CN102013390B - 半导体器件分拣装置 - Google Patents

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Abstract

公开了一种半导体器件分拣装置，包括：X-Y工件台，用于装载具有插入其中的第二器件的老化板；X-Y工作台驱动单元，用于移动X-Y工作台，以通过与第二传送工具互相配合工作从老化板收回第二器件，将第一器件插入老化板空的部分，并且当第一器件和第二器件已经完成在老化板上的交换时，将X-Y工作台移动至老化板交换位置；板装载器，用于顺序装载具有插入其中的第二器件的老化板，并且老化板具有插入其中的第一器件，从而将具有插入其中的第一器件的老化板传送至老化测试单元；以及老化板交换缓冲单元，用于交换具有插入其中的X-Y工作台的第一器件的老化板和具有插入其中的板装载器的第二器件的老化板。

Description

半导体器件分拣装置
技术领域
本发明涉及器件分拣装置，尤其涉及一种用于可以根据分拣标准自动分拣诸如半导体芯片的器件的半导体器件分拣装置。
背景技术
已经过封装工艺的半导体器件(以下将称作“器件”)经受各种测试，诸如电测试、以及抗热或抗压的可靠性测试。
这些器件测试中的一个是老化测试，其通过将多个器件插入老化板，将老化板容置于老化测试装置中，并且随后在测试时间内对老化板加热或加压，来测试器件是否劣质。
用于老化测试的分拣装置表示了一种装置，其用于将待老化测试的新器件装载至(插入)放置器件的老化板的空的空间(槽)，同时基于每一个器件的测试结果，根据应用于包括良品和不良品的每一个器件的分拣标准，将器件从装载老化测试器件的老化板卸载(分拣)至每一个托盘。
基于每小时分拣的单元的数量(UPH：单元每小时)估计分拣装置的性能。并且，通过在分拣装置的每一个部件之间传送器件和老化板所花费的时间确定该UPH。
为了提高UPH，需要改进分拣装置的各个部件的配置和布置。
发明内容
因此，本发明的一个目的是提供一种通过减少板装载器和X-Y工作台之间的老化板交换时间，能够显著提高处理速度的半导体器件分拣装置。
本发明的另一个目的是提供一种通过由安装升降机单元而减少板装载器和X-Y工作台之间的老化板交换时间，能够显著提高处理速度的半导体器件分拣装置，升降机单元用于机架(rack)收回以及在一对其上具有机架(机架上具有老化板)的机架装载单元之间与X-Y工作台交换老化板。
本发明的又一个目的是提供一种通过由安装老化板交换缓冲单元而减少板装载器和X-Y工作台之间的老化板交换时间，能够显著提高处理速度的半导体器件分拣装置，老化板交换缓冲单元用于在X-Y工作台和板装载器之间交换老化板，并且与水平方向一起在向上和向下的方向移动老化板交换缓冲单元，从而由装载在板装载器中的机架收回老化板。
如在此具体表达和宽泛描述的，为了获得这些和其它优点并根据本发明的目的，提供了一种半导体器件分拣装置，包括：X-Y工件台，用于装载具有插入其中的第二器件的老化板；X-Y工作台驱动单元，用于移动X-Y工作台，从而通过与第二传送工具互相配合工作从老化板收回第二器件，将第一器件插入老化板空的部分，并且当第一器件和第二器件已经完成在老化板上的交换时，将X-Y工作台移动至老化板交换位置；板装载器，用于顺序装载具有插入其中的第二器件的老化板，并且老化板具有插入其中的第一器件，从而将具有插入其中的第一器件的老化板传送至老化测试单元；以及老化板交换缓冲单元，用于交换具有插入其中的X-Y工作台的第一器件的老化板和具有插入其中的板装载器的第二器件的老化板。
X-Y工作台可以包括：一对老化板装配单元，分别用于在上部位置和下部位置装配老化板；以及老化板上下移动单元，用于沿一对老化板装配单元之间的向上和向下方向中的至少一个方向，移动装配在所述一对老化装配单元中的一个的老化板，其中，老化板交换缓冲单元包括一对老化板缓冲单元，其分别用于将老化板装配在相应于X-Y工作台的老化板装配单元的上部位置和下部位置。
可以将其上具有第二器件的老化板从板装载器收回，并经设置在老化板交换缓冲单元的上侧的老化板缓冲单元，传送至设置在X-Y工作台的上侧的老化板装配单元，并且将其上具有第一器件的老化板从设置在X-Y工作台的下侧的老化板装配单元收回，并经设置在老化板交换缓冲单元的下侧的老化板缓冲单元，传送至板装载器。
可以通过老化板交换缓冲单元和板装载器之间的一个或更多个子指状物(sub-finger)传送老化板，并且子指状物可以配置以在老化板交换缓冲单元和板装载器之间、在与其相应的多个移动子部分上移动老化板。
板装载器可以包括设置在X-Y工作台的Y-轴方向的一对机架装载单元，用于以多个堆叠的形式在其上装载机架，机架在其上具有多个老化板；以及升降机单元，安装在两个机架装载单元之间，用于从机架装载单元收回机架并且在向上和向下方向移动机架。
板装载器可以包括相应于两个机架装载单元的一对机架收回单元，用于收回装载在两个机架装载单元的每一个上的机架。
根据本发明的另一个方面，提供了一种半导体器件分拣装置，包括：装载单元，用于装载其上具有第一器件的托盘；第二传送工具，用于从老化板收回第二器件；第一传送工具，用于将装载在装载单元的托盘上的第一器件插入老化板空的部分；卸载单元，用于通过装载第二器件到托盘上，由第二传送工具从老化板卸载第二器件；X-Y工作台，用于装载具有插入其中的第二器件的老化板；X-Y工作台驱动单元，用于通过与第一传送工具和第二传送工具互相配合工作，在X和Y方向移动X-Y工作台，并且用于当第一器件和第二器件已经完成在老化板上的交换时，将X-Y工作台移动至老化板交换位置；板装载器，具有多个机架装载单元，用于装载其上具有多个老化板的机架；以及老化板交换缓冲单元，安装在板装载器和X-Y工作台之间，从而在板装载器和X-Y工作台之间交换老化板，并且用于从装载在板装载器上的机架收回具有插入其中的第二器件的老化板，并从X-Y工作台将具有插入的第一器件的老化板插入到装载在板装载器上的机架的空的部分。
半导体器件分拣装置还可以包括交换缓冲驱动单元，用于驱动老化板交换缓冲单元的垂直和水平移动，以使得老化板交换缓冲单元将老化板从装载在每一个机架装载单元上的机架收回。
交换缓冲驱动单元可以包括第一驱动单元，用于基于装载在板装载器上的机架的上部分和下部分，驱动老化板交换缓冲单元的上下移动；以及第二驱动单元，用于基于布置在板装载器上的机架的水平方向，驱动老化板交换缓冲单元的水平移动。
如在此具体表达和宽泛描述的，为了获得这些和其它优点并且根据本发明的目的，还提供了半导体器件分拣装置的板装载器模块，包括老化板交换缓冲单元和交换缓冲驱动单元的板装载器模块作为一个模块。
根据本发明的半导体器件分拣装置可以具有以下优点。
第一，半导体器件分拣装置设有老化板交换缓冲单元，用于当在X-Y工作台上在老化板上装载器件或从老化板收回器件时，从板装载器交换老化板，并且用于在X-Y工作台上在老化板上装载器件或从老化板收回器件完成之后，交换老化板和X-Y工作台。这可以使老化板的交换时间缩短，以提高处理速度。
第二，半导体器件分拣装置设有升降机单元，用于收回机架并且在其上装载机架(机架上具有老化板)的一对机架装载单元之间与X-Y工作台交换老化板。该升降机单元可以预先收回机架，从而缩短了在板装载器和X-Y工作台之间的老化板交换时间，因此显著提高了半导体器件分拣装置的处理速度。
第三，半导体器件分拣装置设有老化板交换缓冲单元，用于在X-Y工作台和板装载器之间交换老化板，并且在向上和向下的方向以及水平方向移动老化板交换缓冲单元，从而从装载在板装载器上的机架收回老化板。这可以使老化板的交换时间缩短，以提高处理速度。
当结合附图，由下面的本发明的详细描述，本发明的上述和其它目的、特征、方面和优点将变得更加明显。
附图说明
所包括的附图用于进一步理解本发明并且结合入该说明书并组成该说明书的一部分，附图例示了本发明的实施方式，并且连同说明用于解释本发明的原理。
在图中：
图1是示出了根据本发明的半导体器件分拣装置的示例的示意图；
图2是示出了图1的半导体器件分拣装置的配置的平面图；
图3是示出了图1的半导体器件分拣装置的第一和第二移动缓冲器的配置的剖面图；
图4是示出了图1的半导体器件分拣装置的移动X-Y工作台和老化板的过程的视图；
图5是示出了图1的半导体器件分拣装置的X-Y工作台和老化板交换缓冲单元之间的老化板交换过程的示意图，其中
图5A是示出了在XY工作台和老化板交换缓冲单元之间交换老化板之前的第一状态的视图，以及
图5B是示出了在X-Y工作台和老化板交换缓冲单元之间交换老化板之后的状态的视图；
图5C和5D是示出了在X-Y工作台和老化板交换缓冲单元之间交换老化板的过程的视图；
图6是示出了图1的半导体器件分拣装置的老化板交换缓冲单元和板装载器之间的老化板交换过程的示意图，其中
图6A是示出了在老化板交换缓冲单元和板装载器之间交换老化板之前的状态的视图，
图6B是示出了向老化板交换缓冲单元和板装载器之间的板装载器的机架中引入老化板的中间状态的视图，
图6C是示出了向老化板交换缓冲单元和板装载器之间的板装载器的机架中引入老化板之后的状态的视图，
图6D是示出了从老化板交换缓冲单元和板装载器之间的板装载器的机架收回老化板的中间状态的视图，
图6E是示出了从老化板交换缓冲单元和板装载器之间的板装载器的机架收回老化板之后的状态的视图；
图7是示出了板装载器的配置的侧剖面图；
图8A是示出了图1的半导体器件分拣装置的老化板交换缓冲单元和板装载器的变型示例的侧剖面图；以及
图8B是示出了图8A的板装载器的侧剖面图。
具体实施方式
参照附图，现在给出本发明的详细描述。
为了参照附图简洁描述起见，相同或等同的部件将具有相同的附图标记，并且将不再重复其描述。
下面，将参照附图更详细地阐述根据本发明的半导体器件分拣装置(将称作“器件分拣装置”)。
如图1和2所示，根据本发明的器件分拣装置包括，装载单元100、卸载单元200、分拣单元300和用于传送器件10的多个传送工具510、520、530、540、550和560。
老化板20表示第一器件10装载于其上以在老化测试装置(未示出)中经受老化测试的板。而且，老化板20设有用于在其中插入器件10的槽，从而执行针对高温下的电特性和信号特性的测试。
从装配在器件分拣装置的X-Y工作台410上的老化板20收回已经经历老化测试的第二器件10，并且将第一器件10装载在老化板20上。
将X-Y工作台410配置为装载具有插入其中的第二器件10的老化板20，并且卸载具有插入其中的第一器件10的老化板20。如图1、2和4所示，X-Y工作台410包括老化板交换构件(未示出)，其用于接收执行器件10的交换的老化板20，或用于释放具有已经经过器件10的交换的老化板20。将X-Y工作台410配置为通过由X-Y工作台驱动单元(未示出)驱动来移动老化板，使得可以将第一器件10插入老化板20空的部分或者可以通过稍后将描述的第一传送工具530从老化板20收回第二器件10。
可以对X-Y工作台驱动单元进行各种配置。例如，可以将X-Y工作台驱动单元配置为通过与第二传送工具540和第一传送工具530互相配合工作，在X-Y方向或在X-Y-θ方向移动具有装载于其上的老化板20的X-Y工作台410，以使得第二传送工具540和第一传送工具530能够容易地将器件10从老化板20收回或插入老化板20中。
更具体地，可以将X-Y工作台驱动单元配置为移动X-Y工作台410，以通过与第二传送工具540互相配合工作从老化板20收回第二器件10，并且将第一器件10插入老化板20空的部分。一旦第一器件10已经全部插入老化板20，X-Y工作台驱动单元可以将X-Y工作台移动至老化板交换位置。
X-Y工作台410安装在根据本发明的器件分拣装置的主体40上。并且，主体40可以包括具有开口41的上板42，通过第一传送工具530和第二传送工具540，器件10经开口41从老化板20收回或插入老化板20中。
将装载单元100配置为装载其上具有待装载到老化板20的第一器件10的托盘30(下文中该托盘30将称作“装载托盘”)，并且可以有各种配置。
将卸载单元200配置为通过将第二器件10中的优良器件(下文中将称作“良品”)装载到托盘30(下文中该托盘30将称作“卸载托盘”)上，来执行卸载，并可以有各种配置。
如图2所示，装载单元100和卸载单元200中的每一个通常配置为包括用于引导托盘30的移动的一对导轨110、210和用于移动托盘30的驱动单元(未示出)。
装载单元100和卸载单元200可以根据设计条件有各种布置。如图1和2所示，装载单元100和卸载单元200通常布置为相互平行，以使得测试单元170、卸载单元200、分拣单元300、第一移动缓冲器600、第二移动缓冲器700等等可以安装在装载单元100和卸载单元200之间。然而，本发明并不限于此。
在第一器件10已经从装载单元100的托盘30收回后，可以通过托盘传送单元(未示出)将空的托盘30传送至卸载单元200，以使得第二器件10可以装载于其上。
在此，器件10可以保留在托盘30上。因此，可以进一步安装用于旋转托盘30的托盘旋转单元150，从而在托盘30从装载单元100传送至卸载单元200之前，去除保留在托盘30上的器件10。
如图1和2所示，将托盘旋转单元150安装在装载单元100和卸载单元200之间的托盘30的传送路径上。并且，将托盘旋转单元150配置为通过托盘传送单元旋转从装载单元100接收的托盘30，并随后将托盘30传送至卸载单元200。
在托盘旋转单元150的一侧，可以进一步安装空的托盘单元160，用于将空的托盘30提供至分拣单元300、卸载单元200等，或用于从装载单元200临时装载空的托盘30。
器件分拣装置还可以设有测试单元170，用于在将第一器件10装载在老化板20上之前，测试从装载单元100接收的器件10的诸如DC特性的电特性，以在老化板20上仅装载第一优良器件10。
测试单元170可以安装在装载单元100和第一移动缓冲器600之间，并且包括与第一器件10电连接的多个槽。优选地，可以在水平方向安装与托盘30在水平方向相同数量的槽。
测试单元170对第一器件10的测试结果作为用于通过稍后将描述的分拣单元300进行分拣的数据。
根据本发明的器件分拣装置可以包括分拣单元300，用于在其上装载确定为不合格产品的第一不合格器件10，以及根据测试单元170的测试结果被分拣的第二不合格器件10。
分拣单元300可以根据布置和分拣标准具有各种配置，并包括根据每一个分拣标准(优良，不合格1(接触不合格)、不合格2(DC故障)等)在其上装载器件10的预定数量的托盘30(分拣托盘)。分拣单元可以具有与前述装载单元100相似的配置，并且可以在装载单元100和卸载单元200之间以固定的状态布置在主体40上，如图1和2所示。
分拣单元300可以具有类似于装载单元100和卸载单元200的配置，而不是如图1和2所示的固定安装的配置。也就是，分拣单元300可以包括一对用于引导托盘30的移动的导轨和用于移动托盘30的驱动单元(未示出)。
传送工具配置为在老化板20、装载单元100、测试单元170、卸载单元200、分拣单元300、第一移动缓冲器600和第二移动缓冲器700的两个之间或之中传送器件10，并可以根据各个部件的布置具有各种配置。
例如，传送工具可以包括用于在装载单元100和测试单元170之间传送器件10的第三传送工具510、用于在测试单元170和第一移动缓冲器600之间传送器件10的第四传送工具520、用于在第二移动缓冲器700和卸载单元200之间传送器件10的第五传送工具550，和用于在第一及第二移动缓冲器600、700和分拣单元300之间传送器件10的分拣工具560。
传送工具510、520、530、540、550、560可以配置为包括第一传送工具530和第二传送工具540，第一传送工具530用于接收装载在装载单元100的托盘30上的器件10并且将所接收的器件10在第一移动缓冲器600和老化板20之间插入老化板20空的部分，第二传送工具540用于在老化板20和第二移动缓冲器700之间传送来自老化板20的第二器件10。
装载在老化板20上的器件10，与装载在装载单元100的托盘30上的器件10布置的不同，并且装载在老化板20上的器件10的数量大于装载在装载单元100的托盘30上的器件10的数量。
因此，将器件10传送至老化板20或从老化板20收回器件10的第一传送工具530和第二传送工具540，可以优选配置为比剩余的传送工具传送更多数量的器件10。例如，将第一传送工具530和第二传送工具540配置为传送12×2的器件，而将剩余的传送工具配置为传送8×1，8×2等的器件。
在这些配置下，用于传送较少数量的器件10的传送工具可以用在除了需要较多数量的器件10的位置之外的、需要数量较少的器件的位置。这可以减少器件分拣装置的制造成本，并可以提高器件分拣装置的尺寸和稳定性。
考虑到器件10交替地装载在老化板20上并从老化板20上收回，第一传送工具530和第二传送工具540可以配置为整体移动。
由于第三传送工具510和第四传送工具520在测试单元170设置于其间的状态下传送器件10，第三传送工具510和第四传送工具520也可以配置为整体移动。
考虑到器件10的效率，第一传送工具530和第二传送工具540在水平方向的拾取器的数量可以等于水平方向的器件容纳槽(未示出)的数量，器件容纳槽用于在第一移动缓冲器600和第二移动缓冲器700中在其上装载器件10。
分拣工具560可以有各种配置。例如，分拣工具560可以配置为数量上为一个或多个。或者，分拣工具560可以包括至少一个第二分拣工具520，第二分拣工具520用于在第一移动缓冲器600和分拣单元300之间传送器件10，并且在第二移动缓冲器700和分拣单元300之间传送器件10。
每一个传送工具可以包括一个或更多个在其端部具有用于通过真空压力吸取器件10的吸头的拾取器，和用于在X-Z方向、Y-Z方向或X-Y-Z方向传送拾取器的拾取器传送器件。
特别地，传送工具的拾取器可以布置为一条线或诸如12×2的多条线。
为了快速地从装载单元100将第一器件10装载到老化板20上，或从老化板20将第二器件10收回至卸载单元200，根据本发明的器件分拣装置可以包括第一移动缓冲器600和第二移动缓冲器700，第一移动缓冲器600安装在装载单元100和老化板20之间并且配置为临时在其上装载并传送第一器件10，第二移动缓冲器700安装在老化板20和卸载单元200之间并配置为临时在其上装载并传送第二器件20。
第一移动缓冲器600和第二移动缓冲器700可移动地安装在主体40上，并使得通过移动用于与老化板20交换器件10的器件交换位置③、用于与装载单元100或卸载单元200交换器件10的器件交换位置①、和用于与分拣单元300交换器件10的分拣位置②，能够连续并顺畅地执行器件10的交换。因此，第一移动缓冲器600和第二移动缓冲器700可以显著地提高分拣速度。
第一移动缓冲器600配置为，移动至用于通过第二传送工具540装载从测试单元170接收的第一器件10的装载位置(器件交换位置)①，用于通过分拣工具560将不合格器件10传送至分拣单元300的分拣托盘30的分拣位置②，和用于通过稍后将描述的第三传送工具510将剩余的第一器件装载到X-Y工作台410的老化板20的装载位置(器件交换位置)③。
如图3所示，第一移动缓冲器600包括用于在其上装载器件10的器件容纳单元610、用于在主体40上可移动地支撑器件容纳单元610的引导构件620、和用于通过引导构件620移动器件容纳单元610的移动器件(未示出)。
为了在装载位置③装载更多数量的器件10，器件容纳单元610水平方向的器件容纳槽的数量优选大于托盘30水平方向的器件容纳槽的数量。
在此，用于在其上装载器件10的器件容纳单元610可以配置为直接在其上装载器件10，并且根据被分拣的器件10的类型可以具有不同的尺寸。因此，器件容纳单元610可以包括具有器件容纳槽的附加容纳构件610a。
如图1和2所示，第一移动缓冲器600优选在数量上以三个形成，从而在每个位置(①，②，③)同时执行每个过程。在此，引导构件620配置为在移动时不与其它引导构件620相干扰。
更具体地，如图3所示，第一移动缓冲器600可以包括，通过由第一引导构件621支撑而水平移动的第一器件容纳单元611、通过由第二引导构件622支撑而水平移动的第二器件容纳单元612、和通过由第三引导构件623支撑而水平移动的第三器件容纳单元613。
第一至第三引导构件621、622和623配置为引导器件容纳单元611、612和613的水平移动，并且可以具有各种配置。如图4所示，第一引导构件621可以安装在主体40的支撑构件640的上端，第二引导构件622可以安装在支撑构件640的中端，并且第三引导构件623可以安装在主体40的上板42或支撑构件640的下端。在此，第一至第三引导构件621、622和623可以成对地形成，从而稳定地支撑器件容纳单元610。
用于水平移动第一至第三引导构件621、622和623的移动器件630可以根据驱动方法具有各种配置。移动器件630可以包括用于分别水平移动第一至第三引导构件621、622和623的第一至第三移动器件631、632和633。在此，第一至第三移动器件631、632和633可以通过用于产生旋转力的电机以及与第一至第三引导构件621、622和623连接的皮带实现。特别地，第一至第三移动器件631、632和633可以通过结合同步皮带和滑轮实现。
下面，将更加详细地说明第一移动缓冲器600的操作。
一旦第一移动缓冲器600设置在装载位置①，执行装载过程，也就是第一器件10从测试单元170装载至器件容纳单元610。在此，装载至器件容纳单元610的第一器件10可以包括至少一个由测试单元170确定为不合格产品的第一不合格器件10。这需要第一器件10的分拣。
因此，第一移动缓冲器600移动至分拣位置②，从而在器件10已经在装载位置①装载之后，分拣第一不合格器件10。
一旦第一移动缓冲器600设置在分拣位置②，执行第一分拣过程，也就是通过传送工具将第一不合格器件10从器件容纳单元610传送至分拣单元300。在此，根据不良标准将每一个不合格器件10装载至分拣单元300的托盘30上。
在分拣位置②，在第一不合格器件10已经被去除的器件容纳单元610的位置，插入按测试单元170的测试结果确定为良品的优良器件(下文中将称作“第一优良器件”10)，第一优良器件10已经被装载在第一固定缓冲器341上(缓冲过程)。
第一固定缓冲器341安装在主体40上，并设有预先装载于其上的第一优良器件10。如果使第一固定缓冲器341在初始时间或在操作时是空的，则第一优良器件10可以装载在设置于分拣位置②的第一移动缓冲器600的器件容纳单元610上。
一旦第一分拣过程已经完成，第一移动缓冲器600从分拣位置②移动至装载位置③。那么，装载在第一移动缓冲器600上的第一优良器件10通过传送工具装载至老化板20。
一旦使第一移动缓冲器600的器件容纳单元610完全是空的，第一移动缓冲器600从装载位置③移动至装载位置①，从而在其上装载第一器件10。因此，再次执行装载过程。
第二移动缓冲器700与第一移动缓冲器600具有相似的配置。更具体地，第二移动缓冲器700配置为，反复移动至用于通过第二传送工具540装载从老化板20接收的第二器件10的装载位置(器件交换位置)③、用于通过传送工具将第二不合格器件10传送至分拣单元300的托盘30(分拣托盘)的分拣位置②、和用于通过第五传送工具550将剩余的第二器件10装载到托盘30(卸载托盘)上的卸载位置(器件交换位置)①。
第二移动缓冲器700具有与第一移动缓冲器600相似的配置。更具体地，如图3所示，第二移动缓冲器700包括用于在其上装载器件10的器件容纳单元710、用于在主体40上可移动地支撑器件容纳单元710的引导构件720、和用于通过引导构件720水平移动器件容纳单元710的移动器件730。
为了在装载位置③装载更多数量的器件10，器件容纳单元710在水平方向的器件容纳槽的数量优选大于托盘30在水平方向的器件容纳槽的数量。
在此，用于在其上装载器件10的器件容纳单元710可以配置为直接在其上装载器件10，并且根据被分拣的器件10的类型可以具有不同的尺寸。因此，器件容纳单元710可以包括具有器件容纳槽的附加容纳构件610a。
如图1和2所示，第二移动缓冲器700在数量上优选以三个形成，从而在每个位置(①，②，③)执行每个过程。在此，引导构件720配置为在移动时不与其它引导构件720相干扰。
更具体地，如图3所示，第二移动缓冲器700可以包括，通过由第一引导构件721支撑而水平移动的第一器件容纳单元711、通过由第二引导构件722支撑而水平移动的第二器件容纳单元712、和通过由第三引导构件723支撑而水平移动的第三器件容纳单元713。
第一至第三引导构件721、722和723配置为引导缓冲器711、712和713的水平移动，并可以具有各种配置。如图4所示，第一引导构件721可以安装在主体40的支撑构件740的上端，第二引导构件722可以安装在支撑构件740的中端，并且第三引导构件723可以安装在主体40的上板42或支撑构件740的下端。在此，第一至第三引导构件721、722和723可以成对地形成，从而稳定地支撑器件容纳单元720。
用于水平移动第一至第三引导构件721、722和723的移动器件730可以根据驱动方法具有各种配置。移动器件730可以包括用于分别水平移动第一至第三引导构件721、722和723的第一至第三移动器件731、732和733。在此，第一至第三移动器件731、732和733可以通过用于产生旋转力的电机以及与第一至第三引导构件721、722和723连接的皮带实现。特别地，第一至第三移动器件731、732和733可以通过结合同步皮带和滑轮实现。
第二移动缓冲器700的操作方式类似于第一移动缓冲器600。更具体地，第二移动缓冲器700配置为，在装载位置③执行将第二器件10从老化板20装载至器件容纳单元710的装载过程，在分拣位置②执行将第二不合格器件10传送至分拣单元300的第二分拣过程，并且在卸载位置①执行将剩余的第二器件10传送至卸载单元200的托盘30的卸载过程。
在装载过程期间，与装载在第一移动缓冲器600上的器件10同样数量的器件，例如以12×2布置的器件，在同一时间传送。
在第二分拣过程期间，通过传送工具将第二不合格器件10从器件容纳单元710传送至分拣单元300。在此，根据不良标准将每一个第二不合格器件10装载至分拣单元300的托盘30上。
在分拣位置②，在第二不合格器件10已经被去除的器件容纳单元710的位置，插入已经被装载在第二固定缓冲器342上的第二优良器件10(缓冲过程)。
第二固定缓冲器342安装在主体40上，并设有预先装载在其上的第二优良器件10。如果使第二固定缓冲器342在初始时间或在操作时是空的，则第二优良器件10可以装载在设置于分拣位置②的第二移动缓冲器700的器件容纳单元710上。
一旦第一器件10和第二器件10的交换已经在X-Y工作台410的老化板20上完成，X-Y工作台410与板装载器800交换在其上具有第二器件10的新的老化板20。
当在X-Y工作台410和板装载器800之间交换老化板20时，停止第一器件10的装载和第二器件10的卸载。这会引起器件10的装载和卸载被老化板的交换时间(持续期间)延迟。
如果老化板20的交换时间减少，可以提高器件分拣装置所谓“UPH”的处理速度。为此，根据本发明的器件分拣装置还包括老化板交换缓冲单元420，用于以交替的方式临时存储其上具有第一器件10的老化板20和其上具有第二器件10的老化板20，并且用于交换在X-Y工作台410上的具有插入其中的第一器件10的老化板20和具有插入其中的第二器件10的并选自其上具有多个老化板20的板装载器800的老化板20。
老化板交换缓冲单元420配置为，通过安装在板装载器800和X-Y工作台410之间使老化板20可以交换。在此，老化板交换缓冲单元420可以根据设计进行各种配置。
根据器件分拣装置的配置，老化板交换缓冲单元420可以安装在主体40的移动区域(特别是X-Y工作台410)中最外端的一侧，或在板装载器800的内侧。
为了缩短老化板20的交换时间，优选X-Y工作台410和老化板交换缓冲单元420同时交换其上具有第一器件10的老化板20和其上具有第二器件10的老化板20。
为了同时交换老化板20，X-Y工作台410可以包括分别用于将老化板20装配在上部位置和下部位置的一对老化板装配单元411，以及老化板上下移动单元412，用于在两个老化板装配单元411之间沿向上和向下方向中的至少一个方向，移动装配在一对老化板装配单元411之一中的老化板20。
在此，老化板交换缓冲单元420可以包括一对老化板缓冲单元421，分别用于将老化板20装配在相应于X-Y工作台410的老化板装配单元411的上部位置和下部位置。
老化板缓冲单元421可以具有任何配置，以在其上装载老化板20。优选地，老化板缓冲单元421配置为不与稍后将说明的第一指状物单元441、第二指状物单元442等的移动相干扰。
如图5A至5D所示，通过第一和第二指状物单元441和442在X-Y工作台410和老化板交换缓冲单元420之间传送老化板20。在此，第一和第二指状物单元441和442的配置和安装位置可根据设计而变化。
X-Y工作台410和老化板交换缓冲单元420之间的老化板20的交换过程可以根据每一种配置以各种方式执行。参照附图将更详细地说明交换过程的一个示例。
如图5A和5B所示，X-Y工作台410起初从老化板交换缓冲单元420接收其上具有第二器件10的老化板20。在此，在老化板20布置在上部位置和下部位置的情况下，X-Y工作台410可以从上侧或下侧接收来自老化板交换缓冲单元420的老化板20。优选地，如图6D和6E所示，X-Y工作台410自上侧接收来自老化板交换缓冲单元420的老化板20。
在X-Y方向驱动已接收其上具有第二器件10的老化板20的X-Y工作台410，以使得通过开口41可以执行第二器件10的卸载和第一器件10的装载。
当X-Y工作台410为了第二器件10的卸载和第一器件10的装载而移动时，向老化板交换缓冲单元420提供来自板装载器800的其上具有第二器件10的老化板20。
一旦完成第二器件10的卸载和第一器件10的装载，如图5C所示，其上具有第一器件10的老化板20移动至老化板交换缓冲单元420，以使得可以提供另一个其上具有第二器件10的老化板20。
如图5C所示，当X-Y工作台410朝老化板交换缓冲单元420移动，X-Y工作台410上的老化板20通过老化板上下移动单元412向下移动，从而通过老化板交换缓冲单元420与老化板20交换。
如图5D所示，向已经移动至老化板交换缓冲单元420的X-Y工作台410提供设置在老化板交换缓冲单元420上面的老化板20。在此，设置在X-Y工作台410下面的老化板20移动至设置在老化板交换缓冲单元420上面的老化板缓冲单元421。
优选地，同时执行X-Y工作台410和老化板交换缓冲单元420之间的老化板20的交换，从而缩短交换时间。
如图1和2所示，根据本发明的器件分拣装置包括板装载器800，安装在其一侧并配置为连续设有老化板20。
板装载器800配置为，以堆叠的方式装载具有插入其中的第二器件20的老化板20，并且顺序地在其上装载老化板20，老化板20具有插入其中的第一器件10，从而将老化板20传送至老化测试单元。也就是，板装载器800配置为连续与X-Y工作台410交换老化板20，并且可以具有各种配置。
一旦第一器件10已经装载在一个机架50的所有老化板20上，其上完全装载有第一器件10的机架50与具有装载第二器件10的老化板20的另一个机架50交换。在此，X-Y工作台410必须在板装载器800上等待，直至在机架50已经相互交换后向其提供新的老化板20。这会降低器件分拣装置的处理速度。
因此，如图7所示，器件分拣装置的板装载器800可以包括：一对设置在X-Y工作台410的Y-轴方向的机架装载单元810，用于以多个堆叠的形式在其上装载机架，机架在其上具有多个老化板；以及安装在两个机架装载单元810之间的升降机单元820，用于从机架装载单元810收回机架50并且在向上和向下的方向移动机架50，而不影响老化板上器件的装载和卸载。
机架装载单元810可以具有任何配置，以在其上装载机架50。
优选地，机架装载单元810配置为一对，并且安装在升降机单元820的两侧。
在设置有X-Y工作台410和老化板交换缓冲单元420的情况下，升降机单元820配置为通过从机架装载单元810收回机架50并且通过上下移动收回的机架50，与老化板交换缓冲单元420交换老化板20。
板装载器800包括相应于两个机架装载单元810的一对机架收回单元830，并且配置为收回装载在每一个机架装载单元810上的机架50。
机架收回单元830配置为从机架装载单元810将机架50收回至升降机单元820的支撑单元821，或配置为从升降机单元820将机架50装载到机架装载单元810上。
老化板交换缓冲单元420和板装载器800之间的老化板20的交换可以根据每一种配置以各种方式执行。参照附图将更详细地说明交换过程的一个示例。
如图6C和6D所示，老化板交换缓冲单元420起初从板装载器800接收其上具有第二器件10的老化板20。在此，在老化板20布置在向上和向下的方向的情况下，X-Y工作台410可以从上侧或下侧接收来自板装载器800的老化板20。优选地，考虑X-Y工作台410和老化板交换缓冲单元420之间的老化板的交换，X-Y工作台410从上侧接收老化板20。
也就是，其上具有第二器件10的老化板20从板装载器800收回，并且经设置在老化板交换缓冲单元420上面的老化板缓冲单元421，传送至老化板装配单元411。并且，经设置在X-Y工作台410下面的老化板装配单元411，将其上具有第一器件10的老化板20传送至板装载器800。
在与X-Y工作台410完全交换老化板20之后，老化板交换缓冲单元420通过如图6A和6B所示的过程与板装载器800交换老化板20。
老化板交换缓冲单元420将从X-Y工作台410接收的老化板20，特别是装配在老化板缓冲单元421的下侧的老化板20，提供至板装载器800的机架50的空的部分。优选地，机架50通过升降机单元820上下移动，以向其提供老化板20或从其收回老化板20。为了顺畅地交换老化板20，最上面的机架50和最下面的机架50中的至少一个不设有老化板20。
老化板交换缓冲单元420从机架50收回其上具有第二器件10的新的老化板20。在此，老化板20从机架50收回，从而被安装至老化板交换缓冲单元420，特别是设置在上侧的老化板缓冲单元421。
如图6A至6D所示，通过由老化板交换缓冲单元420和板装载器800之间的一个或更多个子指状物443和444传送老化板20，执行老化板交换缓冲单元420和板装载器800之间的老化板20的交换。
在此，子指状物443和444可以配置为在老化板交换缓冲单元420和板装载器800之间的移动部分中与其相应的多个移动子部分上传送老化板20。
如图8A和8B所示，根据本发明的器件分拣装置可以配置为只包括用于在其上装载机架50的机架装载单元810，而不包括用于上下移动机架50的升降机单元820。并且，根据本发明的器件分拣装置可以配置为在上、下、右和左方向移动老化板交换缓冲单元420，以使得可以从装载在每个机架装载单元810上的机架50收回老化板20。
如图8B所示，板装载器800可以包括机架装载部分810，分别用于装载机架50，也就是，在优选实施例中的九个机架装载部分810。
如图8A和8B所示，根据本发明的器件分拣装置还可以包括用于老化板交换缓冲单元420的水平和垂直移动的交换缓冲驱动单元430。
可以以各种方式配置交换缓冲驱动单元430，以在上、下、右和左方向，也就是在水平和垂直方向驱动老化板交换缓冲单元420，使得可以从装载在每一个机架装载部分810上的机架50收回老化板20。
交换缓冲驱动单元430可以包括第一驱动单元431和第二驱动单元432，第一驱动单元431用于基于装载在板装载器800上的机架50的上部和下部驱动老化板交换缓冲单元420的上下移动，第二驱动单元432用于基于布置在板装载器800上的机架50的垂直方向，驱动老化板交换缓冲单元420的水平移动。
如图8A和8B所示，第一和第二驱动单元431、432可以设有螺旋千斤顶、线性移动装置等，从而通过支撑老化板交换缓冲单元420移动老化板交换缓冲单元420。
在根据本发明的器件分拣装置中，在机架50固定的状态下，通过在上、下、右和左方向移动老化板交换缓冲单元420，收回老化板20。这可以减少老化板20的收回时间，从而大大提高器件分拣装置的处理速度。
而且，在老化板交换缓冲单元420在上、下、右和左方向移动的配置下，板装载器800不需要具有升降机单元。这可以使板装载器800具有简化的配置。同样，增加装载在板装载器800上的机架50的数量，以延长机架50的交换周期，从而提高操作效率。
老化板交换缓冲单元420和交换缓冲驱动单元430可以与板装载器800一起配置为一个板装载器模块。
前述实施例和优点只是示例性的并不理解为限制本公开。当前教导可以容易地应用于其它类型的装置。该描述旨在说明而不是限制权利要求的范围。很多替代、修改和变型对于本领域技术人员是显而易见的。可以以各种方式结合在此描述的示例性实施例的特征、结构、方法和其它特性，以获得附加的和/或替代性的示例性实施例。
由于当前特征可以以几种形式具体实现而不悖离其特性，应理解的是除非另外说明，上面描述的实施例不受前述描述的任何细节限制，而应该宽泛理解为在如所附权利要求限定的其范围之内，因此落入权利要求的边界和界限、或这些边界和界限的等同物之内的所有变化和修改由所附权利要求囊括。

Claims (10)

1.一种半导体器件分拣装置，包括：
X-Y工件台，用于装载具有插入其中的第二器件的老化板；
X-Y工作台驱动单元，用于移动所述X-Y工作台，以通过与第二传送工具互相配合工作从所述老化板收回第二器件，将第一器件插入所述老化板空的部分，并且当第一器件和第二器件已经完成在所述老化板上的交换时，将所述X-Y工作台移动至老化板交换位置；
板装载器，用于顺序装载具有插入其中的第二器件的老化板，以及具有插入其中的第一器件的老化板，从而将具有插入其中的第一器件的老化板传送至老化测试单元；以及
老化板交换缓冲单元，用于交换具有插入其中的所述X-Y工作台的第一器件的老化板和具有插入其中的所述板装载器的第二器件的老化板。
2.如权利要求1所述的装置，其中，所述X-Y工作台包括：
一对老化板装配单元，分别用于在上部位置和下部位置装配老化板；以及
老化板上下移动单元，用于在所述一对老化板装配单元之间沿向上和向下方向中的至少一个方向移动装配在所述一对老化板装配单元之一中的老化板，
其中，所述老化板交换缓冲单元包括一对老化板缓冲单元，分别用于将老化板装配在相应于所述X-Y工作台的所述老化板装配单元的上部位置和下部位置。
3.如权利要求2所述的装置，其中，将其上具有第二器件的所述老化板从所述板装载器收回，并经设置在所述老化板交换缓冲单元的上侧的所述老化板缓冲单元，传送至设置在所述X-Y工作台的上侧的所述老化板装配单元，并且
将其上具有第一器件的所述老化板从设置在所述X-Y工作台的下侧的所述老化板装配单元收回，并且经设置在所述老化板交换缓冲单元的下侧的所述老化板缓冲单元，传送至所述板装载器。
4.如权利要求1所述的装置，其中，通过所述老化板交换缓冲单元和所述板装载器之间的一个或更多个子指状物传送老化板，并且
配置所述子指状物，以在所述老化板交换缓冲单元和所述板装载器之间与其相应的多个移动子部分上移动老化板。
5.如权利要求1所述的装置，其中，所述板装载器包括：
一对机架装载单元，设置在所述X-Y工作台的Y-轴方向，用于以多个堆叠的形式在其上装载机架，所述机架在其上具有多个老化板；以及
升降机单元，安装在两个机架装载单元之间，用于从所述机架装载单元收回所述机架，并且在向上和向下方向移动所述机架。
6.如权利要求5所述的装置，其中，所述板装载器包括相应于所述两个机架装载单元的一对机架收回单元，用于收回装载在所述两个机架装载单元的每一个上的所述机架。
7.一种半导体器件分拣装置，包括：
装载单元，用于装载其上具有第一器件的托盘；
第二传送工具，用于从老化板收回第二器件；
第一传送工具，用于将装载在所述装载单元的所述托盘上的所述第一器件插入所述老化板空的部分；
卸载单元，用于通过在托盘上装载所述第二器件，由所述第二传送工具卸载从所述老化板收回的所述第二器件；
X-Y工作台，用于装载具有插入其中的第二器件的老化板；
X-Y工作台驱动单元，用于通过与所述第一和所述第二传送工具互相配合工作在X和Y方向移动所述X-Y工作台，并且用于当第一器件和第二器件已经完成在所述老化板上的交换时，将所述X-Y工作台移动至老化板交换位置；
板装载器，具有多个机架装载单元，用于装载其上具有多个老化板的机架；以及
老化板交换缓冲单元，安装在所述板装载器和所述X-Y工作台之间以在所述板装载器和所述X-Y工作台之间交换老化板，用于从装载在所述板装载器上的所述机架收回具有插入其中的第二器件的老化板，并且从所述X-Y工作台将具有被插入的第一器件的老化板插入装载在所述板装载器上的所述机架的空的部分。
8.如权利要求7所述的装置，其中，还包括交换缓冲驱动单元，用于驱动所述老化板交换缓冲单元的垂直和水平移动，以使得所述老化板交换缓冲单元从装载在每一个所述机架装载单元上的所述机架收回老化板。
9.如权利要求8所述的装置，其中，所述交换缓冲驱动单元包括：
第一驱动单元，用于基于装载在所述板装载器上的所述机架的上部和下部部分，驱动所述老化板交换缓冲单元的上下移动；以及
第二驱动单元，用于基于布置在所述板装载器上的所述机架的水平方向，驱动所述老化板交换缓冲单元的水平移动。
10.如权利要求8或9所述的半导体器件分拣装置的板装载模块，其中，包括所述老化板交换缓冲单元和所述交换缓冲驱动单元的所述板装载模块作为一个模块。
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