KR20200044669A - 물품 반송차 - Google Patents

물품 반송차 Download PDF

Info

Publication number
KR20200044669A
KR20200044669A KR1020190082989A KR20190082989A KR20200044669A KR 20200044669 A KR20200044669 A KR 20200044669A KR 1020190082989 A KR1020190082989 A KR 1020190082989A KR 20190082989 A KR20190082989 A KR 20190082989A KR 20200044669 A KR20200044669 A KR 20200044669A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
fork
guide rail
fixed
guide block
guide
Prior art date
Application number
KR1020190082989A
Other languages
English (en)
Other versions
KR102645968B1 (ko
Inventor
토모타카 키누가와
히로시 오츠카
야스시 모리카와
Original Assignee
가부시키가이샤 다이후쿠
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 가부시키가이샤 다이후쿠 filed Critical 가부시키가이샤 다이후쿠
Publication of KR20200044669A publication Critical patent/KR20200044669A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR102645968B1 publication Critical patent/KR102645968B1/ko

Links

Images

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G35/00Mechanical conveyors not otherwise provided for
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67733Overhead conveying
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67706Mechanical details, e.g. roller, belt
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67724Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations by means of a cart or a vehicule

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Warehouses Or Storage Devices (AREA)

Abstract

주행 레일(94)을 따라 주행하여 반송 용기(92)를 반송하는 천장 반송차(10)이며, 주행부(11)와 본체부(20)를 구비하고, 본체부(20)는 수용부(21)와 파지부(31)와 승강부(32)와 가로 이동부(40)를 구비하고, 가로 이동부(40)는 수용부(21)에 고정되는 베이스 플레이트(41)와, 파지부(31) 및 승강부(32)를 수평방향으로 이동시키기 위한 포크(42, 43, 44)와, 제 1~제 3 가이드 레일(45, 48, 49)과, 제 1~제 3 가이드 블록(46, 47, 50)을 구비하고, 제 1 가이드 레일(45)은 베이스 플레이트(41)에 고정되고, 터셔리 포크(42)는 제 1 가이드 블록(46)에 고정되어 제 1 가이드 블록(46)이 제 1 가이드 레일(45)에 대하여 슬라이딩함으로써 수용부(21)에 대하여 수평방향으로 이동하는 것이다.

Description

물품 반송차{ARTICLE TRANSPORT VEHICLE}
본 발명은 주행 경로를 따라 주행하여 물품을 반송하는 물품 반송차에 관한 것이며, 특히 설비의 천장 가까이에 설치되는 주행 경로를 따라 주행하는 천장 반송차에 관한 것이다.
종래, 반도체 디바이스 등의 제조 설비에 있어서는 반도체 기판 등의 워크를 수용한 반송 용기를 설비의 천장 가까이에 설치된 주행 레일을 따라 주행하는 천장 반송차(물품 반송차)에 의해 파지한 상태에서 복수의 처리 장치 사이를 순차 반송하는 경우가 있다.
예를 들면, 특허문헌 1에 있어서는 복수의 반송 대상 장소의 사이에서 이동 경로를 따라 이동하여 물품을 반송하는 물품 반송차와, 상기 물품 반송차를 제어하는 제어 장치를 구비한 물품 반송 설비에 있어서, 상기 물품 반송차는 상기 물품을 수용하는 수용부와, 상기 수용부를 덮는 커버부와, 상기 수용부와 상기 수용부에 대하여 외측에 위치하는 상기 복수의 반송 대상 장소의 하나 사이에서 상기 물품을 이동시켜서 상기 반송 대상 장소와 상기 물품 반송차 사이의 상기 물품의 이재를 행하는 이재 기구와, 반송 중의 상기 물품의 자세를 변경하는 자세 변경 기구를 갖고, 상기 이재 기구는 상기 물품을 파지하는 파지부와, 상기 파지부를 연직방향을 따라 승강시키는 승강부와, 상기 반송 경로에 교차함과 아울러 수평방향을 따르는 방향인 가로방향을 따라 상기 파지부를 가로 이동시키는 가로 이동부를 구비하는 것이 개시되어 있다.
특허문헌 1에 나타내는 바와 같은 종래의 물품 반송차에 있어서는 파지부를 가로 이동시키는(수평방향으로 이동시키는) 가로 이동부의 베이스 플레이트를 물품 반송차의 본체부(수용부)에 고정함으로써 가로 이동부가 본체부(수용부)에 지지된다.
또한, 가로 이동부는 베이스 플레이트에 의해 지지되는 포크를 구비하고, 포크를 가로 이동시킴으로써 파지부 및 승강부를 가로 이동시킨다. 또한, 가로 이동부의 포크는 물품 반송차의 본체부(수용부)에 대하여 수평방향으로 연장 설치되는 가이드 레일과, 가이드 레일에 결합하는 가이드 블록 사이의 슬라이딩에 의해 가로 이동한다.
일본특허공개 2018-49943호 공보
그러나, 특허문헌 1에 나타내는 바와 같은 종래의 물품 반송차에서는 가로 이동부의 베이스 플레이트에 대하여 가이드 블록을 고정하고, 그 가이드 블록에 대하여 가이드 레일을 이동가능하게 결합함으로써 가이드 레일에 고정된 포크를 본체부에 대하여 수평방향으로 이동시키는 구성, 즉 가이드 레일만을 고정한 포크를 본체부에 대하여 수평방향으로 이동시키는 구성이기 때문에 포크의 길이방향의 길이를, 파지부를 소정의 위치까지 슬라이딩시키기 위해서 필요한 길이까지 연장시켜서 형성할 필요가 있다. 그 때문에 포크(가로 이동부) 자체가 무거워져 결과적으로 물품 반송차 전체의 중량이 무거워진다는 문제가 있었다.
그래서, 본 발명은 종래의 포크의 스트로크량을 확보하면서 물품 반송차 전체의 경량화가 가능한 물품 반송차를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명을 해결하려고 하는 과제는 이상이며, 다음에 이 과제를 해결하기 위한 수단을 설명한다.
즉, 본 발명은 주행 경로를 따라 주행하여 물품을 반송하는 물품 반송차로서, 상기 주행 경로를 주행하는 주행부와, 상기 주행부에 지지되는 본체부를 구비하고, 상기 본체부는 상기 물품을 수용하는 수용부와, 상기 물품을 파지하는 파지부와, 상기 파지부를 승강시키는 승강부와, 상기 수용부에 고정되어 상기 파지부 및 상기 승강부를 상기 수용부에 대하여 수평방향으로 이동시키는 가로 이동부를 구비하고, 상기 가로 이동부는 상기 수용부에 고정되는 베이스 플레이트와, 상기 파지부 및 상기 승강부를 상기 수용부에 대하여 수평방향으로 이동시키기 위한 포크와, 상기 수용부에 대하여 수평방향으로 연장 설치되는 가이드 레일과, 상기 가이드 레일에 이동가능하게 결합하는 가이드 블록을 구비하고, 상기 가이드 레일은 상기 베이스 플레이트에 고정되고, 상기 포크는 상기 가이드 블록에 고정되어 상기 가이드 블록이 상기 가이드 레일에 대하여 슬라이딩함으로써 상기 수용부에 대하여 수평방향으로 이동하는 것이다.
상기 구성에서는 포크가 고정된 가이드 블록을 수용부에 대하여 수평방향으로 연장 설치되어 베이스 플레이트에 고정된 가이드 레일에 대하여 슬라이딩시킴으로써 포크가 수용부에 대하여 수평방향으로 이동한다.
또한, 본 발명은 상기 기재의 물품 반송차에 있어서 상기 가로 이동부는 상기 베이스 플레이트에 고정되는 제 1 가이드 레일과, 상기 가이드 레일에 이동가능하게 결합하는 제 1 가이드 블록과, 상기 제 1 가이드 블록에 고정되어 상기 제 1 가이드 블록이 상기 제 1 가이드 레일에 대하여 슬라이딩함으로써 상기 수용부에 대하여 수평방향으로 이동하는 제 1 포크와, 제 1 포크에 고정되는 제 2 가이드 블록과, 상기 제 2 가이드 블록에 이동가능하게 결합하는 제 2 가이드 레일과, 상기 가이드 레일에 고정되어 상기 제 2 가이드 레일이 상기 제 2 가이드 블록에 대하여 슬라이딩함으로써 상기 수용부에 대하여 수평방향으로 이동하는 제 2 포크와, 상기 제 2 포크에 고정되는 제 3 가이드 레일과, 상기 제 3 가이드 레일에 이동가능하게 결합하는 제 3 가이드 블록과, 상기 제 3 가이드 블록에 고정되어 상기 제 3 가이드 블록이 상기 제 3 가이드 레일에 대하여 슬라이딩함으로써 상기 수용부에 대하여 수평방향으로 이동함과 아울러 상기 파지부 및 승강부를 지지하는 제 3 포크를 구비하는 것이다.
상기 구성에서는 제 1 포크가 고정된 제 1 가이드 블록을 수용부에 대하여 수평방향으로 연장 설치되어 베이스 플레이트에 고정된 제 1 가이드 레일에 대하여 슬라이딩시킴으로써 제 1~제 3의 모든 포크가 수용부에 대하여 수평방향으로 이동한다.
(발명의 효과)
본 발명의 물품 반송차에 의하면 수용부에 고정되는 베이스 플레이트에 대하여 가이드 레일을 고정하고, 그 가이드 레일에 대하여 가이드 블록을 이동가능하게 결합함으로써 가이드 블록에 고정된 포크를 수용부에 대하여 수평방향으로 이동시키는 구성, 즉 가이드 블록만을 고정한 포크를 수용부에 대하여 수평방향으로 이동시키는 구성으로 한 점에서 종래의 포크의 스트로크량을 확보하면서도 포크의 길이방향의 길이를, 파지부를 소정의 위치까지 슬라이딩시키기 위해서 필요한 길이보다 짧게 할 수 있다. 그 때문에 포크 자체를 경량화할 수 있고, 결과적으로 물품 반송차 전체를 경량화할 수 있다
도 1은 본 발명에 의한 물품 반송차의 일례인 천장 반송차가 반송 용기를 이재하는 모습을 나타내는 도면이다.
도 2는 동 천장 반송차의 정면도이다.
도 3은 동 천장 반송차의 가로 이동부의 근방을 나타내는 확대 정면도이다.
도 4a는 동 천장 반송차의 가로 이동부의 동작을 나타내는 확대 측면도이다.
도 4b는 동 천장 반송차의 가로 이동부의 동작을 나타내는 확대 측면도이다.
도 4c는 동 천장 반송차의 가로 이동부의 동작을 나타내는 확대 측면도이다.
도 4d는 동 천장 반송차의 가로 이동부의 동작을 나타내는 확대 측면도이다.
우선, 본 발명에 의한 물품 반송차의 일례인 천장 반송차(10)에 대하여 설명한다.
도 1에 나타내는 바와 같이, 천장 반송차(10)는 반도체 기판 등의 워크(도시하지 않음)에 대하여 소정의 처리를 행하는 처리 장치(91)에 워크가 수납된 반송 용기(92)(「물품」의 일례)를 반송하기 위한 것인다. 천장 반송차(10)는 반도체 디바이스 등의 제조 설비(90)의 천장(93) 가까이에 부설되는 주행 레일(94)(「주행 경로」의 일례)에 대하여 매달려진 상태에서 부착된다. 천장 반송차(10)는 반송 용기(92)를 파지한 상태에서 주행 레일(94)을 따라 주행한다.
천장 반송차(10)가 반송하는 반송 용기(92)는 대략 직육면체의 상자 형상의 반송 용기이다. 반송 용기(92)는 그 내부에 복수의 워크를 수납가능한 복수단의 적재부를 갖는다.
도 1 및 도 2에 나타내는 바와 같이, 천장 반송차(10)는 주행 레일(94)을 따라 주행하는 주행부(11)와, 주행부(11)에 매달려 지지되는 본체부(20)로 주로 구성되어 있다.
주행부(11)는 주행 레일(94)에 매달려진 상태에서 부착된다. 주행부(11)는 리니어 모터 등의 주행용 모터(12)(클린룸 등의 클린도가 요구되는 공간에서 구동가능한 구동 수단)에 의해 구동됨으로써 주행 레일(94)을 따라 주행한다. 주행부(11)는 주행용 모터(12)에 의해 구동되어 주행 레일(94)을 반송방향(H)을 따라 전동하는 주행륜(13)과, 주행 레일(94)에 접촉하여 주행부(11)를 주행 레일(94)을 따라 안내하는 안내륜(14)을 갖는다.
본체부(20)는 주행부(11)에 의해 매달려 지지됨으로써 주행부(11)에 연결되어 있다. 본체부(20)는 주행부(11)의 주행에 의해 주행부(11)와 일체적으로 주행 레일(94)을 따라 이동한다. 본체부(20)는 반송 용기(92)를 수용하는 수용부(21)와, 수용부(21)를 덮는 커버부(22)를 갖는다. 수용부(21)는 커버부(22)의 내측에 배치되어 있다. 커버부(22)는 가로방향(Y)의 양측 및 하방이 개방된 문(門) 형상으로 형성되어 있다. 그 때문에 수용부(21)는 가로방향(Y)의 양측 및 하방에 있어서 수용부(21)의 외측과 연통하고 있다.
본체부(20)는 수용부(21)와, 수용부(21)에 대하여 외측에 위치하는 처리 장치(91) 사이에서 반송 용기(92)를 이동시켜 이재를 행하는 이재 기구(30)를 구비한다. 또한, 본 실시형태에 있어서 반송 용기(92)의 이재란 천장 반송차(10)(수용부(21))와 처리 장치(91)(수수부(91a)) 사이에서 반송 용기(92)를 이동시키는 것을 말한다. 또한, 반송 용기(92)의 반송이란 제조 설비(90) 내의 복수의 처리 장치(91)(수수부(91a)) 중 반송원이 되는 처리 장치(91)(수수부(91a))로부터 반송처가 되는 다른 처리 장치(91)(수수부(91a))까지 반송 용기(92)를 이동시키는 것을 말한다.
이재 기구(30)는 반송 용기(92)를 파지하는 파지부(31)와, 파지부(31)를 연직방향을 따라 승강시키는 승강부(32)와, 파지부(31)를 가로방향(Y)(주행 레일(94)을 따르는 반송 용기(92)의 반송방향에 교차하는 수평방향)으로 이동시키는 가로 이동부(40)를 구비한다. 천장 반송차(10)에 있어서는 파지부(31)와, 승강부(32)와, 가로 이동부(40)에 의해 천장 반송차(10)(수용부(21))와 처리 장치(91)(수수부(91a)) 사이에서의 반송 용기(92)의 이재를 행한다.
파지부(31)는 반송 용기(92)를 상방으로부터 파지한다. 파지부(31)는 승강부(32)의 승강 벨트(33)에 연결되어 있다. 파지부(31)는 파지용 모터(도시하지 않음)에 의해 구동되어 파지 자세와 해제 자세 사이에서 스위칭가능한 한 쌍의 파지 클로(34)를 갖는다. 한 쌍의 파지 클로(34)는 서로 접근하는 방향으로 이동함으로써 반송 용기(92)의 플랜지부(92a)를 파지하는 파지 자세가 된다. 한 쌍의 파지 클로(34)는 서로 이간되는 방향으로 이동함으로써 반송 용기(92)의 플랜지부의 파지를 해제하는 해제 자세가 된다.
승강부(32)는 본체부(20)의 커버부(22)가 배치되는 높이로부터 처리 장치(91)의 수수부(91a)가 배치되는 높이까지의 사이에서 반송 용기(92)를 승강시킨다. 승강부(32)는 승강용 모터(도시하지 않음)에 의해 승강용 풀리(도시하지 않음)를 구동시킴으로써 복수개의 승강 벨트(33)를 동시에 권취 또는 권출하여 승강 벨트(33)에 의해 매달려 지지된 파지부(31)를 승강시킨다.
가로 이동부(40)는 가로방향(Y)으로 신축가능하게 구성된다. 가로 이동부(40)는 수축된 상태에서는 본체부(20)의 커버부(22)의 내측에 수용되고, 신장된 상태에서는 가로 이동부(40) 일부가 커버부(22)의 외측으로 돌출된다. 가로 이동부(40)는 본체부(20)의 수용부(21)에 부착되어 있다.
가로 이동부(40)는 베이스 플레이트(41)와, 터셔리 포크(42)(「제 1 포크」의 일례)와, 세컨더리 포크(43)(「제 2 포크」의 일례)와, 프라이머리 포크(44)(「제 3 포크」의 일례)를 구비한다.
베이스 플레이트(41)는 평판 형상의 부재이다. 베이스 플레이트(41)는 본체부(20)의 수용부(21)에 고정되어 있다. 베이스 플레이트(41)는 터셔리 포크(42), 세컨더리 포크(43), 프라이머리 포크(44)의 순서로 연직방향으로 평행하게 배치되는 3단의 포크를 지지한다.
터셔리 포크(42)는 베이스 플레이트(41)측에 배치되는 포크이다. 터셔리 포크(42)는 중앙부가 돌출되도록 볼록 형상으로 절곡된 판 부재에 의해 구성된다. 터셔리 포크(42)는 그 이동방향(가로방향(Y))의 길이가 베이스 플레이트(41)의 길이보다 짧게 형성되어 있다. 터셔리 포크(42)는 평면으로 볼 때, 베이스 플레이트(41)가 설치되는 범위 내에서 가로방향(Y)으로 이동가능하다.
세컨더리 포크(43)는 터셔리 포크(42)의 하방에 배치되는 포크이다. 세컨더리 포크(43)는 평판 형상의 부재에 의해 구성된다. 세컨더리 포크(43)는 그 이동방향(가로방향(Y))의 길이가 터셔리 포크(42)의 이동방향(가로방향(Y))의 길이보다 길고, 또한 베이스 플레이트(41)의 길이와 대략 같은 정도의 길이로 형성되어 있다. 세컨더리 포크(43)는 그 이동방향(가로방향(Y))의 선단측이 평면으로 볼 때, 베이스 플레이트(41)가 설치되는 범위를 넘어 돌출되도록 가로방향(Y)으로 이동가능하다.
프라이머리 포크(44)는 세컨더리 포크(43)의 하방에 배치되는 포크이다. 프라이머리 포크(44)는 파지부(31) 및 승강부(32)를 지지한다. 프라이머리 포크(44)는 평판 형상의 부재에 의해 구성된다. 프라이머리 포크(44)는 그 이동방향(가로방향(Y))의 길이가 베이스 플레이트(41) 및 세컨더리 포크(43)의 이동방향(가로방향(Y))의 길이보다 짧고, 또한 터셔리 포크(42)의 이동방향(가로방향(Y))의 길이와 같은 정도의 길이로 형성되어 있다. 프라이머리 포크(44)는 평면으로 볼 때, 세컨더리 포크(43)가 설치되는 범위 내에서 가로방향(Y)으로 이동가능하다.
도 3에 나타내는 바와 같이, 베이스 플레이트(41)의 하면에는 2개의 제 1 가이드 레일(45)이 가로방향(Y)에 대하여 수평으로 직교하는 방향으로 소정의 간격을 두고 평행하게 배치된다. 2개의 제 1 가이드 레일(45)은 베이스 플레이트(41)의 하면에 고정된다. 제 1 가이드 레일(45)은 베이스 플레이트(41)로부터 하방으로 돌출된 볼록 형상의 레일 부재이다. 제 1 가이드 레일(45)은 베이스 플레이트(41)의 길이와 같은 정도의 길이이며, 또한 가로방향(Y)(본체부(20)의 수용부(21)에 대하여 수평방향)으로 연장 설치된다.
2개의 제 1 가이드 레일(45)의 각각에는 제 1 가이드 블록(46)이 제 1 가이드 레일(45)을 따라 이동가능하게 결합한다. 제 1 가이드 블록(46)은 제 1 가이드 레일(45)에 끼워맞춤가능한 오목형의 블록이다. 제 1 가이드 블록(46)은 제 1 가이드 레일(45)에 까워맞춰진 상태에서 슬라이딩함으로써 제 1 가이드 레일(45)을 따라 가로방향(Y)으로 이동한다.
2개의 제 1 가이드 레일(45)의 각각에 결합되는 제 1 가이드 블록(46)의 하부에는 터셔리 포크(42)가 고정되어 있다. 즉, 터셔리 포크(42)는 제 1 가이드 레일(45)에 결합되는 2개의 제 1 가이드 블록(46)에 의해 지지된다. 터셔리 포크(42)는 그 상면 중앙이며, 그 폭방향(길이방향(가로방향(Y))에 대하여 수평으로 직교하는 방향)의 양단부에 제 1 가이드 블록(46)이 고정되어 있다. 터셔리 포크(42)는 제 1 가이드 블록(46)이 제 1 가이드 레일(45)을 따라 이동함으로써 가로방향(Y)으로 이동한다.
터셔리 포크(42)의 하면 중앙에는 2개의 제 2 가이드 블록(47)이 고정되어 있다. 제 2 가이드 블록(47)은 제 1 가이드 블록(46)과 마찬가지로 오목 형상의 블록에 의해 구성되어 있다.
이렇게 터셔리 포크(42)에는 그 상면 및 하면에 가이드 블록(제 1 및 제 2 가이드 블록(46, 47))만이 고정되어 있다. 이 때문에 터셔리 포크(42)는 가이드 블록(제 1 및 제 2 가이드 블록(46, 47))을 고정가능한 길이로 형성하면 좋고, 파지부(31)를 소정의 위치까지 슬라이딩시키기 위해서 가로방향(Y)으로 연장시켜 길게 형성할 필요가 없다.
또한, 세컨더리 포크(43)의 상면 중앙에는 2개의 제 2 가이드 레일(48)이 가로방향(Y)에 대하여 수평으로 직교하는 방향으로 평행하게 배치된다. 2개의 제 2 가이드 레일(48)은 세컨더리 포크(43)의 상면 중앙에 고정된다. 제 2 가이드 레일(48)은 제 1 가이드 레일(45)과 마찬가지로 세컨더리 포크(43)로부터 상방으로 돌출된 볼록 형상의 레일 부재이다. 제 2 가이드 레일(48)은 세컨더리 포크(43)의 길이와 같은 정도의 길이이며, 또한 가로방향(Y)에 수평으로 연장 설치되어 있다.
세컨더리 포크(43)에 고정되는 2개의 제 2 가이드 레일(48)의 각각에는 터셔리 포크(42)에 고정되는 제 2 가이드 블록(47)이 제 2 가이드 레일(48)을 따라 이동가능하게 결합한다. 제 2 가이드 레일(48)은 제 2 가이드 블록(47)에 끼워맞춰진 상태에서 슬라이딩함으로써 제 2 가이드 블록(47)을 개재하여 가로방향(Y)으로 이동한다. 즉, 세컨더리 포크(43)가 제 2 가이드 블록(47)을 개재하여 가로방향(Y)으로 이동한다.
세컨더리 포크(43)의 폭방향(길이방향(가로방향(Y))에 수평으로 직교하는 방향)의 하부 양단에는 2개의 제 3 가이드 레일(49)이 세컨더리 포크(43)의 폭방향으로 소정의 간격을 두고 평행하게 배치된다. 제 3 가이드 레일(49)은 세컨더리 포크(43)의 하부에 고정된다. 제 3 가이드 레일(49)은 제 1 및 제 2 가이드 레일(45, 48)과 마찬가지로 세컨더리 포크(43)로부터 하방으로 돌출된 볼록 형상의 레일 부재이다. 제 3 가이드 레일(49)은 세컨더리 포크(43)의 길이와 같은 정도의 길이이며, 또한 가로방향(Y)에 수평으로 연장 설치되어 있다.
또한, 프라이머리 포크(44)의 폭방향(길이방향(가로방향(Y))에 수평으로 직교하는 방향)의 상면 양단에는 2개의 제 3 가이드 블록(50)이 프라이머리 포크(44)의 폭방향으로 소정의 간격을 두고 평행하게 배치된다. 제 3 가이드 블록(50)은 프라이머리 포크(44)의 상면에 고정된다. 제 3 가이드 블록(50)은 제 1 및 제 2 가이드 블록(46, 47)과 마찬가지로 오목 형상의 블록에 의해 구성된다.
프라이머리 포크(44)에 고정되는 2개의 제 3 가이드 블록(50)의 각각에는 세컨더리 포크(43)에 고정되는 2개의 제 3 가이드 레일(49)이 이동가능하게 결합한다. 제 3 가이드 블록(50)은 제 3 가이드 레일(49)에 끼워맞춰진 상태에서 슬라이딩함으로써 제 3 가이드 레일(49)을 따라 가로방향(Y)으로 이동한다. 즉, 프라이머리 포크(44)가 제 3 가이드 레일(49)을 개재하여 가로방향(Y)으로 이동한다. 또한, 프라이머리 포크(44)에 연결되는 파지부(31) 및 승강부(32)가 제 3 가이드 레일(49)을 개재하여 가로방향(Y)으로 이동한다.
이어서, 가로 이동부(40)의 동작에 대하여 설명한다.
도 4a로부터 도 4d에 나타내는 바와 같이, 가로 이동부(40)는 3단의 포크(터셔리 포크(42), 세컨더리 포크(43), 프라이머리 포크(44))를 단계적으로 가로방향(Y)으로 이동시킴으로써 파지부(31) 및 승강부(32)를 가로방향(Y)으로 이동시킨다.
도 4a 및 도 4b에 나타내는 바와 같이, 가로 이동부(40)는 터셔리 포크(42)가 고정되어 있는 제 1 가이드 블록(46)을 베이스 플레이트(41)에 고정되어 있는 제 1 가이드 레일(45)에 대하여 슬라이딩시킴으로써 터셔리 포크(42)가 가로방향(Y)으로 이동한다. 이 때, 제 1 가이드 블록(46)은 제 1 가이드 레일(45)의 중앙부로부터 일단부(처리 장치(91)가 설치되어 있는 측의 단부)까지 이동한다. 터셔리 포크(42)는 제 2 및 제 3 가이드 레일(48, 49), 제 2 및 제 3 가이드 블록(47, 50)을 개재하여 세컨더리 포크(43), 프라이머리 포크(44), 파지부(31) 및 승강부(32)를 지지하고 있다. 그 때문에 터셔리 포크(42)가 가로방향(Y)으로 이동함으로써 세컨더리 포크(43), 프라이머리 포크(44), 파지부(31) 및 승강부(32)가 가로방향(Y)으로 이동한다.
도 4b 및 도 4c에 나타내는 바와 같이, 가로 이동부(40)는 세컨더리 포크(43)가 고정되어 있는 제 2 가이드 레일(48)을 터셔리 포크(42)에 고정되어 있는 제 2 가이드 블록(47)에 대하여 슬라이딩시킴으로써 세컨더리 포크(43)가 가로방향(Y)으로 더 이동한다. 세컨더리 포크(43)는 제 3 가이드 레일(49), 제 3 가이드 블록(50)을 개재하여 프라이머리 포크(44), 파지부(31) 및 승강부(32)를 지지하고 있다. 그 때문에 세컨더리 포크(43)가 가로방향(Y)으로 이동함으로써 프라이머리 포크(44), 파지부(31) 및 승강부(32)가 가로방향(Y)으로 이동한다.
도 4c 및 도 4d에 나타내는 바와 같이, 가로 이동부(40)는 프라이머리 포크(44)가 고정되어 있는 제 3 가이드 블록(50)을 세컨더리 포크(43)에 고정되어 있는 제 3 가이드 레일(49)에 대하여 슬라이딩시킴으로써 프라이머리 포크(44)가 가로방향(Y)으로 더 이동한다. 이 때, 제 3 가이드 블록(50)은 제 3 가이드 레일(49)의 중앙부로부터 일단부(처리 장치(91)가 설치되어 있는 측의 단부)까지 이동한다. 프라이머리 포크(44)는 파지부(31) 및 승강부(32)를 지지하고 있다. 그 때문에 프라이머리 포크(44)가 가로방향(Y)으로 이동함으로써 파지부(31) 및 승강부(32)가 가로방향(Y)으로 이동한다.
이상과 같이, 천장 반송차(10)에 있어서는 수용부(21)에 고정되는 베이스 플레이트(41)에 대하여 제 1 가이드 레일(45)을 고정하고, 그 제 1 가이드 레일(45)에 대하여 제 1 가이드 블록(46)을 이동가능하게 결합함으로써 제 1 가이드 블록(46)에 고정된 터셔리 포크(42)를 수용부(21)에 대하여 수평방향으로 이동시키는 구성, 즉 제 1 및 제 2 가이드 블록(46, 47)만을 고정한 터셔리 포크(42)를 수용부(21)에 대하여 수평방향으로 이동시키는 구성인 점에서 종래의 포크의 스트로크량을 확보하면서도 터셔리 포크(42)의 길이방향의 길이를, 파지부(31)를 소정의 위치까지 슬라이딩시키기 위해서 필요한 길이보다 짧게 형성할 수 있다. 그 때문에 터셔리 포크(42) 자체를 경량화할 수 있고, 결과적으로 천장 반송차(10) 전체를 경량화할 수 있다.
또한, 천장 반송차(10)에 있어서는 베이스 플레이트(41)에 고정되는 제 1 가이드 레일(45)에 대하여 제 1 가이드 블록(46)이 이동가능하게 결합하기 때문에 베이스 플레이트(41)에 고정되는 가이드 블록에 대하여 가이드 레일이 이동가능하게 결합하는 구성보다 파지부(31)의 슬라이딩 시에 있어서의 제 1 가이드 블록(46)과 제 3 가이드 블록(50) 사이의 거리를 짧게 할 수 있다. 그 때문에 제 1 가이드 블록(46)에 가해지는 하중이 종래의 가이드 블록에 대하여 가이드 레일이 이동가능하게 결합하는 구성보다 작아져 슬라이딩 시의 파지부(31)를 안정되게 지지할 수 있다.
또한, 본 실시형태에 있어서는 가로 이동부(40)의 포크를 터셔리 포크(42), 세컨더리 포크(43), 프라이머리 포크(44)의 3단의 포크에 의해 구성하고 있지만, 이것에 한정되는 것은 아니고 베이스 플레이트에 고정되는 가이드 레일에 대하여 가이드 블록을 고정한 포크가 이동가능하면 1단 또는 2단의 포크, 또는 4단 이상의 포크에 의해 구성해도 상관없다.
본 실시형태에 있어서는 반송 용기(92)의 이재처 및 반송원, 반송처를 처리 장치(91)로 하고 있지만, 이것에 한정되는 것은 아니고 반송 용기(92)의 보관고 등을 반송 용기(92)의 이재처 및 반송원, 반송처로 해도 상관없다.
10 천장 반송차(물품 반송차) 11 주행부
20 본체부 21 수용부
31 파지부 32 승강부
40 가로 이동부 41 베이스 플레이트
42 터셔리 포크(제 1 포크) 43 세컨더리 포크(제 2 포크)
44 프라이머리 포크(제 3 포크) 45 제 1 가이드 레일
46 제 1 가이드 블록 47 제 2 가이드 블록
48 제 2 가이드 레일 49 제 3 가이드 레일
50 제 3 가이드 블록 92 반송 용기(물품)
94 주행 레일(주행 경로)

Claims (2)

  1. 주행 경로를 따라 주행하여 물품을 반송하는 물품 반송차로서,
    상기 주행 경로를 주행하는 주행부와,
    상기 주행부에 지지되는 본체부를 구비하고,
    상기 본체부는,
    상기 물품을 수용하는 수용부와,
    상기 물품을 파지하는 파지부와,
    상기 파지부를 승강시키는 승강부와,
    상기 수용부에 고정되어 상기 파지부 및 상기 승강부를 상기 수용부에 대하여 수평방향으로 이동시키는 가로 이동부를 구비하고,
    상기 가로 이동부는,
    상기 수용부에 고정되는 베이스 플레이트와,
    상기 파지부 및 상기 승강부를 상기 수용부에 대하여 수평방향으로 이동시키기 위한 포크와,
    상기 수용부에 대하여 수평방향으로 연장 설치되는 가이드 레일과,
    상기 가이드 레일에 이동가능하게 결합하는 가이드 블록을 구비하고,
    상기 가이드 레일은 상기 베이스 플레이트에 고정되고,
    상기 포크는 상기 가이드 블록에 고정되어 상기 가이드 블록이 상기 가이드 레일에 대하여 슬라이딩함으로써 상기 수용부에 대하여 수평방향으로 이동하는 것을 특징으로 하는 물품 반송차.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 가로 이동부는,
    상기 베이스 플레이트에 고정되는 제 1 가이드 레일과,
    상기 가이드 레일에 이동가능하게 결합하는 제 1 가이드 블록과,
    상기 제 1 가이드 블록에 고정되어 상기 제 1 가이드 블록이 상기 제 1 가이드 레일에 대하여 슬라이딩함으로써 상기 수용부에 대하여 수평방향으로 이동하는 제 1 포크와,
    제 1 포크에 고정되는 제 2 가이드 블록과,
    상기 제 2 가이드 블록에 이동가능하게 결합하는 제 2 가이드 레일과,
    상기 가이드 레일에 고정되어 상기 제 2 가이드 레일이 상기 제 2 가이드 블록에 대하여 슬라이딩함으로써 상기 수용부에 대하여 수평방향으로 이동하는 제 2 포크와,
    상기 제 2 포크에 고정되는 제 3 가이드 레일과,
    상기 제 3 가이드 레일에 이동가능하게 결합하는 제 3 가이드 블록과,
    상기 제 3 가이드 블록에 고정되어 상기 제 3 가이드 블록이 상기 제 3 가이드 레일에 대하여 슬라이딩함으로써 상기 수용부에 대하여 수평방향으로 이동함과 아울러 상기 파지부 및 승강부를 지지하는 제 3 포크를 구비하는 것을 특징으로 하는 물품 반송차.
KR1020190082989A 2018-10-19 2019-07-10 물품 반송차 KR102645968B1 (ko)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JPJP-P-2018-197080 2018-10-19
JP2018197080A JP7099245B2 (ja) 2018-10-19 2018-10-19 物品搬送車

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20200044669A true KR20200044669A (ko) 2020-04-29
KR102645968B1 KR102645968B1 (ko) 2024-03-11

Family

ID=70310237

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020190082989A KR102645968B1 (ko) 2018-10-19 2019-07-10 물품 반송차

Country Status (4)

Country Link
JP (1) JP7099245B2 (ko)
KR (1) KR102645968B1 (ko)
CN (1) CN111071713B (ko)
TW (1) TWI800663B (ko)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102235517B1 (ko) 2020-11-02 2021-04-01 시너스텍 주식회사 오버헤드 호이스트 방식의 스토커 시스템

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102534409B1 (ko) * 2020-11-23 2023-05-18 세메스 주식회사 이송 장치
WO2023051808A1 (zh) * 2021-09-30 2023-04-06 弥费科技(上海)股份有限公司 横向移载装置、空中运输设备及自动物料搬送系统
CN114132704A (zh) * 2021-12-14 2022-03-04 华芯(嘉兴)智能装备有限公司 一种轨道小车的双向伸缩装置
WO2023218757A1 (ja) * 2022-05-10 2023-11-16 村田機械株式会社 天井搬送車
WO2023233863A1 (ja) * 2022-06-01 2023-12-07 村田機械株式会社 天井搬送車

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005008336A (ja) * 2003-06-18 2005-01-13 Line Kogyo Kk スライドフォーク使用の搬送装置
JP2008127200A (ja) * 2006-11-27 2008-06-05 Murata Mach Ltd 天井走行車
JP2018049943A (ja) 2016-09-21 2018-03-29 株式会社ダイフク 物品搬送設備
WO2018055883A1 (ja) * 2016-09-26 2018-03-29 村田機械株式会社 天井搬送システム、及び天井搬送車

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TW299766U (en) * 1996-03-08 1997-03-01 Yau Cheng Co Ltd Automatic material feeding/withdrawing mechanism of warehouse
KR100743194B1 (ko) * 2006-03-22 2007-07-27 삼성전자주식회사 이송시스템
CN104960820B (zh) * 2009-11-27 2017-05-31 株式会社大福 顶棚输送车
KR20120003368A (ko) * 2010-07-02 2012-01-10 무라텍 오토메이션 가부시키가이샤 천정 반송차의 그리퍼 장치 및 천정 반송차
JP5590422B2 (ja) * 2012-06-13 2014-09-17 株式会社ダイフク 物品搬送設備
CN204297477U (zh) * 2014-09-24 2015-04-29 东莞市冠佳电子设备有限公司 电源适配器自动老化设备
CN108005204A (zh) * 2018-01-11 2018-05-08 邵丽丹 一种小便池自动清洗装置

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005008336A (ja) * 2003-06-18 2005-01-13 Line Kogyo Kk スライドフォーク使用の搬送装置
JP2008127200A (ja) * 2006-11-27 2008-06-05 Murata Mach Ltd 天井走行車
JP2018049943A (ja) 2016-09-21 2018-03-29 株式会社ダイフク 物品搬送設備
KR20180032172A (ko) * 2016-09-21 2018-03-29 가부시키가이샤 다이후쿠 물품 반송 설비
WO2018055883A1 (ja) * 2016-09-26 2018-03-29 村田機械株式会社 天井搬送システム、及び天井搬送車

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102235517B1 (ko) 2020-11-02 2021-04-01 시너스텍 주식회사 오버헤드 호이스트 방식의 스토커 시스템

Also Published As

Publication number Publication date
JP2020065015A (ja) 2020-04-23
JP7099245B2 (ja) 2022-07-12
CN111071713B (zh) 2022-10-28
TWI800663B (zh) 2023-05-01
CN111071713A (zh) 2020-04-28
KR102645968B1 (ko) 2024-03-11
TW202015998A (zh) 2020-05-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR102645968B1 (ko) 물품 반송차
KR101965733B1 (ko) 물품 반송 설비
KR100683497B1 (ko) 무인반송차 시스템
CN108698757B (zh) 输送系统
KR101943928B1 (ko) 물품 반송 설비
KR102302376B1 (ko) 반송장치
KR102405911B1 (ko) 물품 반송 설비
KR100678596B1 (ko) 천정 반송차 시스템
TWI531514B (zh) Conveyance systems and transport systems
CN107082215B (zh) 物品搬运装置及具备该物品搬运装置的物品搬运设备
KR101642853B1 (ko) 천정 반송차
KR100868247B1 (ko) 천정주행차 시스템
KR102432628B1 (ko) 물품 지지 장치
KR101419356B1 (ko) 대차장치 및 이를 구비한 반송시스템
KR102206058B1 (ko) 반송 시스템
WO2015190387A1 (ja) コンテナ昇降搬送装置
US7806648B2 (en) Transportation system and transportation method
WO2015190395A1 (ja) コンテナ昇降搬送装置
JP5783366B2 (ja) 仕分けシステム
CN105314345B (zh) 搬运装置
JP2000191106A (ja) ピッキングシステム
JP2004010247A (ja) 天井搬送車用走行路

Legal Events

Date Code Title Description
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant