KR970066589A

KR970066589A - 반도체 디바이스 테스터의 수평형 핸들러(Horizontal Hamdler) 운영 방법 및 장치

Info

Publication number: KR970066589A
Application number: KR1019960008866A
Authority: KR
Inventors: 박주천
Original assignee: 이재영; 아주시스템 주식회사
Priority date: 1996-03-23
Filing date: 1996-03-23
Publication date: 1997-10-13

Abstract

본 발명은 반도체 디바이스(Memory Device) 테스터의 수형형 핸들러(Horizontal Hamdler)운영 방법 및 장치에 관한 것으로, 소정의 분류 기준에 의해 완성된 반도체 디바이스가 일정하게 정렬되도록 한 제1단계; 상기 제1단계에 따라 해당 디바이스를 취출하여 트레이의 유/무를 확인하고 상기 트레이가 수평 상태로 공급되어 대기중 임이 확인되면 상기 트레이의 설정된 위치에 디바이스를 로딩하기 위한 제2단계; 상기 디바이스 로딩이 완료되면 완료됨을 확인하여 인가되는 신호에 의해 연속 순환 경로를 따라 트레이의 수평 이동이 이루어지는 제3단계; 상기 제3단계에 따라 이동되는 트레이가 현재의 위치를 확인 받아 미리 위치 설정된 테스터기와 마주하여 대응될 수 있는 위치이면 이동이 정지되도록 한 제4단계; 상기 정지 상태에서 테스터기와 탑재된 디바이스가 일대일로 마주할 수 있도록 트레이가 일정각도로 방향 전환되는 제5단계; 상기 테스터기와 마주한 상태에서 트레이가 테스터기에 밀착되도록 전진 및 테스터 완료 후 원위치로 복귀되도록 한 제6단계; 상기 제6단계 후 원래의 수평 위치로 트레이 복귀가 이루어지는 제7단계; 상기 제7단계 후 정지된 연속 순환 경로를 따라 재 수평 이동이 이루어지는 제8단계; 및 소정의 언로딩 위치에서 트레이가 정지되어 디바이스가 인출되고 빈 트레이는 적재될 수 있도록 마련된 제9단계를 구비함과, 분류/정렬된 반도체 디바이스를 취부하여 트레이상에 탑재되도록 마련된 공급 수단; 상기 공급 수단에 의해 디바이스가 탑재되도록 핸들러 챔버상에 순차적으로 적재/대기되었다가 개별적으로 공급되는 트레이; 상기 트레이의 일방향 회동이 가능하도록 좌/우 선단부에 마련되는 힌지축; 상기 힌지축을 지지한면서 재치되는 트레이의 수평 순환 이동이 가능하도록 연속 순환 경로로 설치되어 구동되도록 한 연속 이송 수단; 상기 이송 수단에 따라 이송되는 트레이가 미리 설정되어 있는 테스터기와의 대응 위치에서 소정의 인가되는 위치 확인 신호에 의해 해당 디바이스가 테스터기와 마주할 수 있도록 트레이를 수직 회동시키는 제어작동 수단; 상기 제어 수단에 따라 회동된 트레이가 테스터기와 밀착될 수 있도록 제어 작동 수단과 연동되고 가압 패널이 포함되며 가이드 샤프트를 타고 트레이의 전/후진이 이루어지도록 이송 수단의 저면에 위치되어 작동되는 가압 수단; 및 상기 가압 수단에 의하여 테스트 완료된 후 원래의 수평 위치로 복귀된 트레이가 이송 수단에 의한 연속순환 경로 상의 언로딩 위치에서 디바이스의 언로딩이 가능하도록 인출수단을 구비하여 이루어짐으로 테스터기와의 호환성을 극대화하는 것이며, 다양한 반도체 디바이스 패키지에 적절하게 대응할 수 있어서 리드 프레임의 파손 우려 없이 양질의 신뢰성 높은 테스트가 가능한 것이다.

Description

반도체 디바이스 테스터의 수형형 핸들러(Horizontal Hamdler)운영 방법 및 장치

본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

제2도는 본 발명에 의한, 수평형 핸들러 장치의 외부 구성을 도시한 정면 상태도, 제3도는 본 발명의 핸들러 장치에서 수평 상태의 트레이가 테스터기와 대응되도록 수직 전환됨을 도시한 개념도, 제5도는 본 발명에 의한, 전체적인 수평형 핸들러의 구성 및 관계를 도시한 평면 상태도.

Claims

소정의 분류 기준에 의해 완성된 반도체 디바이스가 일정하게 정렬되도록 한 제1단계; 상기 제1단계에 따라 해당 디바이스를 취출하여 트레이의 유/무를 확인하고 상기 트레이가 수평 상태로 공급되어 대기중 임이 확인되면 상기 트레이의 설정된 위치에 디바이스를 로딩하기 위한 제2단계; 상기 디바이스 로딩이 완료되면 완료됨을 확인하여 인가되는 신호에 의해 연속 순환 경로를 따라 트레이의 수평 이동이 이루어지는 제3단계; 상기 제3단계에 따라 이동되는 트레이가 현재의 위치를 확인 받아 미리 위치 설정된 테스터기와 마주하여 대응될 수 있는 위치이면 이동이 정지되도록 한 제4단계; 상기 정지 상태에서 테스터기 탑재된 디바이스가 일대일로 마주할 수 있도록 트레이가 일정각도로 방향 전환되는 제5단계; 상기 테스터기와 마주한 상태에서 트레이가 테스터기에 밀착되도록 전진 및 테스터 완료 후 원위치로 복귀되도록 한 제6단계; 상기 제6단계 후 원래의 수평 위치로 트레이 복귀가 이루어지는 제7단계; 상기 제7단계 후 정지된 연속 순환 경로를 따라 재 수평 이동이 이루어지는 제8단계; 및 소정의 언로딩 위치에서 트레이가 정지되어 디바이스가 인출되고 빈 트레이는 적재될 수 있도록 마련된 제9단계를 구비하여 이루어짐을 특징으로하는 반도체 디바이스 테스터의 수평형 핸들러(Horizontal Hamdler)운영 방법.
제1항에 있어서, 상기 제2단계에서의 트레이는 복수개가 마련되어 순차적으로 인출되어 수평 공급됨을 특징으로 하는 반도체 디바이스 테스터의 수형형 핸들러(Horizontal Hamdler)운영 방법.
제1항에 있어서, 상기 트레이가 테스터기와 대응되기 위해서는 90°의 수직각으로 방향 전환됨을 특징으로하는 반도체 디바이스 테스터의 수형형 핸들러(Horizontal Hamdler)운영 방법.
분류/정렬된 반도체 디바이스를 취부하여 트레이상에 탑재되도록 마련된 공급 수단; 상기 공급 수단에 의해 디바이스가 탭재되도록 핸들러 챔버상에 순차적으로 적재/대기되었다가 개별적으로 공급되는 트레이; 상기 트레이의 일방향 회동이 가능하도록 좌/우 선단부에 마련되는 힌지축; 상기 힌지축을 지지한면서 재치되는 트레이의 수평 순환 이동이 가능하도록 연속 순환 경로로 설치되어 구동되도록 한 연속 이송 수단; 상기 이송 수단에 따라 이송되는 트레이가 미리 설정되어 있는 테스터기와의 대응 위치에서 소정의 인가되는 위치 확인 신호에 의해 해당 디바이스가 테스터기와 마주할 수 있도록 트레이를 수직 회동시키는 제어작동 수단; 상기 제어 작동 수단에 따라 회동된 트레이가 테스터기와 밀착될 수 있도록 제어 작동 수단과 연동되고 가압 패널이 포함되며 가이드 샤프트를 타고 트레이의 전/후진이 이루어지도록 이송 수단의 저면에 위치되도록 작동되는 가압수단; 및 상기 가압수단에 의하여 테스트 완료된 후 원래의 수평 위치로 복귀된 트레이가 이송 수단에 의한 연속순환 경로 상의 언로딩 위치에서 디바이스의 언로딩이 가능하도록 인출수단을 구비하여 이루어짐을 특징으로 하는 반도체 디바이스 테스터의 수평형 핸들러(Horizontal Handler)장치.
제4항에 있어서, 상기 공급 수단으로는 진공 흡착용 취부 로봇이 제공됨을 특징으로 하는 반도체 디바이스 테스터의 수평형 핸들러(Horizontal Handler)장치.
제4항에 있어서, 상기 트레이는 디바이스 장착 패널에 힌지 결합되어 탈/착 가능한 디바이스 고정 패널을 구비하여 이루어짐을 특징으로 하는 반도체 디바이스 테스터의 수평형 핸들러(Horizontal Handler)장치.
제4항에 있어서, 상기 이송 수단으로는 연속 순환 구동 벨트가 마련됨을 특징으로 하는 반도체 디바이스 테스터의 수평형 핸들러(Horizontal Handler)장치.
제4항에 있어서, 상기 제어 작동 수단으로는 회동 각도의 제어부가 다단계로 설정된 실린더로 제공됨을 특징으로 하는 반도체 디바이스 테스터의 수평형 핸들러(Horizontal Handler)장치.

※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.