KR100262270B1 - 수평식 핸들러에서 테스트 트레이내로 소자를 로딩/언로딩하는방법 및 그 장치 - Google Patents

수평식 핸들러에서 테스트 트레이내로 소자를 로딩/언로딩하는방법 및 그 장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 수평식 핸들러에서 고객 트레이에 담겨져 있던 소자를 테스트 트레이내에 로딩하거나, 테스트 트레이에 로딩된 상태에서 테스트 완료되고 나면 이를 언로딩부의 고객 트레이내에 다시 언로딩하는 방법 및 그 장치에 관한 것으로 소자의 로딩 및 언로딩에 따른 시간을 최소화할 수 있도록 한 것이다.
이를 위해, 로딩 및 언로딩 스테이션상에 설치된 X - Y축 레일(24)(25)을 따라 이동하면서 소자를 흡착하여 운반하는 운반 픽커(13)와, 측판의 일측에 진퇴가능하게 설치되어 운반 픽커에 의해 이송되어 오는 테스트할 소자를 로딩 포지션에 연속적으로 일치시키는 로딩 버퍼부(14)와, 상기 로딩 버퍼부의 반대편에 위치하는 측판에 진퇴가능하게 설치되어 테스트가 완료된 소자가 분류되어 담겨지는 언로딩 버퍼부(15)와, 상기 로딩 버퍼부와 언로딩 버퍼부사이에 설치되어 로딩 버퍼부에 있던 테스트할 소자가 담겨지거나, 언로딩 버퍼부에 담겨질 테스트 완료된 소자가 담겨지는 제 1, 2 얼라인 블럭(16a)(16b)과, 상기 2개의 얼라인 블럭을 안착시켜 어느 하나의 얼라인 블럭을 로딩 및 언로딩 포지션에 위치시킴과 동시에 다른 일측의 얼라인 블럭을 승강 포지션에 위치시키는 슬라이더(17)와, 상기 슬라이더에 안착되어 승강 포지션에 위치된 얼라인 블럭을 분리하여 테스트 트레이(1)측으로 전후 또는 승강운동하면서 테스트할 소자(90)를 운반하거나, 테스트 완료된 소자를 테스트 트레이에서 승강 포지션으로 운반하는 얼라인 블럭 이송수단(18)과, 상기 테스트 트레이의 직상부에 전후 이동가능하게 설치되어 얼라인 블럭 이송수단이 테스트할 소자(90)를 테스트 트레이(1)의 캐리어 모듈(19)에 넣거나, 테스트 완료된 소자를 꺼낼 때 캐리어 모듈의 걸림편(20)을 벌리거나, 복원시키는 걸림편 벌림수단(21)과, 상기 로딩 및 언로딩 포지션의 수평선상을 따라 독립적으로 동작되게 직상부에 설치되어 로딩 버퍼부내의 소자를 얼라인 블럭으로 운반하여 담거나, 얼라인 블럭에 담겨진 소자를 언로딩 버퍼부측으로 운반하는 로딩 픽커 및 언로딩 픽커(22)(23)로 구성되어 있어 1개의 얼라인 블럭에서 테스트 완료된 소자를 언로딩 픽커(23)가 언로딩하여 언로딩 버퍼내에 옮길 때 로딩 픽커(22)가 로딩 버퍼내의 소자를 얼라인 블럭의 빈공간으로 계속해서 담게 됨은 물론 다른 1개의 얼라인 블럭은 테스트할 소자를 테스트 트레이의 빈 캐리어 모듈에 로딩한 다음 테스트 완료된 소자를 다른 열의 캐리어 모듈로부터 분리하여 승강 포지션을 통해 이송되어 대기하게 되므로 소자의 로딩 및 언로딩에 따른 시간을 최소화하게 된다.

Description

수평식 핸들러에서 테스트 트레이내로 소자를 로딩/언로딩하는 방법 및 그 장치
본 발명은 수평식 핸들러에서 고객 트레이에 담겨져 있던 소자를 테스트 트레이내에 로딩하거나, 테스트 트레이에 로딩된 상태에서 테스트 완료되고 나면 이를 언로딩부의 고객 트레이내에 다시 언로딩하는 방법 및 그 장치에 관한 것으로서, 좀 더 구체적으로는 소자의 로딩 및 언로딩에 따른 시간을 최소화할 수 있도록 한 것이다.
도 1은 종래의 장치를 나타낸 평면도이고 도 2는 도 1의 A - A선 단면도로서, 소자의 로딩 및 언로딩부위에 위치하는 테스트 트레이(1)의 양측면으로는 평행하게 측판(2)이 설치되어 있고 상기 측판에 고정된 가이드 레일(3)에는 수평 이동하는 슬라이드판(4)이 설치되어 있다.
그리고 상기 슬라이드판(4)에는 얼라인 블럭(5)을 테스트 트레이(1)의 저면에 밀착시키는 제 1 실린더(6)가 설치되어 있고 상기 제 1 실린더의 로드는 승강판(7)과 고정되어 있으며 승강판(7)과 얼라인 블럭(5)은 가이드축(8)에 의해 고정되어 있다.
또한, 상기 승강판(7)에 제 2 실린더(9)가 고정되어 있고 상기 제 2 실린더의 로드는 설치판(10)과 고정되어 있으며 상기 설치판의 상면에는 다수개의 소자 안착블럭(11)이 고정된 패드(12)가 고정되어 있다.
따라서 소자가 로딩되는 테스트 트레이(1)는 소자의 로딩지점에 위치되고, 소자의 위치를 재조정하여 테스트 트레이측으로 이송시켜 로딩하는 얼라인 블럭(5)은 픽커(도시는 생략함)에 의해 이송된 소자가 얹혀지는 지점에 위치된 상태에서 픽커가 버퍼에 담겨져 있던 다수개의 소자를 흡착하여 소자간의 간격을 조절한 다음 얼라인 블럭의 상면으로 공급하면 소자는 상기 얼라인 블럭(5)에 담겨지면서 위치가 재정렬된다.
상기한 바와 같은 동작으로 픽커에 의해 이송되어 온 다수개의 소자가 위치결정되고 나면 슬라이드판(4)이 가이드 레일(3)을 따라 테스트 트레이(1)의 저면으로 이송되어 얼라인 블럭(5)에 얹혀진 소자를 테스트 트레이(1)에 장착된 1열의 캐리어 모듈과 일치시킨다.
그후, 슬라이드판(4)에 설치된 제 1 실린더(6)가 동작하여 로드를 상승시키면 상기 로드가 승강판(7)에 고정되어 있고 상기 승강판은 가이드축(8)으로 얼라인 블럭(5)과 고정되어 있으므로 얼라인 블럭(5)의 상면이 테스트 트레이(1)의 저면에 밀착된다.
이러한 상태에서 승강판(7)에 설치된 제 2 실린더(9)가 동작하여 로드를 상승시키면 상기 로드는 패드(12)와 고정된 설치판(10)에 고정되어 있어 상기 설치판과 패드가 동시에 상승되고, 이에 따라 상기 패드에 고정된 다수개의 소자 안착블럭(11)이 동시에 상승하게 되므로 얼라인 블럭(5)내에 얹혀져 있던 소자가 캐리어 모듈의 캐비티(도시는 생략함)내에 로딩된다.
상기 캐리어 모듈의 캐비티내에 로딩된 소자는 별도의 걸림수단에 의해 걸려 지지되므로 소자 안착블럭(11)이 하강하더라도 테스트 트레이(1)의 이송간에 캐비티내에서 이탈되지 않는다.
상기한 바와 같은 동작으로 얼라인 블럭(5)에 얹혀져 있던 소자를 테스트 트레이(1)에 로딩시키고 나면 제 1, 2 실린더(6)(9)가 차례로 하강한 다음 슬라이드판(4)이 일측으로 1스탭 이동하게 되므로 전술한 바와 같은 동작으로 제 1, 2 실린더(6)(9)가 차례로 동작하여 테스트 완료된 소자를 테스트 트레이(1)로 부터 언로딩시키게 된다.
이는, 실제 소자의 테스트 작업시 테스트 트레이(1)내에 소자를 로딩하여 테스트부에서 테스트를 실시하고 나면 테스트 결과에 따라 소자의 로딩 및 언로딩지점에서 테스트 완료된 소자를 언로딩시킴과 동시에 빈 캐리어 모듈에 새로운 소자를 로딩시키게 되므로 가능하다.
이와 같이 테스트 완료된 소자를 캐리어 모듈에서 언로딩시키고 나면 슬라이드판(4)은 소자의 소팅 포지션(sorting position)으로 복귀하게 되므로 얼라인 블럭(5)에 얹혀져 있던 소자를 픽커가 흡착하여 테스트 결과에 따라 언로딩부에 위치되어 있던 빈 고객 트레이내에 분류하여 담게 된다.
상기 얼라인 블럭(5)내에 얹혀져 있던 소자의 분류작업을 마치고 나면 최초와 마찬가지로 픽커가 고객 트레이내에 담겨져 있던 새로운 소자(테스트하지 않은 소자)를 흡착하여 얼라인 블럭(5)의 상면에 얹어 놓게 되므로 계속적인 작업이 가능해지게 된다.
그러나 이러한 종래의 장치는 1개의 얼라인 블럭(5)을 슬라이드판(4)에 승강가능하게 설치하여 위치 결정된 소자를 테스트 트레이(1)의 캐리어 모듈에 로딩시킨 다음 테스트 완료된 소자를 언로딩하여 분류작업을 마친 후 새로운 소자를 얹어 위치 결정하게 되므로 소자의 로딩 및 언로딩에 따른 작업시간이 오래 걸리게 된다.
즉, 슬라이드판(4)의 이송간 또는 소자의 로딩 및 언로딩작업시에는 다른 작업을 하지 못하게 되므로 고가장비인 테스터 및 핸들러의 가동률을 저하시키게 되는 결과를 초래하게 되었다.
본 발명은 종래의 이와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출한 것으로 소자의 위치를 재결정하는 얼라인 블럭을 2개 설치하고 상기 얼라인 블럭의 양측으로는 로딩 버퍼부 및 언로딩 버퍼부를 구비함과 동시에 소자의 로딩 및 언로딩 포지션에 각각 독립적으로 구동하는 로딩 픽커와 언로딩 픽커를 인라인으로 설치하여 얼라인 블럭에 담겨진 소자를 테스트 트레이에 넣거나, 꺼내는 동안에 다른 1개의 얼라인 블럭에 소자를 로딩하거나, 언로딩하도록 하므로서, 장비의 가동률을 극대화시킬 수 있도록 하는데 그 목적이 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 형태에 따르면, 로딩 버퍼내에 소자가 없음이 감지되면 로딩 스테이션에 위치된 고객트레이로부터 운반 픽커가 복수개의 소자를 흡착하여 로딩 버퍼내에 담거나, 언로딩 버퍼내에 1열의 소자가 담겨짐이 감지되면 운반 픽커가 이를 흡착하여 언로딩 포지션에 위치된 고객 트레이내에 담는 단계와, 상기 로딩 버퍼내에 테스트 할 소자가 채워지면 채워진 소자를 로딩 픽커에 의해 흡착할 수 있는 위치로 로딩 버퍼를 이송시키는 단계와, 상기 로딩 픽커에 의해 흡착가능한 위치로 로딩 버퍼가 이송되면 로딩 픽커가 소자를 흡착하여 얼라인 블럭의 빈 공간으로 옮기거나, 테스트 완료되어 얼라인 블럭내에 담겨져 있던 소자를 언로딩 픽커가 흡착하여 언로딩 버퍼의 빈 공간으로 옮기는 단계와, 소자의 로딩 및 언로딩 포지션에 위치된 얼라인 블럭내에 소자가 가득 채워지면 소자가 담겨진 얼라인 블럭을 로딩 및 언로딩 포지션의 양측에 위치된 승강 포지션 중 어느 하나의 승강 포지션으로 이송시킴과 동시에 테스트 완료된 소자가 담겨진 또 다른 얼라인 블럭을 로딩 및 언로딩 포지션으로 이송시키는 단계와, 상기 승강 포지션으로 이송된 얼라인 블럭을 하강시킨 다음 테스트 트레이에 장착된 빈 캐리어 모듈의 직하방으로 이송시키는 단계와, 테스트 트레이의 빈 캐리어 모듈의 직하방으로 이송된 얼라인 블럭내의 소자를 테스트 트레이에 로딩하는 단계와, 상기 소자를 로딩하고 난 빈 얼라인 블럭을 테스트 트레이의 다른 열로 이송시켜 테스트 완료된 소자를 언로딩하여 얼라인 블럭내에 담는 단계와, 테스트 완료된 소자가 담겨진 얼라인 블럭을 승강 포지션으로 이송시켜 언로딩하기 위해 대기하는 단계로 이루어진 수평식 핸들러에서 테스트 트레이내로 소자를 로딩/언로딩하는 방법이 제공된다.
본 발명의 다른 형태에 따르면, 로딩 및 언로딩 스테이션상에 설치된 X - Y축 레일을 따라 X - Y 방향으로 이동하면서 소자를 흡착하여 운반하는 운반 픽커와, 측판의 일측에 진퇴가능하게 설치되어 운반 픽커에 의해 이송되어 오는 테스트할 소자를 로딩 포지션에 연속적으로 일치시키는 로딩 버퍼부와, 상기 로딩 버퍼부의 반대편에 위치하는 측판에 진퇴가능하게 설치되어 테스트가 완료된 소자가 분류되어 담겨지는 언로딩 버퍼부와, 상기 로딩 버퍼부와 언로딩 버퍼부사이에 설치되어 로딩 버퍼부에 있던 테스트할 소자가 담겨지거나, 언로딩 버퍼부에 담겨질 테스트 완료된 소자가 담겨지는 제 1, 2 얼라인 블럭과, 상기 2개의 얼라인 블럭을 안착시켜 어느 하나의 얼라인 블럭을 로딩 및 언로딩 포지션에 위치시킴과 동시에 다른 일측의 얼라인 블럭을 승강 포지션에 위치시키는 슬라이더와, 상기 슬라이더에 안착되어 승강 포지션에 위치된 얼라인 블럭을 분리하여 테스트 트레이측으로 전후 또는 승강운동하면서 테스트할 소자를 운반하거나, 테스트 완료된 소자를 테스트 트레이에서 승강 포지션으로 운반하는 얼라인 블럭 이송수단과, 상기 테스트 트레이의 직상부에 전후 이동가능하게 설치되어 얼라인 블럭 이송수단이 테스트할 소자를 테스트 트레이의 캐리어 모듈에 넣거나, 테스트 완료된 소자를 꺼낼 때 캐리어 모듈의 걸림편을 벌리거나, 복원시키는 걸림편 벌림수단과, 상기 로딩 및 언로딩 포지션의 수평선상을 따라 독립적으로 동작되게 직상부에 설치되어 로딩 버퍼부내의 소자를 얼라인 블럭으로 운반하여 담거나, 얼라인 블럭에 담겨진 소자를 언로딩 버퍼부측으로 운반하는 로딩 픽커 및 언로딩 픽커로 구성된 것을 특징으로 하는 수평식 핸들러에서 테스트 트레이내로 소자를 로딩/언로딩하는 장치가 제공된다.
도 1은 종래의 장치를 나타낸 평면도
도 2는 도 1의 A - A선 단면도
도 3은 본 발명을 나타낸 사시도
도 4는 도 3의 평면도
도 5는 도 3의 정면도
도 6은 본 발명의 운반 픽커 그리고 로딩 및 언로딩 픽커가 설치된 상태의 사시도
도 7은 도 6의 측면도
도 8은 본 발명의 로딩 및 언로딩 픽커가 설치된 상태의 사시도
도 9는 도 8의 평면도
도 10은 로딩 버퍼부를 나타낸 사시도
도 11은 도 10의 평면도
도 12는 언로딩 버퍼부를 나타낸 사시도
도 13은 얼라인 블럭의 이송수단을 나타낸 사시도
도 14는 이송수단이 슬라이더의 직하방에 위치된 상태를 일부 단면으로 나타낸 정면도
도 15는 캐리어 모듈의 걸림편 벌림수단을 나타낸 사시도
도 16은 도 15의 일부를 단면으로 나타낸 정면도
도 17a 및 도 17b는 로딩 버퍼내의 소자를 얼라인 블럭에 로딩함과 동시에 얼라인 블럭에 담겨져 있던 소자를 언로딩하는 동작을 설명하기 위한 평면도로서,
도 17a는 제 1 로딩 버퍼가 운반 픽커에 의해 소자를 공급받는 위치로 이송되고, 제 2 로딩 버퍼는 소자의 로딩 포지션에 위치된 상태도
도 17b는 제 1 얼라인 블럭에 소자가 전부 채워짐에 따라 승강 포지션으로 이송됨과 동시에 제 2 얼라인 블럭이 로딩 및 언로딩 포지션으로 이송된 상태도
도 18a 내지 도 18c는 얼라인 블럭에 채워진 소자를 테스트 트레이의 빈 캐리어 모듈에 로딩하는 상태를 설명하기 위한 종단면도
도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
13 : 운반 픽커 14 : 로딩 버퍼부
15 : 언로딩 버퍼부 16 : 얼라인 블럭
17 : 슬라이더 18 : 얼라인 블럭 이송수단
21 : 걸림편 벌림수단 22 : 로딩 픽커
23 : 언로딩 픽커 35 : 측판
39, 40 : 구동실린더 43, 44 : 피치 실린더
46, 47 : 제 1, 2 로딩 버퍼 56, 57 : 제 1, 2 언로딩 버퍼
71 : 제 1 승강판 75 : 소자 안착블럭
82 : 푸셔 84 : 푸셔 구동용 실린더
이하, 본 발명을 일 실시예로 도시한 도 3 내지 도 18을 참고하여 더욱 상세히 설명하면 다음과 같다.
도 3은 본 발명을 나타낸 사시도이고 도 4는 도 3의 평면도이며 도 5는 도 3의 정면도로서, 본 발명은 고객 트레이로부터 테스트할 소자를 운반하거나, 테스트 완료된 소자를 고객 트레이로 운반하는 운반 픽커(13)와, 테스트할 소자를 로딩 포지션에 연속적으로 일치시키는 로딩 버퍼부(14)와, 테스트 완료된 소자가 분류되어 담겨지는 언로딩 버퍼부(15)와, 상기 로딩 버퍼부와 언로딩 버퍼부사이에 설치되어 테스트할 소자가 담겨지거나, 테스트 완료된 소자가 담겨지는 제 1, 2 얼라인 블럭(16a)(16b)과, 상기 2개의 얼라인 블럭을 로딩 및 언로딩 포지션 또는 승강 포지션에 위치시키는 슬라이더(17)와, 상기 승강 포지션에 위치된 얼라인 블럭을 분리하여 운반하는 얼라인 블럭 이송수단(18)과, 상기 캐리어 모듈(19)의 걸림편(20)을 벌리거나, 복원시키는 걸림편 벌림수단(21)과, 상기 로딩 버퍼부내의 소자를 얼라인 블럭으로 운반하는 로딩 픽커(22)와, 상기 얼라인 블럭에 담겨진 소자를 언로딩 버퍼부측으로 운반하는 언로딩 픽커(23) 등으로 구성되어 있다.
도 6은 본 발명의 운반 픽커 그리고 로딩 및 언로딩 픽커가 설치된 상태의 사시도이고 도 7은 도 6의 측면도로서, 상기 로딩 버퍼부(14)와 언로딩 버퍼부(15)의 외측으로 위치되게 Y축 레일(24)이 평행하게 설치되어 있고 상기 Y축 레일사이에는 X축 레일(25)이 Y축 레일을 따라 이동가능하게 설치되어 있으며 상기 X축 레일(25)에는 진공압에 의해 소자를 흡착하는 공지의 운반 픽커(13)가 X축 레일(25)을 따라 이동가능하게 설치되어 있다.
상기 Y축 레일(24)에 모터(도시는 생략함)의 구동에 의해 회전하는 풀리(26)가 설치되어 있고 상기 풀리에는 타이밍 벨트(27a)가 감겨져 있으며 상기 타이밍 벨트상에는 X축 레일(25)이 매달려 있어 모터의 구동에 따라 풀리(26)가 회전함에 따라 X축 레일(25)이 Y축 레일(24)을 따라 이동하게 된다.
그리고 X축 레일(25)에도 Y축 레일(24)과 마찬가지로 모터(도시는 생략함)의 구동에 의해 회전하는 풀리(28)가 설치되어 있고 상기 풀리에는 타이밍 벨트(27b)가 감겨져 있으며 상기 타이밍 벨트상에는 운반 픽커(13)가 매달려 있어 모터의 구동으로 풀리(28)가 회전함에 따라 상기 운반 픽커(13)가 X축 레일(25)을 따라 이동하게 된다.
도 8은 본 발명의 로딩 및 언로딩 픽커가 설치된 상태의 사시도로서, 로딩 및 언로딩 포지션의 직상부에 지지판(29)이 설치되어 있고 상기 지지판에 회전 가능하게 설치된 한쌍의 풀리(30)(31)에는 모터(32)의 구동에 따라 이동하는 한쌍의 타이밍 벨트(33)(34)가 중첩되게 감겨져 있으며 상기 각 타이밍 벨트에는 테스트할 소자를 로딩 버퍼부(14)로부터 얼라인 블럭으로 운반하는 로딩 픽커(22)와, 테스트 완료된 소자를 얼라인 블럭으로부터 언로딩 버퍼부(15)측으로 운반하는 언로딩 픽커(23)가 각각 고정되어 있다.
이 때, 일측의 타이밍 벨트(33)는 로딩 버퍼부(14)와 도면상 얼라인 블럭(16)의 우측 끝단에 걸쳐 설치되고, 다른 일측의 타이밍 벨트(34)는 언로딩 버퍼부(15)와 도면상 얼라인 블럭(16)의 좌측 끝단에 걸쳐 설치된다.
이는, 상기 타이밍 벨트(33)에 고정된 로딩 픽커(22)가 로딩 버퍼부에 위치된 소자를 흡착하여 얼라인 블럭(16)으로 운반하고, 타이밍 벨트(34)에 고정된 언로딩 픽커(23)은 얼라인 블럭(16)내의 소자를 흡착하여 로딩 버퍼측으로 운반하기 때문이다.
상기 로딩 픽커(22) 및 언로딩 픽커(23)는 모터의 구동에 따라 상호 충돌하지 않는 범위내에서 동일방향 또는 반대방향으로 각각 별개 동작하게 된다.
따라서 모터(32)의 구동에 따른 회전수가 감속기(도시는 생략함)에 의해 감속된 상태로 풀리(30)(31)에 전달되어 타이밍 벨트(33)(34)가 감겨진 풀리를 회전시킴에 따라 로딩 픽커(22)와 언로딩 픽커(23)가 로딩 및 언로딩 포지션의 수평선상을 따라 독립적으로 이동하면서 소자를 운반하게 된다.
도 10은 로딩 버퍼부를 나타낸 사시도이고 도 11은 도 10의 평면도로서, 로딩 버퍼부(14)는 측판(35)의 일측에 고정된 베이스(36)와, 상기 베이스에 평행하게 설치된 한쌍의 가이드 레일(37)과, 상기 가이드 레일사이에 위치된 브라켓(38)에 설치된 2개의 구동실린더(39)(40)와, 상기 각 가이드 레일을 따라 이동 가능하게 설치되어 구동실린더의 로드와 고정된 이동블럭(41)(42)과, 상기 각 이동블럭에 고정되어 구동실린더와 별도로 구동하는 피치 실린더(43)(44)와, 상기 각 피치 실린더의 로드에 고정되어 가이드 레일(37)을 따라 이동하며, 상면에는 소자가 담겨지는 복수개의 버퍼(45)가 형성된 제 1, 2 로딩 버퍼(46)(47)로 구성되어 있다.
상기 구동실린더(39)(40)는 운반 픽커(13)에 의해 흡착된 소자가 담겨지는 위치로 제 1, 2 로딩 버퍼(46)(47)를 이동시키거나, 소자가 담겨진 제 1, 2 로딩 버퍼(46)(47)를 소자의 로딩 포지션으로 이동시키는 역할을 하는 것이고, 피치 실린더(43)(44)는 제 1, 2 로딩 버퍼(46)(47)에 담겨진 소자를 로딩 포지션으로 위치시키는 역할을 하게 된다.
즉, 구동실린더(39)의 로드가 최대한 인출되고, 피치 실린더(43)의 로드가 당겨져 있을 경우에는 제 1 로딩 버퍼(46)는 운반 픽커(13)에 의해 소자가 담겨지는 지점에 위치되고, 구동실린더(40) 및 피치 실린더(44)의 로드가 최대한 당겨져 있을 경우에는 제 2 로딩 버퍼(47)의 제 1 열이 로딩 포지션에 위치되며, 구동실린더(40)의 로드가 최대한 당겨지고 피치 실린더(44)의 로드는 최대한 인출되어 있을 경우에는 제 2 로딩 버퍼(47)의 제 2 열이 로딩 포지션에 위치된다.
도 12는 언로딩 버퍼부를 나타낸 사시도로서, 언로딩 버퍼부(15)는 로딩 버퍼부(14)가 설치된 측판(35)의 반대측에 위치하는 측판에 고정된 베이스(48)와, 상기 베이스에 평행하게 설치된 한쌍의 가이드 레일(49)(50)과, 상기 가이드 레일의 일측에 설치된 모터의 구동에 따라 회전하는 한쌍의 풀리(51)(52)와, 상기 풀리사이에 감겨진 타이밍 벨트(53)(54)와, 상기 가이드 레일에 안내되어 이동하고 상면에는 소자가 담겨지는 복수열의 버퍼(55)가 형성되어 타이밍 벨트에 고정되는 제 1, 2 언로딩 버퍼(56)(57)와, 상기 언로딩 버퍼의 이송경로상에 위치되게 베이스에 설치되어 모터의 구동을 제어하는 센서(58)(59)로 구성되어 있다.
따라서 언로딩 픽커(23)가 얼라인 블럭(16)으로부터 테스트 완료된 소자를 운반하여 언로딩 포지션에 위치된 어느 1열의 버퍼(55)에 소자가 전부 채워지면 모터의 구동으로 제 1, 2 언로딩 버퍼(56)(57)가 가이드 레일(49)(50)을 따라 1스탭 이동하게 되므로 운반 픽커(13)가 버퍼에 채워진 소자를 흡착하여 언로딩부에 위치된 빈 고객트레이내에 담을 수 있게 된다.
도 13은 얼라인 블럭의 이송수단을 나타낸 사시도이고 도 14는 이송수단이 슬라이더의 직하방에 위치된 상태를 일부 단면으로 나타낸 정면도로서, 한쌍의 측판(35)에 대향되게 고정된 제 1 LM가이더(60)에 슬라이더(17)가 전,후방향으로 1스탭씩 이동 가능하게 설치되어 있고 상기 슬라이더에는 고객 트레이내에 담겨져 있던 소자가 담겨지거나, 테스트 완료된 소자가 담겨지는 제 1, 2 얼라인 블럭(16a)(16b)이 슬라이더(17)의 저면에 설치된 록킹 실린더(61)의 구동에 따라 슬라이더에 록킹되거나, 록킹이 해제되도록 되어 있다.
상기 제 1, 2 얼라인 블럭(16a)(16b)의 양측에 위치결정공(62)이 형성된 안착편(63)이 고정되어 있고 상기 안착편(63)의 저면 양단에는 걸림홈(64)이 형성되어 있어 록킹 실린더(61)의 구동으로 로드의 선단에 고정된 스토퍼(65)가 걸림홈(64)내에 위치됨에 따라 얼라인 블럭(16)이 슬라이더(17)에 록킹된다.
이 때, 슬라이더(17)에 고정된 위치결정핀(66)은 안착편(63)에 형성된 위치결정공(62)내에 끼워지게 있다.
상기 제 1, 2 얼라인블럭(16a)(16b)이 록킹된 슬라이더(17)가 이송수단의 구동으로 1스탭씩 전,후진 이송됨에 따라 슬라이더의 일단에 고정된 감지편(67)을 센서(68)가 감지하면 슬라이더의 이송이 제어되어 제 1, 2 얼라인 블럭(16a)(16b) 중 어느 하나의 얼라인 블럭이 소자의 로딩 및 언로딩 포지션에 위치하고, 다른 하나의 얼라인 블럭은 승강 포지션에 위치하게 된다.
상기 승강 포지션은 슬라이더(17)가 1스탭씩 전,후진 동작을 하므로 로딩 및 언로딩 포지션의 양측에 위치하게 된다.
또한, 측판(35)에 대향되게 설치되어 슬라이더(17)의 이송을 가이드하는 제 1 LM가이더(60)와 평행하게 설치된 또 다른 제 2 LM가이더(69)에 슬라이드판(70)이 고정되어 있고 상기 슬라이드판에는 제 1 승강판(71)을 승강시키는 제 1 실린더(72)가 설치되어 있으며 제 1 승강판에는 설치판(73)을 승강시키는 제 2 실린더(74)가 설치되어 있다.
이 때, 상기 제 1 실린더(72)의 로드는 제 1 승강판(71)에 고정되어 있고 제 2 실린더(74)의 로드는 설치판(73)에 고정되어 있으며 설치판의 상면에는 다수개의 소자 안착블럭(75)이 고정된 패드(76)가 설치되어 있다.
상기 얼라인 블럭 이송수단(18)에 얼라인 블럭이 안착되면 패드(76)에 고정된 소자 안착블럭(75)이 얼라인 블럭에 형성된 공간부(16c)를 통해 캐비티내에 위치하게 된다.
이는, 얼라인 블럭(16)에 담겨진 복수개의 소자를 테스트 트레이(1)의 캐리어 모듈(19)에 로딩시 소자 안착블럭(75)이 상승하여 얼라인 블럭에 있던 복수개의 소자를 동시에 캐리어 모듈(19)의 캐비티(19a)내에 로딩하도록 하기 위함이다.
도 15는 캐리어 모듈의 걸림편 벌림수단을 나타낸 사시도이고 도 16은 도 15의 일부를 단면으로 나타낸 정면도로서, 측판(35)에 고정된 제 3 LM가이더(77)를 따라 테스트 트레이(1)의 각 열로 진퇴운동하는 상판(78)에 제 3 실린더(79)의 구동에 따라 승강하는 제 2 승강판(80)이 설치되어 있고 상기 제 2 승강판(80)의 저면에 고정된 설치판(81)에는 저면에 다수개(테스트 트레이의 1열에 해당하는)의 푸셔(82)가 고정된 제 3 승강판(83)이 승강가능하게 설치되어 있으며 제 2 승강판(80)의 상면에는 설치판(81)을 통해 제 3 승강판(83)과 고정되는 푸셔 구동용 실린더(84)가 설치되어 있다.
그리고 상기 제 3 승강판(83)의 저면 양측에 제 3 승강판의 승강에 따른 공간을 확보하도록 스페이서(85)가 고정되어 있고 푸셔(82)의 사이에 위치하는 하판(86)에는 설치판(81)과 제 3 승강판(83) 그리고 스페이서(85)를 관통하여 취출핀(87)이 스프링(88)으로 탄력 설치되어 있으며 상기 취출핀의 상부에는 소자의 로딩작업시 얼라인 블럭(16)에 소자가 있는지 없는지를 판단하는 센서(89)와 같은 소자 검출수단이 구비되어 있다.
이와 같이 구성된 본 발명의 작용을 설명하면 다음과 같다.
먼저, 테스트할 소자가 담겨진 고객 트레이는 로딩 스테이션에 위치되고, 로딩 버퍼부(14)에 위치된 제 1, 2 로딩버퍼(46)(47)는 운반 픽커(13)에 의해 흡착된 소자가 담겨지는 위치로 이송된 상태에서 동작하여 운반 픽커(13)에 의해 로딩 버퍼부(14)로 이송된 소자를 로딩 픽커(22)가 흡착하여 얼라인 블럭(16)에 얹어 놓음에 따라 얼라인 블럭에 얹혀진 소자를 얼라인 블럭 이송수단(18) 및 걸림편 벌림수단(21)에 의해 테스트 트레이(1)의 캐리어 모듈(19)에 로딩하는 동작을 반복적으로 실시한 후 상기 테스트 트레이가 테스트 싸이트(test site)로 이송되어 테스트를 완료하고 남에 따라 테스트 완료된 소자를 테스트 결과에 따라 분류하기 위해 테스트 트레이가 소자의 로딩위치인 초기상태로 환원되는 동작을 반복적으로 실시하게 된다.
그러나 설명의 편의상, 테스트 완료된 소자가 매달린 테스트 트레이(1)가 소자의 로딩지점에 위치하여 제 1, 2 얼라인 블럭(16a)(16b)이 테스트 트레이(1)에 로딩되어 있던 1열의 소자를 각각 꺼내 제 1 얼라인 블럭(16a)이 로딩 및 언로딩 포지션에 위치됨과 동시에 제 2 얼라인 블럭(16b)은 슬라이더(17)에 얹혀져 승강 포지션에 위치되고, 제 1, 2 로딩 버퍼(46)(47) 중 제 1 로딩 버퍼(46)가 비어 운반 픽커(13)에 의해 흡착된 소자가 담겨지는 위치로 이동됨과 동시에 제 2 로딩 버퍼(47)에는 소자가 채워져 어느 1열이 로딩 포지션에 일치된 상태에서부터 설명하기로 한다.
즉, 도 17a와 같이 제 1 로딩 버퍼(46)가 운반 픽커(13)에 의해 소자를 공급받을 수 있도록 구동실린더(39)와 피치 실린더(43)의 로드가 최대한 인출되어 장비의 전면측으로 이동되고, 제 2 로딩 버퍼(47)는 구동실린더(40)의 로드가 당겨짐과 동시에 피치 실린더(44)의 로드가 인출되어 있어 상측의 버퍼(45)에 담겨진 소자가 로딩 포지션에 위치된 상태이다.
이러한 상태에서 제 1 로딩 버퍼(46)의 버퍼(45)내에는 운반 픽커(13)에 의해 고객 트레이내에 담겨져 있던 소자가 흡착되어 1열씩 차례로 담겨지게 되고, 로딩 및 언로딩 포지션에 위치된 제 1 얼라인 블럭(16a)에 담겨져 있던 소자는 맨 좌측으로부터 언로딩 픽커(23)에 의한 흡착되어 테스트 결과에 따라 제 1, 2 언로딩 버퍼(56)(57)측으로 분류되어 언로딩되기 시작한다.
도 8 및 도 9에 나타낸 바와 같이 모터(32)의 구동으로 풀리(31)가 시계방향으로 회전하여 타이밍 벨트(34)의 위치를 가변시키면 상기 타이밍 벨트에 고정된 언로딩 픽커(23)가 도면상 좌측으로 이동하여 제 1 얼라인 블럭(16a)의 맨 좌측에 있던 복수개의 소자를 흡착한 다음 도면상 우측으로 위치하여 흡착된 소자를 테스트 결과에 따라 제 1, 2 언로딩 버퍼(56)(57)에 담게 된다.
얼라인 블럭에 담겨진 소자를 도면상 좌측에서부터 언로딩하는 이유는 다음 동작시 부터는 로딩 픽커(22)가 제 2 로딩 버퍼(47)내에 있던 소자를 흡착하여 로딩하는 동작을 동시에 수행할 수 있도록 하기 위함이다.
상기한 바와 같은 동작으로 제 1 얼라인 블럭(16a)에 담겨져 있던 테스트 완료된 소자의 언로딩작업을 반복적으로 실시하여 로딩 및 언로딩 포지션에 일치된 어느 하나의 언로딩 버퍼에 소자가 가득 채워져 언로딩 버퍼가 가이드 레일을 따라 1피치 이동하면 중앙 처리장치(CPU)의 지령에 의해 운반 픽커(13)가 언로딩 버퍼에 담겨져 있던 테스트 완료된 1열의 소자를 한꺼번에 흡착하여 언로딩 스테이션에 위치되어 있던 빈 고객 트레이내에 담게 된다.
한편, 언로딩 픽커(23)에 의해 제 1 얼라인 블럭(16a)내의 테스트 완료된 소자가 언로딩 버퍼측으로 이송되어 소자가 없음이 별도의 감지수단(로딩 및 언로딩 포지션상의 직하방에 설치되어 있으나 도시는 생략함)에 의해 감지되면 지지판(29)에 설치된 또 다른 모터가 구동하여 풀리(30)를 반시계방향으로 회전시키게 되므로 상기 풀리에 감겨진 타이밍 벨트(33)의 위치가 가변된다.
이에 따라, 상기 타이밍 벨트(33)에 고정된 로딩 픽커(22)가 제 2 로딩 버퍼(47)측으로 이동하여 제 2 로딩 버퍼의 상측에 위치된 버퍼(45)내의 소자를 흡착한 다음 모터의 역구동으로 풀리(30)가 전술한 바와는 반대방향으로 회전하게 되므로 테스트할 소자를 비어 있던 제 1 얼라인 블럭(16a)에 담게 된다.
상기한 바와 같은 동작시 언로딩 픽커(23)가 제 1 얼라인 블럭(16a)내의 소자를 언로딩 버퍼(56)(57)측으로 언로딩함과 동시에 로딩 픽커(22)가 제 2 로딩 버퍼(47)내의 소자를 제 1 얼라인 블럭(16a)으로 로딩할 때 로딩 및 언로딩 픽커가 매달린 타이밍 벨트(33)(34)를 회전시키는 풀리(30)(31)가 상호 같은 방향으로만 회전하게 되므로 이들은 상호 충돌할 염려가 없게 된다.
로딩 픽커(22)의 계속되는 수평 왕복운동으로 제 2 로딩 버퍼(47)의 상측에 위치된 버퍼내의 소자가 제 1 얼라인 블럭(16a)으로 전부 로딩되고 나면 이동블럭(42)에 고정된 피치 실린더(44)가 구동하여 로드를 잡아 당겨 제 2 로딩 버퍼(47)의 하측에 위치된 1열의 소자를 로딩 포지션에 위치시키게 되므로 제 1 얼라인 블럭(16a)내에 소자가 채워질 때까지 로딩 픽커(22)가 소자를 이송시키게 된다.
한편, 제 2 로딩 버퍼(47)에 채워져 있던 소자를 얼라인 블럭(16)측으로 전부 로딩하고 나면 고객 트레이내에 담겨져 있던 소자를 다시 공급하기 위해 제 2 로딩 버퍼(47)를 운반 픽커(13)에 의해 소자를 공급받는 위치로 이송시켜야 되고, 운반 픽커(13)에 의해 소자가 채워진 제 1 로딩 버퍼(46)를 소자의 로딩 포지션으로 이송시켜야 된다.
상기한 동작은 제 1 로딩 버퍼(46)를 전후진 이동시키는 구동실린더(39)의 로드만 잡아 당김과 동시에 제 2 로딩 버퍼(47)를 전후진시키는 구동실린더(40) 및 피치 실린더(44)의 로드를 최대한 전진시키므로 이루어지게 된다.
즉, 도 17a와 반대 상황이 되므로 제 1 로딩 버퍼(46)내의 소자를 얼라인 블럭(16)측으로 로딩함과 동시에 운반 픽커(13)가 X - Y축 레일(24)(25)을 따라 X - Y 방향으로 동시에 이동하면서 로딩 스테이션에 위치된 고객 트레이로부터 소자를 흡착하여 제 2 로딩 버퍼(47)측으로 운반하게 되므로 상기 제 2 로딩 버퍼내에 고객 트레이내의 소자가 채워지게 된다.
상기한 바와 같은 동작으로 로딩 및 언로딩 포지션에 위치되어 있던 제 1 얼라인 블럭(16a)내에 테스트할 소자가 전부 채워지고 나면 소자가 채워진 제 1 얼라인 블럭(16a)을 승강 포지션으로 이동시킴과 동시에 승강 포지션에 있던 제 2 얼라인 블럭(16b)을 로딩 및 언로딩 포지션으로 위치시켜야 계속적인 소자의 로딩 및 언로딩 작업이 가능해지게 된다.
즉, 도 17b와 같은 상태에서 제 1, 2 얼라인 블럭(16a)(16b)이 록킹된 슬라이더(17)가 이송수단에 의해 장비의 전방으로 1스탭 이송되면 제 2 얼라인 블럭(16b)이 로딩 및 언로딩 포지션에 위치됨과 동시에 제 1 얼라인 블럭(16a)은 일점쇄선으로 나타낸 바와 같이 승강 포지션에 위치된다.
이에 따라, 로딩 및 언로딩 포지션에 위치된 제 2 얼라인 블럭(16b)내의 테스트 완료된 소자(90)를 언로딩 및 테스트할 소자를 로딩하고 있는 동안, 제 1 얼라인 블럭(16a)내의 소자를 테스트 트레이(1)의 캐리어 모듈(19)에 로딩함과 동시에 테스트 트레이의 다른 열에 로딩되어 있던 테스트 완료된 소자를 빈 제 1 얼라인 블럭(16a)으로 언로딩할 수 있게 된다.
상기한 바와 같은 동작시 제 2 얼라인 블럭(16b)에 담겨진 테스트 완료된 소자의 언로딩 및 테스트할 소자의 로딩작업은 전술하였으므로 생략하고, 이하에서는 제 1 얼라인 블럭(16a)내의 소자를 테스트 트레이(1)에 로딩함과 동시에 테스트 완료된 소자를 언로딩하여 테스트 결과에 따라 분류하기 위해 승강 포지션으로 이송시키는 과정에 대하여 구체적으로 설명한다.
승강 포지션에 위치된 제 1 얼라인 블럭(16a)은 슬라이더(17)의 저면에 설치된 록킹 실린더(61)에 의해 스토퍼(65)가 안착편(63)의 걸림홈(64)내에 끼워져 록킹되어 있어 이송수단에 의해 제 1 얼라인 블럭(16a)을 테스트 트레이(1)측으로 이송시킬려면 스토퍼에 의한 록킹상태를 해제시켜야 된다.
그렇지만, 상기 제 1 얼라인 블럭(16a)이 승강 포지션에 위치된 상태에서 아무런 대책을 강구하지 않고 스토퍼(65)의 록킹상태를 해제하면 상기 제 1 얼라인 블럭(16a)이 자중에 의해 하방으로 추락하고 만다.
따라서 상기 제 1 얼라인 블럭(16a)의 록킹상태를 해제하기 위해서는 먼저 얼라인 블럭 이송수단을 상기 제 1 얼라인 블럭이 위치된 승강 포지션으로 이동시킨 다음 슬라이드판(70)에 설치된 제 1 실린더(72)를 구동하여 제 1 승강판(71)을 상사점까지 상승시킨다.
이에 따라, 지지블럭(91)에 고정된 위치결정핀(92)이 안착편(63)에 형성된 위치결정공(62)에 끼워지면서 이들이 상호 위치 결정되므로 패드(76)의 상면에 설치된 소자 안착블럭(75)이 제 1 얼라인 블럭(16a)에 형성된 공간부(16c)의 직하방에 위치하게 된다.
이러한 상태에서 록킹 실린더(61)의 로드가 당겨져 안착편(63)의 걸림홈(64)에 끼워져 있던 스토퍼(65)를 당기면 제 1 얼라인 블럭(16a)의 록킹상태가 해제되며, 그 후 제 1 실린더(72)의 구동으로 상사점까지 상승하였던 제 1 승강판(71)을 하사점까지 하강시키면 슬라이더(17)로부터 제 1 얼라인 블럭(16a)이 분리되어 얼라인 블럭 이송수단에 얹혀지게 된다.
이와 같이 테스트할 소자가 담겨진 제 1 얼라인 블럭(16a)이 얼라인 블럭의 이송수단에 얹혀지고 나면 슬라이드판(70)이 이송수단에 의해 제 2 LM가이더(69)를 따라 소자가 매달리지 않은 테스트 트레이(1)의 빈 캐리어 모듈(19)의 직하방까지 이송한 다음 멈춘다.
상기 이송수단이 멈추는 지점은 제 2 얼라인 블럭(16b)이 테스트 완료된 소자를 꺼낸 지점이므로 중앙 처리장치에 의해 제어가 가능하다.
빈 캐리어 모듈(19)의 직하방에서 얼라인 블럭 이송수단이(18)이 멈추고 나면 제 1 얼라인 블럭(16a)에 담겨진 소자를 빈 캐리어 모듈에 로딩하여야 되는데, 그 과정을 첨부된 도 18a 내지 도 18 c를 참고하여 설명한다.
도 18a는 테스트 트레이(1)의 직하방에 소자(90)가 얹혀진 제 1 얼라인 블럭(16a)이 위치되고, 상기 테스트 트레이의 직상부에는 걸림편 벌림수단(21)이 위치된 상태의 종단면도이다.
이러한 상태에서 상판(78)에 설치된 제 3 실린더(79)가 구동하여 제 2 승강판(80)을 하사점까지 하강시키면 취출핀(87)이 캐리어 모듈(19)의 중심부에 형성된 통공의 내부로 삽입되는데, 상기한 바와 같은 동작시 얼라인 블럭 이송수단의 제 1실린더(72)가 구동하여 제 1 승강판(71)을 상사점까지 상승시키게 되므로 제 1 얼라인 블럭(16a)의 상면이 테스트 트레이(1)에 장착된 캐리어 모듈의 저면과 접속된다.
그 후, 도 16에 나타낸 푸셔 구동용 실린더(84)가 동작하여 제 3 승강판(83)을 화살표방향과 같이 직하방으로 하강시키면 상기 제 3 승강판의 저면에 설치된 복수개의 푸셔(82)가 각 캐리어 모듈(19)의 상면으로 노출된 버튼(93)을 눌러주게 되므로 캐리어 모듈에 대향되게 설치된 한쌍의 걸림편(20)이 도 18b와 같이 소자(90)의 폭보다 넓게 벌어지게 된다.
이러한 상태에서 얼라인 블럭 이송수단의 제 1 승강판(71)에 설치된 제 2 실린더(74)가 구동하여 설치판(73)을 상승시키면 상기 설치판의 상면에는 소자 안착블럭(75)이 고정된 패드(76)가 설치되어 있으므로 각 제 1 얼라인 블럭(16a)의 공간부(16c) 직하방에 위치되어 있던 복수개의 소자 안착블럭이 동시에 상승하면서 제 1 얼라인 블럭에 담겨져 있던 소자(90)를 빈 캐리어 모듈(19)의 캐비티(19a)내에 수용시키게 된다.
상기한 동작시 캐리어 모듈의 통공내에 위치하고 있던 취출핀(87)은 캐리어 모듈(19)에 로딩되는 소자의 유무를 판단하여 중앙 처리장치에 그 결과를 알리게 된다.
상기한 바와 같은 동작으로 제 1 얼라인 블럭(16a)에 담겨진 소자를 캐리어 모듈(19)의 캐비티내에 수용시키고 나면 푸셔 구동용 실린더(84)가 재구동하여 하강하였던 제 3 승강판(83)을 상사점까지 상승시키게 되므로 버튼(93)의 누름력이 해제되어 상기 버튼이 스프링(도시는 생략함)의 복원력에 의해 초기상태로 환원되고, 이에 따라 양측으로 벌어졌던 걸림편(20)이 상호 내측으로 오므러들면서 캐비티내에 수용되었던 소자(90)를 홀딩하게 된다.
이와 같이 제 1 얼라인 블럭(16a)에 담겨져 있던 소자를 테스트 트레이(1)의 캐리어 모듈(19)에 로딩하고 나면 제 2 실린더(74)의 구동으로 제 2 승강판(80)이 상사점까지 상승함과 동시에 소자 안착블럭(75)이 고정된 패드(76)가 제 1, 2 실린더(72)(74)의 구동으로 하사점까지 하강하게 되므로 소자의 로딩작업이 완료된다.
상기한 바와 같은 동작으로 테스트할 소자를 로딩하고 나면 얼라인 블럭 이송수단(18)은 테스트 완료된 소자가 매달려 있는 테스트 트레이(1)의 직하방으로 1스탭 이송한 다음 멈추게 되는데, 이 때 걸림편 벌림수단(21)도 제 3 LM가이더(77)를 따라 얼라인 블럭 이송수단(18)의 이송방향과 동일하게 이송되어 언로딩할 소자가 매달린 캐리어 모듈(19)의 직상부에 위치하게 된다.
이에 따라, 전술한 바와 같은 동작으로 캐비티(19a)내에 수용되어 있던 소자를 제 1 얼라인 블럭(16a)의 상면으로 언로딩할 수 있게 되는데, 단지 다른 점이 있다면 푸셔 구동용 실린더(84)의 구동으로 푸셔(82)가 버튼(93)을 누르는 동작과, 제 2 실린더(74)의 구동으로 소자 안착블럭(75)이 상승하는 동작이 반대로 이루어진다는 점이다.
그러나 테스트 트레이(1)로부터 테스트 완료된 소자(90)를 전부 언로딩하여 테스트 트레이의 직하방으로 이송된 제 1 얼라인 블럭(16a)에 담을 소자가 없을 경우에는 새로운 테스트 트레이가 이송될 때까지 제 1 얼라인 블럭이 테스트 트레이의 직하방으로부터 빠져나와 대기하였다가 새로운 테스트 트레이가 테스트 싸이트로부터 이송되어 오면 다시 테스트 트레이의 직방으로 이송하여 제 1 얼라인 블럭에 테스트 완료된 1열의 소자를 언로딩하게 된다.
상기 제 1 얼라인 블럭(16a)에 담겨진 테스트할 소자를 빈 캐리어 모듈(19)에 로딩한 다음 테스트 완료된 소자를 테스트 결과에 따라 분류하기 위해 언로딩하고 나면 초기 상태와 같이 얼라인 블럭 이송수단(18)이 도 17b에 일점쇄선으로 나타낸 승강 포지션으로 이송한 후 상승하게 되므로 계속해서 테스트 완료된 소자를 제 1, 2 언로딩 버퍼(56)(57)를 거쳐 빈 고객트레이내에 분류하여 담을 수 있게 됨은 물론 로딩 스테이션에 위치되어 있던 고객 트레이내의 소자를 테스트 트레이에 로딩하는 작업이 가능해지게 되는 것이다.
이상에서와 같이 본 발명은 1개의 얼라인 블럭에서 테스트 완료된 소자를 언로딩 픽커가 언로딩하여 언로딩 버퍼내에 옮길 때 로딩 픽커가 로딩 버퍼내의 소자를 얼라인 블럭의 빈공간으로 계속해서 담게 됨은 물론 다른 1개의 얼라인 블럭은 테스트할 소자를 테스트 트레이의 빈 캐리어 모듈에 로딩한 다음 테스트 완료된 소자를 다른 열의 캐리어 모듈로부터 분리하여 승강 포지션을 통해 이송되어 대기하게 되므로 소자의 로딩 및 언로딩에 따른 시간을 최소화하게 되고, 이에 따라 고가 장비인 테스터 및 핸들러의 가동률을 극대화하게 된다.

Claims (7)

  1. 로딩 버퍼내에 소자가 없음이 감지되면 로딩 스테이션에 위치된 고객트레이로부터 운반 픽커가 복수개의 소자를 흡착하여 로딩 버퍼내에 담거나, 언로딩 버퍼내에 1열의 소자가 담겨짐이 감지되면 운반 픽커가 이를 흡착하여 언로딩 포지션에 위치된 빈 고객트레이내에 담는 단계와, 상기 로딩 버퍼내에 테스트 할 소자가 채워지면 채워진 소자를 로딩 픽커에 의해 흡착할 수 있는 위치로 로딩 버퍼를 이송시키는 단계와, 상기 로딩 픽커에 의해 흡착가능한 위치로 로딩 버퍼가 이송되면 로딩 픽커가 소자를 흡착하여 얼라인 블럭의 빈 공간으로 옮기거나, 테스트 완료되어 얼라인 블럭내에 담겨져 있던 소자를 언로딩 픽커가 흡착하여 언로딩 버퍼의 빈 공간으로 옮기는 단계와, 소자의 로딩 및 언로딩 포지션에 위치된 얼라인 블럭내에 소자가 가득 채워지면 소자가 담겨진 얼라인 블럭을 로딩 및 언로딩 포지션의 양측에 위치된 승강 포지션 중 어느 하나의 승강 포지션으로 이송시킴과 동시에 테스트 완료된 소자가 담겨진 또 다른 얼라인 블럭을 로딩 및 언로딩 포지션으로 이송시키는 단계와, 상기 승강 포지션으로 이송된 얼라인 블럭을 하강시킨 다음 테스트 트레이에 장착된 빈 캐리어 모듈의 직하방으로 이송시키는 단계와, 테스트 트레이의 빈 캐리어 모듈의 직하방으로 이송된 얼라인 블럭내의 소자를 테스트 트레이에 로딩하는 단계와, 상기 소자를 로딩하고 난 빈 얼라인 블럭을 테스트 트레이의 다른 열로 이송시켜 테스트 완료된 소자를 언로딩하여 얼라인 블럭내에 담는 단계와, 테스트 완료된 소자가 담겨진 얼라인 블럭을 승강 포지션으로 이송시켜 언로딩하기 위해 대기하는 단계로 이루어진 수평식 핸들러에서 테스트 트레이내로 소자를 로딩/언로딩하는 방법.
  2. 제 1 항에 있어서,
    로딩 버퍼를 2열로 배치하여 로딩 버퍼내에 소자를 담을 때는 로딩 포지션으로 로딩 버퍼를 이송시키고 담겨진 소자를 얼라인 블럭으로 이송시키고자 할 경우에는 로딩 버퍼를 로딩 픽커에 의한 소자의 흡착가능한 위치로 1스탭씩 이송시키는 것을 특징으로 하는 수평식 핸들러에서 테스트 트레이내로 소자를 로딩/언로딩하는 방법.
  3. 제 1 항에 있어서,
    테스트 트레이로부터 테스트 완료된 소자를 전부 꺼내 테스트 트레이의 직하방으로 이송된 얼라인 블럭에 담을 소자가 없을 경우에는 새로운 테스트 트레이가 테스트 싸이트로부터 이송될 때까지 얼라인 블럭이 테스트 트레이의 직하방으로부터 빠져나와 대기한 다음 새로운 테스트 트레이가 이송되어 오면 다시 테스트 트레이의 직방으로 이송하여 얼라인 블럭에 테스트 완료된 소자를 담은 후 승강 포지션으로 이송하는 것을 특징으로 하는 수평식 핸들러에서 테스트 트레이내로 소자를 로딩/언로딩하는 방법.
  4. 로딩 및 언로딩 스테이션상에 설치된 X - Y축 레일을 따라 X - Y 방향으로 이동하면서 소자를 흡착하여 운반하는 운반 픽커와, 측판의 일측에 진퇴가능하게 설치되어 운반 픽커에 의해 이송되어 오는 테스트할 소자를 로딩 포지션에 연속적으로 일치시키는 로딩 버퍼부와, 상기 로딩 버퍼부의 반대편에 위치하는 측판에 진퇴가능하게 설치되어 테스트가 완료된 소자가 분류되어 담겨지는 언로딩 버퍼부와, 상기 로딩 버퍼부와 언로딩 버퍼부사이에 설치되어 로딩 버퍼부에 있던 테스트할 소자가 담겨지거나, 언로딩 버퍼부에 담겨질 테스트 완료된 소자가 담겨지는 제 1, 2 얼라인 블럭과, 상기 2개의 얼라인 블럭을 안착시켜 어느 하나의 얼라인 블럭을 로딩 및 언로딩 포지션에 위치시킴과 동시에 다른 일측의 얼라인 블럭을 승강 포지션에 위치시키는 슬라이더와, 상기 슬라이더에 안착되어 승강 포지션에 위치된 얼라인 블럭을 분리하여 테스트 트레이측으로 전후 또는 승강운동하면서 테스트할 소자를 운반하거나, 테스트 완료된 소자를 테스트 트레이에서 승강 포지션으로 운반하는 얼라인 블럭 이송수단과, 상기 테스트 트레이의 직상부에 전후 이동가능하게 설치되어 얼라인 블럭 이송수단이 테스트할 소자를 테스트 트레이의 캐리어 모듈에 넣거나, 테스트 완료된 소자를 꺼낼 때 캐리어 모듈의 걸림편을 벌리거나, 복원시키는 걸림편 벌림수단과, 상기 로딩 및 언로딩 포지션의 수평선상을 따라 독립적으로 동작되게 직상부에 설치되어 로딩 버퍼부내의 소자를 얼라인 블럭으로 운반하여 담거나, 얼라인 블럭에 담겨진 소자를 언로딩 버퍼부측으로 운반하는 로딩 픽커 및 언로딩 픽커로 구성된 것을 특징으로 하는 수평식 핸들러에서 테스트 트레이내로 소자를 로딩/언로딩하는 장치.
  5. 제 4 항에 있어서,
    로딩 버퍼부는 측판의 일측에 고정된 베이스와, 상기 베이스에 평행하게 설치된 한쌍의 가이드 레일과, 상기 가이드 레일사이에 위치된 브라켓에 설치된 2개의 구동실린더와, 상기 각 가이드 레일을 따라 이동 가능하게 설치되어 구동실린더의 로드와 고정된 이동블럭과, 상기 각 이동블럭에 고정되어 구동실린더와 별도로 구동하는 피치 실린더와, 상기 각 피치 실린더의 로드에 고정되어 가이드 레일을 따라 이동하며, 상면에는 소자가 담겨지는 복수개의 버퍼가 형성된 제 1, 2 로딩 버퍼로 구성된 수평식 핸들러에서 테스트 트레이내로 소자를 로딩/언로딩하는 장치.
  6. 제 4 항에 있어서,
    언로딩 버퍼부는 로딩 버퍼부가 설치된 측판의 반대측에 위치하는 측판에 고정된 베이스와, 상기 베이스에 평행하게 설치된 한쌍의 가이드 레일과, 상기 가이드 레일의 일측에 설치된 모터의 구동에 따라 회전하는 한쌍의 풀리와, 상기 풀리사이에 감겨진 타이밍벨트와, 상기 가이드 레일에 안내되어 이동하고 상면에는 소자가 담겨지는 복수열의 버퍼가 형성되어 타이밍벨트에 고정되는 제 1, 2 언로딩 버퍼와, 상기 언로딩 버퍼의 이송경로상에 위치되게 베이스에 설치되어 모터의 구동을 제어하는 센서로 구성된 수평식 핸들러에서 테스트 트레이내로 소자를 로딩/언로딩하는 장치.
  7. 제 4 항에 있어서,
    로딩 및 언로딩 포지션의 직상부에 지지판을 설치하여 상기 지지판에 한쌍의 타이밍벨트를 중첩되게 설치하고 상기 각 타이밍벨트에는 소자를 운반하는 로딩 픽커와 언로딩 픽커를 고정하여 각각 다른 구동수단에 의해 타이밍벨트가 감겨진 풀리가 회전함에 따라 로딩 픽커와 언로딩 픽커가 로딩 및 언로딩 포지션의 수평선상을 따라 독립적으로 이동하도록 된 수평식 핸들러에서 테스트 트레이내로 소자를 로딩/언로딩하는 장치.
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KR100567224B1 (ko) * 1999-02-22 2006-04-04 삼성전자주식회사 반도체 제품 테스트 설비
KR100365133B1 (ko) * 2000-12-19 2002-12-18 내일시스템주식회사 수평식 핸들러의 디바이스 로딩 및 언로딩용 버퍼
KR100679155B1 (ko) * 2005-01-25 2007-02-05 (주)테크윙 테스트 핸들러
KR100896759B1 (ko) * 2007-03-28 2009-05-11 (주)테크윙 테스트핸들러의 작동방법
KR100914219B1 (ko) * 2007-09-19 2009-08-27 세크론 주식회사 테스트 핸들러
KR101308935B1 (ko) * 2011-11-25 2013-09-23 주식회사 로보스타 압전소자 패키지의 리크 검사용 패키지의 검사장치
KR101259428B1 (ko) * 2011-11-25 2013-04-30 주식회사 로보스타 압전소자 패키지의 리크 검사용 패키지의 검사등급에 따른 반송장치
KR102270758B1 (ko) * 2019-09-09 2021-06-30 에이엠티 주식회사 모듈 ic 핸들러의 모듈 ic 테스트장치

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