KR20090041859A - 고객트레이 위치보정장치, 이를 포함하는 핸들러, 및 이를이용한 반도체 소자 제조방법 - Google Patents

고객트레이 위치보정장치, 이를 포함하는 핸들러, 및 이를이용한 반도체 소자 제조방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 고객트레이의 위치를 결정하는 적어도 하나의 제1위치결정부 및 제2위치결정부; 고객트레이가 안착되는 플레이트; 고객트레이를 상기 제1위치결정부가 설치된 방향으로 이동시킬 수 있도록 작동되는 제1보정부; 고객트레이를 상기 제2위치결정부가 설치된 방향으로 이동시킬 수 있도록 작동되는 제2보정부; 및 상기 제1보정부 및 상기 제2보정부를 작동시키는 작동부를 포함하는 고객트레이 위치보정장치, 이를 포함하는 핸들러, 및 이를 이용한 반도체 소자 제조방법에 관한 것으로서,
본 발명에 따르면, 간결한 구조로 이루어지면서도, 고객트레이를 정확한 위치에 위치시킬 수 있도록 구현함으로써, 제조의 용이성, 제조비용의 절감 및 유지비용의 절감을 실현할 수 있다.
고객트레이, 핸들러, 반도체 소자, 테스트장비, 하이픽스보드

Description

고객트레이 위치보정장치, 이를 포함하는 핸들러, 및 이를 이용한 반도체 소자 제조방법{Position Revision Apparatus of Customer-tray, Handler include the same, and Method of Manufacturing Semiconductor using the same}
본 발명은 반도체 소자를 테스트장비에 접속시키고, 테스트장비에 의해 테스트 완료된 반도체 소자를 테스트 결과에 따라 등급별로 분류하는 핸들러에 관한 것이다.
일반적으로, 메모리 혹은 비메모리 반도체 소자 및 이들을 적절히 하나의 기판상에 회로적으로 구성한 모듈 아이씨 등(이하, '반도체 소자'라 함)은 여러 가지 테스트 과정을 거쳐 제조된다.
이러한, 반도체 소자를 테스트하는 과정에서 사용되는 장비가 핸들러이다.
핸들러는 반도체 소자를 테스트하는 별도의 테스트장비에 반도체 소자를 접속시키고, 상기 테스트장비에 의해 테스트 완료된 반도체 소자를 테스트 결과에 따라 등급별로 분류하는 장비이다.
상기 핸들러는 양품으로 판별된 반도체 소자만이 출하될 수 있도록 함으로써, 품질관리 및 제품의 신뢰도 향상에 기여한다.
상기 핸들러는 크게 테스트공정, 로딩공정, 및 언로딩공정을 수행하고, 반도체 소자를 수납할 수 있는 소켓이 복수개 구비되는 테스트트레이를 이용하여 상기 공정을 수행한다.
상기 테스트공정은 테스트장비가 반도체 소자의 전기적인 특성을 테스트할 수 있도록 테스트트레이에 수납된 반도체 소자를 상기 테스트장비에 접속시킨다.
또한, 상기 핸들러는 테스트장비가 상온 뿐만 아니라, 고온 또는 저온의 극한 상태에서도 반도체 소자를 테스트할 수 있도록 복수개의 밀폐된 챔버를 구비하는 챔버부를 포함한다.
상기 로딩공정은 테스트될 반도체 소자가 담겨진 고객트레이(Customer-Tray)에서 테스트될 반도체 소자를 집어내어 테스트트레이(Test-Tray)에 수납시킨다. 상기 로딩공정은 복수개의 픽커를 통해 이루어진다. 상기 픽커는 반도체 소자를 흡착할 수 있는 노즐을 포함한다.
상기 언로딩공정은 테스트장비에 의해 테스트 완료된 반도체 소자를 테스트트레이에서 분리하고, 분리한 반도체 소자를 테스트 결과에 따라 서로 다른 위치에 위치한 고객트레이에 수납시킨다. 상기 언로딩공정은 로딩공정과 마찬가지로 복수개의 픽커를 통해 이루어진다.
상기 핸들러는 로딩공정 및 언로딩공정시 이용되는 고객트레이를 복수개 저장할 수 있는 스택커를 포함한다.
도 1은 핸들러에서 복수개의 고객트레이를 저장하는 스택커를 개략적으로 나타낸 정면도이고, 도 2는 고객트레이의 위치가 보정되는 상태를 개략적으로 나타낸 평면도이다.
도 1을 참고하면, 상기 스택커(100)는 복수개의 고객트레이(C)를 저장할 수 있고, 로딩스택커(101), 언로딩스택커(102), 버퍼스택커(103), 및 이송장치(104)를 포함한다.
상기 로딩스택커(101)는 핸들러본체(미도시)에 복수개가 설치되고, 로딩저장부(1011) 및 로딩플레이트(1012)를 포함한다.
상기 로딩저장부(1011)는 테스트될 반도체 소자가 담겨진 고객트레이(C)를 복수개 저장할 수 있다.
상기 로딩플레이트(1012)는 로딩공정이 이루어지는 고객트레이(C)를 지지하고, 핸들러본체(미도시)에 승강 가능하게 설치된다.
상기 언로딩스택커(102)는 테스트 완료된 반도체 소자를 테스트 결과에 따라 등급별로 서로 다른 위치에 저장할 수 있도록 핸들러본체(미도시)에 복수개가 설치된다.
상기 언로딩스택커(102)는 언로딩저장부(1021) 및 언로딩플레이트(1022)를 포함한다.
상기 언로딩저장부(1021)는 테스트 완료된 반도체 소자가 담겨진 고객트레이(C)를 복수개 저장할 수 있다.
상기 언로딩플레이트(1022)는 언로딩공정이 이루어지는 고객트레이(C)를 지지하고, 핸들러본체(미도시)에 승강 가능하게 설치된다.
상기 버퍼스택커(103)는 비어있는 고객트레이(C)를 복수개 저장할 수 있다.
상기 이송장치(104)는 고객트레이(C)를 파지할 수 있고, 핸들러본체(미도시)에 이동 가능하게 설치된다. 상기 이송장치(104)는 승강 이동 및 수평 이동이 가능하게 핸들러본체(미도시)에 설치되는 것이 바람직하다.
상기와 같은 스택커(100)에서 고객트레이(C)는 다음과 같이 이송된다.
우선, 상기 이송장치(104)는 테스트될 반도체 소자가 수납된 고객트레이(C)를 로딩저장부(1011)에서 로딩플레이트(1012)로 이송한다.
다음, 상기 로딩플레이트(1012)는 로딩저장부(1011)로부터 이송된 고객트레이(C)를 픽커(미도시)가 상기 고객트레이(C)에서 테스트될 반도체 소자를 집어낼 수 있는 위치(101a)로 상승시킨다.
다음, 로딩공정이 완료되어 상기 고객트레이(C)가 비게되면, 상기 이송장치(104)는 비어있는 고객트레이(C)를 상기 로딩플레이트(1012)에서 상기 버퍼스택커(103) 또는 상기 언로딩플레이트(1022) 중 어느 하나로 이송한다.
다음, 상기 이송장치(104)는 비어있는 고객트레이(C)를 상기 버퍼스택커(103) 또는 상기 로딩플레이트(1012) 중 어느 하나에서 상기 언로딩플레이트(1022)로 이송한다.
다음, 상기 언로딩플레이트(1022)는 상기 버퍼스택커(103) 또는 상기 로딩플레이트(1012) 중 어느 하나로부터 이송된 고객트레이(C)를 픽커(미도시)가 상기 고객트레이(C)에 테스트 완료된 반도체 소자를 수납시킬 수 있는 위치(102a)로 상승시킨다.
다음, 언로딩공정이 완료되어 상기 고객트레이(C)에 테스트 완료된 반도체 소자가 수납되면, 상기 이송장치(104)는 테스트 완료된 반도체 소자가 수납된 고객트레이(C)를 상기 언로딩플레이트(1022)에서 상기 언로딩저장부(1021)로 이송한다.
상기와 같은 과정을 반복적으로 수행함으로써, 상기 핸들러는 반도체 소자를 테스트 결과에 따라 등급별로 분류할 수 있다.
도 1 및 도 2를 참고하면, 상기 스택커(100)는 픽커(미도시)가 로딩공정 및 언로딩공정을 안정적으로 수행할 수 있도록, 상기 고객트레이(C)를 상기 로딩플레이트(1021) 및 언로딩플레이트(1022)에서 항상 정확한 위치에 위치시켜야만 한다.
이를 위해 상기 스택커(100)는 도시되지는 않았지만, 고객트레이(C)를 상기 로딩플레이트(1021) 및 언로딩플레이트(1022)에서 정확한 위치로 이동시킬 수 있는 고객트레이 위치보정장치를 포함한다.
상기 고객트레이 위치보정장치는 고객트레이(C)를 X축방향 및 Y축방향으로 이동시킬 수 있고, 이에 따라 고객트레이(C)를 제1위치결정부(A) 및 제2위치결정부(B)에 밀착시킴으로써 고객트레이(C)를 정확한 위치에 위치시킬 수 있다.
그러나, 종래의 고객트레이 위치보정장치는 고객트레이(C)를 X축방향으로 이동시키기 위한 제1구동부, 및 고객트레이(C)를 Y축방향으로 이동시키기 위한 제2구동부를 별도로 구비하기 때문에, 구조가 복잡하고 제조비용이 높은 문제가 있다.
이러한 문제는 상기 고객트레이 위치보정장치가 복수개 설치되기 때문에 더욱 심화된다.
본 발명은 상술한 바와 같은 문제점을 해결하고자 안출된 것으로서,
본 발명의 목적은 간결한 구조로 이루어지면서도, 고객트레이를 정확한 위치에 위치시킬 수 있는 고객트레이 위치보정장치, 이를 포함하는 핸들러, 및 이를 이용한 반도체 소자 제조방법을 제공하는 것이다.
상술한 바와 같은 목적을 달성하기 위해서, 본 발명은 하기와 같은 구성을 포함한다.
본 발명에 따른 고객트레이 위치보정장치는 고객트레이의 위치를 결정하는 적어도 하나의 제1위치결정부 및 제2위치결정부; 고객트레이가 안착되는 플레이트; 고객트레이를 상기 제1위치결정부가 설치된 방향으로 이동시킬 수 있도록 작동되는 제1보정부; 고객트레이를 상기 제2위치결정부가 설치된 방향으로 이동시킬 수 있도록 작동되는 제2보정부; 및 상기 제1보정부 및 상기 제2보정부를 작동시키는 작동부를 포함한다.
본 발명에 따른 핸들러는 테스트될 반도체 소자가 담겨진 고객트레이를 복수개 저장하는 로딩스택커; 테스트될 반도체 소자를 테스트트레이에 수납시키는 로딩부; 테스트트레이에 수납된 테스트될 반도체 소자를 하이픽스보드에 접속시키는 챔버부; 테스트트레이에 수납된 테스트 완료된 반도체 소자를 테스트 결과에 따라 등급별로 분류하는 언로딩부; 테스트 완료된 반도체 소자가 담겨진 고객트레이를 복 수개 저장하는 언로딩스택커; 및 상기 로딩스택커 및 상기 언로딩스택커에 설치되는 상기 고객트레이 위치보정장치를 포함한다.
본 발명에 따른 반도체 소자 제조방법은 테스트될 반도체 소자를 준비하는 단계; 상기 준비된 테스트될 반도체 소자가 담겨진 고객트레이의 위치를 보정하기 위해 로딩스택커에 설치된 상기 플레이트에 안착되는 고객트레이를 상기 제1위치결정핀 및 상기 제2위치결정핀이 설치된 방향으로 이동시키는 단계; 테스트 완료된 반도체 소자가 담겨질 고객트레이의 위치를 보정하기 위해 언로딩스택커에 설치된 상기 플레이트에 안착되는 고객트레이를 상기 제1위치결정핀 및 상기 제2위치결정핀이 설치된 방향으로 이동시키는 단계; 테스트될 반도체 소자를 테스트트레이에 수납시키는 단계; 테스트트레이에 수납된 테스트될 반도체 소자를 하이픽스보드에 접속시키는 단계; 및 테스트트레이에 수납된 테스트 완료된 반도체 소자를 테스트 결과에 따라 등급별로 분류하는 단계를 포함한다.
본 발명에 따르면, 다음과 같은 효과를 도모할 수 있다.
본 발명은 간결한 구조로 이루어지면서도, 고객트레이를 정확한 위치에 위치시킬 수 있도록 구현함으로써, 제조의 용이성, 제조비용의 절감 및 유지비용의 절감을 실현할 수 있는 효과를 얻을 수 있다.
이하에서는 본 발명에 따른 고객트레이 위치보정장치의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도 3은 본 발명에 따른 고객트레이 위치보정장치 및 고객트레이를 나타낸 사시도이고, 도 4는 도 3의 저면을 나타낸 사시도이다.
도 3 및 도 4를 참고하면, 본 발명에 따른 고객트레이 위치보정장치(1)는 제1위치결정부(2), 제2위치결정부(3), 플레이트(4), 제1보정부(5), 제2보정부(6), 및 작동부(7)를 포함한다.
상기 제1위치결정부(2)는 고객트레이(C)의 위치를 결정하고, 상기 플레이트(4) 또는 핸들러본체(미도시) 중 어느 하나에 설치될 수 있다.
상기 제1위치결정부(2)는 고객트레이(C)의 제1면(C1)을 지지할 수 있도록, 상기 플레이트(4)의 상면으로 일정 길이 돌출되게 설치될 수 있다.
상기 고객트레이(C)의 제1면(C1)이 상기 제1위치결정부(2)에 지지되면, 상기 고객트레이(C)는 상기 제1위치결정부(2)가 설치된 방향(화살표 X 방향)으로 위치가 보정된다.
상기 제2위치결정부(3)는 고객트레이(C)의 위치를 결정하고, 상기 플레이트(4) 또는 핸들러본체(미도시) 중 어느 하나에 설치될 수 있다.
상기 제2위치결정부(3)는 고객트레이(C)의 제2면(C2)을 지지할 수 있도록, 상기 플레이트(4)의 상면으로 일정 길이 돌출되게 설치될 수 있다.
상기 고객트레이(C)의 제2면(C2)이 상기 제2위치결정부(3)에 지지되면, 상기 고객트레이(C)는 상기 제2위치결정부(3)가 설치된 방향(화살표 Y 방향)으로 위치가 보정된다.
상기 제2위치결정부(3) 및 제1위치결정부(2)는 각각 고객트레이(C)의 서로 수직한 제1면(C1) 및 제2면(C2)을 지지할 수 있도록 설치되는 것이 바람직하다.
이에 따라, 상기 고객트레이 위치보정장치(1)는 고객트레이(C)를 상기 제2위치결정부(3) 및 제1위치결정부(2)에 지지되도록 이동시킴으로써, 고객트레이(C)를 정확한 위치로 이동시킬 수 있다. 고객트레이(C)를 정확한 위치로 이동시킨다 함은 픽커(미도시)가 로딩공정 및 언로딩공정을 안정적으로 수행할 수 있는 위치로 고객트레이(C)를 이동시킨다는 것을 의미한다.
상기 제2위치결정부(3) 및 제1위치결정부(2)는 각각 복수개가 설치될 수 있고, 이에 따라 상기 고객트레이(C)가 더 정확한 위치로 이동될 수 있도록 한다.
상기 플레이트(4)는 전체적으로 사각판형으로 형성되고, 고객트레이(C)가 안착된다. 상기 플레이트(4)에는 상기 제1위치결정부(2) 및 제2위치결정부(3)가 설치될 수 있다.
상기 제1보정부(5)는 고객트레이(C)를 상기 제1위치결정부(2)가 설치된 방향(화살표 X 방향)으로 이동시킬 수 있도록 작동되고, 제1이동부(51) 및 제1탄성부재(52)를 포함한다.
상기 제1이동부(51)는 적어도 하나 이상이 상기 플레이트(4)에 회전 가능하게 결합된다.
상기 제1이동부(51)는 플레이트(4)에서 고객트레이(C)가 안착되는 상면의 반대면, 즉 상기 플레이트(4)의 저면에 결합되는 것이 바람직하다.
이에 따라, 상기 제1이동부(51)는 픽커(미도시)와 작업경로가 겹치지 않게 되므로, 상기 픽커(미도시)가 안정적으로 로딩공정 및 언로딩공정을 수행할 수 있 도록 한다.
상기 제1이동부(51)는 제1몸체(511), 제1접촉부(512), 및 회전부(513)를 포함한다.
상기 제1몸체(511)는 회전축(511a)을 중심으로 회전될 수 있도록 상기 플레이트(4)에 회전 가능하게 결합된다. 상기 제1몸체(511)는 전체적으로 '>' 형태로 형성될 수 있고, 상기 플레이트(4)의 저면에 결합될 수 있다.
상기 제1접촉부(512)는 제1몸체(511)의 일단(511b)에 결합되고, 상기 제1몸체(511)의 회전에 따라 상기 고객트레이(C)를 이동시킬 수 있다.
상기 제1접촉부(512)는 고객트레이(C)의 제3면(C3)에 접촉될 수 있고, 이에 따라 상기 고객트레이(C)의 제3면(C3)을 밀어서 상기 고객트레이(C)를 상기 제1위치결정부(2)가 설치된 방향(화살표 X 방향)으로 이동시킬 수 있다.
상기 제1접촉부(512)는 제1몸체(511)가 상기 플레이트(4)의 저면에 결합되는 경우, 상기 플레이트(4)의 상면에 안착되는 고객트레이(C)의 제3면(C3)에 접촉될 수 있도록 상기 제1몸체(511)에서 돌출되게 형성될 수 있다.
상기 제1접촉부(512)는 제1몸체(511)의 일단(511b)에 회전 가능하게 결합될 수 있다.
따라서, 상기 제1접촉부(512)는 고객트레이(C)를 이동시킬 시에 회전축(512a)을 중심으로 회전될 수 있으므로, 상기 제1접촉부(512) 및 고객트레이(C)가 서로 접촉되는 부분이 마찰에 의해 손상되는 것을 방지할 수 있다.
상기 회전부(513)는 작동부(7)에 접촉되고, 상기 작동부(7)로부터 제1몸 체(511)가 회전되기 위한 힘을 제공받을 수 있다.
상기 회전부(513)는 제1몸체(511)의 타단(511c)에 회전 가능하게 결합될 수 있다.
따라서, 상기 회전부(513)는 제1몸체(511)가 회전될 시에 회전축(513a)을 중심으로 회전될 수 있으므로, 상기 회전부(513) 및 작동부(7)가 서로 접촉되는 부분이 마찰에 의해 손상되는 것을 방지할 수 있다.
상기 제1탄성부재(52)는 제1이동부(51)를 상기 플레이트(4)에 탄성적으로 연결한다. 상기 제1탄성부재(52)는 제1이동부(51)와 대략 일치하는 개수로 설치되는 것이 바람직하다.
상기 제1탄성부재(52)는 일측이 제1몸체(511)의 일단(511b)에 결합되고, 타측이 상기 플레이트(4)에 결합될 수 있다.
이에 따라, 상기 제1탄성부재(52)는 제1몸체(511)의 일단(511b)을 플레이트(4)측으로 잡아당김으로써, 상기 제1이동부(51)가 고객트레이(C)를 제1위치결정부(3)가 설치된 방향(화살표 X 방향)으로 이동시킬 수 있도록 한다.
상기 제2보정부(6)는 고객트레이(C)를 상기 제2위치결정부(3)가 설치된 방향(화살표 Y 방향)으로 이동시킬 수 있도록 작동되고, 제2이동부(61) 및 제2탄성부재(62)를 포함한다.
상기 제2이동부(61)는 제2위치결정부(3)가 설치된 방향(화살표 Y 방향)으로 이동되어 고객트레이(C)를 상기 제2위치결정부(3)가 설치된 방향(화살표 Y 방향)으로 이동시킬 수 있다.
상기 제2이동부(61)는 플레이트(4)에 이동 가능하게 결합될 수도 있고, 또는 상기 작동부(7)가 플레이트(4)에 이동 가능하게 결합되는 경우 상기 작동부(7)에 결합될 수도 있다.
상기 제2이동부(61)는 제2몸체(611) 및 제2접촉부(612)를 포함한다.
상기 제2몸체(611)는 전체적으로 사각판형으로 형성되고, 상기 플레이트(4)에 형성되는 수용홈(41)에서 이동될 수 있다. 상기 제2몸체(611)는 제2탄성부재(62)에 의해 탄성적으로 지지될 수 있다.
상기 제2접촉부(612)는 제2몸체(611)에서 적어도 하나 이상이 돌출되게 형성되고, 고객트레이(C)를 이동시킬 수 있다.
상기 제2접촉부(612)는 고객트레이(C)의 제4면(C4)에 접촉될 수 있고, 이에 따라 상기 고객트레이(C)의 제4면(C4)을 밀어서 상기 고객트레이(C)를 상기 제2위치결정부(3)가 설치된 방향으로 이동시킬 수 있다.
상기 제2접촉부(612)는 플레이트(4)에 형성되는 관통공(42)에서 이동될 수 있다. 상기 제2접촉부(612)는 관통공(42)을 관통하여 플레이트(4)의 상면에 안착되는 고객트레이(C)의 제4면(C4)에 접촉될 수 있다.
상기 제2탄성부재(62)는 제2이동부(61)를 탄성적으로 지지하고, 이에 따라 상기 제2이동부(61)를 밀어서 상기 제2이동부(61)가 고객트레이(C)를 제2위치결정부(3)가 설치된 방향(화살표 Y 방향)으로 이동시킬 수 있도록 한다.
상기 제2탄성부재(62)는 일측이 플레이트(4)에 지지되고, 타측이 상기 제2이동부(61)의 제2몸체(611)를 지지할 수 있다.
상기 제2탄성부재(62)는 적어도 하나 이상이 구비될 수 있고, 이에 따라 상기 제2이동부(61)의 제2몸체(611)에 전체적으로 균일한 압력을 가함으로써, 상기 제2이동부(611)가 전체적으로 동일한 거리로 이동될 수 있도록 한다.
상기 제2탄성부재(62) 및 제1탄성부재(52)는 소정의 탄성력을 가지는 스프링일 수 있다.
여기서, 상기 제1보정부(5) 및 제2보정부(6)는 고객트레이(C)를 서로 수직한 방향으로 이동시킬 수 있다. 즉, 상기 제1보정부(5) 및 제2보정부(6)는 각각 고객트레이(C)의 서로 수직한 제3면(C3) 및 제4면(C4)을 밀어서 이동시킬 수 있다.
상기 작동부(7)는 제1보정부(5) 및 제2보정부(6)를 작동시킬 수 있고, 이에 따라 상기 제1보정부(5) 및 제2보정부(6)가 고객트레이(C)를 정확한 위치로 이동시킬 수 있도록 한다.
따라서, 상기 고객트레이 위치보정장치(1)는 하나의 작동부(7)에 의해 제1보정부(5) 및 제2보정부(6)를 작동시킬 수 있으므로, 간결한 구조로 이루어지면서도 고객트레이(C)를 정확한 위치로 이동시킬 수 있다.
또한, 상기 고객트레이 위치보정장치(1)는 하나의 동력원만으로 고객트레이(C)를 정확한 위치로 이동시킬 수 있으므로, 제조비용 및 유지비용을 절감할 수 있다.
상기 작동부(7)는 플레이트(4)에 이동 가능하게 결합되고, 상기 플레이트(4)에서 이동되면서 상기 제1보정부(5) 및 제2보정부(6)를 작동시킬 수 있다.
상기 작동부(7)는 플레이트(4)의 저면에 이동 가능하게 결합될 수 있다. 상 기 작동부(7)는 가이드블록 또는 가이드레일 중 어느 하나를 포함하고, 상기 플레이트(4)는 나머지 하나를 포함하여 이루어질 수 있다.
상기 작동부(7)는 실린더(8)의 로드(8a)에 결합되어서, 상기 실린더(8)의 로드(8a)의 이동에 따라 상기 플레이트(4)에서 이동될 수 있다.
상기 작동부(7)는 주동부(71) 및 종동부(72)를 포함할 수 있다.
상기 주동부(71)는 플레이트(4)에 이동 가능하게 결합되고, 상기 제1보정부(5)를 작동시킬 수 있다.
상기 주동부(71)는 제1보정부(5)를 작동시키고, 상기 제1보정부(5)의 작동시 상기 종동부(72)가 제2보정부(6)를 작동시킬 수 있도록 한다.
상기 주동부(71)는 플레이트(4)의 저면에 이동 가능하게 결합되는 것이 바람직하다. 상기 주동부(71)는 가이드블록 또는 가이드레일 중 어느 하나를 포함하고, 상기 플레이트(4)는 나머지 하나를 포함하여 이루어질 수 있다.
상기 주동부(71)는 제1이동부(51)를 회전시키는 적어도 하나의 돌출부(711)를 포함한다.
상기 돌출부(711)는 주동부몸체(71a)에서 돌출되게 형성되고, 바람직하게는 상기 플레이트(4)에서 상기 제1이동부(51)가 결합되는 방향으로 돌출되게 형성될 수 있다.
이에 따라 상기 제1이동부(51)는 회전부(513)가 돌출부(711)에 지지되면, 상기 제1접촉부(512)가 플레이트(4)에서 멀어지는 일방향으로 회전될 수 있다.
상기 제1이동부(51)는 회전부(513)가 상기 주동부(71)에서 돌출부(711)가 형 성되지 않은 부분에 지지되면, 상기 제1접촉부(512)가 고객트레이(C)의 제3면(C3)에 접촉되는 타방향으로 회전될 수 있다.
이 경우, 상기 제1이동부(51)는 제1탄성부재(52)에 의해 플레이트(4)에 탄성적으로 연결될 수 있다. 이에 따라, 상기 제1탄성부재(52)는 회전부(513)가 돌출부(711)에 지지되면 인장되고, 회전부(513)가 상기 주동부(71)에서 돌출부(711)가 형성되지 않은 부분에 지지되면 탄성력에 의해 압축되면서 상기 제1이동부(51)를 회전시킬 수 있다.
따라서, 상기 제1이동부(51)는 제1탄성부재(52)의 탄성력에 의해 상기 고객트레이(C)의 제1면(C1)이 제1위치결정부(2)에 지지되도록 고객트레이(C)를 이동시킬 수 있으므로, 상기 고객트레이(C)에 과다한 압력이 가하여져 손상되는 것을 방지할 수 있다.
상기 종동부(72)는 플레이트(4)에 이동 가능하게 결합되고, 상기 주동부(71)에 연동하여 상기 제2보정부(6)를 작동시킬 수 있다.
상기 종동부(72)는 플레이트(4)의 저면에 이동 가능하게 결합되는 것이 바람직하다. 상기 종동부(72)는 가이드블록 또는 가이드레일 중 어느 하나를 포함하고, 상기 플레이트(4)는 나머지 하나를 포함하여 이루어질 수 있다.
상기 종동부(72)는 주동부(71)에 연동하여 상기 제2이동부(61)를 이동시킬 수 있다.
상기 종동부(72)는 제2이동부(61)를 제2위치결정부(3)에서 멀어지는 방향(화살표 Y 반대방향)으로 이동시킬 수 있고, 상기 제2이동부(61)를 제2위치결정부(3) 가 설치된 방향(화살표 Y 방향)으로 이동시킬 수 있다.
상기 종동부(72)는 제2이동부(61)에 압력을 가함으로써 상기 제2이동부(61)를 제2위치결정부(3)에서 멀어지는 방향(화살표 Y 반대방향)으로 이동시킬 수 있고, 상기 제2이동부(61)에 가하던 압력을 제거함으로써 상기 제2이동부(61)를 제2위치결정부(3)가 설치된 방향(화살표 Y 방향)으로 이동시킬 수 있다.
이 경우, 상기 제2이동부(61)는 제2탄성부재(62)에 의해 탄성적으로 지지될 수 있다. 이에 따라, 상기 제2탄성부재(62)는 종동부(72)가 제2이동부(61)에 압력을 가하면 압축되고, 상기 종동부(72)가 제2이동부(61)에 가하던 압력을 제거하면 탄성력에 의해 인장되면서 상기 제2이동부(61)를 이동시킬 수 있다.
따라서, 상기 제2이동부(61)는 제2탄성부재(62)의 탄성력에 의해 상기 고객트레이(C)의 제2면(C2)이 제2위치결정부(3)에 지지되도록 고객트레이(C)를 이동시킬 수 있으므로, 상기 고객트레이(C)에 과다한 압력이 가하여져 손상되는 것을 방지할 수 있다.
여기서, 상기 주동부(71) 및 종동부(72)는 일체로 형성되어서, 상기 주동부(71)가 실린더(8)의 로드(8a)의 이동에 따라 이동되면, 상기 종동부(72)가 함께 이동되도록 구성될 수 있다.
그러나, 상기 고객트레이(C)는 제2위치결정부(3) 및 제1위치결정부(2)로부터 각각 다른 거리로 이격되어서 상기 플레이트(4)에 안착될 수 있다.
이러한 경우, 상기 고객트레이(C)를 더 효율적으로 정확한 위치에 이동시킬 수 있도록, 상기 주동부(71) 및 종동부(72)는 플레이트(4)에서 이동되면서 서로 이 격될 수 있도록 상기 플레이트(4)에 이동 가능하게 결합될 수 있다.
상기 종동부(72)는 주동부(71)의 이동에 따라 이동되면서 상기 제2보정부(6)를 작동시킬 수 있다.
상기 주동부(71)는 플레이트(4)에서 이동되면서, 상기 종동부(72)에 압력을 가함으로써 상기 종동부(72)를 이동시킬 수 있고, 상기 종동부(72)에 가하던 압력을 제거함으로써 상기 종동부(72)가 이동될 수 있도록 한다.
이를 더 구체적으로 살펴보면, 상기 주동부(71)가 플레이트(4)에서 종동부(72)가 결합된 방향으로 이동되면, 상기 주동부(71)는 종동부(72)를 밀어서 이동시킬 수 있다.
상기 주동부(71)가 플레이트(4)에서 종동부(72)가 결합된 방향의 반대방향으로 이동되면, 상기 주동부(71)는 종동부(72)에 가하던 압력을 제거함으로써 상기 종동부(72)가 제2탄성부재(62)에 의해 이동될 수 있도록 한다.
상기 종동부(72)는 고객트레이(C)의 제2면(C2)이 제2위치결정부(3)에 지지되게 되면 이동이 정지된다. 상기 주동부(71)는 고객트레이(C)의 제1면(C1)이 제1위치결정부(2)에 지지될 때까지 이동을 계속하게 되므로, 상기 주동부(71)는 종동부(72)와 이격되면서 이동을 계속하게 된다.
즉, 상기 주동부(71) 및 종동부(72)는 서로 다른 거리로 이동될 수 있고, 이에 따라 상기 제1이동부(51) 및 제2이동부(61)가 서로 다른 거리로 고객트레이(C)를 이동시킬 수 있도록 함으로써, 고객트레이(C)를 효율적으로 정확한 위치에 이동시킬 수 있다.
이에 따라, 상기 고객트레이(C)가 제1위치결정부(2) 및 제2위치결정부(3)로부터 각각 다른 거리로 이격되어서 상기 플레이트(4)에 안착되더라도, 상기 고객트레이 위치보정장치(1)는 고객트레이(C)를 정확한 위치로 이동시킬 수 있다.
또한, 반도체 소자의 종류가 변경되어서 고객트레이(C)의 크기가 일정 범위 내에서 변경되더라도, 상기 고객트레이 위치보정장치(1)는 별도의 재조작 없이 변경된 고객트레이(C)를 정확한 위치로 이동시킬 수 있다.
이하에서는 상기 주동부(71) 및 종동부(72)가 플레이트(4)에서 이동되면서 서로 이격될 수 있도록 상기 플레이트(4)에 이동 가능하게 결합되는 경우의 작동관계를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도 5는 본 발명에 따른 고객트레이 위치보정장치가 고객트레이의 위치를 보정하기 전의 상태를 나타낸 평면도, 도 6은 도 5의 저면도, 도 7은 본 발명에 따른 고객트레이 위치보정장치가 고객트레이의 위치를 보정한 상태를 나타낸 평면도, 및 도 8은 도 7의 저면도이다.
도 5 및 도 6을 참고하면, 상기 주동부(71)가 플레이트(4)에서 종동부(72)가 설치된 방향으로 이동되면,
상기 제1이동부(51)는 회전부(513)가 주동부(71)의 돌출부(711)에 지지됨으로써, 상기 제1접촉부(512)가 플레이트(4)에서 멀어지는 일방향으로 회전된다. 이 경우, 상기 제1탄성부재(52)는 인장된다.
상기 주동부(71)는 종동부(72)를 밀게 되고, 상기 종동부(72)는 제2접촉부(612)가 제2위치결정부(3)에서 멀어지는 방향(화살표 Y 반대방향)으로 상기 제2 이동부(61)를 이동시킨다. 이 경우, 상기 제2탄성부재(62)는 압축된다.
이러한 상태에서, 상기 고객트레이(C)는 제1이동부(51) 및 제2이동부(61)에 방해됨이 없이 상기 플레이트(4)에 안착될 수 있다.
도 7 및 도 8을 참고하면, 상기 고객트레이(C)가 플레이트(4)에 안착된 상태에서, 상기 주동부(71)가 플레이트(4)에서 종동부(72)가 설치된 방향의 반대방향으로 이동되면,
상기 제1이동부(51)는 회전부(513)가 주동부(71)에서 돌출부(711)가 형성되지 않은 부분에 지지됨으로써, 상기 제1접촉부(512)가 고객트레이(C)의 제3면(C3)에 접촉되는 타방향으로 회전된다. 이 경우, 상기 제1탄성부재(52)는 탄성력에 의해 압축되면서 본래의 형태로 복원된다.
이에 따라, 상기 고객트레이(C)는 제1접촉부(512)에 의해 밀려서 상기 제1위치결정부(2)가 설치된 방향으로 이동되고, 제1위치결정부(2)에 지지되면 이동이 정지된다.
상기 종동부(72)는 주동부(71)에 의해 가하여지던 압력이 제거됨에 따라, 상기 제2이동부(61)에 가하던 압력을 제거한다.
이에 따라, 상기 제2이동부(61)는 제2위치결정부(3)가 설치된 방향으로 이동되고, 상기 제2접촉부(612)가 고객트레이(C)의 제4면(C4)을 밀어서 고객트레이(C)를 제2위치결정부(3)가 설치된 방향으로 이동시킨다. 이 경우, 상기 제2탄성부재(62)는 탄성력에 의해 인장되면서 본래의 형태로 복원된다.
상기 고객트레이(C)는 제2접촉부(612)에 의해 밀려서 상기 제2위치결정부(3) 에 지지되면 이동이 정지된다.
상기 고객트레이(C)가 제2위치결정부(3)에 지지되면 상기 제2이동부(61) 및 종동부(72)는 이동이 정지되고, 상기 주동부(71)는 고객트레이(C)가 제1위치결정부(2)에 지지될 때까지 이동을 계속하므로, 상기 주동부(71) 및 종동부(72)는 서로 이격되게 된다.
상기 고객트레이(C)는 제1면(C1), 제2면(C2), 제3면(C3), 및 제4면(C4)이 각각 제1위치결정부(2), 제2위치결정부(3), 제1이동부(51), 및 제2이동부(61)에 지지됨으로써, 픽커(미도시)가 로딩공정 및 언로딩공정을 안정적으로 수행할 수 있는 위치로 위치가 보정된다.
이하에서는 상술한 고객트레이 위치보정장치를 포함하는 본 발명에 따른 핸들러의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도 9는 본 발명에 따른 핸들러의 구성을 개략적으로 나타낸 블럭도이다.
도 1 내지 도 9를 참고하면, 본 발명에 따른 핸들러(10)는 챔버부(11), 로딩스택커(12), 언로딩스택커(13), 로딩부(14), 언로딩부(15), 및 버퍼부(16)를 포함한다.
상기 챔버부(11)는 테스트트레이에 수납된 테스트될 반도체 소자를 테스트장비의 하이픽스보드(H)에 접속시킨다.
상기 챔버부(11)는 테스트장비가 상온 뿐만 아니라, 고온 또는 저온의 극한 상태에서도 반도체 소자를 테스트할 수 있도록 제1챔버(111), 테스트챔버(112), 및 제2챔버(113)를 포함한다.
상기 제1챔버(111)는 로딩공정이 완료된 테스트트레이를 한스텝씩 이동시키면서, 테스트될 반도체 소자를 테스트 온도로 가열 또는 냉각한다. 반도체 소자가 테스트 온도로 조절되면, 테스트트레이는 제1챔버(111)에서 테스트챔버(112)로 이송된다.
상기 테스트챔버(112)는 테스트 온도로 조절된 반도체 소자를 하이픽스보드(H)에 접속시킨다. 상기 테스트챔버(112)에는 테스트장비의 하이픽스보드(H) 일부 또는 전부가 삽입 결합된다. 상기 테스트장비가 반도체 소자의 전기적인 특성을 테스트하면, 테스트트레이는 테스트챔버(112)에서 제2챔버(113)로 이송된다.
상기 테스트챔버(112)는 테스트트레이를 수직상태로 하이픽스보드(H)에 접속시킬 수 있다. 이 경우, 핸들러(10)는 테스트트레이를 수직상태 또는 수평상태로 전환시키기 위해 테스트트레이를 회전시키는 로테이터(미도시)를 포함할 수 있다.
상기 테스트챔버(112)는 테스트트레이를 수평상태로 하이픽스보드(H)에 접속시킬 수도 있다.
상기 테스트챔버(112)는 복수개의 테스트트레이를 수평상태로 수용할 수 있고, 복수개의 테스트트레이를 수평상태로 하이픽스보드(H)에 접속시킬 수도 있다.
상기 제2챔버(113)는 테스트트레이를 한스텝씩 이동시키면서, 테스트 완료된 반도체 소자를 상온으로 복원시킨다. 반도체 소자가 상온으로 복원되면, 테스트트레이는 제2챔버(113)에서 언로딩부(15)로 이송된다.
여기서, 상기 제1챔버(111), 테스트챔버(112), 및 제2챔버(113)는 수평방향으로 인접 설치될 수 있다. 이 경우, 상기 테스트챔버(112)는 한번에 더 많은 반도 체 소자를 하이픽스보드(H)에 접속시킬 수 있도록, 수직방향으로 복수개가 적층 설치될 수 있다.
상기 제1챔버(111), 테스트챔버(112), 및 제2챔버(113)는 수직방향으로 적층 설치될 수도 있다.
상기 로딩스택커(12)는 테스트될 반도체 소자가 담겨진 복수개의 고객트레이(C)를 저장한다. 상기 로딩스택커(12)에는 상술한 고객트레이 위치보정장치(1)가 설치된다.
상기 언로딩스택커(13)는 테스트 완료된 반도체 소자가 담겨진 복수개의 고객트레이(C)를 저장한다. 상기 언로딩스택커(13)에는 상술한 고객트레이 위치보정장치(1)가 설치된다. 테스트 완료된 반도체 소자는 테스트 결과에 따라 등급별로 서로 다른 위치에 위치한 고객트레이(C)에 수납된다.
상기 로딩부(14)는 테스트될 반도체 소자를 테스트트레이에 수납시키고, 로딩픽커(141)를 포함한다.
상기 로딩픽커(141)는 X축방향 및 Y축방향으로 이동 가능하게 설치되고, 반도체 소자를 흡착할 수 있는 흡착노즐을 포함한다.
상기 로딩픽커(141)는 로딩스택커(12)에 위치한 고객트레이(C)에서 테스트될 반도체 소자를 집어내어 로딩영역(14a)에 위치한 테스트트레이에 수납시키는 로딩공정을 수행한다.
상기 로딩픽커(141)는 로딩공정에 소요되는 시간을 줄일 수 있도록 복수개가 설치될 수 있다.
로딩공정이 완료된 테스트트레이는 상기 로딩영역(14a)에서 상기 제1챔버(111)로 이송된다.
상기 언로딩부(15)는 테스트트레이에 수납된 테스트 완료된 반도체 소자를 테스트 결과에 따라 등급별로 분류하고, 언로딩픽커(151)를 포함한다.
상기 언로딩픽커(151)는 X축방향 및 Y축방향으로 이동 가능하게 설치되고, 반도체 소자를 흡착할 수 있는 흡착노즐을 포함한다.
상기 언로딩픽커(151)는 언로딩영역(15a)에 위치한 테스트트레이에서 테스트 완료된 반도체 소자를 분리하고, 분리한 반도체 소자를 언로딩스택커(13)에 위치한 고객트레이(C)에 수납시키는 언로딩공정을 수행한다.
상기 언로딩픽커(151)는 테스트 완료된 반도체 소자를 테스트 결과에 따라 등급별로 서로 다른 위치에 위치한 고객트레이(C)에 수납시킬 수 있다.
상기 언로딩픽커(151)는 언로딩공정에 소요되는 시간을 줄일 수 있도록 복수개가 설치될 수 있다.
언로딩공정이 완료되어 비게되는 테스트트레이는 언로딩영역(15a)에서 로딩영역(14a)으로 이송된다.
상기 버퍼부(16)는 반도체 소자를 일시적으로 수납할 수 있다.
상기 버퍼부(16)는 로딩공정 또는 언로딩공정 중 적어도 어느 하나에 이용될 수 있도록 설치될 수 있다.
상기 버퍼부(16)가 로딩공정에 이용될 수 있도록 설치되는 경우, 상기 로딩픽커(141)는 로딩스택커(12)에 위치한 고객트레이(C)에서 테스트될 반도체 소자를 집어낸 후에, 테스트될 반도체 소자를 상기 버퍼부(16)를 경유하여 테스트트레이에 수납시킬 수 있다.
상기 버퍼부(16)가 언로딩공정에 이용될 수 있도록 설치되는 경우, 상기 언로딩픽커(151)는 언로딩영역(15a)에 위치한 테스트트레이에서 테스트 완료된 반도체 소자를 분리한 후에, 테스트 완료된 반도체 소자를 상기 버퍼부(16)를 경유하여 언로딩스택커(13)에 위치한 고객트레이(C)에 수납시킬 수 있다.
이하에서는 상술한 바와 같이 구성되는 핸들러의 일례를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
여기서, 본 발명에 따른 핸들러의 일례는 상술한 핸들러와 대략 일치하는 구성들을 포함하여 이루어지므로, 이하에서는 차이점이 있는 구성들만을 설명하기로 한다.
도 10은 본 발명에 따른 핸들러의 일례를 개략적으로 나타낸 평면도이다.
도 9 및 도 10을 참고하면, 본 발명에 따른 핸들러(10)의 일례는 도 9에 도시된 핸들러(10)와 차이점이 있는 구성으로 교환부(17)를 포함한다.
상기 교환부(17)는 테스트될 반도체 소자가 수납된 테스트트레이(T) 및 테스트 완료된 반도체 소자가 수납된 테스트트레이(T)를 상기 챔버부(11)와 교환한다.
테스트될 반도체 소자가 수납된 테스트트레이(T)는 상기 교환부(17)에서 상기 챔버부(11)로 이송되고, 테스트 완료된 반도체 소자가 수납된 테스트트레이(T)는 상기 챔버부(11)에서 상기 교환부(17)로 이송된다.
상기 교환부(17)에서는 테스트될 반도체 소자를 테스트트레이(T)에 수납시키 는 공정, 및 테스트 완료된 반도체 소자를 테스트트레이(T)에서 분리하는 공정이 이루어진다. 여기서, 테스트될 반도체 소자를 테스트트레이(T)에 수납시키는 공정은 상기 로딩공정의 일부이고, 테스트 완료된 반도체 소자를 테스트트레이(T)에서 분리하는 공정은 상기 언로딩공정의 일부이다. 즉, 상기 교환부(17)는 상술한 로딩영역(14a) 및 언로딩영역(15a)을 포함하여 이루어지고, 로딩영역(14a) 및 언로딩영역(15a)을 하나의 영역에 구현한다.
상기 교환부(17)는 로테이터(171)를 더 포함할 수 있다.
상기 로테이터(171)는 테스트트레이(T)를 회전시킨다. 이에 따라 상기 테스트트레이(T)는 수평상태 또는 수직상태로 전환된다.
상기 로테이터(171)는 테스트될 반도체 소자가 수납된 테스트트레이(T)를 수직상태로 전환시키고, 테스트 완료된 반도체 소자가 수납된 테스트트레이(T)를 수평상태로 전환시킨다.
따라서, 상기 로테이터(171)는 챔버부(11) 내부에서 테스트트레이(T)가 수직상태로 이동될 수 있도록 한다.
이하에서는 상술한 고객트레이 위치보정장치를 이용한 본 발명에 따른 반도체 소자 제조방법의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도 1 내지 도 10을 참고하면, 본 발명에 따른 반도체 소자 제조방법은 다음과 같은 구성을 포함한다.
우선, 테스트될 반도체 소자를 준비한다.
이러한 공정은 고객트레이(C)에 테스트될 반도체 소자를 담아 로딩스택 커(12)에 저장시키는 공정으로 이루어질 수 있다. 또한, 상기 반도체 소자는 메모리 또는 비메모리 반도체 소자, 모듈아이씨 등을 포함한다.
다음, 상기 준비된 테스트될 반도체 소자가 담겨진 고객트레이(C)의 위치를 보정하기 위해 로딩스택커(12)에 설치된 상기 플레이트(4)에 안착되는 고객트레이(C)를 상기 제1위치결정핀(2) 및 상기 제2위치결정핀(3)이 설치된 방향으로 이동시킨다.
이러한 공정은 상술한 고객트레이 위치보정장치(1)에서 제1보정부(5) 및 제2보정부(6)가 플레이트(4)에 안착되는 고객트레이(C)를 이동시킴으로써 이루어질 수 있다. 상기 고객트레이(C)가 제1위치결정핀(2) 및 제2위치결정핀(3)에 지지되면, 고객트레이(C)는 정확한 위치로 위치가 보정된다.
다음, 테스트 완료된 반도체 소자가 담겨질 고객트레이(C)의 위치를 보정하기 위해 언로딩스택커(13)에 설치된 상기 플레이트(4)에 안착되는 고객트레이(C)를 상기 제1위치결정핀(2) 및 제2위치결정핀(3)이 설치된 방향으로 이동시킨다.
이러한 공정은 상술한 고객트레이 위치보정장치(1)에서 제1보정부(5) 및 제2보정부(6)가 플레이트(4)에 안착되는 고객트레이(C)를 이동시킴으로써 이루어질 수 있다. 상기 고객트레이(C)가 제1위치결정핀(2) 및 제2위치결정핀(3)에 지지되면, 고객트레이(C)는 정확한 위치로 위치가 보정된다.
다음, 테스트될 반도체 소자를 테스트트레이에 수납시킨다.
이러한 공정은 상기 로딩픽커(141)가 로딩스택커(12)에 위치한 고객트레이(C)에서 테스트될 반도체 소자를 집어내어 테스트트레이에 수납시킴으로써 이루 어질 수 있다.
다음, 테스트트레이에 수납된 테스트될 반도체 소자를 하이픽스보드(H)에 접속시킨다.
이러한 공정은 상기 제1챔버(111)에서 테스트트레이에 수납된 테스트될 반도체 소자를 테스트 온도로 조절하는 공정, 상기 테스트챔버(112)에서 테스트트레이에 수납된 테스트 온도로 조절된 반도체 소자를 하이픽스보드(H)에 접속시키는 공정, 및 테스트트레이에 수납된 테스트 완료된 반도체 소자를 상온으로 복원시키는 공정을 포함하여 이루어질 수 있다.
다음, 테스트트레이에 수납된 테스트 완료된 반도체 소자를 테스트 결과에 따라 등급별로 분류한다.
이러한 공정은 상기 언로딩픽커(151)가 테스트트레이에서 테스트 완료된 반도체 소자를 분리하고, 분리한 반도체 소자를 상기 언로딩스택커(13)에 위치한 고객트레이(C)에 수납시킴으로써 이루어질 수 있다.
테스트 완료된 반도체 소자는 테스트 결과에 따라 등급별로 서로 다른 위치에 위치한 고객트레이(C)에 수납될 수 있다.
상기와 같은 공정을 반복적으로 수행함으로써 반도체 소자의 제조를 완료할 수 있다.
이상에서 설명한 본 발명은 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것이 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다.
도 1은 핸들러에서 복수개의 고객트레이를 저장하는 스택커를 개략적으로 나타낸 정면도
도 2는 고객트레이의 위치가 보정되는 상태를 개략적으로 나타낸 평면도
도 3은 본 발명에 따른 고객트레이 위치보정장치 및 고객트레이를 나타낸 사시도
도 4는 도 3의 저면을 나타낸 사시도
도 5는 본 발명에 따른 고객트레이 위치보정장치가 고객트레이의 위치를 보정하기 전의 상태를 나타낸 평면도
도 6은 도 5의 저면도
도 7은 본 발명에 따른 고객트레이 위치보정장치가 고객트레이의 위치를 보정한 상태를 나타낸 평면도
도 8은 도 7의 저면도
도 9는 본 발명에 따른 핸들러의 구성을 개략적으로 나타낸 블럭도
도 10은 본 발명에 따른 핸들러의 일례를 개략적으로 나타낸 평면도
*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명*
1 : 고객트레이 위치보정장치 2 : 제1위치결정부 3 : 제2위치결정부
4 : 플레이트 5 : 제1보정부 6 : 제2보정부 7 : 작동부 8 : 실린더
41 : 수용홈 42 : 관통공 51 : 제1이동부 52 : 제1탄성부재
61 : 제2이동부 62 : 제2탄성부재 71 : 주동부 72 : 종동부 511 : 제1몸체
512 : 제1접촉부 513 : 회전부 611 : 제2몸체 612 : 제2접촉부
711 : 돌출부 10 : 핸들러 11 : 챔버부 12 : 로딩스택커
13 : 언로딩스택커 14 : 로딩부 15 : 언로딩부 16 : 버퍼부 111 : 제1챔버
112 : 테스트챔버 113 : 제2챔버 141 : 로딩픽커 151 : 언로딩픽커
17 : 교환부 171 : 로테이터
100 : 스택커 101 : 로딩스택커 102 : 언로딩스택커 103 : 버퍼스택커
104 : 이송장치 1011 : 로딩저장부 1012 : 로딩플레이트
1021 : 언로딩저장부 1022 : 언로딩플레이트

Claims (14)

  1. 고객트레이의 위치를 결정하는 적어도 하나의 제1위치결정부 및 제2위치결정부;
    고객트레이가 안착되는 플레이트;
    고객트레이를 상기 제1위치결정부가 설치된 방향으로 이동시킬 수 있도록 작동되는 제1보정부;
    고객트레이를 상기 제2위치결정부가 설치된 방향으로 이동시킬 수 있도록 작동되는 제2보정부; 및
    상기 제1보정부 및 상기 제2보정부를 작동시키는 작동부를 포함하는 고객트레이 위치보정장치.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 작동부는
    상기 플레이트에 이동 가능하게 결합되고, 상기 제1보정부를 작동시키는 주동부; 및
    상기 플레이트에 이동 가능하게 결합되고, 상기 주동부에 연동하여 상기 제2보정부를 작동시키는 종동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 고객트레이 위치보정장치.
  3. 제 2 항에 있어서, 상기 주동부 및 상기 종동부는 상기 플레이트에서 이동되 면서 서로 이격될 수 있고,
    상기 종동부는 상기 주동부의 이동에 따라 이동되면서 상기 제2보정부를 작동시키는 것을 특징으로 하는 고객트레이 위치보정장치.
  4. 제 2 항에 있어서, 상기 제1보정부는
    상기 플레이트에 회전 가능하게 결합되는 적어도 하나의 제1이동부; 및
    상기 제1이동부를 상기 플레이트에 탄성적으로 연결하는 제1탄성부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 고객트레이 위치보정장치
  5. 제 4 항에 있어서, 상기 제1이동부는
    상기 플레이트에 회전 가능하게 결합되는 몸체;
    상기 몸체의 일단에 결합되고, 상기 몸체의 회전에 따라 고객트레이를 이동시키는 제1접촉부; 및
    상기 몸체의 타단에 회전 가능하게 결합되고, 상기 주동부에 접촉되는 회전부를 포함하는 것을 특징으로 하는 고객트레이 위치보정장치.
  6. 제 5 항에 있어서, 상기 제1접촉부는 상기 몸체의 일단에 회전 가능하게 결합되는 것을 특징으로 하는 고객트레이 위치보정장치.
  7. 제 4 항에 있어서, 상기 주동부는 상기 제1이동부를 회전시키는 적어도 하나 의 돌출부를 포함하는 것을 특징으로 하는 고객트레이 위치보정장치..
  8. 제 2 항에 있어서, 상기 제2보정부는
    상기 제2위치결정부가 설치된 방향으로 이동되어 고객트레이를 상기 제2위치결정부가 설치된 방향으로 이동시키는 제2이동부; 및
    상기 제2이동부를 탄성적으로 지지하는 적어도 하나의 제2탄성부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 고객트레이 위치보정장치.
  9. 제 8 항에 있어서, 상기 제2이동부는
    상기 제2탄성부재에 의해 탄성적으로 지지되는 제2몸체; 및
    상기 제2몸체에서 돌출되게 형성되고, 고객트레이를 이동시키는 적어도 하나의 제2접촉부를 포함하는 것을 특징으로 하는 고객트레이 위치보정장치.
  10. 제 8 항에 있어서, 상기 종동부는 상기 주동부에 연동하여 상기 제2이동부를 이동시키는 것을 특징으로 하는 고객트레이 위치보정장치.
  11. 제 1 항에 있어서, 상기 제1보정부 및 상기 제2보정부는 고객트레이를 서로 수직한 방향으로 이동시키는 것을 특징으로 하는 고객트레이 위치보정장치.
  12. 제 1 항에 있어서, 상기 작동부는 상기 플레이트에 이동 가능하게 결합되고,
    상기 제1보정부 및 상기 제2보정부는 상기 작동부의 이동에 따라 작동되는 것을 특징으로 하는 고객트레이 위치보정장치.
  13. 테스트될 반도체 소자가 담겨진 고객트레이를 복수개 저장하는 로딩스택커;
    테스트될 반도체 소자를 테스트트레이에 수납시키는 로딩부;
    테스트트레이에 수납된 테스트될 반도체 소자를 하이픽스보드에 접속시키는 챔버부;
    테스트트레이에 수납된 테스트 완료된 반도체 소자를 테스트 결과에 따라 등급별로 분류하는 언로딩부;
    테스트 완료된 반도체 소자가 담겨진 고객트레이를 복수개 저장하는 언로딩스택커; 및
    상기 로딩스택커 및 상기 언로딩스택커에 설치되는 상기 제 1 항 내지 제 12 항 중 어느 하나의 고객트레이 위치보정장치를 포함하는 핸들러.
  14. 제 1 항 내지 제 12 항 중 어느 하나의 고객트레이 위치보정장치를 이용한 반도체 소자 제조방법에 있어서, 상기 반도체 소자 제조방법은
    테스트될 반도체 소자를 준비하는 단계;
    상기 준비된 테스트될 반도체 소자가 담겨진 고객트레이의 위치를 보정하기 위해 로딩스택커에 설치된 상기 플레이트에 안착되는 고객트레이를 상기 제1위치결정핀 및 상기 제2위치결정핀이 설치된 방향으로 이동시키는 단계;
    테스트 완료된 반도체 소자가 담겨질 고객트레이의 위치를 보정하기 위해 언로딩스택커에 설치된 상기 플레이트에 안착되는 고객트레이를 상기 제1위치결정핀 및 상기 제2위치결정핀이 설치된 방향으로 이동시키는 단계;
    테스트될 반도체 소자를 테스트트레이에 수납시키는 단계;
    테스트트레이에 수납된 테스트될 반도체 소자를 하이픽스보드에 접속시키는 단계; 및
    테스트트레이에 수납된 테스트 완료된 반도체 소자를 테스트 결과에 따라 등급별로 분류하는 단계를 포함하는 반도체 소자 제조방법.
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