KR20200038040A - 전자부품 테스트용 핸들러 - Google Patents

전자부품 테스트용 핸들러 Download PDF

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KR20200038040A
KR20200038040A KR1020180117643A KR20180117643A KR20200038040A KR 20200038040 A KR20200038040 A KR 20200038040A KR 1020180117643 A KR1020180117643 A KR 1020180117643A KR 20180117643 A KR20180117643 A KR 20180117643A KR 20200038040 A KR20200038040 A KR 20200038040A
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김동일
하성원
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(주)테크윙
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Abstract

본 발명은 전자부품 테스트용 핸들러에 관한 것이다.
본 발명에 따른 전자부품 테스트용 핸들러는 하나의 특정 이송장치가 이송을 담당하는 이송구간이 제1 담당구간과 제2 담당구간으로 나뉘어서 제1 담당구간에서 이송될 때의 테스트트레이를 파지하는 부위와 제2 담당구간에서 이송될 때의 테스트트레이를 파지하는 부위가 다르며, 복수의 테스트트레이에 실린 전자부품들이 함께 테스트되어질 경우, 해당 이송 구간에서 복수의 테스트트레이가 서로 독립적이면서도 동시에 이송될 수 있다.
본 발명에 따르면 이송장치의 구성을 간소화하고 축소시킴으로써 생산단가의 절감과 장비의 크기를 축소시키는 효과가 있다.

Description

전자부품 테스트용 핸들러{HANDLER FOR TESTING ELECTRONIC COMPONENT}
본 발명은 전자부품의 테스트에 사용되는 테스트트레이와 해당 테스트트레이를 이동시키면서 전자부품의 테스트를 지원하는 전자부품 테스트용 핸들러에 관한 것이다.
생산된 반도체소자와 같은 전자부품들은 테스터에 의해 테스트된 후 양품과 불량품으로 나뉘어서 양품만이 출하된다.
테스터와 전자부품들 간의 전기적인 연결은 전자부품 테스트용 핸들러(이하 '핸들러'라 약칭함)에 의해 이루어진다.
핸들러는 테스트되어야 할 전자부품의 종류에 따라 다양한 형태로 제작된다. 이러한 핸들러에서는 전자부품과 테스터 간의 전기적인 연결 기술, 온도 제어 기술, 처리 속도에 관한 기술, 생산 단가의 절감 기술, 장비의 소형화 기술 등이 지속적으로 연구되고 개발되어진다.
핸들러들은 크게 전자부품을 운송할 테스트트레이를 적용하는 것과 적용하지 않는 것으로 나뉠 수 있으며, 본 발명은 테스트트레이를 적용하는 것과 관련된다.
이 발명의 출원인은 이 발명에 앞서 대한민국 특허출원 10-2018-000000호로 테스트트레이가 적용된 핸들러(이하 '선출원기술'이라 함)를 제안한바 있다.
도 1의 참조도에서와 같이 선출원기술에 따르면, 테스트트레이(TT)는 일정한 순환경로(C)를 따라 순환 이동하며, 2장의 테스트트레이(TT)에 실린 전자부품들이 한꺼번에 테스트되도록 되어 있다. 여기서 2장의 테스트트레이(TT)는 소크챔버(SC), 테스트챔버(TC), 디소크챔버(DC)로 이어지는 일부 구간에서 이동 경로(C1, C2)를 달리한다. 그리고 도 1에는 표시되지 않았지만 테스트트레이(TT)와 핸들러(HR)는 테스트트레이(TT)에 실린 전자부품들이 절반씩 나뉘어 2단계로 테스트가 진행될 수 있는 특징적인 구조를 가진다.
선출원 기술에 따른 특징적인 구조에 따르면 2장의 테스트트레이(TT)에 실린 전자부품들이 한꺼번에 테스트되면서 처리 용량도 확장시키고, 최소한의 구성 및 공간의 추가로 생산 단가의 절감과 소형화도 꾀하고 있다.
한편, 핸들러(HR)에는 테스트트레이(TT)의 순환 이동을 위한 각종 이송장치들이 구비되어야 한다. 따라서 선출원기술에서와 같이 2장의 테스트트레이(TT)에 실린 전자부품들이 한꺼번에 테스트되기 위해서는 그에 맞는 이송장치들이 구비되어야 한다. 대한민국 공개특허 10-2000-0068397호(이하 '종래기술'이라 함)에는 2장의 테스트트레이가 상호 일체화된 상태로 이송되는 기술이 제시되어 있다. 그런데, 이렇게 2장의 테스트트레이를 상호 일체화된 상태로 이송시키기 위해서는 이송장치도 그에 맞게 구비되어야 한다.
또한, 이송장치가 테스트트레이가 이송돼야하는 거리만큼 이송시키기 위해서는 그 만큼의 작동 거리가 확보되어야만 한다.
즉, 선출원기술이나 종래기술과 같이 소크챔버, 테스트챔버 및 디소크챔버가 2장의 테스트트레이를 함께 수용하려면, 그에 따라 이송장치의 크기도 커져야 하고 복잡해져야 하는데, 이는 장비의 비대화로 이어진다.
본 발명은 선출원기술의 연장선상에서 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 테스트트레이를 이송시키는 이송장치들의 크기가 최소화될 수 있는 기술을 제공하는 것이다.
본 발명의 제1 형태에 따른 전자부품 테스트용 핸들러는 테스트되어야 할 전자부품들을 로딩위치에 있는 테스트트레이로 로딩시키는 로딩장치; 상기 로딩장치에 의해 전자부품의 로딩이 완료된 후 테스트위치로 온 상기 테스트트레이에 실린 전자부품들을 테스터에 전기적으로 연결시키는 연결장치; 상기 연결장치에 의해 테스터에 의해 전기적으로 연결된 전자부품의 테스트가 종료된 후 언로딩위치로 온 상기 테스트트레이로부터 테스트가 종료된 전자부품들을 언로딩시키는 언로딩장치; 상기 로딩위치, 상기 테스트위치 및 상기 언로딩위치를 거쳐 상기 로딩위치로 이어지는 순환경로를 따라 상기 테스트트레이를 이송시키기 위한 다수의 이송장치들; 및 상기 로딩장치, 상기 연결장치, 상기 언로딩장치 및 상기한 다수의 이송장치들을 제어하는 제어장치; 를 포함하고, 상기 다수의 이송장치들은 상기 순환경로를 따라 이송되는 여러 개의 테스트트레이들이 상호 독립적이면서 개별적으로 이송될 수 있도록 1회 작동에 1장씩의 테스트트레이만을 이송시키고, 상기 다수의 이송장치들 중에서 적어도 하나의 특정 이송장치는 상기 테스트트레이의 전단 변이나 후단 변을 선택적으로 파지하여 상기 순환경로를 따라 이송시키며, - 전단 변은 순환경로를 따라 테스트트레이가 이송될 때 선두에 있는 변을 의미하고, 후단 변은 전단 변과 마주하는 후발에 있는 변을 의미함 ?? 상기 제어장치는 상기 특정 이송장치가 담당하는 이송구간을 제1 담당구간과 제2 담당구간으로 나누어서 상기 특정 이송장치가 제1 담당구간에서 상기 테스트트레이를 이송시킬 때에는 상기 특정 이송장치가 상기 테스트트레이의 전단 변을 파지하도록 하고, 상기 특정 이송장치가 제2 담당구간에서 상기 테스트트레이를 이송시킬 때에는 상기 테스트트레이의 후단 변을 파지하도록 상기 특정 이송장치를 제어한다.
본 발명의 제2 형태에 따른 전자부품 테스트용 핸들러는 테스트되어야 할 전자부품들을 로딩위치에 있는 테스트트레이로 로딩시키는 로딩장치; 상기 로딩장치에 의해 전자부품의 로딩이 완료된 후 테스트위치로 온 상기 테스트트레이에 실린 전자부품들을 테스터에 전기적으로 연결시키는 연결장치; 상기 연결장치에 의해 테스터에 의해 전기적으로 연결된 전자부품의 테스트가 종료된 후 언로딩위치로 온 상기 테스트트레이로부터 테스트가 종료된 전자부품들을 언로딩시키는 언로딩장치; 상기 로딩위치, 상기 테스트위치 및 상기 언로딩위치를 거쳐 상기 로딩위치로 이어지는 순환경로를 따라 상기 테스트트레이를 이송시키기 위한 다수의 이송장치들; 및 상기 로딩장치, 상기 연결장치, 상기 언로딩장치 및 상기한 다수의 이송장치들을 제어하는 제어장치; 를 포함하고, 상기 테스트위치에는 복수의 테스트트레이가 나란히 위치될 수 있으며, 상기 연결장치는 상기 복수의 테스트트레이에 실린 전자부품들을 함께 테스터에 전기적으로 연결시킬 수 있고, 상기 다수의 이송장치들 중에서 상기 복수의 테스트트레이가 상기 테스트위치로 진입하는 이송구간 또는 상기 테스트위치로부터 진출하는 이송구간에서의 이송을 담당하는 특정 이송장치는 상기 복수의 테스트트레이의 개수에 대응되도록 복수개가 구비됨으로써 상기 복수의 테스트트레이가 상호 독립적이지만 동시에 이송될 수 있다.
상기 특정 이송장치는 상기 테스트트레이의 전단 변이나 후단 변을 선택적으로 파지하여 상기 순환경로를 따라 이송시킨다. 여기서 전단 변은 순환경로를 따라 테스트트레이가 이송될 때 선두에 있는 변을 의미하고, 후단 변은 전단 변과 마주하는 후발에 있는 변을 의미한다.
상기 특정 이송장치는 상기 테스트트레이의 전단 변이나 후단 변을 선택적으로 파지할 수 있는 파지부재를 가지는 파지기; 및 상기 파지부재가 상기 테스트트레이의 전단 변이나 후단 변을 선택적으로 파지하도록 위치시키며, 상기 파지부재를 이동시킴으로써 상기 파지기에 의해 파지된 테스트트레이를 상기 순환경로를 따라 이송시키는 이동기; 를 포함한다.
상기 파지기는 상기 파지부재를 승강시킴으로써 상기 파지부재가 상기 테스트트레이의 전단 변이나 후단 변을 파지하거나 파지를 해제할 수 있도록 하는 승강원; 을 더 포함하고, 상기 파지부재는 승강에 의해 상기 테스트트레이의 전단 변이나 후단 변을 파지하거나 파지를 해제할 수 있도록 상기 테스트트레이의 전단 변이나 후단 변이 삽입될 수 있는 파지홈을 구비하도록 구현될 수 있다.
상기 파지기는 상기 파지부재를 회전시킴으로써 상기 파지부재가 상기 테스트트레이의 전단 변을 파지하거나 파지를 해제할 수 있도록 하는 회전원; 을 포함하며, 상기 테스트트레이는 전자부품들을 적재시키기 위한 적재요소들; 및 상기 적재요소들이 설치되며, 상기 테스트트레이의 외곽을 이루는 설치틀; 을 포함하고, 상기 설치틀의 전단 변과 후단 변에는 일부가 전방 또는 후방으로 개방된 걸림홈을 가지며, - 전방은 순환경로를 따라 테스트트레이가 이송될 때 진행하고자 하는 방향을 의미하고, 후방은 전방의 반대 방향을 의미함 ?? 상기 파지부재는 상기 걸림홈에 삽입될 수 있으며, 상기 걸림홈에 삽입된 상태에서 그 회전 상태에 따라 상기 설치틀의 전단 변과 후단 변을 걸어 상기 테스트트레이를 파지하거나 파지를 해제하는 파지부분을 가지도록 구현될 수 있다.
상기 전자부품 테스트용 핸들러는 상기 로딩장치에 의해 테스트되어야 할 전자부품의 로딩이 완료된 상기 테스트트레이를 수용하고, 수용된 상기 테스트트레이에 실린 전자부품들을 예열 또는 예냉시키는 소크챔버; 상기 소크챔버로부터 온 상기 테스트트레이를 수용하며, 수용된 상기 테스트트레이에 실린 전자부품이 테스트될 수 있도록 온도 환경을 지원하는 테스트챔버; 및 상기 테스트챔버에서 온 상기 테스트트레이를 수용하며, 상기 테스트트레이를 상기 언로딩위치로 보내기에 앞서 상기 테스트트레이에 실린 전자부품들을 상온으로 회복시키기 위해 마련되는 디소크챔버; 를 더 포함하고, 상기 소크챔버, 테스트챔버 및 디소크챔버는 상기 순환경로 상에서 나란히 배치되며, 상기 다수의 이송장치들 중 상기 테스트트레이를 상기 소크챔버에서 상기 테스트챔버로 이송시키는 제2 이송장치는 상기 테스트트레이의 후단 변을 파지할 수 있는 제2 파지부재를 가지는 제2 파지기; 및 상기 제2 파지부재가 상기 테스트트레이의 후단 변을 파지하도록 위치시키며, 상기 제2 파지부재를 이동시킴으로써 상기 제2 파지기에 의해 파지된 테스트트레이를 상기 소크챔버에서 상기 테스트챔버로 이송시키는 제2 이동기; 를 포함하고, 상기 다수의 이송장치들 중 상기 테스트트레이를 상기 테스트챔버에서 상기 디소크챔버로 이송시키는 제3 이송장치는 상기 테스트트레이의 전단 변이나 후단 변을 선택적으로 파지할 수 있는 제3 파지부재를 가지는 제3 파지기; 및 상기 제3 파지부재가 상기 테스트트레이의 전단 변이나 후단 변을 선택적으로 파지하도록 위치시키며, 상기 제3 파지부재를 이동시킴으로써 상기 제3 파지기에 의해 파지된 테스트트레이를 상기 테스트챔버에서 상기 디소크챔버로 이송시키는 제3 이동기; 를 포함할 수 있다.
상기 제2 파지부재는 그 승강 또는 상기 테스트트레이의 승강에 의해 상기 테스트트레이를 파지하거나 파지를 해제할 수 있으며, 상기 제3 파지기는 상기 테스트트레이의 전단 변이나 후단 변을 선택적으로 파지할 수 있는 제3 파지부재; 및 상기 제3 파지부재를 정역 회전시킴으로써 상기 제3 파지부재가 상기 테스트트레이의 전단 변 또는 후단 변을 파지하거나 파지를 해제할 수 있도록 하는 회전원; 을 포함한다.
본 발명에 따르면 이송장치의 구성이 간소화되어 다른 구성들과의 기구적 간섭에 따른 설계의 복잡함 등이 최소화되어 생산단가가 절감되고, 그 크기가 축소됨으로써 장비의 비대화를 방지하는 효과가 있다.
도 1은 선출원기술에 따른 전자부품 테스트용 핸들러에 대한 개념적인 평면도이다.
도 2는 본 발명에 따른 전자부품 테스트용 핸들러에 적용될 수 있는 테스트트레이에 대한 사시도이다.
도 3은 도 2의 테스트트레이가 적용된 본 발명의 일 실시예에 따른 전자부품 테스트용 핸들러에 대한 개념적인 평면도이다.
도 4는 도 3의 전자부품 테스트용 핸들러의 구성을 설명하기 위한 개념적인 평면도이다.
도 5는 도 3의 전자부품 테스트용 핸들러에 적용된 제1 이송장치에 대한 개략적인 일부 분해 사시도이다.
도 6은 도 5의 제1 이송장치에 의한 테스트트레이의 파지 및 파지 해제 동작을 설명하기 위한 참조도이다.
도 7 내지 도 12는 도 5의 제1 이송장치에 의한 제1 이송 작업을 설명하기 위한 참조도이다.
도 13은 도 3의 전자부품 테스트용 핸들러에 적용된 제2 이송장치에 대한 분해 사시도이다.
도 14는 도 13의 제2 이송장치가 테스트트레이를 파지하는 동작을 설명하기 위한 참조도이다.
도 15는 도 14의 제2 이송장치의 이송 작업을 설명하기 위한 참조도이다.
도 16은 도 3의 전자부품 테스트용 핸들러에 적용된 제3 이송장치에 대한 분해 사시도이다.
도 17은 도 16의 제3 이송장치에 의한 테스트트레이의 파지 및 파지 해제 동작을 설명하기 위한 참조도이다.
도 18 내지 도 21은 도 16의 제3 이송장치의 이송 작업을 설명하기 위한 참조도이다.
도 22 및 도 23은 도 3의 전자부품 테스트용 핸들러에 적용될 수 있는 스토퍼를 설명하기 위한 개략적인 참조도이다.
본 발명에 따른 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 설명하되, 설명의 간결함을 위해 중복 또는 실질적으로 동일한 구성에 대한 설명은 가급적 생략하거나 압축한다.
<용어의 정의>
본 명세서에서 테스트트레이의 구성 명칭으로 사용되는 "전단 변"이라는 용어는 순환경로를 따라 테스트트레이가 이송될 때 테스트트레이의 진행 방향 측 선두에 있는 변으로 정의하고, "후단 변"이라는 용어는 전단변과 마주하는 후발에 있는 변을 의미한다.
따라서 도 2를 참조하면, 테스트트레이(TT)가 제1 화살표 방향(a)으로 이송될 때에는 Y축 상의 뒷 측 변(S3)이 전단 변이 되고, 앞 측 변(S1)이 후단 변이 된다. 그리고 테스트트레이(TT)가 제2 화살표 방향(b)으로 이송될 때에는 X축 상의 우측 변(S4)이 전단 변이 되고, 좌측 변(S2)이 후단 변이 된다.
마찬가지로 "전방"이라는 용어는 순환경로를 따라 테스트트레이(TT)가 이송될 때 진행하고자 하는 방향을 의미하고, "후방"은 전방의 반대 방향을 의미한다.
<테스트트레이에 대한 설명>
도 2를 참조하면, 테스트트레이(TT)는 적재요소(LE)들과 설치틀(IF)을 포함한다.
적재요소(LE)들은 전자부품(D)을 적재시키기 위해 구비된다.
설치틀(IF)은 적재요소(LE)들이 설치되며, 테스트트레이(TT)의 외곽을 이룬다. 이러한 설치틀(IF)의 X축 방향의 양측 변에는 외측(전방측 및 후방측)으로 일부가 개방된 걸림홈(JG)이 있다. 그래서 양 걸림홈(JG)들은 평면에서 봤을 때 X축 방향으로 꼬리가 달린 서로 선대칭 된 "T"자 형상을 가진다.
도 3에서 참조되는 바와 같이 테스트트레이(TT)는 여러 개의 이송장치에 의해 로딩위치(LP), 테스트위치(TP), 언로딩위치(UP) 및 대기위치(WP)를 거쳐 로딩위치(LP)로 이어지는 폐쇄된 순환경로(C)를 따라서 순환 이동하게 된다.
테스트트레이(TT)가 로딩위치(LP)에 있을 때는 테스트되어야 할 전자부품(D)들이 테스트트레이(TT)로 로딩된다.
테스트트레이(TT)가 테스트위치(TP)에 있을 때는 테스터에 의해 전자부품(D)들이 테스트될 수 있도록 테스트트레이(TT)에 실린 전자부품(D)들이 테스터에 전기적으로 연결된다.
언로딩위치(UP)에서는 테스트가 종료된 전자부품(D)들이 테스트트레이(TT)로부터 언로딩된다.
대기위치(WP)에서는 현재 로딩위치(LP)에서 로딩 작업이 이루어지고 있는 앞 순위의 테스트트레이(TT)가 로딩 작업이 완료되고 소크챔버(SC)로 이송될 때까지 후순위의 비워진 테스트트레이(TT)가 로딩위치(LP)로 이동하기에 앞서 대기한다.
참고로, 도 3의 개념도에서는 선출원기술에서와 같이 처리 용량의 확장을 위해 1회에 2장의 테스트트레이(TT)에 실린 전자부품(D)들이 한꺼번에 테스트되는 구조를 가진 핸들러(HR)를 보여주고 있다. 따라서 평면에서 봤을 때 소크챔버(SC), 테스트챔버(TC) 및 디소크챔버(DC)에는 각각 2장씩의 테스트트레이(TT)가 수용된다. 이에 따라 소크챔버(SC)에서 테스트챔버(TC) 내의 테스트위치(TP)로 진입하거나 테스트위치(TP)로부터 디소크챔버(DC)로 진출하는 이송 경로(C1, C2)는 2개로 나뉘어져 있으며, 이 이송 경로(C1, C2)에서는 2장의 테스트트레이(TT)가 서로 결합되어 있지 않아서 독립적이지만 상호 동시에 이송될 수 있도록 되어 있다. 물론, 실시하기에 따라서는 1회에 1장의 테스트트레이(TT)에 실린 전자부품(D)들만 테스트되는 구조로 간소화되는 것도 얼마든지 고려될 수 있으며, 처리 용량의 확장을 위해 3장 이상의 테스트트레이(TT)에 실린 전자부품(D)들이 함께 테스트는 구조로 구현될 수도 있을 것이다.
<핸들러에 대한 개략적인 설명>
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 전자부품 테스트용 핸들러(HR, 이하 '핸들러'라 약칭함)의 구성을 설명하기 위한 개념적인 평면도이다.
도 4에서와 같이 본 실시예에 따른 핸들러(HR)는 로딩장치(100), 소크챔버(SC), 테스트챔버(TC), 연결장치(200), 디소크챔버(DC), 언로딩장치(300), 제1 이송장치(400), 2개의 제2 이송장치(500), 2개의 제3 이송장치(600), 제4 이송장치(700), 제5 이송장치(800) 및 제어장치(900)를 포함한다.
로딩장치(100)는 테스트되어야 할 전자부품(D)들을 고객트레이(CT1)에서 로딩위치(LP)에 있는 테스트트레이(TT)로 로딩시킨다.
소크챔버(SC)는 평면에서 볼 때 2장의 테스트트레이(TT)를 수용할 수 있으며, 수용된 테스트트레이(TT)에 실린 전자부품(D)들은 미리 가열되거나 냉각된다. 즉, 소크챔버(SC)는 로딩장치(100)에 의해 테스트되어야 할 전자부품(D)의 로딩이 완료된 테스트트레이(TT)를 수용하고, 수용된 테스트트레이(TT)에 실린 전자부품(D)들을 예열 또는 예냉시키기 위해 마련된다.
테스트챔버(TC)는 소크챔버(SC)로부터 온 2장의 테스트트레이(TT)를 수용할 수 있으며, 수용된 테스트트레이(TT)에 실린 전자부품(D)들이 테스트될 수 있도록 온도 환경을 지원하기 위해 마련된다. 이러한 테스트챔버(TC)에서 테스트트레이(TT)에 실린 전자부품(D)들은 하방에 있는 테스터(도시되지 않음)에 전기적으로 연결됨으로써 테스터에 의해 테스트된다.
연결장치(200)는 테스트챔버(TC) 내부에 있는 테스트위치(TP)에 나란히 위치되어 있는 2장의 테스트트레이(TT)에 실린 전자부품(D)들을 하방으로 가압하여 테스터에 전기적으로 연결시킨다.
디소크챔버(260)는 평면에서 볼 때 2장의 테스트트레이(TT)를 수용할 수 있으며, 테스트트레이(TT)를 언로딩위치(UP)로 보내기에 앞서 테스트챔버(TC)로부터 온 테스트트레이(TT)에 실린 전자부품(D)들을 상온이나 상온에 가깝게 회복시킴으로써 차후 전자부품(D)들의 적절한 언로딩작업이 이루어지도록 하기 위해 마련된다.
위와 같은 소크챔버(SC), 테스트챔버(TC) 및 디스크챔버(DC)는 순환경로(C) 상에서 X축 방향으로 나란히 배치된다.
언로딩장치(300)는 디소크챔버(DC)로부터 언로딩위치(UP)로 온 테스트트레이(TT)에 실린 전자부품(D)들을 테스트트레이(TT)로부터 언로딩하면서 테스트 등급에 따라 분류하여 빈 고객트레이(CT2)로 적재시킨다.
제1 이송장치(400) 내지 제5 이송장치(800)는 순환경로(C)를 따라 테스트트레이(TT)를 이송시킨다.
제1 이송장치(400)는 로딩위치(LP)에서 소크챔버(SC) 내부까지의 제1 이송구간(①)에서 테스트트레이(TT)를 이송시킨다.
제2 이송장치(500)는 소크챔버(SC)의 내부에서 테스트위치(TP)까지의 제2 이송구간(②-1, ②-2)에서 테스트트레이(TT)를 이송시킨다.
제3 이송장치(600)는 테스트위치(TP)에서 디소크챔버(DC)의 내부까지의 제3 이송구간(③-1, ③-2)에서 테스트트레이(TT)를 이송시킨다.
제4 이송장치(700)는 디소크챔버(DC)의 내부에서 언로딩위치(UP)까지의 제4 이송구간(④)에서 테스트트레이(TT)를 이송시킨다.
제5 이송장치(800)는 언로딩위치(UP)에서 대기위치(WP)를 거쳐 로딩위치(LP)까지의 제5 이송구간(⑤)에서 테스트트레이(TT)를 이송시킨다.
위의 제1 이송장치(400) 내지 제5 이송장치(800)는 순환경로(C)를 따라 이송되는 여러 개의 테스트트레이(TT)들이 상호 독립적이면서 개별적으로 이송되도록 1회 작동에 1장씩의 테스트트레이(TT)만을 이송시킨다. 물론 2개의 제2 이송장치(500)도 2장의 테스트트레이(TT)들이 소크챔버(SC)에서 테스트위치(TP)로 상호 독립적이면서 개별적으로 이송되지만 동시에 이송되도록 제어될 수 있으며, 2개의 제3 이송장치(600)도 2 장의 테스트트레이(TT)들이 테스트위치(TP)에서 디소크챔버(DC)로 상호 독립적이면서 개별적으로 이송되지만 동시에 이송되도록 제어될 수 있다.
제어장치(900)는 상기한 각 구성들을 제어한다.
<특징적 구성에 대한 설명>
1. 제1 이송장치
제1 이송장치(400)는 로딩위치(LP)에서 전자부품(D)들이 로딩이 완료된 테스트트레이(TT)를 소크챔버(SC)의 내부로 이송시킨다. 이를 위해 제1 이송장치(400)는 소크챔버(SC)에 위치된 테스트트레이(TT)의 상방에 위치하며, 도 5의 일부 분해 사시도에서와 같이 제1 파지기(410) 및 제1 이동기(420)를 포함한다.
제1 파지기(410)는 테스트트레이(TT)의 전단 변이나 후단 변을 파지하거나 그 파지를 해제한다. 여기서 전단 변과 후단 변은 Y축 방향에서 서로 마주보는 변이다. 이러한 제1 파지기(410)는 제1 파지부재(411), 제1 결합부재(412), 제1 승강레일(413), 제1 승강원(414)을 포함한다.
제1 파지부재(411)는 Y축 방향으로 이동해야 하는 테스트트레이(TT)의 전단 변 또는 후단 변을 파지하거나 파지를 해제할 수 있으며, 제1 결합부재(412)에 승강 가능하게 결합되어 있다. 이를 위해 제1 파지부재(411)는 그 승강에 의해 테스트트레이(TT)의 전단 변이나 후단 변을 파지할 수 있도록 테스트트레이(TT)의 전단 변이나 후단 변이 삽입될 수 있는 파지홈(GG)을 구비하고 있다. 그리고 제1 파지부재(412)에는 후술할 제1 승강레일(413)의 레일홈(RG)에 삽입될 수 있는 삽입돌기(IP)가 구비된다.
제1 결합부재(412)는 제1 이동기(420)의 제1 이송벨트(421)에 결합되어서 제1 이동기(420)가 작동하면 Y축 방향으로 이동하게 된다. 이에 따라 제1 결합부재(412)에 결합된 제1 파지부재(411)도 함께 이동됨으로써 궁극적으로 제1 파지부재(411)에 파지된 테스트트레이(TT)가 Y축 방향으로 이동하게 된다.
제1 승강레일(413)은 Y축 방향으로 긴 레일홈(RG)을 가지고 있으며, 승강 가능하게 마련된다. 이 제1 승강레일(413)의 레일홈(RG)에는 앞서 언급한 삽입돌기(IP)가 삽입됨으로써, 제1 승강레일(413)의 승강에 연동하여 제1 파지부재(411)가 승강한다. 또한, 삽입돌기(IP)가 레일홈(RG)에 삽입된 상태로 제1 파지부재(411)가 Y축 방향으로 이동한다는 점에서, 제1 승강레일(413)은 제1 승강원(414)의 승강 동력을 파지부재(411)로 전달하는 역할 뿐만 아니라 제1 파지부재(411)를 지지하면서도 제1 파지부재(411)의 이동을 안내하는 기능도 가진다.
제1 승강원(414)은 제1 승강레일(413)을 승강시킴으로써 궁극적으로 제1 파지부재(411)를 승강시킨다. 따라서 도 6의 (a) 및 (b)에서와 같이 제1 승강원(414)이 제1 파지부재(411)를 하강시키면 제1 파지부재(411)에 의해 테스트트레이(TT)가 파지되고, 제1 승강원(414)이 제1 파지부재(411)를 상승시키면 제1 파지부재(411)에 의한 테스트트레이(TT)의 파지가 해제된다. 물론, 실시하기에 따라서는 제1 파지부재(411)를 승강시키는 대신 테스트트레이(TT)가 승강함으로써 테스트트레이(TT)가 제1 파지부재(411)에 파지되거나 파지가 해제되도록 구현되는 것도 얼마든지 고려될 수 있다.
제1 이동기(420)는 제1 파지부재(411)가 테스트트레이(TT)의 전단 변이나 후단 변을 선택적으로 파지하도록 위치시키며, 제1 파지부재(411)를 Y축 방향으로 이동시킴으로써 제1 파지기(410)에 의해 파지된 테스트트레이(TT)를 순환경로(C)를 따라 Y축 방향으로 이송시킨다. 이를 위해 제1 이동기(420)는 제1 이송벨트(421) 및 제1 구동원(422)을 포함한다.
제1 이송벨트(421)는 Y축 방향으로 일정 간격 이격되게 설치된 한 쌍의 풀리(P1, P2)를 회전 전환점으로 하여 정역 회전한다. 따라서 제1 이송벨트(421)에 결합된 제1 결합부재(412)가 Y축 방향으로 정역 이동될 수 있고, 궁극적으로 제1 파지부재(411) 및 이에 파지된 테스트트레이(TT)가 Y축 방향으로 정역 이동될 수 있다.
제1 구동원(422)은 제1 이송벨트(421)를 정역 회전시킨다.
이와 같은 제1 이송장치(400)에 의한 테스트트레이(TT)의 Y축 방향 이동에 대해서 설명한다.
도 7 등을 참조하면, 제1 이송장치(400)에 의한 이송구간(①)은 후방의 제1 담당구간(①1)과 전방의 제2 담당구간(①2)으로 나뉜다.
먼저 도 7에서와 같이 제1 파지부재(411)가 로딩위치(LP)에 있는 앞선 테스트트레이(TTf)의 전단 변을 파지하도록 제어되며, 도 8에서와 같이 앞선 테스트트레이(TTf)는 제2 담당구간(①2)의 거리만큼 이송된다. 이어서 도 9에서와 같이 제1 파지부재(411)가 앞선 테스트트레이(TTf)의 후단 변을 파지하도록 제어되며, 도 10에서와 같이 앞선 테스트트레이(TTf)는 제1 담당구간(①1)의 거리만큼 이송된다. 이 때, 도 9 및 도 10에서와 같이 후발인 뒤의 테스트트레이(TTr)는 대기위치(WP)에서 로딩위치(LP)로 이송되어 온다.
도 10에서와 같이 앞선 테스트트레이(TTf)의 이송이 완료되면, 도 11에서와 같이 제1 파지부재(411)가 뒤의 테스트트레이(TTr)의 전단변을 파지하도록 제어되며, 도 12에서와 같이 뒤의 테스트트레이(TTr)는 제1 이송장치(400)에 의해 제2 담당구간(①2)의 거리만큼 이송된다.
이와 같이 제1 이송장치(400)에 의해 앞선 테스트트레이(TTf)와 뒤의 테스트트레이(TTr)가 순차적으로 소크챔버(SC)의 내부로 진입하여 수용되면서 Y축 방향으로 나란히 위치하게 된다.
이처럼 제1 이송장치(400)는 제1 파지부재(411)가 테스트트레이(TT)의 전단 변이나 후단 변을 선택적으로 파지할 수 있도록 제어됨으로써, 작동거리를 줄일 수 있고, 이를 통해 제1 이송장치(400)의 크기가 최소화될 수 있다.
2. 제2 이송장치
Y축 방향으로 나란히 위치한 한 쌍의 제2 이송장치(500)는 소크챔버(SC)에 있는 2장의 테스트트레이(TT)를 각각 1장씩 개별적으로 테스트챔버(TC) 측인 X축 방향으로 이송시키고, 이로 인해 2장의 테스트트레이(TT)는 제2 이송구간(②-1, ②-2)에서 이송됨으로써 소크챔버(SC)에서 테스트위치(TP)로 옮겨지게 된다. 여기서 테스트트레이(TT)의 이송 시간을 줄이는 것도 처리 용량의 향상을 가져오는 것이므로, 한 쌍의 제2 이송장치(500)를 동시에 작동시킴으로써 2장의 테스트트레이(TT)가 동시적으로 이송되도록 제어되는 것이 바람직하다.
이를 위해 제2 이송장치(500)는 소크챔버(SC)에 위치된 테스트트레이(TT)의 하방에 위치하며, 도 13의 분해 사시도에서와 같이 제2 파지기(510) 및 제2 이동기(520)를 포함한다.
제2 파지기(510)는 테스트트레이(TT)의 후단 변을 파지할 수 있다. 여기서 후단 변은 X축 방향에서 도면상 좌측에 있는 변이다. 이러한 제2 파지기(510)는 제2 파지부재(511) 및 제2 결합부재(512)를 포함한다.
제2 파지부재(511)는 테스트트레이(TT)의 후단 변을 파지할 수 있는 T자 형상의 파지부분(GP)을 가진다. 파지부분(GP)은 도면상 좌측 방향으로 꼬리가 달린 T자 형상이어서, 테스트트레이(TT)의 후단 변에 있는 걸림홈(JG)에 삽입 가능하게 되어 있다. 따라서 도 14에서와 같이 테스트트레이(TT)의 T자 형상의 걸림홈(JG)에 T자 형상의 파지부분(GP)이 삽입됨으로써 제2 파지부재(511)가 테스트트레이(TT)를 밀수 있도록 파지하는 상태가 될 수 있다. 이 때, 파지부분(GP)이 걸림홈(JG)에 삽입되는 방식은 Z축 방향 상에서 테스트트레이(TT)를 하강시킴으로써 이루어질 수 있지만, Z축 방향 상에서 제2 파지부재(511)가 상승함으로써 테스트트레이(TT)를 파지하도록 구현되거나, 후술할 제3 이송장치(600)에서와 같이 제2 파지부재(511)를 회전시킴으로써 테스트트레이(TT)를 파지하도록 구현되는 것도 얼마든지 고려될 수 있다.
제2 결합부재(512)는 제2 이동기(520)의 제2 이송벨트(521)에 결합되어 있으며, 이러한 제2 결합부재(512)에 파지부재(511)가 결합된다.
제2 이동기(520)는 제2 파지부재(511)가 테스트트레이(TT)의 후단 변을 파지하도록 위치시킬 수 있으며, 제2 파지부재(511)를 X축 방향으로 이동시킴으로써 궁극적으로 제2 파지기(510)에 의해 파지된 테스트트레이(TT)를 순환경로(C)를 따라 X축 방향으로 이동시킨다. 따라서 도 15의 (a) 및 (b)에서와 같이 테스트트레이(TT)는 제2 이송장치(500)에 의해서 밀려서 제2 이송구간(②-1, ②-2)에서 이송됨으로써 소크챔버(SC)에서 테스트챔버(TC) 내의 테스트위치(TP)로 위치 이동하게 된다. 이를 위해 제2 이동기(520)는 제1 이송장치(400)에서와 같이 제2 이송벨트(521)과 제2 구동원(522)을 가진다.
참고로, 본 실시예에서의 제2 구동원(522)은 단가 절감 및 구성의 간소화를 위해 한 쌍의 제2 이송장치(500)에 공용으로 사용되는 구조로 구현되는 것이 바람직하게 고려될 수 있다.
3. 제3 이송장치
제3 이송장치(600)는 테스트위치(TP)에서 테스트트레이(TT)에 실린 전자부품들의 테스트가 완료되면, 테스트트레이(TT)를 제3 이송구간(③-1, ③-2)에서 이송시킴으로써 테스트트레이(TT)를 디소크챔버(DC)의 내부로 옮긴다. 이를 위해 제3 이송장치(600)는 디소크챔버(DC)에 위치된 테스트트레이(TT)의 하방에 위치하며, 도 16의 분해 사시도에서와 같이 제3 파지기(610) 및 이동기(620)를 포함한다.
제3 파지기(610)는 테스트트레이(TT)의 전단 변이나 후단 변을 파지하거나 그 파지를 해제한다. 여기서 전단 변과 후단 변은 X축 방향에서 서로 마주보는 변이다. 이러한 제3 파지기(610)는 제3 파지부재(611), 제3 결합부재(612) 및 회전원(613)을 포함한다.
제3 파지부재(611)는 회전에 의해 테스트트레이(TT)의 전단 변이나 후단 변을 파지하거나 파지를 해제할 수 있다. 이를 위해 제3 파지부재(611)는 테스트트레이(TT)의 전단 변이나 후단 변을 선택적으로 파지할 수 있도록 제3 파지부재(611)의 회전축에서 90도로 꺾이도록 구비된 파지부분(GP)을 가진다.
제3 이송장치(620)는 테스트트레이(TT)를 잡아 당겨서 이송시키기 때문에, 제3 파지부재(611)가 테스트트레이(TT)의 전단 변이나 후단 변을 파지할 때는 도 17의 (a)에서와 같이 파지부분(GP)이 정회전함으로써 파지부분(GP)이 테스트트레이(TT)의 걸림홈(JG)에 삽입되어 테스트트레이(TT)를 X축 방향 상에서 우측 방향으로 잡아당길 수 있는 상태가 되면 파지가 이루어지며, 제3 파지부재(611)가 테스트트레이(TT)이에 대한 파지를 해제할 때는 도 17의 (b)에서와 같이 파지부분(GP)이 역회전함으로써 파지부분(GP)이 테스트트레이(TT)의 걸림홈(JG)에서 이탈되는 상태가 되면 파지가 해제될 수 있다.
제3 결합부재(612)는 제3 이동기(620)의 이송벨트(621)에 결합되어서 제3 이동기(620)가 작동하면 X축 방향으로 이동하게 된다. 이에 따라 제3 결합부재(612)에 결합된 제3 파지부재(611)도 함께 이동됨으로써 궁극적으로 제3 파지부재(611)에 파지된 테스트트레이(TT)가 X축 방향으로 이동하게 된다.
회전원(613)은 제3 파지부재(611)가 테스트트레이(TT)의 전단 변 또는 후단 변을 파지해야 할 때나 그 파지를 해제하고자 할 때, 제3 파지부재(611)를 정회전 또는 역회전시킴으로써 제3 파지부재(611)가 테스트트레이(TT)를 파지하거나 파지를 해제할 수 있게 한다. 여기서 회전원(613)은 실린더로서 구비되며, 편축요소(SE)를 게재하여 회전원(613)이 제3 파지부재(611)의 회전축으로부터 소정 간격 이격된 지점에서 제3 파지부재(611)를 밀거나 당김으로써 제3 파지부재(611)의 회전이 이루어지도록 구현되어 있다. 그러나 실시하기에 따라서는 회전원(613)으로서 회전모터를 적용하여 제3 파지부재(611)를 직접 회전시키는 것도 당연히 고려될 수 있다.
본 실시예에서는 제3 파지부재(611)를 정역 회전시킴으로써 제3 파지기(610)가 테스트트레이(TT)를 파지하거나 그 파지를 해제하도록 구현되었지만, 실시하기에 따라서는 제2 이송장치(500)에서와 같이 제3 파지부재(611)의 승강이나 테스트트레이(TT)의 승강을 통해 테스트트레이(TT)를 파지하거나 그 파지를 해제할 수 있도록 하는 구조도 얼마든지 가능하다. 즉, 제2 이송장치(500)와 제3 이송장치(600)의 구조를 동일하게 가져가는 것도 충분히 고려될 수 있으나, 제2 이송장치(500)는 테스트트레이(TT)를 밀고 제3 이송장치(600)는 테스트트레이(TT)를 잡아당긴다는 점, 제2 이송장치(500)는 1회 작동으로 제2 이송구간(②-1, ②-2)에서 테스트트레이(TT)의 이송 작업을 완료하고 제3 이송장치(600)는 2회 작동으로 제3 이송구간(③-1, ③-2)에서 테스트트레이(TT)의 이송 작업을 완료한다는 점, 제2 이송장치(500)는 테스트트레이(TT)의 후단 변만을 파지하면 되지만 제3 이송장치(600)는 테스트트레이(TT)의 전단 변과 후단 변을 모두 파지할 수 있어야 한다는 점에서 본 실시예에서와 같이 제2 이송장치(500)와 제3 이송장치(600)의 파지 구조를 다르게 하는 것이 바람직하다.
제3 이동기(620)는 제3 파지부재(611)가 테스트트레이(TT)의 전단 변이나 후단 변을 선택적으로 파지하도록 위치시키며, 제3 파지부재(611)를 X축 방향으로 이동시킴으로써 제3 파지기(610)에 의해 파지된 테스트트레이(TT)를 순환경로(C)를 따라 X축 방향으로 이송시킨다. 마찬가지로 한 쌍의 제3 이송장치(600)는 제3 이동기(620)에 구비된 제3 구동원(622)을 상호 공유하는 것이 바람직하다.
계속하여 제3 이송장치(600)에 의한 테스트트레이(TT)의 X축 방향 이동에 대해서 설명한다.
제3 이송장치(600)에 의한 제3 이송구간(③-1, ③-2)은 도 18에서와 같이 전방의 제1 담당구간(③1)과 후방의 제2 담당구간(③2)으로 나뉜다.
먼저 도 18에서와 같이 제3 파지부재(611)가 테스트트레이(TT)의 전단 변을 파지하면 도 19에서와 같이 제3 이동기(620)가 작동하여 테스트트레이(TT)를 제2 담당구간(③2)만큼 이송시킨 후, 도 20에서와 같이 제3 파지부재(611)가 테스트트레이(TT)의 후단 변을 파지하면 도 21에서와 같이 제3 이동기(620)가 작동하여 테스트트레이(TT)를 제1 담당구간(③1)만큼 추가적으로 이송시킨다. 이렇게 제3 이송장치(600)는 2차례로 나뉜 이송과정을 통해 테스트트레이(TT)들을 테스트위치(TP)에서 디소크챔버(DC)의 내부로 이송시킨다. 이러한 작동 방식으로 인해 제3 파지부재(611)가 테스터챔버(TC) 내부 깊숙이까지 진입하지 않아도 되기 때문에 그 작동 거리도 짧아질 수 있고, 그에 비례하여 제3 이송장치(600)의 크기도가 최소화될 수 있다.
이러한 제3 이송장치(600)도 Y축 방향으로 나란히 쌍으로 구비되며, 한 쌍의 제3 이송장치(600)는 서로 독립적으로 파지 작동이 가능하지만, 처리 속도의 향상 및 단가 절감을 위해 하나의 제3 구동원(622)을 공유하여 상호 동시적으로 이송 작업이 이루어질 수 있도록 작동한다. 따라서 2장의 테스트트레이(TT)는 상호 독립적이지만 동시에 이송된다.
물론, 앞서 언급한 바와 같이 제2 이송장치(500)와 제3 이송장치(600)는 밀거나 당기는 점에만 차이가 있을 뿐이므로, 서로 동일한 구조를 가지는 것도 바람직하게 고려될 수 있다. 따라서 제2 이송장치(500)도 제3 이송장치(600)와 같이 2차례에 걸쳐 테스트트레이(TT)를 이송시키도록 구현하는 것도 가능하다.
4. 제4 이송장치
제4 이송장치(700)는 디소크챔버(TC) 내의 있는 테스트트레이(TT)를 언로딩위치(UP)로 이송시키기 위한 것으로서, 구성은 제1 이송장치(400)와 실질적으로 동일하므로 그 설명을 생략한다. 다만, 제 4 이송장치(700)는 전방에 있는 테스트트레이(TT)를 먼저 언로딩위치(UP)로 이송시킨 후, 후방에 있는 테스트트레이(TT)를 2차례에 걸쳐 언로딩위치(UP)로 이송시킨다.
5. 제5 이송장치
제5 이송장치(800)는 언로딩위치(UP)에 있는 테스트트레이(TT)를 대기위치(WP)를 거쳐 로딩위치(LP)로 이송시키기 위해 마련되며, 그 구성 및 작동은 제3 이송장치(600)와 실질적으로 동일하다. 다만, 테스트트레이(TT)파지부재를 승강시키기 위한 승강원이 구비되어서 승강원의 작동에 따라 파지부재가 승강하면서 테스트트레이(TT)의 변을 걸 수 있는 상태가 되게 하거나, 그 상태를 해제할 수 있도록 구비되는 것이 바람직하다. 물론, 제5 이송장치(800)의 경우에도 테스트트레이(TT)를 승강시키거나, 승강원 대신 파지부재를 회전시킴으로써 파지부재가 테스트트레이(TT)를 파지하거나 파지를 해제할 수 있도록 구현되는 것도 충분히 고려될 수 있다. 경우에 따라서는 파지부재가 승강 및 회전을 모두 할 수 있도록 구비되는 것도 당연히 고려될 수 있다.
<추가적인 고려사항>
본 발명에 따르면, 제1 이송장치(400), 제3 이송장치(600), 제4 이송장치(700), 제5 이송장치(800)가 크기 최소화를 위해 2차례씩 나누어 이송시키도록 구현되고 있다. 그리고 경우에 따라서는 대기위치(WP)를 거치는 긴 거리를 이송시켜야 하는 제5 이송장치(800)의 경우에는 3차례 이상으로 나누어 테스트트레이(TT)를 이송시키도록 구현될 수도 있다. 이러한 경우 테스트트레이(TT)가 정위치에 정확히 위치하고 있어야 파지부재(411, 611, 811)들에 의한 테스트트레이(TT)의 파지가 적절히 이루어질 수 있다. 따라서 테스트트레이(TT)가 정확한 위치로 이송될 수 있도록 승강 가능한 스토퍼를 구비하는 것이 바람직하게 고려될 수 있다.
예를 들어 제4 이송장치(700)에 의해 테스트트레이(TT)가 디소크챔버(DC)에서 언로딩위치(UP)로 이송되고, 다시 제5 이송장치(800)에 의해 대기위치(WP)를 거쳐 로딩위치(LP)로 이송되는 경로를 살펴본다. 이 경로 상에서는 제5 이송장치(800)에 의한 테스트트레이(TT)의 적절한 파지를 위해 도 22의 개략도에서 참조되는 바와 같이, 테스트트레이(TT)의 정확한 위치를 설정해주기 위한 4개의 스토퍼(SP1, SP2, SP3, SP4)가 승강기(UD)에 의해 각각 승강 가능하도록 마련된다.
도 23의 (a) 내지 (f)를 참조하여 스토퍼(SP1, SP2, SP3, SP4)들의 역할을 설명한다.
먼저 도 23의 (a)에서와 같이 제4 이송장치(700)에 의해 테스트트레이(TT)가 Y축 방향의 언로딩위치(UP)로 이송될 때에는 제1 스토퍼(SP1)가 하강된 상태에 있다. 그리고 테스트트레이(TT)의 해당 이송이 완료되면, 도 23의 (b)에서와 같이 제1 스토퍼(SP1)가 상승하여 Y축 방향으로의 위치를 잡아준다. 이 때, 제2 스토퍼(SP2)는 상승된 상태에 있기 때문에 테스트트레이(TT)의 X축 방향이 정확히 설정된다.
이어서 테스트트레이(TT)를 X축 방향의 대기위치(WP)로 이송시키고자 할 때에는 도 23의 (c)에서와 같이 먼저 제2 스토퍼(SP2)가 하강한다. 이 상태에서 도 23의 (d)와 같이 테스트트레이(TT)가 대기위치(WP)로 이송되면, 상승된 상태에 있는 제3 스토퍼(SP3)에 의해 테스트트레이(TT)의 과도한 이송이 방지되고, 아울러 제2 스토퍼(SP2)가 상승하여 테스트트레이(TT)의 X축 방향으로의 위치를 정확히 잡아준다.
마찬가지로 테스트트레이(TT)가 대기위치(WP)에서 로딩위치(LP)로 이송될 때에도 도 23의 (e) 및 (f)에서와 같이 제3 스토퍼(SP3)의 하강 및 승강, 제4 스토퍼(SP4)의 과이송 방지에 의해 테스트트레이가 로딩위치(LP)에 정확히 위치할 수 있게 된다.
이와 같은 스토퍼(SP) 및 승강기(UD)는 전 이송 경로에 걸쳐서 필요한 위치들에 요구되는 개수로 구비되면 족하다.
참고적으로, 제1 스토퍼(SP1)는 도 24에서와 같이 테스트트레이(TT)의 X축 방향으로의 이동을 안내하는 안내레일(GR)을 승강시키는 형태로 구현될 수 있으며, 제4 스토퍼(SP4)도 Y축 방향으로의 이동을 안내하는 안내레일을 승강시키는 형태로 구현될 수 있을 것이다. 즉, 테스트트레이(TT)의 위치를 정확히 설정해주는 스토퍼들 중의 일부는 테스트트레이(TT)의 이송 경로 상에서 테스트트레이(TT)의 이송을 안내하는 안내레일들로 대체하는 것이 바람직하게 고려될 수 있다. 그리고 이렇게 안내레일이 스토퍼 기능을 하도록 하는 부위에서는 안내레일이 테스트트레이(TT)의 이송에 간섭되지 않도록 안내레일의 승강이 필수적으로 이루어져야 한다.
상술한 바와 같이, 본 발명에 대한 구체적인 설명은 첨부된 도면을 참조한 실시예에 의해서 이루어졌지만, 상술한 실시예는 본 발명의 바람직한 예를 들어 설명하였을 뿐이기 때문에, 본 발명이 상기의 실시예에만 국한되는 것으로 이해되어져서는 아니 되며, 본 발명의 권리범위는 후술하는 청구범위 및 그 균등범위로 이해되어져야 할 것이다.
TT : 테스트트레이
HR : 전자부품 테스트용 핸들러
100 : 로딩장치
200 : 연결장치
300 : 언로딩장치
400 : 제1 이송장치
500 : 제2 이송장치
600 : 제3 이송장치
700 : 제4 이송장치
800 : 제5 이송장치
900 : 제어장치

Claims (8)

  1. 테스트되어야 할 전자부품들을 로딩위치에 있는 테스트트레이로 로딩시키는 로딩장치;
    상기 로딩장치에 의해 전자부품의 로딩이 완료된 후 테스트위치로 온 상기 테스트트레이에 실린 전자부품들을 테스터에 전기적으로 연결시키는 연결장치;
    상기 연결장치에 의해 테스터에 의해 전기적으로 연결된 전자부품의 테스트가 종료된 후 언로딩위치로 온 상기 테스트트레이로부터 테스트가 종료된 전자부품들을 언로딩시키는 언로딩장치;
    상기 로딩위치, 상기 테스트위치 및 상기 언로딩위치를 거쳐 상기 로딩위치로 이어지는 순환경로를 따라 상기 테스트트레이를 이송시키기 위한 다수의 이송장치들; 및
    상기 로딩장치, 상기 연결장치, 상기 언로딩장치 및 상기한 다수의 이송장치들을 제어하는 제어장치; 를 포함하고,
    상기 다수의 이송장치들은 상기 순환경로를 따라 이송되는 여러 개의 테스트트레이들이 상호 독립적이면서 개별적으로 이송될 수 있도록 1회 작동에 1장씩의 테스트트레이만을 이송시키고,
    상기 다수의 이송장치들 중에서 적어도 하나의 특정 이송장치는 상기 테스트트레이의 전단 변이나 후단 변을 선택적으로 파지하여 상기 순환경로를 따라 이송시키며, - 전단 변은 순환경로를 따라 테스트트레이가 이송될 때 선두에 있는 변을 의미하고, 후단 변은 전단 변과 마주하는 후발에 있는 변을 의미함 ??
    상기 제어장치는 상기 특정 이송장치가 담당하는 이송구간을 제1 담당구간과 제2 담당구간으로 나누어서 상기 특정 이송장치가 제1 담당구간에서 상기 테스트트레이를 이송시킬 때에는 상기 특정 이송장치가 상기 테스트트레이의 전단 변을 파지하도록 하고, 상기 특정 이송장치가 제2 담당구간에서 상기 테스트트레이를 이송시킬 때에는 상기 테스트트레이의 후단 변을 파지하도록 상기 특정 이송장치를 제어하는
    전자부품 테스트용 핸들러.
  2. 테스트되어야 할 전자부품들을 로딩위치에 있는 테스트트레이로 로딩시키는 로딩장치;
    상기 로딩장치에 의해 전자부품의 로딩이 완료된 후 테스트위치로 온 상기 테스트트레이에 실린 전자부품들을 테스터에 전기적으로 연결시키는 연결장치;
    상기 연결장치에 의해 테스터에 의해 전기적으로 연결된 전자부품의 테스트가 종료된 후 언로딩위치로 온 상기 테스트트레이로부터 테스트가 종료된 전자부품들을 언로딩시키는 언로딩장치;
    상기 로딩위치, 상기 테스트위치 및 상기 언로딩위치를 거쳐 상기 로딩위치로 이어지는 순환경로를 따라 상기 테스트트레이를 이송시키기 위한 다수의 이송장치들; 및
    상기 로딩장치, 상기 연결장치, 상기 언로딩장치 및 상기한 다수의 이송장치들을 제어하는 제어장치; 를 포함하고,
    상기 테스트위치에는 복수의 테스트트레이가 나란히 위치될 수 있으며,
    상기 연결장치는 상기 복수의 테스트트레이에 실린 전자부품들을 함께 테스터에 전기적으로 연결시킬 수 있고,
    상기 다수의 이송장치들 중에서 상기 복수의 테스트트레이가 상기 테스트위치로 진입하는 이송구간 또는 상기 테스트위치로부터 진출하는 이송구간에서의 이송을 담당하는 특정 이송장치는 상기 복수의 테스트트레이의 개수에 대응되도록 복수개가 구비됨으로써 상기 복수의 테스트트레이가 상호 독립적이지만 동시에 이송될 수 있는
    전자부품 테스트용 핸들러.
  3. 제2 항에 있어서,
    상기 특정 이송장치는 상기 테스트트레이의 전단 변이나 후단 변을 선택적으로 파지하여 상기 순환경로를 따라 이송시키는 - 전단 변은 순환경로를 따라 테스트트레이가 이송될 때 선두에 있는 변을 의미하고, 후단 변은 전단 변과 마주하는 후발에 있는 변을 의미함 ??
    전자부품 테스트용 핸들러.
  4. 제1 항 또는 제3 항에 있어서,
    상기 특정 이송장치는,
    상기 테스트트레이의 전단 변이나 후단 변을 선택적으로 파지할 수 있는 파지부재를 가지는 파지기; 및
    상기 파지부재가 상기 테스트트레이의 전단 변이나 후단 변을 선택적으로 파지하도록 위치시키며, 상기 파지부재를 이동시킴으로써 상기 파지기에 의해 파지된 테스트트레이를 상기 순환경로를 따라 이송시키는 이동기; 를 포함하는
    전자부품 테스트용 핸들러.
  5. 제4 항에 있어서,
    상기 파지기는,
    상기 파지부재를 승강시킴으로써 상기 파지부재가 상기 테스트트레이의 전단 변이나 후단 변을 파지하거나 파지를 해제할 수 있도록 하는 승강원; 을 더 포함하고,
    상기 파지부재는 승강에 의해 상기 테스트트레이의 전단 변이나 후단 변을 파지하거나 파지를 해제할 수 있도록 상기 테스트트레이의 전단 변이나 후단 변이 삽입될 수 있는 파지홈을 구비한
    전자부품 테스트용 핸들러.
  6. 제4 항에 있어서,
    상기 파지기는,
    상기 파지부재를 회전시킴으로써 상기 파지부재가 상기 테스트트레이의 전단 변을 파지하거나 파지를 해제할 수 있도록 하는 회전원; 을 포함하며,
    상기 테스트트레이는,
    전자부품들을 적재시키기 위한 적재요소들; 및
    상기 적재요소들이 설치되며, 상기 테스트트레이의 외곽을 이루는 설치틀; 을 포함하고,
    상기 설치틀의 전단 변과 후단 변에는 일부가 전방 또는 후방으로 개방된 걸림홈을 가지며, - 전방은 순환경로를 따라 테스트트레이가 이송될 때 진행하고자 하는 방향을 의미하고, 후방은 전방의 반대 방향을 의미함 ??
    상기 파지부재는 상기 걸림홈에 삽입될 수 있으며, 상기 걸림홈에 삽입된 상태에서 그 회전 상태에 따라 상기 설치틀의 전단 변과 후단 변을 걸어 상기 테스트트레이를 파지하거나 파지를 해제하는 파지부분을 가지는
    전자부품 테스트용 핸들러.
  7. 제1 항 또는 제4 항에 있어서,
    상기 로딩장치에 의해 테스트되어야 할 전자부품의 로딩이 완료된 상기 테스트트레이를 수용하고, 수용된 상기 테스트트레이에 실린 전자부품들을 예열 또는 예냉시키는 소크챔버;
    상기 소크챔버로부터 온 상기 테스트트레이를 수용하며, 수용된 상기 테스트트레이에 실린 전자부품이 테스트될 수 있도록 온도 환경을 지원하는 테스트챔버; 및
    상기 테스트챔버에서 온 상기 테스트트레이를 수용하며, 상기 테스트트레이를 상기 언로딩위치로 보내기에 앞서 상기 테스트트레이에 실린 전자부품들을 상온으로 회복시키기 위해 마련되는 디소크챔버; 를 더 포함하고,
    상기 소크챔버, 테스트챔버 및 디소크챔버는 상기 순환경로 상에서 나란히 배치되며,
    상기 다수의 이송장치들 중 상기 테스트트레이를 상기 소크챔버에서 상기 테스트챔버로 이송시키는 제2 이송장치는,
    상기 테스트트레이의 후단 변을 파지할 수 있는 제2 파지부재를 가지는 제2 파지기; 및
    상기 제2 파지부재가 상기 테스트트레이의 후단 변을 파지하도록 위치시키며, 상기 제2 파지부재를 이동시킴으로써 상기 제2 파지기에 의해 파지된 테스트트레이를 상기 소크챔버에서 상기 테스트챔버로 이송시키는 제2 이동기; 를 포함하고,
    상기 다수의 이송장치들 중 상기 테스트트레이를 상기 테스트챔버에서 상기 디소크챔버로 이송시키는 제3 이송장치는,
    상기 테스트트레이의 전단 변이나 후단 변을 선택적으로 파지할 수 있는 제3 파지부재를 가지는 제3 파지기; 및
    상기 제3 파지부재가 상기 테스트트레이의 전단 변이나 후단 변을 선택적으로 파지하도록 위치시키며, 상기 제3 파지부재를 이동시킴으로써 상기 제3 파지기에 의해 파지된 테스트트레이를 상기 테스트챔버에서 상기 디소크챔버로 이송시키는 제3 이동기; 를 포함하는
    전자부품 테스트용 핸들러.
  8. 제7 항에 있어서,
    상기 제2 파지부재는 그 승강 또는 상기 테스트트레이의 승강에 의해 상기 테스트트레이를 파지하거나 파지를 해제할 수 있으며,
    상기 제3 파지기는,
    상기 테스트트레이의 전단 변이나 후단 변을 선택적으로 파지할 수 있는 제3 파지부재; 및
    상기 제3 파지부재를 정역 회전시킴으로써 상기 제3 파지부재가 상기 테스트트레이의 전단 변 또는 후단 변을 파지하거나 파지를 해제할 수 있도록 하는 회전원; 을 포함하는
    전자부품 테스트용 핸들러.






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Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114472191A (zh) * 2020-11-12 2022-05-13 泰克元有限公司 电子部件处理用分选机及确认插入件是否存在缺陷的方法

Family Cites Families (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TW379285B (en) * 1997-07-02 2000-01-11 Advantest Corp Testing device for semiconductor components and the testing trays used in the testing apparatus
TW432221B (en) * 1998-05-29 2001-05-01 Advantest Corp Tray for electronic device, the transporting apparatus of tray for electronic device and testing apparatus for electronic device
TWI341006B (en) * 2002-08-31 2011-04-21 Applied Materials Inc System and method for transporting substrate carriers
JP4124345B2 (ja) * 2003-05-30 2008-07-23 シャープ株式会社 試験装置
KR100560729B1 (ko) * 2005-03-22 2006-03-14 미래산업 주식회사 반도체 소자 테스트용 핸들러
KR100934030B1 (ko) * 2005-12-15 2009-12-28 (주)테크윙 테스트핸들러
KR20080046356A (ko) * 2006-11-22 2008-05-27 미래산업 주식회사 핸들러의 테스트 트레이 이송방법
KR100941674B1 (ko) * 2008-01-29 2010-02-12 (주)테크윙 전자부품 검사 지원을 위한 핸들러용 캐리어보드이송시스템 및 전자부품 검사 지원을 위한 핸들러의 챔버내에서의 캐리어보드 이송방법
WO2010021038A1 (ja) * 2008-08-20 2010-02-25 株式会社アドバンテスト 電子部品ハンドリング装置および電子部品試験システム
US20130200915A1 (en) * 2012-02-06 2013-08-08 Peter G. Panagas Test System with Test Trays and Automated Test Tray Handling
KR101334766B1 (ko) * 2012-04-12 2013-11-29 미래산업 주식회사 반도체 소자 핸들링 시스템
KR102024944B1 (ko) * 2013-07-17 2019-09-25 미래산업 주식회사 인라인 테스트 핸들러 및 인라인 테스트 핸들러에서 테스트 트레이 이송 제어방법
CN106829359A (zh) * 2015-09-30 2017-06-13 精工爱普生株式会社 电子部件输送装置以及电子部件检查装置
KR102483359B1 (ko) * 2015-12-09 2023-01-02 (주)테크윙 반도체소자 테스트용 핸들러 및 그의 정보처리 방법
KR20180083557A (ko) * 2017-01-13 2018-07-23 (주)제이티 소자핸들러
KR20180092355A (ko) * 2017-02-09 2018-08-20 (주)테크윙 테스트핸들러용 테스트트레이 이송장치 및 테스트핸들러에서의 테스트트레이 이송방법

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