KR20230035954A - 캐리어 보관 장치 - Google Patents

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Abstract

캐리어 보관 장치는, 비히클이 주행하는 제1 주행 레일 및 제2 주행 레일 사이에 구비되며, 천장에 고정되는 프레임과, 상기 프레임의 바닥면에 상기 비히클의 주행 방향을 따라 구비되며, 상기 비히클이 이송하는 캐리어를 각각 지지하는 선반들 및 상기 프레임에 구비되며, 상기 제1 주행 레일에 위치한 상기 비히클과 상기 제2 주행 레일에 위치한 상기 비히클에서 상기 선반들에 상기 캐리어를 이적재할 수 있도록 상기 선반들을 각각 회전시키는 구동부들을 포함할 수 있다.

Description

캐리어 보관 장치{Carrier storing device}
본 발명은 캐리어 보관 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 비히클에 의해 이송되는 캐리어를 임시로 보관하기 위한 캐리어 보관 장치에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 소자를 제조하기 위한 반도체 공정 장치들은 연속적으로 배치되어 반도체 기판에 대해 다양한 공정을 수행한다. 상기 반도체 소자 제조 공정을 수행하기 위한 대상물을 캐리어에 수납된 상태로 각 반도체 공정 장치로 제공되거나 상기 캐리어를 이용하여 상기 각 반도체 공정 장치로부터 회수될 수 있다.
상기 캐리어는 OHT(Overhead Hoist Transport)의 비히클에 의해 이송된다. 상기 비히클은 상기 대상물이 수납된 상기 캐리어를 이송하여 상기 반도체 공정 장치들의 로드 포트로 이송하고, 공정 처리된 대상물이 수납된 캐리어를 상기 로드 포트로부터 픽업하여 외부로 반송한다.
상기 반도체 공정 장치의 로드 포드에 캐리어가 존재하는 경우, 상기 비히클에 의해 이송된 캐리어를 임시로 수납하기 위한 캐리어 보관 장치가 구비된다.
상기 캐리어 보관 장치는 프레임 및 상기 프레임에 고정되어 상기 캐리어들을 각각 지지하는 선반들을 포함한다.
상기 선반들의 상부면에 구비된 정렬 핀들의 배열로 인해 상기 캐리어 보관 장치는 전방을 통해서만 상기 캐리어의 이적재가 가능하고, 상기 캐리어 보관 장치의 후방을 통해서는 상기 캐리어의 이적재가 불가능하다. 상기 캐리어의 이적재를 위해서는 상기 비히클이 상기 캐리어 보관 장치의 상기 전방까지 이동해야 한다. 따라서, 상기 캐리어 보관 장치에서 상기 캐리어의 이적재가 불편할 수 있으며, 상기 캐리어 보관 장치의 활용도가 낮을 수 있다.
본 발명은 캐리어를 편리하게 이적재할 수 있는 캐리어 보관 장치를 제공한다.
본 발명에 따른 캐리어 보관 장치는, 비히클이 주행하는 제1 주행 레일 및 제2 주행 레일 사이에 구비되며, 천장에 고정되는 프레임과, 상기 프레임의 바닥면에 상기 비히클의 주행 방향을 따라 구비되며, 상기 비히클이 이송하는 캐리어를 각각 지지하는 선반들 및 상기 프레임에 구비되며, 상기 제1 주행 레일에 위치한 상기 비히클과 상기 제2 주행 레일에 위치한 상기 비히클에서 상기 선반들에 상기 캐리어를 이적재할 수 있도록 상기 선반들을 각각 회전시키는 구동부들을 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 각 구동부들은 구동축이 상기 각 선반들의 하부면 중앙에 고정되어 상기 선반들을 회전시키는 서보 모터일 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 캐리어 보관 장치는, 상기 각 선반들의 상부면에 구비되며, 상기 캐리어의 하부면에 구비된 핀 홀들에 삽입되어 상기 캐리어의 위치를 정렬하기 위한 정렬 핀들 및 상기 각 선반들의 후단에 상기 비히클과 마주보도록 구비되며, 상기 각 선반들에 상기 캐리어가 위치하는지 여부를 확인하기 위해 상기 각 선반들에 구비된 광센서로부터 조사된 광을 반사하는 반사판을 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 캐리어 보관 장치는, 상기 구동부들과 연결되며, 상기 각 선반들의 회전이 개별적으로 이루어지도록 상기 구동부들을 제어하는 제어부를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 제어부는 상위 시스템의 명령에 따라 상기 구동부들을 제어하여 상기 비히클이 상기 제1 주행 레일이나 상기 제2 주행 레일에 위치하기 전에 상기 각 선반들이 상기 캐리어의 이적재가 이루어질 방향을 향하도록 할 수 있다.
본 발명에 따른 상기 캐리어 보관 장치는 상기 선반들을 회전할 수 있으므로, 상기 캐리어 보관 장치의 전방뿐만 아니라 후방을 통해서도 상기 캐리어를 이적재할 수 있다. 따라서, 상기 캐리어 보관 장치에서 상기 캐리어의 이적재가 편리하며, 상기 캐리어 보관 장치의 활용도를 높일 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 캐리어 보관 장치를 설명하기 위한 측면도이다.
도 2는 도 1에 도시된 선반이 후방을 통한 캐리어의 이적재가 가능하도록 회전한 상태를 설명하기 위한 측면도이다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명에 대해 상세히 설명한다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대하여 도시한 것이다.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, “포함하다” 또는 “가지다” 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 캐리어 보관 장치를 설명하기 위한 측면도이고, 도 2는 도 1에 도시된 선반이 후방을 통한 캐리어의 이적재가 가능하도록 회전한 상태를 설명하기 위한 측면도이다.
도 1 및 2를 참조하면, 상기 캐리어 보관 장치(100)는 비히클(10)이 이송하는 캐리어(20)를 임시로 보관하기 위한 것으로, 상기 비히클(10)이 주행하는 주행 레일(30)과 인접하도록 천장에 구비된다. 상기 캐리어(20)는 FOUP, FOSB, 매거진 등일 수 있다.
상기 캐리어 보관 장치(100)는 크게 프레임(110), 선반들(120), 구동부(150) 및 제어부(170)를 포함할 수 있다.
상기 프레임(110)은 상기 천장에 고정된다. 예를 들면, 상기 천장에 몰드바가 구비되며, 고정 부재들이 상기 프레임(110)을 상기 몰드바에 고정한다. 상기 몰드바는 서로 나란한 형태 또는 격자 형태를 가질 수 있다. 상기 고정 부재들의 예로는 전산 볼트, 턴 버클 등을 들 수 있다. 상기 고정 부재들은 상기 천장에 직접 고정될 수도 있다.
상기 프레임(110)은 대략 육면체 형상을 가지며, 상기 비히클(10)의 주행 방향을 따라 길게 형성될 수 있다. 따라서, 상기 프레임(110)은 상기 캐리어(20)를 복수로 적재할 수 있다.
또한, 상기 프레임(110)은 상기 주행 레일(30) 사이에 구비된다. 구체적으로, 상기 프레임(110)은 제1 주행 레일(31) 및 제2 주행 레일(33) 사이에 구비되며, 상기 제1 주행 레일(31)과 상기 제2 주행 레일(33)은 서로 연결될 수 있다. 따라서 상기 비히클(10)이 상기 주행 레일(30)을 따라 주행할 때, 상기 비히클(10)에서 상기 캐리어 보관 장치(100)와 마주보는 면이 항상 동일할 수 있다.
상기 선반들(120)은 상기 프레임(110)의 바닥면에 상기 비히클(10)의 상기 주행 방향을 따라 서로 이격되도록 구비된다. 상기 선반들(120)은 상기 캐리어들(20)을 각각 지지한다. 상기 각 선반들(120)은 대략 사각 평판 형태를 갖는다. 상기 각 선반들(120)의 크기는 상기 캐리어(20)의 크기보다 클 수 있다. 따라서, 상기 선반들(120)이 상기 캐리어들(20)을 안정적으로 지지할 수 있다.
상기 각 선반들(120)에는 정렬 핀들(130) 및 반사판(140)이 구비될 수 있다.
상기 정렬 핀들(130)은 상기 각 선반들(120)의 상부면에 구비된다. 상기 캐리어(20)가 상기 각 선반들(120)에 적재될 때 상기 정렬 핀들(130)은 상기 캐리어(20)의 하부면에 구비된 핀 홀들(미도시)에 삽입되어 상기 캐리어(20)의 위치를 정렬한다. 따라서, 상기 캐리어(20)가 상기 각 선반들(120)의기 설정된 기준 위치에 정확하게 안착될 수 있다.
상기 반사판(140)은 각 선반들(120)의 후단에 구비되며, 상기 비히클(10)과 마주 보도록 배치된다. 상기 반사판(140)은 상기 비히클(10)의 광센서(11)로부터 조사된 광을 반사한다. 상기 반사판(140)은 상기 각 선반들(120)에 상기 캐리어(20)가 위치하는지 여부를 확인하는데 이용될 수 있다.
상기 구동부들(150)은 상기 프레임(110)에 구비되며, 상기 선반들(120)을 각각 회전시킬 수 있다.
상기 구동부들(150)의 예로는 서보 모터(151)를 들 수 있다. 상기 서보 모터(151)는 구동축(153)이 상기 각 선반들(120)의 하부면 중앙에 고정되어 상기 각 선반들(120)을 회전시킬 수 있다.
이와 달리 자세히 도시되지는 않았지만, 상기 구동부(150)는 모터, 풀리 및 벨트 등을 포함하거나, 모터와 기어 등을 포함할 수도 있다.
상기 각 구동부들(150)은 상기 각 선반들(120)의 전단이 상기 캐리어(20)의 이적재가 이루어질 상기 주행 레일(30)을 향하도록 회전시킬 수 있다. 예를 들면, 상기 각 구동부들(150)은 상기 각 선반들(120)을 180도 회전시킬 수 있다. 따라서, 상기 각 선반들(130)의 상기 전단이 상기 제1 주행 레일(31)을 향하거나 상기 제2 주행 레일(33)을 향할 수 있다.
상기 각 선반들(130)의 상기 전단이 상기 제1 주행 레일(31)을 향하는 경우, 상기 캐리어 보관 장치(100)의 전방을 통해 상기 캐리어(20)를 이적재할 수 있다. 또한, 상기 각 선반들(130)의 상기 전단이 상기 제2 주행 레일(33)을 향하는 경우, 상기 캐리어 보관 장치(100)의 후방을 통해 상기 캐리어(20)를 이적재할 수 있다. 그러므로, 상기 제1 주행 레일(31)에 위치한 상기 비히클(10)이나 상기 제2 주행 레일(33)에 위치한 상기 비히클(10)에서 상기 캐리어(20)를 상기 각 선반들(120)에 이적재할 수 있다.
상기 캐리어 보관 장치(100)의 상기 전방뿐만 아니라 상기 후방을 통해서도 상기 캐리어(20)를 이적재할 수 있으므로, 상기 캐리어 보관 장치(100)에서 상기 캐리어(20)의 이적재가 편리하며, 상기 캐리어 보관 장치(100)의 활용도를 높일 수 있다.
상기 프레임(110)과 상기 각 선반들(130) 사이에는 상기 각 선반들(130)을 지지하여 안정적으로 회전하도록 하는 지지부들(160)이 구비될 수 있다. 상기 지지부들(160)의 예로는 베어링을 들 수 있다.
상기 제어부(170)는 상기 구동부들(150)과 연결되며 상기 구동부들(150)의 동작을 제어한다.
일 예로, 상기 제어부(170)는 상기 각 선반들(120)의 회전이 개별적으로 이루어지도록 상기 구동부들(150)을 제어할 수 있다. 이 경우, 상기 각 선반들(130)의 상기 전단이 향하는 방향이 서로 다를 수 있다.
다른 예로, 상기 제어부(170)는 상기 각 선반들(120)의 회전이 동시에 이루어지도록 상기 구동부들(150)을 제어할 수 있다. 이 경우, 상기 각 선반들(130)의 상기 전단이 향하는 방향이 동일할 수 있다.
또한, 상기 제어부(170)는 상위 시스템(미도시)의 명령에 따라 상기 구동부들(150)을 제어한다.
상기 상위 시스템은 상기 비히클(10)이 상기 캐리어(20)를 상기 캐리어 보관 장치(100)의 상기 전방과 상기 후방 중 어느 방향에서 이적재할 지에 대한 정보를 획득하고, 상기 정보에 따라 상기 제어부(170)로 상기 명령을 전달한다. 따라서, 상기 비히클(10)이 상기 캐리어(20)의 이적재를 위해 상기 캐리어 보관 장치(100)의 상기 전방인 상기 제1 주행 레일(31)에 위치하거나 상기 캐리어 보관 장치(100)의 상기 후방인 상기 제2 주행 레일(33)에 위치하기 전에 상기 각 선반들(120)의 상기 전단이 상기 캐리어(20)의 이적재가 이루어질 상기 주행 레일(30)을 향하도록 미리 회전할 수 있다.
상기 각 선반들(120)이 회전하는 것을 기다릴 필요가 없이 상기 비히클(10)이 상기 캐리어 보관 장치(100)의 상기 전방이나 상기 후방에서 상기 캐리어(20)를 바로 이적재할 수 있다. 따라서, 상기 캐리어 보관 장치(100)에서 상기 캐리어(20)의 이적재에 소요되는 시간을 단축할 수 있다.
한편, 상기 캐리어 보관 장치(100)가 상기 비히클(10)의 위치를 확인한 후, 각 선반들(120)의 상기 전단이 상기 캐리어(20)의 이적재가 이루어질 상기 주행 레일(30)을 향하도록 회전시키는 경우, 상기 캐리어(20)의 이적재를 위해 상기 각 선반들(120)이 회전하는 것을 기다려야 한다. 따라서, 상기 캐리어 보관 장치(100)에서 상기 캐리어(20)의 이적재에 소요되는 시간을 길어질 수 있다.
상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 상기 캐리어 보관 장치는 상기 선반들을 회전할 수 있으므로, 상기 캐리어 보관 장치의 전방뿐만 아니라 후방을 통해서도 상기 캐리어를 이적재할 수 있다. 따라서, 상기 캐리어 보관 장치에서 상기 캐리어의 이적재가 편리하며, 상기 캐리어 보관 장치의 활용도를 높일 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
100 : 캐리어 보관 장치 110 : 프레임
120 : 선반 130 : 정렬 핀
140 : 반사판 150 : 구동부
160 : 지지부 170 : 제어부
10 : 비히클 20 : 캐리어
30 : 주행 레일 31 : 제1 주행 레일
33 : 제2 주행 레일

Claims (5)

  1. 비히클이 주행하는 제1 주행 레일 및 제2 주행 레일 사이에 구비되며, 천장에 고정되는 프레임;
    상기 프레임의 바닥면에 상기 비히클의 주행 방향을 따라 구비되며, 상기 비히클이 이송하는 캐리어를 각각 지지하는 선반들; 및
    상기 프레임에 구비되며, 상기 제1 주행 레일에 위치한 상기 비히클과 상기 제2 주행 레일에 위치한 상기 비히클에서 상기 선반들에 상기 캐리어를 이적재할 수 있도록 상기 선반들을 각각 회전시키는 구동부들을 포함하는 것을 특징으로 하는 캐리어 보관 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 각 구동부들은 구동축이 상기 각 선반들의 하부면 중앙에 고정되어 상기 선반들을 회전시키는 서보 모터인 것을 캐리어 보관 장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 각 선반들의 상부면에 구비되며, 상기 캐리어의 하부면에 구비된 핀 홀들에 삽입되어 상기 캐리어의 위치를 정렬하기 위한 정렬 핀들; 및
    상기 각 선반들의 후단에 상기 비히클과 마주보도록 구비되며, 상기 각 선반들에 상기 캐리어가 위치하는지 여부를 확인하기 위해 상기 각 선반들에 구비된 광센서로부터 조사된 광을 반사하는 반사판을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 캐리어 보관 장치.
  4. 제1항에 있어서, 상기 구동부들과 연결되며, 상기 각 선반들의 회전이 개별적으로 이루어지도록 상기 구동부들을 제어하는 제어부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 캐리어 보관 장치.
  5. 제4항에 있어서, 상기 제어부는 상위 시스템의 명령에 따라 상기 구동부들을 제어하여 상기 비히클이 상기 제1 주행 레일이나 상기 제2 주행 레일에 위치하기 전에 상기 각 선반들이 상기 캐리어의 이적재가 이루어질 방향을 향하도록 하는 것을 특징으로 하는 캐리어 보관 장치.
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