KR102235517B1 - 오버헤드 호이스트 방식의 스토커 시스템 - Google Patents

오버헤드 호이스트 방식의 스토커 시스템 Download PDF

Info

Publication number
KR102235517B1
KR102235517B1 KR1020200144374A KR20200144374A KR102235517B1 KR 102235517 B1 KR102235517 B1 KR 102235517B1 KR 1020200144374 A KR1020200144374 A KR 1020200144374A KR 20200144374 A KR20200144374 A KR 20200144374A KR 102235517 B1 KR102235517 B1 KR 102235517B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
stocker
overhead hoist
guide rail
article
gripping arm
Prior art date
Application number
KR1020200144374A
Other languages
English (en)
Inventor
장석오
허무용
김학인
Original Assignee
시너스텍 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 시너스텍 주식회사 filed Critical 시너스텍 주식회사
Priority to KR1020200144374A priority Critical patent/KR102235517B1/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR102235517B1 publication Critical patent/KR102235517B1/ko

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67715—Changing the direction of the conveying path
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G1/00—Storing articles, individually or in orderly arrangement, in warehouses or magazines
    • B65G1/02—Storage devices
    • B65G1/04—Storage devices mechanical
    • B65G1/0457—Storage devices mechanical with suspended load carriers
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67706—Mechanical details, e.g. roller, belt
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/6773—Conveying cassettes, containers or carriers
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67733—Overhead conveying
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67763—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
    • H01L21/67769—Storage means
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G2201/00—Indexing codes relating to handling devices, e.g. conveyors, characterised by the type of product or load being conveyed or handled
    • B65G2201/02—Articles
    • B65G2201/0297—Wafer cassette

Abstract

본 발명은 물품이 저장되는 스토커; 및 천장 하부에 설치된 트랙을 따라 상기 물품을 이송하는 OHT(overhead hoist transport)를 포함하는 오버헤드 호이스트 방식의 스토커 시스템으로서, 상기 스토커는 상기 물품이 입출되는 입구측에 상하방향으로 설치되는 수직 프레임을 구비하고, 상기 OHT는 상기 물품을 상기 스토커에 이재 및 적재하는 이재부를 포함하며, 상기 이재부에는 상기 수직 프레임에 접하도록 입출가능하게 구비되어 상기 이재부의 수평방향으로의 움직임을 제한하는 수평 파지암이 구비된다. 이러한 본 발명은 별도의 지상 유닛 없이도 안정적으로 풉과 같은 이송 대상 물품을 스토커에 이재 및 적재할 수 있어 제로 풋 프린트(zero-foot print)를 완전하게 실현할 수 있고, 스토커와 같은 물품 저장 설비의 재공량을 최대로 확보할 수 있다는 효과가 있다.

Description

오버헤드 호이스트 방식의 스토커 시스템{Stocker system of overhead hoist type}
본 발명은 오버헤드 호이스트 방식의 스토커 시스템에 관한 것이다. 더욱 상세하게는 풋 프린트가 필요없는 오버헤드 호이스트 방식을 활용하여 적재 대상물의 재공량을 최대로 확보할 수 있는 오버헤드 호이스트 방식의 스토커 시스템에 관한 것이다.
재공품들을 저장하고 재공품들을 제품 제조 환경 내의 워크스테이션들 또는 프로세싱 기계 사이에 전달하기 위하여 재공품 저장을 위한 스토커(stocker) 및 오버헤드 호이스트(overhead hoist) 장비들을 사용하는 시스템들은 이미 공지되었다.
반도체 제조 설비에 있어서 스토커에 저장된 반도체 웨이퍼들은 통상적으로 전방 개방 통합 포드(FOUP ; Front Opening Unified Pod, 이하 '풉' 이라 함)들 같은 캐리어들에 적재되고, 웨이퍼들 각각은 천장 하부에 매달린 트랙을 따라 주행하는 오버헤드 호이스트 수송 차량(Overhead Hoist Transport, 이하 'OHT' 라 함)에 의해 수송된다.
이러한 오버헤드 호이스트 방식은 풋 프린트(foot print)를 필요로 하지 않기 때문에 설비공간을 최대로 활용할 수 있다는 장점이 있다.
그러나, 전체 모멘트를 천장에서 지지하는 종래의 오버헤드 호이스트 방식에서는 포크 유닛이 수평방향으로 슬라이딩되어 인출될 때 발생하는 회전 모멘트 때문에 풉을 안정적으로 이재 또는 적재하는 것이 불가능하다.
이와 같은 단점을 커버하기 위해 OHT와 연계하여 풉을 이송하는 별도의 지상 유닛을 사용하기도 하지만, 이러한 방법은 풋 프린트를 필요로 하지 않는다는 오버헤드 호이스트 방식의 장점을 감쇄시키는 문제가 있다.
한국공개특허 제10-2020-0044669호(2020.04.29.)
본 발명은 상기한 문제를 해결하기 위해 별도의 지상 유닛 없이도 안정적으로 풉과 같은 이송 대상 물품을 스토커에 이재 및 적재할 수 있는 오버헤드 호이스트 방식의 스토커 시스템을 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기한 목적을 달성하기 위해 본 발명은 물품이 저장되는 스토커; 및 천장 하부에 설치된 트랙을 따라 상기 물품을 이송하는 OHT(overhead hoist transport)를 포함하는 오버헤드 호이스트 방식의 스토커 시스템으로서, 상기 스토커는 상기 물품이 입출되는 입구측에 상하방향으로 설치되는 수직 프레임을 구비하고, 상기 OHT는 상기 물품을 상기 스토커에 이재 및 적재하는 이재부를 포함하며, 상기 이재부에는 상기 수직 프레임에 접하도록 입출가능하게 구비되어 상기 이재부의 수평방향으로의 움직임을 제한하는 수평 파지암이 구비되는 것을 특징으로 한다.
이때, 상기 수평 파지암은 상기 수평 파지암이 전진하는 방향으로 돌출형성되어 상기 수평 파지암이 전진한 상태에서 상기 수직 프레임에 접하는 파지핑거를 구비하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 수평 파지암은 랙 기어를 구비하고, 상기 이재부는 상기 랙 기어에 맞물리어 회전하는 피니언 기어를 구비하며, 상기 피니언 기어의 회전에 의해 상기 수평 파지암이 입출되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 스토커는 상기 물품이 입출되는 방향으로 돌출형성되는 가이드 레일을 구비하고, 상기 이재부는 상기 가이드 레일에 접하도록 입출가능하게 형성되는 수직 지지암을 구비하며, 상기 수직 지지암은 전진한 상태에서 상기 가이드 레일에 접하여 지지되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 수직 지지암은 상기 가이드 레일에 접하는 롤러를 구비하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 가이드 레일은 단면이 'ㄷ'자 형태로 형성되며, 상기 롤러는 상기 수직 지지암이 전진한 상태에서 상기 가이드 레일의 내부에 삽입되는 것을 특징으로 한다.
본 발명은 별도의 지상 유닛 없이도 안정적으로 풉과 같은 이송 대상 물품을 스토커에 이재 및 적재할 수 있어 제로 풋 프린트(zero-foot print)를 완전하게 실현할 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명은 스토커와 같은 물품 저장 설비의 재공량을 최대로 확보할 수 있다는 장점이 있다.
도 1 내지 도 4는 본 발명의 실시예에 따른 오버헤드 호이스트 방식의 스토커 시스템을 통해 적재 대상물이 적재되는 과정을 설명하기 위한 개략도이다.
도 5 및 도 6은 이재부가 수평방향에 대해 고정되는 과정을 설명하기 위한 도면이다.
도 7은 이재부가 수직방향에 대해 고정되어 적재 대상물이 적재되는 과정을 설명하기 위한 도면이다.
도 8 내지 도 10은 도 7의 (a) 내지 (c)의 과정을 더욱 상세하게 도시한 도면이다.
도 11은 수직 지지암이 가이드 레일에 연결된 상태에서의 단면도이다.
도 12은 종래기술과 본 발명의 실시예에 따른 오버헤드 호이스트 방식의 스토커 시스템을 비교하여 도시한 도면이다.
도 13은 본 발명의 실시예에 따른 오버헤드 호이스트 방식의 스토커 시스템이 다단 버퍼에 적용된 경우를 예시적으로 도시한 도면이다.
이하, 본 발명의 실시예를 첨부된 도면들을 참조하여 상세하게 설명한다. 우선 각 도면의 구성 요소들에 참조 부호를 첨가함에 있어서, 동일한 구성 요소들에 대해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 부호를 가지도록 하고 있음에 유의해야 한다. 또한, 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략한다. 또한, 이하에서 본 발명의 바람직한 실시예를 설명할 것이나, 본 발명의 기술적 사상은 이에 한정하거나 제한되지 않고 당업자에 의해 실시될 수 있음은 물론이다.
도 1 내지 도 4는 본 발명의 실시예에 따른 오버헤드 호이스트 방식의 스토커 시스템을 통해 적재 대상물이 적재되는 과정을 설명하기 위한 개략도이고, 도 5 및 도 6은 이재부가 수평방향에 대해 고정되는 과정을 설명하기 위한 도면이며, 도 7은 이재부가 수직방향에 대해 고정되어 적재 대상물이 적재되는 과정을 설명하기 위한 도면이다. 또한, 도 8 내지 도 10은 도 7의 (a) 내지 (c)의 과정을 더욱 상세하게 도시한 도면이고, 도 11은 수직 지지암이 가이드 레일에 연결된 상태에서의 단면도이다.
이하, 도 1 내지 도 11을 참고하여 본 발명의 실시예에 따른 오버헤드 호이스트 방식의 스토커 시스템(1)을 설명한다.
본 발명의 실시예에 따른 오버헤드 호이스트 방식의 스토커 시스템(1)은 물품(F)을 저장하기 위해 상하방향으로 배열된 다단의 수납공간이 구비된 스토커(10)와, 천장 하부에 설치된 트랙(미도시)을 따라 물품(F)을 이송하는 OHT(100)(overhead hoist transport)를 포함한다.
여기서, 이재 및 적재 대상인 물품(F)은 반도체 웨이퍼를 수용하는 풉 또는 카세트일 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 오버헤드 호이스트 방식의 스토커 시스템(1)은 OHT(100)의 이재부(110)가 물품(F)을 스토커(10)에 이재 또는 적재하는 과정에서 발생되는 회전모멘트를 지지하기 위한 구성을 포함한다.
구체적으로 스토커(10)는 물품(F)이 입출되는 입구측에 상하방향으로 설치되는 수직 프레임(12)과, 물품(F)이 입출되는 방향으로 돌출형성되는 가이드 레일(14)을 구비한다.
도 5 및 도 6에 도시된 바와 같이 수직 프레임(12)은 횡단면이 직사각형인 기둥의 형태로 형성될 수 있다.
또한, 가이드 레일(14)은 단면이 'ㄷ'자 형태인 직선형의 레일로 형성될 수 있다. 이러한 가이드 레일(14)은 물품(F)이 입출되는 스토커(10) 입구의 상부에 한 쌍이 구비되며, 한 쌍의 가이드 레일(14)은 오목한 부분이 서로 마주보도록 배치된다.
한편, OHT(100)는 물품(F)을 스토커(10)에 이재 및 적재하기 위해 상하로 승강동작하는 이재부(110)를 포함한다.
이재부(110)는 스토커(10)의 수직 프레임(12)에 접하도록 슬라이딩하여 입출가능하게 구비되는 수평 파지암(120)을 구비한다. 이러한 수평 파지암(120)은 도 1 내지 도 4에 도시된 바와 같이 이재부(110)가 하강한 상태에서 이재부(110)의 수평방향으로의 움직임을 제한하여 흔들림을 방지하는 역할을 한다.
더욱 상세하게 수평 파지암(120)은 수평 파지암(120)이 전진하는 방향으로 돌출형성되는 파지핑거(122)를 구비하며, 바람직하게 파지핑거(122)는 수평 파지암(120)의 양측에 각각 구비된다.
이러한 파지핑거(122)는 도 6에 도시된 바와 같이 수평 파지암(120)이 전진한 상태에서 스토커(10)의 입구쪽을 향하는 수직 프레임(12)의 내측면에 접하게 된다. 이와 같이 수평 파지암(120)의 단부와 파지핑거(122)가 서로 직각으로 인접한 수직 프레임(12)의 두 측면에 접하게 됨으로써 이재부(110)가 수평방향으로 흔들리는 것이 방지된다.
수평 파지암(120)은 이재부(110)에 구비된 피니언 기어(130)에 맞물리는 랙 기어(132)를 구비하고, 피니언 기어(130)의 회전에 의해 입출되도록 구현될 수 있다. 구체적으로 도시하지는 않았으나, 수평 파지암(120)의 입출동작은 랙 피니언 기어 외에도 엑추에이터 등과 같이 공지된 구성에 의해 이루어질 수 있음은 물론이다.
도 1 내지 도 4에 도시된 바와 같이 두 개의 스토커(10)들이 서로 마주보도록 배치되고 스토커(10)들 사이로 OHT(100)가 이동되도록 구현된 시설에서는 이재부(110)의 대향하는 양측에 수평 파지암(120)이 구비될 수 있으며, 이 경우 수평 파지암(120)이 수직 프레임(12)에 접하는 접촉 지점이 증가함으로써 더욱 견고한 지지 상태를 유지할 수 있다.
이재부(110)는 도 8 내지 도 10에 도시된 바와 같이 가이드 레일(14)에 접하도록 입출가능하게 형성되는 수직 지지암(140)을 더 구비한다.
구체적으로 수직 지지암(140)은 외부 측면에 가이드 레일(14)에 접하는 복수의 롤러(142)를 구비하고, 롤러(142)는 수직 지지암(140)이 전진한 상태에서 가이드 레일(14)의 내부에 삽입된다.
이와 같이 수직 지지암(140)이 전진한 상태에서 롤러(142)가 가이드 레일(14)에 접하게 됨으로써 이재부(110)에 수직방향으로 작용하는 힘, 즉 회전모멘트를 지지할 수 있게 된다.
이하, 본 발명의 실시예에 따른 오버헤드 호이스트 방식의 스토커 시스템(1)이 물품(F)을 적재하는 과정을 설명한다.
먼저, OHT(100)가 물품(F)을 적재할 스토커(10)가 위치한 곳으로 이동하면, 이재부(110)는 물품(F)이 저장될 위치에 맞추어 하강한다(도 1 참고).
이후, 수평 파지암(120)이 인출되어 수직 프레임(12)에 접함으로써 이재부(110)의 수평방향으로의 흔들림을 방지한다(도 2 및 도 6 참고).
다음으로 수직 지지암(140)이 인출되어 가이드 레일(14)에 삽입되어 회전모멘트를 지지하면(도 3 및 도 7(b) 참고), 물품(F)이 파지된 포크 유닛(150)이 인출되어 물품(F)을 스토커(10)에 저장한다(도 4 및 도 7(c)).
물품(F)이 스토커(10)에 저장된 후 OHT(100)는 상기 과정의 역순으로 동작하여 다음 작업을 수행하게 된다.
도 12은 종래기술(도 12(a))과 본 발명의 실시예에 따른 오버헤드 호이스트 방식의 스토커 시스템(도 12(b))을 비교하여 도시한 도면이다.
도 12에 도시된 바와 같이 본 발명의 실시예에 따른 오버헤드 호이스트 방식의 스토커 시스템(1)은 종래기술과 비교할 때 별도의 지상유닛을 필요로 하지 않기 때문에 스토커(10) 상에서 물품(F)의 저장가능한 최저 레벨과 최대 레벨 사이의 공간을 확장할 수 있으며, 이로 인해 재공량을 최대한으로 확보할 수 있게 된다.
도 13은 본 발명의 실시예에 따른 오버헤드 호이스트 방식의 스토커 시스템이 다단 버퍼에 적용된 경우를 예시적으로 도시한 도면이다. 구체적으로 도 13(a)는 종래의 시스템을 도시한 것이고, 도 13(b)는 본 발명의 스토커 시스템(1)이 적용될 경우 다단 버퍼(buffer)가 적용될 수 있음을 도시한 것이다.
종래의 시스템이 적용될 경우 OHT 주행부 측면에는 1단의 버퍼만을 설치할 수 있는 반면, 본 발명의 스토커 시스템(1)이 적용될 경우 OHT 주행부 측면에 수직하게 다단의 버퍼를 적용할 수 있게 된다. 이처럼 본 발명의 스토커 시스템(1)이 적용될 경우 유휴 공간에 다단의 버퍼를 배치할 수 있어 재공량을 증가시킬 수 있다.
상술한 바와 같이 본 발명의 실시예에 따른 오버헤드 호이스트 방식의 스토커 시스템(1)은 별도의 지상 유닛 없이도 안정적으로 풉과 같은 이송 대상 물품(F)을 스토커(10)에 이재 및 적재할 수 있어 제로 풋 프린트(zero-foot print)를 완전하게 실현할 수 있고, 스토커(10)와 같은 물품 저장 설비의 재공량을 최대로 확보할 수 있다는 효과가 있어 매우 유용한 것이다.
이상의 설명은 본 발명의 기술 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 수정, 변경 및 치환이 가능할 것이다. 따라서 본 발명에 개시된 실시예 및 첨부된 도면들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시예 및 첨부된 도면에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 보호범위는 청구 범위에 의해서 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
1: 스토커 시스템
F: 물품 10: 스토커
12: 수직 프레임 14: 가이드 레일
100: OHT 110: 이재부
120: 수평 파지암 122: 파지핑거
130: 피니언 기어 132: 랙 기어
140: 수직 지지암 142: 롤러
150: 포크 유닛

Claims (6)

  1. 물품이 저장되는 스토커; 및 천장 하부에 설치된 트랙을 따라 상기 물품을 이송하는 OHT(overhead hoist transport)를 포함하는 오버헤드 호이스트 방식의 스토커 시스템으로서,
    상기 스토커는 상기 물품이 입출되는 입구측에 상하방향으로 설치되는 수직 프레임을 구비하고,
    상기 OHT는 상기 물품을 상기 스토커에 이재 및 적재하는 이재부를 포함하며,
    상기 이재부에는 상기 수직 프레임에 접하도록 입출가능하게 구비되어 상기 이재부의 수평방향으로의 움직임을 제한하는 수평 파지암이 구비되는 것을 특징으로 하는 오버헤드 호이스트 방식의 스토커 시스템.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 수평 파지암은 상기 수평 파지암이 전진하는 방향으로 돌출형성되어 상기 수평 파지암이 전진한 상태에서 상기 수직 프레임에 접하는 파지핑거를 구비하는 것을 특징으로 하는 오버헤드 호이스트 방식의 스토커 시스템.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 수평 파지암은 랙 기어를 구비하고,
    상기 이재부는 상기 랙 기어에 맞물리어 회전하는 피니언 기어를 구비하며,
    상기 피니언 기어의 회전에 의해 상기 수평 파지암이 입출되는 것을 특징으로 하는 오버헤드 호이스트 방식의 스토커 시스템.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 스토커는 상기 물품이 입출되는 방향으로 돌출형성되는 가이드 레일을 구비하고,
    상기 이재부는 상기 가이드 레일에 접하도록 입출가능하게 형성되는 수직 지지암을 구비하며,
    상기 수직 지지암은 전진한 상태에서 상기 가이드 레일에 접하여 지지되는 것을 특징으로 하는 오버헤드 호이스트 방식의 스토커 시스템.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 수직 지지암은 상기 가이드 레일에 접하는 롤러를 구비하는 것을 특징으로 하는 오버헤드 호이스트 방식의 스토커 시스템.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 가이드 레일은 단면이 'ㄷ'자 형태로 형성되며,
    상기 롤러는 상기 수직 지지암이 전진한 상태에서 상기 가이드 레일의 내부에 삽입되는 것을 특징으로 하는 오버헤드 호이스트 방식의 스토커 시스템.
KR1020200144374A 2020-11-02 2020-11-02 오버헤드 호이스트 방식의 스토커 시스템 KR102235517B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020200144374A KR102235517B1 (ko) 2020-11-02 2020-11-02 오버헤드 호이스트 방식의 스토커 시스템

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020200144374A KR102235517B1 (ko) 2020-11-02 2020-11-02 오버헤드 호이스트 방식의 스토커 시스템

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR102235517B1 true KR102235517B1 (ko) 2021-04-01

Family

ID=75441541

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020200144374A KR102235517B1 (ko) 2020-11-02 2020-11-02 오버헤드 호이스트 방식의 스토커 시스템

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR102235517B1 (ko)

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR930007752A (ko) * 1991-10-04 1993-05-20 나까무라 유이찌 반송설비용 가이드장치
KR20030013753A (ko) * 2001-08-09 2003-02-15 대명전기주식회사 프레스성형제품의 파지이동장치
KR20200044669A (ko) 2018-10-19 2020-04-29 가부시키가이샤 다이후쿠 물품 반송차
KR20200100982A (ko) * 2019-02-19 2020-08-27 세메스 주식회사 스토커 유닛 및 이를 갖는 물품 이송 장치
KR20200121355A (ko) * 2018-03-22 2020-10-23 무라다기카이가부시끼가이샤 스토커 시스템

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR930007752A (ko) * 1991-10-04 1993-05-20 나까무라 유이찌 반송설비용 가이드장치
KR20030013753A (ko) * 2001-08-09 2003-02-15 대명전기주식회사 프레스성형제품의 파지이동장치
KR20200121355A (ko) * 2018-03-22 2020-10-23 무라다기카이가부시끼가이샤 스토커 시스템
KR20200044669A (ko) 2018-10-19 2020-04-29 가부시키가이샤 다이후쿠 물품 반송차
KR20200100982A (ko) * 2019-02-19 2020-08-27 세메스 주식회사 스토커 유닛 및 이를 갖는 물품 이송 장치

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TWI419823B (zh) 搬送系統
KR101414530B1 (ko) 반송차 시스템
TW201036887A (en) Automated warehouse
TW201029906A (en) Transfer apparatus
JP2009062153A (ja) 保管庫
TWI767270B (zh) 晶圓盒暫存裝置及晶圓盒輸送系統
JP6566051B2 (ja) 保管装置及び搬送システム
KR102453197B1 (ko) 기판 이송 용기 저장 장치
KR102294887B1 (ko) 물품 이송 장치
WO2013150841A1 (ja) 搬送システム
JP4127138B2 (ja) 搬送システム
KR102235517B1 (ko) 오버헤드 호이스트 방식의 스토커 시스템
TWI828841B (zh) 保管系統
KR20110097598A (ko) 반송차 시스템
KR20200100982A (ko) 스토커 유닛 및 이를 갖는 물품 이송 장치
JP2008174357A (ja) ストッカ
KR102397848B1 (ko) 스토커, 이를 포함하는 이송 시스템
JP2010111476A (ja) 保管庫及び入出庫方法
TWM605542U (zh) 晶圓盒暫存裝置及晶圓盒輸送系統
JP4737713B2 (ja) ストッカー
JP2009062155A (ja) 保管庫セット及び保管庫付き搬送システム
JP5470691B2 (ja) 保管庫及び保管庫付き搬送システム
JP2009012965A (ja) ストッカ装置
JP7323059B2 (ja) 搬送車システム
KR102098791B1 (ko) 스토커

Legal Events

Date Code Title Description
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant