KR20180092355A - 테스트핸들러용 테스트트레이 이송장치 및 테스트핸들러에서의 테스트트레이 이송방법 - Google Patents

테스트핸들러용 테스트트레이 이송장치 및 테스트핸들러에서의 테스트트레이 이송방법 Download PDF

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나윤성
이상원
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Abstract

본 발명은 반도체소자의 테스트를 지원하는 테스트핸들러용 테스트트레이 이송장치에 관한 것이다.
본 발명에 따른 테스트핸들러용 테스트트레이 이송장치는 테스트트레이를 병진 이송시키는 이송축의 진퇴를 안내하는 안내기를 구비한다.
본 발명에 따르면 안내기에 의해 이송축의 진퇴가 안내되기 때문에 장비의 크기를 확대시키지 않고서도 테스트트레이를 신속하게 이송시킬 수 있다.

Description

테스트핸들러용 테스트트레이 이송장치 및 테스트핸들러에서의 테스트트레이 이송방법{APPARATUS OF TRANSFERRING TEST TRAY FOR TEST HANDLER AND METHOD OF TRANSFERRING TEST TRAY IN TEST HANDLER}
본 발명은 챔버 내부에 수용된 테스트트레이를 이송시키기 위한 테스트 핸들러용 테스트트레이 이송장치에 관한 것이다.
생산된 반도체소자들은 테스터에 의해 테스트된 후 양품과 불량품으로 나뉘어서 양품만이 출하된다.
테스터와 반도체소자의 전기적인 연결은 테스트핸들러에 의해 이루어진다.
테스트핸들러는 소정의 제조공정을 거쳐 제조된 반도체소자가 테스터에 의해 테스트될 수 있도록 반도체소자를 테스터에 전기적으로 연결시키고, 테스트 결과에 따라 반도체소자들을 등급별로 분류하여 고객트레이에 적재시키는 장비이다.
일반적으로, 패키징 작업까지 마무리된 상태로 생산된 반도체소자는 고객트레이에 적재된 상태에서 테스트핸들러로 공급된다. 테스트핸들러로 공급된 반도체소자는 로딩위치에 있는 테스트트레이로 로딩된 후 테스트트레이에 적재된 상태로 로딩위치에서 소크챔버, 테스트챔버 및 디소크챔버를 거쳐 언로딩위치로 이동한다. 반도체소자는 테스트트레이가 테스트챔버 내에 위치할 때 테스터에 의해 테스트되며, 테스트트레이가 언로딩위치에 위치할 때 테스트트레이로부터 언로딩된다.
주지된 바와 같이, 소크챔버는 수용된 테스트트레이에 적재된 반도체소자들에 열적인 스트레스(고온 또는 저온)를 가하여 반도체소자들을 테스트 온도 조건으로 가열시키거나 냉각시키고, 디소크챔버는 수용된 테스트트레이에 적재된 반도체소자들을 상온에 가깝게 회귀시키게 된다.
대개의 경우 소크챔버와 디소크챔버에는 다수의 테스트트레이가 함께 순차적으로 수용되기 때문에, 다수의 테스트트레이가 함께 단계적으로 1피치(Pitch)씩 병진 이송된다. 이를 위해 테스트핸들러에는 소크챔버와 디소크챔버에서 테스트트레이를 단계적으로 1피치씩 병진 이송시키기 위한 이송장치가 구비된다. 이러한 이송장치는 대한민국 공개특허 10-2011-0114281호 등을 통해 주지되어 있다.
도 1은 소크챔버와 디소크챔버에서 테스트트레이를 이송시키는 테스트핸들러용 테스트트레이 이송장치(100, 이하 '이송장치'라 약칭 함)에 대한 개념도이다. 도 1을 참조하면, 이송장치(100)는 이송축(110, 실제는 복수개로 구비됨), 회전기(도시하지 않음, 실제는 여러 개로 구비됨), 진퇴기(140) 및 유지기(도시하지 않음, 실제는 한 쌍으로 구비됨)를 포함한다.
이송축(110)은 회전 상태에 따라서 테스트트레이(TT)를 파지하거나 파지를 해제하기 위한 다수의 파지돌기(GP)를 가진다. 테스트트레이(TT)는 파지돌기(GP)들에 의해 형성된 파지홈(GS)에 삽입됨으로써 이송축(110)에 의해 파지될 수 있다. 여기서 인접한 파지홈(GS)들 간의 간격은 이송장치(100)의 1회 작동에 따라 테스트트레이(TT)가 이동하는 간격인 1피치로 정의될 수 있다. 이러한 이송축(110)의 전단은 1피치만큼의 이동거리를 가지도록 볼부쉬(BB)를 게재하여 진퇴 및 회전이 가능하도록 챔버(CH)의 벽(CW)에 결합되는 구조로 지지된다.
회전기는 이송축(110)을 회전시켜서 파지돌기(GP)들이 테스트트레이(TT)를 파지하는 상태로 되게 하거나, 파지를 해제하는 상태로 되게 한다.
진퇴기(140)는 이송축(110)을 길이 방향으로 1피치 전진시키거나 후진시킨다.
유지기는 이송축(110)이 테스트트레이(TT)를 이송하기 위해 테스트트레이(TT)를 파지하면 테스트트레이(TT)의 파지를 해제하고, 테스트트레이(TT)가 정지된 상태로 유지될 때에는 테스트트레이(TT)를 파지한다.
위와 같은 종래의 기술에 의하면, 테스트트레이(TT)가 이송축(110)에 파지된 상태로 1피치 전진된 다음 유지기에 의해 파지되고, 이어서 이송축(110)이 테스트트레이(TT)의 파지를 해제하는 상태로 회전된 다음 1피치 후진되는 작동이 반복적으로 이루어지면서 테스트트레이(TT)의 이송이 1피치씩 단계적으로 이루어지게 된다.
그런데, 종래의 기술에 따르면 앞선 테스트트레이(TT)와 뒤따르는 테스트트레이(TT) 간에 여러 피치만큼의 간격이 발생했을 경우에 테스트트레이(TT)의 순환 속도가 느려지는 점이 있다. 이에 대해서 도 2를 참조하여 더 자세히 설명한다.
도 2에서 1번 테스트트레이(TT1)는 이송장치(100)에 의한 이송이 완료되어서 테스트챔버로 이동되기 위해 대기 중이고, 2번 테스트트레이(TT2)는 이송장치(100)에 의한 이송이 진행 중이며, 3번 테스트트레이(TT3)는 소크챔버에 막 수용되어서 이송장치(100)에 의한 이송을 기다리는 중이다. 여기서 1번 테스트트레이(TT1)와 2번 테스트트레이(TT2) 간에는 4피치만큼의 간격이 발생되어 있고, 2번 테스트트레이(TT2)와 3번 테스트트레이(TT3) 간에는 6피치만큼의 간격이 발생되어 있다.
도 2와 같은 상태에서 1번 테스트트레이(TT1)가 테스트챔버로 이동되면, 2번 테스트트레이(TT2)는 1피치씩 이송되는 단계가 4회 반복되고서야 1번 테스트트레이(TT1)의 위치에 도달할 수 있다. 또한, 3번 테스트트레이(TT3)도 2번 테스트트레이(TT2)와 6피치 간격을 유지한 상태로 1번 테스트트레이(TT1)의 위치를 향해 이송될 수밖에는 없다. 즉, 도 2와 같은 상태에서는 1번 테스트트레이(TT1)가 다른 곳(예를 들면 테스트챔버)으로 이송되지 않으며, 챔버(CH)로 더 이상 테스트트레이(TT)가 진입할 수 없게 되고, 이로 인해 쓸데 없는 대기 시간이 발생된다. 따라서 1피치씩의 느린 이동과 대기 시간에 의해 테스트트레이(TT1)의 순환 이동이 느려지면서 테스트핸들러의 처리용량이 하락되는 문제가 발생한다.
한편, 종래기술과 같은 구조에서 이송장치(110)가 1회 동작할 때 테스트트레이(TT)를 2피치 이상 이동시키려고 한다면, 이송축(110)의 전단이 챔버의 벽(CW)을 벗어날 수는 없기 때문에 챔버 내부의 공간을 전후 방향으로 확장시킬 필요성이 있다. 그러나, 챔버 내부의 공간을 확장시키면 장비(테스트핸들러)가 커지고, 그 만큼 반도체소자에 열적 스트레스를 가하기 위한 에너지의 손실도 따른다.
본 발명의 제1 목적은 소크챔버 또는 디소크챔버 내부의 공간을 전후 방향으로 확장시키지 않으면서도 1회 동작에 1피치 또는 1피치보다 더 많은 피치만큼 전진 또는 후진 방향으로 선택적으로 이동시켜서 빠른 물류 흐름을 형성할 수 있는 기술을 제공하는 것이다.
본 발명의 제2 목적은 소크챔버 또는 디소크챔버 내에서 앞선 테스트트레이와 뒤따르는 테스트트레이 간의 간격을 1피치만큼씩만 유지시킬 수 있는 기술을 제공하는 것이다.
본 발명에 따른 테스트핸들러용 테스트트레이 이송장치는, 테스트트레이를 파지하거나 파지를 해제할 수 있도록 길이 방향으로 다수의 파지돌기를 가지며, 테스트트레이를 파지한 상태로 테스트트레이를 이송시키기 위해 마련되는 복수의 이송축; 상기 복수의 이송축을 회전시킴으로써 상기 복수의 이송축이 테스트트레이를 파지하거나 파지를 해제할 수 있도록 하는 적어도 하나의 회전기; 상기 복수의 이송축을 필요한 피치만큼 진퇴시키는 진퇴기; 상기 이송축이 상기 진퇴기에 의해 진퇴할 때 상기 이송축의 진퇴를 안내하는 안내기; 및 테스트트레이를 파지하거나 파지를 해제할 수 있으며, 테스트트레이가 상기 이송축에 의해 이송될 때에는 테스트트레이의 파지를 해제하고, 테스트트레이가 정지된 상태로 유지될 때에는 테스트트레이를 파지하는 유지기; 를 포함한다.
상기 이송축의 전단은 테스트트레이가 수용된 챔버의 벽과 이격된 상태로 상기 챔버의 내부에 위치함으로써 진퇴에 의해 상기 챔버의 벽과 가까워지거나 멀어진다.
상기 이송축의 전단은 상기 안내기 측에 회전 가능하게 결합된다.
상기 진퇴기에 의해 상기 복수의 이송축이 함께 진퇴할 있도록, 상기 복수의 이송축의 후단이 회전 가능하게 결합되는 결합판; 을 더 포함하고, 상기 진퇴기는 상기 결합판을 진퇴시킴으로써 상기 복수의 이송축을 진퇴시키며, 상기 안내기는 상기 복수의 이송축에 각각 대응하도록 복수개로 구비됨으로써, 상기 이송축의 전단은 상기 안내기에 의해 지지되고, 상기 이송축의 후단은 상기 결합판에 의해 지지된다.
상기 안내기는, 상기 진퇴기의 작동에 의해 상기 이송축과 함께 진퇴하며, 상기 이송축이 회전 가능하게 결합된 진퇴부재; 및 상기 진퇴부재의 진퇴를 안내하는 안내부재; 를 포함한다.
상기 다수의 파지돌기들에 의해 형성된 인접한 파지홈들 간의 간격을 1피치라 정의할 때, 상기 안내부재의 길이는 상기 이송축과 함께 진퇴되는 진퇴부재가 1피치 또는 1피치보다 더 많은 피치만큼 선택적으로 진퇴될 수 있는 길이로 구비된다.
본 발명에 따른 테스트핸들러에서의 테스트트레이 이송방법은, 앞선 테스트트레이와 뒤따르는 테스트트레이가 상호 2피치 이상 이격되었을 때, 앞선 테스트트레이를 뒤따르는 테스트트레이에 인접하게 이동시켜서 앞선 테스트트레이와 뒤따르는 테스트트레이를 상호 1피치 이격된 상태로 만든 후, 앞선 테스트트레이와 뒤따르는 테스트트레이를 상호 1피치 이격된 상태에서 함께 이송시킨다. 여기서, 앞선 테스트트레이를 뒤따르는 테스트트레이에 인접하게 이동시킬 때, 1피치 또는 1피치보다 더 많은 피치만큼 선택적으로 이동시키면서 앞선 테스트트레이와 뒤따르는 테스트트레이를 1피치 간격으로 인접시킨다.
본 발명에 따르면 장비의 크기를 확장시키지 않고도 소크챔버 또는 디소크챔버 내에서 테스트트레이들을 1회에 여러 피치씩 이동시킬 수 있고, 테스트트레이들을 상호 인접시켜서 이동시킬 수 있고, 쓸데 없는 대기 시간을 없앨 수 있기 때문에 빠른 테스트트레이의 순환 이동이 가능해져서 테스트핸들러의 처리용량을 향상시킬 수 있다. 특히, 스피드 테스트와 상온 테스트에서 테스트핸들러의 처리용량을 크게 향상시킬 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면 챔버 내에서 앞선 테스트트레이와 뒤따르는 테스트트레이를 상호 인접시킨 상태로 이동시킬 수 있기 때문에 챔버 내에 더 많은 수의 테스트트레이를 위치시킬 수가 있고, 이로 인해 반도체소자에 열적인 자극을 주거나 열적인 자극을 제거할 수 있는 시간이 충분히 확보되어서 테스트의 신뢰성을 향상시킬 수 있다.
도 1은 종래기술에 따른 테스트핸들러용 테스트트레이 이송장치에 대한 개념도이다.
도 2는 도 1의 이송장치의 문제점을 설명하기 위한 참고도이다.
도 3은 본 발명에 따른 테스트핸들러용 테스트트레이 이송장치가 적용될 수 있는 테스트핸들러에 대한 개념적인 평면도이다
도 4 및 도 5는 서로 다른 각도에서 바라본 본 발명의 일 실시예에 따른 테스트핸들러용 테스트트레이 이송장치에 대한 개략적인 사시도이다.
도 6은 도 4의 이송장치에 적용된 이송축이 테스트트레이를 파지하거나 파지 해제하는 작동을 설명하기 위한 참고도이다.
도 7은 도 4의 이송장치에 적용된 안내기에 대한 측면도이다.
도 8은 도 4의 이송장치에 의한 테스트트레이의 이송을 설명하기 위한 참조도이다.
도 9는 도 2와 같은 문제가 발생된 상태를 가정한 참고도이다.
도 10 및 도 11은 도 9와 같은 문제가 치유되는 방법을 설명하기 위한 참고도이다.
본 발명에 따른 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 설명하되, 설명의 간결함을 위해 중복 또는 실질적으로 동일한 구성에 대한 설명은 가급적 생략하거나 압축한다.
<테스트핸들러에 대한 개략적인 설명>
도 3은 본 발명에 따른 테스트핸들러용 테스트트레이 이송장치(이하 '이송장치'라 약칭 함)가 적용될 수 있는 테스트핸들러(TH)에 대한 개념적인 평면도이다.
테스트핸들러(TH)는 로딩장치(LA), 소크챔버(SC), 제1 이송장치(TF1), 테스트챔버(TC), 디소크챔버(DC), 제2 이송장치(TF2) 및 언로딩장치(UA)를 포함한다.
로딩장치(LA)는, 고객트레이(CT1)에 적재된 테스트되어야 할 반도체소자들을 로딩위치(LP)에 있는 테스트트레이(TT)로 로딩시킨다.
소크챔버(SC)는 로딩위치(LP)에서 온 테스트트레이(TT)에 적재된 반도체소자들에 열적인 자극을 가하기 위해 마련된다.
제1 이송장치(TF1)는 테스트트레이(TT)의 순환 이동 방향을 따라 소크챔버(SC) 내에서 테스트트레이(TT)를 이송한다.
테스트챔버(TC)는 소크챔버(SC)를 거쳐 테스트위치(TP)로 온 테스트트레이(TT)에 적재된 반도체소자들이 테스트(TESTER)에 의해 테스트될 수 있는 공간을 제공한다.
디소크챔버(DC)는 테스트챔버(TC)에서 온 테스트트레이(TT)에 적재된 반도체소자로부터 열적인 자극을 제거하기 위해 마련된다.
제2 이송장치(TF2)는 테스트트레이(TT)의 순환 이동 방향을 따라 디소크챔버(DC) 내에서 테스트트레이(TT)를 이송한다.
언로딩장치(UA)는 언로딩위치(UP)로 온 테스트트레이(TT)로부터 반도체소자들을 언로딩시키면서 빈 고객트레이(CT2)로 이동시킨다.
물론, 테스트트레이(TT)는 제1 이송장치(TF1)와 제2 이송장치(TF2)를 포함한 다수의 이송장치들에 의해 로딩위치(LP), 소크챔버(SC)의 내부, 테스트위치(TP), 디소크챔버(DC)의 내부 및 언로딩위치(UP)를 거쳐 다시 로딩위치(LP)로 이어지는 폐쇄된 순환경로(C)를 따라 이동한다.
도 3의 예에 따른 테스트핸들러(TH)에서, 테스트트레이(TT)는 로딩위치(LP)와 언로딩위치(UP) 및 언로딩위치(UP)에서 로딩위치(LP)로 이어지는 구간에서는 수평 상태를 유지하지만, 소크챔버(SC)의 내부에서 디소크챔버(DC)의 내부까지의 이송 구간에서는 수직 상태를 유지한다. 즉, 도 3의 예에 따른 테스트핸들러(TH)는 테스트트레이(TT)가 수직인 상태에서 반도체소자가 테스터와 전기적으로 연결되는 수직식 테스트핸들러이다.
위 테스트핸들러(TH)의 구성들 중 제1 이송장치(TF1)와 제2 이송장치(TF2)가 본 발명에 따른 이송장치로 적용될 수 있다.
<이송장치에 대한 설명>
도 4 및 도 5는 서로 다른 각도에서 바라본 본 발명의 일 실시예에 따른 이송장치(400)에 대한 개략적인 사시도이다.
이송장치(400)는 4개의 이송축(411 내지 414), 결합판(420), 3개의 회전기(431 내지 433), 진퇴기(440), 4개의 안내기(451 내지 454) 및 한 쌍의 유지기(461, 462)를 포함한다.
4개의 이송축(411 내지 414)은 테스트트레이(TT)를 파지한 상태로 테스트트레이(TT)를 이송시키기 위해 마련되며, 대략적으로 테스트트레이(TT)의 사각 모서리 부근을 파지하거나 파지를 해제할 수 있는 위치에 각각 구비된다.
이송축(411 내지 414)은 테스트트레이(TT)를 파지하거나 파지를 해제할 수 있도록 전후 길이 방향으로 10개의 파지돌기(GP)를 가진다. 이러한 파지돌기(GP)들로 인해 인접하는 파지돌기(GP)와 파지돌기(GP) 사이에는 파지홈(GS)이 형성(도 4의 확대된 부분 A 참조)된다. 그리고 이송축(411 내지 414)의 회전 상태에 따라서 도 6의 (a)에서와 같이 테스트트레이(TT)의 사각 모서리 부근이 파지홈(GS)에 삽입되거나 도 6의 (b)에서와 같이 테스트트레이(TT)의 사각 모서리 부근이 파지홈(GS)으로부터 이탈당함으로써, 이송축(411 내지 414)이 테스트트레이(TT)를 파지하거나 파지를 해제하는 상태가 된다. 이를 위해 이송축(411 내지 414)은 회전 가능하게 구비된다.
또한, 본 실시예에서의 이송축(411 내지 414)은 테스트트레이(TT)를 이송시키기 위해서 1피치(상호 인접하는 파지홈과 파지홈 간의 간격) 내지 3피치 중에서 필요한 간격만큼 선택적으로 진퇴될 수 있다.
위의 설명된 예에서 파지돌기(GP)의 개수, 이송축(411 내지 414)에 의한 테스트트레이(TT)의 파지 부위, 이송축(411 내지 414)이 최대로 진퇴될 수 있는 간격 등은 테스트핸들러(TH)의 규모, 필요 또는 고객의 요구에 따라 얼마든지 변경이 가능하다. 그리고 이송축(411 내지 414)도 구조상 테스트트레이(TT)를 적절히 파지할 수 있다면 3개 또는 4개 이상 구비되는 것도 고려될 수 있다.
한편, 이송축(411 내지 414)의 전단(FE)은 안내기(451 내지 454) 측에 회전 가능하게 결합되고, 이송축(411 내지 414)의 후단은 챔버의 후방 벽을 관통하여 결합판(420)에 회전 가능하게 결합된다.
결합판(420)은 진퇴기(440)에 의해 4개의 이송축(411 내지 414)이 함께 진퇴할 수 있도록 4개의 이송축(411 내지 414)의 후단이 회전 가능하게 결합된다. 따라서 이송축(411 내지 414)의 후단은 결합판(420)에 의해 지지된다.
3개의 회전기(431 내지 433)는 4개의 이송축(411 내지 414)을 정해진 회전각만큼 회전시키기 위해 마련된다. 여기서 부호 431 및 433의 회전기는 각각 하나씩의 이송축(411/414)을 회전시키지만, 부호 432의 회전기는 전달요소(TE)를 게재하여 2개의 이송축(412, 413)을 함께 회전시킨다. 이러한 회전기(431 내지 433)의 작동에 따라 도 5에서와 같이 이송축(411 내지 414)이 정해진 회전각만큼 회전하면서 테스트트레이(TT)를 파지하거나 파지를 해제한다. 참고로, 본 실시예에서의 회전기(431 내지 433)들은 실린더로 구비되고 있지만, 실시하기에 따라서는 회전모터나 리니어모터 등으로도 구비될 수 있다.
진퇴기(440)는 결합판(420)을 진퇴시킴으로써 이송축(411 내지 414)을 진퇴시키고, 궁극적으로 이송축(411 내지 414)에 파지된 테스트트레이(TT)를 진퇴시킨다. 이러한 진퇴기(440)는 1회 작동에 의해 이송축(411 내지 414)을 1피치, 2피치 또는 3피치 중에서 선택적인 간격만큼 진퇴시킬 수 있다. 따라서 진퇴기(440)는 이동 거리의 제어가 가능한 서버모터를 사용하는 것이 바람직하나, 필요에 따라서는 가변실린더를 사용하는 것도 고려될 수 있다. 참고로, 여기서 말하는 가변실린더는 다단 실린더 또는 복동형 다단 실린더로서, 원하는 피치만큼 전지 또는 후진 구동이 가능하게 설계된 구동 실린더이다.
4개의 안내기(451 내지 454)는 이송축(411 내지 414)의 1피치 내지 3피치 간격의 진퇴를 안내하고, 이송축(411 내지 414)의 전단(FE)을 지지한다. 여기서 부호 451의 안내기와 부호 454의 안내기가 서로 형태가 유사하고, 부호 452의 안내기와 부호 453의 안내기가 서로 형태가 유사하므로, 부호 451의 안내기와 부호 453의 안내기를 발췌한 도 7을 참조하여 설명한다.
안내기(451, 453)는 진퇴부재(451a, 453a) 및 안내부재(451b, 453b)로 구성된다.
진퇴부재(451a, 453a)는 진퇴기(440)의 작동에 의해 이송축(411, 413)과 함께 진퇴하며, 이송축(411, 413)이 회전 가능하게 결합되어 있다. 이러한 진퇴부재(451a, 453a)는 주변 기구물들과의 관계를 고려하여 다양한 형태로 설계될 수 있다.
안내부재(451b, 453b)는 하나의 안내기(451, 452)에 한 쌍식 구비되며, 진퇴부재(451a, 453a)의 진퇴를 안내하기 위해 이송축(411, 413)과 평행한 막대형태로 마련된다. 이러한 안내부재(451b, 453b)는 이송축(411, 413)이 1피치 또는 1피치보다 더 많은 2피치나 최대 3피치만큼 선택적으로 진퇴될 수 있는 길이로 구비되어야 한다. 즉, 안내부재(451b, 453b)는 최소한 이송축(411, 413)의 최대 진퇴 거리(본 예에서는 3피치)만큼의 길이를 가져야 한다.
한 쌍의 유지기(461, 462)는 테스트트레이(TT)가 정지된 상태로 유지될 때 테스트트레이(TT)를 파지하기 위해 마련된다. 즉, 테스트트레이(TT)가 이송축(411 내지 414)에 파지된 상태에서 이송될 때는 유지기(461, 462)가 테스트트레이(TT)의 파지를 해제한 상태여야 하고, 이송축(411 내지 414)이 테스트트레이(TT)의 파지를 해제한 상태에서 테스트트레이(TT)가 정지된 상태로 유지되어야 할 때는 유지기(461, 462)가 테스트트레이(TT)를 파지한 상태여야 한다.
도 7에서 보면, 이송축(411, 413)이 전진한 상태에서도 이송축(411, 413)의 전단(FE)이 챔버(CH)의 벽(CW)으로부터 이격되어 있음을 확인할 수 있다.
유지기(461, 462)는 테스트트레이(TT)의 상단과 하단을 파지하거나 파지를 해제 할 수 있으며, 파지플레이트(461a, 462a)와 구동원(461b, 462b)을 구비한다.
파지플레이트(461a, 462a)는 다양한 형태로 구비될 수 있지만, 가장 간단하게는 파지슬릿(CS)들을 가지는 형태(도 4의 확대된 부분 B 참조)로 구비될 수 있다.
구동원(461b, 462b)은 실린더 또는 모터로 구비될 수 있으며, 파지플레이트(461a, 462a)를 승강시킴으로써 파지플레이트(461a, 462a)가 테스트트레이(TT)를 파지하거나 파지를 해제할 수 있도록 한다. 물론, 실시하기에 따라서 한 쌍의 유지기(461, 462) 중 상측의 유지기(461)는 주변 기구물들과의 관계를 고려하여 구동원을 구비하지 않을 수도 있다. 이러할 경우 테스트트레이(TT)의 이동 동작 시에 유지기(461, 462)가 테스트트레이(TT)를 파지 해제하거나 파지할 시에 테스트트레이(TT)의 다소간 수직 이동이 발생할 수 있을 것이다.
계속하여 위와 같은 구성을 가지는 이송장치(400)의 작동에 대하여 소크챔버(SC) 내부에서의 이송을 예로 들어 설명한다.
도 8에서와 같이 테스트트레이(TT)가 소크챔버의 내부로 수용돼서 무브레일(MR)에 얹어진 상태에서 뒤따르는 테스트트레이(TT)가 없는 경우 이송장치(400)는 3피치씩 테스트트레이(TT)를 이동시켜서 테스트트레이(TT)를 대기 위치(SP)로 이송한다. 물론, 대기 위치(SP)에서 테스트트레이(TT)는 테스트챔버로 이송되기에 앞서서 이송레일(TR)에 파지된 상태로 대기하게 된다.
한편, 도 9에서와 같이 대기 위치(SP)에 1번 테스트트레이(TT1)가 위치하고, 무브레일(MR)에 3번 테스트트레이(TT3)가 위치하게 되면, 이송장치(400)는 1번 테스트트레이(TT1)와 3번 테스트트레이(TT3) 사이에 있는 2번 테스트트레이(TT2)를 도 10에서와 같이 3번 테스트트레이(TT3)에 1피치 간격만큼 인접시킨 후 2번 테스트트레이(TT2)와 3번 테스트트레이(TT3)를 1피치 이격된 상태에서 함께 1번 테스트트레이(TT1) 측(대기 위치 측)으로 이송시킨다. 즉, 본 발명에 따르면 앞선 2번 테스트트레이(TT2)와 뒤따르는 3번 테스트트레이(TT3) 간에 2피치 이상 이격되었을 때, 2번 테스트트레이(TT2)를 3번 테스트트레이(TT3)에 1피치 이격된 상태로 인접시킨 후에 2번 테스트트레이(TT2)와 3번 테스트트레이(TT3)를 함께 병진 이송시키는 것이다. 이러한 방법을 통해 한 장 또는 두 장 정도만이 아닌 더 많은 개수의 테스트트레이(TT)가 챔버에 함께 수용될 수 있기 때문에 반도체소자에 열적인 자극을 가하는 시간이나 반도체소자로부터 열적인 자극을 제거시키는 시간을 충분히 확보할 수 있는 것이다. 그리고 이러한 방법을 적용하면, 도 8에서 가상적으로 설정한 1번 테스트트레이(TT1)와 2번 테스트트레이(TT2) 간의 간격이 발생할 여지가 없을 수도 있는 것이다. 특히 도 9에서 도 10으로 이어지는 방법을 통해 챔버(CH) 내에 테스트트레이(TT)를 가득 채울 수도 있으며, 이를 통해 쓸데 없는 대기 시간을 발생시키지 않을 수 있게 된다.
또한, 도 9의 상태에서 도 11에서와 같이 뒤따르는 테스트트레이(TT2)를 앞선 테스트트레이(TT1)에 인접시킬 수도 있다.
물론, 도 9의 상태에서 도 10과 도 11의 상태가 될 때, 앞선 테스트트레이와 뒤따르는 테스트트레이 간의 간격에 따라서 2번(TT2) 테스트트레이의 이동 간격을 1피치 또는 1피치보다 더 많은 피치(본 실시예에서는 허용된 최대 이동 피치가 3피치 이므로 2피치 또는 3피치)만큼 이동시킴으로써 물류 흐름을 빠르게 할 수 있다.
여기서, 도 9에서 도 10으로 가는 제어는 반도체소자로 열적인 자극을 가하거나 반도체소자로부터 열적인 자극을 제거시킬 충분한 시간을 확보하고자 할 때 이루어지는 것이 바람직하고, 도 9에서 도 11으로 가는 제어는 스피드 테스트에서와 같이 테스트트레이(TT)의 빠른 물류가 필요하거나 상온 테스트에서와 같이 반도체소자에 열적인 자극을 가할 필요가 없을 때 이루어지는 것이 바람직하다.
한편, 도 7내지 도 11을 참조하면, 이송장치(100)의 작동에 따라 이송축(411 내지 414)의 전단(FE)이 챔버(CH)의 전방 벽(CW)과 가까워지거나 멀어지는 것을 알 수 있다.
설명한 바와 같이 본 발명에 따르면 이송축(411 내지 414)을 길이를 종전보다 짧게 하고, 그 전단(FE)이 안내기(451 내지 454)에 결합 및 지지되어 있는 상태에서 챔버의 전방 벽과는 이격되는 구조를 가지기 때문에 테스트트레이(TT)를 여러 피치만큼 한꺼번에 이송시키도록 제어하면서도 챔버 내부의 공간을 확장시킬 필요가 없다. 그리고 이러한 구조로 인해 이송축(411 내지 414)이 진퇴할 시에 이송축(411 내지 414)의 전단은 챔버의 내부에 위치한 상태에서 챔버의 전방 벽과 가까워지거나 멀어진다.
참고로, 위의 실시예는 수직식 테스트핸들러(TH)를 예로 들었지만, 본 발명에 따른 이송장치는 테스트트레이(TT)가 수평인 상태에서 반도체소자가 테스터에 전기적으로 연결되는 수평식 테스트핸들러나 챔버 내부에서 테스트트레이를 이송시키는 구조를 가져야 하는 테스트핸들러라면 얼마든지 적용 가능하다.
상술한 바와 같이, 본 발명에 대한 구체적인 설명은 첨부된 도면을 참조한 실시예에 의해서 이루어졌지만, 상술한 실시예는 본 발명의 바람직한 예를 들어 설명하였을 뿐이기 때문에, 본 발명이 상기의 실시예에만 국한되는 것으로 이해되어져서는 아니 되며, 본 발명의 권리범위는 후술하는 청구범위 및 그 균등범위로 이해되어져야 할 것이다.
400 : 테스트핸들러용 테스트트레이 이송장치
411 내지 414 : 이송축
GP : 파지돌기 GS : 파지홈
220 : 결합판
431 내지 433 : 회전기
440 : 진퇴기
451 내지 453 : 안내기
451a, 453a : 진퇴부재 451b, 453b : 안내부재
461, 462 : 유지기

Claims (8)

  1. 테스트트레이를 파지하거나 파지를 해제할 수 있도록 길이 방향으로 다수의 파지돌기를 가지며, 테스트트레이를 파지한 상태로 테스트트레이를 이송시키기 위해 마련되는 복수의 이송축;
    상기 복수의 이송축을 회전시킴으로써 상기 복수의 이송축이 테스트트레이를 파지하거나 파지를 해제할 수 있도록 하는 적어도 하나의 회전기;
    상기 복수의 이송축을 필요한 피치만큼 진퇴시키는 진퇴기;
    상기 이송축이 상기 진퇴기에 의해 진퇴할 때 상기 이송축의 진퇴를 안내하는 안내기; 및
    테스트트레이를 파지하거나 파지를 해제할 수 있으며, 테스트트레이가 상기 이송축에 의해 이송될 때에는 테스트트레이의 파지를 해제하고, 테스트트레이가 정지된 상태로 유지될 때에는 테스트트레이를 파지하는 유지기; 를 포함하는
    테스트핸들러용 테스트트레이 이송장치.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 이송축의 전단은 테스트트레이가 수용된 챔버의 벽과 이격된 상태로 상기 챔버의 내부에 위치함으로써 진퇴에 의해 상기 챔버의 벽과 가까워지거나 멀어지는
    테스트핸들러용 테스트트레이 이송장치.
  3. 제2 항에 있어서,
    상기 이송축의 전단은 상기 안내기 측에 회전 가능하게 결합되는
    테스트핸들러용 테스트트레이 이송장치.
  4. 제2 항에 있어서,
    상기 진퇴기에 의해 상기 복수의 이송축이 함께 진퇴할 있도록, 상기 복수의 이송축의 후단이 회전 가능하게 결합되는 결합판; 을 더 포함하고,
    상기 진퇴기는 상기 결합판을 진퇴시킴으로써 상기 복수의 이송축을 진퇴시키며,
    상기 안내기는 상기 복수의 이송축에 각각 대응하도록 복수개로 구비됨으로써, 상기 이송축의 전단은 상기 안내기에 의해 지지되고, 상기 이송축의 후단은 상기 결합판에 의해 지지되는
    테스트핸들러용 테스트트레이 이송장치.
  5. 제1 항에 있어서,
    상기 안내기는,
    상기 진퇴기의 작동에 의해 상기 이송축과 함께 진퇴하며, 상기 이송축이 회전 가능하게 결합된 진퇴부재; 및
    상기 진퇴부재의 진퇴를 안내하는 안내부재; 를 포함하는
    테스트핸들러용 테스트트레이 이송장치.
  6. 제5 항에 있어서,
    상기 다수의 파지돌기들에 의해 형성된 인접한 파지홈들 간의 간격을 1피치라 정의할 때, 상기 안내부재의 길이는 상기 이송축과 함께 진퇴되는 진퇴부재가 1피치 또는 1피치보다 더 많은 피치만큼 선택적으로 진퇴될 수 있는 길이로 구비되는
    테스트핸들러용 테스트트레이 이송장치.
  7. 앞선 테스트트레이와 뒤따르는 테스트트레이가 상호 2피치 이상 이격되었을 때, 앞선 테스트트레이를 뒤따르는 테스트트레이에 인접하게 이동시켜서 앞선 테스트트레이와 뒤따르는 테스트트레이를 상호 1피치 이격된 상태로 만든 후, 앞선 테스트트레이와 뒤따르는 테스트트레이를 상호 1피치 이격된 상태에서 함께 이송시키는
    테스트핸들러에서의 테스트트레이 이송방법.
  8. 제7 항에 있어서,
    앞선 테스트트레이를 뒤따르는 테스트트레이에 인접하게 이동시킬 때, 1피치 또는 1피치보다 더 많은 피치만큼 선택적으로 이동시키면서 앞선 테스트트레이와 뒤따르는 테스트트레이를 1피치 간격으로 인접시키는
    테스트핸들러에서의 테스트트레이 이송방법.
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Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102610287B1 (ko) * 2018-08-24 2023-12-06 (주)테크윙 테스트트레이 및 전자부품 테스트용 핸들러
KR102699530B1 (ko) * 2018-10-02 2024-08-30 (주)테크윙 전자부품 테스트용 핸들러
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Family Cites Families (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3183591B2 (ja) * 1993-07-02 2001-07-09 三菱電機株式会社 半導体デバイスのテストシステム、半導体デバイスのテスト方法、半導体デバイス挿抜ステーション及びテスト用チャンバ
JP4417470B2 (ja) * 1998-05-11 2010-02-17 株式会社アドバンテスト トレイ移送アーム、電子部品ハンドリング装置および電子部品試験装置
JP3430918B2 (ja) * 1998-05-15 2003-07-28 株式会社村田製作所 部品搬送装置
JP3567803B2 (ja) * 1999-07-08 2004-09-22 日立ハイテク電子エンジニアリング株式会社 Ｉｃデバイスの試験装置
KR100491304B1 (ko) * 2003-09-18 2005-05-24 미래산업 주식회사 번인 테스터용 소팅 핸들러
US7196508B2 (en) * 2005-03-22 2007-03-27 Mirae Corporation Handler for testing semiconductor devices
JP2007107941A (ja) * 2005-10-12 2007-04-26 Fujifilm Corp 検査工程の搬送装置及び検査工程の搬送方法
KR100792732B1 (ko) * 2006-05-24 2008-01-11 미래산업 주식회사 반도체 소자 테스트 핸들러의 테스트 트레이 이송장치
KR101405303B1 (ko) * 2010-04-13 2014-06-16 (주)테크윙 테스트핸들러용 캐리어보드 이송장치
CN201830808U (zh) * 2010-10-22 2011-05-18 姚子良 一种烘焙机械
CN203806560U (zh) * 2014-05-02 2014-09-03 苏州博众精工科技有限公司 一种产品自动移位定位机构
CN203975790U (zh) * 2014-08-21 2014-12-03 浙江东和电子科技有限公司 一种自动点焊机的传送装置
CN104326222B (zh) * 2014-10-29 2016-04-27 唐山贺祥机电股份有限公司 座便器陶瓷坯体输送装置
CN205023346U (zh) * 2015-08-25 2016-02-10 苏州索力旺新能源科技有限公司 一种片状工件的步进输送机构
CN205471221U (zh) * 2016-03-21 2016-08-17 上海贝特威自动化科技有限公司 一种间隙送料机构

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