CN218957675U - 一种键合线3d检测设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种键合线3D检测设备，包括：输送线，用于输送待检产品；三轴平移机构，其上设有检测光机，所述检测光机在三轴平移机构的带动下移动至检测位对输送线输送来的产品进行键合线3D检测。有益效果：本实用新型的键合线3D检测设备通过三轴平移机构带动检测光机移动至检测位置对输送线输送来的产品进行键合线3D检测，相比人工检测，检测速度快、效率高，检测精准度高，检测成本低。

Description

一种键合线3D检测设备

技术领域

本实用新型涉及键合线检测领域，特别涉及一种键合线3D检测设备。

背景技术

在先进高端的半导体制造行业和军工微电子行业，产品键合打线工艺是必备工艺，产品键合打线过程中由于各种因素的影响会出现异常情况，异常情况的出现可能会产生产品缺陷，产品的缺陷会导致性能影响，一个产品有几百上千根线束，每一根线束缺陷对产品都会造成致命影响，所以对产品的键合线束缺陷检测尤其重要。

目前，键合线检测还依赖人工肉眼检测，检测速度慢、效率低，而且易漏检，检测精准度差，检测成本高。

实用新型内容

本实用新型的主要目的是提出一种键合线3D检测设备，旨在解决人工进行键合线检测精准度差，成本高，检测效率低的问题。

为解决上述问题，本实用新型提出了一种键合线3D检测设备，包括：

输送线，用于输送待检产品；

三轴平移机构，其上设有检测光机，所述检测光机在三轴平移机构的带动下移动至检测位对输送线输送来的产品进行键合线3D检测。

在一实施例中，所述输送线包括安装大板，所述安装大板上设置有相互平行的固定侧板和活动侧板，所述固定侧板和活动侧板上相向的一侧均设有带式输送机，通过两条带式输送机输送产品在固定侧板和活动侧板之间移动。

在一实施例中，所述固定侧板与安装大板固连，所述活动侧板与安装大板滑动连接，所述活动侧板在安装大板上滑动可调节固定侧板和活动侧板的间距。

在一实施例中，所述安装大板上回转安装有丝杆，所述丝杆沿活动侧板的滑动方向延伸，所述丝杆与活动侧板旋接，所述丝杆的一端与电机一传动连接，所述电机一与固定侧板或安装大板固连。

在一实施例中，所述安装大板上固设有滑轨，所述活动侧板通过滑轨与安装大板滑动连接。

在一实施例中，所述固定侧板和活动侧板上均设有压板，所述压板的下方设有顶杆，所述顶杆与举升装置一的活动端固连，所述举升装置一竖直固定安装在固定侧板或活动侧板上；

当带式输送机将产品移送至顶杆上方时，所述顶杆在举升装置一的举升下顶动产品上移，并配合压板将产品夹紧固定。

在一实施例中，所述固定侧板和活动侧板上均设有举升装置二，所述举升装置二的活动端设有挡杆，当带式输送机将产品移送至顶杆上方时，所述挡杆在举升装置二的带动下升降移动至阻挡位置可阻挡产品在带式输送机上继续移动。

在一实施例中，所述三轴平移机构包括X轴平移机构、Y轴平移机构、Z轴平移机构和安装架，所述X轴平移机构固设于安装架上，所述Y轴平移机构设于X轴平移机构上，通过X轴平移机构带动Y轴平移机构沿X轴平移，所述Z轴平移机构设于Y轴平移机构上，通过Y轴平移机构带动Z轴平移机构沿Y轴平移，所述检测光机设于Z轴平移机构上，通过Z轴平移机构带动检测光机沿Z轴平移。

在一实施例中，所述Z轴平移机构上还设有读码器。

在一实施例中，还包括机罩，所述输送线和三轴平移机构设于机罩内，所述机罩上靠近输送线的两端设有进料口和出料口。

有益效果：本实用新型的键合线3D检测设备通过三轴平移机构带动检测光机移动至检测位置对输送线输送来的产品进行键合线3D检测，相比人工检测，检测速度快、效率高，检测精准度高，检测成本低。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本实用新型一种键合线3D检测设备的机罩的结构示意图；

图2是本实用新型一种键合线3D检测设备的机罩的右视图；

图3是本实用新型一种键合线3D检测设备的机罩的左视图；

图4是本实用新型一种键合线3D检测设备的机架的结构示意图；

图5是本实用新型一种键合线3D检测设备的三轴平移机构的结构示意图；

图6是图5中的A部放大图；

图7是本实用新型一种键合线3D检测设备的输送线的结构示意图；

图8是图7中的B部放大图；

图9是图7中的C部放大图；

图10是图7中的D部放大图；

图11是图7中输送线按箭头所示方向的投影视图。

附图标记说明如下：

1、机罩；2、出料口；3、前下开门；4、上掀门；5、控制设备；6、进料口；7、机架；8、限位块；9、缓冲垫；10、顶升装置；11、连接板；12、安装板；13、容纳槽一；14、容纳槽二；15、X轴平移机构；16、Y轴平移机构；17、Z轴平移机构；18、检测光机；19、读码器；20、安装孔一；21、安装孔二；22、安装架；23、安装大板；24、固定侧板；25、活动侧板；26、滑轨；27、丝杆；28、电机一；29、传动轴；30、输送带；31、电机二；32、主动轮；33、从动轮；34、举升装置一；35、顶杆；36、直线导轨；37、举升装置二；38、挡杆；39、压板；40、进料检测光电开关；41、到位检测光电开关；42、在位检测光电开关；43、出料检测光电开关；44、脚杯。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

需要说明，若本实用新型实施例中有涉及方向性指示(诸如上、下、左、右、前、后……)，则该方向性指示仅用于解释在某一特定姿态(如附图所示)下各部件之间的相对位置关系、运动情况等，如果该特定姿态发生改变时，则该方向性指示也相应地随之改变。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“连接”、“固定”等应做广义理解，例如，“固定”可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

另外，若本实用新型实施例中有涉及“第一”、“第二”等的描述，则该“第一”、“第二”等的描述仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示其相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。另外，全文中出现的“和/或”的含义，包括三个并列的方案，以“A和/或B”为例，包括A方案、或B方案、或A和B同时满足的方案。另外，各个实施例之间的技术方案可以相互结合，但是必须是以本领域普通技术人员能够实现为基础，当技术方案的结合出现相互矛盾或无法实现时应当认为这种技术方案的结合不存在，也不在本实用新型要求的保护范围之内。

本实用新型提出了一种键合线3D检测设备，该键合线3D检测设备通过三轴平移机构带动检测光机移动至检测位置对输送线输送来的产品进行键合线3D检测，相比人工检测，检测速度快、效率高，检测精准度高，检测成本低。

具体的，在实用新型一实施例中，所述键合线3D检测设备包括输送线和三轴平移机构，所述输送线用于输送待检产品；所述三轴平移机构上设有检测光机18，所述检测光机18在三轴平移机构的带动下移动至检测位置对输送线输送来的产品进行键合线3D检测。

具体的，在本实施例中，如图7所示，所述输送线包括安装大板23，所述安装大板23上设置有相互平行的固定侧板24和活动侧板25，固定侧板24和活动侧板25之间形成输送通道，用于输送待检产品，所述固定侧板24和活动侧板25上相向的一侧均设有带式输送机，通过两条带式输送机输送产品在固定侧板24和活动侧板25之间的输送通道内沿箭头所示方向移动。

在本实施例中，如图7-图9所示，所述带式输送机包括安装在固定侧板24和活动侧板25上的主动轮32和从动轮33，所述固定侧板24和活动侧板25的两端均设有从动轮33，所述主动轮32位于固定侧板24和活动侧板25的中部，所述主动轮32和从动轮33通过输送带30传动连接，输送带30的上表面水平，产品被放置在托盘内，托盘被放置在输送带30上，固定侧板24和活动侧板25可对托盘进行限位，使其在输送带30的带动下只能沿箭头所示方向移动从输送通道的一端移动至另一端；所述主动轮32安装在传动轴29的一端，所述传动轴29的另一端传动连接电机二31，所述电机二31固定安装在安装大板23上，通过电机二31驱动输送带30转动。

进一步的，在本实施例中，所述固定侧板24与安装大板23固连，所述活动侧板25与安装大板23滑动连接，所述活动侧板25在安装大板23上滑动可调节固定侧板24和活动侧板25的间距，以便适配不同大小的待检产品，当产品的大小不同时，所使用的托盘也不同，相应的，输送通道的宽度，也即固定侧板24和活动侧板25的间距也需要做出适应性的调整，以便适配不同大小的产品的输送，有效扩大了输送线的应用范围，实用性好，更进一步的，如图7所示，所述安装大板23上固设有滑轨26，所述活动侧板25通过滑轨26与安装大板23滑动连接，这样设计，可使活动侧板25滑动平稳。

进一步的，在本实施例中，如图7所示，所述安装大板23上回转安装有丝杆27，所述丝杆27沿活动侧板25的滑动方向延伸，所述丝杆27与活动侧板25旋接，所述丝杆27的一端与电机一28传动连接，所述电机一28与安装大板23固连，所述电机一28转动带动丝杆27旋转驱动活动侧板25沿丝杆27移动调节固定侧板24和活动侧板25的间距。

进一步的，在本实施例中，如图7和图10所示，所述固定侧板24和活动侧板25上均设有压板39，所述压板39的下方设有顶杆35，所述顶杆35与举升装置一34的活动端固连，所述举升装置一34竖直固定安装在固定侧板24或活动侧板25上；当带式输送机将产品移送至顶杆35上方时，所述顶杆35在举升装置一34的举升下顶动产品和托盘上移，并配合压板39将产品和托盘夹紧固定，方便检测光机18对其进行键合线3D检测。

在本实施例中，为了使顶杆35升降平稳，如图10所示，所述固定侧板24和活动侧板25上固设有直线导轨36，所述直线导轨36的上端与顶杆35相连，通过直线导轨36使顶杆35平稳升降，从而将产品和托盘可靠夹紧，不晃动。

进一步的，在本实施例中，如图7和图10所示，所述固定侧板24和活动侧板25上均设有举升装置二37，所述举升装置二37的活动端设有挡杆38，当带式输送机将产品移送至顶杆35上方时，所述挡杆38在举升装置二37的带动下升降移动至阻挡位置阻挡产品和托盘在带式输送机上继续移动，方便后续顶杆35顶升托盘和产品，这样设计，使得输送带30可以不停止转动仍能保证顶杆35精准地顶升产品并与压板39配合将产品和托盘夹紧固定。

更进一步的，在本实施例中，如图7和图8所示，所述输送线的进料端设有进料检测光电开关40，用于检测是否有产品进入输送线，以便及时控制举升装置二37动作带动挡杆38将产品阻挡在顶杆35上方，这样设计，可实现输送线自动截停产品，方便后续顶杆35顶升托盘和产品。

更进一步的，在本实施例中，如图7和图10所示，所述输送线上靠近顶杆35附近设有到位检测光电开关41，用于检测挡杆38是否将产品截停，以便控制举升装置一34动作推动顶杆35上升，并配合压板39将产品和托盘夹紧固定。

更进一步的，在本实施例中，如图7和图11所示，所述输送线上靠近顶杆35附近还设有在位检测光电开关42，用于检测产品是否被夹紧固定，以便控制三轴平移机构带动检测光机18移动至检测位置对输送线输送来的产品进行键合线3D检测。

更进一步的，在本实施例中，如图7所示，所述输送线的出料端设有出料检测光电开关43，用于检测产品是否离开输送线，以便控制带式输送机停止工作，避免带式输送机做无用功，有效节约电能。

在本实施例中，如图5和图6所示，所述三轴平移机构包括X轴平移机构15、Y轴平移机构16、Z轴平移机构17和安装架22，所述X轴平移机构15固设于安装架22上，所述Y轴平移机构16设于X轴平移机构15上，通过X轴平移机构15带动Y轴平移机构16沿X轴平移，所述Z轴平移机构17设于Y轴平移机构16上，通过Y轴平移机构16带动Z轴平移机构17沿Y轴平移，所述检测光机18设于Z轴平移机构17上，通过Z轴平移机构17带动检测光机18沿Z轴平移，优选的，所述X轴平移机构15、Y轴平移机构16、Z轴平移机构17均采用直线电机，进一步的，所述Z轴平移机构17上还设有读码器19，通过读码器19扫描托盘上的二维码，以便识别出托盘内产品的信息，然后产品的信息和检测结果一并被传递给控制设备5存储起来。

进一步的，在本实施例中，如图5和图6所示，所述安装架22固定安装在安装板12上，所述安装大板23固定安装在安装板12上，所述安装板12采用大理石材质，这样设计，好处有以下六点：

1、大理石刚性好，硬度高，耐磨性强，温度变形小。

2、大理石经长期天然时效形成，组织结构均匀，线胀系数极小，内应力完全消失，不变形。

3、大理石不怕碱液物侵蚀，不会生锈，不必涂油，不易粘微尘，维护保养方便简单，使用寿命长。

4、大理石不会出现划痕，不受恒温条件阻止，在常温下也能保持测温精度。

5、大理石不磁化，测量时能平滑移动，无滞涩感，不受潮湿影响，平面称定好。

6、由于设备搭载的直线电机高速运转需要足够的重量匹配，否则运动中设备会有很大的抖动，影响检测结果的准确性，而常用的低成本普通金属材质的密度远不及大理石，采用大理石后能够有效减少抖动，提高检测准确性。

在本实施例中，如图4所示，所述安装板12被放置在机架7上，所述机架7具有脚杯44，通过脚杯44调节机架7的高度，从而调节输送线的高度，方便输送线与其它设备对接，所述机架7的上表面设有缓冲垫9，所述安装板12通过缓冲垫9与机架7接触，缓冲垫9的设计可缓冲三轴平移机构动作时产生的振动冲击经安装板12传导至机架7上，保护大理石材质的安装板12，避免安装板12与机架7碰撞发生破裂，同时也有助于三轴平移机构平稳工作。

进一步的，在本实施例中，如图4所示，所述机架7上缓冲垫9周围设有限位块8，如图5所示，所述安装板12的下表面设有容纳槽二14，用于容纳限位块8，限位块8和容纳槽二14的配合设计可防止安装板12在机架7上振动移位，确保安装板12被稳定安放在机架7上。

在本实施例中，如图4所示，所述机架7上设有顶升装置10，如图5所示，所述安装板12的下表面设有容纳槽一13，所述容纳槽一13用于容纳顶升装置10，当缓冲垫9失效需要更换时，借助顶升装置10将安装板12顶起即可更换缓冲垫9。

在本实施例中，如图4所示，所述机架7上固设有连接板11，所述连接板11上开设有安装孔二21，所述安装板12上开设有安装孔一20，当安装板12与机架7连接到位后，安装孔一20与安装孔二21对齐，从而通过螺栓将安装板12与机架7固连在一起，这样设计，方便运输，避免运输过程中，安装板12在机架7上晃动。

在本实施例中，进一步的，如图1-图3所示，所述键合线3D检测设备还包括机罩1，所述输送线和三轴平移机构设于机罩1内，通过机罩1为输送线和三轴平移机构提供保护，所述机罩1上靠近输送线的两端设有进料口6和出料口2，方便托盘和产品进出机罩1，所述机罩1上设有所述控制设备5，所述控制设备5包括plc控制器，用于工人输入程序控制输送线、三轴平移机构、检测光机18、读码器19自动工作。

在本实施例中，如图1所示，所述机罩1上还设有前下开门3和上掀门4，打开前下开门3方便工人对输送线进行检修维护，打开上掀门4方便工人对三轴平移机构、检测光机18、读码器19进行检修维护。

以上所述仅为本实用新型的优选实施例，并非因此限制本实用新型的专利范围，凡是在本实用新型的实用新型构思下，利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构变换，或直接/间接运用在其他相关的技术领域均包括在本实用新型的专利保护范围内。

Claims (10)

1.一种键合线3D检测设备，其特征在于，包括：

输送线，用于输送待检产品；

三轴平移机构，其上设有检测光机，所述检测光机在三轴平移机构的带动下移动至检测位对输送线输送来的产品进行键合线3D检测。

2.如权利要求1所述的一种键合线3D检测设备，其特征在于，所述输送线包括安装大板，所述安装大板上设置有相互平行的固定侧板和活动侧板，所述固定侧板和活动侧板上相向的一侧均设有带式输送机，通过两条带式输送机输送产品在固定侧板和活动侧板之间移动。

3.如权利要求2所述的一种键合线3D检测设备，其特征在于，所述固定侧板与安装大板固连，所述活动侧板与安装大板滑动连接，所述活动侧板在安装大板上滑动可调节固定侧板和活动侧板的间距。

4.如权利要求3所述的一种键合线3D检测设备，其特征在于，所述安装大板上回转安装有丝杆，所述丝杆沿活动侧板的滑动方向延伸，所述丝杆与活动侧板旋接，所述丝杆的一端与电机一传动连接，所述电机一与固定侧板或安装大板固连。

5.如权利要求3所述的一种键合线3D检测设备，其特征在于，所述安装大板上固设有滑轨，所述活动侧板通过滑轨与安装大板滑动连接。

6.如权利要求2所述的一种键合线3D检测设备，其特征在于，所述固定侧板和活动侧板上均设有压板，所述压板的下方设有顶杆，所述顶杆与举升装置一的活动端固连，所述举升装置一竖直固定安装在固定侧板或活动侧板上；

当带式输送机将产品移送至顶杆上方时，所述顶杆在举升装置一的举升下顶动产品上移，并配合压板将产品夹紧固定。

7.如权利要求6所述的一种键合线3D检测设备，其特征在于，所述固定侧板和活动侧板上均设有举升装置二，所述举升装置二的活动端设有挡杆，当带式输送机将产品移送至顶杆上方时，所述挡杆在举升装置二的带动下升降移动至阻挡位置可阻挡产品在带式输送机上继续移动。

8.如权利要求1所述的一种键合线3D检测设备，其特征在于，所述三轴平移机构包括X轴平移机构、Y轴平移机构、Z轴平移机构和安装架，所述X轴平移机构固设于安装架上，所述Y轴平移机构设于X轴平移机构上，通过X轴平移机构带动Y轴平移机构沿X轴平移，所述Z轴平移机构设于Y轴平移机构上，通过Y轴平移机构带动Z轴平移机构沿Y轴平移，所述检测光机设于Z轴平移机构上，通过Z轴平移机构带动检测光机沿Z轴平移。

9.如权利要求8所述的一种键合线3D检测设备，其特征在于，所述Z轴平移机构上还设有读码器。

10.如权利要求1所述的一种键合线3D检测设备，其特征在于，还包括机罩，所述输送线和三轴平移机构设于机罩内，所述机罩上靠近输送线的两端设有进料口和出料口。

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