CN114524274A - 运输装置 - Google Patents

运输装置 Download PDF

Info

Publication number
CN114524274A
CN114524274A CN202111386323.5A CN202111386323A CN114524274A CN 114524274 A CN114524274 A CN 114524274A CN 202111386323 A CN202111386323 A CN 202111386323A CN 114524274 A CN114524274 A CN 114524274A
Authority
CN
China
Prior art keywords
transport
brake
electromagnet
permanent magnet
rail
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN202111386323.5A
Other languages
English (en)
Other versions
CN114524274B (zh
Inventor
赵材翼
曹吉铉
赵忠一
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Semes Co Ltd
Original Assignee
Semes Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Semes Co Ltd filed Critical Semes Co Ltd
Publication of CN114524274A publication Critical patent/CN114524274A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN114524274B publication Critical patent/CN114524274B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
    • B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
    • B65G49/07—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for semiconductor wafers Not used, see H01L21/677
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B60—VEHICLES IN GENERAL
    • B60L—PROPULSION OF ELECTRICALLY-PROPELLED VEHICLES; SUPPLYING ELECTRIC POWER FOR AUXILIARY EQUIPMENT OF ELECTRICALLY-PROPELLED VEHICLES; ELECTRODYNAMIC BRAKE SYSTEMS FOR VEHICLES IN GENERAL; MAGNETIC SUSPENSION OR LEVITATION FOR VEHICLES; MONITORING OPERATING VARIABLES OF ELECTRICALLY-PROPELLED VEHICLES; ELECTRIC SAFETY DEVICES FOR ELECTRICALLY-PROPELLED VEHICLES
    • B60L7/00—Electrodynamic brake systems for vehicles in general
    • B60L7/28—Eddy-current braking
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B61—RAILWAYS
    • B61H—BRAKES OR OTHER RETARDING DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR RAIL VEHICLES; ARRANGEMENT OR DISPOSITION THEREOF IN RAIL VEHICLES
    • B61H11/00—Applications or arrangements of braking or retarding apparatus not otherwise provided for; Combinations of apparatus of different kinds or types
    • B61H11/02—Applications or arrangements of braking or retarding apparatus not otherwise provided for; Combinations of apparatus of different kinds or types of self-applying brakes
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B61—RAILWAYS
    • B61H—BRAKES OR OTHER RETARDING DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR RAIL VEHICLES; ARRANGEMENT OR DISPOSITION THEREOF IN RAIL VEHICLES
    • B61H7/00—Brakes with braking members co-operating with the track
    • B61H7/02—Scotch blocks, skids, or like track-engaging shoes
    • B61H7/04—Scotch blocks, skids, or like track-engaging shoes attached to railway vehicles
    • B61H7/06—Skids
    • B61H7/08—Skids electromagnetically operated
    • B61H7/083—Skids electromagnetically operated working with eddy currents
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B61—RAILWAYS
    • B61H—BRAKES OR OTHER RETARDING DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR RAIL VEHICLES; ARRANGEMENT OR DISPOSITION THEREOF IN RAIL VEHICLES
    • B61H9/00—Brakes characterised by or modified for their application to special railway systems or purposes
    • B61H9/02—Brakes characterised by or modified for their application to special railway systems or purposes for aerial, e.g. rope, railways
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B61—RAILWAYS
    • B61L—GUIDING RAILWAY TRAFFIC; ENSURING THE SAFETY OF RAILWAY TRAFFIC
    • B61L15/00—Indicators provided on the vehicle or train for signalling purposes
    • B61L15/0058—On-board optimisation of vehicle or vehicle train operation
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B61—RAILWAYS
    • B61L—GUIDING RAILWAY TRAFFIC; ENSURING THE SAFETY OF RAILWAY TRAFFIC
    • B61L15/00—Indicators provided on the vehicle or train for signalling purposes
    • B61L15/0081—On-board diagnosis or maintenance
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G1/00—Storing articles, individually or in orderly arrangement, in warehouses or magazines
    • B65G1/02—Storage devices
    • B65G1/04—Storage devices mechanical
    • B65G1/0457—Storage devices mechanical with suspended load carriers
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G35/00—Mechanical conveyors not otherwise provided for
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G43/00—Control devices, e.g. for safety, warning or fault-correcting
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G9/00—Apparatus for assisting manual handling having suspended load-carriers movable by hand or gravity
    • B65G9/008—Rails or switches
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16D—COUPLINGS FOR TRANSMITTING ROTATION; CLUTCHES; BRAKES
    • F16D63/00—Brakes not otherwise provided for; Brakes combining more than one of the types of groups F16D49/00 - F16D61/00
    • F16D63/008—Brakes acting on a linearly moving member
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67242—Apparatus for monitoring, sorting or marking
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67242—Apparatus for monitoring, sorting or marking
    • H01L21/67259—Position monitoring, e.g. misposition detection or presence detection
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67706—Mechanical details, e.g. roller, belt
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67709—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations using magnetic elements
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67724—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations by means of a cart or a vehicule
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/6773—Conveying cassettes, containers or carriers
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67733—Overhead conveying
    • H—ELECTRICITY
    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
    • H02K49/00—Dynamo-electric clutches; Dynamo-electric brakes
    • H02K49/02—Dynamo-electric clutches; Dynamo-electric brakes of the asynchronous induction type
    • H02K49/04—Dynamo-electric clutches; Dynamo-electric brakes of the asynchronous induction type of the eddy-current hysteresis type
    • H02K49/046—Dynamo-electric clutches; Dynamo-electric brakes of the asynchronous induction type of the eddy-current hysteresis type with an axial airgap
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B60—VEHICLES IN GENERAL
    • B60L—PROPULSION OF ELECTRICALLY-PROPELLED VEHICLES; SUPPLYING ELECTRIC POWER FOR AUXILIARY EQUIPMENT OF ELECTRICALLY-PROPELLED VEHICLES; ELECTRODYNAMIC BRAKE SYSTEMS FOR VEHICLES IN GENERAL; MAGNETIC SUSPENSION OR LEVITATION FOR VEHICLES; MONITORING OPERATING VARIABLES OF ELECTRICALLY-PROPELLED VEHICLES; ELECTRIC SAFETY DEVICES FOR ELECTRICALLY-PROPELLED VEHICLES
    • B60L2200/00—Type of vehicles
    • B60L2200/26—Rail vehicles
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G2201/00—Indexing codes relating to handling devices, e.g. conveyors, characterised by the type of product or load being conveyed or handled
    • B65G2201/02—Articles
    • B65G2201/0297—Wafer cassette
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16D—COUPLINGS FOR TRANSMITTING ROTATION; CLUTCHES; BRAKES
    • F16D2121/00—Type of actuator operation force
    • F16D2121/18—Electric or magnetic
    • F16D2121/20—Electric or magnetic using electromagnets

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Transportation (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Biomedical Technology (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Electric Propulsion And Braking For Vehicles (AREA)
  • Non-Mechanical Conveyors (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

运输装置包括沿预定路径延伸的运输轨道，配置为能沿运输轨道移动以运输材料的运输车辆，以及安装在运输车辆上以与运输轨道相邻并配置为对运输车辆施加涡流制动力的制动单元。

Description

运输装置
技术领域
本公开内容涉及运输装置。更具体地，本公开内容涉及诸如用于在半导体设备制造过程中运输材料的高空提升运输(OHT)的运输装置。
背景技术
在半导体设备的制造过程中，诸如半导体晶圆、印刷电路板等材料可由运输设备运输，如高空提升运输(OHT)、轨道导向车(RGV)、自动导向车(AGV)等。
例如，OHT装置可以包括被配置为可沿着安装在净室的天花板部分上的运输轨道移动的运输车辆。运输车辆可包括被配置为可在运输轨道上移动的驱动模块和与驱动模块的下部分连接的提升模块。
驱动模块可以包括前驱动单元，其包括设置在运输轨道上的前轮和用于使前轮旋转的前马达，以及后驱动单元，其包括设置在运输轨道上的后轮和用于使后轮旋转的后马达。
提升模块可以包括手部单元，用于拿取容器，诸如用于运输材料(例如半导体晶圆)的前开式晶圆传送盒(FOUP)，以及用于使用提升带手部单元的提升单元。
同时，当运输车辆沿着运输轨道移动时，可能会产生振动，并且该振动可能导致运输车辆和材料的损坏。此外，当运输车辆移动时需要突然制动时，运输车辆的突然制动的过载可能被施加到前马达和后马达上，从而导致前马达和后马达的损坏和振动。
发明内容
本发明的实施例提供了一种能够减少运输车辆振动的运输装置。
根据本发明的一个方面，一种运输装置可以包括沿预定路径延伸的运输轨道、配置为可沿运输轨道移动以运输材料的运输车辆，以及安装在运输车辆上以与运输轨道相邻并配置为对运输车辆施加涡流制动力的制动单元。
根据本发明的一些实施例，运输装置可以进一步包括安装在运输车辆上并被配置为感测运输车辆的振动的振动传感器，以及用于基于来自振动传感器的信号控制制动单元的操作的制动控制器。
根据本发明的一些实施例，制动单元可以包括安装在运输车辆上以与运输轨道相邻的电磁铁，以及用于对电磁铁施加制动电流的电源。在这种情况下，制动控制器可以根据来自振动传感器的信号控制电源的运行。
根据本发明的一些实施例，制动单元可以包括安装在运输车辆上以与运输轨道相邻的永磁体，以及用于调整运输轨道和永磁体之间的间隙的磁体驱动单元。在这种情况下，制动控制器可以根据来自振动传感器的信号控制磁体驱动单元的操作。
根据本发明的另一个方面，运输装置可以包括沿预定运输路径相互平行延伸的第一运输轨道和第二运输轨道，运输车辆包括设置在第一运输轨道和第二运输轨道上并被配置为可沿第一运输轨道和第二运输轨道移动的驱动模块，以及与驱动模块连接并被配置为提升材料的提升模块，以及安装在驱动模块上以与第一运输轨道和第二运输轨道相邻并被配置为对驱动模块施加涡流制动力的制动单元。
根据本发明的一些实施例，驱动模块可以包括前驱动单元，其包括分别设置在第一运输轨道和第二运输轨道上的前轮，以及后驱动单元，其包括分别设置在第一运输轨道和第二运输轨道上的后轮，并且制动单元可以包括安装在前驱动单元上的前制动单元，以及安装在后驱动单元上的后制动单元。
根据本发明的一些实施例，运输装置可以进一步包括安装在前驱动单元上并被配置为感测前驱动单元的振动的前振动传感器，安装在后驱动单元上并被配置为感测后驱动单元的振动的后振动传感器，以及用于基于来自前振动传感器的信号控制前制动单元的操作和基于来自后振动传感器的信号控制后制动单元的操作的制动控制器。
根据本发明的一些实施例，前制动单元可以包括与第一运输轨道相邻设置的第一电磁铁、与第二运输轨道相邻设置的第二电磁铁，以及用于将第一制动电流施加到第一电磁铁和第二电磁铁的第一电源。后制动单元可以包括与第一运输轨道相邻设置的第三电磁铁，与第二运输轨道相邻设置的第四电磁铁，以及用于向第三电磁铁和第四电磁铁施加第二制动电流的第二电源。在这种情况下，制动控制器可以分别基于来自第一振动传感器和第二振动传感器的信号控制第一制动电流和第二制动电流。
根据本发明的一些实施例，前制动单元可以包括与第一运输轨道相邻设置的第一永磁体、与第二运输轨道相邻设置的第二永磁体，以及用于调整第一运输轨道与第一永磁体之间的间隙以及第二运输轨道与第二永磁体之间的间隙的第一磁体驱动单元。后制动单元可以包括与第一运输轨道相邻设置的第三永磁体，与第二运输轨道相邻设置的第四永磁体，以及用于调整第一运输轨道与第三永磁体之间的间隙以及第二运输轨道与第四永磁体之间的间隙的第二磁体驱动单元。在这种情况下，制动控制器可以分别基于来自第一振动传感器和第二振动传感器的信号来控制第一磁体驱动单元和第二磁体驱动单元的操作。
根据本发明的一些实施例，前制动单元可以包括与第一运输轨道相邻设置的第一永磁体、设置在第一永磁体一侧上的第一电磁铁、将第一永磁体和第一电磁铁的两端相互连接的第一磁极件。与第二运输轨道相邻设置的第二永磁体，设置在第二永磁体一侧上的第二电磁铁，将第二永磁体和第二电磁铁的两端相互连接的第二磁极件，以及用于向第一电磁铁和第二电磁铁施加第一制动电流的第一电源。后制动单元可以包括与第一运输轨道相邻设置的第三永磁体、设置在第三永磁体一侧上的第三电磁铁、将第三永磁体和第三电磁铁的两端相互连接的第三磁极件、与第二运输轨道相邻设置的第四永磁体、设置在第四永磁体一侧的上第四电磁铁、将第四永磁体和第四电磁铁的两端相互连接的第四磁极件，以及用于向第三电磁铁和第四电磁铁施加第二制动电流的第二电源。在这种情况下，制动控制器可分别基于第一振动传感器和第二振动传感器的信号控制第一制动电流和第二制动电流。
根据本发明的一些实施例，运输装置可以进一步包括安装在运输车辆的前部的障碍物检测传感器，并且其被配置为检测运输车辆前面的障碍物，以及制动控制器，其被配置为控制制动单元的操作，以便当运输车辆移动时由障碍物检测传感器检测到障碍物时，涡流制动力被制动单元施加到驱动模块。
根据本发明的一些实施例，运输装置可以进一步包括安装在提升模块上以与第一运输轨道和第二运输轨道相邻并且被配置为向提升模块施加涡流制动力的第二制动单元。
根据本发明的一些实施例，运输装置可以进一步包括安装在提升模块上并被配置为感测提升模块的振动的下部振动传感器，以及用于基于来自下部振动传感器的信号控制第二制动单元的操作的制动控制器。
根据本发明的一些实施例，驱动模块可以包括前驱动单元，其包括分别设置在第一运输轨道和第二运输轨道上的前轮、用于旋转前轮的前马达以及用于控制前马达的扭矩的前伺服驱动器；后驱动单元，包括分别设置在第一运输轨道和第二运输轨道上的后轮、用于旋转后轮的后马达以及用于控制后马达的扭矩的后伺服驱动器；以及用于向前伺服驱动器和后伺服驱动器提供扭矩指令的运动控制器。
根据本发明的一些实施例，前驱动单元可以进一步包括用于测量前马达的转数的前编码器，并且后驱动单元可以进一步包括用于测量后马达的转数的后编码器。在这种情况下，运动控制器可以基于前编码器、后编码器中任何一个的信号，以反馈方式控制前马达、后马达的操作。
根据本发明的一些实施例，当运输车辆加速或运输车辆在第一运输轨道和第二运输轨道的上坡部分向上移动时，运动控制器可以基于来自前编码器的信号以反馈方式控制前马达和后马达的操作。
根据本发明的一些实施例，运动控制器可以当运输车辆减速或运输车辆在第一运输轨道和第二运输轨道的下坡部分向下移动时，运动控制器可以基于来自后部编码器的信号以反馈方式控制前马达和后马达的操作。
根据本发明的一些实施例，运输装置可以进一步包括用于控制制动单元的操作的制动控制器。在这种情况下，运动控制器可以向制动控制器提供制动指令以使运输车辆减速或停止，并且制动控制器可以控制制动单元的操作，以便根据制动指令将涡流制动力施加到驱动模块。
根据本发明的一些实施例，运输装置可以进一步包括安装在运输车辆的前部的障碍物检测传感器，并且被配置为检测运输车辆前面的障碍物，以及用于控制制动单元的操作的制动控制器。在这种情况下，运动控制器可以向制动控制器提供制动指令，以便在障碍物检测传感器检测到障碍物时使运输车辆减速或停止，并且制动控制器可以控制制动单元的操作，以便根据制动指令将涡流制动力施加到驱动模块。
根据本发明的另一个方面，运输装置可以包括沿着预定的运输路径彼此平行延伸的第一运输轨道和第二运输轨道，运输车辆包括设置在第一运输轨道和第二运输轨道上并被配置为可沿着第一运输轨道和第二运输轨道移动的驱动模块，以及与驱动模块连接并被配置为提升材料的提升模块。安装在驱动模块上以与第一运输轨道和第二运输轨道相邻，并被配置为对驱动模块施加涡流制动力的制动单元；安装在提升模块上，以与第一运输轨道和第二运输轨道相邻并被配置为对提升模块施加涡流制动力的第二制动单元；安装在运输车辆上被配置为感测运输车辆的振动的至少一个振动传感器；以及用于基于来自至少一个振动传感器的信号，控制制动单元和第二制动单元的操作的制动控制器。
根据如上所述的本发明的实施例，通过前制动单元和后制动单元提供的涡流制动力可以减少运输车辆运动期间产生的振动。此外，当需要对运输车辆进行减速或停车时，通过前制动单元和后制动单元可以显著减少对运输车辆进行制动所需的时间。具体地，当需要对运输车辆进行突然制动时，前制动单元、后制动单元可以缩短制动时间，并且前制动单元、后制动单元可以显著减少运输车辆的振动。
上述对本发明的概述并不旨在描述本发明每个说明性的实施例或每种实施方式。下文的详细描述和权利要求书更具体地例举了这些实施例。
附图说明
本发明的实施例可以从以下结合附图的描述中更详细地理解，其中：
图1是说明根据本发明的实施例的运输装置的示意性侧视图；
图2是说明如图1所示的运输装置的示意性主视图；
图3是说明如图1所示的驱动模块的示意性平面图；
图4是说明用于控制如图1所示的前马达和后马达的操作的运动控制器的方框图；
图5是说明如图1所示的前制动单元和后制动单元的方框图；
图6是说明如图4和图5所示的操作运动控制器和制动控制器的另一示例的方框图；
图7是说明如图1所示的前制动单元和后制动单元的另一示例的方框图；
图8是说明如图1所示的前制动单元和后制动单元的另一示例的方框图；
图9是说明如图8所示的前制动单元的示意图；以及
图10是说明如图8所示的后制动单元的示意图。
虽然各种实施例可进行各种修改和替代形式，但其具体细节已在附图中以示例方式示出，并将进行详细描述。然而，应当理解的是，本发明的意图不是将所要求的发明限制在所描述的特定实施例中。相反，其意图是涵盖所有属于权利要求书所限定的主题的精神和范围内的修改、等同物和替代物。
具体实施方式
在下文中，参照附图更详细地描述本发明的实施例。然而，本发明并不限于下文描述的实施例，而是以各种其他形式实施。提供下文的实施例不是为了完全完成本发明，而是为了向本领域的技术人员充分传达本发明的范围。
在说明书中，当一个组件被称为在另一个组件或层上或与之相连时，它可以直接在另一个组件或层上或与之相连，或者也可以存在一个介入的组件或层。与此不同的是，当一个组件被称为直接在另一个组件或层上或直接连接到另一个组件或层时，它意味着没有中间组件存在。另外，尽管像第一、第二和第三这样的术语被用来描述本发明各实施例中的各种区域和层，但这些区域和层并不限于这些术语。
下文使用的术语只是用来描述具体的实施例，但并不限制本发明。此外，除非此处另有定义，所有术语包括技术或科学术语，都可以具有本领域技术人员普遍理解的相同含义。
本发明的实施例是参照理想实施例的示意图来描述的。因此，制造方法的变化和/或允许的误差可以从附图的形式中得到预期。因此，本发明的实施例的描述不限于图中的具体形式或区域，并包括形式的偏差。这些区域可能完全是示意性的，它们的形式可能没有描述或描绘出任何特定区域的准确形式或结构，并且不旨在限制本发明的范围。
图1是说明根据本发明的实施例的运输装置的示意性侧视图。图2是说明如图1所示的运输装置的示意性主视图，图3是说明如图1所示的驱动模块的示意性平面图。
参照图1至图3，根据本发明的实施例，运输装置100可用于在半导体设备制造过程中运输材料10，诸如半导体晶圆或印刷电路板。例如，运输装置100可以是OHT装置，并可用于运输诸如容纳半导体晶圆的FOUP、容纳印刷电路板的料仓，等等的容器10。
运输装置100可以包括沿净室中的预定路径延伸的运输轨道102，以及配置为可沿运输轨道102移动的运输车辆104。运输车辆104可以包括被配置为可在运输轨道102上移动的驱动模块110，以及连接到驱动模块110的下部分并被配置为提升材料10的提升模块140。例如，运输装置100可以包括沿预定运输路径相互平行延伸的第一运输轨道102A和第二运输轨道102B，并且驱动模块110可以包括前驱动单元120，其包括分别设置在第一运输轨道102A和第二运输轨道102B上的前轮122，以及后驱动单元130，包括分别设置在第一运输轨道102A和第二运输轨道102B上的后轮132。
前驱动单元120可以包括用于旋转前轮122的前马达124和用于向前马达124施加驱动电流的前伺服驱动器128(参照图4)。后驱动单元130可包括用于旋转后轮132的后马达134和用于向后马达134施加驱动电流的后伺服驱动器138(参照图4)。此外，前驱动单元120可包括用于测量前马达124的转数的前编码器126(参照图4)，以及后驱动单元130可包括用于测量后马达134的转数的后编码器136(参照图4)。
提升模块140可以连接到前驱动单元120和后驱动单元130的下部分，并且可以包括具有用于容纳材料10的内部空间的壳体142和设置在壳体142中并且用于提升材料10的提升单元144。提升单元144可以包括用于抓取材料10的手部单元146，并且可以使用提升带(未示出)垂直移动手部单元146。
图4是说明用于控制如图1所示的前马达和后马达的操作的运动控制器的方框图。
参照图4，前马达124和后马达134的操作可以由运动控制器150控制。运动控制器150可以通过使用从上级控制器诸如OHT控制系统(OCS)提供的位置指令来生成用于控制前马达124和后马达134的操作的速度曲线，并且可以使用速度曲线执行前马达124和后马达134的位置控制和速度控制。此外，运动控制器150可以向前伺服驱动器128和后伺服驱动器138提供扭矩指令。前伺服驱动器128和后伺服驱动器138可根据扭矩指令将驱动电流应用于前马达124和后马达134，并可对驱动电流执行反馈控制。
具体地，运动控制器150可以基于来自前编码器126或后编码器136的信号的反馈方式控制前马达124和后马达134的操作。例如，运动控制器150可以选择前编码器126和后编码器136中的任何一个，并且可以基于从选定的编码器(126或136)接收的信号的反馈方式控制前马达124和后马达134的操作。
例如，当运输车辆104加速时，由于惯性而施加到前轮122的载荷可能大于施加到后轮132的载荷。结果，与后轮132的抓地力相比，前轮122的抓地力可能增加，因此，与后轮132相比，前轮122的打滑现象，即，前轮122在第一运输轨道102A和第二运输轨道102B上的打滑现象可能减少。相应地，当运输车辆104加速时，运动控制器150可以基于来自前编码器126的信号，以反馈方式控制前马达124和后马达134的操作。此外，当运输车辆104在第一运输轨道102A和第二运输轨道102B的上坡部分中向上移动时，施加在前轮122上的载荷可因运输车辆104的重量而增加，因此，运动控制器150可基于来自前编码器126的信号以反馈方式控制前马达124和后马达134的操作。
作为另一示例，当运输车辆104减速时，由于惯性而施加到后轮132的载荷可能大于施加到前轮122的载荷。结果，与前轮122的抓地力相比，后轮132的抓地力可能增加，因此，与前轮122相比，后轮132的打滑现象，即，后轮132在第一运输轨道102A和第二运输轨道102B上的打滑现象可能减少。相应地，当运输车辆104减速时，运动控制器150可以基于来自后部编码器136的信号，以反馈方式控制前马达124和后马达134的操作。此外，当运输车辆104在第一运输轨道102A和第二运输轨道102B的下坡路段中向下移动时，施加到后轮132的载荷可因运输车辆104的重量而增加，因此，运动控制器150可基于来自后编码器136的信号，以反馈方式控制前马达124和后马达134的操作。
另一方面，当运输车辆104保持恒定速度时，施加到前轮122的载荷和施加到后轮132的载荷彼此相似，因此，运动控制器150可以选择性地使用前编码器126和后编码器136中的任何一个。例如，当运输车辆104保持恒定速度时，运动控制器150可以使用来自前编码器126的信号，以反馈方式控制前马达124和后马达134的操作。
如上所述，前和后马达124和134的操作可以根据连接到具有相对较少打滑现象的车轮(122或132)的马达(124或134)的转数来控制。因此，可能由前轮122和/或后轮132的打滑现象引起的运输车辆104的振动可被大大减少。
再次参考图1至图3，根据本发明的实施例，运输装置100可以包括安装在驱动模块110上以与第一运输轨道102A和第二运输轨道102B相邻，并且用于向驱动模块110施加涡流制动力的制动单元160和170。例如，运输装置100可以包括安装在前驱动单元120上的前制动单元160和安装在后驱动单元130上的后制动单元170。
图5是说明如图1所示的前制动单元和后制动单元的方框图。
参照图5，前制动单元160和后制动单元170可以包括与第一运输轨道102A和第二运输轨道102B相邻设置的电磁铁162、164、172和174，以及用于将制动电流施加到电磁铁162、164、172和174的电源166和176。此外，运输装置100可以包括安装在前驱动单元120上并被配置为感测前驱动单元120的振动的前振动传感器182，安装在后驱动单元130上并被配置为感测后驱动单元130的振动的后振动传感器184，以及用于根据来自前振动传感器182的信号控制前制动单元160的操作并根据来自后振动传感器184的信号控制后制动单元170的操作的制动控制器180。
例如，前制动单元160可以包括与第一运输轨道102A相邻设置的第一电磁铁162、与第二运输轨道102B相邻设置的第二电磁铁164、以及用于将第一制动电流施加到第一电磁铁162和第二电磁铁164的第一电源166。后制动单元170可以包括与第一运输轨道102A相邻设置的第三电磁铁172，与第二运输轨道102B相邻设置的第四电磁铁174，以及用于向第三电磁铁172和第四电磁铁174施加第二制动电流的第二电源176。制动控制器180可以分别根据来自第一振动传感器182和第二振动传感器184的信号控制第一制动电流和第二制动电流。
第一电磁铁162和第三电磁铁172可以被设置成与第一运输轨道102A的上表面间隔开预定的距离，并且第二电磁铁164和第四电磁铁174可以被设置成与第二运输轨道102B的上表面间隔开预定的距离。作为另一示例，尽管未示出，第一电磁铁162和第三电磁铁172可以被设置成与第一运输轨道102A的内表面隔开预定的距离，而第二电磁铁164和第四电磁铁174可以被设置成与第二运输轨道102B的内表面隔开预定的距离。
当运输车辆104正在移动时，前驱动单元120的振动可以由前振动传感器182测量。制动控制器180可以根据由前振动传感器182测量的振动信号向第一电源166提供第一控制信号，并且第一电源166可以根据第一控制信号向第一电磁铁162和第二电磁铁164施加第一制动电流。通过施加第一制动电流，第一电磁铁162和第二电磁铁164可以产生第一涡流制动力，因此前驱动单元120的振动可以通过第一涡流制动力迅速消除。具体地，制动控制器180可以基于来自前振动传感器182的信号以反馈方式控制第一制动电流。
进一步，当运输车辆104移动时，后驱动单元130的振动可以由后振动传感器184测量。制动控制器180可以根据由后振动传感器184测量的振动信号向第二电源176提供第二控制信号，并且第二电源176可以根据第二控制信号向第三电磁铁172和第四电磁铁174施加第二制动电流。通过施加第二制动电流，第三电磁铁172和第四电磁铁174可产生第二涡流制动力，因此，后驱动单元130的振动可通过第二涡流制动力快速消除。具体地，制动控制器180可以基于来自后振动传感器184的信号以反馈方式控制第二制动电流。
根据本发明的实施例，运输装置100可以包括安装在运输车辆104的前部的障碍物检测传感器190，并且其被配置为检测运输车辆104前面的障碍物。例如，障碍物检测传感器190可以安装在提升模块140的前表面部分上，并且可以检测在运输车辆104前面以低速移动或处于静止状态的前面的运输车辆(未示出)。
当障碍物检测传感器190检测到障碍物时，障碍物检测传感器190的检测信号可以被传送到制动控制器180。在这种情况下，制动控制器180可以控制前制动单元160和后制动单元170的操作以使运输车辆104减速或停止。具体而言，制动控制器180可根据障碍物检测传感器190的信号控制前制动单元160和后制动单元170的操作，以便将第一涡流制动力和第二涡流制动力分别施加到前驱动单元120和后驱动单元130。
进一步，如图4所示，障碍物检测传感器190的信号可以被传送到运动控制器150。在这种情况下，运动控制器150可以生成用于使运输车辆104减速或停止的速度曲线，并且可以使用该速度曲线控制前马达124和后马达134的操作，使得运输车辆104减速或停止。具体地，运输车辆104可以通过前制动单元160和后制动单元170比现有技术更快地减速或停止。此外，运输车辆104减速或停止期间产生的振动可由前制动单元160和后制动单元170迅速消除。
图6是说明如图4和5所示的操作运动控制器和制动控制器的另一示例的方框图。
参照图6，运动控制器150可以产生用于控制前马达124和后马达134的操作的扭矩指令，并且可以将扭矩指令提供给前伺服驱动128和后伺服驱动138，以使运输车辆104减速或将运输车辆104停止在预定位置。此外，运动控制器150可以向制动控制器180提供用于运输车辆104的减速或停止的制动指令。制动控制器180可以根据制动命令控制前制动单元160和后制动单元170的操作，以便将第一涡流制动力和第二涡流制动力施加到前驱动单元120和后驱动单元130。
此外，当由障碍物检测传感器190检测到障碍物时，运动控制器150可以控制前马达124和后马达134的操作以使运输车辆104减速或停止，并且可以向制动控制器180提供用于使运输车辆104减速或停止的制动指令。制动控制器180可根据制动指令控制前制动单元160和后制动单元170的操作，以便将第一涡流制动力和第二涡流制动力施加到前驱动单元120和后驱动单元130。因此，可以防止运输车辆104和障碍物之间的碰撞。
具体地，当前面的运输车辆在运输车辆104的前面处于静止状态时，可能需要对运输车辆104进行突然制动。在这种情况下，运输车辆104可以由运动控制器150和制动控制器180突然制动。即使当运输车辆104如上所述被突然制动时，运输车辆104的振动可由前制动单元160和后制动单元170减少，从而可充分防止由于突然制动而对材料10的损坏。
再次参考图1至图3，运输装置100可以包括安装在提升模块140上以与第一运输轨道102A和第二运输轨道102B相邻，并用于向提升模块140施加涡流制动力的第二制动单元200。第二制动单元200可用于减少提升模块140的振动，并且第二制动单元200的操作可由制动控制器180控制。
例如，用于检测提升模块140的振动的下部振动传感器210可以安装在提升模块140上，并且制动控制器180可以根据下部振动传感器210的测量信号来控制第二制动单元200的操作。作为示例，第二制动单元200可以包括设置成与提升模块140上的第一运输轨道102A和第二运输轨道102B相邻的下部电磁铁(未示出)，以及用于将制动电流施加到下部电磁铁的下部电源(未示出)。制动控制器180可以根据来自下部振动传感器210的测量信号控制施加到下部电磁铁的制动电流。
图7是说明如图1所示的前制动单元和后制动单元的另一示例的方框图。
参照图7，前制动单元160具有与第一运输轨道102A相邻设置的第一永磁体220、与第二运输轨道102B相邻设置的第二永磁体222，以及用于调整第一运输轨道102A和第一永磁体220之间的间隙以及第二运输轨道102B和第二永磁体222之间的间隙的第一磁体驱动单元224。例如，第一永磁体220可以被设置成与第一运输轨道102A的上表面或内表面间隔预定的距离，而第二永磁体222可以被设置成与第二传输轨道102B的上表面或内表面间隔预定的距离。第一磁体驱动单元224可以使用线性马达、电磁致动器等调整第一运输轨道102A与第一永磁体220之间的间隙以及第二运输轨道102B与第二永磁体222之间的间隙。
后制动单元170可以包括与第一运输轨道102A相邻设置的第三永磁体230、与第二运输轨道102B相邻设置的第四永磁体232以及用于调整第一运输轨道102A和第三永磁体230之间的间隙以及第二运输轨道102B和第四永磁体232之间的间隙的第二磁体驱动单元234。例如，第三永磁体230可以被设置成与第一运输轨道102A的上表面或内表面间隔预定的距离，而第四永磁体232可以被设置成与第二运输轨道102B的上表面或内表面间隔预定的距离。第二磁体驱动单元234可以使用线性马达、电磁致动器等调整第一运输轨道102A与第三永磁体230之间的间隙以及第二运输轨道102B与第四永磁体232之间的间隙。
第一电源166可以为第一磁体驱动单元224的操作提供第一驱动电流，并且第二电源176可以为第二磁体驱动单元234的操作提供第二驱动电流。制动控制器180可以根据前振动传感器182和后振动传感器184的信号分别向第一电源166和第二电源176提供用于控制第一磁体驱动单元224和第二磁体驱动单元234的操作的控制信号。
图8是说明如图1所示的前制动单元和后制动单元的另一示例的方框图。图9是说明如图8所示的前制动单元的示意图，以及图10是说明如图8所示的后制动单元的示意图。
参照图8至图10，前制动单元160可以包括与第一运输轨道102A相邻设置的第一永磁体240、设置在第一永磁体240的一侧上的第一电磁铁242、设置在第一永磁体240一侧上的第一电磁铁242、将第一永磁体240和第一电磁铁242的两端相互连接的第一磁极件244和246、与第二运输轨道102B相邻设置的第二永磁体250、设置在第二永磁体250的一侧上的第二永磁体252、将第二永磁体250和第二电磁铁252的两端相互连接的第二磁极件254和256。
后制动单元170可以包括与第一运输轨道102A相邻设置的第三永磁体260、设置在第三永磁体260的一侧上的第三电磁铁262、将第三永磁体260和第三电磁铁262的两端相互连接的第三磁极件264和266、与第二运输轨道102B相邻设置的第四永磁体270、设置在第四永磁体270的一侧上的第四电磁铁272、将第四永磁体270和第四电磁铁272两端相互连接的第四磁极件274和276。
第一电源166可以对第一电磁铁242和第二电磁铁252施加第一制动电流，并且第二电源176可以对第三电磁铁262和第四电磁铁272施加第二制动电流。制动控制器180可以分别根据来自前部振动传感器182和后部振动传感器184的信号控制第一制动电流和第二制动电流。
具体地，当障碍物检测传感器190检测到障碍物时，为了快速制动运输车辆104，制动控制器180可以控制第一制动电流和第二制动电流，以便由第一电磁铁242、第二电磁铁252、第三电磁铁262和第四电磁铁272形成的磁场分别与由第一永磁体240、第二永磁体250、第三永磁体260和第四永磁体270形成的磁场重叠，如图9中所示。因此，制动运输车辆104所需的时间可以显著减少。
作为另一示例，当运输车辆104正常移动时，为了消除由第一永磁体240、第二永磁体250、第三永磁体260和第四永磁体270产生的涡流制动力，制动控制器180可以控制第一制动电流和第二制动电流，以便由第一永磁体240、第二永磁体250、第三永磁体260和第四永磁体270形成的磁场分别被第一电磁铁242、第二电磁铁252、第三电磁铁262和第四电磁铁272形成的磁场抵消。
根据如上所述的本发明的实施例，运输车辆104运动期间产生的振动可以通过前制动单元160和后制动单元170提供的涡流制动力而减少。此外，当需要对运输车辆104进行减速或停车时，通过前制动单元160和后制动单元170可以显著减少对运输车辆104进行制动的时间。特别是，当需要对运输车辆104进行突然制动时，可通过前制动单元160和后制动单元170缩短制动时间，并且可通过前制动单元160和后制动单元170快速消除在运输车辆104的突然制动期间产生的振动。
尽管本发明的示例性实施例已经参照具体实施例进行了描述，但它们并不限于此。因此，本领域的技术人员将很容易理解，在不脱离所附权利要求的精神和范围的情况下，可以对其进行各种修改和变化。

Claims (20)

1.运输装置，其包括：
沿预定路径延伸的运输轨道；
配置为能沿所述运输轨道移动以运输材料的运输车辆；以及
安装在所述运输车辆上以与所述运输轨道相邻并被配置为对所述运输车辆施加涡轮电流制动力的制动单元。
2.如权利要求1所述的运输装置，其进一步包括：
安装在所述运输车辆上并配置为感测所述运输车辆的振动的振动传感器；以及
用于根据来自所述振动传感器的信号控制所述制动单元的操作的制动控制器。
3.如权利要求2所述的运输装置，其中所述制动单元包括：
安装在所述运输车辆上以与所述运输轨道相邻的电磁铁；以及
用于对所述电磁铁施加制动电流的电源，并且
所述制动控制器基于来自所述振动传感器的信号控制所述电源的运行。
4.如权利要求2所述的运输装置，其中所述制动单元包括：
安装在所述运输车辆上以与所述运输轨道相邻的永磁体；以及
用于调整所述运输轨道和所述永磁体之间的间隙的磁体驱动单元，并且
所述制动控制器基于来自所述振动传感器的信号控制所述磁体驱动单元的操作。
5.运输装置，其包括：
沿预定运输路径相互平行延伸的第一运输轨道和第二运输轨道；
运输车辆，包括设置在所述第一运输轨道和第二运输轨道上并被配置为能沿所述第一运输轨道和所述第二运输轨道移动的驱动模块，以及与所述驱动模块连接并被配置为提升材料的提升模块；以及
安装在所述驱动模块上以与所述第一运输轨道和所述第二运输轨道相邻并被配置为对所述驱动模块施加涡流制动力的制动单元。
6.如权利要求5所述的运输装置，其中所述驱动模块包括：
前驱动单元，其包括分别设置在所述第一运输轨道和所述第二运输轨道上的前轮；以及
后驱动单元，其包括分别设置在所述第一运输轨道和所述第二运输轨道上的后轮，并且
所述制动单元包括：
安装在所述前驱动单元上的前制动单元，以及安装在所述后驱动单元上的后制动单元。
7.如权利要求6所述的运输装置，其进一步包括：
安装在所述前驱动单元上并被配置为感测所述前驱动单元的振动的前振动传感器；
安装在所述后驱动单元上并被配置为感测所述后驱动单元的振动的后振动传感器；以及
用于基于来自所述前振动传感器的信号控制所述前制动单元的操作和基于来自所述后振动传感器的信号控制所述后制动单元的操作的制动控制器。
8.如权利要求7所述的运输装置，其中所述前制动单元包括：
与所述第一运输轨道相邻设置的第一电磁铁；
与所述第二运输轨道相邻设置的第二电磁铁；以及
用于将第一制动电流施加到所述第一电磁铁和所述第二电磁铁的第一电源，
所述后制动单元包括：
与所述第一运输轨道相邻设置的第三电磁铁；
与所述第二运输轨道相邻设置的第四电磁铁；以及
用于向所述第三电磁铁和所述第四电磁铁施加第二制动电流的第二电源，并且
所述制动控制器分别基于来自第一振动传感器和第二振动传感器的信号控制所述第一制动电流和所述第二制动电流。
9.如权利要求7所述的运输装置，其中所述前制动单元包括：
与所述第一运输轨道相邻设置的第一永磁体；
与所述第二运输轨道相邻设置的第二永磁体；以及
用于调整所述第一运输轨道与所述第一永磁体之间的间隙以及所述第二运输轨道与所述第二永磁体之间的间隙的第一磁体驱动单元，
所述后制动单元包括：
与所述第一运输轨道相邻设置的第三永磁体；
与所述第二运输轨道相邻设置的第四永磁体；以及
用于调整所述第一运输轨道与所述第三永磁体之间的间隙以及所述第二运输轨道与所述第四永磁体之间的间隙的第二磁体驱动单元，并且
所述制动控制器分别基于来自第一振动传感器和第二振动传感器的信号来控制所述第一磁体驱动单元和所述第二磁体驱动单元的操作。
10.如权利要求7所述的运输装置，其中所述前制动单元包括：
与所述第一运输轨道相邻设置的第一永磁体；
设置在所述第一永磁体一侧上的第一电磁铁；
将所述第一永磁体和所述第一电磁铁的端部相互连接的第一磁极件；
与所述第二运输轨道相邻设置的第二永磁体；
设置在所述第二永磁体一侧上的第二电磁铁；
将所述第二永磁体和所述第二电磁铁的端部相互连接的第二磁极件；以及
用于向所述第一电磁铁和所述第二电磁铁施加第一制动电流的第一电源，
后制动单元包括：
与所述第一运输轨道相邻设置的第三永磁体；
设置在所述第三永磁体一侧上的第三电磁铁；
将所述第三永磁体和所述第三电磁铁的两端相互连接的第三磁极件；
与所述第二运输轨道相邻设置的第四永磁体；
设置在所述第四永磁体一侧的上第四电磁铁；
将所述第四永磁体和所述第四电磁铁的两端相互连接的第四磁极件；以及
用于向所述第三电磁铁和所述第四电磁铁施加第二制动电流的第二电源，并且
所述制动控制器分别基于第一振动传感器和第二振动传感器的信号控制所述第一制动电流和所述第二制动电流。
11.如权利要求5所述的运输装置，其进一步包括：
障碍物检测传感器安装在所述运输车辆的前部，并且被配置为检测所述运输车辆前面的障碍物；以及
制动控制器，其被配置为控制所述制动单元的操作，以便当所述运输车辆移动时由所述障碍物检测传感器检测到障碍物时，涡流制动力被所述制动单元施加到所述驱动模块。
12.如权利要求5所述的运输装置，其进一步包括：
安装在所述提升模块上以与所述第一运输轨道和所述第二运输轨道相邻并且被配置为向所述提升模块施加涡流制动力的第二制动单元。
13.如权利要求12所述的运输装置，其进一步包括：
安装在所述提升模块上并被配置为感测所述提升模块的振动的下部振动传感器；以及
用于基于来自所述下部振动传感器的信号控制所述第二制动单元的操作的制动控制器。
14.如权利要求5所述的运输装置，其中所述驱动模块包括：
前驱动单元，其包括分别设置在所述第一运输轨道和所述第二运输轨道上的前轮、用于旋转所述前轮的前马达以及用于控制所述前马达的扭矩的前伺服驱动器；
后驱动单元，其包括分别设置在所述第一运输轨道和所述第二运输轨道上的后轮、用于旋转所述后轮的后马达以及用于控制所述后马达的扭矩的后伺服驱动器；以及
用于向所述前伺服驱动器和所述后伺服驱动器提供扭矩指令的运动控制器。
15.如权利要求14所述的运输装置，其中所述前驱动单元进一步包括用于测量所述前马达的转数的前编码器，
所述后驱动单元进一步包括用于测量所述后马达的转数的后编码器，并且
所述运动控制器基于所述前编码器、所述后编码器中任何一个的信号，以反馈方式控制所述前马达、所述后马达的操作。
16.如权利要求15所述的运输装置，其中当所述运输车辆加速或所述运输车辆在所述第一运输轨道和所述第二运输轨道的上坡部分向上移动时，所述运动控制器基于来自所述前编码器的信号以反馈方式控制所述前马达和所述后马达的操作。
17.如权利要求15所述的运输装置，其中当所述运输车辆减速或所述运输车辆在所述第一运输轨道和所述第二运输轨道的下坡部分向下移动时，所述运动控制器基于来自所述后部编码器的信号以反馈方式控制所述前马达和所述后马达的操作。
18.如权利要求14所述的运输装置，其进一步包括：
用于控制所述制动单元的操作的制动控制器，
其中所述运动控制器向所述制动控制器提供制动指令以使所述运输车辆减速或停止，并且
所述制动控制器控制所述制动单元的操作，以便根据所述制动指令将涡流制动力施加到所述驱动模块。
19.如权利要求14所述的运输装置，其进一步包括：
障碍物检测传感器安装在所述运输车辆的前部，并且被配置为检测所述运输车辆前面的障碍物；以及
用于控制所述制动单元的操作的制动控制器，
其中，在所述障碍物检测传感器检测到障碍物时，所述运动控制器向所述制动控制器提供制动指令，使所述运输车辆减速或停止，并且
所述制动控制器控制所述制动单元的操作，以便根据所述制动指令将涡流制动力施加到所述驱动模块。
20.运输装置，其包括：
沿着预定的运输路径彼此平行延伸的第一运输轨道和第二运输轨道；
运输车辆，其包括设置在所述第一运输轨道和所述第二运输轨道上并被配置为能沿着所述第一运输轨道和所述第二运输轨道移动的驱动模块，以及与所述驱动模块连接并被配置为提升材料的提升模块；
安装在所述驱动模块上以与所述第一运输轨道和所述第二运输轨道相邻，并被配置为对所述驱动模块施加涡流制动力的制动单元；
安装在所述提升模块上，以与所述第一运输轨道和所述第二运输轨道相邻并被配置为对所述提升模块施加涡流制动力的第二制动单元；
安装在所述运输车辆上被配置为感测所述运输车辆的振动的至少一个振动传感器；以及
用于基于来自所述至少一个振动传感器的信号，控制所述制动单元和所述第二制动单元的操作的制动控制器。
CN202111386323.5A 2020-11-23 2021-11-22 运输装置 Active CN114524274B (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR10-2020-0158110 2020-11-23
KR1020200158110A KR102534409B1 (ko) 2020-11-23 2020-11-23 이송 장치

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN114524274A true CN114524274A (zh) 2022-05-24
CN114524274B CN114524274B (zh) 2024-07-12

Family

ID=

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102016010607A1 (de) * 2016-09-01 2018-03-01 Hans-Heinrich Götting Vorausfahrzeug ohne Fahrer
KR20180136187A (ko) * 2017-06-14 2018-12-24 세메스 주식회사 자기 부상 이송 장치
CN110979019A (zh) * 2019-11-19 2020-04-10 同济大学 一种多源组合式电磁制动装置及其应用
CN111071713A (zh) * 2018-10-19 2020-04-28 株式会社大福 物品搬运车

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102016010607A1 (de) * 2016-09-01 2018-03-01 Hans-Heinrich Götting Vorausfahrzeug ohne Fahrer
KR20180136187A (ko) * 2017-06-14 2018-12-24 세메스 주식회사 자기 부상 이송 장치
CN111071713A (zh) * 2018-10-19 2020-04-28 株式会社大福 物品搬运车
CN110979019A (zh) * 2019-11-19 2020-04-10 同济大学 一种多源组合式电磁制动装置及其应用

Also Published As

Publication number Publication date
US20220165598A1 (en) 2022-05-26
KR20220070980A (ko) 2022-05-31
JP2022082512A (ja) 2022-06-02
JP7322120B2 (ja) 2023-08-07
KR102534409B1 (ko) 2023-05-18

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4304625B2 (ja) 有軌道台車システム
JP2732562B2 (ja) 浮上式搬送装置
KR101957960B1 (ko) 자기 부상 이송 장치
CN114524274B (zh) 运输装置
KR102606070B1 (ko) 이송 장치 및 그 제어 방법
CN114524274A (zh) 运输装置
KR102289024B1 (ko) 이송 장치
EP4152580A1 (en) Brake system for track and mover system
JP3209844B2 (ja) 磁気浮上搬送装置
KR20220052716A (ko) 이송 장치 및 이의 제어 방법
JPH0438101A (ja) 地上一次リニアモータ式シャトル台車の速度制御方法及び速度制御装置
JPS62121134A (ja) 磁気浮上式搬送装置
KR102573505B1 (ko) 오버헤드 호이스트 이송 장치 및 그 제어 방법
KR102324406B1 (ko) 반송 유닛, 이를 포함하는 물품 반송 장치
JPH06171754A (ja) 搬送装置
JP7334748B2 (ja) 物品搬送設備
JP3147494B2 (ja) 磁気浮上搬送装置
KR20230057973A (ko) 주행 규제 장치, 물품 반송 설비 및 반송차
KR20210144442A (ko) 자재 이송 장치
JPH04256626A (ja) 搬送装置
JPS6399702A (ja) 搬送装置
JPS6369402A (ja) 搬送装置
KR20220004293A (ko) 반송 차량 및 그 제어 방법
JPH08289415A (ja) 磁気浮上搬送車の衝突防止装置
JP3393696B2 (ja) 停止位置決め装置

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant