KR100941674B1

KR100941674B1 - 전자부품 검사 지원을 위한 핸들러용 캐리어보드이송시스템 및 전자부품 검사 지원을 위한 핸들러의 챔버내에서의 캐리어보드 이송방법

Info

Publication number: KR100941674B1
Application number: KR1020080009179A
Authority: KR
Inventors: 나윤성; 전인구; 여동현; 권영호; 김형수
Original assignee: (주)테크윙
Priority date: 2008-01-29
Filing date: 2008-01-29
Publication date: 2010-02-12
Also published as: US8570058B2; WO2009096675A2; WO2009096675A3; KR20090083174A; US20100303588A1; CN101910854B; TWI403737B; TW200945356A; CN101910854A

Abstract

본 발명은 전자부품 검사 지원을 위한 핸들러용 캐리어보드 이송시스템 및 이송방법에 관한 것이다.

본 발명에 따르면, 캐리어보드를 이송시작위치에서 중간이송위치 및 이송종료위치 중 선택적으로 어느 하나의 위치로 이송시킬 수 있으면서도 챔버 내에서 서로 떨어져 있는 캐리어보드를 캐리어보드의 순환방향으로 인접하게 모을 수 있어서, 캐리어보드의 이송속도 및 전체 순환속도를 향상시킬 수 있고, 테스트환경조건에 따라서 캐리어보드의 이송속도를 조절하는 것이 용이한 기술이 개시된다.

핸들러, 전자부품 검사 장치, 테스트트레이 이송

Description

전자부품 검사 지원을 위한 핸들러용 캐리어보드 이송시스템 및 전자부품 검사 지원을 위한 핸들러의 챔버 내에서의 캐리어보드 이송방법{CARRIER BOARD TRANSFERENCE SYSTEM FOR THE HANDLER IN ORDER TO SUPPORT TESTING AN ELECTRIC DEVICE AND METHOD OF CARRIER BOARD TRANSFERENCE IN THE CHAMBER OF THE HANDLER IN ORDER TO SUPPORT TESTING AN ELECTRIC DEVICE}

본 발명은 전자부품 검사 지원을 위한 핸들러에 관계하는 것으로, 더욱 상세히는 캐리어보드를 이송시키는 기술에 관한 것이다.

전자부품 검사 지원을 위한 핸들러로는 패키지 상태의 반도체소자의 검사를 지원하기 위한 핸들러, 모듈램의 검사를 지원하기 위한 핸들러 등 다수의 종류가 있다.

일반적으로 핸들러는 전자부품이 다수개 적재될 수 있는 캐리어보드('테스트트레이'를 포함한다.)를 일정한 순환경로 상에서 순환시키면서 캐리어보드에 적재된 상태로 전자부품이 테스트될 수 있도록 지원하고 있다. 순환경로에는 캐리어보 드에 적재된 전자부품이 테스터(TESTER)에 전기적으로 접속되어 테스트가 이루어지는 테스트위치가 존재한다.

전자부품은 인위적으로 조성된 테스트환경조건에 동화된 상태로 테스트가 이루어진다. 따라서 핸들러는 전자부품에 테스트환경조건에 따른 스트레스를 가한 후 전자부품을 테스터에 전기적으로 접속시키게 된다. 이를 위해 핸들러는, 전자부품에 테스트환경조건에 따른 스트레스를 가하고, 전자부품이 가해진 스트레스를 유지한 상태에서 테스트될 수 있도록 하기 위해서 외기(外氣)와 열적으로 차단될 수 있는 챔버를 가진다.

챔버는 복수개 구비될 수 있는데, 전자부품에 온도 스트레스를 가해야 하는 핸들러를 예로 들면, 캐리어보드가 테스트위치까지 이송되기에 앞서 미리 전자부품을 예열/예냉시키는 소크(Soak)챔버[예열챔버, 가열챔버, 프로스트챔버, 프리히터(Pre-heater) 등으로도 명명됨]와, 소크챔버에서 예열/예냉된 전자부품의 온도 상태를 유지시키면서 테스트가 이루어질 수 있도록 하는 테스트챔버와, 테스트챔버를 거쳐 오는 캐리어보드에 적재된 전자부품의 온도 상태를 상온에 가깝게 회복시키기 위한 디소크(De-Soak)챔버[회복챔버, 냉각챔버, 디프로스트챔버, 디프로스터(De-Froster) 등으로도 명명됨]를 구비할 수 있다. 그리고 이러한 예에 관한 기술은 이미 다수 공개되어 있다.

위와 같이 핸들러가 챔버를 구비하는 경우에는, 챔버 내부가 캐리어보드의 순환경로의 일부 구간으로 제공된다. 따라서 챔버 내부에서 캐리어보드를 이송시킬 수 있는 이송방법이 있어야 하고, 그 이송방법을 실현시킬 수 있는 이송시스템이 구비되어져야만 한다.

챔버 내부에서의 캐리어보드 이송방법 및 이송시스템에 관한 기술로서, 대한민국 특허등록 10-0277539호(발명의 명칭 : 모듈 아이씨 핸들러의 챔버, 이하 '선행기술1'이라 함), 대한민국 특허등록 10-0313007호(핸들러 냉각챔버에서의 테스트 트레이 이송장치, 이하 '선행기술2'라 함), 대한민국 등록특허 10-0771475호(사이드도킹방식 테스트핸들러 및 사이드도킹방식 테스트핸들러용 테스트트레이 이송장치, 이하 '선행기술3'이라 함), 대한민국 등록특허 10-0792732호(발명의 명칭 : 반도체 소자 테스트 핸들러의 테스트 트레이 이송장치, 이하 '선행기술4'라 함) 등이 앞서 제안되어져 왔다.

선행기술1에 의하면 챔버 내부에서 캐리어보드(선행기술1에는 ' 캐리어 ' 로 정의 됨)를 1스텝씩 단계적으로 이송시킬 수 있는 이송방법 및 이송시스템이 개시되어 있다. 선행기술1에서와 같이, 캐리어보드를 1스텝씩 단계적으로 이송시키는 방법은 챔버 내부에서 캐리어보드를 이송시키는 일반적인 이송방법에 지나지 않는다. 여기서 1스텝씩 이라함은 서로 이어져 이루어지는 이송과 이송 사이의 중간에 캐리어보드의 이송이 정지되는 이송정지시간을 가지는 것을 말하며, 이송정지시간은 캐리어보드로 전자부품을 로딩시키는 시간, 캐리어보드에 적재된 전자부품이 테스트되는 시간, 캐리어보드로부터 전자부품을 언로딩시키는 시간과는 무관하다.

따라서 선행기술1에 의할 경우, 캐리어보드의 이송 시에 이송정지시간을 가져야만 하기 때문에 그 만큼 캐리어보드의 이송속도가 느려질 수밖에는 없어서, 짧은 순환시간을 요하는 경우에도 캐리어보드의 이송속도 및 전체 순환속도를 향상시 키는데 한계가 있다. 여기서 짧은 순환시간을 요하는 경우라 함은 테스트환경조건에 의해 요구되는 전자부품의 상태가 챔버 내에서 빠른 시간에 도달될 수 있고 테스트시간이 짧아서 캐리어보드가 빠르게 순환되는 것이 바람직한 경우를 말한다.

또한, 선행기술1에 의할 경우, 앞의 캐리어보드와 뒤의 캐리어보드 사이에 다른 캐리어보드가 없고 앞의 캐리어보드와 뒤의 캐리어보드 사이에 한 장 이상의 캐리어보드가 놓여 질 수 있는 경우에도 뒤의 캐리어보드를 이송시켜 앞의 캐리어보드에 인접하게 위치시킬 수는 없으며, 이 또한 캐리어보드의 이송속도 및 전체 순환속도를 향상시키는데 한계로 작용한다.

선행기술2에 따른 이송시스템에 의하면, 앞의 캐리어보드(선행기술2에는 '테스트 트레이'로 정의됨)가 이송되는 도중에 하강하는 새로운 캐리어보드를 받아 연속적인 이송을 가능하게 하고 새로이 하강된 뒤의 캐리어보드를 미리 앞의 캐리어보드에 인접하게 이송시켜 놓을 수는 있으나, 이 또한 서로 이어져 이루어지는 이송과 이송 사이의 중간에 이송정지시간을 가져야만 하는 구성 및 그 한계를 벗어나지 못한다.

그래서 위와 같은 선행기술1 및 2에 따른 기술에서 공통적으로 가지는 이송정지시간을 제거시키기 위해 제안된 기술이 선행기술3 및 선행기술4이다.

선행기술3에 의하면 무한궤도체의 동작에 의해 캐리어보드(선행기술3에는 '테스트트레이'로 정의됨)가 이송종료위치까지 이송정지시간을 가지지 않고도 이송될 수 있기 때문에, 이송속도 및 전체 순환속도를 향상시킬 수 있게 된다.

그런데, 선행기술3에 의할 경우에도, 현재 무한궤도체의 가장 하측에 있는 파지체가 순환경로 상에서 앞서 순환하는 앞의 캐리어보드를 파지하고 있고 수직전환자세변환기의 동작이 이루어질 수 없는 상황에서, 트레이안착기에 의해 현재 무한궤도체의 가장 상측에 있는 파지체로 순환경로 상에서 앞의 캐리어보드를 뒤따라 순환하는 뒤의 캐리어보드가 공급되면, 뒤의 캐리어보드와 앞의 캐리어보드를 순환방향으로 인접하게 모으는 것이 불가능하다. 따라서 그만큼 캐리어보드의 이송속도 및 전체 순환속도를 향상시키는데 한계를 가진다. 참고로 뒤의 캐리어보드와 앞의 캐리어보드를 순환방향으로 인접하게 모은다는 의미는 앞의 캐리어보드를 현재 위치에 그대로 유지시키고 뒤의 캐리어보드를 앞의 캐리어보드에 인접한 위치까지 미리 이송시켜 모은다는 것을 말한다.

선행기술4에 의하면, 이송바의 회전에 의해 캐리어보드(선행기술4에는 '테스트트레이'로 정의됨)가 이송되는데, 서보모터의 작동을 어떻게 제어하느냐에 따라서 이송정지시간을 가지거나 이송정지시간을 가지지 아니할 수도 있도록 되어 있다.

그러나 선행기술4의 경우도 선행기술3이 가지는 문제점을 그대로 가지고 있을 뿐이다.

본 발명은, 1스텝씩의 이송이 가능하면서도 상황에 따라서는 이송정지시간을 배제시킬 수도 있으며, 챔버 내에서 서로 떨어진 캐리어보드를 캐리어보드의 이송방향으로 인접하게 모을 수도 있는 캐리어보드 이송시스템 및 이송방법에 관한 기 술을 제공하는 것을 목적으로 한다.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 전자부품 검사 지원을 위한 핸들러용 캐리어보드 이송시스템은, 이송시작위치에 있는 캐리어보드를 적어도 하나 이상의 중간이송위치 및 이송종료위치 중 선택적으로 어느 하나의 위치까지 이송시킬 수 있는 이송장치; 및 상기 적어도 하나 이상의 중간이송위치에 위치된 캐리어보드를 지지하거나 지지해제할 수 있는 적어도 하나 이상의 지지장치; 를 포함하는 것을 특징으로 한다.

상기 이송시작위치로 오는 캐리어보드를 안내하고, 상기 이송시작위치에 위치된 캐리어보드를 지지하거나 지지해제할 수 있는 안내장치; 를 더 포함하는 것을 또 하나의 특징으로 한다.

상기 이송종료위치에 있는 캐리어보드를 지지하는 받침장치; 를 더 포함하는 것을 또 하나의 특징으로 한다.

상기 캐리어보드의 일 측 변을 지지하기 위해 고정 마련되는 지지판; 을 더 포함하고, 상기 지지장치는, 캐리어보드의 타 측 변을 지지하거나 지지해제하는 지지부재; 및 상기 지지부재를 캐리어보드 측 방향이나 반대방향으로 이동시키는 이동기; 를 포함하는 것을 또 하나의 특징으로 한다.

상기 지지장치가 복수개 구비되는 경우 복수개의 지지장치 각각은 서로 독립적으로 작동되는 것을 또 하나의 특징으로 한다.

상기 이송장치는, 캐리어보드를 파지하거나 파지해제할 수 있는 적어도 둘 이상의 파지기; 및 상기 적어도 둘 이상의 파지기에 의해 파지된 캐리어보드를 상기 적어도 하나 이상의 중간이송위치 및 이송종료위치 중 선택적으로 어느 하나의 위치까지 이송시킬 수 있도록 상기 적어도 둘 이상의 파지기를 캐리어보드의 이송방향으로 이송시키는 이송기; 를 포함하는 것을 구체적인 특징으로 한다.

상기 파지기는, 캐리어보드의 이송방향으로 긴 파지축; 및 상기 파지축을 일정 각도 범위에서 정역회전시키는 구동원; 을 포함하고, 상기 파지축은 일 단이 상기 구동원에 결합되고 타 단은 캐리어보드의 변 또는 모서리를 지지할 수 있도록 돌출된 적어도 하나 이상의 파지단; 을 가지는 것을 더 구체적인 특징으로 한다.

상기 이송기는, 캐리어보드의 이송방향으로 긴 스크류축(screw shaft); 상기 스크류축을 임의의 회전범위에서 정역회전시킬 수 있는 모터; 및 상기 스크류축과 스크류결합되어서 상기 스크류축의 회전에 따라 캐리어보드의 이송방향으로 왕복이동될 수 있는 결합판; 을 포함하고, 상기 적어도 둘 이상의 파지기는 상기 결합판에 결합되어 있는 것을 더 구체적인 특징으로 한다.

또한, 상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 전자부품 검사 지원을 위한 핸들러의 챔버 내에서의 캐리어보드 이송방법은, 이송시작위치에 있는 캐리어보드를 적어도 하나 이상의 중간이송위치 및 이송종료위치 중 선택적으로 어느 하나의 위치로 이송시키되, 상기 이송종료위치에 앞의 캐리어보드가 위치되어 있을 경우에는 상기 이송시작위치에 있는 뒤의 캐리어보드를 상기 적어도 하나 이상의 중간이송위치로 이송시키는 것을 특징으로 한다.

캐리어보드의 이송방향은 캐리어보드의 전자부품 적재면에 수직한 방향인 것을 또 하나의 특징으로 한다.

또한, 상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 전자부품 검사 지원을 위한 핸들러용 캐리어보드 지지장치는, 캐리어보드의 일 측 변을 지지하거나 지지해제하는 제1지지부; 및 캐리어보드의 타 측 변을 지지하거나 지지해제하는 제2지지부; 를 포함하고, 상기 제2지지부는, 캐리어보드의 타 측 변을 지지하기 위한 지지부재; 및 상기 지지부재를 캐리어보드 측 방향이나 반대방향으로 이동시키는 이동기; 를 포함하며, 상기 이동기는, 캐리어보드의 이송방향으로 긴 회전축; 일단은 상기 회전축에 고정되고 타단은 상기 지지부재에 회전 가능하게 결합됨으로써 상기 회전축의 회전에 따라 상기 일단을 회전중심으로 하여 상기 타단이 회전되는 회전부재; 및 상기 회전축을 일정 각도 범위 내에서 정역 왕복 회전시킬 수 있는 구동력을 공급하는 구동원; 을 포함하는 것을 특징으로 한다.

상기 이동기는 상기 회전축의 회전에 따라서 이동하는 상기 지지부재의 균형적인 이동을 보조하기 위한 보조기; 를 더 포함하는 것을 또 하나의 특징으로 한다.

위와 같은 본 발명에 따르면 임의적으로 이송정지시간을 가지거나 이송정지 시간을 가지지 않을 수 있고, 챔버 내에서 서로 떨어져 있는 캐리어보드를 캐리어보드의 순환방향으로 인접하게 모으는 것이 가능하기 때문에 다음과 같은 효과가 있다.

첫째, 캐리어보드의 이송속도 및 전체 순환속도를 향상시킬 수 있다.

둘째, 테스트환경조건에 따라서 캐리어보드의 이송속도를 빠르게 또는 느리게 조절하는 것을 더 용이하게 구현할 수 있다.

이하에서는 상술한 바와 같은 본 발명에 따른 전자부품 검사 지원을 위한 핸들러용 캐리어보드 이송시스템(이하 '이송시스템'이라 약칭함) 및 전자부품 검사 지원을 위한 핸들러의 챔버 내에서의 캐리어보드 이송방법(이하 '이송방법'이라 약칭함)에 대한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 더 구체적으로 설명하되, 설명의 간결함을 위해 중복되는 설명은 생략한다.

<제1실시예>

도1은 챔버(CH)가 배치된 부분의 이송구간에서 캐리어보드(CB)가 수평상태로 이송되는 이송흐름(Fw)을 화살표로 표시하고 있다.

도1에서 참조되는 바와 같이, 캐리어보드(CB)는 챔버(CH)의 전방 측 벽면(Fr)의 상측 부분에서 챔버(CH) 내부로 진입하여 본 발명에 따른 이송시스템에 의한 캐리어보드(CB)의 이송이 시작되는 이송시작위치(S)에 위치되고, 이송시작위 치(S)에서 제1중간위치(M₁) 및 제2중간위치(M₂)를 거쳐 본 발명에 따른 이송시스템에 의한 캐리어보드(CB)의 이송이 종료되는 이송종료위치(E)까지 하강한 다음 챔버(CH)의 우측 벽면(Ri) 하측 부분을 통해 챔버(CH) 외부로 진출된다.

도1과 같은 캐리어보드(CB)의 이송흐름을 가지기 위해, 챔버(CH)의 전방 측 벽면(Fr)의 상측 부분에는 캐리어보드(CB)가 챔버(CH)의 내부로 진입될 수 있는 진입구(In)가 도어(미도시)에 의해 개폐가능하게 형성되어 있고, 챔버(CH)의 우측 벽면(Ri)의 하측 부분에는 캐리어보드(CB)가 챔버(CH)의 외부로 진출될 수 있는 진출구(Out)가 형성되어 있다.

도1의 챔버(CH)에서 우측 벽면(Ri)의 하측 부분에 형성된 진출구(Out)는 도어에 의해 개폐가능하도록 구현될 수도 있으나, 챔버(CH)의 우측 방향에 또 다른 챔버가 붙어 있는 경우라면 진출구(Out)를 개폐하기 위한 별도의 도어를 구성시키지 않아도 좋다.

물론, 진입구(In)를 통한 캐리어보드(CB)의 진입이나 진출구(Out)를 통한 캐리어보드(CB)의 진출은 본 발명에 따른 이송시스템과는 다른 별개의 이송장치들에 의해 이루어지는데, 챔버(CH) 내부로 캐리어보드(CB)를 진입시키거나 챔버(CH) 외부로 캐리어보드(CB)를 진출시키는 이송장치에 관한 기술은 다수가 공지되어 있으므로 그에 대한 설명은 생략한다.

도2는, 도1에서 참조되는 바와 같은, 챔버(CH) 내부에서 이루어지는 캐리어보드의 이송을 담당하는 이송시스템(2000)에 대한 개략적인 사시도이다.

본 실시예에 따른 이송시스템(2000)은, 도2에서 참조되는 바와 같이, 챔버(CH) 내부 및 외부에 걸쳐서 구성되어 지며, 안내장치(2100), 이송장치(2200), 제1지지장치(2300), 제2지지장치(2400) 및 받침장치(2500) 등을 포함한다.

1. 안내장치(2100)에 대한 설명

안내장치(2100)는 챔버(CH) 외부에서 챔버(CH) 내부의 이송시작위치로 진입되는 캐리어보드를 안내하고, 이송시작위치에 위치된 캐리어보드를 지지하거나 지지해제한다. 이를 위해 안내장치(2100)는, 도3에서 참조되는 바와 같이, 캐리어보드(CB)의 좌측 변을 안내 및 지지하기 위한 제1안내레일부(2110)와 캐리어보드(CB)의 우측 변을 안내 및 지지하기 위해 제1안내레일부(2110)와 좌우방향으로 대향되게 배치되는 제2안내레일부(2120)를 포함하여 구성된다.

제1안내레일부(2110)는 제1안내레일(2111) 및 제1간격조절기(2112)를 포함한다.

제1안내레일(2111)은, 진입되는 캐리어보드(CB)의 좌측 변을 안내하고, 진입이 완료되어 이송시작위치(S)에 위치된 캐리어보드(CB)가 하방으로 낙하되지 않도록 캐리어보드(CB)의 좌측 변을 지지하며, 좌측 방향으로 돌출된 결합단(2111a)을 가진다.

제1간격조절기(2112)는 제1안내레일(2111)에 의해 캐리어보드(CB)의 좌측 변이 지지될 수 있도록 하거나 지지가 해제될 수 있도록 하기 위해 마련되는 것으로, 간격조절축(2112a), 간격조절부재(2112b), 구동원(2112c) 및 보조기(2112d)를 포함하여 구성된다.

간격조절축(2112a)은 상하 방향(캐리어보드의 이송방향)으로 길고, 상측 단이 챔버(CH)의 상측 벽면(To)에 설치되는 구동원(2112c)의 작동에 의해 정해진 각도 범위에서 정역회전된다.

간격조절부재(2112b)는 좌측 단이 간격조절축(2112a)의 하측 단에 고정되거나 일체로 형성되고 우측 단이 제1안내레일(2111)의 결합단(2111a)에 회전 가능하게 결합된다. 따라서 구동원(2112c)이 작동하여 간격조절축(2112a)이 정역회전하면 좌측 단을 회전중심으로 하여 우측 단이 정해진 각도 범위에서 정역회전하게 된다.

구동원(2112c)은 챔버(CH)의 상측 벽면(To)이면서 챔버(CH)의 외부에 설치되며, 간격조절축(2112a)을 정해진 각도 범위에서 정역회전시킨다. 본 실시예에서는 구동원(2112c)의 예로서 모터를 도시하고 있지만, 실시하기에 따라서는 실린더를 이용하여 구동하는 것도 가능하다.

보조기(2112d)는 간격조절축(2112a)의 회전에 따라서 이동하는 제1안내레일(2111)의 균형적인 이동을 보조하기 위한 것으로, 보조축(2112d-1) 및 보조부재(2112d-2)를 포함하여 구성된다.

보조축(2112d-1)은 간격조절축(2112a)과 평행하게 일정 간격 이격되어 배치되며 상측 단이 챔버(CH)의 상측 벽면(To)에 회전 가능하게 결합된다.

보조부재(2112d-2)는 간격조절부재(2112b)에 대응되게 마련되는 것으로 좌측 단이 보조축(2112d-1)의 하측 단에 고정되고 우측 단이 제1안내레일(2111)의 결합단(2111a)에 회전 가능하게 결합된다.

제2안내레일부(2120)는 제2안내레일(2121), 제2간격조절기(2122)를 포함한 다.

제2안내레일(2121)은, 진입되는 캐리어보드(CB)의 우측 변을 안내하고, 진입이 완료되어 이송시작위치(S)에 위치된 캐리어보드(CB)가 하방으로 낙하되지 않도록 캐리어보드(CB)의 우측 변을 지지한다.

제2간격조절기(2122)는 제2안내레일(2121)에 의해 캐리어보드(CB)의 우측 변이 지지될 수 있도록 하거나 지지가 해제될 수 있도록 하기 위해 마련되는 것으로 서로 일정 간격 이격되게 설치되는 한 쌍의 실린더(2122a, 2122b)로 구성되어 있다.

한 쌍의 실린더(2122a, 2122b) 각각은 실린더바디(2122a-1, 2122b-1)가 챔버(CH)의 우측 벽면(Ri)이면서 챔버(CH)의 외부에 설치되고, 실린더로드(2122a-2, 2122b-2)는 챔버(CH)의 우측 벽면(Ri)을 관통하여 제2안내레일(2121)에 결합된다. 물론, 본 실시예에서는 제2안내레일부(2120)를 제1안내레일부(2110)보다 비교적 간단하게 구성시키고 있지만, 실시하기에 따라서는 챔버 우측 벽면의 사용 상태, 캐리어보드의 이송형태, 챔버 우측 공간의 타 기계장치의 구성 등에 따라서 제2안내레일부를 제1안내레일부와 동일하게 구성시키는 것도 얼마든지 가능하다.

계속하여 위와 같은 안내장치(2100)의 작동에 대하여 설명한다.

도4 및 도5는 안내장치(2100)를 상측에서 하측 방향으로 바라본 작동상태도이다.

먼저, 도4에서와 같이 제1안내레일(2111) 및 제2안내레일(2121) 간의 간 격(d₁)이 좁혀진 상태에서 캐리어보드(CB)가 제1안내레일(2111) 및 제2안내레일(2121)에 의해서 안내되면서 진입되어 이송시작위치에 위치된다.

이어서 차후 설명될 이송장치(2200)에 의해 캐리어보드(CB)가 지지되면 이송장치(2200)에 의해 캐리어보드(CB)가 하방향으로 하강될 수 있도록 하기 위해, 도5에서 참조되는 바와 같이, 구동원(2112c)이 작동하여 간격조절축(2112a)을 정방향(화살표 참조)으로 회전시키고 한 쌍의 실린더(2122a, 2122b)가 작동하여 실린더로드(2122a-2, 2122b-2)를 후퇴시킴으로써 제1안내레일(2111)과 제2안내레일(2121) 간의 간격(d₂)을 벌려 캐리어보드(CB)의 지지를 해제한다.

그리고 도5와 같은 상태에서 이송장치(2200)에 의해 캐리어보드(CB)가 이송시작위치(S)에서 하강하고 뒤에 오는 캐리어보드(CB)를 안내 및 지지하기 위해 한 쌍의 실린더(2122a, 2122b) 및 구동원(2112c)이 역작동하여 제1안내레일(2111)과 제2안내레일(2121) 간의 간격을 좁혀 도4와 같은 상태로 되게 한다.

2. 이송장치(2200)에 대한 설명

이송장치(2200)는 이송시작위치에 있는 캐리어보드(CB)를 궁극적으로 이송종료위치까지 하강 이송시킨다. 이를 위해 이송장치(2200)는, 도6에서 참조되는 바와 같이, 전후 1쌍씩 2쌍의 파지기(2211, 2212 / 2213, 2214) 및 이송기(2220)를 포함하여 구성된다.

4개의 파지기(2211, 2212 / 2213, 2214) 각각은 파지축(2211a, 2212a / 2213a, 2214a)과 구동원(2211b, 2212b / 2213b, 2214b)을 포함하여 구성되며, 이송 기(2220)는 스크류축(2221), 모터(2222) 및 결합판(2223)을 포함하여 구성된다.

파지축(2211a, 2212a / 2213a, 2214a)은, 챔버의 상측 벽면(To)을 관통하며, 상하방향으로 긴 형상으로 구비된다. 그리고 그 하측 단에는 캐리어보드(CB)의 변 또는 모서리를 지지할 수 있도록 파지단(2211a-1, 2212a-1 / 2213a-1, 2214a-1)이 돌출 형성되어 있다.

구동원(2211b, 2212b / 2213b, 2214b)은 챔버(CH)의 상방에 위치되는 결합판(2223)에 결합된 상태로 설치되며 결합되어 있는 파지축(2211a, 2212a / 2213a, 2214a)을 일정 각도 범위에서 정역회전시키기 위해 마련된다. 본 실시예에서는 구동원(2211b, 2212b / 2213b, 2214b)으로서 모터를 도시하고 있지만 실린더로도 적용이 가능하다. 이러한 구동원(2211b, 2212b / 2213b, 2214b)의 정역작동은 파지축을 정역회전시키고, 파지축(2211a, 2212a / 2213a, 2214a)의 정역회전에 따라 파지단(2211a-1, 2212a-1 / 2213a-1, 2214a-1)이 정역회전하면서 캐리어보드(CB)를 지지하거나 지지해제하게 된다.

참고로, 파지단이 캐리어보드(CB)의 변을 파지하는 길이가 길게 구현되면 파지기가 전후 한 쌍만, 파지하는 넓이가 넓게 구현되면 파지기가 좌우 한 쌍만 구비되어도 족할 것이다.

스크류축(2221)은, 캐리어보드(CB)의 이송방향으로 길며, 하단은 챔버(CH)의 상측 벽면(To)에 회전 가능하게 결합되고 상단은 모터(2222)에 결합되어 모터(2222)의 회전에 따라 회전하게 된다.

모터(2222)는, 스크류축(2221)을 정역회전시키기 위해 핸들러의 상부 프레 임(HP)에 고정 설치된다. 이러한 모터(2222)는 회전량이 정확히 제어될 수 있는 서보모터인 것이 바람직하다.

결합판(2223)은, 전후 양 측 단에 전술한 파지기(2211, 2212 / 2213, 2214)의 구동원(2211b, 2212b / 2213b, 2214b)들이 결합되고, 그 중앙에는 스크류구멍(2223a)이 형성되어 있어서 스크류축(2221)이 스크류결합에 의해 스크류구멍(2223a)을 관통하도록 되어 있다.

따라서 모터(2222)가 정회전 또는 역회전하게 되면 스크류축(2221)이 회전하게 되고, 스크류축(2221)의 회전에 의해 결합판(2223)이 승강하게 되어 궁극적으로 2쌍의 파지기(2211, 2212 / 2213, 2214)가 일체로 승강할 수 있게 된다.

계속하여 위와 같은 이송장치(2200)의 작동 및 캐리어보드(CB)의 이송방법에 대하여 설명한다.

도7에서와 같이, 이송시작위치(S)에 캐리어보드(CB)가 안내장치(2100)에 의해 지지되고 있는 경우, 이송기(2220)가 작동하여 파지기(2211, 2212 / 2213, 2214)가 상승됨으로써 파지기(2211, 2212 / 2213, 2214)가 이송시작위치(S)에 있는 캐리어보드(CB)를 파지하게 되면, 안내장치(2100)가 작동하여 캐리어보드(CB)의 지지를 해제하게 된다.

이어서 이송기(2220)가 역으로 작동하여 파지기(2211, 2212 / 2213, 2214)가 하강됨으로써, 도8, 도9 및 도10에 도시된 바와 같이 제1중간이송위치(M₁), 제2중간이송위치(M₂) 또는 이송종료위치(E) 중 선택적으로 어느 하나의 위치까지 캐리어보 드(CB)를 하강 이송시키게 된다.

예를 들어, 제2중간이송위치(M₂) 및 이송종료위치(E)에 앞서 순환하는 캐리어보드(CB)들이 위치하고 있는 경우에는 도8과 같은 이송<제1예>이 이루어지고, 이송종료위치(E)에만 앞서 순환하는 캐리어보드(CB)가 위치하고 있는 경우에는 도9와 같은 이송<제2예>이 이루어지며, 제1중간이송위치(M₁), 제2중간이송위치(M₂) 및 이송종료위치(E) 모두에 앞서 순환하는 캐리어보드(CB)들이 없을 경우에는 도10과 같은 이송<제3예>이 이루어지게 되는 것이다.

즉, 도6의 이송기(2220)에 의하면 , 앞서 순환하는 캐리어보드(CB)의 위치 상태에 따라서 뒤의 캐리어보드(CB)를 임의의 높이만큼 하강 이송시킬 수 있기 때문에, <제2예>와 <제3예>에서처럼 제1중간이송위치(M₁)에서 이송정지시간을 가질 필요가 없거나 제1중간이송위치(M₁) 및 제2중간이송위치(M₂)에서 이송정지시간을 가질 필요가 없는 경우 등에서는, 캐리어보드(CB)를 임의의 이송시작점에서 임의의 이송종료점까지 연속적으로, 즉 정지 없이 이송시킬 수가 있는 것이다.

또한, 도6의 이송기(2220)에 의하면, <제1예>와 <제2예>에서 알 수 있는 바와 같이, 챔버(CH) 내부에서 캐리어보드(CB)들이 서로 떨어져 위치된 경우에, 앞의 캐리어보드(CB)는 그대로 위치시킨 상태로 뒤의 캐리어보드(CB)들을 캐리어보드(CB)의 순환방향으로 이송시킴으로써, 챔버(CH) 내부에서 서로 떨어져 있는 캐리어보드(CB)들을 캐리어보드(CB)의 순환방향으로 모으는 것이 가능하게 된다.

또한, 도6의 이송기(2220)에 의하면, 캐리어보드(CB)가 제1중간위치(M₁), 제2중간위치(M₂) 및 이송종료위치(E)에 위치된 경우에, 이송종료위치(E)의 캐리어보드(CB)가 진출구(Out, 도1 참조)를 통해 진출되면, 이송기(2220)에 의해 제2중간위치(M₂)에 위치되어있던 캐리어보드(CB)는 이송종료위치(E)로, 제1중간위치(M₁)에 위치되어있던 캐리어보드(CB)는 제2중간위치(M₂)로 차례로 이송되어질 것이다.

3. 지지장치(2300, 2400)에 대한 설명

도11에서 참조되는 바와 같이, 제1지지장치(2300)는 제1중간이송위치(M₁)에 있는 캐리어보드(CB)를 지지하거나 지지해제하고, 제2지지장치(2400)는 제2중간이송위치(M₂)에 있는 캐리어보드(CB)를 지지하거나 지지해제한다. 이러한 제1지지장치(2300) 및 제2지지장치(2400)는, 본 발명의 목적을 달성하기 위해 서로 독립적으로 작동되어지나, 그 구성 및 작동이 서로 동일하므로 제1지지장치(2300)에 대한 설명만으로 제2지지장치(2400)에 대한 설명까지 갈음한다.

제1지지장치(2300)는, 도12에서 참조되는 바와 같이, 제1중간이송위치(M₁)에 있는 캐리어보드(CB)를 지지하거나 지지해제하기 위하여, 캐리어보드(CB)의 앞측 변을 지지하기 위한 제1지지부(2310)와 캐리어보드(CB)의 뒤측 변을 지지하기 위해 제1지지부(2310)와 전후방향으로 대향되게 배치되는 제2지지부(2320)를 포함하여 구성된다.

제1지지부(2310)는 제1지지부재(2311) 및 제1이동기(2312)를 포함한다.

제1지지부재(2311)는, 제1중간이송위치(M₁)에 위치된 캐리어보드(CB)가 하방으로 낙하되지 않도록 캐리어보드(CB)의 앞측 변을 지지한다.

제1이동기(2312)는 제1지지부재(2311)에 의해 캐리어보드(CB)의 앞측 변이 지지될 수 있도록 하거나 지지가 해제될 수 있도록 하기 위해 마련되는 것으로 서로 일정 간격 이격되게 설치되는 한 쌍의 실린더(2312a, 2312b)로 구성되어 있다.

한 쌍의 실린더(2312a, 2312b) 각각은 실린더바디(2312a-1, 2312b-1)가 챔버(CH)의 전방 측 벽면(Fr)이면서 챔버(CH)의 외부에 설치되고, 실린더로드(2312a-2, 2312b-2)는 챔버(CH)의 전방 측 벽면(Fr)을 관통하여 제1지지부재(2311)에 결합된다.

제2지지부(2320)는 제2지지부재(2321) 및 제2이동기(2322)를 포함한다.

제2지지부재(2321)는, 제1중간이송위치(M₁)에 위치된 캐리어보드(CB)가 하방으로 낙하되지 않도록 캐리어보드(CB)의 뒤측 변을 지지하며, 후방 측 방향으로 돌출된 결합단(2321a)을 가진다.

제2이동기(2322)는 제2지지부재(2321)에 의해 캐리어보드(CB)의 뒤측 변이 지지될 수 있도록 하거나 지지가 해제될 수 있도록 하기 위해 마련되는 것으로, 회전축(2322a), 회전부재(2322b), 구동원(2322c) 및 보조기(2322d)를 포함하여 구성된다.

회전축(2322a)은 상하 방향(캐리어보드의 이송방향)으로 길고, 상측 단이 챔버(CH)의 상측 벽면(To)에 설치되는 구동원(2322c)의 작동에 의해 정해진 각도 범 위에서 정역회전된다.

회전부재(2322b)는 뒤측 단이 회전축(2322a)의 하측 단에 고정되거나 일체로 형성되고 앞측 단이 제2지지부재(2321)의 결합단(2321a)에 회전 가능하게 결합된다. 따라서 구동원(2322c)이 작동하여 회전축(2322a)이 정역회전하면 뒤측 단을 회전중심으로 하여 앞측 단이 정해진 각도 범위에서 정역회전하게 된다.

구동원(2322c)은 챔버(CH)의 상측 벽면(To)이면서 챔버(CH)의 외부에 설치되며, 회전축(2322a)을 정해진 각도 범위에서 정역회전시킨다.

보조기(2322d)는 회전축(2322a)의 회전에 따라서 이동하는 제2지지부재(2321)의 균형적인 이동을 보조하기 위한 마련되며, 안내장치(2100)에 구성되는 보조기(2112d)와 구성 및 작동이 동일하므로 그 상세한 설명을 생략한다.

위와 같은 제1지지장치(2300) 및 그에 갈음하여 설명된 제2지지장치(2400)의 구성 및 작동은 안내장치(2100)와 실질적으로 동일하므로 그 작동에 대한 설명은 생략한다.

4. 받침장치(2500)에 대한 설명

받침장치(2500)는 이송종료위치(E)에 있는 캐리어보드(CB)를 지지하기 위한 것으로, 도2에서 참조되는 바와 같이, 캐리어보드(CB)의 앞측 변을 지지하기 위한 제1받침대(2510)와 캐리어보드(CB)의 뒤측 변을 지지하기 위한 제2받침대(2520)를 포함하여 구성된다.

이러한 받침장치(2500)는, 단순히 캐리어보드(CB)를 지지하기 위한 것으로 그 구성에 특별한 특징은 없다. 따라서 챔버(CH) 바닥면의 일부분들을 돌출시키는 구조 등에 의해서도 받침장치(2500)에 갈음될 수 있고 이송시스템과 별개로 구성될 수도 있기 때문에, 받침장치(2500)는 본 발명에 따른 이송시스템(2000)의 필수적인 구성은 아니다.

5. A/S(After Service)와 관련된 특징에 대한 설명

한편, 캐리어보드가 챔버 내부에 위치한 상태에서 잼(JAM)이 발생하여 캐리어보드를 강제로 인출시켜야 할 필요가 있다.

따라서, 도2에서 참조되는 바와 같이, 챔버(CH)의 좌측 벽면(Le)은 전면적으로 개방될 수 있는 도어의 형태로 구비되어야 한다.

왜냐하면, 안내장치(2100)에 의해 지지되고 있는 캐리어보드(CB)는 전방 측 벽면(Fr)에 형성된 진입구(In)로 강제 인출이 이루어질 수 있지만, 챔버(CH)의 우측에 다른 챔버가 붙어있는 경우 제1지지장치(2300), 제2지지장치(2400) 및 받침장치(2500)에 의해 지지되고 있는 캐리어보드(CB)는 좌측 벽면(Le) 측으로 인출이 이루어져야만 하기 때문이다.

위와 같은 점은, 도3에서 참조되는 바와 같이, 제1간격조절기(2112)의 구동원(2112c)이 챔버(CH)의 좌측 벽면(Le)에 설치될 수 없게 하는 요인으로 작용하며, 전술한 바와 같이, 제1간격조절기(2112)가 제2간격조절기(2122)와는 달리 그 구동원(2112c)을 챔버(CH)의 상측 벽면(To)에 설치하는 특별한 구성을 취하게 하는 것이다.

또한, 챔버(CH)의 좌측 벽면(Le)이 전면적으로 개방될 수 있는 도어의 형태로 구비되어도 좌측 벽면(Le)의 개방만으로는 챔버(CH) 내부의 기타 다른 기계장치 의 부품을 교체하거나 손상을 수리하는 것이 곤란할 수가 있으므로, 챔버(CH)의 후방 측 벽면(Re, 도2 참조)도 전면적으로 개방될 수 있는 도어의 형태로 구비되는 것이 바람직하다.

따라서 전술한 바와 같이, 도12에서 참조되는 바와 같이, 제2이동기(2322)도 제1이동기(2312)와는 달리 그 구동원(2322c)을 챔버(CH)의 상측 벽면(To)에 설치하는 특별한 구성을 취한다.

6. 캐리어보드(CB)의 진입과 관련된 특징에 대한 설명

또한, 도6에 도시된 2쌍의 파지기(2211, 2212 / 2213, 2214)를 상측에서 하측방향으로 도시한 도13을 참조하면, 후방 측 1쌍의 파지기(2213, 2214)의 파지단(2213a-1, 2214a-1)은 캐리어보드(CB)의 뒤측 변을 지지하도록 되어있지만, 전방 측 1쌍의 파지기(2211, 2212)의 파지단(2211a-1, 2212a-1)은 캐리어보드(CB)의 앞측 단 좌우 모서리를 대각방향으로 지지하도록 되어 있다.

위와 같은 구성을 취하는 이유는 진입구(In)를 통과하여 챔버(CH) 내부로 진입하는 캐리어보드(CB)가 파지축(2211a, 2212a)과 간섭되는 것을 방지하고, A/S시 좌측 벽면(Le) 측으로 인출되는 캐리어보드(CB)가 파지축(2212a)과 간섭되는 것을 방지하기 위함이다. 이 경우, 전방 우측의 파지기(2211a)는 캐리어보드(CB)의 대각방향이 아닌 캐리어보드(CB)의 우측을 지지할 수도 있을 것이다.

<제1실시예의 응용예>

제1실시예에서는 파지축(2211a, 2212a / 2213a, 2214a)이 하나의 파지 단(2211a-1, 2212a-1 / 2213a-1, 2214a-1)만을 가지고 있지만, 실시하기에 따라서는 도14에서 참조되는 바와 같이, 파지축(2211a-0, 2212a-0 / 2213a-0, 2214a-0)이 2개의 파지단(2211a-01, 2211a-02, 2212a-01, 2212a-02 / 2213a-01, 2213a-02, 2214a-01, 2214a-02)을 가지는 것도 고려될 수 있다.

도14와 같은 응용의 실익은, 도15에서 참조되는 바와 같이, 이송종료위치(E)에 있던 캐리어보드(CB)가 챔버(CH)에서 진출된 후 제1중간이송위치(M₁) 및 제2중간이송위치(M₂)에 있는 2장의 캐리어보드(CB)를 각각 제2중간이송위치(M₂) 및 이송종료위치(E)로 이송하여야 할 경우에 있다. 즉, 파지축(2211a-0, 2212a-0 / 2213a-0, 2214a-0)에 각각 2개의 파지단(2211a-01, 2211a-02, 2212a-01, 2212a-02 / 2213a-01, 2213a-02, 2214a-01, 2214a-02)을 구성함으로써 2장의 캐리어보드(CB)를 함께 이송시키는 것이 가능한 것이다. 물론, 파지축에 3개의 파지단을 구성시키는 것도 얼마든지 고려될 수 있다.

또한, 제1실시예는 챔버(CH) 내부에 4장의 캐리어보드(CB)만이 위치될 수 있는 예를 취하고 있지만, 실시하기에 따라서는 4장보다 더 많은 개수의 캐리어보드(CB)가 위치될 수 있는 예를 취할 수도 있으며, 이러한 경우에는 파지축에 3개보다 더 많은 개수의 파지단을 구성시킬 수도 있을 것이다.

<제2실시예>

도16은 제1실시예에서 설명된 챔버와는 다른 챔버(CH)가 배치된 부분의 이송 구간에서 수직상태의 캐리어보드(CB)가 이송되는 이송흐름(Fw)을 화살표로 표시하고 있다.

도16에서 참조되는 바와 같이, 캐리어보드(CB)는 챔버(CH)의 상측 벽면(To)의 전방 측 부분에서 수직상태로 챔버(CH) 내부로 진입하여 이송시작위치(S)에 위치되고, 이송시작위치(S)에서 제1중간이송위치(M₁) 및 제2중간이송위치(M₂)를 거쳐 이송종료위치(E)까지 전방 측에서 후방 측 방향으로 이송된 다음 챔버(CH)의 우측 벽면(Ri) 후방 측 부분을 통해 챔버(CH) 외부로 진출된다.

도16과 같은 캐리어보드(CB)의 이송흐름을 가지기 위해, 챔버(CH)의 상측 벽면(To)의 전방 측 부분에는 캐리어보드(CB)가 챔버(CH)의 내부로 진입될 수 있는 진입구(In)가 도어(미도시)에 의해 개폐가능하게 형성되어 있고, 챔버(CH)의 우측 벽면(Ri)의 후방 측 부분에는 캐리어보드(CB)가 챔버(CH)의 외부로 진출될 수 있는 진출구(Out)가 형성되어 있다.

도17은, 도16에서 참조되는 바와 같은, 챔버(CH) 내부에서 이루어지는 캐리어보드(CB)의 이송을 담당하는 이송시스템(3000)에 대한 개략적인 사시도이다.

본 실시예에 따른 이송시스템(3000)은, 도17에서 참조되는 바와 같이, 이송장치(3100), 제1지지장치(3200), 제2지지장치(3300), 지지판(3400) 및 받침장치(3500) 등을 포함한다.

1. 이송장치(3100)에 대한 설명

이송장치(3100)는 이송시작위치(S)에 있는 캐리어보드를 궁극적으로 후방에 있는 이송종료위치(E)까지 이송시킨다. 이를 위해 이송장치(3100)는, 도18에서 참조되는 바와 같이, 상하 1쌍씩 2쌍의 파지기(3110, 3120, 3130, 3140) 및 이송기(3150)를 포함하여 구성된다.

4개의 파지기(3110, 3120, 3130, 3140) 각각은 파지축(3111, 3121, 3131, 3141)과 구동원(3112, 3122, 3132, 3142)을 포함하여 구성되며, 이송기(3150)는 스크류축(3151), 모터(3152) 및 결합판(3153)을 포함하여 구성된다.

파지축(3111, 3121, 3131, 3141)은, 챔버(CH)의 전방 측 벽면(Fr)을 관통하며, 전후방향으로 긴 형상으로 구비된다. 그리고 그 후단에는 캐리어보드(CB)의 변 또는 모서리를 지지할 수 있도록 'ㄷ'자 형태의 파지단(3111a, 3121a, 3131a, 3141a)이 돌출 형성되어 있다.

구동원(3112, 3122, 3132, 3142)은 챔버(CH)의 전방에 위치되는 결합판(3153)에 결합된 상태로 설치되며 파지축(3111, 3121, 3131, 3141)을 일정 각도 범위에서 정역회전시키기 위해 마련된다.

스크류축(3151)은, 전후방향, 즉 캐리어보드(CB)의 이송방향으로 길며, 후단은 챔버(CH)의 전방 측 벽면(Fr)에 회전 가능하게 결합되고 전단은 모터(3152)에 결합되어 모터(3152)의 회전에 따라 회전하게 된다.

모터(3152)는, 스크류축(3151)을 정역회전시키기 위해 고정 마련된다.

결합판(3153)은, 상하 양 측 단에 전술한 파지기(3110, 3120, 3130, 3140)의 구동원(3112, 3122, 3132, 3142)들이 결합되고, 그 중앙에는 스크류구멍(3153a)이 형성되어 있어서 스크류축(3151)이 스크류결합에 의해 스크류구멍(3153a)을 관통하 도록 되어 있다.

위와 같은 이송장치(3100)는 수직상태의 캐리어보드(CB)를 후방으로 이송시킨다는 점에는 차이가 있을 뿐 그 구성 및 동작이 제1실시예에서의 이송장치(2200)와 동일하므로 그 설명을 생략한다.

2. 지지장치(3200, 3300) 및 지지판(3400)에 대한 설명

제1지지장치(3200)는 제1중간이송위치(M₁)에 있는 캐리어보드의 하측 변을 지지하거나 지지해제하고, 제2지지장치(3300)는 제2중간이송위치(M₂)에 있는 캐리어보드의 하측 변을 지지하거나 지지해제하며, 지지판(3400)은 제1중간이송위치(M₁) 및 제2중간이송위치(M₂)에 있는 캐리어보드의 상측 변을 지지한다.

제1지지장치(3200) 및 제2지지장치(3300)는 그 구성 및 작동이 서로 동일하므로 제1지지장치(3200)에 대한 설명만으로 제2지지장치(3300)에 대한 설명까지 갈음한다.

제1지지장치(3200)는, 도19에서 참조되는 바와 같이, 지지부재(3210) 및 이동기(3220)를 포함한다.

지지부재(3210)는, 제1중간이송위치(M₁)에 위치된 캐리어보드(CB)가 하방으로 낙하되지 않도록 캐리어보드(CB)의 하측 변을 지지한다.

이동기(3220)는 지지부재(3210)에 의해 캐리어보드(CB)의 하측 변이 지지될 수 있도록 하거나 지지가 해제될 수 있도록 하기 위해 마련되는 것으로 서로 일정 간격 이격되게 설치되는 한 쌍의 실린더(3221, 3222)로 구성되어 있다.

한 쌍의 실린더(3221, 3222) 각각은 실린더바디(3221a, 3222a)가 챔버(CH)의 하측 벽면(Bo)이면서 챔버(CH)의 외부에 설치되고, 실린더로드(3221b, 3222b)는 챔버(CH)의 하측 벽면(Bo)을 관통하여 지지부재(3210)에 결합된다.

지지판(3400)은, 제1지지장치(3200) 및 제2지지장치(3300)의 상방으로 제1지지장치(3200) 및 제2지지장치(3300)에 대향되게 고정 마련되며, 제1중간이송위치(M₁) 및 제2중간이송위치(M₂)에 대응되는 위치에 각각 캐리어보드(CB)의 상측 변이 삽입될 수 있는 지지홈(3410, 3420)이 형성되어 있다.

본 실시예에서의 제1지지장치(3200), 제2지지장치(3300) 및 지지판(3400)은 제1실시예에서의 제1지지장치(2300) 및 제2지지장치(2400)에 대응되는데 그 구성에 있어서는 차이를 가진다.

물론, 본 실시예에서도 제1이송중간위치(M₁) 및 제2중간이송위치(M₂)에 있는 캐리어보드(CB)를 지지하기 위해 제1지지장치(3200), 제2지지장치(3300) 및 지지판(3400)을 제1실시예와 동일한 구성으로 대체할 수도 있다. 그러나 본 실시예에서 제1중간이송위치(M₁) 또는 제2중간이송위치(M₂)에 있는 캐리어보드(CB)를 지지하기 위한 제1지지장치(3200), 제2지지장치(3300) 및 지지판(3400)을 제1실시예에서의 제1지지장치(2300) 및 제2지지장치(2400)와 다르게 구현시킨 이유는 이송되는 캐리어보드(CB)의 자세와 관계한다.

일반적으로 캐리어보드(CB)가 챔버(CH) 내에서 수직으로 세워진 상태에서 이 송되는 경우에는, 이송시스템의 상측에 자세변환장치(미도시)가 구비되고, 자세변환장치에 의해 자세변환된 캐리어보드(CB)를 이송시작위치(S)로 하강시키도록 구현된다.

위와 같이, 챔버(CH) 내부에서 캐리어보드(CB)가 수직으로 세워진 상태로 이송되도록 구현된 경우에도, 구동원에 의해 공급되는 구동력에 의해 캐리어보드(CB)의 상측 변을 지지하거나 지지해제하도록 구현하게 되면, 구동원 설치를 위한 공간과 구동원의 작동에 의해서 승강되는 승강요소(지지부재)의 승강범위를 고려한 공간이 자세변환장치의 설치공간을 쉽게 허락하지 않기 때문에, 설계가 대단히 복잡해지거나 경우에 따라서는 자세변환장치의 설치공간을 확보할 수 없게 된다.

따라서 본 실시예에 따른 이송시스템(3000)에서는 위치 고정된 지지판(3400)에 의해 캐리어보드(CB)의 상측 변이 지지되도록 구현하고 있는 것이다.

3. 받침장치(3500)에 대한 설명

받침장치(3500)는 이송종료위치(E)에 있는 캐리어보드(CB)를 지지하기 위한 것으로, 도19에서 참조되는 바와 같이, 제1받침대(3510), 승강기(3520) 및 제2받침대(3530)를 포함하여 구성된다.

제1받침대(3510)는 이송종료위치(E)에 있는 캐리어보드(CB)의 하측 변을 지지한다.

승강기(3520)는 제1받침대(3510)를 승강시켜 캐리어보드(CB)가 제1받침대(3510)와 간섭함이 없이 이송종료위치(E)로 이송될 수 있도록 하기 위해 마련되며, 한 쌍의 실린더(3521, 3522)로 마련된다.

제2받침대(3530)는 이송종료위치에 있는 캐리어보드(CB)의 상측 변을 지지한다.

물론, 본 실시예에서의 받침장치(3530)도 이송시스템과는 별개로 구성(예를 들어 필요에 의하여 이송종료위치에 있는 캐리어보드를 일정 높이까지 상승시키는 무브레일이 받침장치의 역할을 대신할 수도 있다)될 수 있기 때문에 이송시스템을 이루는 필수구성은 아니다.

4. 이송시스템(3000)의 작동 및 이송방법에 대한 설명

도20에서 참조되는 바와 같이, 캐리어보드(CB)가 이송시작위치(S)로 하강하기에 앞서서 미리 이송기(3150)가 작동하여 파지축(3111, 3121, 3131, 3141)의 파지단(3111a, 3121a, 3131a, 3141a)이 이송시작위치(S)에 위치되는 캐리어보드(CB)를 안내 및 지지할 수 있도록 준비한다.

도20과 같은 상태에서 수직상태의 캐리어보드(CB)가 하강하면서 챔버(CH)의 외부에서 챔버(CH)의 내부로 진입하게 되면, 도21에서와 같이, 캐리어보드(CB)의 하측 변 및 상측 단의 좌우 모서리가 파지축(3111, 3121, 3131, 3141)의 파지단(3111a, 3121a, 3131a, 3141a)에 의해 적절히 지지된다. 참고로, 제2실시예에 따른 이송시스템(3000)은, 파지축(3111, 3121, 3131, 3141)의 파지단(3111a, 3121a, 3131a, 3141a)에 의해 이송시작위치(S)로 하강하거나 이송시작위치(S)에 위치된 캐리어보드(CB)가 안내 및 지지될 수 있기 때문에, 제1실시예에서와 같은 안내장치(2100)를 구성하지 않았다. 하지만, 캐리어보드(CB)의 이송속도 향상 등을 위해 추가로 구성할 수도 있을 것이다. 즉, 제1실시예에 따른 이송시스템(2000)에서 구 성된 안내장치(3100)는 캐리어보드(CB)의 이송이 상하방향으로 이루어져야 하는지 아니면 전후방향으로 이루어져야 하는지에 따라서 혹은 캐리어보드(CB)의 이송속도 등에 따라서 선택적으로 구성될 수 있는 요소에 불과하다.

이어서 제1실시예에서 설명된 것과 동일하게 이송기(3150)가 작동하여 캐리어보드(CB)를 제1중간이송위치(M₁), 제2중간이송위치(M₂) 및 이송종료위치(E) 중 어느 하나의 위치로 이송시키게 되는데, 본 실시예에 따른 이송시스템(3000)의 작동상황을 더 명확하게 살펴보기 위해 캐리어보드(CB)가 1스텝씩 이송되는 과정을 설명한다.

예를 들어, 도21과 같은 상태에서, 이송기(3150)가 작동하여, 도22에서 참조되는 바와 같이, 캐리어보드(CB)를 제1중간이송위치(M₁)에 위치시키면, 도23에서 참조되는 바와 같이, 제1지지장치(3200)가 작동하여 캐리어보드(CB)를 지지하면서 상측으로 상승시킴으로써, 캐리어보드(CB)의 상측 변을 지지판(3400)의 지지홈(3410)에 삽입시킨다. 즉, 도23과 같은 상태에서 캐리어보드(CB)의 하측 변은 제1지지장치(3200)의 지지부재(3210)의 의해 지지되고 캐리어보드(CB)의 상측 변은 지지판(3400)에 의해 지지되는 것이다.

그리고 위와 같이 이송시작위치(S)에서 제1중간이송위치(M₁)로 캐리어보드(CB)가 이송되는 방법은 제1중간이송위치(M₁)에서 제2중간이송위치(M₂)로 이송되는 경우와 제2중간이송위치(M₂)에서 이송종료위치(E)로 이송되는 경우에도 동일하게 적용된다. 물론, 캐리어보드(CB)가 이송시작위치(S)에서 제2중간이송위치(M₂)나 이송종료위치(E)까지 연속적으로, 즉 정지없이 이송되거나 제1중간이송위치(M₁)에서 이송종료위치(E)까지 연속적으로 이송되는 경우에도 마찬가지이다.

즉, 본 실시예에 따르면 캐리어보드(CB)가 이송되는 도중에 승강운동(캐리어보드(CB)의 이송방향과 수직한 방향으로의 왕복운동)이 병행하여 이루어지게 된다.

<참고적 설명사항>

일반적으로, 핸들러에서 캐리어보드를 소크챔버나 디소크챔버의 내부에서 스텝이송시키는 이유 중의 하나는 캐리어보드에 적재된 전자부품이 챔버 내부에 인위적으로 조성된 환경으로 동화될 수 있는 충분한 시간을 확보하기 위함이다.

따라서 소크챔버나 디소크챔버의 내부에는 기본적으로 복수의 캐리어보드가 함께 수용되어 스텝이송이 이루어질 수 있도록 구현되어야 한다.

그런데, 처리용량 증가를 위한 캐리어보드의 전자부품 적재면의 확장과 핸들러 크기의 축소라는 과제는, 소크챔버나 디소크챔버의 내부에 수용된 복수의 캐리어보드가 전자부품의 적재면에 평행한 방향으로 나란히 나열된 상태에서 이송시키는 구성을 불가능하게 한다.

그러한 점 때문에 소크챔버나 디소크챔버의 내부에서는 캐리어보드가 전자부품의 적재면에 수직한 방향으로 이송되도록 구현되는 것이다.

즉, 본 발명은 캐리어보드를 챔버 내부에서 이송시키기 위해 적용되는 기술 적 사상이며, 특히 캐리어보드를 전자부품의 적재면에 수직한 방향으로 이송시키기 위해 바람직하게 적용될 수 있는 기술적 사상인 것이다.

위에서 설명한 바와 같이 본 발명에 대한 구체적인 설명은 첨부된 도면을 참조한 실시예에 의해서 이루어졌지만, 상술한 실시예는 본 발명의 바람직한 예를 들어 설명하였을 뿐이기 때문에, 본 발명이 상기의 실시예에만 국한되는 것으로 이해되어져서는 아니 되며, 본 발명의 권리범위는 후술하는 청구범위 및 그 등가개념으로 이해되어져야 할 것이다.

도1은 본 발명의 제1실시예에 따른 캐리어보드 이송방법이 적용되는 챔버에 대한 개략적인 사시도이다.

도2는 본 발명의 제1실시예에 따른 캐리어보드 이송시스템에 대한 개략적인 사시도이다.

도3은 도2의 이송시스템에 적용된 안내장치에 대한 발췌 사시도이다.

도4 및 도5는 도3의 안내장치의 작동을 설명하기 위한 작동상태도이다.

도6은 도2의 이송시스템에 적용된 이송장치에 대한 발췌 사시도이다.

도7 내지 도10은 도6의 이송장치의 작동을 설명하기 위한 작동상태도이다.

도11은 도2의 이송시스템에 적용된 제1및 제2지지장치에 대한 발췌 사시도이다.

도12는 도11의 제1지지장치에 대한 발췌사시도이다.

도13은 본 실시예에 의한 이송시스템에서 A/S와 관련된 특징을 설명하기 위한 참조도이다.

도14는 도6의 이송장치에 대한 응용예를 설명하기 위한 개략도이다.

도15는 도14의 이송장치의 적용상태를 설명하기 위한 참조도이다.

도16은 본 발명의 제2실시예에 따른 캐리어보드 이송방법이 적용되는 챔버에 대한 개략적인 사시도이다.

도17은 본 발명의 제2실시예에 따른 캐리어보드 이송시스템에 대한 개략적인 사시도이다.

도18은 도17의 이송시스템에 적용된 이송장치에 대한 발췌 사시도이다.

도19는 도17의 이송시스템에서 이송장치를 제외한 나머지 특징적 구성에 대한 발췌사시도이다.

도20 내지 도23은 도17의 이송시스템의 작동방법을 설명하기 위한 작동상태도이다.

*도면의 주요 부위에 대한 부호의 설명*

2000 : 이송시스템

2100 : 안내장치

2200 : 이송장치

2300 : 제1지지장치

2400 : 제2지지장치

2500 : 받침장치

Claims

이송시작위치에 있는 캐리어보드를 적어도 하나 이상의 중간이송위치 및 이송종료위치 중 선택적으로 어느 하나의 위치까지 이송시킬 수 있는 이송장치; 및

상기 적어도 하나 이상의 중간이송위치에 위치된 캐리어보드를 지지하거나 지지해제할 수 있는 적어도 하나 이상의 지지장치; 를 포함하고,

상기 이송장치는,

캐리어보드를 파지하거나 파지해제할 수 있는 적어도 둘 이상의 파지기; 및

상기 적어도 둘 이상의 파지기에 의해 파지된 캐리어보드를 상기 적어도 하나 이상의 중간이송위치 및 이송종료위치 중 선택적으로 어느 하나의 위치까지 이송시킬 수 있도록 상기 적어도 둘 이상의 파지기를 캐리어보드의 이송방향으로 이송시키는 이송기; 를 포함하고,

상기 지지장치는,

캐리어보드의 일 측 변을 지지하거나 지지해제하기 위한 제1지지부; 및

캐리어보드의 타 측 변을 지지하거나 지지해제하기 위한 제2지지부; 를 포함하고,

상기 제1지지부는,

캐리어보드의 일 측 변을 지지하거나 지지해제하기 위한 제1지지부재; 및

상기 제1지지부재에 의해 캐리어보드의 일 측 변이 지지될 수 있도록 하거나 지지가 해제될 수 있도록 하기 위해 마련되는 제1이동기; 를 포함하고,

상기 제2지지부는,

캐리어보드의 타 측 변을 지지하거나 지지해제하기 위한 제2지지부재; 및

상기 제2지지부재에 의해 캐리어보드의 타 측 변이 지지될 수 있도록 하거나 지지가 해제될 수 있도록 하기 위해 마련되는 제2이동기; 를 포함하는 것을 특징으로 하는

전자부품 검사 지원을 위한 핸들러용 캐리어보드 이송시스템.
제1항에 있어서,

상기 이송시작위치로 오는 캐리어보드를 안내하고, 상기 이송시작위치에 위치된 캐리어보드를 지지하거나 지지해제할 수 있는 안내장치; 를 더 포함하는 것을 특징으로 하는

전자부품 검사 지원을 위한 핸들러용 캐리어보드 이송시스템.
제1항에 있어서,

상기 이송종료위치에 있는 캐리어보드를 지지하는 받침장치; 를 더 포함하는 것을 특징으로 하는

전자부품 검사 지원을 위한 핸들러용 캐리어보드 이송시스템.
이송시작위치에 있는 캐리어보드를 적어도 하나 이상의 중간이송위치 및 이송종료위치 중 선택적으로 어느 하나의 위치까지 이송시킬 수 있는 이송장치;

상기 적어도 하나 이상의 중간이송위치에 위치된 캐리어보드를 지지하거나 지지해제할 수 있는 적어도 하나 이상의 지지장치;

상기 캐리어보드의 일 측 변을 지지하기 위해 고정 마련되는 지지판; 을 포함하고,

상기 이송장치는,

캐리어보드를 파지하거나 파지해제할 수 있는 적어도 둘 이상의 파지기; 및

상기 적어도 둘 이상의 파지기에 의해 파지된 캐리어보드를 상기 적어도 하나 이상의 중간이송위치 및 이송종료위치 중 선택적으로 어느 하나의 위치까지 이송시킬 수 있도록 상기 적어도 둘 이상의 파지기를 캐리어보드의 이송방향으로 이송시키는 이송기; 를 포함하고,

상기 지지장치는,

캐리어보드의 타 측 변을 지지하거나 지지해제하는 지지부재; 및

상기 지지부재를 캐리어보드 측 방향이나 반대방향으로 이동시키는 이동기; 를 포함하는 것을 특징으로 하는

전자부품 검사 지원을 위한 핸들러용 캐리어보드 이송시스템.
제1항에 있어서,

상기 지지장치가 복수개 구비되는 경우 복수개의 지지장치 각각은 서로 독립적으로 작동되는 것을 특징으로 하는

전자부품 검사 지원을 위한 핸들러용 캐리어보드 이송시스템.
삭제
제1항에 있어서,

상기 파지기는,

캐리어보드의 이송방향으로 긴 파지축; 및

상기 파지축을 일정 각도 범위에서 정역회전시키는 구동원; 을 포함하고,

상기 파지축은 일 단이 상기 구동원에 결합되고 타 단은 캐리어보드의 변 또는 모서리를 지지할 수 있도록 돌출된 적어도 하나 이상의 파지단; 을 가지는 것을 특징으로 하는

전자부품 검사 지원을 위한 핸들러용 캐리어보드 이송시스템.
제1항에 있어서,

상기 이송기는,

캐리어보드의 이송방향으로 긴 스크류축(screw shaft);

상기 스크류축을 임의의 회전범위에서 정역회전시킬 수 있는 모터; 및

상기 스크류축과 스크류결합되어서 상기 스크류축의 회전에 따라 캐리어보드의 이송방향으로 왕복이동될 수 있는 결합판; 을 포함하고,

상기 적어도 둘 이상의 파지기는 상기 결합판에 결합되어 있는 것을 특징으로 하는

전자부품 검사 지원을 위한 핸들러용 캐리어보드 이송시스템.
이송시작위치에 있는 캐리어보드를 이송종료위치로 이송시키는 A과정;

상기 이송시작위치에 있는 캐리어보드를 이송중간위치로 이송시키는 B과정; 및

상기 이송중간위치에 있는 캐리어보드를 상기 이송종료위치로 이송시키는 C과정; 을 포함하되,

상기 A과정을 수행함으로써 캐리어보드를 상기 이송시작위치에서 상기 이송종료위치로 이송시키거나, 상기 B과정 및 C과정을 순차적으로 수행함으로써 캐리어보드를 상기 이송시작위치에서 상기 이송종료위치로 이송시키는 것을 특징으로 하는

전자부품 검사 지원을 위한 핸들러의 챔버 내에서의 캐리어보드 이송방법.
제9항에 있어서,

캐리어보드의 이송방향은 캐리어보드의 전자부품 적재면에 수직한 방향인 것을 특징으로 하는

전자부품 검사 지원을 위한 핸들러의 챔버 내에서의 캐리어보드 이송방법.
캐리어보드의 일 측 변을 지지하거나 지지해제하는 제1지지부; 및

캐리어보드의 타 측 변을 지지하거나 지지해제하는 제2지지부; 를 포함하고,

상기 제1지지부는,

캐리어보드의 일 측 변을 지지하거나 지지해제하기 위한 제1지지부재; 및

상기 제1지지부재에 의해 캐리어보드의 일 측 변이 지지될 수 있도록 하거나 지지가 해제될 수 있도록 하기 위해 마련되는 제1이동기; 를 포함하고,

상기 제2지지부는,

캐리어보드의 타 측 변을 지지하기 위한 제2지지부재; 및

상기 지지부재를 캐리어보드 측 방향이나 반대방향으로 이동시키는 제2이동기; 를 포함하고,

상기 제2이동기는,

캐리어보드의 이송방향으로 긴 회전축;

일단은 상기 회전축에 고정되고 타단은 상기 지지부재에 회전 가능하게 결합됨으로써 상기 회전축의 회전에 따라 상기 일단을 회전중심으로 하여 상기 타단이 회전되는 회전부재; 및

상기 회전축을 일정 각도 범위 내에서 정역 왕복 회전시킬 수 있는 구동력을 공급하는 구동원; 을 포함하는 것을 특징으로 하는

전자부품 검사 지원을 위한 핸들러용 캐리어보드 지지장치.
제11항에 있어서,

상기 이동기는 상기 회전축의 회전에 따라서 이동하는 상기 지지부재의 균형적인 이동을 보조하기 위한 보조기; 를 더 포함하는 것을 특징으로 하는

전자부품 검사 지원을 위한 핸들러용 캐리어보드 지지장치.