CN113008145A - 一种多探头自动在线测厚装置及其测厚方法 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种多探头自动在线测厚装置及其测厚方法，结构框架用于支撑所述测厚装置；大理石防震平台设于所述结构框架上方；产品载台设于大理石防震平台上，产品载台可在载台移动模组的控制下，沿水平方向作直线移动；升降流水线设于大理石防震平台上，升降流水线用于水平方向上传送产品，升降流水线也可沿垂直于大理石防震平台的方向作上下升降；到料检测光电用于检测产品的到料状态；检测探头组包括多个检测探头，检测探头组用于检测产品的厚度参数，检测探头组固定于探头组固定支座上。本发明提供的多探头自动在线测厚装置及其测厚方法，可实现产品在线检测，大大提升检测效率，提高检测精度。
Description
技术领域
本发明涉及半导体晶元片检测技术领域，具体而言涉及一种多探头自动在线测厚装置及其测厚方法。
背景技术
目前，半导体行业对自动化检测的要求越来越高，蓝宝石和碳化硅衬底作为晶元片的一个重要的组成部分，其质量直接决定了晶元的使用质量。因此，蓝宝石和碳化硅衬底的厚度检测是生产过程中的一道必不可少的程序。现有技术中，也有一些关于蓝宝石厚度检测装置的报道。
如申请号为201620935603.5的实用新型中公开了一种蓝宝石晶片厚度检测机构，该检测机构的晶片检测支架的中部设有伸出结构，晶片检测平台安装在伸出结构上，晶片检测平台上固定有用于放置晶片的垫块；晶片检测支架上部的前端装有驱动气缸，驱动气缸的推杆连接到晶片检测固定座；晶片检测支架的中部和上部之间竖直安装有直线导轨，晶片检测固定座的一端利用滑块安装在直线导轨上，另一端安装有晶片厚度检测传感器。
又如申请号为201921754239.2的实用新型中公开了用于自动检测蓝宝石晶片厚度的装置，包括支撑机架、上视觉装置、检测装置、导向安装板、升降输送装置、下视觉装置、大理石检测平台。上视觉装置与下视觉装置用于找取蓝宝石晶片的初始检测位置以及能够读取检测印在陶瓷盘上的蓝宝石晶片厚度的数据指标，检测装置用于测量蓝宝石晶片的厚度，升降输送装置可实现自动水平运输和垂直升降运输陶瓷盘，实现陶瓷盘自动运输至检测位置，大理石检测平台用于放置陶瓷盘，保证检测的稳定性和准确性。
然而，现有的厚度检测设备多为单机单探头设备，设备智能化程度较低、检测时间长、效率低下、检测精度误差大，无法满足现场生产工艺要求，只能作为实验室抽检设备使用，解决这类问题成为该行业的当务之急。
发明内容
针对现有技术的不足，本发明的目的在于提供一种多探头自动在线测厚装置及其测厚方法，可实现产品在线检测，大大提升检测效率，提高检测精度。
本发明解决技术问题所采用的技术方案是：一种多探头自动在线测厚装置，所述测厚装置包括结构框架、大理石防震平台、产品载台、载台移动模组、升降流水线、到料检测光电、检测探头组、探头组固定支座；
所述结构框架用于支撑所述测厚装置；
所述大理石防震平台设于所述结构框架上方；
所述产品载台设于所述大理石防震平台上，所述产品载台可在所述载台移动模组的控制下，沿水平方向作直线移动；
所述升降流水线设于所述大理石防震平台上，所述升降流水线用于水平方向上传送产品，所述升降流水线也可沿垂直于所述大理石防震平台的方向作上下升降；
所述到料检测光电用于检测产品的到料状态；
所述检测探头组包括多个检测探头，所述检测探头组用于检测产品的厚度参数，所述检测探头组固定于所述探头组固定支座上。
进一步地，所述升降流水线主要包括皮带线、皮带线支撑架、流水线电机、升降气缸，所述皮带线支撑架上设有若干个滑轮，所述皮带线沿所述滑轮转动实现产品在皮带线上的水平传送；所述流水线电机用于控制所述滑轮的转动，所述升降气缸用于控制所述升降流水线的上下升降。
进一步地，所述产品载台包括用于与所述载台移动模组连接的载台连接板、用于承载产品的承载面以及设于所述承载面两侧的皮带线凹槽。
进一步地，所述承载面上设有若干平行设置的条形通孔。
进一步地，所述载台移动模组通过载台固定板固定于所述大理石防震平台上，所述载台移动模组主要包括载台移动电机和载台移动导轨；所述载台移动电机用于驱动所述产品载台在所述载台移动导轨上作水平移动。
进一步地，所述探头组固定支座包括第一固定支座和第二固定支座，所述第一固定支座固定于所述大理石防震平台上，所述第二固定支座固定于所述第一固定支座上，所述第二固定支座上设有若干个探头固定孔，各个所述的探头固定孔用于固定探头。
进一步地，所述第二固定支座为U型支座，所述U型支座的上下两边上均设有若干个探头固定孔，各个所述的探头固定孔用于固定探头；所述产品载台在所述载台移动模组的控制下，从所述U型支座的上下两边之间移动穿过。
进一步地，所述到料检测光电通过到料检测固定板连接在所述第二固定支座上。
一种多探头自动在线测厚装置的测厚方法，所述测厚方法主要包括以下内容：首先，升降流水线升起至高处旋转等待产品到料，待产品到达后进行水平传送；当到料检测光电检测到产品时，升降流水线停止传送并下降至低处，此时产品脱离升降流水线，落在产品载台上，载台移动模组控制产品载台沿水平方向移动，使得承载产品的产品载台从检测探头组下穿过，检测探头组自动检测出产品的厚度参数；检测完成后，升降流水线升起至高处继续将产品传送至下游工序，载台移动模组带动产品载台回至初始位，如此循环。
进一步地，当所述到料检测光电检测到产品时，升降流水线停止传送并下降至低处，所述皮带线嵌入所述承载面两侧的皮带线凹槽内，使产品脱离升降流水线落在产品载台上。
本发明的有益效果是：与现有技术相比，本发明通过对测厚装置的独特结构设计，实现了自动在线多探头和高精度检测，减少了操作人员的工作强度，降低了单机精度误差，大大提升了生产效率和精准度；解决了蓝宝石和碳化硅衬底厚度检测时间长、效率低下、检测精度误差大等问题。
附图说明
图1为本发明提供的测厚装置的立体结构示意图。
图2为本发明提供的测厚装置的爆炸图。
图3为本发明提供的测厚装置中探头组部分的结构示意图。
图4为本发明提供的测厚装置中升降流水线的结构示意图。
图5为本发明提供的测厚装置中产品载台和载台移动模组的结构示意图。
其中，1-产品载台；11-承载面；12-皮带线凹槽；13-载台连接板；2-产品；3-到料检测光电；31-到料检测固定板；4-探头组固定支座；41-第一固定支座；42-U型支座；5-检测探头组；51-探头固定孔；6-升降流水线；61-皮带线；62-滑轮；63-皮带线支撑架；64-流水线电机；65-升降气缸；7-载台移动模组；71-载台固定板；72-载台移动电机；73-载台移动导轨；8-大理石防震平台；9-结构框架。
具体实施方式
下面通过具体实施例来进一步说明本发明。但这些实例仅用于说明本发明而不用于限制本发明的范围。
实施例
如图1-5所示，一种多探头自动在线测厚装置，所述测厚装置包括结构框架9、大理石防震平台8、产品载台1、载台移动模组7、升降流水线6、到料检测光电3、检测探头组5、探头组固定支座4；所述结构框架9用于支撑所述测厚装置；所述大理石防震平台8设于所述结构框架9上方；所述产品载台1设于所述大理石防震平台8上，所述产品载台1可在所述载台移动模组7的控制下，沿水平方向作直线移动；所述升降流水线6设于所述大理石防震平台8上，所述升降流水线6用于水平方向上传送产品2，所述升降流水线6也可沿垂直于所述大理石防震平台8的方向作上下升降；所述到料检测光电3用于检测产品2的到料状态；所述检测探头组5包括多个检测探头，所述检测探头组5用于检测产品2的厚度参数，所述检测探头组5固定于所述探头组固定支座4上。
所述升降流水线6主要包括皮带线61、皮带线支撑架63、流水线电机64、升降气缸65，所述皮带线支撑架63上设有若干个滑轮62，所述皮带线61沿所述滑轮62转动实现产品2在皮带线61上的水平传送；所述流水线电机64用于控制所述滑轮62的转动，所述升降气缸65用于控制所述升降流水线6的上下升降。
所述产品载台1包括用于与所述载台移动模组7连接的载台连接板13、用于承载产品2的承载面11以及设于所述承载面11两侧的皮带线凹槽12。所述承载面11上设有若干平行设置的条形通孔。所述载台移动模组7通过载台固定板71固定于所述大理石防震平台8上，所述载台移动模组7主要包括载台移动电机72和载台移动导轨73；所述载台移动电机72用于驱动所述产品载台1在所述载台移动导轨73上作水平移动。
所述探头组固定支座4包括第一固定支座41和第二固定支座，所述第一固定支座41固定于所述大理石防震平台8上，所述第二固定支座固定于所述第一固定支座41上，所述第二固定支座上设有若干个探头固定孔51，各个所述的探头固定孔51用于固定探头。所述第二固定支座为U型支座42，所述U型支座42的上下两边上均设有若干个探头固定孔51，各个所述的探头固定孔51用于固定探头；所述产品载台1在所述载台移动模组7的控制下，从所述U型支座42的上下两边之间移动穿过。所述到料检测光电3通过到料检测固定板31连接在所述第二固定支座上。
一种多探头自动在线测厚装置的测厚方法，所述测厚方法主要包括以下内容：首先，升降流水线6通过升降气缸65升起至高处，在流水线电机64的带动下，滑轮62旋转等待产品2到料，待产品2到达后通过皮带线61进行水平传送；当到料检测光电3检测到产品2时，升降流水线6停止传送并通过升降气缸65下降至低处，皮带线61嵌入所述承载面11两侧的皮带线凹槽12内，使产品2脱离升降流水线6落在产品载台1上，载台移动模组7控制产品载台1沿水平方向移动，使得承载产品2的产品载台1从检测探头组5下穿过，检测探头组5自动检测出产品2的厚度参数；检测完成后，升降流水线6升起至高处继续将产品2传送至下游工序，载台移动模组7带动产品载台1回至初始位，如此循环。本发明通过对测厚装置的独特结构设计，实现了自动在线多探头和高精度检测，减少了操作人员的工作强度，降低了单机精度误差，大大提升了生产效率和精准度。
以上实施方式仅用于说明本发明，而并非对本发明的限制，有关技术领域的普通技术人员，在不脱离本发明的精神和范围的情况下，还可以做出各种变化和变型，因此所有等同的技术方案也属于本发明的范畴，本发明的专利保护范围应由权利要求限定。
Claims (10)
1.一种多探头自动在线测厚装置，其特征在于：所述测厚装置包括结构框架、大理石防震平台、产品载台、载台移动模组、升降流水线、到料检测光电、检测探头组、探头组固定支座；
所述结构框架用于支撑所述测厚装置；
所述大理石防震平台设于所述结构框架上方；
所述产品载台设于所述大理石防震平台上，所述产品载台可在所述载台移动模组的控制下，沿水平方向作直线移动；
所述升降流水线设于所述大理石防震平台上，所述升降流水线用于水平方向上传送产品，所述升降流水线也可沿垂直于所述大理石防震平台的方向作上下升降；
所述到料检测光电用于检测产品的到料状态；
所述检测探头组包括多个检测探头，所述检测探头组用于检测产品的厚度参数，所述检测探头组固定于所述探头组固定支座上。
2.如权利要求1所述的一种多探头自动在线测厚装置，其特征在于：所述升降流水线主要包括皮带线、皮带线支撑架、流水线电机、升降气缸，所述皮带线支撑架上设有若干个滑轮，所述皮带线沿所述滑轮转动实现产品在皮带线上的水平传送；所述流水线电机用于控制所述滑轮的转动，所述升降气缸用于控制所述升降流水线的上下升降。
3.如权利要求1所述的一种多探头自动在线测厚装置，其特征在于：所述产品载台包括用于与所述载台移动模组连接的载台连接板、用于承载产品的承载面以及设于所述承载面两侧的皮带线凹槽。
4.如权利要求3所述的一种多探头自动在线测厚装置，其特征在于：所述承载面上设有若干平行设置的条形通孔。
5.如权利要求1所述的一种多探头自动在线测厚装置，其特征在于：所述载台移动模组通过载台固定板固定于所述大理石防震平台上，所述载台移动模组主要包括载台移动电机和载台移动导轨；所述载台移动电机用于驱动所述产品载台在所述载台移动导轨上作水平移动。
6.如权利要求1所述的一种多探头自动在线测厚装置，其特征在于：所述探头组固定支座包括第一固定支座和第二固定支座，所述第一固定支座固定于所述大理石防震平台上，所述第二固定支座固定于所述第一固定支座上，所述第二固定支座上设有若干个探头固定孔，各个所述的探头固定孔用于固定探头。
7.如权利要求6所述的一种多探头自动在线测厚装置，其特征在于：所述第二固定支座为U型支座，所述U型支座的上下两边上均设有若干个探头固定孔，各个所述的探头固定孔用于固定探头；所述产品载台在所述载台移动模组的控制下，从所述U型支座的上下两边之间移动穿过。
8.如权利要求6所述的一种多探头自动在线测厚装置，其特征在于：所述到料检测光电通过到料检测固定板连接在所述第二固定支座上。
9.一种如权利要求1至8中任意一项所述的多探头自动在线测厚装置的测厚方法，其特征在于，所述测厚方法主要包括以下内容：首先，升降流水线升起至高处旋转等待产品到料，待产品到达后进行水平传送；当到料检测光电检测到产品时，升降流水线停止传送并下降至低处，此时产品脱离升降流水线，落在产品载台上，载台移动模组控制产品载台沿水平方向移动，使得承载产品的产品载台从检测探头组下穿过，检测探头组自动检测出产品的厚度参数；检测完成后，升降流水线升起至高处继续将产品传送至下游工序，载台移动模组带动产品载台回至初始位，如此循环。
10.如权利要求9所述的多探头自动在线测厚装置的测厚方法，其特征在于：当所述到料检测光电检测到产品时，升降流水线停止传送并下降至低处，所述皮带线嵌入所述承载面两侧的皮带线凹槽内，使产品脱离升降流水线落在产品载台上。
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
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| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| RJ01 | Rejection of invention patent application after publication | ||
| RJ01 | Rejection of invention patent application after publication |
Application publication date: 20210622 |