TW202015998A - 物品搬運車 - Google Patents

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Abstract

一種頂部搬運車10，其沿著行駛軌道94行駛來搬運搬運容器92，其包括行駛部11與本體部20，本體部20包含收容部21、握持部31、升降部32、及橫移部40，橫移部40包含：底板41，固定於收容部21；貨叉42、貨叉43、貨叉44，用於使握持部31及升降部32於水平方向上移動；第一導軌45、第二導軌48、第三導軌49；以及第一導塊46、第二導塊47、第三導塊50；第一導軌45固定於底板41，三級貨叉42固定於第一導塊46，藉由第一導塊46相對於第一導軌45進行滑動，而相對於收容部21在水平方向上移動。

Description

物品搬運車
本發明是有關於一種沿著行駛路徑行駛來搬運物品的物品搬運車，且特別是有關於一種沿著設置於設備的頂部附近的行駛路徑行駛的頂部搬運車。
先前，於半導體元件等的製造設備中，存在於利用沿著設置於設備的頂部附近的行駛軌道行駛的頂部搬運車（物品搬運車）握持收容有半導體基板等工件的搬運容器的狀態下，在多個處理裝置間依次搬運的情況。
例如，於專利文獻1中揭示有一種物品搬運設備，其包括：物品搬運車，於多個搬運對象場所之間沿著移動路徑移動來搬運物品；以及控制裝置，對該物品搬運車進行控制；所述物品搬運車具有：收容部，收容所述物品；蓋部，覆蓋該收容部；移載機構，使所述物品在所述收容部與相對於該收容部位於外側的所述多個搬運對象場所的一個之間移動，而進行該搬運對象場所與所述物品搬運車之間的所述物品的移載；以及姿勢變更機構，變更搬運中的所述物品的姿勢；所述移載機構包括：握持部，握持所述物品；升降部，使所述握持部沿著垂直方向升降；以及橫移部，使所述握持部沿著橫方向橫移，所述橫方向是與所述搬運路徑交叉並沿著水平方向的方向。
於如專利文獻1中所示的先前的物品搬運車中，將使握持部橫移（於水平方向上移動）的橫移部的底板固定於物品搬運車的本體部（收容部），藉此橫移部由本體部（收容部）支持。 另外，橫移部包括由底板支持的貨叉，藉由使貨叉橫移來使握持部及升降部橫移。進而，橫移部的貨叉藉由相對於物品搬運車的本體部（收容部）在水平方向上延伸設置的導軌與卡合於導軌的導塊之間的滑動而橫移。 [現有技術文獻] [專利文獻]
[專利文獻1]日本專利特開2018-49943號公報
[發明所欲解決之課題]
但是，於如專利文獻1中所示的先前的物品搬運車中，由於是相對於橫移部的底板固定導塊，並相對於該導塊使導軌可移動地卡合，藉此使固定於導軌的貨叉相對於本體部在水平方向上移動的結構，即，使僅固定了導軌的貨叉相對於本體部在水平方向上移動的結構，因此必須將貨叉的長邊方向的長度延長至如下的長度為止來形成，所述長度是為了使握持部滑動至規定的位置為止所需要的長度。因此，貨叉（橫移部）自身變重，作為結果，存在物品搬運車整體的重量變重的問題。
因此，本發明的目的在於提供一種可一面確保先前的貨叉的衝程量，一面實現物品搬運車整體的輕量化的物品搬運車。 [解決課題之手段]
以上是本發明欲解決的課題，繼而對用於解決該課題的手段進行說明。
即，本發明是一種沿著行駛路徑行駛來搬運物品的物品搬運車，其包括：行駛部，於所述行駛路徑上行駛；以及本體部，由所述行駛部支持；所述本體部包含：收容部，收容所述物品；握持部，握持所述物品；升降部，使所述握持部升降；以及橫移部，固定於所述收容部，使所述握持部及所述升降部相對於所述收容部在水平方向上移動；所述橫移部包含：底板，固定於所述收容部；貨叉，用於使所述握持部及所述升降部相對於所述收容部在水平方向上移動；導軌，相對於所述收容部在水平方向上延伸設置；以及導塊，可移動地卡合於所述導軌；所述導軌固定於所述底板，所述貨叉固定於所述導塊，藉由所述導塊相對於所述導軌進行滑動，而相對於所述收容部在水平方向上移動。
於所述結構中，使固定有貨叉的導塊相對於導軌進行滑動，所述導軌相對於收容部在水平方向上延伸設置並固定於底板，藉此貨叉相對於收容部在水平方向上移動。
另外，本發明於所述記載的物品搬運車中，所述橫移部包括：第一導軌，固定於所述底板；第一導塊，可移動地卡合於所述導軌；第一貨叉，固定於所述第一導塊，藉由所述第一導塊相對於所述第一導軌進行滑動，而相對於所述收容部在水平方向上移動；第二導塊，固定於第一貨叉；第二導軌，可移動地卡合於所述第二導塊；第二貨叉，固定於所述導軌，藉由所述第二導軌相對於所述第二導塊進行滑動，而相對於所述收容部在水平方向上移動；第三導軌，固定於所述第二貨叉；第三導塊，可移動地卡合於所述第三導軌；第三貨叉，固定於所述第三導塊，藉由所述第三導塊相對於所述第三導軌進行滑動，而相對於所述收容部在水平方向上移動，並且支持所述握持部及升降部。
於所述結構中，使固定有第一貨叉的第一導塊相對於第一導軌進行滑動，所述第一導軌相對於收容部在水平方向上延伸設置並固定於底板，藉此第一貨叉～第三貨叉全部相對於收容部在水平方向上移動。 [發明的效果]
根據本發明的物品搬運車，由於設為相對於固定於收容部的底板固定導軌，並相對於該導軌使導塊可移動地卡合，藉此使固定於導塊的貨叉相對於收容部在水平方向上移動的結構，即，使僅固定了導塊的貨叉相對於收容部在水平方向上移動的結構，因此可一面確保先前的貨叉的衝程量，一面使貨叉的長邊方向的長度比為了使握持部滑動至規定的位置為止所需要的長度短。因此，可使貨叉自身輕量化，作為結果，可使物品搬運車整體輕量化。
首先，對作為本發明的物品搬運車的一例的頂部搬運車10進行說明。 如圖1所示，頂部搬運車10是用於朝對半導體基板等工件（未圖示）進行規定處理的處理裝置91搬運收納有工件的搬運容器92（「物品」的一例）者。頂部搬運車10以懸掛於敷設於半導體元件等的製造設備90的頂部93附近的行駛軌道94（「行駛路徑」的一例）的狀態來安裝。頂部搬運車10以握持搬運容器92的狀態沿著行駛軌道94行駛。 頂部搬運車10所搬運的搬運容器92是大致長方體的箱狀的搬運容器。搬運容器92於其內部具有可收納多個工件的多段的載置部。
如圖1及圖2所示，頂部搬運車10主要包括沿著行駛軌道94行駛的行駛部11、及由行駛部11懸掛支持的本體部20。 行駛部11以懸掛於行駛軌道94的狀態來安裝。行駛部11由線性馬達等行駛用馬達12（可於無塵室等要求清潔度的空間進行驅動的驅動元件）來驅動，藉此沿著行駛軌道94行駛。行駛部11具有：行駛輪13，由行駛用馬達12來驅動，沿著搬運方向H在行駛軌道94上轉動；以及引導輪14，抵接於行駛軌道94，沿著行駛軌道94引導行駛部11。 本體部20由行駛部11來懸掛支持，藉此與行駛部11連結。本體部20藉由行駛部11的行駛而與行駛部11一體地沿著行駛軌道94移動。本體部20具有收容搬運容器92的收容部21、及覆蓋收容部21的蓋部22。收容部21配置於蓋部22的內側。蓋部22形成為橫方向Y的兩側及下方打開的門狀。因此，收容部21於橫方向Y的兩側及下方，與收容部21的外側連通。
本體部20包括移載機構30，所述移載機構30使搬運容器92在收容部21與相對於收容部21位於外側的處理裝置91之間移動來進行移載。再者，於本實施方式中，所謂搬運容器92的移載，是指使搬運容器92在頂部搬運車10（收容部21）與處理裝置91（交接部91a）之間移動。另外，所謂搬運容器92的搬運，是指使搬運容器92自製造設備90內的多個處理裝置91（交接部91a）之中，成為搬運起始地的處理裝置91（交接部91a）移動至成為搬運目的地的其他處理裝置91（交接部91a）為止。
移載機構30包括：握持部31，握持搬運容器92；升降部32，使握持部31沿著垂直方向升降；以及橫移部40，使握持部31於橫方向Y（與沿著行駛軌道94的搬運容器92的搬運方向交叉的水平方向）上移動。於頂部搬運車10中，藉由握持部31、升降部32、及橫移部40，而進行頂部搬運車10（收容部21）與處理裝置91（交接部91a）之間的搬運容器92的移載。
握持部31自上方握持搬運容器92。握持部31與升降部32的升降帶33連結。握持部31具有一對握持爪34，由握持用馬達（未圖示）來驅動，在握持姿勢與解除姿勢之間切換自如。一對握持爪34藉由朝相互接近的方向移動，而變成握持搬運容器92的凸緣部92a的握持姿勢。一對握持爪34藉由朝相互分離的方向移動，而變成解除搬運容器92的凸緣部的握持的解除姿勢。 升降部32使搬運容器92於自配置本體部20的蓋部22的高度至配置處理裝置91的交接部91a的高度為止之間升降。升降部32藉由升降用馬達（未圖示）來驅動升降用滑輪（未圖示），藉此將多條升降帶33同時捲繞或展開，而使由升降帶33懸掛支持的握持部31升降。
橫移部40於橫方向Y上伸縮自如地構成。橫移部40於收縮的狀態下被收容於本體部20的蓋部22的內側，於伸展的狀態下橫移部40一部分朝蓋部22的外側突出。橫移部40安裝於本體部20的收容部21。 橫移部40包括：底板41、三級（tertiary）貨叉42（「第一貨叉」的一例）、二級（secondary）貨叉43（「第二貨叉」的一例）、及一級（primary）貨叉44（「第三貨叉」的一例）。 底板41為平板狀的構件。底板41固定於本體部20的收容部21。底板41支持以三級貨叉42、二級貨叉43、一級貨叉44的順序於垂直方向上平行地配置的三段的貨叉。 三級貨叉42是配置於底板41側的貨叉。三級貨叉42包含以中央部突出的方式彎曲成凸狀的板構件。三級貨叉42的移動方向（橫方向Y）的長度形成得比底板41的長度短。於俯視下，三級貨叉42可於設置底板41的範圍內在橫方向Y上移動。 二級貨叉43是配置於三級貨叉42的下方的貨叉。二級貨叉43包含平板狀的構件。二級貨叉43的移動方向（橫方向Y）的長度比三級貨叉42的移動方向（橫方向Y）的長度長，且形成為與底板41的長度大致相同的程度的長度。於俯視下，二級貨叉43能夠以其移動方向（橫方向Y）的前端側超過設置底板41的範圍而突出的方式於橫方向Y上移動。 一級貨叉44是配置於二級貨叉43的下方的貨叉。一級貨叉44支持握持部31及升降部32。一級貨叉44包含平板狀的構件。一級貨叉44的移動方向（橫方向Y）的長度比底板41及二級貨叉43的移動方向（橫方向Y）的長度短，且形成為與三級貨叉42的移動方向（橫方向Y）的長度相同的程度的長度。於俯視下，一級貨叉44可於設置二級貨叉43的範圍內在橫方向Y上移動。
如圖3所示，於底板41的下表面，兩根第一導軌45在相對於橫方向Y水平地正交的方向上空開規定的間隔而平行地配置。兩根第一導軌45固定於底板41的下表面。第一導軌45是自底板41朝下方突出的凸狀的軌道構件。第一導軌45的長度為與底板41的長度相同的程度，且於橫方向Y（相對於本體部20的收容部21為水平方向）上延伸設置。 第一導塊46沿著第一導軌45可移動地卡合於兩根第一導軌45的各者。第一導塊46是可嵌合於第一導軌45的凹狀的塊。第一導塊46以嵌合於第一導軌45的狀態進行滑動，藉此沿著第一導軌45於橫方向Y上移動。 於卡合於兩根第一導軌45的各個的第一導塊46的下部固定有三級貨叉42。即，三級貨叉42由卡合於第一導軌45的兩個第一導塊46支持。三級貨叉42於其上表面中央、且其寬度方向（相對於長邊方向（橫方向Y）水平地正交的方向）的兩端部固定有第一導塊46。三級貨叉42藉由第一導塊46沿著第一導軌45移動而於橫方向Y上移動。 於三級貨叉42的下表面中央固定有兩個第二導塊47。與第一導塊46同樣地，第二導塊47包含凹狀的塊。 如此，於三級貨叉42的上表面及下表面僅固定有導塊（第一導塊46及第二導塊47）。因此，三級貨叉42只要形成為可固定導塊（第一導塊46及第二導塊47）的長度即可，無需為了使握持部31滑動至規定的位置為止而將三級貨叉42於橫方向Y上延長來形成得長。
另外，於二級貨叉43的上表面中央，兩根第二導軌48在相對於橫方向Y水平地正交的方向上平行地配置。兩根第二導軌48固定於二級貨叉43的上表面中央。與第一導軌45同樣地，第二導軌48是自二級貨叉43朝上方突出的凸狀的軌道構件。第二導軌48的長度為與二級貨叉43的長度相同的程度，且於橫方向Y上水平地延伸設置。 固定於三級貨叉42的第二導塊47沿著第二導軌48可移動地卡合於固定於二級貨叉43的兩根第二導軌48的各者。第二導軌48以嵌合於第二導塊47的狀態進行滑動，藉此經由第二導塊47而於橫方向Y上移動。即，二級貨叉43經由第二導塊47而於橫方向Y上移動。
於二級貨叉43的寬度方向（與長邊方向（橫方向Y）水平地正交的方向）的下部兩端，兩根第三導軌49於二級貨叉43的寬度方向上空開規定的間隔而平行地配置。第三導軌49固定於二級貨叉43的下部。與第一導軌45及第二導軌48同樣地，第三導軌49是自二級貨叉43朝下方突出的凸狀的軌道構件。第三導軌49的長度為與二級貨叉43的長度相同的程度，且於橫方向Y上水平地延伸設置。 另外，於一級貨叉44的寬度方向（與長邊方向（橫方向Y）水平地正交的方向）的上表面兩端，兩個第三導塊50於一級貨叉44的寬度方向上空開規定的間隔而平行地配置。第三導塊50固定於一級貨叉44的上表面。與第一導塊46及第二導塊47同樣地，第三導塊50包含凹狀的塊。 固定於二級貨叉43的兩根第三導軌49可移動地卡合於固定於一級貨叉44的兩個第三導塊50的各者。第三導塊50以嵌合於第三導軌49的狀態進行滑動，藉此沿著第三導軌49於橫方向Y上移動。即，一級貨叉44經由第三導軌49而於橫方向Y上移動。進而，與一級貨叉44連結的握持部31及升降部32經由第三導軌49而於橫方向Y上移動。
繼而，對橫移部40的動作進行說明。 如圖4A～圖4D所示，橫移部40藉由使三段的貨叉（三級貨叉42、二級貨叉43、一級貨叉44）階段性地於橫方向Y上移動，而使握持部31及升降部32於橫方向Y上移動。 如圖4A及圖4B所示，橫移部40使固定有三級貨叉42的第一導塊46相對於固定於底板41的第一導軌45進行滑動，藉此三級貨叉42於橫方向Y上移動。此時，第一導塊46自第一導軌45的中央部移動至一端部（設置有處理裝置91之側的端部）為止。三級貨叉42經由第二導軌48及第三導軌49、第二導塊47及第三導塊50而支持二級貨叉43、一級貨叉44、握持部31及升降部32。因此，藉由三級貨叉42於橫方向Y上移動，二級貨叉43、一級貨叉44、握持部31及升降部32於橫方向Y上移動。
如圖4B及圖4C所示，橫移部40使固定有二級貨叉43的第二導軌48相對於固定於三級貨叉42的第二導塊47進行滑動，藉此二級貨叉43進一步於橫方向Y上移動。二級貨叉43經由第三導軌49、第三導塊50而支持一級貨叉44、握持部31及升降部32。因此，藉由二級貨叉43於橫方向Y上移動，一級貨叉44、握持部31及升降部32於橫方向Y上移動。
如圖4C及圖4D所示，橫移部40使固定有一級貨叉44的第三導塊50相對於固定於二級貨叉43的第三導軌49進行滑動，藉此一級貨叉44進一步於橫方向Y上移動。此時，第三導塊50自第三導軌49的中央部移動至一端部（設置有處理裝置91之側的端部）為止。一級貨叉44支持握持部31及升降部32。因此，藉由一級貨叉44於橫方向Y上移動，握持部31及升降部32於橫方向Y上移動。
如以上般，於頂部搬運車10中，由於是相對於固定於收容部21的底板41固定第一導軌45，並相對於該第一導軌45使第一導塊46可移動地卡合，藉此使固定於第一導塊46的三級貨叉42相對於收容部21在水平方向上移動的結構，即，使僅固定了第一導塊46及第二導塊47的三級貨叉42相對於收容部21在水平方向上移動的結構，因此可一面確保先前的貨叉的衝程量，一面將三級貨叉42的長邊方向的長度形成得比為了使握持部31滑動至規定的位置為止所需要的長度短。因此，可使三級貨叉42自身輕量化，作為結果，可使頂部搬運車10整體輕量化。
另外，於頂部搬運車10中，相對於固定於底板41的第一導軌45使第一導塊46可移動地卡合，因此與相對於固定於底板41的導塊使導軌可移動地卡合的結構相比，可縮短握持部31的滑動時的第一導塊46與第三導塊50之間的距離。因此，與先前的相對於導塊使導軌可移動地卡合的結構相比，施加至第一導塊46的負荷變小，可穩定地支持滑動時的握持部31。
再者，於本實施方式中，由三級貨叉42、二級貨叉43、一級貨叉44的三段的貨叉來構成橫移部40的貨叉，但並不限定於此，只要相對於固定於底板的導軌固定了導塊的貨叉可移動，則亦可由一段或二段的貨叉、或者四段以上的貨叉來構成。
於本實施方式中，將搬運容器92的移載目的地以及搬運起始地、搬運目的地設為處理裝置91，但並不限定於此，亦可將搬運容器92的保管庫等設為搬運容器92的移載目的地以及搬運起始地、搬運目的地。
10:頂部搬運車（物品搬運車） 11:行駛部 12:行駛用馬達 13:行駛輪 14:引導輪 20:本體部 21:收容部 22:蓋部 30:移載機構 31:握持部 32:升降部 33:升降帶 34:握持爪 40:橫移部 41:底板 42:三級貨叉（第一貨叉） 43:二級貨叉（第二貨叉） 44:一級貨叉（第三貨叉） 45:第一導軌 46:第一導塊 47:第二導塊 48:第二導軌 49:第三導軌 50:第三導塊 90:製造設備 91:處理裝置 91a:交接部 92:搬運容器（物品） 92a:凸緣部 93:頂部 94:行駛軌道（行駛路徑） H:搬運方向 Y:橫方向
圖1是表示作為本發明的物品搬運車的一例的頂部搬運車移載搬運容器的狀態的圖。 圖2是該頂部搬運車的正面圖。 圖3是表示該頂部搬運車的橫移部的附近的放大正面圖。 圖4A是表示該頂部搬運車的橫移部的動作的放大側面圖。 圖4B是表示該頂部搬運車的橫移部的動作的放大側面圖。 圖4C是表示該頂部搬運車的橫移部的動作的放大側面圖。 圖4D是表示該頂部搬運車的橫移部的動作的放大側面圖。
10:頂部搬運車(物品搬運車)
11:行駛部
12:行駛用馬達
13:行駛輪
14:引導輪
20:本體部
21:收容部
22:蓋部
30:移載機構
31:握持部
32:升降部
34:握持爪
40:橫移部
41:底板
42:三級貨叉(第一貨叉)
43:二級貨叉(第二貨叉)
44:一級貨叉(第三貨叉)
45:第一導軌
46:第一導塊
47:第二導塊
48:第二導軌
49:第三導軌
50:第三導塊
92:搬運容器(物品)
92a:凸緣部
94:行駛軌道(行駛路徑)
H:搬運方向

Claims (2)

  1. 一種物品搬運車，其是沿著行駛路徑行駛來搬運物品的物品搬運車，其特徵在於包括： 行駛部，於所述行駛路徑上行駛；以及 本體部，由所述行駛部支持； 所述本體部包含： 收容部，收容所述物品； 握持部，握持所述物品； 升降部，使所述握持部升降；以及 橫移部，固定於所述收容部，使所述握持部及所述升降部相對於所述收容部在水平方向上移動； 所述橫移部包含： 底板，固定於所述收容部； 貨叉，用於使所述握持部及所述升降部相對於所述收容部在水平方向上移動； 導軌，相對於所述收容部在水平方向上延伸設置；以及 導塊，可移動地卡合於所述導軌； 所述導軌固定於所述底板， 所述貨叉固定於所述導塊，藉由所述導塊相對於所述導軌進行滑動，而相對於所述收容部在水平方向上移動。
  2. 如申請專利範圍第1項所述的物品搬運車，其中所述橫移部包括： 第一導軌，固定於所述底板； 第一導塊，可移動地卡合於所述導軌； 第一貨叉，固定於所述第一導塊，藉由所述第一導塊相對於所述第一導軌進行滑動，而相對於所述收容部在水平方向上移動； 第二導塊，固定於所述第一貨叉； 第二導軌，可移動地卡合於所述第二導塊； 第二貨叉，固定於所述導軌，藉由所述第二導軌相對於所述第二導塊進行滑動，而相對於所述收容部在水平方向上移動； 第三導軌，固定於所述第二貨叉； 第三導塊，可移動地卡合於所述第三導軌； 第三貨叉，固定於所述第三導塊，藉由所述第三導塊相對於所述第三導軌進行滑動，而相對於所述收容部在水平方向上移動，並且支持所述握持部及所述升降部。
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