KR100957553B1 - 로테이터, 그를 포함하는 테스트 핸들러, 및 그를 이용한반도체 소자 제조방법 - Google Patents

로테이터, 그를 포함하는 테스트 핸들러, 및 그를 이용한반도체 소자 제조방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 회전축이 결합되는 회전축연결부와, 상기 회전축연결부로부터 일정 거리 이격되어 분리 형성되고 회전을 위한 구동력을 전달받는 구동연결부를 가지며, 상기 회전축을 중심으로 회전할 시에 테스트트레이를 홀딩하는 본체부; 및 상기 구동연결부를 통해 상기 본체부에 회전을 위한 구동력을 제공하는 구동부를 포함하는 로테이터, 그를 포함하는 테스트 핸들러, 및 그를 이용한 반도체 소자 제조방법에 관한 것으로서,
본 발명에 따르면, 로테이터를 회전시키기 위해 구동력을 전달받는 구동연결부 및 회전축을 일정 거리 이격시켜 분리 구현함으로써, 로테이터에 작용하는 부하를 경감시킬 수 있으며, 그에 따라 테스트트레이의 회전속도를 안정적으로 제어하면서 회전시킬 수 있다.
테스트트레이, 로테이터, 테스트 핸들러

Description

로테이터, 그를 포함하는 테스트 핸들러, 및 그를 이용한 반도체 소자 제조방법{Rotator, Test Handler having the same, and method of manufacturing semiconductor using the same}
도 1은 종래의 테스트 핸들러에서 로테이터를 나타낸 사시도
도 2는 도 1의 로테이터가 회전하는 상태를 나타낸 개략도
도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 로테이터를 개략적으로 나타낸 사시도
도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 로테이터에서 도 3의 평면도
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 로테이터를 개략적으로 나타낸 사시도
도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 로테이터에서 도 5의 배면도
도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 로테이터에서 도 5의 평면도
도 8은 본 발명의 다른 실시예에 따른 로테이터가 회전하는 상태를 개략적으로 나타낸 측면도
도 9는 본 발명에 따른 테스트 핸들러의 구성을 개략적으로 나타낸 평면도
*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명*
1 : 본 발명에 따른 로테이터 2 : 본체부 3 : 구동부 4 : 회전축
5 : 동력원 21 : 회전축연결부 22 : 구동연결부 31 : 가이드부
32 : 회전이동부 33 : 동력연결부 331 : 회전구 332 : 회전연결부
333 : 연결부 34 : 링크바 35 : 링크승강부 36 : 승강구동부
351 : 링크연결부 352 : 승강연결부 353 : 안내연결부 361 : 승강구
362 : 동력전달부 363 : 안내부 3621 : 제1전달부 3622 : 제2전달부
10 : 테스트 핸들러 11 : 로딩스택커 12 : 언로딩스택커 13 : 픽커부
14 : 버퍼부 15 : 교환부 16 : 챔버부 131 : 제1픽커 132 : 제2픽커
141 : 로딩버퍼부 142 : 언로딩버퍼부 161 : 제1챔버 162 : 테스트챔버
163 : 제2챔버 T : 테스트트레이 H : 테스트보드
100 : 종래의 로테이터 101 : 프레임 102 : 회전축 103 : 힌지브라켓
1031 : 결합부
본 발명은 테스트 핸들러에 관한 것으로서, 상세하게는 테스트트레이를 회전시키는 로테이터, 그를 포함하는 테스트 핸들러, 및 그를 이용한 반도체 소자 제조방법에 관한 것이다.
일반적으로, 메모리 혹은 비메모리 반도체 소자 및 이들을 적절히 하나의 기판상에 회로적으로 구성한 모듈 아이씨 등(이하, '반도체 소자'라 함)은 여러 가지 테스트 과정을 거쳐 제조된다.
이러한, 반도체 소자를 테스트하는 과정에서 사용되는 장비가 테스트 핸들러이다.
테스트 핸들러는 반도체 소자를 테스트하는 별도의 테스트장비에 반도체 소자를 접속시키고, 테스트 결과에 따라 등급별로 분류하는 장비이다.
이와 같은 테스트 핸들러는 크게 로딩공정, 언로딩공정, 및 테스트공정을 수행하고, 반도체 소자를 고정할 수 있는 캐리어모듈이 복수개 구비되는 테스트트레이를 이용한다.
상기 로딩공정은 테스트할 반도체 소자를 고객트레이에서 테스트트레이로 이송하여 장착하는 공정이다. 이러한 반도체 소자의 이송은 복수개의 픽커를 통해 이루어진다.
상기 언로딩공정은 테스트가 완료된 반도체 소자를 테스트트레이로부터 분리하고, 테스트 결과에 따라 고객트레이로 분류하는 공정이다. 이러한 반도체 소자의 이송은 상기 로딩공정과 마찬가지로 복수개의 픽커를 통해 이루어진다.
테스트공정은 테스트트레이에 담겨진 반도체 소자를 테스트장비에 접속시켜 테스트를 수행하는 공정이다.
또한, 상기 테스트공정은 상온 상태에서의 테스트 뿐만 아니라, 고온 또는 저온의 극한 상태에서도 반도체 소자가 정상적으로 작동하는 지를 테스트한다. 이를 위해 테스트 핸들러는 챔버부를 포함하여 이루어진다.
상기 챔버부는 반도체 소자를 고온 또는 저온의 테스트 온도로 조절하는 제1챔버, 테스트 온도로 조절된 반도체 소자를 테스트장비에 접속시키는 테스트챔버, 및 테스트가 완료된 반도체 소자를 상온으로 복원시키는 제2챔버를 포함한다.
여기서, 테스트 핸들러는 제1챔버, 테스트챔버, 및 제2챔버 간에 테스트트레 이를 수직상태로 이송하면서 테스트할 수 있도록, 테스트트레이를 회전시켜 수직상태 또는 수평상태로 전환하는 로테이터를 포함한다.
도 1은 종래의 로테이터의 사시도이고, 도 2는 종래의 로테이터가 회전하는 상태를 개략적으로 나타낸 측면도이다.
도 1을 참고하면, 종래의 로테이터(100)는 프레임(101), 회전축(102), 힌지브라켓(103)을 포함한다.
상기 프레임(101)은 테스트트레이가 수직상태 또는 수평상태로 전환될 시에, 테스트트레이를 홀딩한다. 따라서, 테스트트레이가 로테이터(100)로부터 임의로 이탈되는 것을 방지한다.
상기 회전축(102)은 프레임(101)의 일측에 결합되고, 테스트트레이가 수직상태 또는 수평상태로 전환될 시에 상기 로테이터(100)의 회전중심으로 기능한다.
상기 힌지브라켓(103)은 회전축(102)의 양단에 결합되고, 결합부(1031)가 로테이터(100)의 양측에 구비된 실린더의 로드(도시되지 않음)에 결합된다.
상기 실린더의 로드는 상하로 선형운동하면서, 상기 결합부(1031)를 통해 상기 힌지브라켓(103)을 회전시킨다. 그에 따라 상기 회전축(102) 및 프레임(101)은 힌지브라켓(103)과 함께 회전한다. 상기 실린더는 공압실린더가 사용될 수 있다.
도 2를 참고하여 종래의 로테이터(100)의 작동관계를 살펴보면, 상기 로테이터(100)는 실린더의 로드가 상승된 상태에서 실린더의 로드에 지지되어 수평상태를 유지한다.
이 상태에서, 상기 실린더의 로드가 하강하면, 상기 힌지브라켓(103)은 반시 계방향(화살표 A방향)으로 회전하고, 상기 회전축(102) 및 프레임(101)도 동일한 방향으로 함께 회전한다.
따라서, 테스트트레이는 상기 로테이터(100)의 회전에 의해 수직상태로 전환된다.
상기 실린더의 로드가 상방으로 상승하게 되면, 상기 힌지브라켓(103), 회전축(102), 및 프레임(101)이 시계방향(화살표 B방향)으로 회전한다.
그에 따라, 테스트트레이는 상기 로테이터(100)의 회전에 의해 수평상태로 전환된다. 또한, 상기 로테이터(100)는 실린더의 로드에 지지되어 수평상태를 유지한다.
여기서, 상기와 같은 종래의 로테이터(100)는 실린더의 로드가 회전축(102)과 직접 연결된 힌지브라켓(103)에 결합되고, 실린더의 로드가 상하로 선형운동하는 것에 의해 회전한다. 또한, 상기 로테이터(100)는 실린더의 로드에 의해 회전축(102)이 직접 지지된다.
따라서, 실린더의 로드는 회전축(102) 및 힌지브라켓(103)에 가해지는 로테이터(100) 자체의 중량, 테스트트레이의 중량, 테스트트레이에 담겨진 반도체 소자의 중량 등을 합한 무게를 직접 지지하여야 한다. 또한, 실린더의 로드는 상기 로테이터(100)의 회전시 추가로 작용하는 중력 내지 관성력 등을 포함하는 외력에도 견딜수 있어야 한다. 이는 실린더의 로드가 큰 크기로 형성되어야 함을 의미한다.
또한, 종래의 로테이터(100)는 그 양측에 실린더의 로드가 구비되어야 하므로, 실린더의 로드가 설치될 수 있는 큰 공간을 확보해야 하며, 이는 테스트 핸들 러의 전체 크기를 증대시키는 문제가 있다.
여기서, 상기와 같은 테스트 핸들러는 한번에 32개 또는 64개 정도의 반도체 소자를 테스트할 수 있도록 구현되고, 이와 일치하는 개수의 캐리어모듈을 가지는 테스트트레이가 사용된다.
그러나, 최근에는 테스트 과정에 소요되는 시간을 줄일 수 있도록, 한번에 128개, 256개, 또는 512개 등 점차적으로 많은 개수의 반도체 소자를 테스트할 수 있는 테스트트레이 및 테스트 핸들러가 개발, 사용되고 있다.
이에 따라, 테스트트레이는 더 많은 개수의 반도체 소자를 수납할 수 있도록 크기가 커질 것이며, 무게 또한 함께 증가하게 될 것이기 때문에, 상기 로테이터(100)의 크기 및 무게도 증가할 수밖에 없다.
따라서, 종래의 로테이터(100)에서 실린더의 로드에 가해지는 부하도 함께 증가하게 되고, 실린더의 로드에 가해지는 부하의 증가는 잦은 고장 내지 손상으로 이어지게 되는 문제가 있다.
실린더의 손상으로 인해 상기 로테이터(100)가 지지되지 못하면, 로테이터(100) 및 테스트트레이는 회전속도가 제어되지 못한 채로 회전하게 된다.
그에 따라, 테스트트레이의 캐리어모듈에 담겨진 반도체 소자가 분리되거나, 상기 로테이터(100)가 테스트 핸들러의 다른 구성들에 직접 또는 간접적으로 충격을 가하는 등 테스트 핸들러가 손상 내지 파손될 위험이 있는 문제가 있다.
본 발명은 상술한 바와 같은 문제점을 해결하고자 안출된 것으로서,
본 발명의 목적은 더 많은 개수의 반도체 소자를 수납할 수 있는 테스트트레이의 회전속도를 안정적으로 제어하면서 회전시킬 수 있는 로테이터를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 또 다른 목적은 점차적으로 한번에 더 많은 개수의 반도체 소자를 테스트할 수 있도록 개량되는 테스트 핸들러에 용이하게 적용할 수 있는 로테이터를 제공하는 것을 목적으로 한다.
상술한 본 발명의 목적을 달성하기 위해서 본 발명은 하기와 같은 구성을 포함한다.
본 발명에 따른 로테이터는 회전축이 결합되는 회전축연결부와, 상기 회전축연결부로부터 일정 거리 이격되어 분리 형성되고 회전을 위한 구동력을 전달받는 구동연결부를 가지며, 상기 회전축을 중심으로 회전할 시에 테스트트레이를 홀딩하는 본체부; 및 상기 구동연결부를 통해 상기 본체부에 회전을 위한 구동력을 제공하는 구동부를 포함한다.
본 발명에 따른 테스트 핸들러는 테스트트레이에 담겨진 반도체 소자를 테스트 온도로 조절하는 제1챔버; 테스트 온도로 조절된 반도체 소자를 테스트보드에 접속시키는 테스트챔버; 테스트가 완료된 반도체 소자를 상온으로 복원시키는 제2챔버; 테스트트레이를 상기 제1챔버로 공급하고, 상기 제2챔버로부터 테스트트레이를 공급받으며, 테스트할 반도체 소자를 테스트트레이에 장착하는 로딩공정 및 테스트가 완료된 반도체 소자를 분류하는 언로딩공정이 이루어지는 교환부; 반도체 소자를 이송하면서 상기 로딩공정 및 상기 언로딩공정을 수행하는 픽커부; 및 상기 교환부에 설치되고, 상기 테스트트레이를 회전시키는 상기 로테이터를 포함한다.
본 발명에 따른 반도체 소자 제조방법은 테스트할 반도체 소자를 준비하는 단계; 상기 준비된 테스트할 반도체 소자를 상기 테스트트레이에 장착하는 단계; 테스트할 반도체 소자가 담겨진 테스트트레이를 상기 로테이터를 이용하여 회전시켜 수직상태로 전환하는 단계; 수직상태로 전환된 테스트트레이에 담겨진 반도체 소자를 테스트 온도로 조절하는 단계; 테스트 온도로 조절된 반도체 소자를 테스트보드에 접속시키는 단계; 테스트가 완료된 반도체 소자를 상온으로 복원시키는 단계; 상온으로 복원된 반도체 소자가 담겨진 테스트트레이를 상기 로테이터를 이용하여 회전시켜 수평상태로 전환하는 단계; 및 수평상태로 전환된 테스트트레이로부터 반도체 소자를 분리하여 테스트 결과에 따라 분류하는 단계를 포함한다.
따라서, 구동연결부가 회전축과 분리 형성되어 일정 거리 이격된 위치에서 본체부를 지지하면서 회전시키므로, 상기 구동부에 가해지는 부하를 경감시킬 수 있으며, 그에 따라 테스트트레이의 회전속도를 안정적으로 제어하면서 회전시킬 수 있다.
또한, 점차적으로 한번에 더 많은 개수의 반도체 소자를 테스트할 수 있도록 개량되는 테스트트레이 및 테스트 핸들러에 용이하게 적용할 수 있으며, 반도체 소자 제조의 효율성을 향상시킬 수 있다.
이하에서는 본 발명에 따른 로테이터의 구성에 대한 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
여기서, 본 발명에 따른 로테이터는 구동부에 따라 일실시예, 및 다른 실시예로 구현되는데, 우선 일실시예를 살펴본 후에 다른 실시예를 살펴보기로 한다.
도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 로테이터를 개략적으로 나타낸 사시도이고, 도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 로테이터에서 도 3의 평면도이다.
도 3 및 도 4를 참고하면, 본 발명의 일실시예에 따른 로테이터(1)는 본체부(2), 및 구동부(3)를 포함한다.
상기 본체부(2)는 테스트트레이(T)가 안착되고, 회전축(4)을 중심으로 회전할 시에 테스트트레이(T)를 홀딩하여 이탈되지 않도록 하며, 회전축연결부(21) 및 구동연결부(22)를 포함한다. 또한, 상기 본체부(2)는 회전하면서 테스트트레이(T)를 수직상태 또는 수평상태로 전환한다.
상기 회전축연결부(21)는 회전축(4)에 연결되어, 상기 본체부(2)가 회전축(4)을 중심으로 회전할 수 있도록 한다. 또한, 상기 회전축연결부(21)는 본체부(2)의 일단(2a) 양측에 복수개가 구비될 수 있다.
상기 구동연결부(22)는 회전축연결부(21)로부터 일정 거리 이격되어 분리 형성되고, 상기 구동부(3)로부터 회전을 위한 구동력을 전달받아 상기 본체부(2) 및 테스트트레이(T)가 회전축(4)을 중심으로 회전할 수 있도록 한다. 또한, 상기 구동연결부(22)는 본체부(2)의 양측에 각각 구비되는 제1구동연결부(22a) 및 제2구동연결부(22b)를 포함하여 이루어질 수 있다.
따라서, 종래의 로테이터가 회전축을 직접 지지하면서 연결되는 것과 달리, 본 발명에 따른 로테이터는 구동연결부(22)가 회전축으로부터 일정 거리 이격되어 분리 형성됨으로써 상기 구동부(3)에 가해지는 부하를 경감시킬 수 있다.
상기 구동부(3)는 구동연결부(22)를 통해 상기 본체부(2)에 회전을 위한 구동력을 제공하고, 가이드부(31), 회전이동부(32), 및 동력연결부(33)를 포함한다.
상기 가이드부(31)는 회전이동부(32)가 회전하면서 이동하고, 핸들러본체(W)에 결합되며, 본체부(2)의 회전경로와 대략 일치하는 형태로 형성될 수 있다.
따라서, 상기 가이드부(31)는 회전이동부(32)의 이동경로를 안내함과 동시에, 상기 본체부(2)의 회전경로 안내할 수 있으며, 바람직하게는 사분원 형태로 형성될 수 있다.
또한, 상기 가이드부(31)는 도 2의 확대도에 도시된 바와 같이 랙기어(Rack Gear)를 포함하여 이루어질 수 있다. 이 경우 상기 회전이동부(32)는 피니언기어(Pinion Gear)를 포함하여 이루어질 수 있다.
한편, 상기 가이드부(31)는 본체부(2)의 양측에 제1구동연결부(22a) 및 제2구동연결부(22b)가 구비되는 경우, 이에 상응하는 제1가이드부(31a) 및 제2가이드부(31b)를 포함하여 이루어질 수 있다.
상기 회전이동부(32)는 구동연결부(22)에 회전 가능하게 결합되고, 회전하면서 상기 가이드부(31) 상에서 이동하여 상기 구동연결부(22)를 통해 상기 본체부(2)를 회전시킨다.
또한, 상기 회전이동부(32)는 도 2의 확대도에 도시된 바와 같이 가이드부(31)가 랙기어를 포함하여 이루어지는 경우, 피니언기어를 포함하여 이루어질 수 있다.
한편, 상기 회전이동부(32)는 본체부(2)의 양측에 제1구동연결부(22a) 및 제2구동연결부(22b)가 구비되는 경우, 이에 상응하는 제1회전이동부(32a) 및 제2회전이동부(32b)를 포함하여 이루어질 수 있다. 이 경우, 상기 제1회전이동부(32a)는 제1구동연결부(22a)에 회전 가능하게 결합되고, 상기 제2회전이동부(32b)는 제2구동연결부(22b)에 회전 가능하게 결합될 수 있다.
따라서, 상기 회전이동부(32) 및 가이드부(31)는 본체부(2)의 양측을 안정적으로 지지하면서 테스트트레이(T)를 회전시킬 수 있다.
상기 동력연결부(33)는 회전이동부(32) 및 본체부(2)로부터 분리되어 설치되는 동력원(5)을 연결하고, 그에 따라 동력원(5)에 의해 상기 회전이동부(32)가 회전할 수 있도록 하며, 회전구(331), 회전연결부(332) 및 연결부(333)를 포함한다.
상기 회전구(331)는 회전이동부(32)에 결합되고, 회전연결부(322)와 연결되어 회전연결부(322)의 회전시 상기 회전이동부(32)가 함께 회전할 수 있도록 한다. 또한, 상기 회전구(331)는 구동연결부(22) 및 회전이동부(32) 사이에 구비되는 것이 바람직하다.
한편, 상기 회전구(331)는 제1회전이동부(32a) 및 제2회전이동부(32b)에 각각 결합될 수 있도록 제1회전구(331a) 및 제2회전구(331b)를 포함하여 이루어질 수 있다. 이 경우, 상기 제1회전구(331a)는 제1회전이동부(32a)에 결합되고, 상기 제2회전구(331b)는 제2회전이동부(32b)에 결합될 수 있다.
상기 회전연결부(332)는 연결부(333)를 통해 회전구(331)와 연결되고, 동력원(5)으로부터 동력을 공급받아 회전하면서 상기 회전구(331)를 회전시킨다.
또한, 상기 회전연결부(332)는 본체부(2)의 회전경로에 간섭되지 않도록, 본체부(2)의 일단(2a) 근방에 설치되는 것이 바람직하다.
또한, 상기 회전연결부(332)는 일측(332a)이 제1회전구(331a)와 연결되고, 타측(332b)이 제2회전구(331b)와 연결될 수 있다. 이를 위해, 상기 회전연결부(332)는 제1회전구(331a) 및 제2회전구(331b)가 이격된 거리에 상응하는 충분한 길이로 형성될 수 있고, 장방형의 봉형태로 형성되는 것이 바람직하다.
따라서, 상기 회전연결부(332)는 하나의 동력원에 의해 상기 제1회전이동부(32a) 및 제2회전이동부(32b)를 동시에 동일한 회전수로 회전시킬 수 있고, 그에 따라 상기 본체부(2) 및 테스트트레이(T)가 좌우로 흔들림 없이 안정적으로 회전될 수 있도록 한다.
한편, 상기 회전연결부(332)는 본체부(2)로부터 분리 형성되는 동력원(5)과 벨트 또는 체인 등을 통해 연결될 수 있다.
상기 연결부(333)는 회전연결부(332) 및 회전구(331)를 연결하고, 그에 따라 회전연결부(332)의 회전시 회전구(331)가 함께 회전할 수 있도록 한다. 또한, 상기 연결부(333)는 소정 거리로 이격되어 설치되는 회전연결부(332) 및 회전구(331)를 연결할 수 있도록 벨트 또는 체인 등을 포함하여 이루어질 수 있다.
한편, 상기 연결부(333)는 제1연결부(333a) 및 제2연결부(333b)를 포함하여 이루어질 수 있다. 이 경우, 상기 제1연결부(333a)는 회전연결부(332)의 일측(332a) 및 상기 제1회전구(331a)를 연결하고, 상기 제2연결부(333b)는 회전연결부(332)의 타측(332b) 및 상기 제2회전구(331b)를 연결할 수 있다.
상기 회전축(4)은 본체부(2) 및 테스트트레이(T)의 회전중심으로서 회전축연결부(21)에 결합되고, 핸들러본체(W)에 회전 가능하게 결합될 수 있다.
상기 동력원(5)은 본체부(2)에 회전을 위한 동력을 공급하고, 바람직하게는 본체부(2)로부터 분리되어 형성될 수 있으며, 회전모터가 사용될 수 있다.
이하에서는 본 발명의 일실시예에 따른 로테이터(1)의 작동관계에 대한 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도 3 및 도 4를 참고하면, 상기 본체부(2)는 테스트트레이(T)를 홀딩한 상태에서, 상기 구동연결부(22)를 통해 구동부(3)에 지지되어 수평상태를 유지하고 있다. 이 경우, 상기 구동연결부(22)는 회전축연결부(21)로부터 일정 거리 이격되어 분리 형성되기 때문에, 상기 구동부(3)에 가해지는 부하를 경감시킬 수 있다.
이 상태에서, 상기 회전연결부(332)가 동력원(5)에 의해 회전하게 되면, 제1회전구(331a) 및 제2회전구(331b)는 제1연결부(333a) 및 제2연결부(333b)를 통해 회전력을 전달받아 회전한다.
상기 제1회전이동부(32a) 및 제2회전이동부(32b)는 제1회전구(331a) 및 제2회전구(331b)의 회전에 따라 함께 회전하게 되고, 회전하면서 제1가이드부(31a) 및 제2가이드부(31b) 상에서 이동하게 된다.
상기 제1회전이동부(32a) 및 제2회전이동부(32b)의 이동에 따라 상기 제1구동연결부(22a) 및 제2구동연결부(22b)가 이동하게 되고, 그에 따라 상기 본체부(2) 및 테스트트레이(T)는 회전축(4)을 중심으로 회전하게 된다.
상기 본체부(2) 및 테스트트레이(T)가 회전하여 수직상태로 전환되면, 상기 동력원(5)은 작동을 정지한다.
이러한 상태에서, 상기 동력원(5)이 상기와 반대방향의 회전력을 공급하게 되면, 상기 본체부(2) 및 테스트트레이(T)는 상기와 반대방향으로 회전하여 수평상태로 전환된다. 상기 본체부(2) 및 테스트트레이(T)가 회전하여 수평상태로 전환되면, 상기 동력원(5)은 작동을 정지한다.
이하에서는 본 발명의 다른 실시예에 따른 로테이터의 구성에 대한 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
여기서, 본 발명의 다른 실시예에 따른 로테이터는 상술한 일실시예와 대략 일치하는 구성이 존재하는 바, 이에 대한 설명은 본 발명의 요지를 흐리지 않기 위해 생략하기로 하며, 차이점이 있는 구성만을 설명하기로 한다.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 로테이터를 개략적으로 나타낸 사시도, 도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 로테이터에서 도 5의 배면도, 도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 로테이터에서 도 5의 평면도, 도 8은 본 발명의 다른 실시예에 따른 로테이터가 회전하는 상태를 개략적으로 나타낸 측면도이다.
도 5 내지 도 8을 참고하면, 본 발명의 다른 실시예에 따른 로테이터(1)는 상술한 일실시예와 차이점이 있는 구성으로서, 구동부(3)를 포함한다.
상기 구동부(3)는 구동연결부(22)에 회전을 위한 구동력을 제공하고, 링크바(34), 링크승강부(35), 및 승강구동부(36)를 포함한다.
상기 링크바(34)는 일측(34a)이 구동연결부(22)에 결합되고, 타측(34b)이 링크승강부(35)에 결합되며, 상기 링크승강부(35)의 승하강에 따라 움직이면서 상기 구동연결부(22)를 통해 본체부(2)를 회전축(4)을 중심으로 회전시킨다.
또한, 상기 링크바(34)는 링크승강부(35)가 하강하면, 상기 링크승강부(35)에 결합된 타측(34b)을 중심으로 회전하면서 함께 하강하고, 상기 링크승강부(35)가 상승하면, 상기 링크승강부(35)에 결합된 타측(34b)을 중심으로 회전하면서 함께 상승한다.
따라서, 상기 구동연결부(22)에 결합된 링크바(34)의 일측(34a)이 함께 승하강하게 되고, 그에 따라 상기 본체부(2)는 회전축(4)을 중심으로 회전하게 된다. 바람직하게는, 상기 링크승강부(35)가 하강하면 상기 본체부(2) 및 테스트트레이(T)는 수직상태로 전환되고, 상기 링크승강부(35)가 상승하면 상기 본체부(2) 및 테스트트레이(T)는 수평상태로 전환된다.
상기 링크승강부(35)는 전체적으로 'ㄷ'형상으로 형성되고, 승하강하면서 상기 본체부(2)를 링크바(34)를 통해 회전시키며, 링크연결부(351), 승강연결부(352), 및 안내연결부(353)를 포함한다.
상기 링크연결부(351)는 링크바(34)의 타측(34b)이 결합되고, 상기 링크승강부(35)의 승하강시 상기 링크바(34)의 회전축으로서 기능한다.
상기 승강연결부(352)는 링크승강부(35)가 승강구동부(36)에 의해 승하강할 수 있도록 승강구동부(36)에 승하강 가능하게 결합된다.
상기 안내연결부(353)는 링크승강부(35)의 승하강시 승하강 경로가 안내될 수 있도록 하고, 바람직하게는 리니어 가이드 블럭이 사용될 수 있다.
상기 승강구동부(36)는 링크승강부(35)를 승하강시키고, 승강구(361), 동력 전달부(362), 및 안내부(363)를 포함한다.
상기 승강구(361)는 회전운동을 상하운동으로 전환시키고, 상기 승강연결부(352)가 승하강 가능하게 결합되며, 동력원(5)으로부터 동력을 제공받아 상기 승강연결부(352)를 승하강시킨다.
또한, 상기 승강구(361)는 볼스크류를 포함하여 이루어질 수 있다. 상기 볼스크류는 동력원(5)으로부터 동력을 제공받아 회전운동한다. 이 경우, 상기 승강연결부(352)는 볼스크류에 체결되어 볼스크류의 회전운동에 따라 체결 또는 체결이 해제됨에 의해 승하강하게 된다.
한편, 상기 승강구(361)는 동력원(5)에 의한 회전운동을 상하운동으로 전환시킬 수 있는 구성이면, 상기와 같은 볼스크류 방식 외에 체인 또는 벨트를 이용하여 구성될 수도 있다. 또한, 상기 동력원(5)은 회전모터가 이용될 수 있다.
또한, 상기 승강구(361), 링크승강부(35), 및 링크바(34)는 본체부(2)의 양측에서 제1구동연결부(22a) 및 제2구동연결부(22b)가 구비되는 경우, 이에 상응하는 복수개로 구비됨이 바람직하다. 따라서, 본체부(2) 및 테스트트레이(T)를 더 안정적으로 회전시킬 수 있다.
상기 동력전달부(362)는 동력원(5)으로부터 제공되는 동력을 각 구성에 전달하고, 제1전달부(3621) 및 제2전달부(3622)를 포함한다.
상기 제1전달부(3621)는 본체부(2)로부터 분리되어 설치되는 동력원(5) 및 상기 승강구(361)를 연결하고, 체인 또는 벨트를 이용하여 구성될 수 있다.
한편, 상기 구동연결부(22), 링크바(34), 링크승강부(35), 및 상기 승강 구(361)는 복수개가 구비될 수 있다. 따라서, 상기 본체부(2) 및 테스트트레이(T)를 더 안정적으로 지지하면서 회전시킬 수 있고, 바람직하게는 상기 본체부(2)의 양측에 2개가 구비될 수 있다.
여기서, 상기 제1전달부(3621)는 도시되지는 않았지만, 복수개가 구비되는 상기 구동연결부(22), 링크바(34), 링크승강부(35), 및 상기 승강구(361)를 통해 상기 본체부(2)를 회전시킬 수 있도록 복수개가 구비될 수 있다. 이 경우, 상기 제1전달부(3621)는 복수개의 동력원(5)으로부터 각각 동력을 제공받고, 그 동력을 복수개의 승강구(361)에 각각 전달할 수 있다. 따라서, 더 큰 힘과 빠른 회전속도로 본체부(2) 및 테스트트레이(T)를 회전시킬 수 있다.
도 5 내지 도 8을 참고하면, 상기 제2전달부(3622)는 하나의 동력원(5)으로부터 제공되는 동력을 복수개가 구비되는 상기 승강구(361)에 전달하고, 동력원(5)과 제1전달부(3621)를 통해 연결된 승강구(361) 및 나머지 승강구(361)를 연결한다.
바람직하게는, 상기 승강구(361)는 본체부(2)의 양측에 2개의 승강구(361)가 구비될 수 있으며, 본체부(2)의 일측에서 동력원(5)과 제1전달부(3621)를 통해 연결된 제1승강구(361a), 및 본체부(2)의 타측에 구비된 제2승강구(361b)를 포함하여 이루어질 수 있다.
이러한, 상기 제2전달부(3622)는 제1승강구(361a) 및 제2승강구(361b)를 연결함으로써, 하나의 동력원(5)으로부터 제공되는 동력을 이용하여 상기 제1승강구(361a) 및 제2승강구(361b)를 동시에 회전시킬 수 있는 것이다.
따라서, 복수개의 승강구(361)가 하나의 동력원으로부터 제공되는 동력에 의해 회전하므로, 전체 구성을 간결하게 구현할 수 있고, 상기 본체부(2)가 좌우로 흔들림 없이 균일하게 회전될 수 있도록 한다.
또한, 상기 제2전달부(3622)는 벨트 또는 체인을 포함하여 이루어질 수 있고, 상기 제1전달부(3621)가 연결된 승강구(361)의 저면에서 다른 복수개의 승강구(361) 간을 연결하는 것이 바람직하다.
상기 안내부(363)는 링크승강부(35)의 안내연결부(353)가 결합되고, 상기 링크승강부(35)의 승하강을 안내하며, 바람직하게는 가이드레일이 사용될 수 있다. 또한, 상기 안내부(363)는 핸들러본체(W)에 결합되는 것이 바람직하다.
이하에서는 본 발명에 따른 로테이터의 작동관계에 대한 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도 5 내지 도 8을 참고하여, 본 발명에 따른 로테이터(1)의 작동관계를 살펴보면,
상기 로테이터(1)는 테스트트레이(T)가 본체부(2)에 안착된 상태에서 수평상태를 유지하고 있다. 이 경우, 상기 링크승강부(35)는 상승한 상태이다.
상기 링크바(34)는 일측(34a)이 구동연결부(22)에 결합되고, 타측(34b)이 링크연결부(351)에 결합되어 상기 구동연결부(22)를 통해 상기 본체부(2) 및 테스트트레이(T)가 수평상태를 유지할 수 있도록 지지한다.
이 상태에서, 상기 승강구(361)가 동력원(5)으로부터 제1전달부(3621)를 통해 동력을 제공받으면, 상기 승강구(361)는 일방향으로 회전운동을 하게 된다. 또 한, 상기 승강구(361)는 회전운동을 상하운동으로 전환시켜 상기 승강연결부(352)를 통해 링크승강부(35)를 하강시킨다.
상기 링크승강부(35)가 하강하면, 상기 링크바(34)는 그 타측(34b)이 링크연결부(351)를 중심으로 시계방향으로 회전하면서 하강하게 되고, 그 일측(34a) 및 상기 구동연결부(22)가 함께 하강하게 된다.
그에 따라, 상기 본체부(2)는 회전축(4)을 중심으로 반시계방향으로 회전하면서, 테스트트레이(T)를 수직상태로 전환시킨다.
테스트트레이(T)가 수직상태로 전환된 상태에서, 상기 승강구(361)가 제1전달부(3621)를 통해 동력을 제공받아 다른 방향으로 회전운동을 하게 되면, 상기 승강구(361)는 승강연결부(352)를 통해 링크승강부(35)를 상승시킨다.
상기 링크승강부(35)가 상승하면, 상기 링크바(34)는 그 타측(34b)이 링크연결부(351)를 중심으로 반시계방향으로 회전하면서 상승하게 되고, 그 일측(34a) 및 상기 구동연결부(22)가 함께 상승하게 된다.
그에 따라, 상기 본체부(2)는 회전축(4)을 중심으로 시계방향으로 회전하면서, 테스트트레이(T)를 수평상태로 전환시킨다.
여기서, 상기 승강구(361)는 본체부(4)의 양측에 각각 구비되는 제1승강구(361a) 및 제2승강구(361b)를 포함하여 이루어질 수 있다. 또한, 상기 동력전달부(362)는 제1승강구(361a) 및 제2승강구(361b)를 연결하는 제2전달부(3622)를 포함하여 이루어질 수 있다.
이 경우, 상기 제1승강구(361a)가 동력원(5)으로부터 제1전달부(3621)를 통 해 동력을 제공받으면, 상기 제2승강구(361b)는 제2전달부(3622)를 통해 동력을 전달받아 제1승강구(361a)와 함께 회전할 수 있다.
따라서, 상기 제1승강구(361a) 및 제2승강구(361b)의 회전 정도를 균일하게 조절할 수 있으며, 그에 따라 상기 본체부(2) 및 테스트트레이(T)의 양측이 기울어짐 없이 안정되게 회전될 수 있다.
또한, 상기 링크승강부(35)는 안내부(363)에 의해 승하강이 안내되어, 더 안적적으로 승하강하면서, 상기 본체부(2) 및 테스트트레이(T)를 회전시킬 수 있다.
이하에서는 본 발명에 따른 테스트 핸들러의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
여기서, 본 발명에 따른 테스트 핸들러는 상술한 로테이터를 포함하여 이루어지고, 이러한 로테이터는 상기에서 충분히 설명하였으므로, 이에 대한 상세한 설명은 생략하기로 한다.
도 9는 본 발명에 따른 테스트 핸들러의 구성을 개략적으로 나타낸 평면도이다.
도 3 내지 도 9를 참고하면, 본 발명에 따른 테스트 핸들러(10)는 로딩스택커(11), 언로딩스택커(12), 픽커부(13), 버퍼부(14), 상술한 로테이터(1)가 설치되는 교환부(15), 및 챔버부(16)를 포함한다.
상기 로딩스택커(11)는 테스트할 반도체 소자가 담겨진 복수개의 고객트레이를 적재하여 수납한다. 반도체 소자가 모두 이송되어 비게되는 고객트레이는 상기 언로딩스택커(12)로 이송되어 적재된다.
상기 언로딩스택커(12)는 등급별로 서로 다른 위치에 적재되는 복수개의 빈 고객트레이를 수납한다. 이러한, 빈 고객트레이에는 테스트 완료된 반도체 소자가 등급별로 분류되어 담겨진다.
상기 픽커부(13)는 복수개의 반도체 소자를 픽업하여 이송하면서 로딩공정 및 언로딩공정을 수행하고, 제1픽커(131) 및 제2픽커(132)를 포함한다.
상기 제1픽커(131)는 복수개가 구비되어 X-Y 축으로 선형이동하면서, 테스트할 반도체 소자를 로딩스택커(11)의 고객트레이로부터 픽업하여 버퍼부(14)로 이송한다. 또한, 테스트가 완료된 반도체 소자를 버퍼부(14)로부터 픽업하여 언로딩스택커(12)의 고객트레이로 이송한다.
상기 제2픽커(132)는 복수개가 구비되어 X축으로 선형이동하면서, 버퍼부(14) 및 교환부(15) 간에 반도체 소자를 픽업하여 이송한다.
상기 버퍼부(14)는 반도체 소자를 일시적으로 장착하고, 로딩버퍼부(141) 및 언로딩버퍼부(142)를 포함한다.
상기 로딩버퍼부(141)는 Y축으로 선형이동하면서, 상기 제1픽커(131)에 의해 로딩스택커(11)의 고객트레이로부터 이송되는 반도체 소자를 일시적으로 장착한다. 이러한 반도체 소자는 상기 제2픽커(132)에 의해 상기 교환부(15)로 이송된다.
상기 언로딩버퍼부(142)는 Y축으로 선형이동하면서, 상기 제2픽커(132)에 의해 교환부(15)로부터 이송되는 반도체 소자를 일시적으로 장착한다. 이러한 반도체 소자는 상기 제1픽커(131)에 의해 상기 언로딩스택커(12)의 고객트레이로 이송된다.
상기 교환부(15)는 상술한 로테이터(1)가 설치되며, 테스트할 반도체 소자가 장착된 테스트트레이를 상기 챔버부(16)로 공급하고, 테스트 완료된 반도체 소자가 장착된 테스트트레이를 상기 챔버부(16)로부터 공급받는다.
또한, 상기 교환부(15)에서는 테스트할 반도체 소자가 테스트트레이에 장착되는 로딩공정, 및 테스트 완료된 반도체 소자가 테스트트레이로부터 분리되어 테스트 결과에 따라 분류되는 언로딩공정이 이루어진다.
한편, 상기 교환부(15)는 로딩공정이 이루어지는 로딩부, 및 언로딩공정이 이루어지는 언로딩부를 포함하여 이루어질 수 있다. 이 경우 상기 로딩부 및 언로딩부는 상호간에 분리되어 개별적으로 구성될 수 있으며, 상기 로테이터(1)는 로딩부 및 언로딩부에 각각 설치될 수 있다.
상기 챔버부(16)는 테스트트레이를 이동시키면서 반도체 소자에 대한 테스트공정을 수행하고, 제1챔버(161), 테스트챔버(162), 및 제2챔버(163)를 포함한다.
상기 제1챔버(161)는 교환부(15)로부터 공급받은 테스트트레이(T)를 한스텝씩 이동시키면서, 테스트할 반도체 소자를 테스트 조건에 상응하는 온도(이하, '테스트 온도'라 함)로 가열 또는 냉각한다. 반도체 소자가 테스트 온도로 조절되면, 테스트트레이(T)는 상기 테스트챔버(162)로 이동한다.
상기 테스트챔버(162)는 테스트장비의 테스트보드(H) 일부 또는 전부가 내측으로 삽입되도록 결합되고, 상기 테스트보드(H)에 테스트트레이(T)의 반도체 소자를 접속시켜 테스트한다. 반도체 소자에 대한 테스트가 완료되면, 테스트트레이(T)는 상기 제2챔버(163)로 이동한다.
상기 제2챔버(163)는 테스트트레이를 한스텝씩 이동시키면서, 테스트 완료된 반도체 소자를 상온으로 복원시킨다. 반도체 소자가 상온으로 복원되면, 테스트트레이는 상기 교환부(15)로 공급된다.
여기서, 상기 챔버부(16)는 제1챔버(161), 테스트챔버(162), 및 제2챔버(163)가 수평으로 배열되어 설치될 수 있고, 도시되지는 않았지만 상하로 적층 배열되면서 설치될 수도 있다.
상기 제1챔버(161), 테스트챔버(162), 및 제2챔버(163)가 상하로 적층 배열되면서 설치되는 경우, 상기 로테이터(1)는 수직상태로 전환되는 테스트트레이(T)가 상기 제1챔버(161)의 입구 및 상기 제2챔버(163)의 출구와 동일 수직선상에 위치하도록 설치되는 바람직하다.
따라서, 테스트할 반도체 소자가 담겨진 테스트트레이(T)가 상기 로테이터(1)에 의해 수직상태로 전환되면, 그 상태에서 상기 제1챔버(161)로 이동할 수 있는 위치로 정렬된다.
그 후, 테스트할 반도체 소자가 담겨진 테스트트레이(T)가 제1챔버(161)로 이동하면, 상기 제2챔버(163)로부터 테스트가 완료된 반도체 소자가 담겨진 테스트트레이(T)가 이동하여 상기 본체부(2)에 홀딩된다.
위와 같은 테스트트레이(T)의 이동은 동시에 이루어질 수 있다.
따라서, 상기 로테이터(1)는 수평상태에서 수직상태로 회전한 후에, 테스트할 반도체 소자가 담겨진 테스트트레이(T) 및 테스트가 완료된 반도체 소자가 담겨진 테스트트레이(T)를 교환하고, 다시 수평상태로 회전할 수 있다.
이하에서는 본 발명에 따른 반도체 소자 제조방법의 바람직한 실시예를 첨부된 도 3 내지 도 9를 참고하여 상세히 설명한다.
우선, 테스트할 반도체 소자를 준비한다. 상기 반도체 소자는 메모리 또는 비메모리 반도체 소자, 모듈아이씨 등을 포함한다. 또한, 상기 반도체 소자를 준비하는 공정은 고객 트레이에 반도체 소자를 담아 로딩스택커(11)에 적재하는 공정으로 이루어질 수 있다.
다음, 준비된 테스트할 반도체 소자를 테스트트레이(T)에 장착한다.
이 공정은 상기 제1픽커(131) 및 제2픽커(132)에 의해 반도체 소자를 로딩스택커(11)의 고객트레이로부터 버퍼부(14)를 거쳐 교환부(15)의 테스트트레이(T)에 장착하는 공정으로 이루어질 수 있다.
또한, 상기 교환부(15)가 로딩부 및 언로딩부로 분리되어 형성되는 경우 로딩부에 위치한 테스트트레이(T)에 반도체 소자를 장착할 수 있다.
다음, 테스트할 반도체 소자가 담겨진 테스트트레이(T)를 상기 로테이터를 이용하여 회전시켜 수직상태로 전환한다.
이 공정은 상기 로테이터(1)에 의해 테스트할 반도체 소자가 담겨진 테스트트레이(T)를 회전시켜 수직상태로 전환하는 공정으로 이루어질 수 있다.
다음, 수직상태로 전환된 테스트트레이에 담겨진 반도체 소자를 테스트 온도로 조절한다.
이 공정은 상기 제1챔버(161)에서 테스트트레이(T)를 한스텝씩 이동시키면서, 반도체 소자를 테스트 온도로 가열 또는 냉각하는 공정으로 이루어질 수 있다. 이 경우 상기 테스트트레이(T)는 교환부(15)로부터 공급받은 테스트트레이(T)이고, 테스트할 반도체 소자가 장착되어 있는 것이 바람직하다.
다음, 테스트 온도로 조절된 반도체 소자를 테스트보드(H)에 접속시킨다.
이 공정은 상기 테스트챔버(162)에서 테스트트레이(T)를 테스트보드(H) 측으로 수평 이동시켜, 반도체 소자를 테스트보드(H)에 접속시켜 테스트하는 공정으로 이루어질 수 있다. 이 경우 상기 테스트트레이(T)는 제1챔버(161)로부터 공급받은 테스트트레이(T)이고, 테스트 온도로 조절된 반도체 소자가 장착되어 있는 것이 바람직하다.
다음, 테스트가 완료된 반도체 소자를 상온으로 복원시킨다.
이 공정은 상기 제2챔버(163)에서 테스트트레이(T)를 한스텝씩 이동시키면서, 반도체 소자를 상온으로 복원시키는 공정으로 이루어질 수 있다. 이 경우 상기 테스트트레이(T)는 테스트챔버(162)로부터 공급받은 테스트트레이(T)이고, 테스트가 완료된 반도체 소자가 장착되어 있는 것이 바람직하다.
다음, 상온으로 복원된 반도체 소자가 담겨진 테스트트레이(T)를 상기 로테이터(1)를 이용하여 회전시켜 수평상태로 전환한다.
이 공정은 상기 로테이터(1)에 의해 상온으로 복원된 반도체 소자가 담겨진 테스트트레이(T)를 회전시켜 수직상태로 전환하는 공정으로 이루어질 수 있다.
다음, 수평상태로 전환된 테스트트레이(T)로부터 반도체 소자를 분리하여 테스트 결과에 따라 분류한다.
이 공정은 상기 제2픽커(132) 및 제1픽커(131)에 의해 반도체 소자를 교환 부(15)의 테스트트레이(T)로부터 분리한 후에, 버퍼부(14)를 거쳐 테스트 결과에 따라 등급별로 언로딩스택커(12)의 고객트레이에 수납하는 공정으로 이루어질 수 있다.
또한, 상기 교환부(15)가 로딩부 및 언로딩부로 분리되어 형성되는 경우 언로딩부에 위치한 테스트트레이(T)로부터 반도체 소자를 분리할 수 있다.
한편, 이 공정에서 테스트트레이(T)는 제2챔버(163)로부터 공급받은 테스트트레이(T)이고, 상기 로테이터(1)에 의해 회전되어 수평상태로 전환된 상태이며, 상온으로 복원된 반도체 소자가 장착되어 있는 것이 바람직하다.
이상에서 설명한 본 발명은 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것이 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다.
본 발명은 앞서 본 구성 및 작동관계에 의해 다음과 같은 효과를 도모할 수 있다.
본 발명은 로테이터를 회전시키기 위해 구동력을 전달하는 구성 및 회전축을 일정 거리 이격시켜 분리 구현함으로써, 로테이터에 작용하는 부하를 경감시킬 수 있으며, 그에 따라 테스트트레이의 회전속도를 안정적으로 제어하면서 회전시킬 수 있는 효과를 이룰 수 있다.
본 발명은 테스트트레이의 크기 및 중량의 증가에 따라 함께 증가하는 로테 이터에 작용하는 부하를 경감시켜 지지함으로써, 한번에 더 많은 반도체 소자를 테스트할 수 있는 테스트트레이를 안정적으로 회전시킬 수 있는 효과를 가진다.
본 발명은 한번에 더 많은 개수의 반도체 소자를 테스트할 수 있는 테스트트레이 및 이러한 테스트트레이를 수직상태로 이송하면서 테스트하는 테스트 핸들러에 용이하게 적용할 수 있는 효과를 얻을 수 있다.
본 발명은 간결한 구성으로 테스트트레이의 양측이 기울어짐 없이 균일하게 회전할 수 있도록 구현하여 더 안정적으로 테스트트레이를 회전시킬 수 있는 효과를 도모할 수 있다.

Claims (15)

  1. 회전축이 결합되는 회전축연결부와, 상기 회전축연결부로부터 일정 거리 이격되어 분리 형성되고 회전을 위한 구동력을 전달받는 구동연결부를 가지며, 상기 회전축을 중심으로 회전할 시에 테스트트레이를 홀딩하는 본체부; 및
    상기 구동연결부를 통해 상기 본체부에 회전을 위한 구동력을 제공하는 구동부를 포함하는 로테이터.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 구동부는
    상기 본체부의 회전경로를 안내하는 가이드부; 및
    상기 구동연결부에 회전 가능하게 결합되고, 회전하면서 상기 가이드부 상에서 이동하는 회전이동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 로테이터.
  3. 제 2 항에 있어서, 상기 구동부는 상기 회전이동부 및 상기 본체부로부터 분리되어 설치되는 동력원을 연결하는 동력연결부를 포함하는 것을 특징으로 하는 로테이터.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 구동연결부는 상기 본체부의 양측에 각각 구비되는 제1구동연결부 및 제2구동연결부를 포함하고;
    상기 회전이동부는 상기 제1구동연결부에 회전 가능하게 결합되는 제1회전이동부 및 상기 제2구동연결부에 회전 가능하게 결합되는 제2회전이동부를 포함하며;
    상기 가이드부는 상기 제1회전이동부가 회전하면서 이동하는 제1가이드부 및 상기 제2회전이동부가 회전하면서 이동하는 제2가이드부를 포함하는 것을 특징으로 하는 로테이터.
  5. 제 4 항에 있어서, 상기 동력연결부는
    상기 제1회전이동부에 결합되는 제1회전구 및 상기 제2회전이동부에 결합되는 제2회전구를 포함하는 회전구,
    동력원으로부터 동력을 공급받아 회전하는 회전연결부, 및
    상기 회전연결부의 일측과 상기 제1회전구를 연결하는 제1연결부 및 상기 회전연결부의 타측과 상기 제2회전구를 연결하는 제2연결부를 가지는 연결부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 로테이터.
  6. 제 2 항에 있어서, 상기 회전이동부는 피니언기어를 포함하여 이루어지고;
    상기 가이드부는 랙기어를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 로테이터.
  7. 제 1 항에 있어서, 상기 구동부는
    일측이 상기 구동연결부에 결합되는 링크바;
    상기 링크바의 타측이 결합되고, 승하강하면서 상기 본체부를 회전시키는 링 크승강부; 및
    상기 링크승강부를 승하강시키는 승강구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러용 로테이터.
  8. 제 7 항에 있어서, 상기 승강구동부는 회전운동을 상하운동으로 전환시키는 승강구를 포함하고;
    상기 링크승강부는 상기 승강구에 승하강 가능하게 결합되는 승강연결부를 포함하는 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러용 로테이터.
  9. 제 8 항에 있어서, 상기 승강구동부는 상기 승강구 및 상기 본체부로부터 분리되어 설치되는 동력원을 연결하는 제1전달부를 가지는 동력전달부를 포함하는 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러용 로테이터.
  10. 제 9 항에 있어서, 상기 구동연결부는 상기 본체부의 양측에 구비되는 제1구동연결부 및 제2구동연결부를 포함하고;
    상기 링크바, 상기 링크승강부, 및 상기 승강구는 상기 제1구동연결부 및 상기 제2구동연결부 각각에 회전을 위한 구동력을 제공할 수 있도록 복수개가 구비되는 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러용 로테이터.
  11. 제 10 항에 있어서, 상기 승강구는 제1승강구 및 제2승강구를 포함하여 이루 어지고;
    상기 제1전달부는 동력원 및 상기 제1승강구를 연결하며;
    상기 동력전달부는 상기 제1승강구 및 상기 제2승강구를 연결하는 제2전달부를 포함하는 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러용 로테이터.
  12. 제 7 항에 있어서, 상기 승강구동부는 상기 링크승강부의 승하강을 안내하는 안내부를 포함하고;
    상기 링크승강부는 상기 안내부에 결합되는 안내연결부를 포함하는 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러용 로테이터.
  13. 테스트트레이에 담겨진 반도체 소자를 테스트 온도로 조절하는 제1챔버;
    테스트 온도로 조절된 반도체 소자를 테스트보드에 접속시키는 테스트챔버;
    테스트가 완료된 반도체 소자를 상온으로 복원시키는 제2챔버;
    테스트트레이를 상기 제1챔버로 공급하고, 상기 제2챔버로부터 테스트트레이를 공급받으며, 테스트할 반도체 소자를 테스트트레이에 장착하는 로딩공정 및 테스트가 완료된 반도체 소자를 분류하는 언로딩공정이 이루어지는 교환부;
    반도체 소자를 이송하면서 상기 로딩공정 및 상기 언로딩공정을 수행하는 픽커부; 및
    상기 교환부에 설치되고, 상기 테스트트레이를 회전시키는 상기 제 1 항 내지 제 12 항 중 어느 하나의 로테이터를 포함하는 테스트 핸들러.
  14. 제 13 항에 있어서, 상기 교환부는 로딩공정이 이루어지는 로딩부, 및 언로딩공정이 이루어지는 언로딩부를 포함하고;
    상기 로테이터는 상기 로딩부 및 상기 언로딩부에 각각 설치되는 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러.
  15. 삭제
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