CN111071713A - 物品搬运车 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及一种物品搬运车，其为沿着行驶轨道(94)进行行驶并对搬运容器(92)进行搬运的顶板搬运车(10)，具备：行驶部(11)和主体部(20)，主体部具备：收纳部(21)、把持部(31)、升降部(32)和横向移动部(40)，横向移动部具备：固定于收纳部的基板(41)、用于使把持部(31)及升降部(32)在水平方向上移动的载货部件(42、43、44)、第1～第3引导轨道(45、48、49)、以及第1～第3引导块(46、47、50)，第1引导轨道(45)固定于基板，三级载货部件(42)固定于第1引导块(46)，通过第1引导块相对于第1引导轨道滑动，该三级载货部件相对于收纳部在水平方向上进行移动。

Description

物品搬运车
技术领域
本发明涉及一种沿着行驶路径行驶而对物品进行搬运的物品搬运车，尤其涉及一种沿着设置在设备的顶板附近的行驶路径行驶的顶板搬运车。
背景技术
以往，在半导体器件等的制造设备中，有时会将收纳有半导体基板等的工件的搬运容器以通过顶板搬运车(物品搬运车)进行把持的状态下在多个处理装置之间依次进行搬运，其中，该顶板搬运车是沿着设置在设备的顶板附近的行驶轨道进行行驶的。
例如，在专利文献1中公开了一种物品搬运设备，其具备：物品搬运车，其在多个搬运对象场所之间沿着移动路径移动进行搬运物品；以及控制装置，其控制该物品搬运车，其中，所述物品搬运车具有：收纳部，其收纳所述物品；盖部，其覆盖该收纳部；移载机构，其使所述物品在所述收纳部、与位于该收纳部外侧的所述多个搬运对象场所之中的一个搬运对象场所之间进行移动从而在该搬运对象场所与所述物品搬运车之间进行所述物品的移载；以及姿势变更机构，其变更正在搬运的所述物品的姿势，所述移载机构具备：把持部，其把持所述物品；升降部，其使所述把持部沿着竖直方向进行升降；以及横向移动部，其使所述把持部沿着横向进行横向移动，其中该横向是：与所述搬运路径交叉且又沿着水平方向的方向。
在如专利文献1所示的现有的物品搬运车中，使把持部进行横向移动的(在水平方向上移动的)横向移动部的基板被固定在物品搬运车的主体部(收纳部)，由此横向移动部被主体部(收纳部)所支承。
另外，横向移动部具备：通过基板而被支承的载货部件，通过使载货部件进行横向移动而使把持部以及升降部进行横向移动。进一步地，横向移动部的载货部件通过在相对于物品搬运车的主体部(收纳部)而在水平方向上延伸设置的引导轨道、与卡合于引导轨道的引导块之间的滑动，来进行横向移动。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2018－49943号公报
发明内容
然而，在如专利文献1所示的现有的物品搬运车中，采用了如下构成：将引导块相对于横向移动部的基板进行固定，并使引导轨道以相对于引导块能够移动的方式与该引导块卡合，由此使被固定于引导轨道的载货部件相对于主体部而在水平方向上进行移动，亦即采用了：使仅固定有引导轨道的载货部件相对于主体部而在水平方向上移动的构成，因此，需要形成为：将载货部件的长尺寸方向上的长度延长至使把持部滑移到规定位置所需的长度。由此，因为载货部件(横向移动部)自身较重，结果会出现：物品搬运车整体的重量变重的问题。
因此，本发明的目的在于提供一种能够在确保现有的载货部件的冲程量的同时实现物品搬运车整体的轻量化的物品搬运车。
本发明所要解决的课题如上，接下来对用于解决该课题的手段进行说明。
即，本发明的物品搬运车是沿着行驶路径行驶而对物品进行搬运的物品搬运车，其特征在于，具备：行驶部，其在所述行驶路径上行驶；以及主体部，其被支承于所述行驶部，所述主体部具备：收纳部，其收纳所述物品；把持部，其把持所述物品；升降部，其使所述把持部进行升降；以及横向移动部，其被固定于所述收纳部，并使所述把持部和所述升降部相对于所述收纳部而在水平方向上进行移动，所述横向移动部具备：基板，其被固定于所述收纳部；载货部件，其用于使所述把持部和所述升降部相对于所述收纳部而在水平方向上进行移动；引导轨道，其相对于所述收纳部而在水平方向上延伸设置；以及引导块，其以能够移动的方式与所述引导轨道卡合，所述引导轨道被固定于所述基板，所述载货部件被固定于所述引导块，通过所述引导块相对于所述引导轨道进行滑动，使得所述载货部件相对于所述收纳部而在水平方向上进行移动。
根据上述结构，引导轨道相对于收纳部而在水平方向延伸设置且被固定于基板，通过使固定有载货部件的引导块相对于引导轨道进行滑动，载货部件就会相对于收纳部而在水平方向上进行移动。
另外，在本发明的上述的物品搬运车中，所述横向移动部具备：第1引导轨道，其被固定于所述基板；第1引导块，其以能够移动的方式与所述引导轨道卡合；第1载货部件，其被固定于所述第1引导块，通过所述第1引导块相对于所述第1引导轨道进行滑动，使得所述第1载货部件相对于所述收纳部而在水平方向上进行移动；第2引导块，其被固定于第1载货部件；第2引导轨道，其以能够移动的方式与所述第2引导块卡合；第2载货部件，其被固定于所述引导轨道，通过所述第2引导轨道相对于所述第2引导块进行滑动，使得所述第2载货部件相对于所述收纳部而在水平方向上进行移动；第3引导轨道，其被固定于所述第2载货部件；第3引导块，其以能够移动的方式与所述第3引导轨道卡合；以及第3载货部件，其被固定于所述第3引导块，通过所述第3引导块相对于所述第3引导轨道进行滑动，所述第3载货部件相对于所述收纳部而在水平方向上进行移动，并且对所述把持部和升降部进行支承。
根据上述构成，第1引导轨道相对于收纳部而在水平方向延伸设置且被固定于基板，通过使固定有第1载货部件的第1引导块相对于第1引导轨道进行滑动，第1～第3的全部载货部件都会相对于收纳部而在水平方向上进行移动。
根据本发明的物品搬运车，采用了如下构成：将引导轨道相对于被固定于收纳部的基板进行固定，使引导块以能够移动的方式与该引导轨道卡合，由此使被固定于引导块的载货部件能够相对于收纳部而在水平方向上进行移动，亦即采用了：使仅固定有引导块的载货部件相对于收纳部而在水平方向上进行移动的构成，因此，能够在确保现有的载货部件的冲程量的同时，使得载货部件的长尺寸方向的长度比使把持部滑移到规定位置所需的长度还要短。因此，能够实现载货部件自身的轻量化，其结果，能够使物品搬运车整体轻量化。
附图说明
图1是示出了：作为本发明所涉及的物品搬运车的一例的顶板搬运车对搬运容器进行移载的样子的图。
图2是同一顶板搬运车的主视图。
图3是示出了：同一顶板搬运车的横向移动部的附近的放大主视图。
图4A是示出了：同一顶板搬运车的横向移动部的动作的放大侧视图。
图4B是示出了：同一顶板搬运车的横向移动部的动作的放大侧视图。
图4C是示出了：同一顶板搬运车的横向移动部的动作的放大侧视图。
图4D是示出了：同一顶板搬运车的横向移动部的动作的放大侧视图。
附图标记说明
10…顶板搬运车(物品搬运车)；11…行驶部；20…主体部；21…收纳部；31…把持部；32…升降部；40…横向移动部；41…基板；42…三级载货部件(第1载货部件)；43…二级载货部件(第2载货部件)；44…初级载货部件(第3载货部件)；45…第1引导轨道；46…第1引导块；47…第2引导块；48…第2引导轨道；49…第3引导轨道；50…第3引导块；92…搬运容器(物品)；94…行驶轨道(行驶路径)。
具体实施方式
首先，对作为本发明所涉及的物品搬运车的一例的顶板搬运车10进行说明。
如图1所示，顶板搬运车10是：用于向处理装置91搬运收纳有工件的搬运容器92(“物品”的一例)的搬运车，其中，处理装置91用于对半导体基板等工件(未图示)进行规定的处理。顶板搬运车10是相对于行驶轨道94(“行驶路径”的一例)以悬空的状态而被安装的，其中，行驶轨道94铺设在半导体器件等制造设备90的顶板93附近。顶板搬运车10在把持搬运容器92的状态下沿着行驶轨道94进行行驶。
顶板搬运车10所搬运的搬运容器92为：大致长方体的箱状的搬运容器。搬运容器92在其内部具有：能够收纳多个工件的多层的载置部。
如图1及图2所示，顶板搬运车10主要由：沿着行驶轨道94行驶的行驶部11、和被行驶部11悬空支承的主体部20构成。
行驶部11以悬空的状态被安装于行驶轨道94。行驶部11通过线性电机等行驶用电机12(能够在洁净室等对洁净度有要求的无尘空间内进行驱动的驱动单元)被驱动，而沿着行驶轨道94进行行驶。行驶部11具有：行驶轮13，其通过行驶用电机12被驱动而在行驶轨道94上沿着搬运方向H进行转动；以及引导轮14，其与行驶轨道94抵接而沿着行驶轨道94来引导行驶部11。
主体部20通过被行驶部11而被悬空支承，从而与行驶部11连结起来。主体部20通过行驶部11的行驶而与行驶部11一体地沿着行驶轨道94进行移动。主体部20具有：收纳搬运容器92的收纳部21、和覆盖收纳部21的盖部22。收纳部21配置在盖部22的内侧。盖部22形成为：横向Y的两侧、以及下方被敞开的门状。因此，收纳部21在横向Y的两侧以及下方而与收纳部21的外侧连通。
主体部20具备移载机构30，该移载机构30在收纳部21与位于收纳部21外侧的处理装置91之间使搬运容器92移动而进行移载。此外，在本实施方式中，所谓搬运容器92的移载是指：使搬运容器92在顶板搬运车10(收纳部21)与处理装置91(交接部91a)之间进行移动。另外，所谓搬运容器92的搬运是指：使搬运容器92从制造设备90内的多个处理装置91(交接部91a)中的成为搬运起始地的处理装置91(交接部91a)移动至成为搬运目的地的其他处理装置91(交接部91a)。
移载机构30具备：把持部31，其把持搬运容器92；升降部32，其使把持部31沿着竖直方向进行升降；以及横向移动部40，其使把持部31在横向Y(与沿着行驶轨道94的搬运容器92的搬运方向交叉的水平方向)进行移动。在顶板搬运车10中，通过把持部31、升降部32和横向移动部40，进行：搬运容器92在顶板搬运车10(收纳部21)与处理装置91(交接部91a)之间的移载。
把持部31从上方对搬运容器92进行把持。把持部31与升降部32的升降带33连结起来。把持部31具有一对把持爪34，该一对把持爪34通过把持用电机(未图示)而被驱动，从而在把持姿势与解除姿势之间切换自如。一对把持爪34通过向相互接近的方向移动而成为对搬运容器92的凸缘部92a进行把持的把持姿势。一对把持爪34通过向相互远离的方向移动而成为对搬运容器92的凸缘部的把持进行解除的解除姿势。
升降部32使搬运容器92在配置有主体部20的盖部22的高度到配置有处理装置91的交接部91a的高度之间进行升降。通过升降用电机(未图示)来驱动升降用滑轮(未图示)，升降部32将多条升降带33同时卷绕起来或者卷出出去，并利用升降带33而使被悬空支承的把持部31进行升降。
横向移动部40被构成为在横向Y上伸缩自如。横向移动部40在收缩的状态下被收纳在主体部20的盖部22的内侧，在拉伸的状态下则有横向移动部40的一部分向盖部22的外侧突出。横向移动部40被安装于主体部20的收纳部21。
横向移动部40具备：基板41、三级载货部件(Tertiary Fork)42(“第1载货部件”的一例)、二级载货部件43(“第2载货部件”的一例)以及初级载货部件44(“第3载货部件”的一例)。
基板41为平板状的部件。基板41被固定在主体部20的收纳部21。基板41对按照三级载货部件42、二级载货部件43、初级载货部件44的顺序而在竖直方向上平行地配置的三个级的载货部件进行支承。
三级载货部件42是配置在基板41侧的载货部件。三级载货部件42由以中央部突出的方式而被弯折成凸状的板部件构成。三级载货部件42形成为：其移动方向(横向Y)的长度比基板41的长度更短。三级载货部件42能够在俯视图中设置有基板41的范围内沿着横向Y进行移动。
二级载货部件43是：配置在三级载货部件42下方的载货部件。二级载货部件43由平板状的部件构成。二级载货部件43形成为：其移动方向(横向Y)的长度比三级载货部件42的移动方向(横向Y)的长度更长、且与基板41的长度大致相同程度的长度。二级载货部件43的移动方向(横向Y)的前端侧能够在横向Y上进行移动，以便二级载货部件43突出成：能够超出俯视图中设置有基板41的范围。
初级载货部件44是：配置在二级载货部件43的下方的载货部件。初级载货部件44对把持部31以及升降部32进行支承。初级载货部件44由平板状的部件构成。初级载货部件44形成为：其移动方向(横向Y)的长度比基板41以及二级载货部件43的移动方向(横向Y)的长度更短、且与三级载货部件42的移动方向(横向Y)的长度相同程度的长度。初级载货部件44能够在俯视图中设置有二级载货部件43的范围内沿着横向Y进行移动。
如图3所示，在基板41的下表面，且在与横向Y水平正交的方向上隔开规定的间隔而平行地配置有2条第1引导轨道45。2条第1引导轨道45被固定在基板41的下表面。第1引导轨道45是：从基板41向下方突出的凸状的轨道部件。第1引导轨道45的长度为：与基板41的长度相同程度，且该第1引导轨道45在横向Y(相对于主体部20的收纳部21为水平方向)上延伸设置。
在2条第1引导轨道45的各个引导轨道上，第1引导块46沿着第1引导轨道45以能够移动的方式进行卡合。第1引导块46为：与第1引导轨道45能够嵌合的凹状的块体。第1引导块46以与第1引导轨道45嵌合的状态进行滑动，由此沿着第1引导轨道45在横向Y上进行移动。
在与2条第1引导轨道45的各个引导轨道卡合的第1引导块46的下部，固定有三级载货部件42。即，三级载货部件42通过与第1引导轨道45卡合的2个第1引导块46而被支承。在三级载货部件42的上表面中央，且在其宽度方向(与长尺寸方向(横向Y)水平正交的方向)的两端部固定有第1引导块46。通过第1引导块46沿着第1引导轨道45移动，三级载货部件42在横向Y上进行移动。
在三级载货部件42的下表面中央，固定有2个第2引导块47。第2引导块47与第1引导块46同样由凹状的块体构成。
这样，在于三级载货部件42的上表面以及下表面，仅固定有引导块(第1引导块46以及第2引导块47)。由此，三级载货部件42只要形成为：能够固定住引导块(第1引导块46以及第2引导块47)的长度即可，不需要：为了将把持部31滑移到规定的位置而在横向Y上延伸从而导致形成得较长。
另外，在二级载货部件43的上表面中央，且在与横向Y水平正交的方向上平行地配置有2条第2引导轨道48。2条第2引导轨道48被固定在二级载货部件43的上表面中央。第2引导轨道48与第1引导轨道45同样，是从二级载货部件43向上方突出的凸状的轨道部件。第2引导轨道48的长度为：与二级载货部件43的长度相同程度，且该第2引导轨道48在横向Y上水平地延伸设置。
在被固定于二级载货部件43上的2条第2引导轨道48的各个引导轨道上，被固定于三级载货部件42的第2引导块47沿着第2引导轨道48以能够移动的方式进行卡合。第2引导轨道48通过在嵌合于第2引导块47的状态下进行滑动，则借助第2引导块47而在横向Y上进行移动。即，二级载货部件43借助第2引导块47而在横向Y上进行移动。
在二级载货部件43的宽度方向(与长尺寸方向(横向Y)水平正交的方向)的下部两端，且在二级载货部件43的宽度方向上隔开规定的间隔而平行地配置有2条第3引导轨道49。第3引导轨道49被固定在二级载货部件43的下部。第3引导轨道49与第1引导轨道45以及第2引导轨道48同样地，是从二级载货部件43向下方突出的凸状的轨道部件。第3引导轨道49的长度为：与二级载货部件43的长度相同程度，且该第3引导轨道49在横向Y上水平地延伸设置。
另外，在初级载货部件44的宽度方向(与长尺寸方向(横向Y)水平正交的方向)的上表面两端，且在初级载货部件44的宽度方向上隔开规定的间隔平行地配置有2个第3引导块50。第3引导块50被固定在初级载货部件44的上表面。第3引导块50与第1引导块46及第2引导块47同样地，由凹状的块体构成。
在被固定于初级载货部件44上的2个第3引导块50的各个引导块中，被固定于二级载货部件43的2条第3引导轨道49以能够移动的方式进行卡合。第3引导块50通过在嵌合于第3引导轨道49的状态下进行滑动，而沿着第3引导轨道49在横向Y上进行移动。亦即，初级载货部件44借助第3引导轨道49而在横向Y上进行移动。此外，与初级载货部件44连结的把持部31以及升降部32借助第3引导轨道49而在横向Y上进行移动。
接下来，对横向移动部40的动作进行说明。
如图4A～图4D所示，横向移动部40通过使三个级的载货部件(三级载货部件42、二级载货部件43、初级载货部件44)阶梯性地在横向Y上移动，而使把持部31以及升降部32在横向Y上进行移动。
如图4A以及图4B所示，横向移动部40通过使固定有三级载货部件42的第1引导块46相对于被固定在基板41的第1引导轨道45而进行滑动，从而使三级载货部件42在横向Y上进行移动。此时，第1引导块46从第1引导轨道45的中央部移动到一端部(设置有处理装置91侧的端部)。三级载货部件42借助第2引导轨道48以及第3引导轨道49、第2引导块47以及第3引导块50，来对二级载货部件43、初级载货部件44、把持部31以及升降部32进行支撑。因此，通过三级载货部件42在横向Y上移动，二级载货部件43、初级载货部件44、把持部31以及升降部32则在横向Y上进行移动。
如图4B以及图4C所示，横向移动部40通过使固定有二级载货部件43的第2引导轨道48相对于被固定在三级载货部件42的第2引导块47而进行滑动，使二级载货部件43进一步在横向Y上进行移动。二级载货部件43借助第3引导轨道49和第3引导块50，来对初级载货部件44、把持部31以及升降部32进行支承。因此，通过二级载货部件43在横向Y上移动，初级载货部件44、把持部31以及升降部32则在横向Y上进行移动。
如图4C以及图4D所示，横向移动部40通过使固定有初级载货部件44的第3引导块50相对于被固定在二级载货部件43的第3引导轨道49而进行滑动，使初级载货部件44进一步在横向Y上进行移动。此时，第3引导块50从第3引导轨道49的中央部移动到一端部(设置有处理装置91侧的端部)。初级载货部件44对把持部31以及升降部32进行支承。由此，通过初级载货部件44在横向Y上移动，把持部31以及升降部32则在横向Y上进行移动。
如上所述，在顶板搬运车10中，采用如下构成：将第1引导轨道45相对于被固定在收纳部21上的基板41而进行固定，并将第1引导块46以能够移动的方式与该第1引导轨道45进行卡合，由此使被固定于第1引导块46的三级载货部件42相对于收纳部21而在水平方向上进行移动，亦即采用了：使仅固定有第1以及第2引导块46、47的三级载货部件42相对于收纳部21而在水平方向上进行移动的构成，由此，能够在确保现有的载货部件的冲程量的同时，使得三级载货部件42的长尺寸方向的长度形成得比使把持部31滑移到规定位置所需的长度还要短。因此，能够实现三级载货部件42自身的轻量化，其结果，能够使顶板搬运车10整体轻量化。
另外，在顶板搬运车10中，由于第1引导块46以能够移动的方式与被固定于基板41的第1引导轨道45进行卡合，所以，通过引导轨道以能够移动的方式与被固定于基板41的引导块进行卡合的构成，能够使把持部31滑移时的第1引导块46、与第3引导块50之间的距离缩短。因此，施加于第1引导块46的负荷会小于：现有的引导轨道以能够移动的方式与引导块进行卡合的构成的负荷，从而能够对滑移时的把持部31进行稳定地支承。
此外，在本实施方式中，横向移动部40的载货部件虽然是由三级载货部件42、二级载货部件43、初级载货部件44这三个级的载货部件来构成的，但并不限定于此，若固定有引导块的载货部件能够相对于被固定在基板的引导轨道进行移动，则也可以由一级或两级的载货部件、或者四级以上的载货部件来构成。
本实施方式中，虽然将搬运容器92的移载目的地以及搬运起始地、搬运目的地设定为处理装置91，但并不限定于此，也可以将搬运容器92的保管库等设定为搬运容器92的移载目的地以及搬运起始地、搬运目的地。

Claims (2)

1.一种物品搬运车，该物品搬运车是沿着行驶路径进行行驶而对物品进行搬运的物品搬运车，其特征在于，
所述物品搬运车具备：
行驶部，其在所述行驶路径上行驶；以及
主体部，其被支承于所述行驶部，
所述主体部具备：
收纳部，其收纳所述物品；
把持部，其对所述物品进行把持；
升降部，其使所述把持部进行升降；以及
横向移动部，其被固定于所述收纳部，并使所述把持部和所述升降部相对于所述收纳部而在水平方向上进行移动，
所述横向移动部具备：
基板，其被固定于所述收纳部；
载货部件，其用于使所述把持部和所述升降部相对于所述收纳部而在水平方向上进行移动；
引导轨道，其相对于所述收纳部而在水平方向上延伸设置；以及
引导块，其以能够移动的方式与所述引导轨道卡合，
所述引导轨道被固定于所述基板，
所述载货部件被固定于所述引导块，
通过所述引导块相对于所述引导轨道进行滑动，使得所述载货部件相对于所述收纳部而在水平方向上进行移动。
2.根据权利要求1所述的物品搬运车，其特征在于，
所述横向移动部具备：
第1引导轨道，其被固定于所述基板；
第1引导块，其以能够移动的方式与所述引导轨道卡合；
第1载货部件，其被固定于所述第1引导块，通过所述第1引导块相对于所述第1引导轨道进行滑动，使得所述第1载货部件相对于所述收纳部而在水平方向上进行移动；
第2引导块，其被固定于第1载货部件；
第2引导轨道，其以能够移动的方式与所述第2引导块卡合；
第2载货部件，其被固定于所述引导轨道，通过所述第2引导轨道相对于所述第2引导块进行滑动，使得所述第2载货部件相对于所述收纳部而在水平方向上进行移动；
第3引导轨道，其被固定于所述第2载货部件；
第3引导块，其以能够移动的方式与所述第3引导轨道卡合；以及
第3载货部件，其被固定于所述第3引导块，通过所述第3引导块相对于所述第3引导轨道进行滑动，所述第3载货部件相对于所述收纳部而在水平方向上进行移动，并且对所述把持部和升降部进行支承。
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