元240的第一旋转臂225的旋转而转动，连接于第一旋转轴224的驱动臂223-1就转动。此外，由驱动臂223-1支撑的提升部件221的定位销221c向上移动或者向下移动，从而垂直移动提升部件221。

以下将参考附图更详细地解释托盘把持单元的操作。

图8和9是托盘支把持元的运行视图。

如图8所示，一旦托盘101被安放于本体单元210，控制器(未示出)就运行驱动单元240。

更具体地，当驱动单元240的线性驱动单元243推动驱动轨241时，限制于铰轴242的驱动轨241在轨道运动中向上移动。

这里，当驱动轨241向上移动时，插入驱动轨241的导向槽241a的滚轴226和236向上移动。

一旦滚轴226和236向上移动，与滚轴226和236连接的第一和第二旋转臂225和235各自转动，从而使得第一和第二旋转轴224和234转动。

当第一旋转轴224转动时，连接于第一旋转轴224的转动齿轮223转动。结果，如图9所示，齿轮连接于转动齿轮223的提升部件221向上移动，从而支撑托盘101的一端。这里，当第二旋转轴234以相反的过程转动，提升部件221向下移动。

当第二旋转轴234转动时，连接于第二旋转轴234的旋转部件231一起转动，从而推动如图9所示的托盘101的另一端。这里，当第二旋转轴234以相反的过程转动时，旋转单元230转动，从而被放置于与托盘101不相冲突的方向。

通过驱动单元240，托盘把持单元200通过提升单元220和旋转单元230把持托盘101。当托盘101被托盘把持单元220完全把持时，控制器驱动传输单元，以使托盘把持单元220可以根据控制信号以某一间隔或速度沿着导轨110移动。

在常规技术中，托盘101的两端由一对旋转部件把持。因此，当托盘101没有被稳定地安放时，托盘101可能会通过旋转部件由此偏离，且误操作可能会发生。

然而，在本发明中，托盘把持单元200被配置以通过被上下移动来支撑托盘101的一端。因此，即使托盘101没有被稳定安放，托盘把持单元200也能够没有误操作地把持托盘101.

依据本发明的托盘传输装置还可以包括安装于导轨110两端中的至少一端的托盘提升单元300，用于装载或放下装载的托盘101，以沿着导轨110移动托盘101。

如图10所示，托盘提升单元300包括对应于托盘101的形状安装的，用于引导托盘101的垂直运动的多个导向部件320；至少一个用于支撑托盘101，以将托盘101放置于导轨110上的挂钩单元310，用于支撑托盘101的下表面从而将托盘101安放于托盘把持单元200，或者用于从托盘把持单元200向上移动托盘101的托盘支撑单元330；以及用于上下移动托盘支撑单元330的驱动单元340。

托盘支撑单元330被配置为在不干涉托盘把持单元200的情况下随着支撑托盘101而上下移动。如图10所示，托盘支撑单元330可以被实施为用于支撑托盘下表面的多个支撑杆。根据线性驱动单元340等的位置可以将托盘支撑单元330实现为具有各种形状，例如“L”形。

线性驱动单元340被配置以通过支撑该托盘支撑单元330而上下移动托盘101，且可以实现为线性电动机、气压缸、液压缸等。线性驱动单元340可以由分别具有预设移动距离的多个装置组成。

导向部件320可以被安装在与托盘101的顶部相应的位置，且考虑到托盘101的运动，可以在与导轨110相应的部分被切断。

如图10所示，挂钩单元310可以包括用于支撑托盘101侧面或者通过在上下移动托盘101时被线性移动来解除该托盘的被支撑状态的挂钩部件311；以及与挂钩部件311连接，用于线性移动该挂钩部件311的线性驱动单元340。

挂钩部件311装备有插入形成于托盘101的下表面或侧表面的支撑槽101a的挂钩部分。

线性驱动单元340被安装于本体1上，且被配置以线性移动挂钩部件311。可以将线性驱动单元340实现为通过液压或气压运转的各种装置。

如图11和12所示，线性驱动单元340可以包括其中具有汽缸空间341且覆盖挂钩部件311的一部分的外壳342，以使得挂钩部件311可以伸出；以及插入外壳342的汽缸空间341、与挂钩部件311连接，且通过气压或液压移动的活塞部件343。

为了装配方便，将外壳342做成多个部件342a和342b。用于引入空气以推动活塞部件343的进气口346从外部贯穿地形成于位于外壳342内部的汽缸空间341的一端。此外，用于当活塞部件343被推动时排气的出气口347形成于汽缸空间341的另一端。

用于在控制器的控制下将空气供给到汽缸空间341中的供气管345与进气口346连接。

在用于密封汽缸空间341内部的密封件被置于其间，且活塞部件343向外伸出的状态下，外壳342被覆盖部件349覆盖。

活塞部件343被配置以通过气压沿着汽缸空间341移动，且装备有用于将汽缸空间341分成两个空间的伸出部分343a。至少一个用于将该两个空间彼此分隔，并沿着汽缸空间341移动活塞343的密封件被安装于伸出部分343a。

外壳342还可以装备有用于对挂钩部件311与其连接的部分加压，从而使挂钩部件在没有气压或液压的情况下伸出的弹性部件348。

如图11所示，可以安装弹性部件348以使其与安装活塞部件343的汽缸空间341呈直线。

将参考附图更详细地解释托盘提升单元的操作。

托盘提升单元300向下移动装载于托盘把持单元200上面的托盘101，从而将它安放于托盘把持单元200，或者从托盘把持单元200向上移动托盘101。向上移动托盘101的过程与向下移动托盘101的过程相反。以下将解释向下移动托盘101的过程。

如图13所示，通过控制器操作线性驱动单元340。然后托盘支撑单元330借由导轨110移动到被装载的托盘101的下表面，从而支撑托盘101的下表面。

一旦托盘支撑单元330支撑住托盘101的下表面，该控制器就运行挂钩单元310的线性驱动单元340。然后，该控制器移动插入托盘101的支撑槽101a的挂钩部件311，从而解除托盘101的被钩住状态。

更具体地，通过与供气管345连接的进气口346将空气引入线性驱动单元340的汽缸空间341。

当将空气引入汽缸空间341的一侧时，通过出气口347将位于汽缸空间341的另一侧的空气排出。因此，活塞部件343向后移动，且移动与活塞部件343连接的挂钩部件311，从而解除托盘101的被钩住状态。

一旦解除托盘101的被钩住状态，线性驱动单元340向下移动托盘支撑单元330。如图14所示，由于托盘101必须一个一个地向下移动，因此必须首先按托盘101的高度移动托盘支撑单元330。

如图15所示，一旦对托盘101进行最初移动，控制器就驱动线性驱动单元340，从而将挂钩部件311移动至上面装载的托盘101的支撑槽101a，进而支撑上面装载的托盘101。这里，挂钩部件311向下移动，从而通过将引入汽缸空间341一侧的空气排出而钩住托盘101，从而随着弹性部件348的弹力向后移动活塞部件343。

如图16所示，一旦上面的托盘101被挂钩部件311支撑，那么托盘支撑单元330将托盘101向下移动，以将它安放于托盘把持单元200。

一旦托盘101被安放于托盘把持单元200，托盘把持单元200把持托盘101，并将它沿着导轨110移动。

托盘提升单元的挂钩单元310的挂钩部件311被配置以线性移动，从而比用于通过被旋转而支撑托盘的常规旋转部件更稳定地支撑托盘101。

对于本领域技术人员很明显地，在不偏离本发明的精神和范围的情况下可以对本发明做各种修改和变型。因此，本发明旨在覆盖落入所附权利要求和其等价物的范围之内的本发明的修改和变型。

Claims

1.一种托盘传输装置，其包括：

托盘把持单元，包括：用于安放托盘的本体单元，该托盘上面装载有多个半导体装置；提升单元，安装在该本体单元一端，以在与该本体单元垂直的方向垂直移动，用于在被垂直提升时支撑该托盘一端；旋转单元，安装在该本体单元另一端，用于当该托盘的一端被该提升单元支撑时通过旋转而将该托盘的另一端推向该提升单元，从而支撑该托盘；以及驱动单元，用于驱动该提升单元上下移动并驱动该旋转单元旋转，和

传输单元，通过传输该本体单元传输安放于该托盘把持单元的托盘；

其中该提升单元包括具有用于支撑托盘一端的支撑表面的提升部件，且该提升部件在与该本体单元垂直的方向垂直移动。

2.如权利要求1所述的托盘传输装置，其中，所述提升单元包括：

具有齿轮部分的该提升部件；

安装于该本体单元一端的第一支架，该第一支架具有用于引导该提升部件的垂直运动的导向槽；以及

与该齿轮部分连接、可旋转地安装于该第一支架，且与由该驱动单元旋转的第一旋转轴连接的转动齿轮。

3.如权利要求1所述的托盘传输装置，其中，所述提升单元包括：

具有用于支撑所述托盘的一端和定位销的支撑表面的提升部件；

安装于所述本体单元一端的第一支架，所述第一支架具有用于引导所述提升部件的垂直运动的导向槽；以及

可旋转地安装于所述第一支架且与由所述驱动单元转动的第一旋转轴连接的驱动臂，所述驱动臂具有用于通过支撑在其另一端的提升部件的定位销而上下移动所述提升部件的上下运动支撑单元。

4.如权利要求2或3所述的托盘传输装置，其中，所述旋转单元包括：

安装于所述本体单元的另一端的第二支架；

安装于所述第二支架且通过所述驱动单元旋转的第二旋转轴；

与所述第二旋转轴连接，用于当所述第二旋转轴转动时推动所述托盘的另一端的旋转部件。

5.如权利要求2或3所述的托盘传输装置，其中所述托盘把持单元包括用于支撑所述托盘两端并在其侧面引导所述托盘运动的一对导轨。

6.如权利要求1所述的托盘传输装置，还包括：

托盘提升单元，安装于导轨的一端或两端，用于上下移动所述托盘，所述导轨引导所述托盘的运动；以及

挂钩单元，包括用于支撑所述托盘的侧面或者当所述托盘提升单元垂直移动时通过线性移动来解除所述托盘的被支撑状态的挂钩部件。

7.如权利要求6所述的托盘传输装置，其中，所述挂钩部件的线性移动是由线性驱动单元驱动的，且所述线性驱动单元通过液压或气压运行。

8.如权利要求7所述的托盘传输装置，其中，所述线性驱动单元包括：

外壳，其中具有汽缸空间，且覆盖所述挂钩部件的一部分以使所述挂钩部件能够伸出；以及

活塞部件，插入位于所述外壳内部的所述汽缸空间，与所述挂钩部件连接，且通过液压或气压移动。