KR20140133976A - 반도체소자 테스트용 핸들러의 트레이 적재장치 - Google Patents

반도체소자 테스트용 핸들러의 트레이 적재장치 Download PDF

Info

Publication number
KR20140133976A
KR20140133976A KR1020130052809A KR20130052809A KR20140133976A KR 20140133976 A KR20140133976 A KR 20140133976A KR 1020130052809 A KR1020130052809 A KR 1020130052809A KR 20130052809 A KR20130052809 A KR 20130052809A KR 20140133976 A KR20140133976 A KR 20140133976A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
tray
loading
handler
guide
mobile device
Prior art date
Application number
KR1020130052809A
Other languages
English (en)
Other versions
KR101999623B1 (ko
Inventor
유영민
김진수
Original Assignee
(주)테크윙
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by (주)테크윙 filed Critical (주)테크윙
Priority to KR1020130052809A priority Critical patent/KR101999623B1/ko
Priority to TW103116584A priority patent/TWI572871B/zh
Priority to CN201410196722.9A priority patent/CN104138853B/zh
Publication of KR20140133976A publication Critical patent/KR20140133976A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101999623B1 publication Critical patent/KR101999623B1/ko

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/2851—Testing of integrated circuits [IC]
    • G01R31/2855—Environmental, reliability or burn-in testing
    • G01R31/286—External aspects, e.g. related to chambers, contacting devices or handlers
    • G01R31/2865—Holding devices, e.g. chucks; Handlers or transport devices
    • G01R31/2867—Handlers or transport devices, e.g. loaders, carriers, trays
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/26—Testing of individual semiconductor devices
    • G01R31/2601—Apparatus or methods therefor

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Environmental & Geological Engineering (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)

Abstract

본 발명은 전자부품 테스트용 핸들러의 트레이 적재장치에 관한 것이다.
본 발명에 따른 트레이 적재장치는 고객 트레이의 적재 방향을 안내하는 방향 안내기를 가지며, 더 나아가 간단한 조작에 의해 방향 안내기를 이동시키는 이동기를 가진다.
따라서 고객 트레이가 트레이 적재장치에 적절히 적재될 수 있기 때문에 장비의 신뢰성을 향상시키고, 간단한 조작에 의해 고객 트레이의 적재방향을 변경할 수 있어서 핸들러의 가동률을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.

Description

반도체소자 테스트용 핸들러의 트레이 적재장치{TRAY STACKER OF HANDLER FOR TESTING SEMICONDUCTOR}
본 발명은 반도체소자의 테스트에 사용되는 핸들러의 트레이 적재장치에 관한 것이다.
반도체소자 테스트용 핸들러(이하 '핸들러'라 함)는 소정의 제조공정을 거쳐 제조된 반도체소자들을 테스터에 전기적으로 연결한 후 테스트 결과에 따라 반도체소자들을 분류하는 장비이다.
반도체소자의 테스트를 지원하기 위한 핸들러는 대한민국 공개 특허 10-2002-0053406호나 일본국 공개 특허 특개2011-247908 등과 같은 다양한 특허 문헌을 통해 공개되어 있다.
핸들러는 고객 트레이로부터 반도체소자를 인출하여 가열한 다음 테스터에 전기적으로 연결시키고, 테스트가 완료된 반도체소자를 빈 고객 트레이로 인입시킨다. 여기서 반도체소자의 인출 작업은 인출 위치에 있는 고객 트레이를 대상으로 이루어지고, 테스트가 완료된 반도체소자를 인입하는 작업은 인입 위치에 있는 고객 트레이를 대상으로 이루어진다.
일반적으로 테스트 되어야 할 반도체소자들이 안착된 고객 트레이는 반입용 트레이 적재장치에 적재되어 있고, 테스트가 완료된 반도체소자가 안착된 고객 트레이는 반출용 트레이 적재장치에 적재되어 있다. 따라서 반입용 트레이 적재장치에 적재되어 있는 고객 트레이는 인출 위치로 이동되고, 인입 위치에 있는 고객 트레이는 반출용 트레이 적재장치로 이동된다.
도1은 위와 같은 일반적인 핸들러(100)에 대한 개략적인 평면도이다.
핸들러(100)는 다수의 트레이 적재장치(111 내지 116), 가열판(120), 셔틀판(130), 연결 부분(140) 및 버퍼 트레이(151, 152)를 가진다.
다수의 트레이 적재장치(111 내지 116)는 반입용 트레이 적재장치(111), 한 쌍의 빈 트레이 적재장치(112, 113), 3개의 반출용 트레이 적재장치(114 내지 116)를 포함한다.
반입용 트레이 적재장치(111)에는 테스트되어야 할 반도체소자들이 안착된 고객 트레이(CT)들이 적재되어 있다. 반입용 트레이 적재장치(111)에 적재된 고객 트레이(CT)들은 순차적으로 한 장씩 후방의 인출 위치(DP)로 이동된다. 그리고 안착된 모든 반도체소자가 인출된 고객 트레이(CT)는 인출 위치(DP)로부터 우측의 반출 위치(CP)로 이동된다.
제1 빈 트레이 적재장치(112)에는 반출 위치(CP)로부터 오는 빈 고객 트레이(CT)들이 적재된다.
제2 빈 트레이 적재장치(113)에는 빈 고객 트레이(CT)들이 적재되어 있다. 이러한 제2 빈 트레이 적재장치(113)에 적재된 빈 고객 트레이(CT)들은 순차적으로 한 장씩 후방의 대기 위치(WP)로 이동된 후 우측의 인입 위치(TP1 내지 TP3)들로 이동된다. 그리고 테스트가 완료된 반도체소자들로 채워진 고객 트레이(CT)는 인입 위치(TP1 내지 TP3)들에서 전방의 반출용 트레이 적재장치(114 내지 116)들로 이동된다.
반출용 트레이 적재장치(114 내지 116)들에는 테스트가 완료된 반도체소자가 안착된 고객 트레이(CT)들이 적재된다. 참고로 반출용 트레이 적재장치(114 내지 116)를 복수개 구비하는 이유는 테스트 결과에 따라 반도체소자들을 구분하여 놓기 위함이다.
가열판(120)은 인출 위치(DP)에 있는 고객 트레이(CT)로부터 인출되어 온 반도체소자들을 가열한다. 이러한 가열판(120)은 전후 방향으로 왕복 이동된다. 참고로 반도체소자가 상온의 조건에서 테스트될 때에는, 반도체소자가 가열판을 거치지 않고 고객 트레이(CT)에서 직접 셔틀판(130)으로 이동될 수도 있다.
셔틀판(130)은 가열판(120)으로부터 온 반도체소자를 받아서 연결 부분(140)으로 공급하거나 연결 부분(140)으로부터 받은 반도체소자를 버퍼 트레이(151, 152)나 고객 트레이(CT)로 공급하기 위해 마련된다. 이를 위해 셔틀판(130)은 좌우 방향으로 왕복 이동된다. 여기서 셔틀판(130)이 좌측의 로딩 위치(LP)에 있는 경우에는 가열판(120)으로부터 온 반도체소자를 받고, 셔틀판(130)이 우측의 언로딩 위치(UP)에 있는 경우에는 안착된 반도체소자가 버퍼 트레이(151, 152)나 인입 위치(TP1 내지 TP3)에 있는 고객 트레이(CT)로 이동되며, 셔틀판(130)이 연결부분(140) 후방의 출입 위치(GP)에 있는 경우에는 안착된 반도체소자가 연결 부분(140)에 의해 인출되거나 연결 부분(140)에 의해 인입된다.
연결 부분(140)은 셔틀판(130)으로부터 반도체소자를 인출하여 테스터(미도시)에 전기적으로 연결시키고, 테스트가 완료된 반도체소자는 셔틀판(130)으로 인입시킨다. 참고로 테스터에 전기적으로 연결된 반도체소자는 테스터에 의해 전기적인 특성이 테스트된다.
버퍼 트레이(151, 152)에는 언로딩 위치(UP)에 있는 셔틀판(130)으로부터 오는 소량의 반도체소자들이 안착된다. 이러한 버퍼 트레이(151, 152)는 별개로 구성될 수도 있고, 고객 트레이(CT)로 구현될 수도 있다.
대게의 경우 테스트된 반도체소자들은 다수의 등급으로 나뉘어 분류되는데 몇몇의 등급(편의상 '소량 등급'이라 함)들로는 소량의 반도체소자들이 구분되고, 몇몇의 등급(편의상 '다량 등급'이라 함)들로는 다량의 반도체소자들이 구분되어진다. 이 때, 버퍼 트레이(151, 152)에는 테스트 결과 소량 등급들로 구분된 반도체소자들을 안착시키고, 인입 위치(TP1 내지 TP3)에 있는 고객 트레이(CT)들에는 대량 등급으로 구분된 반도체소자들을 안착시킨다.
한편, 반도체소자들은 일정하게 배열된 전기적 접속 단자들(핀 형태 또는 볼 형태 일 수 있음)을 가진다. 그런데, 새로이 테스트될 반도체소자들에 따라서는 전기적 접속 단자의 배열이 테스터에 있는 전기적 접속 단자들의 배열과 180도 달라질 경우가 발생한다.
따라서 특히 반입용 트레이 적재장치(111)에는 테스터에 전기적으로 접속되는 반도체소자들의 접속 방향을 고려하여 고객 트레이를 적재시킬 필요가 있다. 여기서 반입용 트레이 적재장치(111)에 다수의 고객 트레이(CT)를 적재시키는 작업은 수작업에 의해서 이루어지기 때문에, 고객 트레이(CT)의 적재 방향은 작업자의 세심한 주의를 요구한다. 만일 고객 트레이(CT)가 잘못된 적재 방향으로 반입용 트레이 적재장치(111)에 적재되었을 경우에는, 반도체소자가 테스터에 잘못된 상태로 접속됨으로써 테스트 오류, 반도체소자 손상 및 테스터 손상이 발생할 수 있다.
따라서 본 발명의 목적은 고객 트레이의 적재 방향을 안내할 수 있는 트레이 적재장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 제1 형태에 따른 반도체소자 테스트용 핸들러의 트레이 적재장치는, 적재되는 고객 트레이의 적재를 안내하는 적어도 하나 이상의 적재 안내기; 상기 적재 안내기의 안내를 따라 적재된 고객 트레이를 받치는 적어도 하나 이상의 받침기; 및 적재될 고객 트레이의 적재 방향을 인식시키는 방향 인식기; 를 포함한다.
상기 반도체소자 테스트용 핸들러의 트레이 적재장치는 상기 방향 인식기를 탈착 가능하게 고정시키기 위한 고정부재; 를 더 포함할 수 있다.
상기 반도체소자 테스트용 핸들러의 트레이 적재장치는 상기 방향 인식기를 이동시키는 이동기; 를 더 포함할 수 있다.
상기 반도체소자 테스트용 핸들러의 트레이 적재장치는 상기 이동기가 설치되는 설치판; 을 더 포함하고, 상기 설치판에는 상기 이동기의 이동을 안내하기 위한 안내구멍이 형성되어 있다.
상기 이동기는, 상기 안내구멍에 의해 안내되면서 이동할 수 있는 이동부재; 및 상기 이동부재를 상기 설치판에 이동 가능하게 결합시키는 결합부재; 를 포함한다.
상기 이동부재는 상기 안내구멍에 삽입되는 안내돌기를 가지며, 상기 이동부재와 상기 결합부재는 상기 설치판을 사이에 두고, 상기 안내돌기 부분에서 상호 결합된다.
상기 이동기는 상기 이동기의 위치를 고정하거나 고정을 해제하는 고정부재; 를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 제2 형태에 따른 반도체소자 테스트용 핸들러의 트레이 적재장치는,
적재되는 고객 트레이의 적재를 안내하는 적어도 하나 이상의 적재 안내기; 상기 적재 안내기의 안내를 따라 적재된 고객 트레이를 받치는 적어도 하나 이상의 받침기; 및 적재될 고객 트레이의 적재 방향을 인식하며, 이동 가능하게 설치되는 이동기; 를 포함한다.
상기 반도체소자 테스트용 핸들러의 트레이 적재장치는 상기 이동기가 설치되는 설치판; 을 더 포함하고, 상기 설치판에는 상기 이동기의 이동을 안내하기 위한 안내구멍이 형성되어 있다.
상기 이동기는, 상기 안내구멍에 의해 안내되면서 이동할 수 있는 이동부재; 및 상기 이동부재를 상기 설치판에 이동 가능하게 결합시키는 결합부재; 를 포함한다.
상기 이동부재는 상기 안내구멍에 삽입되는 안내돌기를 가지며, 상기 이동부재와 상기 결합부재는 상기 설치판을 사이에 두고, 상기 안내돌기 부분에서 상호 결합된다.
상기 이동기는 상기 이동기의 위치를 고정하거나 고정을 해제하는 고정부재; 를 더 포함할 수 있다.
본 발명에 따르면 방향 인식기에 의해 고객 트레이의 적재 방향을 인식하기 때문에 장비의 신뢰성을 향상시킨다.
더 나아가 본 발명에 따르면 테스트될 반도체소자의 종류에 따라서 간단한 조작에 의해 방향 인식기를 이동시킴으로써 고객 트레이의 적재 방향을 바꿀 수 있기 때문에 핸들러의 가동률을 상승시킬 수 있다.
도1은 일반적인 반도체소자 테스트용 핸들러의 개략적인 평면도이다.
도2는 본 발명에 따른 트레이 적재장치가 적용된 반도체소자 테스트용 핸들러의 개략적인 평면도이다.
도3은 본 발명에 따른 트레이 적재장치에 적재될 수 있는 고객 트레이에 대한 평면도이다.
도4는 본 발명의 제1 실시예에 따른 트레이 적재장치에 대한 개략적인 사시도이다.
도5 내지 도7은 도4의 트레이 적재장치를 설명하기 위한 참조도이다.
도8은 본 발명의 제2 실시에에 따른 트레이 적재장치에 대한 개략적인 사시도이다.
도9는 도8의 트레이 적재장치의 주요 부분에 대한 분해 사시도이다.
도10 및 도11은 도8의 트레이 적재장치를 설명하기 위한 개략적인 단면도이다.
도12는 제2실시예의 변형예에 따른 트레이 적재장치에 대한 개략적인 사시도이다
도13 및 도14는 도12의 트레이 적재장치를 설명하기 위한 개략적인 평면도이다.
이하 상기한 바와 같은 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 설명하되, 설명의 간결함을 위해 배경기술에서 언급된 설명은 가급적 생략하거나 압축한다.
도2는 본 발명에 따른 트레이 적재장치가 적용된 핸들러의 개략적인 평면도이다.
도2에 따른 핸들러(200)는 다수의 트레이 적재장치(211 내지 116), 한 쌍의 가열판(221, 222), 한 쌍의 셔틀판(231, 232), 연결 부분(240) 및 3개의 버퍼 트레이(251 내지 253)를 가진다.
도2의 핸들러(200)에서 한 쌍의 가열판(221, 222)은 상하로 높이차를 가지도록 설치되어서 전후 방향으로 교차하면서 왕복 이동할 수 있으며, 한 쌍의 셔틀판(231, 232)은 연결 부분(240)을 사이에 두고 배치된다. 이러한 가열판(221, 222)과 셔틀판(231, 232의 복수 구성으로 인해 처리 속도를 향상시킬 수 있다. 도2의 핸들러(200)에 대한 나머지 구성이나 기능들에 대한 설명은 배경기술과 중복되므로 생략한다.
물론, 버퍼 트레이(251 내지 253)는 고객 트레이(CT)로 대체될 수 있기 때문에 선택적인 구성임은 앞서 설명한 바와 같다.
도3은 본 발명에 따른 트레이 적재장치에 적재될 수 있는 고객 트레이(CT)에 대한 평면도이다.
고객 트레이(CT)는 반도체소자가 안착될 수 있는 다수의 안착홈(SS)을 행렬 형태로 가지며, 전단과 후단에는 작업자가 적재 방향을 인식할 수 있도록 전단과 후단의 일부분이 각각 전후 방향으로 돌출된 한 쌍의 방향 인식 요소(AP)를 가진다. 이러한 한 쌍의 방향 인식 요소(AP)는 일 측으로 치우치게 형성되어 있다.
<트레이 적재장치에 대한 제1 실시예>
도4는 본 발명의 제1 실시예에 따른 트레이 적재장치(410)에 대한 개략적인 사시도이다.
본 실시예에 따른 트레이 적재장치(410)는 8개의 적재 안내기(411a 내지 411h), 4개의 받침기(412a 내지 412d), 방향 인식기(413) 및 고정부재(414)를 포함한다.
8개의 적재 안내기(411a 내지 411h)는 상하 방향으로 긴 봉의 형태이다. 이러한 적재 안내기(411a 내지 411h)들은 도5의 평면도에서 참조되는 바와 같이 2개 씩 쌍을 이루어 고객 트레이(410)의 사각 모서리 부분을 안내한다. 물론, 8개의 적재 안내기(412a 내지 412h)는 고객 트레이(CT)의 적재 안내 및 적재 유지 기능을 수행할 수 있는 한 다양한 형태로 변경 가능할 것이다.
4개의 받침기(412a 내지 412d)는 적재 안내기(411a 내지 411h)의 안내를 따라 적재된 고객 트레이(CT)들을 4 부분에서 받친다. 여기서 받침기(412a 내지 412d)는 고객 트레이(CT)를 받칠 수만 있다면 다양한 개수 및 형태(구성)로 응용될 수 있다.
방향 인식기(413)는 상하 방향으로 긴 봉의 형태이다. 이러한 방향 인식기(413)는 고객 트레이(CT)의 적재 방향을 안내한다. 즉, 방향 인식기(413)는 전방에 있는 부호 411b의 적재 안내기와 부호 411c의 적재 안내기 사이이면서 부호 411b의 적재 안내기에 인접하게 위치한다.
고정부재(414)는 방향 인식기(413)의 위치를 고정시킨다. 본 실시예에서의 고정부재(414)는 방향 인식기(413)를 부호 411b의 적재 안내기에 탈착 가능하게 결합시킴으로써 방향 인식기(413)의 임의적인 회전이나 이동이 이루어지지 않도록 하고 있다.
따라서 방향 인식기(413)는 도5와 같이 고객 트레이(CT)의 방향 인식 요소(AP)가 부호 412c의 적재 안내기 측으로 치우쳐진 상태일 경우에만 고객 트레이(CT)의 적재를 허락하고, 도6에서와 같이 고객 트레이(CT)의 방향 인식 요소(AP)가 부호 412b의 적재 안내기 측으로 치우쳐진 상태의 적재는 허락하지 않게 된다.
만일 도6에서와 같이 고객 트레이(CT)의 방향 인식 요소(AP)가 부호 411b의 적재 안내기 측으로 치우쳐진 상태의 적재가 필요한 경우에는, 고정부재(414)를 풀어 방향 인식기(413)를 부호 411b의 적재 안내기로부터 탈거시킨 후 도7에서와 같이 부호 411c의 적재 안내기에 방향 인식기(413)를 결합시킴으로써 고객 트레이(CT)의 적절한 적재가 가능해질 수 있다.
<트레이 적재장치에 대한 제2 실시예>
도8은 본 발명의 제2 실시예에 따른 트레이 적재장치(810)에 대한 개략적인 사시도이고, 도9는 도8의 트레이 적재장치(810)의 주요 부분에 대한 분해 사시도다.
본 실시예에 따른 트레이 적재장치(810)는 8개의 적재 안내기(811a 내지 811h), 4개의 받침기(812a 내지 812d), 방향 인식기(813), 설치판(814) 및 이동기(815)를 포함한다.
8개의 적재 안내기(811a 내지 811h)는 2개 씩 쌍을 이루어 고객 트레이(CT)의 사각 모서리 부분을 안내한다.
4개의 받침기(812a 내지 812d)는 적재된 고객 트레이(CT)들을 받친다.
방향 인식기(813)는 고객 트레이(CT)의 적재 방향을 안내한다.
설치판(814)은 이동기(815)를 설치하기 위해 마련된다. 이를 위해 설치판(814)에는 이동기(815)의 이동 및 설치를 위한 상하 한 쌍의 안내구멍(GH)과 이동기(815)의 위치를 고정시키기 위한 한 쌍의 고정구멍(FH)이 형성되어 있다. 한 쌍의 안내구멍(GH)은 좌우 방향으로 길게 형성되어 있고, 한 쌍의 고정 구멍(FX)은 좌우 방향으로 간격을 두고 한 쌍의 안내구멍(GH) 사이에 형성되어 있다.
이동기(815)는 방향 인식기(813)를 부호 811b의 적재 안내기 측으로 이동시키거나 부호 811c의 적재 안내기 측으로 이동시키기 위해 마련된다. 이동기(815)는 이동부재(815a), 결합부재(815b), 고정부재(815c) 및 스프링(815d)을 포함한다.
이동부재(815a)는 전방으로 돌출된 상하 한 쌍의 안내돌기(GP)를 가진다. 한 쌍의 안내돌기(GP)는 각각 설치판(814)에 있는 한 쌍의 안내구멍(GH)에 삽입된다. 따라서 안내돌기(GP)가 안내구멍(GH)에 의해 안내됨으로써 이동기(815)가 좌우 방향으로 적절히 이동할 수 있게 된다. 이러한 이동부재(815a)에는 방향 인식기(813)가 결합된다.
결합부재(815b)는 이동부재(815a)를 설치판(814)에 이동 가능하게 결합시키기 위해 마련된다. 이동부재(815a)와 결합부재(815b)는 설치판(814)을 사이에 두고 안내돌기(GP)가 위치하는 부분에서 볼트(B)로 상호 결합된다. 이러한 결합부재(815b)에는 고정부재(815c)의 후단이 통과될 수 있는 통과구멍(TH)이 형성되어 있다.
고정부재(815c)는 그 후단이 통과구멍(TH)을 통과하여 설치판(814)의 고정구멍(FH)에 삽입되거나 외력에 의해 고정구멍(FH)으로부터 탈거될 수 있다. 고정부재(815c)의 후단이 고정구멍(FH)에 삽입된 경우에는 이동기(815)의 위치가 고정된 상태로 되고, 고정부재(815c)의 후단이 고정구멍(FH)으로부터 탈거된 경우에는 이동기(815)가 좌우 방향으로 이동 가능한 고정 해제 상태로 된다.
물론, 도9의 분해 사시도에는 고정부재(815c)가 결합부재(815b)로부터 분리되게 도시되었지만, 고정부재(815c)는 결합부재(815b)에 진퇴 가능하게 결합되도록 설계되어 있어서, 고정부재(815c)의 후단이 고정구멍(FH)으로부터 탈거된 후에도 고정부재(815c), 결합부재(815b) 및 이동부재 (815a)는 같이 결합된 상태로 이동할 수 있게 된다.
스프링(815d)은 고정부재(815c)에 후방으로 탄성력을 가한다.
참고로 위의 고정부재(815c)와 스프링(815d) 등은 인덱스 플런저의 형태로 모듈화되게 구현될 수 있다.
본 실시예에 따르면, 도10의 단면도에서와 같이 작업자가 고정부재(815c)를 전방으로 잡아당김으로써 고정부재(815b)의 후단이 고정구멍(FH)에서 탈거되도록 한 상태에서 이동기(815)를 부호 812b의 적재 안내기 측으로 이동시키거나 부호 812c의 적재 안내기 측으로 이동시킨 후 고정부재(815c)를 놓음으로써 간단하게 이동기(815)의 위치를 설정할 수 있다. 물론 이동기(815)에는 방향 인식기(813)가 결합되어 있기 때문에, 작업자에 의해 이동하는 이동기(815)는 방향 인식기(813)를 이동시키게 된다. 한편, 작업자의 인력이 제거된 고정부재(815c)는 도11에서와 같이 스프링(815d)의 탄성력에 의해 후퇴하면서 그 후단이 고정구멍(FH)에 삽입되고, 이로 인해 이동기(815)의 위치는 고정된다.
<제2 실시예에 대한 변형예>
제2실시예에서는 방향 인식기(813)를 이동부재(815a)에 설치하는 것에 대하여 설명을 하였으나, 본 변형예에 따르면 방향 인식기가 생략될 수 있다.
도12는 본 변형예에 따른 트레이 적재장치(910)에 대한 개략적인 사시도이다.
본 변형예에 따른 트레이 적재장치(910)는 4개의 적재 안내기(911a 내지 811d), 4개의 받침기(912a 내지 912d), 설치판(914) 및 이동기(915)를 포함한다.
4개의 적재 안내기(911a 내지 911d)는 수평 단면이 'ㄱ'자 형상으로서 각자가 고객 트레이(CT)의 사각 모서리 부분을 안내한다. 참고로 본 변형예에서는 작업자가 전면에서 고객 트레이(CT)를 적재하는 작업의 편의를 위해서 부호 911a 및 911b의 적재 안내기의 높이를 짧게 가져가고 있다.
4개의 받침기(912a 내지 912d), 설치판(914) 및 이동기(915)는 제2 실시예의 4개의 받침기(812a 내지 812d), 설치판(814) 및 이동기(815)의 구성과 동일하다.
다만, 본 변형예에서는 이동기(915)의 이동부재(915a)가 고객 트레이(CT)의 적재 방향을 인식하는 기능을 병행한다. 즉, 도13에서와 같이 이동기(915)가 우측으로 이동된 상태에서는 방향 인식 요소(AP)가 좌측으로 치우쳐 있는 고객 트레이(CT)가 적절히 적재될 수 있지만, 도14에서와 같이 방향 인식 요소(AP)가 우측으로 치우쳐 있는 고객 트레이(CT)는 이동부재(915a)에 의해 적재가 방해되기 때문에 고객 트레이(CT)의 적재 방향이 적절히 인식될 수 있게 되는 것이다.
위에서 설명된 트레이 적재장치(210, 810, 910)는 필요에 따라서 반입용 트레이 적재장치(211), 빈 트레이 적재장치(212, 213) 및 반출용 트레이 적재장치(214 내지 216)나 기타의 트레이 적재장치에 선택적으로 적용되거나 모두 적용될 수 있다.
상술한 바와 같이, 본 발명에 대한 구체적인 설명은 첨부된 도면을 참조한 실시예에 의해서 이루어졌지만, 상술한 실시예는 본 발명의 바람직한 예를 들어 설명하였을 뿐이기 때문에, 본 발명이 상기의 실시예에만 국한되는 것으로 이해되어져서는 아니 되며, 본 발명의 권리범위는 후술하는 청구범위 및 그 등가개념으로 이해되어져야 할 것이다.
410, 810, 910 : 트레이 적재장치
411a 내지 411h, 811a 내지 811h, 911a 내지 911d : 적재 안내기
412a 내지 412d, 812a 내지 812d, 911a 내지 911d : 받침기
413, 813 : 방향 인식기
414 : 고정부재
814 : 설치판
GH : 안내구멍
815 : 이동기
815a, 915a : 이동부재
GP : 안내돌기
815b : 결합부재
815c : 고정부재

Claims (8)

  1. 적재되는 고객 트레이의 적재를 안내하는 적어도 하나 이상의 적재 안내기;
    상기 적재 안내기의 안내를 따라 적재된 고객 트레이를 받치는 적어도 하나 이상의 받침기; 및
    적재될 고객 트레이의 적재 방향을 인식시키는 방향 인식기; 를 포함하는 것을 특징으로 하는
    반도체소자 테스트용 핸들러의 트레이 적재장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 방향 인식기를 탈착 가능하게 고정시키기 위한 고정부재; 를 더 포함하는 것을 특징으로 하는
    반도체소자 테스트용 핸들러의 트레이 적재장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 방향 인식기를 이동시키는 이동기; 를 더 포함하는 것을 특징으로 하는
    반도체소자 테스트용 핸들러의 트레이 적재장치.
  4. 적재되는 고객 트레이의 적재를 안내하는 적어도 하나 이상의 적재 안내기;
    상기 적재 안내기의 안내를 따라 적재된 고객 트레이를 받치는 적어도 하나 이상의 받침기; 및
    적재될 고객 트레이의 적재 방향을 인식하며, 이동 가능하게 설치되는 이동기; 를 포함하는 것을 특징으로 하는
    반도체소자 테스트용 핸들러의 트레이 적재장치.
  5. 제3항 또는 제4항에 있어서,
    상기 이동기가 설치되는 설치판; 을 더 포함하고,
    상기 설치판에는 상기 이동기의 이동을 안내하기 위한 안내구멍이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는
    반도체소자 테스트용 핸들러의 트레이 적재장치.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 이동기는,
    상기 안내구멍에 의해 안내되면서 이동할 수 있는 이동부재; 및
    상기 이동부재를 상기 설치판에 이동 가능하게 결합시키는 결합부재; 를 포함하는 것을 특징으로 하는
    반도체소자 테스트용 핸들러의 트레이 적재장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 이동부재는 상기 안내구멍에 삽입되는 안내돌기를 가지며,
    상기 이동부재와 상기 결합부재는 상기 설치판을 사이에 두고, 상기 안내돌기 부분에서 상호 결합되는 것을 특징으로 하는
    반도체소자 테스트용 핸들러의 트레이 적재장치.
  8. 제6항에 있어서,
    상기 이동기는 상기 이동기의 위치를 고정하거나 고정을 해제하는 고정부재; 를 더 포함하는 것을 특징으로 하는
    반도체소자 테스트용 핸들러의 트레이 적재장치.







KR1020130052809A 2013-05-10 2013-05-10 반도체소자 테스트용 핸들러의 트레이 적재장치 KR101999623B1 (ko)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020130052809A KR101999623B1 (ko) 2013-05-10 2013-05-10 반도체소자 테스트용 핸들러의 트레이 적재장치
TW103116584A TWI572871B (zh) 2013-05-10 2014-05-09 半導體元件測試用分選機的托盤裝載裝置
CN201410196722.9A CN104138853B (zh) 2013-05-10 2014-05-09 半导体元件测试用分选机的托盘装载装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020130052809A KR101999623B1 (ko) 2013-05-10 2013-05-10 반도체소자 테스트용 핸들러의 트레이 적재장치

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20140133976A true KR20140133976A (ko) 2014-11-21
KR101999623B1 KR101999623B1 (ko) 2019-07-16

Family

ID=51848287

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020130052809A KR101999623B1 (ko) 2013-05-10 2013-05-10 반도체소자 테스트용 핸들러의 트레이 적재장치

Country Status (3)

Country Link
KR (1) KR101999623B1 (ko)
CN (1) CN104138853B (ko)
TW (1) TWI572871B (ko)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9343342B2 (en) 2014-03-18 2016-05-17 Techwing Co., Ltd. Handler for testing semiconductor device with detecting sensors
KR20160094231A (ko) * 2015-01-30 2016-08-09 (주)테크윙 전자부품 언로딩장비
KR20170103496A (ko) * 2016-03-04 2017-09-13 (주)테크윙 전자부품 공급용 트레이 공급대차 및 전자부품을 처리하는 핸들러
KR20210042293A (ko) * 2017-03-29 2021-04-19 (주)테크윙 전자부품 테스트용 핸들러

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102656451B1 (ko) * 2016-03-18 2024-04-12 (주)테크윙 전자부품 테스트용 핸들러
CN108622654A (zh) * 2017-03-15 2018-10-09 苏州汉扬精密电子有限公司 自动上下料结构
CN113546853A (zh) * 2021-06-30 2021-10-26 江苏筑一智能装备科技有限公司 全自动视觉检测分拣及下料装置

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09165104A (ja) * 1995-12-19 1997-06-24 Advantest Corp ハンドラ装置のストッカ部
KR20080075755A (ko) * 2007-02-13 2008-08-19 (주)제이티 트레이이송장치
KR20090004640U (ko) * 2007-11-12 2009-05-15 (주)테크윙 테스트핸들러용 셋플레이트
KR100958275B1 (ko) * 2008-02-05 2010-05-19 에버테크노 주식회사 핸들러의 스택커

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3644553B2 (ja) * 1995-11-20 2005-04-27 株式会社アドバンテスト Ｉｃソケット
JP3417528B2 (ja) * 1996-04-05 2003-06-16 株式会社アドバンテスト Ｉｃ試験装置
JP3809008B2 (ja) * 1998-03-27 2006-08-16 株式会社アドバンテスト カストマトレイストッカ
US7755374B2 (en) * 2006-03-08 2010-07-13 Cojocneanu Christian O Apparatus and method for testing semiconductor devices
DE102007005749A1 (de) * 2007-01-31 2008-08-14 Hauni Maschinenbau Ag Entleermagazin und Verfahren zum Entleeren von mit stabförmigen Produkten gefüllten Schragen, insbesondere Schachtschragen
US7518357B2 (en) * 2007-04-12 2009-04-14 Chroma Ate Inc. Test circuits of an apparatus for testing micro SD devices
KR100941674B1 (ko) * 2008-01-29 2010-02-12 (주)테크윙 전자부품 검사 지원을 위한 핸들러용 캐리어보드이송시스템 및 전자부품 검사 지원을 위한 핸들러의 챔버내에서의 캐리어보드 이송방법
TWI372437B (en) * 2008-02-26 2012-09-11 Cheng Mei Instr Co Ltd System for inspecting chip surface in a tray, tray handling apparatus and method thereof
CN101738500B (zh) * 2008-11-20 2013-01-16 未来产业株式会社 用于校正用户托盘位置的设备以及测试处理机
KR101133188B1 (ko) * 2009-03-27 2012-04-09 (주)제이티 소자소팅장치 및 그 방법
KR101364485B1 (ko) * 2009-11-25 2014-02-20 가부시키가이샤 아드반테스트 기판장착장치, 테스트 헤드 및 전자부품 시험장치

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09165104A (ja) * 1995-12-19 1997-06-24 Advantest Corp ハンドラ装置のストッカ部
KR20080075755A (ko) * 2007-02-13 2008-08-19 (주)제이티 트레이이송장치
KR20090004640U (ko) * 2007-11-12 2009-05-15 (주)테크윙 테스트핸들러용 셋플레이트
KR100958275B1 (ko) * 2008-02-05 2010-05-19 에버테크노 주식회사 핸들러의 스택커

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9343342B2 (en) 2014-03-18 2016-05-17 Techwing Co., Ltd. Handler for testing semiconductor device with detecting sensors
KR20160094231A (ko) * 2015-01-30 2016-08-09 (주)테크윙 전자부품 언로딩장비
KR20170103496A (ko) * 2016-03-04 2017-09-13 (주)테크윙 전자부품 공급용 트레이 공급대차 및 전자부품을 처리하는 핸들러
KR20210042293A (ko) * 2017-03-29 2021-04-19 (주)테크윙 전자부품 테스트용 핸들러

Also Published As

Publication number Publication date
CN104138853A (zh) 2014-11-12
CN104138853B (zh) 2017-05-31
KR101999623B1 (ko) 2019-07-16
TW201506422A (zh) 2015-02-16
TWI572871B (zh) 2017-03-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101999623B1 (ko) 반도체소자 테스트용 핸들러의 트레이 적재장치
JP3007211B2 (ja) 電子部品コンタクトアセンブリおよびその接続方法
KR101026293B1 (ko) 회로 차단기의 인/입출 위치표시장치
TWI454711B (zh) 自動對位裝置
KR20140121909A (ko) 반도체소자 테스트용 핸들러
CN107425391B (zh) 压接工具替换装置和相应的压接工具替换方法
KR101811646B1 (ko) 테스트핸들러용 픽앤플레이스장치
KR102043632B1 (ko) 반도체소자 테스트용 핸들러의 트레이 적재장치
ES2934471T3 (es) Probador de placa electrónica de sonda voladora y método de prueba del mismo
US9343342B2 (en) Handler for testing semiconductor device with detecting sensors
KR20200022816A (ko) 테스트트레이 및 전자부품 테스트용 핸들러
KR200472760Y1 (ko) 트레이 지지장치
US9685722B2 (en) Upper plate biasing unit and electrical component socket
KR102145306B1 (ko) 전자부품 테스트 장비
KR20110003836A (ko) 반도체 패키지 검사장치용 프레스 커버
KR200479310Y1 (ko) 커스터머 트레이 이송암
CN102013390B (zh) 半导体器件分拣装置
KR102189388B1 (ko) 반도체소자 테스트용 핸들러
KR101173373B1 (ko) 커스터머 트레이 스택커
KR101045277B1 (ko) 테스트 핸들러용 하이픽스보드 클램핑장치
KR101249018B1 (ko) 이젝터 및 이젝터를 이용한 이젝팅 시스템
US8523158B2 (en) Opener and buffer table for test handler
TWI404933B (zh) Test unit and test head
KR102289016B1 (ko) 전자 부품 버퍼 장치
KR101911958B1 (ko) 커스터머 트레이 스택커

Legal Events

Date Code Title Description
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant