KR20140136076A - 반도체소자 테스트용 핸들러의 트레이 적재장치 - Google Patents

반도체소자 테스트용 핸들러의 트레이 적재장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 전자부품 테스트용 핸들러의 트레이 적재장치에 관한 것이다.
본 발명에 따른 트레이 적재장치는 고객 트레이의 지지 높이를 조절하기 위한 높이 조절 부재를 더 가진다.
따라서 높이 조절 부재를 간단히 조작함에 의해 서로 다른 적재 높이를 가지는 고객 트레이의 이동 기술을 상호 전용할 수 있기 때문에 교체 비용이나 교체 시간을 없앨뿐더러 인력 낭비도 줄이면서 궁극적으로 장비의 가동률을 향상시키는 효과가 있다.

Description

반도체소자 테스트용 핸들러의 트레이 적재장치{TRAY STACKER OF HANDLER FOR TESTING SEMICONDUCTOR}
본 발명은 반도체소자의 테스트에 사용되는 핸들러의 트레이 적재장치에 관한 것이다.
반도체소자 테스트용 핸들러(이하 '핸들러'라 함)는 소정의 제조공정을 거쳐 제조된 반도체소자들을 테스터에 전기적으로 연결한 후 테스트 결과에 따라 반도체소자들을 분류하는 장비이다.
반도체소자의 테스트를 지원하기 위한 핸들러는 대한민국 공개 특허 10-2002-0053406호나 일본국 공개 특허 특개2011-247908 등과 같은 다양한 특허 문헌을 통해 공개되어 있다.
핸들러는 고객 트레이로부터 반도체소자를 인출하여 가열한 다음 테스터에 전기적으로 연결시키고, 테스트가 완료된 반도체소자를 빈 고객 트레이로 인입시킨다. 여기서 반도체소자의 인출 작업은 인출 위치에 있는 고객 트레이를 대상으로 이루어지고, 테스트가 완료된 반도체소자를 인입하는 작업은 인입 위치에 있는 고객 트레이를 대상으로 이루어진다.
일반적으로 테스트 되어야 할 반도체소자들이 안착된 고객 트레이는 반입용 트레이 적재장치에 적재되어 있고, 테스트가 완료된 반도체소자가 안착된 고객 트레이는 반출용 트레이 적재장치에 적재되어 있다. 따라서 반입용 트레이 적재장치에 적재되어 있는 고객 트레이는 인출 위치로 이동되고, 인입 위치에 있는 고객 트레이는 반출용 트레이 적재장치로 이동된다.
도1은 위와 같은 일반적인 핸들러(100)에 대한 개략적인 평면도이다.
핸들러(100)는 다수의 트레이 적재장치(111 내지 116), 가열판(120), 셔틀판(130), 연결 부분(140) 및 버퍼 트레이(151, 152)를 가진다.
다수의 트레이 적재장치(111 내지 116)는 반입용 트레이 적재장치(111), 한 쌍의 빈 트레이 적재장치(112, 113), 3개의 반출용 트레이 적재장치(114 내지 116)를 포함한다.
반입용 트레이 적재장치(111)에는 테스트되어야 할 반도체소자들이 안착된 고객 트레이(CT)들이 적재되어 있다. 반입용 트레이 적재장치(111)에 적재된 고객 트레이(CT)들은 순차적으로 한 장씩 후방의 인출 위치(DP)로 이동된다. 그리고 안착된 모든 반도체소자가 인출된 고객 트레이(CT)는 인출 위치(DP)로부터 우측의 반출 위치(CP)로 이동된다.
제1 빈 트레이 적재장치(112)에는 반출 위치(CP)로부터 오는 빈 고객 트레이(CT)들이 적재된다.
제2 빈 트레이 적재장치(113)에는 빈 고객 트레이(CT)들이 적재되어 있다. 이러한 제2 빈 트레이 적재장치(113)에 적재된 빈 고객 트레이(CT)들은 순차적으로 한 장씩 후방의 대기 위치(WP)로 이동된 후 우측의 인입 위치(TP1 내지 TP3)들로 이동된다. 그리고 테스트가 완료된 반도체소자들로 채워진 고객 트레이(CT)는 인입 위치(TP1 내지 TP3)들에서 전방의 반출용 트레이 적재장치(114 내지 116)들로 이동된다.
반출용 트레이 적재장치(114 내지 116)들에는 테스트가 완료된 반도체소자가 안착된 고객 트레이(CT)들이 적재된다. 참고로 반출용 트레이 적재장치(114 내지 116)를 복수개 구비하는 이유는 테스트 결과에 따라 반도체소자들을 구분하여 놓기 위함이다.
가열판(120)은 인출 위치(DP)에 있는 고객 트레이(CT)로부터 인출되어 온 반도체소자들을 가열한다. 이러한 가열판(120)은 전후 방향으로 왕복 이동된다. 참고로 반도체소자가 상온의 조건에서 테스트될 때에는, 반도체소자가 가열판을 거치지 않고 고객 트레이(CT)에서 직접 셔틀판(130)으로 이동될 수도 있다.
셔틀판(130)은 가열판(120)으로부터 온 반도체소자를 받아서 연결 부분(140)으로 공급하거나 연결 부분(140)으로부터 받은 반도체소자를 버퍼 트레이(151, 152)나 고객 트레이(CT)로 공급하기 위해 마련된다. 이를 위해 셔틀판(130)은 좌우 방향으로 왕복 이동된다. 여기서 셔틀판(130)이 좌측의 로딩 위치(LP)에 있는 경우에는 가열판(120)으로부터 온 반도체소자를 받고, 셔틀판(130)이 우측의 언로딩 위치(UP)에 있는 경우에는 안착된 반도체소자가 버퍼 트레이(151, 152)나 인입 위치(TP1 내지 TP3)에 있는 고객 트레이(CT)로 이동되며, 셔틀판(130)이 연결부분(140) 후방의 출입 위치(GP)에 있는 경우에는 안착된 반도체소자가 연결 부분(140)에 의해 인출되거나 연결 부분(140)에 의해 인입된다.
연결 부분(140)은 셔틀판(130)으로부터 반도체소자를 인출하여 테스터(미도시)에 전기적으로 연결시키고, 테스트가 완료된 반도체소자는 셔틀판(130)으로 인입시킨다. 참고로 테스터에 전기적으로 연결된 반도체소자는 테스터에 의해 전기적인 특성이 테스트된다.
버퍼 트레이(151, 152)에는 언로딩 위치(UP)에 있는 셔틀판(130)으로부터 오는 소량의 반도체소자들이 안착된다. 이러한 버퍼 트레이(151, 152)는 별개로 구성될 수도 있고, 고객 트레이(CT)로 구현될 수도 있다.
대게의 경우 테스트된 반도체소자들은 다수의 등급으로 나뉘어 분류되는데 몇몇의 등급(편의상 '소량 등급'이라 함)들로는 소량의 반도체소자들이 구분되고, 몇몇의 등급(편의상 '다량 등급'이라 함)들로는 다량의 반도체소자들이 구분되어진다. 이 때, 버퍼 트레이(151, 152)에는 테스트 결과 소량 등급들로 구분된 반도체소자들을 안착시키고, 인입 위치(TP1 내지 TP3)에 있는 고객 트레이(CT)들에는 대량 등급으로 구분된 반도체소자들을 안착시킨다.
위의 구성들 중 본 발명은 고객 트레이(CT)를 반입용 트레이 적재장치(111)에서 인출 위치(DP)로 이동시키거나 제2 빈 트레이 적재장치(113)에서 대기 위치(WP)로 이동시키는 기술, 반출 위치(CP)에서 제1 빈 트레이 적재장치(112)로 이동시키거나 인입 위치(TP1 내지 TP3)들에서 반출용 트레이 적재장치(114 내지 116)들로 이동시키는 기술과 관계한다. 이와 같은 고객 트레이의 이동 기술은 일본국 특개 2003-270294호(이하 '종래기술'이라 함)의 도9 등을 통해 이미 주지되어 있다. 그리고 이러한 고객 트레이의 이동이 가능할 수 있도록, 트레이 적재장치(111 내지 116)는 고객 트레이를 이동시키기 위한 구성을 가져야 한다.
한편, 도2의 (a) 및 (b)는 고객 트레이(CP)에 대한 개략적인 평면도와 측면도이다.
도2의 (a) 및 (b)에서와 같이 고객 트레이(CT)의 상면에는 다수의 안착홈(SS)들이 행렬 형태로 형성되어 있고, 그 측면에는 4개의 받침홈(PS)들이 형성되어 있다.
다수의 안착홈(SS)들에는 반도체소자들이 안착된다. 그리고 트레이 적재장치(111 내지 116)에 적재된 고객 트레이(CP)들은 4개의 받침홈(PS) 부분에서 받쳐진다.
그런데, 도2의 (b)에서와 같이 고객 트레이에 따라서는 적재 높이(H)가 6.35mm인 경우도 있고 5.62mm인 경우도 있다. 그런데 2단 승강 기술이 적용된 종래기술에 따르면 6.35mm 적재 높이를 가지는 고객 트레이를 이동시키는 구성을 5.62mm 적재 높이를 가지는 고객 트레이를 이동시키는 기술로 전용하거나, 5.62mm 적재 높이를 가지는 고객 트레이를 이동시키는 구성을 6.35mm 적재 높이를 가지는 고객 트레이를 이동시키는 기술로 그대로 전용할 수 없다.
따라서 고객 트레이의 적재 높이가 바뀌게 되면, 트레이 적재장치를 교체하거나 최소한 고객 트레이를 이동시키는 구성을 교체할 필요가 있다. 그리고 이러한 점들은 교체 비용, 인력 및 교체 시간의 낭비를 가져오고 장비의 가동률을 하락시킨다.
물론, 행정 거리가 정해진 2단 실린더 대신 2단 승강 기술에 모터를 적용하면 별도의 구성 교체 없이 제어를 통해 2단 승강 높이를 조절할 수 있지만, 모터의 가격이 높아 생산 단가를 높이고 별도의 명령 입력을 위한 번잡한 제어 지시가 필요하다.
본 발명의 목적은 제반 구성의 교체 없이 적재 높이가 서로 다른 고객 트레이의 이동 기술을 간단하게 상호 전용할 수 있는 트레이 적재장치를 제공하는 것이다.
본 발명에 따른 반도체소자 테스트용 핸들러의 트레이 적재장치는, 적재되는 고객 트레이의 적재를 안내하는 적어도 하나 이상의 적재 안내기; 상기 적재 안내기의 안내를 따라 적재된 고객 트레이를 받치는 적어도 하나 이상의 받침기; 상기 적어도 하나 이상의 받침기에 받쳐진 고객 트레이들을 한 장씩 하강시키기 위한 승강기; 및 상기 승강기에 의해 하강된 고객 트레이를 이동시키는 이동기; 를 포함하고, 상기 승강기는, 고객 트레이를 지지하기 위한 지지판; 상기 지지판에 설치되어서 고객 트레이의 지지 높이를 조절하는 높이 조절 부재; 및 상기 지지판을 승강시키는 구동원; 을 포함한다.
상기 지지판에는 상기 높이 조절 부재를 설치하기 위한 설치 구멍이 형성되어 있고, 상기 높이 조절 부재는 상기 설치 구멍에 삽입 설치될 수 있다.
상기 높이 조절 부재는 고객 트레이의 적재 높이에 대응하는 지지 높이로 전환될 수 있도록 2개의 사용 모드를 가진다.
상기 높이 조절 부재만으로 고객 트레이를 지지할 수 있다.
상기 높이 조절 부재는 상기 설치판에 탈착 가능하게 결합됨으로써, 상기 설치판에 서로 지지 높이를 다르게 하는 다수의 높이 조절 부재가 선택적으로 설치될 수 있다.
상기 높이 조절 부재는 상기 설치 구멍에 회전 가능하게 삽입 설치되고, 상기 높이 조절 부재는 상기 지지판에 힌지 결합되기 위한 힌지축을 가지며, 상기 힌지축은 상기 높이 조절 부재의 일 측면까지의 거리보다 상기 높이 조절 부재의 타 측면까지의 거리가 더 먼 위치에 형성된다.
상기 높이 조절 부재에는 걸림돌기가 형성되어 있고, 상기 지지판에는 상기 걸림돌기가 걸리는 걸림턱이 형성되어 있다.
상기 힌지축은 상기 걸림돌기의 반대 측으로 치우친 위치에 형성된다.
상기 받침기는, 진퇴에 의해 고객 트레이를 받치거나 받침 상태를 해제하는 받침부재; 상기 받침부재를 진퇴시키는 구동원; 및 상기 받침부재의 회전을 방지하는 회전 방지핀; 을 포함한다.
본 발명에 따르면 높이 조절 부재를 간단히 조작함에 의해 서로 다른 적재 높이를 가지는 고객 트레이의 이동 기술을 상호 전용할 수 있기 때문에 교체 비용이나 교체 시간을 없앨뿐더러 인력 낭비도 줄이면서 궁극적으로 장비의 가동률을 향상시키는 효과가 있다.
도1은 일반적인 반도체소자 테스트용 핸들러의 개략적인 평면도이다.
도2는 일반적인 고객 트레이에 대한 개략적인 평면도 및 측면도이다.
도3은 본 발명에 따른 트레이 적재장치가 적용될 수 있는 반도체소자 테스트용 핸들러의 개략적인 평면도이다.
도4는 본 발명의 실시예에 따른 트레이 적재장치에 대한 개략적인 사시도이다.
도5 내지 도7은 도4의 트레이 적재장치를 설명하기 위한 참조도이다.
도8 내지 도16은 도4의 트레이 적재장치의 사용 및 동작을 설명하기 위한 참조도이다.
도17과 도18은 변형예를 설명하기 위한 참조도이다.
이하 상기한 바와 같은 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 설명하되, 설명의 간결함을 위해 배경기술에서 언급된 설명은 가급적 생략하거나 압축한다.
도3은 본 발명에 따른 트레이 적재장치가 적용된 핸들러의 개략적인 평면도이다.
도3에 따른 핸들러(300)는 다수의 트레이 적재장치(311 내지 316), 한 쌍의 가열판(321, 322), 한 쌍의 셔틀판(331, 332), 연결 부분(340) 및 3개의 버퍼 트레이(351 내지 353)를 가진다.
도2의 핸들러(200)에서 한 쌍의 가열판(321, 322)은 상하로 높이 차를 가지도록 설치되어서 전후 방향으로 교차하면서 왕복 이동할 수 있으며, 한 쌍의 셔틀판(331, 332)은 연결 부분(340)을 사이에 두고 배치된다. 이러한 가열판(321, 322)과 셔틀판(331, 332)의 복수 구성으로 인해 처리 속도를 향상시킬 수 있다. 도3의 핸들러(300)에 대한 나머지 구성이나 기능들에 대한 설명은 배경기술과 중복되므로 생략한다. 물론, 버퍼 트레이(251 내지 253)는 고객 트레이(CT)로 대체될 수 있기 때문에 선택적인 구성임은 앞서 설명한 바와 같다.
도4는 본 발명의 실시예에 따른 트레이 적재장치(TLA)에 대한 개략적인 사시도이다.
본 실시예에 따른 트레이 적재장치(TLA)는 4개의 적재 안내기(411a 내지 411d), 4개의 받침기(412a 내지 412d), 승강기(413), 이동기(414)를 포함한다.
4개의 적재 안내기(411a 내지 411d)는 수평 단면이 'ㄱ'자 형상으로서 각자가 고객 트레이(CT)의 사각 모서리 부분을 안내한다. 참고로 본 실시예에서는 작업자가 전면에서 고객 트레이(CT)를 적재하는 작업의 편의를 위해서 부호 411a 및 411b의 적재 안내기의 높이를 짧게 가져가고 있다. 물론, 4개의 적재 안내기(411a 내지 411d)는 고객 트레이(CT)의 적재 안내 및 적재 유지 기능을 수행할 수만 있다면 봉이나 기타의 다양한 형태로 변경 가능할 것이다.
4개의 받침기(412a 내지 412d)는 적재 안내기(411a 내지 411d)의 안내를 따라 적재된 고객 트레이(CT)들을 4 부분에서 받친다. 이를 위해 각각의 받침기(412a 내지 412d)는 받침부재(PE), 실린더(SD), 회전 방지핀(RP), 설치부재(IE)를 포함한다.
받침부재(PE)는 좌우 방향으로 진퇴 가능하게 설치된다. 이러한 받침부재(PE)는 고객 트레이(CT)를 받치기 위한 받침돌기(PP)를 가진다. 따라서 도5 (a) 및 (b)에서와 같이 받침부재(PE)가 고객 트레이(CT) 측으로 전진하면, 받침돌기(PP)가 고객 트레이(CT)의 받침홈(PS)에 삽입되면서 고객 트레이(CT)들을 받치게 되고, 받침부재(PE)가 후퇴하면 지지돌기(PP)가 고객 트레이(CT)의 받침홈(PS)에서 탈거되면서 고객 트레이(CT)들의 받침 상태가 해제된다.
실린더(SD)는 받침부재(PE)를 진퇴시키기 위한 구동원이다. 본 실시예에서는 실린더(SD)의 피스톤로드(PR)가 받침부재(PE)에 일 측으로 치우치게 결합되어 있다. 이러한 이유는 다른 구성들과의 설계 간섭 등을 방지하기 위함이다.
회전 방지핀(RP)은 받침부재(PE)의 회전을 방지한다. 언급한 바와 같이 피스톤로드(PR)가 받침부재(PE)에 일 측으로 치우치게 결합되어 있기 때문에 받침부재(PE)의 진퇴 동작 시의 충격 등으로 인해 받침부재(PE)가 화살표 a 방향으로 회전 될 수 있다. 이러한 경우 받침부재(PE)가 고객 트레이(CT)를 적절히 받치지 못할 수 있고, 그 진퇴 시에 고객 트레이(CT)에 손상을 주게 될 수 있다. 이러한 점은 회전 방지핀(RP)이 받침부재(PE)의 회전을 방지함으로써 해결된다.
설치부재(IE)에는 위의 받침부재(PE), 실린더(SD) 및 회전 방지핀(RP)이 설치된다. 이러한 설치부재(IE)는 전면이 대략 'ㄴ'자 형상으로서 트레이 적재장치(410)의 골격을 이루는 프레임(FM)에 결합된다.
승강기(413)기는 4개의 받침기(412a 내지 412d)에 받쳐져 있는 고객 트레이(CT)들 중 가장 밑에 있는 고객 트레이(CT)를 한 장씩 하방으로 내린다. 이를 위해 승강기(413)는 도6의 발췌 측단면도에서와 같이 지지판(413a), 한 쌍의 높이 조절 부재(413b) 및 구동원(413c)을 가진다.
지지판(413a)은 고객 트레이(CT)를 지지한다. 이러한 지지판(413a)은 2개의 설치 구멍(IH)과 걸림턱(SJ)들을 가진다.
설치 구멍(IH)에는 높이 조절 부재(413b)가 삽입 설치된다.
걸림턱(SJ)들은 각각 설치 구멍(IH)의 양 단에 돌출되게 형성된다.
높이 조절 부재(413b)는 설치 구멍(IH)에 회전 가능하게 삽입 설치되어서 고객 트레이(CT)의 지지 높이를 조절한다. 즉, 높이 조절 부재(413b)는 지지판(413a)의 상면과 고객 트레이(CT) 간의 지지 높이를 조절한다. 이를 위해 높이 조절 부재(413b)는 힌지축(HS)과 걸림돌기(ST)를 가진다.
힌지축(HS)은 높이 조절 부재(413b)의 일 측면까지의 거리(L1)보다 높이 조절 부재(413b)의 타 측면까지의 거리(L2)가 더 먼 위치에 형성된다. 따라서 도7의 (a) 및 (b)에서와 같이 높이 조절 부재(413b)의 일 측면이 상면이 될 경우에는 높이 조절 부재(413b)의 상면이 지지판(413a)의 상면과 동일 높이가 되고, 높이 조절 부재(413b)의 타 측면이 상면이 될 경우에는 높이 조절 부재(413b)의 상면이 지지판(413a)의 상면보다 더 높이 위로 돌출된다. 이 때, 높이 조절 부재(413b)의 상면과 지지판(413a)의 상면 간의 높이 차는 0.73mm이다.
상기에 언급된 높이 차 0.73mm는 본 발명의 실시예에 따른 것이며, 도2(b)에 언급된 고객 트레이(CT)의 적재 높이(H)가 다를 경우 높이 차는 다를 수 있고, 이러한 경우에는 해당 높이 차에 따른 높이 조절 부재를 선택하면 족하다.
또한 힌지축(HS)은 전후 방향으로 걸림돌기(ST)의 반대 측으로 치우친 위치에 형성된다. 이로 인해 높이 조절 부재(413b)의 무게 중심이 걸림돌기(ST) 측으로 치우치게 되기 때문에 높이 조절 부재(413b)의 현재 상태를 안정화시킨다.
걸림돌기(ST)는 걸림턱(SJ)에 걸림으로써 높이 조절 부재(413b)의 180도 회전및 현 상태를 유지시킨다.
위의 높이 조절 부재(413b)의 역할에 대해서는 차후 사용 설명 부분에서 더 자세히 설명될 것이다.
구동원(413c)은 지지판(413a)을 승강시키기 위해 마련된다. 이러한 구동원(413c)은 제1 행정 거리를 가지는 제1 실린더(S-1)와 제2 행정 거리를 가지는 제2 실린더(S-2)로 구성된다. 이 때 제2 실린더(S-2)의 제2 행정 거리는 6.35mm이다. 물론, 지지판을 승강시키기 위한 구동원으로서 모터가 적용되는 것도 고려될 수 있다.
이동기(414)는 하방으로 내려온 고객 트레이(CT)를 후방의 인출 위치(DP)로 이동시킨다. 이를 위해 이동기(414)는 한 쌍의 벨트(BT)와 모터(MT)를 가진다. 따라서 모터(MT)의 작동에 의해 한 쌍의 벨트(BT)에 얹어진 고객 트레이(CT)는 벨트(BT)의 회전에 연동하여 후방의 인출 위치(DP)로 이동하게 된다.
이어서 위와 같은 적재장치의 사용과 동작에 대하여 설명한다.
먼저 높이 조절 부재(513b)가 도7 (a)의 상태인 경우에서, 받침기(412a 내지 412d)에 받쳐져 있는 적재 높이 6.35mm의 고객 트레이(CT)들을 한 장씩 인출 위치(DP)로 보내는 동작에 대해서 설명한다.
도8의 상태에서 제1 실린더(S-1)와 제2 실린더(S-2)가 함께 동작하여 도9와 같이 지지판(413a)을 상승시킨다. 이에 따라 지지판(413a)의 상면이 가장 아래에 있는 제1 층 고객 트레이(CT)의 하면에 닿게 된다.
도9의 상태에서 실린더(SD)가 동작하여 도10에서와 같이 받침부재(PE)를 퇴진시킨다. 따라서 고객 트레이(CT)들은 지지판(413a)에 의해 임시적으로 지지되는 상태를 유지한다.
도10의 상태에서 제2 실린더(S-2)가 동작하여 도11에서와 같이 고객 트레이(CT)들을 6.35mm 하강시킨다.
도11의 상태에서 실린더(SD)가 동작하여 도12에서와 같이 받침부재(PE)를 전진시킴으로써 받침부재(PE)가 제2층 고객 트레이(CT)를 받치게 한다.
도12의 상태에서 제1 실린더(S-1)가 동작하여 도13에서와 같이 지지판(413a)을 완전히 하강시킨다. 이에 따라 제1층 고객 트레이(CT)도 하강함으로써 제1층 고객 트레이(CT)의 양 단이 이동기(514)의 벨트(BT)에 얹어진다.
도13의 상태에서 모터(MT)가 동작하여 도14에서와 같이 제1층 고객 트레이(CT)를 후방의 인출 위치(DP)로 이동시킨다.
참고로, 도14에서는 설명을 위해 일 측의 높이 조절 부재(413b)는 적재 높이가 6.35mm인 고객 트레이(CT)를 지지할 수 있는 상태로 도시하고, 타 측의 높이 조절 부재(413b)는 적재 높이가 5.62mm인 고객 트레이(CT)를 지지할 수 있는 상태로 도시하어 있다. 이렇게 도시한 이유는 적재 높이가 6.35mm나 5.62mm인 경우 높이 조절 부재(413b)의 사용 상태를 함께 보여주기 위해서다. 그러나 두 높이 조절 부재(413b) 모두 실제로는 적재 높이가 6.35mm인 고객 트레이(CT)를 지지할 수 있는 상태로 되거나 적재 높이가 5.62mm인 고객 트레이(CT)를 지지할 수 있는 상태가 되어야 한다.
한편, 적재 높이가 5.62mm인 고객 트레이(CT')를 인출 위치(DP)로 보내는 동작에 대해서 설명한다. 이 때, 만일 높이 조절 부재가 도7 (b)의 상태인 채로 동작하게 되면, 도11에 대응되는 도15의 상태에서 문제가 발생한다. 즉, 제2 실린더(S-2)가 동작하여 지지판(413a)을 6.35mm 하강시켰을 경우, 제2층 고객 트레이(CT')의 받침홈(PS')과 받침부재(PE)의 지지돌기(PP)가 동일 높이가 되지 못한다.
따라서 적재 높이 5.62mm인 고객 트레이(CT')를 인출 위치(DP)로 적절히 보내기 위해서는 높이 조절 부재(413c)를 180도 회전시켜 도7 (b)의 사용 상태가 되게 한다. 이렇게 함으로써 도16에서와 같이 제2 실린더(S-2)가 지지판(413a)을 6.35mm 하강시키더라도, 높이 조절 부재(413b)가 고객 트레이(CT')들을 지지판(413a)의 상면보다 0.73mm만큼 더 높은 상태로 떠받치게 되어서 제2층 고객 트레이(CT')의 받침홈(PS')과 받침부재(PE)의 지지돌기(PP)가 동일 높이가 될 수 있다. 이로 인해 차후의 동작들이 원활히 이루어질 수 있게 된다. 즉, 높이 조절 부재(413b)는 적재 높이가 6.35mm인 고객 트레이(CT)를 지지하기 위한 사용 모드와 적재 높이가 5.62mm인 고객 트레이(CT')를 지지하기 위한 사용 모드 중 어느 하나의 사용 모드로 사용된다.
여기서 적재 높이가 6.35mm인 경우에는 높이 조절 부재(413b)의 상면의 높이가 지지판(413a)의 상면의 높이와 동일하여 고객 트레이(CT)를 높이 조절 부재(413b)와 지지판(413a)으로 동시에 지지하지만, 적재 높이가 5.62mm인 경우에는 높이 조절 부재(413b)의 상면의 높이가 지지판(413a)의 상면의 높이보다 높아서 고객 트레이(CT)를 높이 조절 부재(413b)로만 지지하게 된다. 그러나 도14에서와 같이 높이 조절 부재(413a) 2개가 고객 트레이(CT)의 평형을 유지할 수 있는 위치에 배치되고, 또한 충분한 면적을 가지기 때문에 높이 조절 부재(413b)만을 이용해도 고객 트레이(CT)를 지지하여 상하 방향으로 이송시키는 데는 문제가 없다. 물론, 적재 높이가 6.35mm인 경우에는 높이 조절 부재(413b)의 상면의 높이가 지지판(413a)의 상면의 높이보다 낮도록 구성할 수도 있다.
본 발명에서는 제2 실린더(S-2)의 행정 거리를 고객 트레이(CT)의 적재 높이(H)인 6.35mm와 동일하게 설정을 하였으나, 경우에 따라서는 다르게 설정할 수 도 있다. 즉, 도9에서는 제1 실린더(S-1)와 제2 실린더(S-2)가 동작하여 지지판(413a)의 상면이 가장 아래에 있는 제1층 고객 트레이(CT)의 하면에 닿게 되는 것으로 되어 있는데, 경우에 따라서는 도17에서와 같이 적재된 고객 트레이(CT) 전체를 일정 높이로 들어 올리는 것도 가능하다. 이럴 경우에는 제 2 실린더(S-2)의 행정거리는 6.35mm 이상이 될 수 있다.
설명된 트레이 적재장치(TLA)는 도3의 부호 311 내지 316의 적재장치에 모두 적용되거나 선택적으로 적용될 수 있다. 물론 도4의 트레이 적재장치(TLA)가 반출용 트레이 적재장치(314 내지 316)로 적용될 경우, 고객 트레이(CT)의 이동은 위 도8 이하의 동작과 반대 순서에 따른 동작으로 이루어질 것이다.
또한, 위의 실시예에서는 높이 조절 부재(413b)를 회전 가능하게 설치하고 있으나, 예를 들어 도18의 (a) 및 (b)에서와 같이 고객 트레이(CT)의 적재 높이(H)가 6.35mm인 경우에는 높이 조절 부재(513b)의 사용하거나 사용하지 않고, 고객 트레이(CT)의 적재 높이가 달라져 지지판(513a)의 상면과 높이 조절 부재(513b)의 상면의 높이가 달라야 할 경우에는 도18의 (c)에서와 같이 설치 구멍(IH)에 높이 조절 부재(513b)를 선택적으로 볼트 결합하여 사용하는 것도 가능하다. 즉, 높이 조절 부재는 도4 등을 참조한 위의 실시예와 같은 회전식에 한정되는 것은 아니고, 탈착식이나 기타 다른 구조를 얼마든지 가질 수 있을 것이다. 더 나아가 본 발명은 고객 트레이의 다양한 적재 높이에 대응할 수 있는 다수의 높이 조절 부재를 도18에서와 같이 선택적으로 탈착시키는 방식으로도 구현될 수 있다.
상술한 바와 같이, 본 발명에 대한 구체적인 설명은 첨부된 도면을 참조한 실시예에 의해서 이루어졌지만, 상술한 실시예는 본 발명의 바람직한 예를 들어 설명하였을 뿐이기 때문에, 본 발명이 상기의 실시예에만 국한되는 것으로 이해되어져서는 아니 되며, 본 발명의 권리범위는 후술하는 청구범위 및 그 등가개념으로 이해되어져야 할 것이다.
TLA : 트레이 적재장치
411a 내지 411d : 적재 안내기
412a 내지 412d : 받침기
PE : 받침부재 SD : 실린더
RP : 회전 방지핀
413 : 승강기
413a, 513a : 지지판
IH : 설치구멍 SJ : 걸림턱
413b, 513b : 높이 조절 부재
HS : 힌지축 SP : 걸림돌기
413c : 구동원
414 : 이동기

Claims (9)

  1. 적재되는 고객 트레이의 적재를 안내하는 적어도 하나 이상의 적재 안내기;
    상기 적재 안내기의 안내를 따라 적재된 고객 트레이를 받치는 적어도 하나 이상의 받침기;
    상기 적어도 하나 이상의 받침기에 받쳐진 고객 트레이들을 한 장씩 하강시키기 위한 승강기; 및
    상기 승강기에 의해 하강된 고객 트레이를 이동시키는 이동기; 를 포함하고,
    상기 승강기는,
    고객 트레이를 지지하기 위한 지지판;
    상기 지지판에 설치되어서 고객 트레이의 지지 높이를 조절하는 높이 조절 부재; 및
    상기 지지판을 승강시키는 구동원; 을 포함하는 것을 특징으로 하는
    반도체소자 테스트용 핸들러의 트레이 적재장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 지지판에는 상기 높이 조절 부재를 설치하기 위한 설치 구멍이 형성되어 있고,
    상기 높이 조절 부재는 상기 설치 구멍에 삽입 설치될 수 있는 것을 특징으로 하는
    반도체소자 테스트용 핸들러의 트레이 적재장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 높이 조절 부재는 고객 트레이의 적재 높이에 대응하는 지지 높이로 전환될 수 있도록 2개의 사용 모드를 가지는 것을 특징으로 하는
    반도체소자 테스트용 핸들러의 트레이 적재장치.
  4. 제2항 또는 3항에 있어서,
    상기 높이 조절 부재만으로 고객 트레이를 지지할 수 있는 것을 특징으로 하는
    반도체소자 테스트용 핸들러의 트레이 적재장치.
  5. 제2항에 있어서,
    상기 높이 조절 부재는 상기 설치판에 탈착 가능하게 결합됨으로써, 상기 설치판에 서로 지지 높이를 다르게 하는 다수의 높이 조절 부재가 선택적으로 설치될 수 있는 것을 특징으로 하는
    반도체소자 테스트용 핸들러의 트레이 적재장치.
  6. 제2항에 있어서,
    상기 높이 조절 부재는 상기 설치 구멍에 회전 가능하게 삽입 설치되고,
    상기 높이 조절 부재는 상기 지지판에 힌지 결합되기 위한 힌지축을 가지며,
    상기 힌지축은 상기 높이 조절 부재의 일 측면까지의 거리보다 상기 높이 조절 부재의 타 측면까지의 거리가 더 먼 위치에 형성되는 것을 특징으로 하는
    반도체소자 테스트용 핸들러의 트레이 적재장치.
  7. 제2항에 있어서,
    상기 높이 조절 부재에는 걸림돌기가 형성되어 있고,
    상기 지지판에는 상기 걸림돌기가 걸리는 걸림턱이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는
    반도체소자 테스트용 핸들러의 트레이 적재장치.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 높이 조절 부재는 상기 지지판에 힌지 결합되기 위한 힌지축을 가지며,
    상기 힌지축은 상기 걸림돌기의 반대 측으로 치우친 위치에 형성되는 것을 특징으로 하는
    반도체소자 테스트용 핸들러의 트레이 적재장치.
  9. 제1항에 있어서,
    상기 받침기는,
    진퇴에 의해 고객 트레이를 받치거나 받침 상태를 해제하는 받침부재;
    상기 받침부재를 진퇴시키는 구동원; 및
    상기 받침부재의 회전을 방지하는 회전 방지핀; 을 포함하는 것을 특징으로 하는
    반도체소자 테스트용 핸들러의 트레이 적재장치.
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