KR19990081673A

KR19990081673A - 수평식 핸들러의 냉각챔버내에서의 테스트 트레이 이송장치

Info

Publication number: KR19990081673A
Application number: KR1019980015706A
Authority: KR
Inventors: 김두철
Original assignee: 정문술; 미래산업 주식회사
Priority date: 1998-04-30
Filing date: 1998-04-30
Publication date: 1999-11-15
Also published as: KR100273984B1

Abstract

본 발명은 수직상태의 테스트 트레이를 냉각챔버측으로 하강시켜 수평상태로 이송하면서 냉각시킨 다음 이를 언로딩부의 로테이터측으로 수직 상승시키는 테스트 트레이 이송장치에 관한 것으로 냉각챔버를 테스트 싸이트의 직하부에 위치시켜 장비의 크기 및 설치면적을 획기적으로 줄일 수 있도록 한 것이다.

이를 위해, 테스트 싸이트(14)에 진퇴가능하게 설치된 가동트랙의 직하방에 설치되어 테스트 트레이(1)를 냉각챔버(15)측으로 하강시키는 제 1 엘리베이터부(40)와, 상기 냉각챔버의 베이스(42)상에 설치된 가이드수단과, 상기 가이드수단을 따라 수평 이동가능하게 설치되며, 제 1 엘리베이터부에 의해 이송되는 테스트 트레이가 끼워지는 시프트봉(45)이 구비되어 테스트 트레이(1)를 언로딩부의 로테이터 직하방으로 이송시키는 트랜스퍼와, 상기 로테이터의 수직방향에 설치되어 트랜스퍼에 의해 로테이터의 수직방향으로 이송된 테스트 트레이를 로테이터측으로 상승시키는 제 2 엘리베이터부(41)로 구성되어 있어 수평식 핸들러를 콤팩트하게 제작가능하게 됨은 물론 장비의 설치에 따른 점유면적을 줄일 수 있게 된다.

Description

수평식 핸들러의 냉각챔버내에서의 테스트 트레이 이송장치

본 발명은 테스트 트레이의 캐리어 모듈에 매달린 소자의 테스트 완료 후 소자를 외부의 온도로 냉각하는 수평식 핸들러의 냉각챔버내에 관한 것으로서, 좀 더 구체적으로는 수직상태의 테스트 트레이를 냉각챔버측으로 하강시켜 수평상태로 이송하면서 냉각시킨 다음 이를 언로딩부의 로테이터측으로 수직 상승시키는 테스트 트레이 이송장치에 관한 것이다.

일반적으로 TSOP 또는 μBGA와 같이 크기가 작은 소자를 테스트하는 수평식 핸들러는 도 1과 같은 구조의 테스트 트레이(1)에 테스트할 소자가 로딩된 상태에서 상기 테스트 트레이를 테스트 싸이트(test site)로 이송시켜 테스트를 실시하게 된다.

상기 테스트 트레이(1)는 사각틀형태의 프레임(2)과, 상기 프레임상에 유동가능하게 복수개 장착되며, 테스트할 소자가 로딩되는 캐비티(3)를 갖는 캐리어 모듈(4)로 구성된다.

도 2는 종래 수평식 핸들러의 일 예를 나타낸 사시도이고 도 3은 도 2의 A - A선 단면도이다.

여러개의 소자가 로딩된 테스트 트레이(1)를 수평 이동시키면서 소자의 성능을 테스트하는 수평식 핸들러는 생산 완료된 소자가 담겨진 합성수지재의 고객트레이(5)가 복수개 적재되는 적재부(6)와, 상기 적재부에 적재되어 있던 최상측의 고객트레이(5)가 이동아암(7)에 의해 분리되어 안착되는 로딩부(8)와, 상기 로딩부에 얹혀져 있던 고객트레이로부터 로드 픽 플레이스장치가 복수개의 소자를 흡착하여 이송되어 옴에 따라 이송된 소자의 위치를 정렬하는 위치결정블럭(9)과, 상기 고객트레이(5)내에 담겨져 있던 소자를 위치결정블럭으로 이송시켜 위치를 정렬한 다음, 수평이동하여 테스트 트레이(1)에 로딩하거나, 테스트 트레이로부터 테스트 완료된 소자를 빈 고객트레이로 언로딩하는 로드 픽 및 플레이스장치(10)(11)와, 상기 테스트 트레이(1)를 1스탭씩 이송시키면서 테스트 트레이에 로딩된 소자를 원하는 테스트온도가 되도록 가열시키는 히팅챔버(12)와, 상기 히팅챔버내에서 소자가 테스트조건에 알맞는 온도로 히팅되어 통로(13)를 통해 송출됨에 따라 테스트 트레이에 로딩된 소자를 소켓에 콘택트시켜 테스터와 전기적으로 통하여지도록 하는 테스트 싸이트(14)와, 상기 테스트 트레이(1)를 1스탭씩 상승시키면서 일정온도조건에서 테스트완료된 소자를 상온으로 냉각시키는 냉각챔버(15)와, 상기 냉각챔버에서 빠져 나온 테스트 트레이가 얹혀지는 언로딩부(16)와, 상기 언로딩부에 얹혀진 테스트 트레이로부터 테스트결과에 따라 소자를 분류하여 적재하는 분류적재부(17)로 구성되어 있다.

상기한 바와 같은 수평식 핸들러를 이용하여 소자를 테스트 트레이(1)의 캐리어 모듈(4)에 로딩한 다음 이송시키는 과정을 개략적으로 설명하면 다음과 같다.

생산 완료된 소자가 담겨진 복수개의 고객트레이(5)를 적재부(6)상에 적재하여 놓으면 엘리베이터(18)에 의해 고객트레이가 1스탭씩 상승하게 되므로 로더캣쳐(19)가 하방으로 내려가 최상측에 위치한 고객트레이(5)를 홀딩하여 버퍼(20)의 상면에 위치시킨 후, 다음의 고객트레이를 홀딩하기 위해 초기상태로 환원된다.

이와 같이 1개의 고객트레이(5)가 로더캣쳐(19)에 의해 버퍼(20)의 상면에 위치하면 이동아암(7)이 상기 고객트레이(5)를 집어 로딩부(8)에 위치시킨다.

상기 로딩부(8)에 소자가 담겨진 고객트레이(5)가 위치되고 나면 로드 픽 및 플레이스장치(10)가 고객트레이에 담겨져 있던 1열의 소자를 진공으로 흡착한 다음 위치결정블럭(9)측으로 이송하여 소자의 위치를 테스트 트레이(1)에 장착된 캐리어 모듈의 캐비티와 일치되도록 정렬한다.

상기한 바와 같은 동작으로 소자의 위치가 정렬되고 나면 로드 픽 및 플레이스장치(10)가 위치결정블럭(9)내에 위치된 소자를 재흡착한 다음 테스트 트레이(1)의 상측으로 이동하여 흡착된 소자를 캐리어 모듈(4)의 캐비티내에 로딩하게 된다.

상기 로드 픽 및 플레이스장치(10)의 반복된 동작으로 테스트 트레이(1)에 장착된 복수개의 캐리어 모듈(4)에 테스트하고자 하는 소자가 전부 로딩되고 나면 레일(28)의 상면에 얹혀진 테스트 트레이(1)가 이송수단에 의해 히팅챔버(12)의 상측에 형성된 통로(22)를 통해 히팅챔버의 내부에 수평상태로 인입되어 엘리베이터(21)에 얹혀지게 된다.

상기 히팅챔버(12)의 엘리베이터(21)에 순차적으로 얹혀지는 테스트 트레이(1)는 하방으로 1스탭씩 이송되면서 테스트에 적합한 온도, 즉 소자가 제품에 적용된 상태에서 동작시 발열되는 온도로 히팅된 다음 테스트 트레이(1)가 히팅챔버(12)의 하방에 위치된 통로(13)를 통해 테스트 싸이트(14)로 이송되어 오면 테스트 트레이(1)를 하향구동시키는 수직 드라이브(23)가 하강하여 테스터 고정장치(24)에 의해 각 소자의 테스트신호를 중앙처리장치(CPU)에 제공하게 되므로 콘택트 소켓을 통해 결과신호가 출력되고, 이에 따라 테스터(도시는 생략함)에 의해 소자의 성능이 판단된다.

상기한 동작으로 테스트 트레이(1)에 얹혀진 소자의 테스트가 완료되고 나면 테스트 트레이는 냉각챔버(15)의 하방에 형성된 통로(25)를 통해 상기 냉각챔버의 엘리베이터(26)에 얹혀지게 되므로 1스탭씩 순차적으로 상승되면서 외부의 대기온도와 거의 동일한 온도로 서서히 냉각된다.

상기 테스트 트레이(1)는 냉각챔버(15)의 상방에 형성된 통로(27)를 통해 언로딩부(16)로 이송되므로 언로딩부에 설치된 로드 픽 및 플레이스장치(11)가 테스트 트레이(1)에 얹혀진 소자를 테스트결과에 따라 분류적재부(17)에 위치된 빈 고객트레이(1a)내에 분류하여 담게 된다.

테스트가 완료된 소자가 테스트 트레이(1)에서 전부 언로딩되고 나면 빈 테스트 트레이는 레일(28)을 따라 초기상태로 이송되므로 계속해서 소자(TSOP)를 테스트할 수 있게 된다.

도 4 및 도 5는 출원인에 의해 선출원되어 1998. 2. 27일 특허사정된 특허출원 94-37196호를 나타낸 것으로서, 도 4는 히팅챔버의 일부를 절결하여 나타낸 사시도이고 도 5는 도 4의 종단면도이다.

그 구성을 살펴보면, 히팅챔버(12)내의 테스트 트레이(1)를 지지하기 위한 제 1 안착편(29)이 상하로 나란히 형성된 적어도 2개 이상의 회동편(30)을 히팅챔버(12)의 내부 양측에 대향되게 축(31)으로 고정 설치하여 상기 회동편이 실린더(32a)의 직선왕복운동을 링크(33) 및 레버(34a)에 의해 회동운동으로 절환시키는 제 1 구동수단에 의해 연동되도록 하고 상기 회동편의 사이에는 회동편(30)의 제 1 안착편(29)에 얹혀져 있던 테스트 트레이(1)를 1스탭씩 하강시키기 위한 제 2 안착편(35)이 상하로 나란히 형성된 승강편(36)을 대향되게 설치하여 상기 승강편을 제 2 구동수단에 의해 2단으로 승강시키거나, 동시에 전후진시키도록 구성되어 있다.

따라서 승강편(36)에 형성된 제 2 안착편(35)이 회동편(30)의 제 1 안착편(29)보다 약간 상승된 초기상태에서 테스트 트레이(1)가 이송되어 제 2 안착편(35)의 상면에 얹혀지면 2단 실린더(37)가 작동하여 상판(38)을 약간 하강시키게 되므로 회동축(39)도 약간 하강하게 된다.

이에 따라, 회동축(39)에 승강편(36)이 연결되어 있어 상기 승강편에 형성된 제 2 안착편(35)이 회동편(30)에 형성된 제 1 안착편(29)보다 약간 하강하게 되므로 제 2 안착편(35)에 얹혀져 있던 테스트 트레이(1)가 제 1 안착편(29)으로 옮겨지게 된다.

그 후, 실린더(32b)가 동작하여 회동축(39)을 회동시키면 상기 회동축(39)에 레버(34)로 연결된 승강편(36)이 레버(34b)의 연결부를 중심으로 테스트 트레이(1)와 간섭이 발생되지 않는 위치까지 후퇴된다.

상기 승강편(36)이 후퇴된 상태에서 2단 실린더(37)가 동작하여 상판(38)을 안착편사이의 높이인 1스탭을 상승시키면 승강편(36)의 최상부로부터 2번째 위치된 제 2 안착편(35)의 상부면이 제 1 안착편(29)에 얹혀진 테스트 트레이의 저면보다 하부에 위치되므로 승강편(36)이 테스트 트레이측으로 진입가능하게 된다.

이러한 상태에서 실린더(32b)의 로드가 초기상태로 당겨지면 테스트 트레이의 외측에 위치되어 있던 승강편(36)이 테스트 트레이의 하부로 진입되므로 승강편(36)의 최상부로부터 2번째 위치된 제 2 안착편(35)의 직상부에 약간의 간격을 두고 테스트 트레이가 위치된다.

그 후, 상기 히팅챔버(12)와 상판(38)사이에 설치된 2단 실린더(37)가 다시 동작하여 상판(38)을 상승시키면 회동축(39)에 연결된 승강편(36)이 상승되므로 제 1 안착편(29)에 얹혀져 있던 테스트 트레이(1)가 제 2 안착편(35)으로 옮겨지게 된다.

즉, 히팅챔버(12)의 내부로 이송된 테스트 트레이(1)가 1스탭 상승 완료하게 되는 것이다.

선출원된 발명은 히팅챔버에 대하여 설명하고 있으나, 종래의 수평식 핸들러의 냉각챔버 구성 또한 히팅챔버의 구성과 동일하다.

단지, 동작시 히팅챔버(12)는 상측으로 이송된 테스트 트레이(1)를 순차적으로 하강시키면서 히팅한 다음 테스트 싸이트(14)측으로 이송시키지만, 냉각챔버(15)는 하측으로 이송된 테스트 트레이(1)를 순차적으로 상승시키면서 냉각한 다음 언로딩부측으로 이송시키는 동작만이 상이할 뿐이다.

이에 따라, 종래의 장치는 냉각챔버(15)의 내부로 이송된 테스트 트레이(1)를 정확히 1스탭씩 하강시키면서 테스트 트레이에 로딩된 소자를 외부의 온도로 냉각하는 잇점이 있으나, 테스트 트레이를 수평상태로 1스탭씩 상승시키기 때문에 냉각챔버를 반드시 테스트 싸이트(14)의 일측에 위치시켜야 되므로 장비의 크기가 커지게 되었고, 이에 따라 장비의 설치에 따른 점유면적을 많이 차지하게 되는 문제점이 있었다.

본 발명은 종래의 이와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출한 것으로 냉각챔버를 테스트 싸이트의 직하부에 위치시키되 테스트 트레이를 수직상태로 세워 수평이송시키면서 캐리어 모듈에 로딩된 소자를 상온으로 냉각한 다음 로테이터측으로 수직 상승시킬 수 있도록 구성하므로서, 장비의 크기 및 설치면적을 획기적으로 줄일 수 있도록 하는데 그 목적이 있다.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 형태에 따르면, 테스트 싸이트에 진퇴가능하게 설치된 가동트랙의 직하방에 설치되어 테스트 트레이를 냉각챔버측으로 하강시키는 제 1 엘리베이터부와, 상기 냉각챔버의 베이스상에 설치된 가이드수단과, 상기 가이드수단을 따라 수평 이동가능하게 설치되며, 제 1 엘리베이터부에 의해 이송되는 테스트 트레이가 끼워지는 시프트봉이 구비되어 테스트 트레이를 언로딩부의 로테이터 직하방으로 이송시키는 트랜스퍼와, 상기 로테이터의 수직선상에 설치되어 트랜스퍼에 의해 로테이터의 직하방으로 이송된 테스트 트레이를 로테이터측으로 상승시키는 제 2 엘리베이터부로 구성된 수평식 핸들러의 냉각챔버내에서의 테스트 트레이 이송장치가 제공된다.

도 1은 일반적인 테스트 트레이를 나타낸 평면도

도 2는 종래 수평식 핸들러의 일 예를 나타낸 사시도

도 3은 도 2의 A - A선 단면도

도 4는 종래 장치의 히팅챔버를 일부 절결하여 나타낸 사시도

도 5는 도 4의 종단면도

도 6은 본 발명이 적용된 수평식 핸들러의 일부를 나타낸 사시도

도 7은 본 발명의 요부인 트랜스퍼를 나타낸 사시도

도 8a 및 도 8b는 도 7의 평면도로서,

도 8a는 시프트봉이 테스트 트레이의 인입측에 위치된 상태도

도 8b는 시프트봉이 테스트 트레이의 인출측으로 이동된 상태도

도 9는 도 8a의 정면도

도 10은 도 8a의 B - B선 단면도

도 11은 본 발명의 제 1, 2 엘리베이터부를 나타낸 사시도

도 12a 및 도 12b는 제 1, 2 엘리베이터부의 동작상태도로서,

도 12a는 인입측 2단 실린더는 1단 상승하고, 인출측 2단 실린더는 하사점에 위치된 상태도

도 12b는 인입측 2단 실린더는 1단 하강하고, 인출측 2단 실린더는 상사점에 위치된 상태도

도 12c는 인입측 2단 실린더는 하사점에 위치되고, 인출측 2단 실린더는 상사점에 위치된 상태도

도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

12 : 히팅챔버 14 : 테스트 싸이트

15 : 냉각챔버 40 : 제 1 엘리베이터부

41 : 제 2 엘리베이터부 42 : 베이스

44 : 시프트 블록 45 : 시프트봉

48 : 슬라이더 49 : 링크

54 : 토글스프링 55 : 제 1 스토퍼

56 : 제 2 스토퍼 59 : 회동암

61 : 센서 63 : 실린더

64, 72 : 2단 실린더 65, 73 : 승강블럭

67 : 셔터 구동실린더 69 : 제 1 로드

77 : 제 3 로드

이하, 본 발명을 일 실시예로 도시한 도 6 내지 도 12를 참고하여 더욱 상세히 설명하면 다음과 같다.

도 6은 본 발명이 적용된 수평식 핸들러의 일부를 나타낸 사시도로서, 본 발명은 테스트 트레이(1)를 승강시키는 제 1, 2 엘리베이터부(40)(41)와, 상기 제 1 엘리베이터부에 의해 냉각챔버(15)측으로 이송된 테스트 트레이(1)를 수평 이송시키는 트랜스퍼로 구성되어 있다.

도 7은 본 발명의 요부인 트랜스퍼를 나타낸 사시도이고 도 8a 및 도 8b는 도 7의 평면도이며 도 9는 도 8a의 정면도로서, 베이스(42)의 상면에 평행하게 설치된 한쌍의 제 1 LM가이더(43)와 같은 가이드수단을 따라 일정거리 이송하는 트랜스퍼의 구성은 다음과 같다.

상기 각 제 1 LM가이더(43)에 시프트 블록(44)이 이동가능하게 설치되어 있고 상기 시프트 블록의 상면에는 제 1 엘리베이터부(40)에 의해 수직 하강되는 테스트 트레이(1)가 끼워지는 시프트봉(45)이 수직으로 고정되어 있으며 상기 제 1 LM가이더(43)의 외측으로는 테스트 트레이(1)의 수평 이송시 시프트봉(45)으로부터 테스트 트레이가 이탈되지 않도록 가이드하는 가이드바(46)가 테스트 트레이의 수평 이송경로상에 나란히 설치되어 있다.

그리고 상기 제 1 LM가이더(43)의 사이에 1개의 제 2 LM가이더(47)가 평행하게 설치되어 있고 상기 제 2 LM 가이더에는 슬라이더(48)가 수평 이동가능하게 설치되어 있으며 상기 슬라이더의 양측과 각 시프트 블록사이에는 슬라이더의 수평 이동시 시프트 블록이 연동되도록 하는 링크(49)가 회동가능하게 연결되어 있다.

상기 링크(49)의 일단은 슬라이더(48)에 축(50)을 중심으로 회동가능하게 결합되어 있고 다른 일단에 형성된 장공(49a)은 시프트 블록(44)에 고정된 축(51)에 끼워져 있다.

또한, 상기 슬라이더(48)에 고정된 축(50)에 고정되는 링크(49)의 일단은 일측으로 연장부(49b)가 형성되어 있는데, 그 이유는 후술하겠다.

상기 시프트 블록(44)에 고정되어 링크(49)의 장공(49a)에 끼워지는 축(51)에는 장공의 내주면과 접속되게 베어링(52)이 설치되어 있다.

이는, 슬라이더(48)의 수평 이동으로 시프트 블록(44)이 함께 이동할 때 이들 사이에서 발생되는 마찰을 최소화하기 위함이다.

상기 슬라이더(48)와 링크(49)에 각각 고정핀(53a)(53b)이 고정되어 있고 상기 고정핀(53a)(53b)사이에는 링크가 회동된 상태를 유지시키는 토글스프링(54)이 걸려 있으며 상기 슬라이더(48)의 좌우 행정거리의 외측인 베이스(42)에는 슬라이더(48)의 이송에 따라 링크(49)의 연장부(49b)가 닿게 됨에 따라 시프트 블록(44)과 연결된 링크(49)를 회동시켜 시프트봉(45)을 테스트 트레이(1)의 수직 이송경로상에 일치시키는 제 1 스토퍼(55)가 설치되어 있다.

이는, 테스트 트레이(1)가 제 1, 2 엘리베이터부(40)(41)에 의해 이송되므로 인해 테스트 트레이를 수평 이송시키는 시프트봉(45)이 고정된 시프트 블록(44)을 제 1, 2 엘리베이터부의 직하방에 위치시켜야 되지만, 상기 시프트 블록(44)을 이송시키는 슬라이더(48)를 제 1, 2 엘리베이터부(40)(41)의 직상부까지 이송시키면 상기 제 1, 2 엘리베이터부의 동작시 슬라이더가 상호 간섭을 일으키게 되므로 이를 방지하기 위해 슬라이더(48)보다 시프트 블록(44)의 행정거리가 더 길어지도록 하여 이들(제 1, 2 엘리베이터부와 슬라이더)의 동작시 상호 간섭이 발생되지 않도록 하기 위함이다.

상기 슬라이더(48)에 회동가능하게 설치된 링크(49)에 의해 슬라이더(48)의 행정거리보다 더 이송되는 시프트 블록(44)은 베이스(42)의 양측에 구비된 스토퍼수단에 의해 이송량이 제어된다.

상기 스토퍼수단은 상기 시프트 블록(44)의 좌우 행정거리에 해당하는 베이스(42)상에 고정되어 시프트 블록(44)의 측면이 닿게 됨에 따라 시프트 블록의 이송을 제어하는 제 2 스토퍼(56)로 구성되어 있는데, 상기 제 2 스토퍼의 외주면에는 완충부재(57)가 감싸여져 있다.

이는, 시프트 블록(44)이 제 1 LM가이더(43)의 양단에 도달하였을 때 시프트봉(45)에 끼워진 테스트 트레이(1)에 가해지는 충격을 최소화하기 위함이다.

상기 제 2 LM가이더(47)를 따라 수평 이동가능하게 설치된 슬라이더(48)는 슬라이더 이송수단에 의해 설정된 행정거리만큼 수평 이동하게 되어 있다.

상기 제 2 LM가이더(47)를 따라 슬라이더(48)를 수평 이동시키는 슬라이더 이송수단은 베이스(42)의 일측에 회전가능하게 설치된 축(58)과, 상기 축에 일단이 고정되고, 다른 일단에는 장공(59a)이 형성된 회동암(59)과, 상기 회동암의 장공을 통해 슬라이더에 고정된 핀(60)과, 상기 베이스에 설치된 축을 회전시키는 구동수단과. 상기 회동암(59)의 회동으로 시프트봉(45)에 삽입된 테스트 트레이(1)가 로테이터 직하방으로 이송됨에 따라 이를 감지하여 구동수단의 구동을 제어하는 센서(61)로 구성되어 있다.

그리고 상기 회동암(59)을 설정된 각도만큼 회동시키는 구동수단은 축(58)의 하방에 고정된 레버(62)와, 상기 베이스의 저면에 설치되어 로드가 레버의 일단과 힌지 결합된 실린더(63)로 구성되어 있다.

도 11은 본 발명의 제 1, 2 엘리베이터부를 나타낸 사시도로서, 그 구성을 살펴보면 다음과 같다.

상기 제 1 엘리베이터부(40)는 테스트 싸이트(14)내에 위치된 테스트 트레이(1)의 수직하강 경로상의 외측에 위치되게 냉각챔버(15)의 하방에 설치되어 2단 동작하는 2단 실린더(64)와, 상기 2단 실린더의 상부 로드(64a)에 고정되어 2단 실린더의 구동에 따라 승강하는 승강블럭(65)과, 상기 2단 실린더의 하부 로드(64b)에 고정된 플레이트(66)와, 상기 플레이트의 양단에 고정되어 2단 실린더를 미세 승강시키는 셔터 구동실린더(67)와, 상기 승강블럭의 이송경로상에 수직되게 설치되어 승강블럭의 승강운동을 안내하는 제 1 가이드봉(68)과, 상기 승강블럭상에 고정되어 테스트 트레이의 저면이 얹혀지는 제 1 로드(69)로 구성되어 있다.

상기한 바와 같은 구조의 승강블럭(65)에는 테스트 싸이트(14)내에 위치하고 있던 테스트 트레이(1)를 냉각챔버(15)측으로 이송시 히팅챔버(12)내의 테스트 트레이를 동시에 테스트 싸이트내부로 이송시킬 수 있도록 승강블럭(65)의 양측에 제 2 로드(70)가 각각 고정되어 있고 상기 각 제 2 로드의 상면에는 히팅챔버(14)내의 테스트 트레이 저면이 접속되는 안착편(71)이 고정되어 있다.

상기 제 2 엘리베이터부(41)는 냉각챔버(15)에 위치된 테스트 트레이(1)의 수직상승 경로상의 외측에 위치되게 냉각챔버의 하방에 설치되어 2단 동작하는 2단 실린더(72)와, 상기 2단 실린더의 상부로드(72a)에 고정되어 2단 실린더의 구동에 따라 승강하는 승강블럭(73)과, 상기 2단 실린더의 하부 로드(72b)가 고정된 플레이트(74)와, 상기 플레이트의 양단에 고정되어 2단 실린더를 미세 승강시키는 셔터 구동실린더(75)와, 상기 승강블럭의 이송경로상에 수직되게 설치되어 승강블럭의 승강운동을 안내하는 제 2 가이드봉(76)과, 상기 승강블럭상에 고정되어 테스트 트레이의 저면이 얹혀지는 제 3 로드(77)로 구성되어 있다.

상기한 바와 같은 구조의 승강블럭(73)에는 냉각챔버(15)내에 위치하고 있던 테스트 트레이(1)를 로테이터(도시는 생략함)측으로 이송시 로테이터내의 테스트 트레이를 동시에 히팅챔버(12)의 내부로 이송시킬 수 있도록 승강블럭(73)의 양측에 제 4 로드(78)가 각각 고정되어 있고 상기 각 제 4 로드의 상면에는 로테이터내의 테스트 트레이 저면이 접속되는 안착봉(79)이 고정되어 있다.

이와 같이 구성된 본 발명의 작용을 설명하면 다음과 같다.

먼저, 도 8a와 같이 베이스(42)의 저면에 설치된 실린더(63)의 로드가 전진하여 회동암(59)이 테스트 싸이트(14)내에 있던 테스트 트레이(1)의 수직 이송경로상으로 회동된 상태에서부터 동작하게 된다.

상기한 바와 같이 회동암(59)이 테스트 싸이트(1)내에 있던 테스트 트레이(1)의 수직 이송경로상으로 회동된 상태에서는 링크(49)의 연장부(49b)가 제 1 스토퍼(55)에 의해 닿아 축(50)을 중심으로 회동되어 있으므로 상기 링크의 다른 일단에 힌지 결합된 시프트 블록(44)이 슬라이더(48)보다 더 이송되고, 이에 따라 상기 시프트 블록의 상면에 고정된 시프트봉(45)이 테스트 싸이트(1)의 송출구(도시는 생략함)의 직하방에 위치된다.

상기한 바와 같이 토글스프링(54)을 인장시키면서 회동된 시프트 블록(44)은 링크(49)에 외력이 작용되지 않는 한 토글스프링에 의해 도 8a와 같은 상태를 유지하게 된다.

한편, 테스트 트레이(1)를 수직으로 승,하강시키는 제 1, 2 엘리베이터부(40)(41)는 초기 상태에서 다음과 같은 상태를 유지하고 있다.

즉, 도 12a와 같이 제 1 엘리베이터부(40)의 2단 실린더(64)는 상사점에 위치되고 셔터 구동실린더(67)는 하사점에 위치되어 있으며, 제 2 엘리베이터부(41)의 2단 실린더(72) 및 셔터 구동실린더(75)는 전부 하사점에 위치되어 있다.

이러한 상태에서 테스트 싸이트(14)내에 위치하고 있던 테스트 트레이(1)를 냉각챔버(15)측으로, 그리고 히팅챔버(12)내에 위치하고 있던 테스트 트레이(1a)를 테스트 싸이트(14)의 내부로 수직 하강시키기 위해서는 테스트 싸이트(14) 및 히팅챔버(12)의 직하방에 위치된 송출셔터(도시는 생략함)를 각각 개방하여야 된다.

그렇지만, 각 송출셔터의 상면에 테스트 트레이(1)(1a)의 저면이 맞닿아 있으므로 테스트 트레이를 약간 상승시켜야 송출셔터의 개방이 가능해지게 된다.

상기 송출셔터의 개방을 위해, 제 1 엘리베이터부(40)의 셔터 구동실린더(67)를 구동하면 상기 셔터 구동실린더가 고정된 플레이트(66)가 상승하게 되므로 상기 플레이트에 하부 로드(64b)가 고정된 2단 실린더(64)가 셔터 구동실린더(67)의 스트로크만큼 상승하게 된다.

이와 같이 2단 실린더(64)가 셔터 구동실린더(67)의 스트로크만큼 상승하면 상기 2단 실린더의 상부 로드(64a)에 고정된 승강블럭(65)도 함께 상승하므로 테스트 싸이트(14) 및 히팅챔버(12)내에 있던 테스트 트레이(1)(1a)가 제 1, 2 로드(69)(70)의 상면에 얹혀진 상태로 도 12a에 일점쇄선으로 도시한 만큼 상승하게 되고, 이에 따라 송출셔터의 개방이 가능해지게 된다.

상기 송출셔터가 개방된 상태에서 상사점에 위치하고 있던 2단 실린더(64)가 구동하여 하사점에 도달하면 히팅챔버(12)내에 있던 테스트 트레이(1a)가 테스트 싸이트(14)측으로 수직 이송됨과 동시에 테스트 싸이트(14)내에 위치하고 있던 테스트 트레이(1)가 냉각챔버(15)측으로 수직 하강하여 도 12b와 같이 되므로 시프트 블록(44)의 상면에 고정된 시프트봉(45)사이에 끼워지게 된다.

이러한 상태에서 테스트 싸이트(14)내에 위치된 테스트 트레이(1a)는 송출셔터와 일정간격을 유지하게 되므로 송출셔터를 닫을 수 있게 된다.

상기 테스트 싸이트내의 송출셔터를 닫고 나면 상사점에 위치하고 있던 셔터 구동실린더(67)가 구동하여 플레이트(66)를 하사점에 위치시키게 되므로 테스트 싸이트내의 테스트 트레이가 송출셔터의 상면에 접속됨과 동시에 시프트봉(45)사이에 끼워져 있던 테스트 트레이(1)가 도 12b의 일점쇄선과 같이 시프트 블록(44)의 상면에 얹혀져 도 8a 및 도 9와 같은 상태가 된다.

상기한 바와 같은 동작으로 테스트 싸이트에서 테스트 트레이(1)에 로딩된 소자의 테스트가 완료된 상태로 테스트 트레이(1)가 냉각챔버(15)측으로 이송되고 나면 로딩된 소자가 설정된 시간동안 상온으로 냉각된다.

상기한 과정에서 소자의 냉각이 완료되면 테스트 트레이(1)로부터 소자를 언로딩하기 위해 로딩 및 언로딩부측으로 90°회동하는 로테이터측으로 이송시키기 위해 테스트 트레이(1)를 수평 이송시켜야 되는데, 이에 대하여 이하에서 구체적으로 설명하면 다음과 같다.

도 8a와 같은 상태에서 테스트 싸이트(14)의 송출측 직하방에 위치된 테스트 트레이(1)를 로테이터측으로 수직 상승시키기 위해 슬라이더(48)의 구동수단인 실린더(63)가 구동하여 전진하였던 로드를 잡아 당기기 시작하면 상기 로드의 선단에 힌지 결합된 레버(62)를 통해 그 힘이 축(58)에 전달되므로 실린더 로드의 직선 운동이 레버에 의해 회전운동으로 절환되고, 이에 따라 상기 레버의 일단에 고정된 축(58)이 회동되기 시작한다.

상기한 동작으로 축(58)이 회동하게 되면 상기 축의 상측에는 회동암(59)이 고정되어 있고 상기 회동암에 형성된 장공(59a)은 슬라이드(48)에 고정된 핀(60)에 끼워져 있어 상기 축(58)의 회동운동이 회동암(59)에 의해 다시 직선 왕복운동으로 절환되므로 슬라이더(48)가 제 2 LM가이더(47)를 따라 도 8a의 화살표방향으로 이동하기 시작한다.

상기 슬라이더(48)가 화살표방향으로 이송하기 시작하면 슬라이더가 화살표반대방향으로 이송시 제 1 스토퍼(55)에 의해 눌려 토글스프링(54)을 인장시키면서 화살표 반대방향으로 더 이송되었던 시프트 블록(44)은 토글스프링(54)에 의해 도 8a와 같은 상태를 유지하면서 제 1 LM가이더(43)에 안내되어 화살표방향으로 이송된다.

상기 동작시 시프트봉(45)사이에 끼워진 테스트 트레이(1)는 제 1 LM가이더(43)의 양측으로 위치된 가이드바(46)에 의해 일측으로 이탈하지 않고 안정적으로 이송된다.

계속되는 실린더(63)의 구동으로 로드가 더욱 당겨져 슬라이더(48)가 제 2 LM가이더(47)를 따라 이송되어 설정된 스트로크에 거의 도달하면 슬라이더(48)의 이송방향측으로 노출된 링크(49)의 연장부(49b)가 또 다른 제 1 스토퍼(55)에 의해 닿아 이송이 제어된 상태에서 슬라이더(48)가 계속 이송되므로 링크(49)가 축(50)을 중심으로 회동하면서 제 1 LM가이더(43)를 따라 이동하는 시프트 블록(44)을 슬라이더(48)의 이송방향으로 더욱 이송시키게 된다.

상기한 바와 같이 링크(49)의 회동으로 시프트 블록(44)을 슬라이더(48)의 이송방향으로 더욱 이송시킬 때 슬라이더(48) 및 링크(49)에 고정된 고정핀(53a)(53b)사이에 걸려 있던 토글스프링(54)이 어느 시점(고정핀이 슬라이더와 수평되는 시점)까지는 인장되다가 그 시점이 지나면 최대한 간격이 멀어졌던 고정핀(53a)(53b)사이의 간격이 가까워지므로 인장되었던 토글스프링(54)이 압축되고, 이에 따라 상기 링크(49)의 연장부(49a)가 제 1 스토퍼(55)와 닿지 않더라도 링크(49)가 계속적으로 회동하여 시프트 블록(44)을 더욱 이송시키게 되는데, 이 때 상기 시프트 블록(44)은 베이스(42)상에 고정된 제 2 스토퍼(56)에 걸리게 되므로 이송이 제어된다.

이와 같은 동작으로 도 8b와 같이 테스트 트레이(1)가 수평 이송되고 나면 시프트봉(45)에 끼워져 있던 테스트 트레이(1)는 로테이터의 직하방에 위치된다.

즉, 승강블럭(73)에 고정된 제 3 로드(77)의 직상부에 위치하게 된다.

상기 슬라이더(48)의 수평 이동으로 시프트봉(45)사이에 끼워진 테스트 트레이(1)가 도 8b와 같이 이송됨을 센서(61)가 감지하고 나면 제 2 엘리베이터부(41)가 구동하여 로테이터의 직하방에 위치되어 있던 테스트 트레이(1)를 소자의 언로딩을 위해 로테이터측으로 상승시켜야 된다.

상기 로테이터의 직하방에 위치된 테스트 트레이(1)를 로테이터측으로 수직 상승시키기 전에 로딩부에서 테스트할 소자를 로딩하였던 테스트 트레이(1b)는 로딩된 소자를 테스트조건으로 히팅시키기 위해 히팅챔버측으로 이송될 수 있도록 도 12b와 같이 로테이터에 장착되어 90°회동된 상태를 유지하고 히팅챔버(12)의 인입구측에 설치된 인입셔터(도시는 생략함)는 개방된 상태를 유지하고 있다.

이러한 상태에서 하사점에 위치하고 있던 제 2 엘리베이터부(41)의 2단 실린더(72)와 셔터 구동실린더(75)가 도 12c와 같이 동시에 상사점까지 상승하면 로테이터에 장착되어 있던 테스트 트레이(1b)는 제 4 로드(78)에 얹혀져 히팅챔버(12)의 내부로 상사점까지 상승하게 됨과 동시에 냉각챔버(15)내에 위치하고 있던 테스트 트레이(1)는 제 3 로드(77)에 얹혀져 로테이터내에 장착된다.

상기한 바와 같은 동작으로 냉각챔버(15)에 있던 테스트 트레이(1)가 로테이터측으로, 그리고 로테이터에 있던 테스트 트레이(1b)가 히팅챔버(12)의 내부로 이송되고 나면 히팅챔버(12)에 위치된 테스트 트레이가 인입셔터보다 상측에 위치하고 있으므로 개방되었던 인입셔터를 닫고 상사점에 위치하고 있던 2단 실린더(72) 및 셔터 구동실린더(75)를 도 12b와 같이 동시에 하사점까지 하강하여 새로운 테스트 트레이가 이송되기를 기다리게 된다.

테스트 완료된 소자가 로딩된 테스트 트레이(1)를 로테이터측으로 이송시키고 상기 제 2 엘리베이터부(41)가 초기상태로 환원되면 로드를 잡아 당겨 슬라이더(48)를 도 8a의 화살표방향으로 이송시켰던 실린더(63)가 재구동하여 로드를 전진시키게 되므로 전술한 바와 같은 동작으로 슬라이더(48)가 화살표 반대방향으로 이송되어 도 8a와 같은 상태가 된다.

즉, 로딩된 소자의 테스트가 완료된 새로운 테스트 트레이가 테스트 싸이트(14)로부터 이송되기를 테스트 싸이트(14)의 송출구 직하방에서 대기하게 된다.

이상에서와 같이 본 발명은 테스트 트레이를 수직상태로 세워 이송시키면서 테스트 트레이에 로딩된 소자를 상온으로 냉각시킨 다음 언로딩부의 로테이터측으로 수직 이송시키게 되므로 상기 냉각챔버를 테스트 싸이트의 직상부에 배치 가능하게 되고, 이에 따라 수평식 핸들러를 콤팩트하게 제작가능하게 됨과 동시에 장비의 설치에 따른 점유면적을 줄일 수 있게 된다.

Claims

테스트 싸이트에 진퇴가능하게 설치된 가동트랙의 직하방에 설치되어 테스트 트레이를 냉각챔버측으로 하강시키는 제 1 엘리베이터부와, 상기 냉각챔버의 베이스상에 설치된 가이드수단과, 상기 가이드수단을 따라 수평 이동가능하게 설치되며, 제 1 엘리베이터부에 의해 이송되는 테스트 트레이가 끼워지는 시프트봉이 구비되어 테스트 트레이를 언로딩부의 로테이터 직하방으로 이송시키는 트랜스퍼와, 상기 로테이터의 수직선상에 설치되어 트랜스퍼에 의해 로테이터의 직하방으로 이송된 테스트 트레이를 로테이터측으로 상승시키는 제 2 엘리베이터부로 구성된 것을 특징으로 하는 수평식 핸들러의 냉각챔버내에서의 테스트 트레이 이송장치.
제 1 항에 있어서,

제 1 엘리베이터부는 테스트 싸이트내에 위치된 테스트 트레이의 수직 하강 경로상의 외측에 위치되게 냉각챔버의 하방에 설치되어 2단 동작하는 2단 실린더와, 상기 2단 실린더의 상부 로드에 고정되어 2단 실린더의 구동에 따라 단계별로 승강하는 승강블럭과, 상기 2단 실린더의 하부 로드가 고정된 플레이트와, 상기 플레이트의 양단에 고정되어 2단 실린더를 미세 승강시키는 셔터 구동실린더와, 상기 승강블럭의 이송경로상에 수직되게 설치되어 승강블럭의 승강운동을 안내하는 제 1 가이드봉과, 상기 승강블럭상에 고정되어 테스트 트레이의 저면이 얹혀지는 제 1 로드로 구성된 것을 특징으로 하는 수평식 핸들러의 냉각챔버내에서의 테스트 트레이 이송장치.
제 2 항에 있어서,

승강블럭의 양측에 승강블럭의 하강시 히팅챔버의 내부에 위치된 테스트 트레이를 테스트 싸이트로 이송시키기 위한 제 2 로드를 각각 고정하고 상기 각 제 2 로드의 상면에는 테스트 트레이의 저면이 접속되는 안착편이 고정된 것을 특징으로 하는 수평식 핸들러의 냉각챔버내에서의 테스트 트레이 이송장치.
제 1 항에 있어서,

가이드수단은 베이스의 상면에 평행하게 설치된 한쌍의 제 1 LM가이더인 것을 특징으로 하는 수평식 핸들러의 냉각챔버내에서의 테스트 트레이 이송장치.
제 1 항에 있어서,

트랜스퍼는 상기 가이드수단에 이동가능하게 설치되며, 상측에는 제 1 엘리베이터부에 의해 이송되는 테스트 트레이가 끼워지는 시프트봉이 수직으로 고정된 한쌍의 시프트 블록과, 상기 시프트 블록사이에 위치되어 제 2 LM가이더를 따라 수평 이동하는 슬라이더와, 상기 슬라이더와 시프트 블록사이에 회동가능하게 설치되어 슬라이더의 수평 이동시 시프트 블록이 연동되도록 하는 링크와, 상기 슬라이더와 링크사이에 연결되어 링크가 회동된 상태를 유지시키는 토글스프링과, 상기 슬라이더의 좌우 행정거리의 외측에 설치되어 시프트 블록과 연결된 링크를 회동시켜 시프트봉을 테스트 트레이의 수직 이송경로상에 일치시키는 제 1 스토퍼와, 상기 베이스에 설치되어 슬라이더를 수평 이동시키는 슬라이더 이송수단으로 구성된 것을 특징으로 하는 수평식 핸들러의 냉각챔버내에서의 테스트 트레이 이송장치.
제 5 항에 있어서,

상기 제 1 LM가이더의 양측으로 테스트 트레이의 수평 이송시 시프트봉에 끼워진 테스트 트레이가 시프트봉에서 이탈되지 않도록 안내하는 가이드바가 설치된 것을 특징으로 하는 수평식 핸들러의 냉각챔버내에서의 테스트 트레이 이송장치.
제 5 항에 있어서,

상기 베이스상에 시프트 블록의 이송량을 제어하는 스토퍼수단이 더 구비된 것을 특징으로 하는 수평식 핸들러의 냉각챔버내에서의 테스트 트레이 이송장치.
제 7 항에 있어서,

스토퍼수단은 상기 시프트 블록의 좌우 행정거리에 해당하는 베이스상에 고정되어 시프트 블록의 측면이 닿게 됨에 따라 시프트 블록의 이송을 제어하는 제 2 스토퍼인 것을 특징으로 하는 수평식 핸들러의 냉각챔버내에서의 테스트 트레이 이송장치.
제 8 항에 있어서,

제 2 스토퍼의 외주면에 완충부재가 감싸여진 것을 특징으로 하는 수평식 핸들러의 냉각챔버내에서의 테스트 트레이 이송장치.
제 5 항에 있어서,

슬라이더의 양면에 링크의 일단을 각각 축으로 힌지 결합하고 다른 일단에 형성된 장공은 시프트 블록에 고정된 축에 결합하여서 된 것을 특징으로 하는 수평식 핸들러의 냉각챔버내에서의 테스트 트레이 이송장치.
제 10 항에 있어서,

시프트 블록에 고정된 축의 외주면에 장공의 내주면과 접속되게 베어링이 설치된 것을 특징으로 하는 수평식 핸들러의 냉각챔버내에서의 테스트 트레이 이송장치.
제 5 항에 있어서,

슬라이더 이송수단은 베이스의 일측에 회전가능하게 설치된 축과, 상기 축에 일단이 고정되고, 다른 일단에는 장공이 형성된 회동암과, 상기 회동암의 장공을 통해 슬라이더에 고정된 핀과, 상기 베이스에 설치된 축을 회전시키는 구동수단과. 상기 회동암의 회동으로 시프트봉에 삽입된 테스트 트레이가 로테이터 직하방으로 이송됨에 따라 이를 감지하여 구동수단의 구동을 제어하는 센서로 구성된 것을 특징으로 하는 수평식 핸들러의 냉각챔버내에서의 테스트 트레이 이송장치.
제 12 항에 있어서,

구동수단은 축의 하방에 고정된 레버와, 상기 베이스의 저면에 설치되어 로드가 레버의 일단과 힌지 결합된 실린더로 구성된 것을 특징으로 하는 수평식 핸들러의 냉각챔버내에서의 테스트 트레이 이송장치.
제 1 항에 있어서,

제 2 엘리베이터부는 냉각챔버에 위치된 테스트 트레이의 수직 상승 경로상의 외측에 위치되게 냉각챔버의 하방에 설치되어 2단 동작하는 2단 실린더와, 상기 2단 실린더의 상부 로드에 고정되어 2단 실린더의 구동에 따라 승강하는 승강블럭과, 상기 2단 실린더의 하부 로드가 고정된 플레이트와, 상기 플레이트의 양단에 고정되어 2단 실린더를 미세 승강시키는 셔터 구동실린더와, 상기 승강블럭의 이송경로상에 수직되게 설치되어 승강블럭의 승강운동을 안내하는 제 2 가이드봉과, 상기 승강블럭상에 고정되어 테스트 트레이의 저면이 얹혀지는 제 3 로드로 구성된 것을 특징으로 하는 수평식 핸들러의 냉각챔버내에서의 테스트 트레이 이송장치.
제 14 항에 있어서,

승강블럭의 양측에 승강블럭의 상승시 로테이터의 내부에 위치된 테스트 트레이를 히팅챔버로 이송시키기 위한 제 4 로드를 각각 고정하고 상기 각 제 4 로드의 상면에는 테스트 트레이의 저면이 접속되는 안착봉이 고정된 것을 특징으로 하는 수평식 핸들러의 냉각챔버내에서의 테스트 트레이 이송장치.