TWI403737B - 支援電子裝置測試之處置器的載板傳送系統以及在處置器室中傳送載板的方法 - Google Patents

Description

支援電子裝置測試之處置器的載板傳送系統以及在處置器室中傳送載板的方法

本發明是關於支援電子裝置測試之處置器，且特別是關於傳送載板的技術。

用於支援測試器測試電子裝置的處置器有很多種，例如支援封裝狀態之半導體裝置測試的處置器、支援模組隨機存取記憶體(RAM)測試的處置器等。

處置器一般依預設循環路徑傳遞載板(包含測試托盤)，其上裝載複數個電子裝置，藉以測試載板上的電子裝置。預設循環路徑上有測試位置，載板上的電子裝置在此電性連接測試器，然後進行測試。

電子裝置在人為預置測試條件下經同化(assimilated)及測試。故處置器依測試條件施加應力至電子裝置，接著電性連接電子裝置和測試器。為此，處置器包括腔室，用以依測試條件施加應力至電子裝置及隔絕外部空氣熱，如此電子裝置可在維持施予電子裝置之應力的環境中測試。

處置器可包括複數個腔室。例如，具施加溫度應力至電子裝置功能的處置器包括均熱室(soak chamber)、測試室和除熱室(de-soak chamber)。在載板傳送到測試位置前，均熱室預先加熱/預先冷卻電子裝置。測試室維持電子裝置於均熱室預先加熱/預先冷卻的溫度及進行測試。除熱室使移自測試室之載板上的電子裝置溫度恢復成接近室溫。均熱室亦稱為預熱室、加熱室、結霜室、預熱器等。除熱室亦稱為恢復室、冷卻室、除霜室、除霜器等。多份文件已刊載此技術。

當處置器包括腔室時，腔室內部變成載板循環路徑的一部分。故處置器需要傳送載板通過腔室內部的方法，並設置適用此方法的傳送系統。

傳送腔室內部之載板的方法和載板傳送系統等相關技術揭露於韓國專利號10-0277539、名稱為「模組IC處置器室(CHAMBER OF MODULE IC HANDLER)」，此稱為”習知技術1”；韓國專利號10-0313007、名稱為「處置器冷卻室中的測試托盤傳送設備(TEST TRAY TRANSFER APPARATUS IN HANDLER COOLING CHAMBER)」，此稱為”習知技術2”；韓國專利號10-0771475、名稱為「側入塢型測試處置器和傳送其測試托盤的設備(SIDE DOCKING-TYPE TEST HANDLER AND APPARATUS FOR TRANSFERRING TEST TRAY FOR THE SAME)」，此稱為”習知技術3”；和韓國專利號10-0771475、名稱為「用於半導體裝置之測試處置器的測試托盤傳送設備(TEST TRAY TRANSFER APPARATUS OF TEST HANDLER FOR SEMICONDUCTOR DEVICES)」，此稱為”習知技術4”。

習知技術1是關於在腔室內逐步傳送載板的方法和系統。在習知技術1中，載板稱為承載件。習知技術1所述之逐步傳送載板的方法乃一般傳送腔室內部之載板的方法。在此，”逐步”是指停止傳送載板時，各傳送操作間有傳送停止時間週期。此傳送停止時間週期與裝載電子裝置到載板的時間週期、測試載板上之電子裝置的時間週期、和自載板卸載電子裝置的時間週期無關。

習知技術1所述之技術於傳送載板時有傳送停止時間週期，以致延遲此段時間後才傳送載板。故在循環時間週期需很短的情況下，習知技術1無法加快載板傳送速度和整體循環速度。循環時間週期需很短的情況是指測試條件所需的電子裝置應在短時間內抵達腔室內部，又因測試時間週期很短，故應快速循環傳送載板。

特別地，習知技術1的缺點為，儘管二載板(前一載板與下一載板)間沒有載板且前一載板與下一載板間尚有空間放置載板，但仍無法傳送及放置下一載板靠近前一載板，造成載板傳送速度和整體循環速度增加有限。

在習知技術2中，傳送系統操作接收較低的新載板，同時傳送前一載板(習知技術2稱之為托盤)，然後相繼傳送新的較低載板(即下一載板)且放置靠近前一載板。然此傳送系統於各傳送操作間仍有傳送停止時間週期，此亦會造成習知技術1的問題。

習知技術3和4試圖解決習知技術1和2的問題，即消除傳送停止時間週期。

在習知技術3中，由於環狀軌道單元將載板(習知技術3稱之為測試托盤)傳送到傳送終點且無傳送停止時間週期，故此系統可加快載板傳送速度和整體循環速度。

然習知技術3的系統仍有缺點，即當現位於環狀軌道單元最低側的拾起放置單元，拾起循環路徑上的前一載板，且垂直姿態改變設備無法運作時，若托盤放置設備提供接著前一載板於循環路徑上傳送的下一載板至現位於環狀軌道單元最高側的拾起放置單元，則不可能收集傳送方向上相鄰的前一載板和下一載板。故習知技術3的系統對載板傳送速度和整體循環速度的增加有限。在此，收集傳送方向上相鄰的前一載板和下一載板是指前一載板留在其目前位置，而下一載板事先傳送到靠近前一載板的位置。

在習知技術4中，系統配置使載板(習知技術4稱之為測試托盤)因傳送棒旋轉而移動，並且依據控制伺服馬達的方法產生或不產生傳送停止時間週期。

然習知技術4的系統仍有習知技術3的問題。

為解決上述問題，本發明提出進行逐步傳送操作的載板傳送系統和方法，同時依條件消除傳送停止時間週期，並收集腔室內相隔且在載板傳送方向上彼此接近的載板。

根據本發明一實施例，本發明提出傳送在支援電子裝置測試之處置器中之載板的系統，包含：一傳送設備，用以選擇性傳送位於傳送起始位置的載板到至少一或多個中間傳送位置和傳送最終位置之一；以及至少一或多個支撐設備，用以支承或鬆開位於該至少一或多個中間傳送位置的載板。

較佳地，系統更包含一引導設備，用以引導傳送到傳送起始位置的載板及支承或鬆開位於傳送起始位置的載板。

較佳地，系統更包含一維持設備，用以托住位於傳送最終位置的載板。

較佳地，系統更包含：一支撐板，固定於系統，用以支撐載板的邊緣部分。支撐設備包含：一支撐構件，用以支承或鬆開載板的另一邊緣部分；以及一搬動器，用以沿著往返載板的方向移動支撐構件。

較佳地，若系統設有複數個支撐設備，則支撐設備為個別且獨立地操作。

較佳地，傳送設備包含：至少二或多個拾起單元，用以拾起或鬆開載板；以及一傳送單元，用以沿著載板的傳送方向傳送該至少二或多個拾起單元，以使由該至少二或多個拾起單元所拾起的載板可選擇性傳送到該至少一或多個中間傳送位置和傳送最終位置之一。

較佳地，拾起單元包括：一拾起軸，其具有一沿著載板傳送方向之相對較長的長度；以及一驅動源，用以在一定角度範圍內順向或逆向轉動拾起軸。拾起軸係建構成其一端耦接驅動源，另一端包括至少一或多個拾起端，該至少一或多個拾起端突出來支撐載板的邊緣部份或轉角。

較佳地，傳送單元包括：一螺桿，其具有一沿著載板傳送方向之相對較長的長度；一馬達，用以在一定角度範圍內順向或逆向轉動螺桿；以及一聯結板。聯結板以螺旋方式連接螺桿，且相應螺桿之轉動沿著載板的傳送方向往復移動。又，該至少二或多個拾起單元係連接聯結板。

根據本發明另一實施例，本發明提出傳送在支援電子裝置測試之處置器室內之載板的方法，包含：選擇性傳送位於傳送起始位置的載板到至少一或多個中間傳送位置和傳送最終位置之一。若前一個載板位於傳送最終位置，則下一個位於傳送起始位置的載板則會傳送到該至少一或多個中間傳送位置。

較佳地，沿著垂直載板之裝載表面的方向傳送載板，於該裝載表面上裝載有電子裝置。

根據本發明又一實施例，本發明提出支撐在支援電子裝置測試之處置器中之載板的設備，包含：一第一支撐部，用以支承或鬆開載板的一邊緣部分；一第二支撐部，用以支承或鬆開載板的另一邊緣部分。在此，第二支撐部包含：一支撐構件，用以支撐載板的另一邊緣部分；以及一搬動器，用以沿著往返載板的方向移動支撐構件。搬動器包含：一轉軸，其具有一沿著載板傳送方向之相對較長的長度；一轉動構件，其一端固定於轉軸，且另一端係可旋轉地耦接支撐構件，其中該另一端相應轉軸之轉動相對該一端旋轉；以及一驅動源，用以在一定角度範圍內順向或逆向轉動轉軸而往復運動。

較佳地，搬動器更包含一輔助單元，用以協助支撐構件相應轉軸之轉動而平衡地移動。

以下將配合參照所附圖式詳細說明用於支援電子裝置測試之處置器的載板傳送系統(簡稱傳送系統)和傳送在支援電子裝置測試之處置器室內之載板的方法(簡稱傳送方法)實施例。同樣的元件將不再贅述，以免渾淆本發明之主題。

<實施例1>

第1圖繪示腔室CH，在此載板CB順著箭頭指示之傳送流程Fw於傳送截面傳送，且保持水平狀態。

參照第1圖，載板CB進入腔室CH之前側壁Fr的上部及座落於傳送起始位置S。根據本發明之系統開始自傳送起始位置S傳送載板CB。即，傳送系統開始從傳送起始位置S傳送載板CB、降低載板CB以通過第一中間位置M₁ 和第二中間位置M₂ 、及將載板停放在傳送最終位置E，在此終止傳送載板CB。載板CB從傳送最終位置E經由腔室CH之右側壁Ri的下部輸出到外面。

為順著第1圖傳送流程Fw傳送載板CB，腔室CH之前側壁Fr的上部設有入口，其右側壁Ri的下部設有出口。入口係設置成由門(未繪示)打開或關閉。載板CB從入口進入並由出口離開。

出口係設置成由門打開或關閉。然若另一腔室恰設在腔室CH旁，則腔室CH之出口最好不設置門。

載板CB係由其他非為部份本發明傳送系統的傳送設備輸入入口及輸出出口。這些傳送設備乃廣為人知，故本申請案不另行說明。

第2圖為載板傳送系統2000的透視圖，用以傳送第1圖腔室CH內的載板CB。

如第2圖所示，根據本發明一實施例之傳送系統2000安裝在腔室CH的內部和外部。其包括引導設備2100、傳送設備2200、第一支撐設備2300、第二支撐設備2400和維持設備2500。

1.引導設備2100

引導設備2100從腔室CH外部引導載板CB至腔室CH的傳送起始位置S，接著在傳送起始位置S處，或自該位置支承或鬆開載板CB。為此，如第3圖所示，引導設備2100係建構成包括引導及支撐載板CB左側的第一導杆部2110和引導及支撐載板CB右側的第二導杆部2120。第一和第二導杆部2110、2120設於引導設備2100的對側(左側和右側)。

第一導杆部2110包括第一導杆2111和第一間隔調節器2112。

第一導杆2111引導現進入的載板CB左側及支撐位於傳送起始位置S的載板CB左側，以防載板掉落。第一導杆部2110具有朝左邊方向伸出的聯結端2111a。

第一間隔調節器2112能讓第一導杆2111支承或鬆開載板CB的左側。第一間隔調節器2112係建構成包括間隔調節軸2112a、間隔調節構件2112b、驅動源2112c和輔助單元2112d。

間隔調節軸2112a在沿著載板CB之傳送方向具有較長的長度，即上下方向。驅動源2112c在一定角度範圍內順向或逆向轉動間隔調節軸2112a，且驅動源2112c的上端設於腔室CH的上側壁To。

間隔調節構件2112b係建構成其左端固定或整合於間隔調節軸2112a的下端，其右端可旋轉地耦接聯結端2111a。當驅動源2112c操作使間隔調節軸2112a順向或逆向轉動時，間隔調節構件2112b的右端亦相對間隔調節構件2112b的左端順向或逆向轉動一定角度。

驅動源2112c設於腔室CH的上側壁To外面。驅動源2112c在一定角度範圍內順向或逆向轉動間隔調節軸2112a。在本發明之一實施例中，驅動源2112c採用馬達，然應理解本發明不限於此實施例。例如，驅動源可採用汽缸。

輔助單元2112d協助第一導杆2111以相應間隔調節軸2112a之轉動而平衡地移動。輔助單元2112d係建構成包括輔助軸2112d-1和輔助構件2112d-2。

輔助軸2112d-1係設置成平行間隔調節軸2112a並與之相隔一段距離，且其上端可選轉地耦接腔室CH的上側壁To。

輔助構件2112d-2對應間隔調節構件2112b，並建構成其左端固定於輔助軸2112d-1之下端，右端則可旋轉地耦接第一導杆2111的聯結端2111a。

第二導杆部2120包括第二導杆2121和第二間隔調節器2122。

第二導杆2121引導現進入的載板CB右側，且在進入後支撐位於傳送起始位置S的載板CB右側，以防載板掉落。

第二間隔調節器2122能讓第二導杆2121支承或鬆開載板CB的右側。第二間隔調節器2122包括一對汽缸2122a、2122b，其設置彼此相隔一段距離。

該對汽缸2122a、2122b係建構成其圓筒主體2122a-1、2122b-1設於腔室CH的右側壁Ri外面，且其圓筒棒2122a-2、2122b-2延伸穿過腔室CH的右側壁Ri而耦接第二導杆2121。在本發明之一實施例中，雖然第二導杆部2120的構造比第一導杆部2110簡單，但應理解二者可具相同構造，此視腔室CH右側壁的使用狀態、載板CB的傳送方式、腔室CH右邊所安裝的其他設備構造等而定。

以下將描述引導設備2100的操作。

第4及5圖為第3圖引導設備2100的操作狀態上視圖。

如第4圖所示，當第一和第二導杆2111、2121的間距d₁ 縮減(即窄)時，載板CB由第一和第二導杆2111、2121引導，然後放到傳送起始位置。

接著，如第5圖所示，當載板CB由下述傳送設備2200支撐時，驅動源2112c操作以順向(參見箭頭方向)轉動間隔調節軸2112a，使傳送設備2200降低載板CB，而該對汽缸2122a、2122b操作以拉回圓筒棒2122a-2、2122b-2，使第一和第二導杆2111、2121的間距d₂ 變寬而解除對載板CB的支撐。

此外，傳送設備2200自傳送起始位置S降低載板CB，汽缸2122a、2122b和驅動源2112c反向操作以引導及支撐在載板CB之後的載板CB，接著縮短第一和第二導杆2111、2121的間距，使第5圖的狀態變成第4圖的狀態。

2.傳送設備2200

傳送設備2200將載板CB自傳送起始位置降至傳送最終位置。為此，如第6圖所示，傳送設備2200包括一對設於前側的拾起單元2211、2212、一對設於後側的拾起單元2213、2214、和傳送單元2220。

四拾起單元2211、2212、2213、2214分別對應地包括拾起軸2211a、2212a、2213a、2214a和驅動源2211b、2212b、2213b、2214b。傳送單元2220包括螺桿2221、馬達2222和聯結板2223。

拾起軸2211a、2212a、2213a、2214a於垂直方向上具有相對較長的長度，並且延伸穿過腔室CH的上側壁To。其下端分別對應地具有拾起端2211a-1、2212a-1、2213a-1、2214a-1，其突出形成以支撐載板CB的邊緣部分或轉角。

驅動源2211b、2212b、2213b、2214b設置耦接位於腔室CH上側的聯結板2223。驅動源在一定角度範圍內順向或逆向轉動與之相連的拾起軸2211a、2212a、2213a、2214a。在本發明之一實施例中，儘管驅動源2211b、2212b、2213b、2214b採用馬達，然應理解其也可採用汽缸。當拾起軸2211a、2212a、2213a、2214a依驅動源2211b、2212b、2213b、2214b操作，順向或逆向轉動時，拾起端2211a-1、2212a-1、2213a-1、2214a-1亦相應拾起軸之轉動順向或逆向旋轉，使拾起端得以支承或鬆開載板CB。

雖然根據本發明一實施例之傳送設備2200包括兩對拾起單元，即四個拾起單元，其各具拾起端，但應理解，若拾起端有相當長度來托住載板CB的邊緣部分，則傳送設備2200可只配設一對拾起單元於其前側和後側。又應理解，若拾起端有相當寬的面積來托住載板CB，則傳送設備2200可只配設一對拾起單元於其左側和右側。

螺桿2221沿著載板CB之傳送方向具有一相對較長的長度，且其下端可可旋轉地耦接腔室CH的上側壁To，上端耦接馬達2222並相應馬達2222之轉動旋轉。

馬達2222固定於處置器的上框架HP，並順向或逆向轉動螺桿2221。較佳地，馬達2222採用伺服馬達，藉以精確控制轉動量。

聯結板2223的前側和後側端部連接拾起單元2211、2212、2213、2214的驅動源2211b、2212b、2213b、2214b，且其中心具有螺孔2223a供螺桿2221插入。

當馬達2222順向或逆向轉動時，螺桿2221亦隨之旋轉，造成聯結板2223上升或下降。故兩對拾起單元2211、2212、2213、2214也隨著聯結板2223上升或下降。

以下將詳述傳送設備2200的操作和傳送載板CB的方法。

如第7圖所示，當引導設備2100支撐傳送起始位置S的載板CB時，傳送單元2220抬高拾起單元2211、2212、2213、2214。隨後，拾起單元2211、2212、2213、2214抬高及拾起傳送起始位置S的載板CB，接著引導設備2100操作放開載板CB。

然後，當傳送單元2220反向操作降低拾起單元2211、2212、2213、2214時，如第8-10圖所示，拾起單元讓載板CB選擇性降至第一中間傳送位置M₁ 、第二中間傳送位置M₂ 和傳送最終位置E之一。

例如，若載板CB於第二中間傳送位置M₂ 和傳送最終位置E前傳遞，則依第8圖進行傳送，此稱為實施例1。若載板CB僅於傳送最終位置E前傳遞，則依第9圖進行傳送，此稱為實施例2。若於第一和第二中間傳送位置M₁ 、M₂ 和傳送最終位置E前皆無載板CB傳遞，則依第10圖進行傳送，此稱為實施例3。

如第6圖所示，由於傳送單元2220依據下一載板CB傳送前之前一載板CB的位置，將下一載板CB降低一定高度，因此在第一中間傳送位置M₁ 或第一和第二中間傳送位置M₁ 、M₂ 處不需要傳送停止時間週期，如同實施例2、3所述。即，傳送單元2220可將某一傳送起始位置的載板CB傳送到某一傳送最終位置，而不需停止。

此外，當載板CB位於腔室CH內且彼此相隔時，第6圖傳送單元2220將前一載板CB保持在目前位置及沿著前一載板CB之傳送方向傳送下一載板CB，如同實施例1、2所述。是以傳送單元2220可沿著傳送方向收集腔室CH內相隔的載板CB。

另外，若載板CB位於第一和第二中間傳送位置M₁ 、M₂ 和傳送最終位置E，則載板CB經由出口(參見第1圖)從傳送最終位置E輸出到外面，第6圖傳送單元2220接著將第二中間傳送位置M₂ 的載板CB傳送到傳送最終位置E，及將第一中間傳送位置M₁ 的載板CB傳送到第二中間傳送位置M₂ 。

3.支撐設備2300、2400

如第11圖所示，第一支撐設備2300支承或鬆開位於第一中間傳送位置M₁ 的載板CB，第二支撐設備2400亦支承或鬆開位於第二中間傳送位置M₂ 的載板CB。第一和第二支撐設備2300、2400個別操作達成本發明之目的。然因第一和第二支撐設備2300、2400的構造和操作相同，故以下僅說明第一支撐設備2300。

參照第12圖，第一支撐設備2300支承或鬆開第一中間傳送位置M₁ 的載板CB。為此，第一支撐設備2300包括支承載板CB前緣部分的第一支撐部2310和支承載板CB後緣部分的第二支撐部2320，在此第一和第二支撐部2310、2320設於第一支撐設備2300的對側(前側和後側)。

第一支撐部2310包括第一支撐構件2311和第一搬動器2312。

第一支撐構件2311支撐位於第一中間傳送位置M₁ 的載板CB前緣部分，以防載板掉落。

第一搬動器2312能讓第一支撐構件2311支承或鬆開載板CB的前緣部分。其包括設置相隔一段距離的一組汽缸2312a、2312b。

汽缸2312a、2312b係建構成其圓筒主體2312a-1、2312b-1設於腔室CH的前側壁Fr外面，其圓筒棒2312a-2、2312b-2分別延伸穿過腔室CH的前側壁Fr並耦接第一支撐構件2311。

第二支撐部2320包括第二支撐構件2321和第二搬動器2322。

第二支撐構件2321支撐位於第一中間傳送位置M₁ 的載板CB後緣部分，以防載板掉落。其包括朝後方伸出的聯結端2321a。

第二搬動器2322能讓第二支撐構件2321支承或鬆開載板CB的後緣部分。第二搬動器2322包括轉軸2322a、轉動構件2322b、驅動源2322c和輔助單元2322d。

轉軸2322a沿著載板CB之傳送方向的長度較長，其上端由驅動源2322c在一定角度範圍內順向或逆向轉動，且驅動源2322c設於腔室CH的上側壁To。

轉動構件2322b的後端固定或整合於轉軸2322a的下端，其前端可旋轉地耦接第二支撐構件2321的聯結端2321a。當驅動源2322c操作使轉軸2322a順向或逆向轉動時，其前端亦當作轉軸相對後端在一定角度內順向或逆向轉動。

驅動源2322c設於腔室CH的上側壁To外面，並在一定角度範圍內順向或逆向轉動轉軸2322a。

輔助單元2322d協助第二支撐構件2321以相應轉軸2322a之轉動而平衡地移動。輔助單元2322d的構造和操作與引導設備2100的輔助單元2112d相同，故不再贅述其特徵結構。

由於第一和第二支撐設備2300、2400的操作實質上與上述引導設備2100相同，故不再贅述。

4.維持設備2500

維持設備2500支撐傳送最終位置E的載板CB。如第2圖所示，其包括托住載板CB前緣部分的第一維持部2510和托住載板CB後緣部分的第二維持部2520。

維持設備2500可形成用來托住載板CB。雖然本發明包括設置維持設備2500，但也可修改部分腔室CH底面，使其突出來托住載板CB，而不利用維持設備2500。因維持設備2500亦可個別製備，故根據本發明，此非傳送系統2000的必要元件。

5.維修相關的特徵結構說明

若腔室CH內發生擁塞的情形，則需將載板CB自腔室CH內強迫送出。

發生擁塞時，可從腔室CH之前側壁Fr上的入口強迫移出引導設備2100所支撐的載板CB。在此例子中，腔室CH最好設有門來打開其整個左側壁Le，如第2圖所示。若另一腔室鄰接腔室CH右側，則第一和第二支撐設備2300、2400與維持設備2500所支撐的載板CB應經由腔室CH的左側壁Le離開。

此構造代表第一間隔調節器2112的驅動源2112c不能設在腔室CH的左側壁Le，如第3圖所示。故不像第二間隔調節器2122，第一間隔調節器2112的驅動源2112c設於腔室CH的上側壁To。

雖然腔室CH設有門來打開其整個左側壁Le，但若其他設備的零件無法經由該門替換及維修，此可能造成則難題。故腔室CH較佳設有門來打開其整個後側壁Re(參見第2圖)。

故如第12圖所示，不像第一搬動器2312，第二搬動器2322的驅動源2322c設於腔室CH的上側壁To。

6.送入載板相關的特徵結構說明

第13圖為第6圖中兩對拾起單元2211/2212、2213/2214的上視圖。參照第13圖，後側拾起單元2213、2214的拾起端2213a-1、2214a-1支撐載板CB的後緣部分。前側拾起單元2211、2212的拾起端2211a-1、2212a-1沿著對角線方向支撐載板CB的前緣部分。

此構造可避免由入口輸入並進入腔室的載板CB妨礙拾起軸2211a、2212a，還可避免維修時由左側壁Le移開的載板CB妨礙拾起軸2212a。如此，在右前側的拾起軸2211a可支撐在右方而非在對角線上的載板CB。

<實施例1的應用實例>

在實施例1中，一拾起軸(即2211a；2212a；2213a；2214a)分別對應地只有一拾起端(即2211a-1；2212a-1；2213a-1；2214a-1)。然如第14圖所示，實施例1可修改成一拾起軸(即2211a-0；2212a-0；2213a-0；2214a-0)分別對應地設有二拾起端(即2211a-01、2211a-02；2212a-01、2212a-02；2213a-01、2213a-02；2214a-01、2214a-02)。

第14圖應用實例具有以下優點。如第15圖所示，傳送最終位置E之載板CB輸出到腔室CH外面，接著二載板CB分別從第一和第二中間傳送位置M₁ 、M₂ 傳送到第二中間傳送位置M₂ 和傳送最終位置E。為此，將可理解一拾起軸(即2211a-0；2212a-0；2213a-0；2214a-0)宜分別對應地設有二拾起端(即2211a-01、2211a-02；2212a-01、2212a-02；2213a-01、2213a-02；2214a-01、2214a-02)，藉以同時傳送二載板CB。應理解本發明之各拾起軸亦可配設三拾起端。

雖然實施例1乃將四載板CB置於腔室CH，但應理解腔室CH內當可放置五或更多個載板CB。在此例子中，將可理解每一拾起軸宜各自設有三或更多個拾起端。

<實施例2>

第16圖繪示腔室CH，在此載板CB順著箭頭指示之傳送流程Fw於傳送截面傳送且保持垂直狀態，此不同於實施例1。

參照第16圖，載板CB以垂直方向進入腔室CH之上側壁To的正面，然後座落於傳送起始位置S。隨後，載板CB從傳送起始位置S經由第一和第二中間傳送位置M₁ 、M₂ 傳送到傳送最終位置E，即從腔室CH之前側到後側，接著從傳送最終位置E經由腔室CH之右側壁Ri的背部輸出到腔室CH外面。

為順著第16圖傳送流程Fw傳送載板CB，腔室CH之上側壁To的正面設有入口，其右側壁Ri的背部設有出口。入口設置由門(未繪示)打開或關閉。

第17圖為載板傳送系統3000的透視圖，用以傳送第16圖腔室CH內的載板CB。

如第17圖所示，根據本發明一實施例之傳送系統3000包括傳送設備3100、第一支撐設備3200、第二支撐設備3300、支撐板3400和維持設備3500。

1.傳送設備3100

傳送設備3100將傳送起始位置S的載板CB傳送到後側的傳送最終位置E。為此，如第18圖所示，傳送設備3100包括一對設於上側的拾起單元3110、3120、一對設於下側的拾起單元3130、3140、和傳送單元3150。

四拾起單元3110、3120、3130、3140分別對應地包括拾起軸3111、3121、3131、3141和驅動源3112、3122、3132、3142。傳送單元3150包括螺桿3151、馬達3152和聯結板3153。

拾起軸3111、3121、3131、3141於前後方向上具有相對較長的長度，並且延伸穿過腔室CH的前側壁Fr。其後端分別對應地具有拾起端3111a、3121a、3131a、3141a，其突出構成符號”ㄈ”，以支撐載板CB的邊緣部分或轉角。

驅動源3112、3122、3132、3142設置耦接位於腔室CH前側的聯結板3153。驅動源在一定角度範圍內順向或逆向轉動拾起軸3111、3121、3131、3141。

螺桿3151沿著載板CB之傳送方向(即前後方向)的長度較長，且其後端可旋轉地耦接腔室CH的前側壁Fr，前端耦接馬達3152及相應馬達3152之轉動旋轉。

馬達3152固定地設置以順向或逆向轉動螺桿3151。

聯結板3153的上側和下側端部連接拾起單元3110、3120、3130、3140的驅動源3112、3122、3132、3142，且其中心具有螺孔3153a供螺桿3151插入。

實施例1與2的構造和操作方法相似，除了實施例2的傳送設備3100是以垂直狀態傳送載板CB，實施例1的傳送設備2200是以水平狀態傳送載板CB，故以下將不再贅述傳送設備3100的操作。

2.支撐設備3200、3300和支撐板3400

第一支撐設備3200支承或鬆開位於第一中間傳送位置M₁ 的載板CB下緣部分。第二支撐設備3300支承或鬆開位於第二中間傳送位置M₂ 的載板CB下緣部分。支撐板3400支撐位於第一和第二中間傳送位置M₁ 、M₂ 的載板CB上緣部分。

因第一和第二支撐設備3200、3300的構造和操作相仿，故以下僅說明第一支撐設備3200。

參照第19圖，第一支撐設備3200包括支撐構件3210和搬動器3220。

支撐構件3210支撐位於第一中間傳送位置M₁ 的載板CB下緣部分，以防載板掉落。

搬動器3220能讓支撐構件3210支承或鬆開載板CB的下緣部分。搬動器3220包括設置相隔一段距離的一組汽缸3221、3222。

汽缸3221、3222的圓筒主體3221a、3222a設於腔室CH的下側壁Bo外面，其圓筒棒3221b、3222b分別延伸穿過腔室CH的下側壁Bo而耦接支撐構件3210。

支撐板3400固定地設於第一和第二支撐設備3200、3300的上方及對面。支撐板3400亦設有分別對應第一和第二中間傳送位置M₁ 、M₂ 的支撐槽3410、3420。支撐槽3410、3420分別容納載板CB的上緣部分。

實施例2的第一與第二支撐設備3200、3300和支撐板3400相當於實施例1的第一和第二支撐設備2300、2400，但二者的構造不同。

為了支撐第一和第二中間傳送位置M₁ 、M₂ 的載板CB，實施例2之第一與第二支撐設備3200、3300和支撐板3400的構造也可與實施例1相同。然實施例1與2的構造差異在於所傳送之載板CB的姿態。

一般而言，若載板CB於腔室CH內是以垂直狀態傳送，則傳送系統的上側一般設有姿態改變設備(未繪示)，姿態改變設備改變載板CB的姿態後，接著將載板CB降至傳送起始位置S。

在以垂直狀態傳送腔室CH內之載板CB的傳送系統中，若載板CB的上緣部分是藉由驅動源之驅動力所支承或鬆開，則供驅動源安裝的空間和供上升/下降元件(支撐元件)升降的空間不夠用來安裝姿態改變設備。故在此例子中，需要複雜的設計，否則無法提供安裝姿態改變設備的空間。

為解決此問題，實施例2的傳送系統3000利用固定設置的支撐板3400支撐載板CB的上緣部分。

3.維持設備3500

維持設備3500支撐傳送最終位置E的載板CB。如第19圖所示，其包括第一維持部3510、上升/下降單元3520和第二維持部3530。

第一維持部3510托住位於傳送最終位置E的載板CB下緣部分。

上升/下降單元3520抬高或降低第一維持部3510，以免妨礙傳送至傳送最終位置E的載板CB。其包括一組汽缸3521、3522。

第二維持部3530托住位於傳送最終位置E的載板CB上緣部分。

應理解本實施例可採用移動軌道來抬起傳送最終位置E的載板CB達一定高度，而不利用維持設備。由於維持設備3500可自傳送系統分離，因此其非本發明的必要元件。

4.傳送系統的操作及傳送方法

參照第20圖，在載板CB降低至傳送起始位置S前，傳送單元3150先行操作使拾起軸3111、3121、3131、3141的拾起端3111a、3121a、3131a、3141a引導及支撐待置於傳送起始位置S的載板CB。

如第20圖所示，當載板CB以垂直狀態下降及進入腔室CH時，其下緣部分和上端部的左右兩側皆由拾起軸3111、3121、3131、3141的拾起端3111a、3121a、3131a、3141a適當支撐，如第21圖所示。因實施例2的傳送系統3000乃操作利用拾起端3111a、3121a、3131a、3141a降低載板CB至傳送起始位置S、或引導及支撐傳送起始位置S的載板CB，故其不需配設實施例1的引導設備2100。然實施例2的傳送系統3000另可包括此引導設備來加快載板CB的傳送速度。例如，傳送系統3000可依據是否以上下方向或前後方向傳送載板CB、或依據載板CB之傳送速度，選擇性增設引導設備3100。

如實施例1所述，傳送單元3150操作以選擇性傳送載板CB至第一中間傳送位置M₁ 、第二中間傳送位置M₂ 和傳送最終位置E之一。以下將說明逐步傳送載板CB的方法，藉以清楚了解根據本發明之傳送系統3000的操作。

例如，若處於第21圖狀態之傳送單元3150操作傳送載板CB至第一中間傳送位置M₁ (如第22圖所示)，則第一支撐設備3200(如第23圖所示)操作支撐及抬起載板CB，使載板CB的上緣部分插進支撐槽3410中。即如第23圖所示，載板CB的下緣部分由第一支撐設備3200的支撐構件3210支撐，載板CB的上緣部分由支撐板3400支撐。

如上所述，從傳送起始位置S傳送載板CB至第一中間傳送位置M₁ 的方法，同樣可應用到從第一中間傳送位置M₁ 傳送載板CB至第二中間傳送位置M₂ 的情況，及從第二中間傳送位置M₂ 傳送至傳送最終位置E的情況。本方法也可應用到從傳送起始位置S連續傳送載板CB至第二中間傳送位置M₂ 或傳送最終位置E、或從第一中間傳送位置M₁ 至傳送最終位置E的情況，且不需要傳送停止時間。

在本發明之一實施例中，傳送載板CB的同時，傳送系統可上升或下降移動，即垂直載板CB之傳送方向往復運動。

<附加說明>

一般來說，載板CB是於處置器的均熱室或除熱室內逐步傳送。此原因之一是為確保有充足的時間週期讓裝載至載板上的電子裝置在人為預置腔室環境中同化。

因此，均熱室或除熱室應包括複數個載板，並進行逐步傳送操作。

為提高處理量，應增加用以將電子裝置裝載至載板上的表面及縮小處置器尺寸。然裝載表面增加及處置器尺寸縮小將無法達到傳送均熱室或除熱室內所容納的複數個載板，又保持對準且平行裝載表面的狀態。

故系統是以垂直電子裝置之裝載表面的方向傳送均熱室或除熱室內的載板。

是以本發明可應用到在腔室內部傳送載板的技術。根據本發明，可沿著垂直電子裝置之裝載表面的方向傳送載板。

如前所述，根據本發明之系統可依條件產生或不產生傳送停止時間週期，並可收集腔室內相隔且載板循環方向上相鄰的載板，故其具有下列功效：

第一，其可加快載板傳送速度和整體循環速度。

第二，其可控制載板傳送速度，進而依測試條件快速或緩慢地傳送載板。

雖然本發明已以一些實施例揭露如上，然應理解任何熟習此技藝者，在不脫離本發明及其均等物之精神和範圍內，當可作各種之更動與潤飾，因此本發明之保護範圍當視後附之申請專利範圍所界定者為準。

2000．．．系統

2100．．．引導設備

2110、2120．．．導杆部

2111、2121．．．導杆

2111a．．．端

2112、2122．．．調節器

2112a．．．軸

2112b．．．調節構件

2112c．．．驅動源

2112d．．．輔助單元

2112d-1．．．輔助軸

2112d-2．．．輔助構件

2122a、2122b．．．汽缸

2122a-1、2122b-1．．．主體

2122a-2、2122b-2．．．棒

2200．．．傳送設備

2211、2212、2213、2214．．．拾起單元

2211a、2212a、2213a、2214a、2211a-0、2212a-0、2213a-0、2214a-0．．．軸

2211a-1、2212a-1、2213a-1、2214a-1、2211a-01、2211a-02、2212a-01、2212a-02、2213a-01、2213a-02、2214a-01、2214a-02．．．端

2211b、2212b、2213b、2214b．．．驅動源

2220．．．傳送單元

2221．．．螺桿

2222．．．馬達

2223．．．聯結板

2223a．．．螺孔

2300、2400．．．支撐設備

2310、2320．．．支撐部

2311、2321．．．支撐構件

2312、2322．．．搬動器

2312a、2312b．．．汽缸

2312a-1、2312b-1．．．主體

2312a-2、2312b-2．．．棒

2321a．．．端

2322a．．．軸

2322b．．．轉動構件

2322c．．．驅動源

2322d．．．輔助單元

2500．．．維持設備

2510、2520．．．維持部

3000．．．系統

3100．．．傳送設備

3110、3120、3130、3140．．．拾起單元

3111、3121、3131、3141．．．軸

3111a、3121a、3131a、3141a．．．端

3112、3122、3132、3142．．．驅動源

3150．．．傳送單元

3151．．．螺桿

3152．．．馬達

3153．．．聯結板

3153a．．．螺孔

3200、3300．．．支撐設備

3210．．．支撐構件

3220．．．搬動器

3221、3222．．．汽缸

3221a、3222a．．．主體

3221b、3222b．．．棒

3400．．．支撐板

3410、3420．．．支撐槽

3500．．．維持設備

3510、3520．．．維持部

3520．．．上升/下降單元

3521、3522．．．汽缸

Bo、Fr、Le、Ri、Re、To．．．側壁

CB．．．載板

CH．．．腔室

d₁ 、d₂ ．．．間距

E、M₁ 、M₂ 、S．．．位置

Fw．．．傳送流程

HP．．．框架

本發明之特徵和優點在配合參閱說明書與所附圖式後，將變得更清楚易懂，其中：

第1圖為腔室的透視圖，其應用根據本發明第一實施例之載板傳送方法；

第2圖為根據本發明第一實施例之載板傳送系統的透視圖；

第3圖為引導設備的主要部分透視圖，其用於第2圖載板傳送系統；

第4及5圖繪示第3圖引導設備的操作狀態；

第6圖為傳送設備的主要部分透視圖，其用於第2圖載板傳送系統；

第7-10圖繪示第6圖傳送設備的操作狀態；

第11圖為第一和第二支撐設備的主要部分透視圖，其用於第2圖載板傳送系統；

第12圖為第11圖第一支撐設備的主要部分透視圖；

第13圖為根據本發明一實施例，載板傳送系統之維修特徵結構的示意圖；

第14圖為第6圖傳送設備之應用實例的示意圖；

第15圖繪示第14圖傳送設備的操作狀態；

第16圖為腔室的透視圖，其應用根據本發明第二實施例之載板傳送方法；

第17圖為根據本發明第二實施例之載板傳送系統的透視圖；

第18圖為傳送設備的主要部分透視圖，其用於第17圖載板傳送系統；

第19圖為除了第17圖載板傳送系統以外的部分透視圖；以及

第20-23圖繪示第17圖載板傳送系統的操作。

2000．．．系統

2100．．．引導設備

2200．．．傳送設備

2300、2400．．．支撐設備

2500．．．維持設備

2510、2520．．．維持部

CH．．．腔室

Fr、Le．．．側壁

Claims (12)

1. 一種傳送在支援電子裝置測試之處置器中之載板的系統，該系統包含：一傳送設備，用以選擇性傳送一位於一傳送起始位置的載板到至少一或多個中間傳送位置和一傳送最終位置之一；以及至少一或多個支撐設備，用以支承或鬆開該位於該至少一或多個中間傳送位置的載板。
2. 如申請專利範圍第1項所述之系統，更包含：一引導設備，用以引導該傳送到該傳送起始位置的載板，並支承或鬆開該位於該傳送起始位置的載板。
3. 如申請專利範圍第1項所述之系統，更包含：一維持設備，用以托住一位於該傳送最終位置的載板。
4. 如申請專利範圍第1項所述之系統，更包含：一支撐板，固定於該系統，用以支撐該載板的一邊緣部分，其中該支撐設備包含：一支撐構件，用以支承或鬆開該載板的另一邊緣部分；以及一搬動器，用以沿著往返該載板的一方向移動該支撐構件。
5. 如申請專利範圍第1項所述之系統，其中在該系統設有複數個支撐設備的情況下，該些支撐設備為個別且獨立地操作。
6. 如申請專利範圍第1項所述之系統，其中該傳送設備包含：至少二或多個拾起單元，用以拾起或鬆開該載板；以及一傳送單元，用以沿著一載板的傳送方向傳送該至少二或多個拾起單元，以使該由該至少二或多個拾起單元所拾起的載板，選擇性傳送到該至少一或多個中間傳送位置和該傳送最終位置之一。
7. 如申請專利範圍第6項所述之系統，其中該拾起單元包含：一拾起軸，其具有一沿著該載板傳送方向之相對較長的長度；以及一驅動源，用以在一定角度範圍內順向或逆向轉動該拾起軸；其中該拾起軸係建構成使其一端耦接該驅動源，其另一端包括至少一或多個拾起端，該至少一或多個拾起端突出來支撐該載板的邊緣部份或轉角。
8. 如申請專利範圍第6項所述之系統，其中該傳送單元包含：一螺桿，其具有一沿著該載板傳送方向之相對較長的長度；一馬達，用以在一定角度範圍內順向或逆向轉動該螺桿；以及一聯結板，其中：該聯結板以一螺旋方式連接該螺桿，並相應該螺桿之轉動沿著該載板傳送方向往復運動；以及該至少二或多個拾起單元係連接該聯結板。
9. 一種傳送在支援電子裝置測試之處置器室內之載板的方法，該方法包含：選擇性傳送一位於一傳送起始位置的載板到至少一或多個中間傳送位置和一傳送最終位置之一；其中若前一個載板位於該傳送最終位置，則下一個位於該傳送起始位置的載板會傳送到該至少一或多個中間傳送位置。
10. 如申請專利範圍第9項所述之方法，其中該載板是沿著一垂直該載板之一裝載表面的方向傳送，於該裝載表面上裝載有電子裝置。
11. 一種支撐在支援電子裝置測試之處置器中之載板的設備，該設備包含：一第一支撐部，用以支承或鬆開一載板的一邊緣部分；以及一第二支撐部，用以支承或鬆開該載板的另一邊緣部分，其中該第二支撐部包含：一支撐構件，用以支撐該載板的該另一邊緣部分；以及一搬動器，用以沿著往返該載板的方向移動該支撐構件，其中該搬動器包含：一轉軸，其具有一沿著該載板傳送方向之相對較長的長度；一轉動構件，其一端固定於該轉軸，且另一端係可旋轉地耦接該支撐構件，其中該另一端相應該轉軸之轉動相對該一端旋轉；以及一驅動源，用以在一定角度範圍內順向或逆向轉動該轉軸而往復運動。
12. 如申請專利範圍第11項所述之設備，其中該搬動器更包含：一輔助單元，用以協助該支撐構件相應該轉軸之轉動而平衡地移動。