JPS60252535A - 基板搬送装置 - Google Patents
基板搬送装置Info
- Publication number
- JPS60252535A JPS60252535A JP59109941A JP10994184A JPS60252535A JP S60252535 A JPS60252535 A JP S60252535A JP 59109941 A JP59109941 A JP 59109941A JP 10994184 A JP10994184 A JP 10994184A JP S60252535 A JPS60252535 A JP S60252535A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- substrates
- moving part
- supporting body
- signal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G65/00—Loading or unloading
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
- Control Of Conveyors (AREA)
- Pile Receivers (AREA)
- Filling Or Emptying Of Bunkers, Hoppers, And Tanks (AREA)
- Sheets, Magazines, And Separation Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（ａ）８発明の技術分野
本発明は」で導体装置の製造工程、特にウェハ・プしＩ
セスにおりる基板（ウェハ）の保持や二り程間の搬送に
使用される基板搬送装置に関する。
セスにおりる基板（ウェハ）の保持や二り程間の搬送に
使用される基板搬送装置に関する。
１）） 、技術の背景
近年ウェハ・プロセスの自動化により、基板ＩＦＤ送装
置の基板支持体は基板を１枚宛順次に、自動機への挿入
・取り出しが容易に行えるよう種々の工夫がなされてい
る。
置の基板支持体は基板を１枚宛順次に、自動機への挿入
・取り出しが容易に行えるよう種々の工夫がなされてい
る。
一方半導体装置の大規模化に伴い、工程の信頼性維持の
ため、処理装置、特に検査装置のステーシミ１ンで抜取
検査を行う頻度が増え、基板支持体より任意の基板を１
枚取り出したり、または取り出した後の山伏りの位置に
挿入したりＪる必要が住じた。
ため、処理装置、特に検査装置のステーシミ１ンで抜取
検査を行う頻度が増え、基板支持体より任意の基板を１
枚取り出したり、または取り出した後の山伏りの位置に
挿入したりＪる必要が住じた。
これに対して、基板の配列状況に応じて自動的に基板出
し入れ装置の移動部の位置と角度を調節して、基板を破
損しないで出し入れができる基板１般送装置か望まれて
いる。
し入れ装置の移動部の位置と角度を調節して、基板を破
損しないで出し入れができる基板１般送装置か望まれて
いる。
（Ｃ）、従来技術と問題点
第１図はウェハ・プロセスにおいて、基板を１枚ずつ処
理する枚葉式の装置へ基板を挿入するために使用される
ベルトと基板支持体との断面図を模式的に示す。
理する枚葉式の装置へ基板を挿入するために使用される
ベルトと基板支持体との断面図を模式的に示す。
図ムこおいて、基板支持体Ｊに基板２が、Ｓ Ｅ Ｍ
１（米国半導体製造装置工業会）規格の４．７６ｍｍピ
ッチで故１０枚収容され、ピッチ毎に支持体１を下げ、
基板を１枚宛ヘルド３に載せ検査装置に運ふ。
１（米国半導体製造装置工業会）規格の４．７６ｍｍピ
ッチで故１０枚収容され、ピッチ毎に支持体１を下げ、
基板を１枚宛ヘルド３に載せ検査装置に運ふ。
このような支持体中の任意の１枚の基板を取り出す方法
としてつぎの２つが用いられていた。
としてつぎの２つが用いられていた。
１、基板支持体の前方（基板の出し入れを行う側）に設
けられたベルトに、目的の基板を後方より押し出して取
り出す方法。
けられたベルトに、目的の基板を後方より押し出して取
り出す方法。
ｉｉ 、基板支持体の前方より薄い板を挿入し、基板を
持ち上げζ取り出す方法。
持ち上げζ取り出す方法。
これらの方法は、何れも正確な位置合ねゼと、基板と基
板取り出し装置の移動部との間に平行度を必要とし、両
者間にズレかある場合は基板を破損するとい・う欠点が
あった。
板取り出し装置の移動部との間に平行度を必要とし、両
者間にズレかある場合は基板を破損するとい・う欠点が
あった。
（ｄ）３発明の目的
本発明の目的は従来技術の有する上記の欠点を除去し、
基板を破ｊ員しないで自動的に任意の基板を裁板支持体
より出し入れできる基板１般送装置を得ることにある。
基板を破ｊ員しないで自動的に任意の基板を裁板支持体
より出し入れできる基板１般送装置を得ることにある。
［Ｑｌ 、発明の構成
上記の目的は、複数の基板を間隔をおいて平行に、かつ
該基板に垂直な方向に並べて収容する基板支持体と、該
基板支持体の基板を出し入れする側にテレビカメラおよ
び基板出し入れ装置と、該テレビカメラに写された基板
の配列状況に応して該基板出し入れ装置の位置と角度を
変える手段よりなることを特徴とする基板搬送装置によ
って達成される。
該基板に垂直な方向に並べて収容する基板支持体と、該
基板支持体の基板を出し入れする側にテレビカメラおよ
び基板出し入れ装置と、該テレビカメラに写された基板
の配列状況に応して該基板出し入れ装置の位置と角度を
変える手段よりなることを特徴とする基板搬送装置によ
って達成される。
本発明によれば、基板の配列状況に応じて自動的に基板
出し入れ装置の移動部の位置と角度を調節して、基板を
破損しないで任意の基板を基板支持体より出し入れでき
る。
出し入れ装置の移動部の位置と角度を調節して、基板を
破損しないで任意の基板を基板支持体より出し入れでき
る。
（ｆ）１発明の実施例
第２図は本発明による基板搬送装置の構成を模式的に示
す断面図である。以下の図において第１図と同一番号は
同一対象を示す。
す断面図である。以下の図において第１図と同一番号は
同一対象を示す。
図において、基板支持体１はエレベータ４の上に載り上
丁；できるようになっており、基板の出し入れ側に設け
られたＴ業用テレビ（ＩＴＶ）カメラ５により基板２の
配列状況か写しだされる。また同じ側に設けられた基板
出し入れ装置６の移動部７は矢印のように運動できるよ
うな機構になっている。
丁；できるようになっており、基板の出し入れ側に設け
られたＴ業用テレビ（ＩＴＶ）カメラ５により基板２の
配列状況か写しだされる。また同じ側に設けられた基板
出し入れ装置６の移動部７は矢印のように運動できるよ
うな機構になっている。
第３図ｔｉｔ本発明による基板搬送装置の構成を示−４
フロック図である。
フロック図である。
図において、基板支持体１をドｒｖカメラ５に石し、ア
ナログ／ディジタル（Ａ ／ Ｉ））変換回路８により
画像信号をディジタル化して画像メモリ９に記憶する。
ナログ／ディジタル（Ａ ／ Ｉ））変換回路８により
画像信号をディジタル化して画像メモリ９に記憶する。
この信号と標準画像用メ干１月０に記１ａされた標準画
像信号とがマイクロコンピュータ１１で比較演算され、
第４図に示されるＸ方向とＹ方向の水平面に対する傾き
角とＺ（垂直）方向の位置をめ、この結果にもとすいて
ティシタルＩ１０インタフェイス１２によりパルスモー
タＭｘ。
像信号とがマイクロコンピュータ１１で比較演算され、
第４図に示されるＸ方向とＹ方向の水平面に対する傾き
角とＺ（垂直）方向の位置をめ、この結果にもとすいて
ティシタルＩ１０インタフェイス１２によりパルスモー
タＭｘ。
Ｍ ｖ 、 Ｍ Ｚを駆動して基板出し入れ装置６の移
動部７の水平度と垂直位置を補正する。この補正が終わ
った後にパルスモークＭを駆動して基板出し入れ装置６
の移動部７を第２図に矢印−（示されるような基板出し
入れ運動を行う。
動部７の水平度と垂直位置を補正する。この補正が終わ
った後にパルスモークＭを駆動して基板出し入れ装置６
の移動部７を第２図に矢印−（示されるような基板出し
入れ運動を行う。
また第３図の点線で示されるように、角度と位置の補正
が終わった後、その画像をＩ Ｔ Ｖカメラ５Ｇご写し
て確認、を取った１−で、パルスモータＭを駆動して基
板出し入れ装置６の出し入れ運動を行ってもよい。
が終わった後、その画像をＩ Ｔ Ｖカメラ５Ｇご写し
て確認、を取った１−で、パルスモータＭを駆動して基
板出し入れ装置６の出し入れ運動を行ってもよい。
（ｇｌ、発明の効県
以」二詳細に説明し７たように本発明によれば、基板を
破損しないで自動的に任意の基板を基板支持体より出し
入れできる基板搬送装置を得ることができる。
破損しないで自動的に任意の基板を基板支持体より出し
入れできる基板搬送装置を得ることができる。
第１図は基板支持体と基板搬送ヘルドとの模式的な断面
図、第２図は本発明による基板搬送装置の構成を模式的
に示す断面図、第３図は本発明による基板搬送装置の構
成を示すブロック図、第４図は基板支持体１の平面図で
ある。 図において、１は基板支持体、２ば基板、３はヘルド、
４はエレベータ、５はＩＴＶカメラ、６は基板出し入れ
装置、７は移動部、８はＡ／Ｄ変換回路、９ば画像メモ
リ、１０は標牛画像用メモリ、１１はマイクコニ２ンビ
ユータ、１２はディジタルＩ１０インクフェイスを示す
。
図、第２図は本発明による基板搬送装置の構成を模式的
に示す断面図、第３図は本発明による基板搬送装置の構
成を示すブロック図、第４図は基板支持体１の平面図で
ある。 図において、１は基板支持体、２ば基板、３はヘルド、
４はエレベータ、５はＩＴＶカメラ、６は基板出し入れ
装置、７は移動部、８はＡ／Ｄ変換回路、９ば画像メモ
リ、１０は標牛画像用メモリ、１１はマイクコニ２ンビ
ユータ、１２はディジタルＩ１０インクフェイスを示す
。
Claims (1)
- 複数の基板を間陥をおいて平行に、かつ該基板に〕Ｉ工
面な方向に並べて収容する基板支持体と、該ノ１（仮支
持体の基板を出し入れする側にテレビカメラおよび基板
出し入れ装置と、該テレビカメラに写された基板の配列
状況に応して該基板出し入れ装置の位置と角度を変える
手段よりなることを特徴とする基板１般送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59109941A JPS60252535A (ja) | 1984-05-30 | 1984-05-30 | 基板搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59109941A JPS60252535A (ja) | 1984-05-30 | 1984-05-30 | 基板搬送装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60252535A true JPS60252535A (ja) | 1985-12-13 |
Family
ID=14522991
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59109941A Pending JPS60252535A (ja) | 1984-05-30 | 1984-05-30 | 基板搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60252535A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1987006566A1 (en) * | 1986-04-22 | 1987-11-05 | Motion Manufacturing, Inc. | Automatic wafer loading method and apparatus |
| JPS63182535U (ja) * | 1987-05-18 | 1988-11-24 | ||
| US4895486A (en) * | 1987-05-15 | 1990-01-23 | Roboptek, Inc. | Wafer monitoring device |
| US4986729A (en) * | 1989-04-24 | 1991-01-22 | Proconics International, Inc. | Wafer transfer apparatus |
| US5100276A (en) * | 1987-08-12 | 1992-03-31 | Hitachi, Ltd. | Production system using wafer-like carrier jig |
| US5164905A (en) * | 1987-08-12 | 1992-11-17 | Hitachi, Ltd. | Production system with order of processing determination |
| US5277539A (en) * | 1988-09-30 | 1994-01-11 | Canon Kabushiki Kaisha | Substrate conveying apparatus |
-
1984
- 1984-05-30 JP JP59109941A patent/JPS60252535A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1987006566A1 (en) * | 1986-04-22 | 1987-11-05 | Motion Manufacturing, Inc. | Automatic wafer loading method and apparatus |
| US4806057A (en) * | 1986-04-22 | 1989-02-21 | Motion Manufacturing, Inc. | Automatic wafer loading method and apparatus |
| US4895486A (en) * | 1987-05-15 | 1990-01-23 | Roboptek, Inc. | Wafer monitoring device |
| JPS63182535U (ja) * | 1987-05-18 | 1988-11-24 | ||
| US5100276A (en) * | 1987-08-12 | 1992-03-31 | Hitachi, Ltd. | Production system using wafer-like carrier jig |
| US5164905A (en) * | 1987-08-12 | 1992-11-17 | Hitachi, Ltd. | Production system with order of processing determination |
| US5277539A (en) * | 1988-09-30 | 1994-01-11 | Canon Kabushiki Kaisha | Substrate conveying apparatus |
| US4986729A (en) * | 1989-04-24 | 1991-01-22 | Proconics International, Inc. | Wafer transfer apparatus |
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