TWI423372B - 拖盤傳送裝置 - Google Patents

Description

拖盤傳送裝置

本發明係關於一種拖盤傳送裝置，特別是關於一種安裝在一測試機或一分選機上之拖盤傳送裝置，用以傳送裝載有複數個半導體裝置的拖盤。

在一製造半導體裝置之過程中，一經受封裝過程的半導體裝置必需經歷不同之測試，例如一電氣測試及一預燒測試，用以測試抵抗外熱的可靠性。根據測試結果，半導體裝置被分類為好件及壞件。

一半導體裝置被一半導體裝置測試機與/或一半導體裝置分選機測試及分選。

半導體裝置測試機或半導體裝置分選機透過將複數個半導體裝置裝載入各拖盤中且順次傳送這些拖盤而作業。在此，各拖盤透過一拖盤傳送裝置被順次傳送。

半導體裝置測試機或半導體裝置分選機之性能根據UPH(每小時單元)，即每小時分選的半導體裝置之數量來決定。根據半導體裝置測試機或半導體裝置分選機之各元件決定UPH。

當半導體裝置測試機或半導體裝置分選機的拖盤傳送裝置不正確作業時，可減少測試或分選的作業速度。

因此，鑒於以上的問題，本發明之目的之一在於提供一種拖盤傳送裝置，其能透過平穩保持拖盤而傳送該拖盤。

本發明之另一目的在於提供一種拖盤傳送裝置，當拖盤透過垂直移動被傳送時其能平穩支撐此拖盤之側面。

因此，為達上述目的，本發明所揭露之一種拖盤傳送裝置包含有：一拖盤保持單元，係包含有：一主體單元，用以固設一拖盤主體單元，拖盤上裝載有複數個半導體裝置；一提升單元，係安裝在主體單元之一端，以便在一垂直於主體單元之方向上垂直移動，用以當被垂直提升時支撐拖盤之一端；一旋轉單元，係安裝在主體單元之另一端，用以當拖盤之一端被提升單元支撐時，透過旋轉將拖盤之另一端推送至提升單元，因此保持拖盤；以及一驅動單元，用以驅動提升單元作上下運動及驅動旋轉單元旋轉；以及一傳送單元，用以透過傳送主體單元傳送一固設在拖盤保持單元上的拖盤。

提升單元包含有：一提升件，係具有一有齒部份及一支撐表面，支撐表面用以支撐一拖盤之一端；一第一支架，係安裝在主體單元之一端，第一支架具有一導向槽，用以導向提升件之一垂直運動；以及一旋轉齒輪，係與有齒部份相耦合，旋轉齒輪可旋轉地安裝在第一支架上，並且透過驅動單元與一第一旋轉軸相結合。

旋轉單元包含有：一第二支架，係安裝在主體單元之另一 端；一第二旋轉軸，係安裝在第二支架且被驅動單元旋轉；以及一旋轉件，係與第二旋轉軸相結合，用以隨著第二旋轉軸之旋轉推送拖盤之另一端。

提升單元包含有：一提升件，係具有一支撐表面及一導向銷，支撐表面用以支撐拖盤之一端；一第一支架，係安裝在主體單元之一端，第一支架具有一導向槽，用以導引提升件之一垂直運動；以及一驅動臂，係可旋轉地安裝在第一支架上且與第一旋轉軸相結合，第一旋轉軸透過驅動單元而旋轉，驅動臂具有一上下運動支撐單元，用以透過支撐提升件之導向銷上下移動提升件，導向銷配設於該提升件之另一端。

拖盤保持單元可包含有一對導向軌道，用以支撐拖盤之兩端且在該對軌道之側面導引拖盤之一運動。

本發明之拖盤傳送裝置可包含有一拖盤保持單元，用以保持一其上裝載有複數個半導體裝置的拖盤且沿著一導向軌道傳送該拖盤；一拖盤提升單元，係安裝在導向軌道之一或兩端，用以上下移動拖盤；以及一掛鈎單元，係具有一掛鈎件，用以當拖盤提升單元被垂直移動時，透過線性移動而支撐拖盤之側面或釋放拖盤的支撐狀態，以及一線性驅動單元，係與掛鈎件相結合，用以線性移動掛鈎件。

線性驅動單元透過液壓或氣壓作業，並且可包含有一外罩，係具有一氣缸容積且用以覆蓋掛鈎件之一部份，以致掛鈎件能伸 出；以及一活塞件，係插入於外罩內部之氣缸容積中，而且與掛鈎件相結合，並且被一氣壓或液壓移動。

外罩更可更配設有一彈性件，用以對與彈性件相結合之掛鈎單元之一部份施加壓力，因此在沒有氣壓或液壓時能推出掛鈎件。

彈性件可安裝為使得與安裝有活塞件的氣缸容積成線性配設。

以下，將結合圖式部份對本發明的較佳實施方式作詳細說明。

下文，將參閱圖式部份詳細描述本發明之拖盤傳送裝置。

本發明之拖盤傳送裝置用以傳送一拖盤101，拖盤101上裝載有複數個半導體裝置，並且應用於一半導體裝置測試機或一半導體裝置分選機，該半導體裝置測試機或該半導體裝置分選機具有一傳送拖盤101的結構。

請參閱「第1圖」，一種具有本發明之拖盤傳送裝置之設備包含有：一裝載單元10，係安裝在一主體1上，用以裝載一待測試之半導體裝置；一檢測單元20，用以透過傳送裝載於拖盤101上的半導體裝置而檢測這些半導體裝置，其中這些半導體裝置透過一傳送工具(圖未示)被裝載單元10裝載；以及一分類單元30，用以根據由檢測單元20作出的測試結果將半導體裝置分類為好件或壞件。

裝載單元10、分類單元30等，可配設4一拖盤傳送裝置，用 以傳送拖盤101。

請參閱「第2圖」及「第7圖」，本發明之拖盤傳送裝置包含有一拖盤保持單元200，係安裝在主體1上且保持固設於其中的一拖盤101；以及一傳送單元，用以傳送該拖盤保持單元200。

拖盤保持單元200包含有一主體單元210，一提升單元220，係安裝在主體單元210之一端，一旋轉單元230，係安裝在主體單元210之另一端，以及一驅動單元240，用以驅動提升單元220及旋轉單元230。

拖盤保持單元200可包含有一對導向軌道110，用以支撐拖盤101之兩端且在軌道之側面導引拖盤101之運動。

主體單元210可移動地安裝在形成該設備的主體1上，並且其上裝載有半導體裝置的拖盤101安裝在主體單元210上。較佳地，主體單元210安裝為便於被一用作傳送單元的線性驅動單元(圖未示)線性移動。

該線性驅動單元用以傳送拖盤保持單元200，以便透過移動主體單元210傳送固設於拖盤保持單元200的拖盤101，線性驅動單元可具有不同之配置，例如一帶及帶輪、一齒條及齒輪之組合。為了方便省略其詳細描述。

請參閱「第3圖」及「第4A圖」，提升單元220安裝在主體單元210之一端，以便在垂直於該主體單元之一方向上垂直移動，用以當被垂直提升時支撐拖盤101之一端。

提升單元220安裝為致使一提升件221能在主體單元210之頂側垂直移動。因此，提升單元220能實現為任何能垂直移動提升件221之配置。

請參閱「第4A圖」，提升單元220可包含有一提升件221，提升件221具有一有齒部份221a及一支撐表面221b，支撐表面221b用以支撐拖盤101之一端；一第一支架222，係安裝在主體單元210之一端，第一支架222具有一導向槽222a，用以導向提升件221之垂直運動；以及一旋轉齒輪223，係與有齒部份221a相耦合，旋轉齒輪223可旋轉地安裝在第一支架222上，並且與第一旋轉軸224相結合，第一旋轉軸224透過驅動單元240之驅動而旋轉。第一旋轉軸224與第一旋轉臂225相連接，並且隨著第一旋轉臂225之旋轉而旋轉。

一輥子226插入於一形成在驅動軌道241中的導向槽241a中，並且輥子226與第一旋轉臂225之端部相結合。

第一支架222可與主體單元210整體形成，或可與主體單元210相分離而形成。

旋轉單元230安裝在主體單元210之另一端，因此當提升單元220支撐拖盤101之一端時，透過被旋轉朝向提升單元220推送拖盤101之另一端且保持拖盤101。只要滿足透過被旋轉能推送拖盤101之另一端的條件下，旋轉單元230可具有任何之配置。請參閱「第3圖」及「第4B圖」，旋轉單元可包含有一第二支架 232，係安裝在主體單元210之另一端；一第二旋轉軸234，係安裝在第二支架232上且透過驅動單元240而旋轉；以及一旋轉件231，係與第二旋轉軸234相結合，用以隨著第二旋轉軸234之旋轉推送拖盤101之另一端。

第二旋轉軸234與一第二旋轉臂235相連接，並且隨著第二旋轉臂235之旋轉而旋轉。一輥子236插入於形成在驅動軌道241內之導向槽241a中，並且輥子236與第二旋轉臂235之端部相結合。

第一支架222可與主體單元210整體形成，或可與主體單元210相分離而形成。

驅動單元240配設為垂直移動提升單元220且旋轉旋轉單元230，並且可具有不同之配置。請參閱「第3圖」，驅動單元240包含有一驅動軌道241，係利用一個或多個鉸接件242與主體1相連接，並且驅動軌道241具有一導向槽241a，用以插入提升單元220之輥子226以及旋轉單元230之輥子236；以及一線性驅動單元243，用以推拉驅動軌道241，以致驅動軌道241能限制於鉸接件242，因此能被旋轉。

驅動單元240沿著導向軌道110安裝，並且可配設為一個或多個數目。驅動單元240可獨立與提升單元220及旋轉單元230相結合。作為線性驅動單元243，可使用氣壓或液壓缸、線性馬達等。

提升單元220具有任何配置，用以垂直移動支撐固設之拖盤101一端的提升件221。提升單元220可包含有具有如「第4A圖」所示之一齒條及齒輪的不同配置。

「第5A圖」及「第5B圖」係為「第4A圖」中之提升單元之另一實施例之局部斷開透視圖。以下，將參閱「第5A圖」及「第5B圖」說明與「第4A圖」中之提升單元之區別。

提升單元220具有一配置，用以垂直移動提升件221。請參閱「第5A圖」及「第5B圖」，提升單元220可包含有一提升件221，提升件221具有一支撐表面221b，用以支撐拖盤101之一端，以及一導向銷221c；一第一支架222，係安裝在主體單元210之一端，第一支架222具有一導向槽222a－1，用以導向提升件221之一垂直運動；以及一驅動臂223－1，係可旋轉地安裝在第一支架222上，並且與透過驅動單元240旋轉的第一旋轉軸224相結合，驅動臂223－1具有一上下運動支撐單元，用以透過支撐提升件221之導向銷221c上下移動提升件221，導向銷221c配設於提升件221之另一端。具有與「第4A圖」同樣結構的提升單元220之元件以同樣之標號標注，並且將省略其解釋。

用以支撐提升件221之導向銷221c的上下運動支撐單元223a－1可配設為僅向上支撐導向銷221c，也可配設為一形成在驅動臂223－1之狹槽223a，或可配設為一如「第5B圖」所示之局部斷開之狹槽。這裡，導向銷221c也可具有不同之配置，用以被驅 動臂223－1之上下運動支撐單元223a－1支撐。

一旦第一旋轉軸224隨著驅動單元240之第一旋轉臂225之旋轉而旋轉時，與第一旋轉軸224相結合之驅動臂223－1旋轉。並且，被驅動臂223－1支撐之提升件221之導向銷221c向上移動或向下移動，因此，垂直移動提升件221。

以下將參閱圖式部份詳細說明拖盤保持單元之作業。

「第6A圖」及「第6B圖」係為拖盤保持單元之作業示意圖。

請參閱「第6A圖」，一旦拖盤101固設於主體單元210，一控制器(圖未示)操作驅動單元240。

更具體而言，隨著驅動單元240之線性驅動單元243推送驅動軌道241，限制於鉸接件242的驅動軌道241在一軌道運動中向上移動。

這裡，隨著驅動軌道241向上移動，插入於驅動軌道241之導向槽241a中的輥子226及236向上移動。

一旦輥子226及236向上移動，與輥子226及236相結合之第一及第二旋轉臂225及235分別旋轉，因此旋轉第一及第二旋轉軸224及234。

當第一旋轉軸224旋轉時，與第一旋轉軸224相結合之旋轉齒輪223旋轉。結果，請參閱「第6A圖」，與旋轉齒輪223相齒輪耦合之提升件221向上移動，因此支撐拖盤101之一端。這裡，當第二旋轉軸234在相反之過程中旋轉時，提升件221向下移動。

當第二旋轉軸234旋轉時，與第二旋轉軸234相結合之旋轉件231一起旋轉，因此如「第6B圖」所示推送拖盤101之另一端。這裡，當第一旋轉軸在相反之過程中旋轉時，旋轉單元230被旋轉，因此在一不與拖盤101相干涉之方向上定位。

透過使用驅動單元240，拖盤保持單元200透過提升單元220及旋轉單元230保持拖盤101。當拖盤101被拖盤保持單元200完全保持時，控制器驅動該傳送單元，以致拖盤保持單元200能根據一控制信號以一定間隔或速度沿導向軌道110移動。

在習知技術中，拖盤101之兩端被一對旋轉件保持。因此，當拖盤101被不穩定固設時，拖盤101可透過旋轉件而偏離位置，並且可產生故障。

然而，在本發明中，拖盤保持單元200之配設便於透過上下移動而支撐拖盤101之一端。因此，即使拖盤101被不穩定固設，拖盤保持單元200也能保持拖盤101而不出現故障。

本發明之拖盤傳送裝置可更包含有一拖盤提升單元300，用以裝載或卸載已裝載的拖盤101，用以沿著導向軌道110移動安裝在導向軌道110之兩端中至少一端的拖盤101。

請參閱「第7圖」，拖盤提升單元300包含有複數個導向件320、至少一個掛鈎單元310、一拖盤支撐單元330以及一驅動單元340。複數個導向件320被安裝為與拖盤101之形狀相對應，用以導向拖盤101之垂直運動。掛鈎單元310用以支撐拖盤101，以 便將拖盤101配設於導向軌道110之上。拖盤支撐單元330用以支撐拖盤101之一底表面，因此將拖盤101固設於拖盤保持單元200，或者從拖盤保持單元200向上移動拖盤101。驅動單元340用以上下移動拖盤支撐單元330。

拖盤支撐單元330配設為支撐拖盤101上下移動，而不與拖盤保持單元200發生干擾。請參閱「第7圖」，拖盤支撐單元330可實現為復數個支撐杆331，用以支撐拖盤之底表面。拖盤支撐單元330可根據線性驅動單元340之位置實現為具有不同之形狀，例如〞L〞形等。

線性驅動單元340配設為透過支撐拖盤支撐單元330上下移動拖盤101，並且可實現為一線性馬達、一氣壓缸、一液壓缸等。線性驅動單元340可具有復數個裝置，各裝置分別具有預設之移動距離。

導向件320可安裝在對應於拖盤101之一頂點之位置，並且考慮拖盤101之運動，可在對應於導向軌道110之一部份中切開。

請參閱「第8A圖」，掛鈎單元310可包含有一掛鈎件311，用以當上下移動拖盤101時，透過線性移動而支撐拖盤101之側面或釋放拖盤的支撐狀態；以及一線性驅動單元，係與掛鈎件311相結合，用以線性移動掛鈎件311。

掛鈎件311配設有一掛鈎部份，該掛鈎部份插入於一形成在拖盤101之底表面或側面的支撐槽101a中。

線性驅動單元安裝在主體1上，並且配設為線性移動掛鈎件311。線性驅動單元可實現為由液壓或氣壓操作之不同裝置。

請參閱「第8A圖」及「第8B圖」，線性驅動單元可包含有一外罩342，係具有一氣缸容積341且用以覆蓋掛鈎件311之一部份以致掛鈎件311能伸出；以及一活塞件343，係插入於外罩342之氣缸容積341中，而且與掛鈎件311相結合，並且被氣壓或液壓移動。

外罩342形成為複數個部件342a及342b，以便於組裝。一空氣入口346向外貫穿而形成在外罩342內部的氣缸容積341之一端，用以引入空氣而推送活塞件343。並且，一空氣出口347形成在氣缸容積341之另一端，用以當活塞件343被推送時排出空氣。

一空氣供應管345與空氣入口346相連接，用以在控制器之控制下將空氣引入至氣缸容積341中。

外罩342被一覆蓋件349覆蓋，一密封件配設於外罩342與覆蓋件349之間，用以當活塞件343向外伸出時密封氣缸容積341之內部。

活塞件343配設為透過一氣壓沿氣缸容積341移動，並且活塞件343配設有一突出部份343a，用以將氣缸容積341分為兩部份容積。至少一密封件安裝在突出部份343a上，用以將這兩部份氣缸容積彼此分離，並且沿著氣缸容積341移動活塞件343。

外罩342可更配設有一彈性件348，用以對與其相結合之掛鈎 件311之一部份施加壓力，因此在沒有氣壓或液壓時推出該部份。

請參閱「第8A圖」，彈性件348可安裝為使得與安裝有活塞件343的氣缸容積341成線性配設。

將參閱圖式部份詳細說明拖盤提升單元之作業。

拖盤提升單元300向下移動裝載於拖盤保持單元200上的拖盤101，因此將它固設在拖盤保持單元200，或者從拖盤保持單元200向上移動拖盤101。向上移動拖盤101之過程與向下移動拖盤101之過程相反。以下，將描述向下移動拖盤101之過程。

請參閱「第9A圖」，線性驅動單元340被控制器操作。然後，拖盤支撐單元330移動至配設於導向軌道110上的裝載拖盤101之一底表面，因此支撐拖盤101之底表面。

只要拖盤支撐單元330支撐拖盤101之底表面，控制器操作掛鈎單元310的線性驅動單元。然後，控制器移動插入於拖盤101之支撐槽101a中的掛鈎件311，因此，釋放拖盤101的鈎住狀態。

更具體而言，空氣通過與空氣供應管345相連接之空氣入口346引入至線性驅動單元340之氣缸容積341中。

隨著空氣引入至氣缸容積341之一側，配設於氣缸容積341之另一側的空氣通過空氣出口347被排出。因此，活塞件343向後移動，並且移動與活塞件343相結合之掛鈎件311，因此釋放拖盤101之鈎住狀態。

一旦釋放拖盤101的鈎住狀態，線性驅動單元向下移動拖盤 支撐單元330。請參閱「第9B圖」，由於拖盤101必需一個接一個地向下移動，因此拖盤支撐單元330必需首先移動一拖盤101之高度。

請參閱「第9C圖」，一旦拖盤101被首先移動，控制器驅動線性驅動單元，因此將掛鈎件311移動至上述裝載的拖盤101之支撐槽101a，因而支撐上述裝載的拖盤101。這裡掛鈎件311向後移動，因此透過排出引入至氣缸容積341之一側的空氣鈎住拖盤101，因此利用彈性件348的彈性力向後移動活塞件343。

請參閱「第9D圖」，一旦上述拖盤101被掛鈎件311支撐，拖盤支撐單元330向下移動拖盤101用以將其固設在拖盤保持單元200。

一旦拖盤101固設在拖盤保持單元200上，拖盤保持單元200保持拖盤101且沿著導向軌道110移動該拖盤。

拖盤提升單元之掛鈎單元310之掛鈎件311配設為線性移動，因此較之透過旋轉而支撐一拖盤的習知技術之旋轉件，能更平穩地支撐拖盤101。

本發明之拖盤傳送單元具有以下優點。

首先，拖盤保持單元配設為當拖盤之一端上下移動時支撐該拖盤之一端。因此，即使拖盤不穩定地固設在拖盤保持單元上，拖盤保持單元能穩定保持拖盤而不發生故障。

其次，用以上下移動拖盤的拖盤提升單元之掛鈎單元的掛鈎 件配設為線性移動，因此較之習知技術之旋轉件能更平穩地支撐拖盤。

本領域之技術人員應當意識到在不脫離本發明之精神和範圍的情況下，本發明所作之更動與潤飾均屬本發明之專利保護範圍之內。因此，本發明包含不脫離專利保護範圍之界限或等同界限之範圍內的更動與潤飾。

1‧‧‧主體

10‧‧‧裝載單元

20‧‧‧檢測單元

30‧‧‧分類單元

101‧‧‧拖盤

101a‧‧‧支撐槽

110‧‧‧導向軌道

200‧‧‧拖盤保持單元

210‧‧‧主體單元

220‧‧‧提升單元

221‧‧‧提升件

221a‧‧‧有齒部份

222a-1‧‧‧導向槽

221b‧‧‧支撐表面

221c‧‧‧導向銷

222‧‧‧第一支架

222a‧‧‧導向槽

223‧‧‧旋轉齒輪

223a‧‧‧狹槽

223-1‧‧‧驅動臂

223a-1‧‧‧上下運動支撐單元

224‧‧‧第一旋轉軸

225‧‧‧第一旋轉臂

226、236‧‧‧輥子

230‧‧‧旋轉單元

231‧‧‧旋轉件

232‧‧‧第二支架

234‧‧‧第二旋轉軸

235‧‧‧第二旋轉臂

240‧‧‧驅動單元

241‧‧‧驅動軌道

241a‧‧‧導向槽

242‧‧‧鉸接件

243‧‧‧線性驅動單元

300‧‧‧拖盤提升單元

310‧‧‧掛鈎單元

311‧‧‧掛鈎件

320‧‧‧導向件

330‧‧‧拖盤支撐單元

331‧‧‧支撐杆

340‧‧‧驅動單元

341‧‧‧氣缸容積

342‧‧‧外罩

342a、342b‧‧‧部件

343‧‧‧活塞件

343a‧‧‧突出部份

345‧‧‧空氣供應管

346‧‧‧空氣入口

347‧‧‧空氣出口

348‧‧‧彈性件

349‧‧‧覆蓋件

第1圖係為安裝有本發明之一拖盤傳送裝置之設備實例之平面圖；第2圖係為本發明之拖盤傳送裝置之平面圖；第3圖係為第2圖中之拖盤傳送裝置之一拖盤保持單元之透視圖；第4A圖係為第3圖中之拖盤保持單元之一提升單元之局部透視圖；第4B圖係為第3圖中之拖盤保持單元之一旋轉單元之局部透視圖；第5A圖及第5B圖係為第3圖中之拖盤保持單元之提升單元的另一實施例之局部斷開透視圖；第6A圖及第6B圖係為拖盤保持單元之作業示意圖；第7圖係為本發明之一拖盤傳送裝置之透視圖；第8A圖及第8B圖係為第7圖中之一拖盤提升單元之掛鈎單 元之剖視圖；以及第9A圖至第9D圖係為第7圖中之拖盤提升單元之作業示意圖。

110‧‧‧導向軌道

200‧‧‧拖盤保持單元

210‧‧‧主體單元

220‧‧‧提升單元

241‧‧‧驅動軌道

243‧‧‧線性驅動單元

310‧‧‧掛鈎單元

320‧‧‧導向件

345‧‧‧空氣供應管

Claims (11)

1. 一種拖盤傳送裝置，係包含有：一拖盤保持單元，係包含有：一主體單元，用以固設一拖盤，該拖盤上裝載有複數個半導體裝置；一提升單元，係安裝在該主體單元之一端，以便在一垂直於該主體單元之方向上垂直移動，且支撐該拖盤之一端；一旋轉單元，係安裝在該主體單元之另一端，被旋轉以推送該拖盤之另一端；以及一驅動單元，包含利用一個或多個鉸接件與主體相連接之一驅動軌道，被插入提升單元之輥子以及旋轉單元之輥子之一導向槽，以及推拉該驅動軌道之一線性驅動單元，以驅動該提升單元作上下運動及驅動該旋轉單元旋轉；以及一傳送單元，藉由帶及帶輪、齒條及齒輪之組合透過傳送該主體單元傳送一固設在該拖盤保持單元上的拖盤。
2. 如申請專利範圍第1項所述之拖盤傳送裝置，其中該提升單元包含有：一提升件，係具有一有齒部份及一支撐表面，該支撐表面用以支撐一拖盤之一端；一第一支架，係安裝在該主體單元之一端，該第一支架具有一導向槽，用以導向該提升件之一垂直運動；以及一旋轉齒輪，係與該有齒部份相耦合，該旋轉齒輪可旋轉地安裝在該第一支架上，並且透過該驅動單元與一第一旋轉軸相結合。
3. 如申請專利範圍第1項所述之拖盤傳送裝置，其中該提升單元包含有：一提升件，係具有一支撐表面及一導向銷，該支撐表面用以支撐該拖盤之一端；一第一支架，係安裝在該主體單元之一端，該第一支架具有一導向槽，用以導引該提升件之一垂直運動；以及一驅動臂，係可旋轉地安裝在該第一支架上且與一第一旋轉軸相結合，該第一旋轉軸透過該驅動單元而旋轉，該驅動臂具有一上下運動支撐單元，用以透過支撐該提升件之該導向銷上下移動該提升件，該導向銷配設於該提升件之另一端。
4. 如申請專利範圍第2項或第3項所述之拖盤傳送裝置，其中該旋轉單元包含有：一第二支架，係安裝在該主體單元之該另一端；一第二旋轉軸，係安裝在該第二支架上且被該驅動單元旋轉；以及一旋轉件，係與該第二旋轉軸相結合，用以隨著該第二旋轉軸之旋轉推送該拖盤之該另一端。
5. 如申請專利範圍第2項或第3項所述之拖盤傳送裝置，其中該拖盤保持單元包含有一對導向軌道，用以支撐該拖盤之兩端且在該對軌道之側面導引該拖盤之一運動。
6. 如申請專利範圍第1項所述之拖盤傳送裝置，更包含有： 一拖盤提升單元，係安裝在該導向軌道之一或兩端，用以上下移動該拖盤；以及一掛鈎單元，係具有一掛鈎件，用以當上下移動拖盤時，透過線性移動而支撐該拖盤之側面或釋放該拖盤的支撐狀態，以及一線性驅動單元，係與該掛鈎件相結合，並且配設為一液壓或氣壓裝置以線性移動該掛鈎件。
7. 一種拖盤傳送裝置，係包含有：一拖盤保持單元，固設一拖盤且沿著一導向軌道移動，該拖盤上裝載有複數個半導體裝置；一拖盤提升單元，係安裝在該導向軌道之一或兩端，用以上下移動該拖盤；以及一掛鈎單元，係具有一掛鈎件，用以當上下移動拖盤時，透過線性移動而支撐該拖盤之側面或釋放該拖盤的支撐狀態，以及一線性驅動單元，係與該掛鈎件相結合，並且配設為一液壓或氣壓裝置以線性移動該掛鈎件。
8. 如申請專利範圍第6項或第7項所述之拖盤傳送裝置，其中該線性驅動單元透過液壓或氣壓作業。
9. 如申請專利範圍第6項或第7項所述之拖盤傳送裝置，其中該線性驅動單元包含有：一外罩，係具有一氣缸容積且用以覆蓋該掛鈎件之一部份，以致該掛鈎件能伸出；以及 一活塞件，係插入於該外罩內部之該氣缸容積中，而且與該掛鈎件相結合，並且被一氣壓或液壓移動。
10. 如申請專利範圍第9項所述之拖盤傳送裝置，其中該外罩可更安裝有一彈性件，用以對與該彈性件相結合之該掛鈎單元之一部份施加壓力，因此在沒有氣壓或液壓時能推出該掛鈎件。
11. 如申請專利範圍第10項所述之拖盤傳送裝置，其中該彈性件可安裝為使得與安裝有該活塞件的該氣缸容積成線性配設。