KR20150056020A - 소자테스트핸들러 - Google Patents

Abstract

본 발명은 테스트가 수행될 소자(10)가 적재된 트레이(20)가 로딩되어 선형이동되는 트레이로딩부(100)와; 트레이(20)의 선형이동방향과 수직방향으로 트레이로딩부(100)와 간격을 두고 설치되는 DC테스트부(200)와, DC테스트부(200)를 중심으로 트레이로딩부(100)와 대향되어 설치되며 DC테스트부(200)에서 테스트를 마친 소자(10)들을 미리 설정된 분류등급으로 분류하여 트레이(20)에 적재하는 언로딩부(300)와, 트레이로딩부(100)의 트레이(20)로부터 복수의 소자(10)들을 인출하여 DC테스트부(200)로 전달하는 제1이송툴(410)과, DC테스트부(200)로부터 테스트를 마친 소자(10)들을 언로딩부(300)로 전달하는 제2이송툴(420)을 포함하는 DC테스트핸들러를 개시한다.

Description

소자테스트핸들러 {Device test handler}

본 발명은 소자테스트핸들러에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 소자의 테스트 후 분류하는 소자테스트핸들러에 관한 것이다.

반도체소자(이하 '소자'라 한다)는 패키지 공정을 마친 후 반도체소자 검사장치에 의하여 전기특성, 열이나 압력에 대한 신뢰성 검사 등 다양한 검사를 거친다.

소자에 대한 검사는 메모리소자, CPU, GPU 등과 같은 비메모리소자, LED소자, 태양광소자 등 소자의 종류에 따라서 실온환경에서 수행하는 실온검사, 고온환경에서 수행되는 가열검사 등 다양한 검사들이 있다.

또한 소자에 대한 검사는 패키징 공정을 마친 후에 수행되는 것이 일반적이나, 반도체 공정 및 소잉공정을 마친 웨이퍼 수준에서 검사되는 경우도 있다.

한편 소자에 대한 검사의 종류, 검사결과가 다양해지면서, 굿(Good) 및 리젝(Reject)으로 분류되기보다는, 굿(Good) 및 리젝(Reject)에 더하여 재검사 등 그 분류등급이 많아지고 굿(Good) 이외의 분류등급으로 분류되는 비율이 높아지고 있는 실정이다.

그런데 소자검사결과에 따라 굿(Good) 이외의 분류등급으로 분류되는 비율이 높아지면서 수율이 높은 공정에 최적화된 소자테스트핸들러의 처리속도가 저하되는 문제점이 있다.

본 발명의 목적은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여, 복수의 분류등급으로 분류되는 소자의 비율이 높은 공정에 최적화하여 그 처리속도를 향상시킬 수 있는 소자테스트핸들러를 제공하는 데 있다.

본 발명은 상기와 같은 본 발명의 목적을 달성하기 위하여 창출된 것으로서, 본 발명은, 테스트가 수행될 소자(10)가 적재된 트레이(20)가 로딩되어 선형이동되는 트레이로딩부(100)와; 트레이(20)의 선형이동방향과 수직방향으로 트레이로딩부(100)와 간격을 두고 설치되는 DC테스트부(200)와, DC테스트부(200)를 중심으로 트레이로딩부(100)와 대향되어 설치되며 DC테스트부(200)에서 테스트를 마친 소자(10)들을 미리 설정된 분류등급으로 분류하여 트레이(20)에 적재하는 언로딩부(300)와, 트레이로딩부(100)의 트레이(20)로부터 복수의 소자(10)들을 인출하여 DC테스트부(200)로 전달하는 제1이송툴(410)과, DC테스트부(200)로부터 테스트를 마친 소자(10)들을 언로딩부(300)로 전달하는 제2이송툴(420)을 포함하는 DC테스트핸들러를 개시한다.

본 발명에 따른 소자테스트핸들러는, 복수의 분류등급으로 분류되는 소자의 비율이 높은 공정에 최적화하여 그 처리속도를 향상시킬 수 있는 이점이 있다.

특히 본 발명에 따른 소자테스트핸들러는, DC테스트 후 그 검사결과에 따른 분류를 위한 소팅라인을 복수개로 설정하여 소팅속도를 높임으로써 굿(Good) 이외의 분류등급의 비율이 상대적으로 높은 경우 장치의 전체 처리속도를 향상시킬 수 있는 이점이 있다.

더 나아가 검사를 위한 소자의 이송, 즉 트레이로딩부로부터의 소자의 로딩라인인 이송라인 또한 복수개로 설정하여 소팅속도를 높임으로써 굿(Good) 이외의 분류등급의 비율이 상대적으로 높은 경우 장치의 전체 처리속도를 향상시킬 수 있는 이점이 있다.

도 1은, 본 발명의 제1실시예에 따른 DC테스트핸들러를 보여주는 평면도이다.
도 2는, 본 발명의 제2실시예에 따른 DC테스트핸들러를 보여주는 평면도이다.
도 3은, 본 발명의 제3실시예에 따른 DC테스트핸들러를 보여주는 평면도이다.
도 4는, 본 발명의 제4실시예에 따른 DC테스트핸들러를 보여주는 평면도이다.
도 5는, 본 발명의 제4실시예에 따른 DC테스트핸들러를 보여주는 평면도이다.

이하 본 발명에 따른 DC테스트핸들러에 관하여 첨부된 도면을 참조하여 설명하면 다음과 같다.

본 발명에 따른 DC테스트핸들러는, 도 1에 도시된 바와 같이, 테스트가 수행될 소자(10)가 적재된 트레이(20)가 로딩되어 선형이동되는 트레이로딩부(100)와; 트레이(20)의 선형이동방향과 수직방향으로 트레이로딩부(100)와 간격을 두고 설치되는 DC테스트부(200)와, DC테스트부(200)를 중심으로 트레이로딩부(100)와 대향되어 설치되며 DC테스트부(200)에서 테스트를 마친 소자(10)들을 미리 설정된 분류등급으로 분류하여 트레이(20)에 적재하는 언로딩부(300)와, 트레이로딩부(100)의 트레이(20)로부터 복수의 소자(10)들을 인출하여 DC테스트부(200)로 전달하는 제1이송툴(410)과, DC테스트부(200)로부터 테스트를 마친 소자(10)들을 언로딩부(300)로 전달하는 제2이송툴(420)을 포함한다.

여기서 본 발명에 따른 DC테스트핸들러에 의하여 검사 및 분류가 수행될 대상인 소자(10)는 패키징공정을 마친 DRAM은 물론, 시스템반도체(LSI) 등을 포함하며, 웨이퍼 레벨의 소자들도 가능하다.

상기 트레이(20)는, 복수의 소자(10)들이 적재되어 이송되는 구성으로서 소자(10)의 크기에 따라서 다양한 구성이 가능하다.

상기 트레이로딩부(100)는, 트레이(20)의 선형이동을 가이드하는 가이드부(미도시)와, 트레이(20)의 선형이동을 구동하는 선형구동부를 포함할 수 있다.

한편 테스트가 수행될 트레이(20)는, 복수의 트레이(20)들이 적층된 트레이적재부(미도시)로부터 공급받을 수 있다.

이때 상기 트레이적재부는 트레이로딩부(100)와 별도로 설치되며 트레이(20)는 트레이전달부에 의하여 전달되거나, 트레이로딩부(100)의 일단에 복수의 트레이(20)들이 적층되어 설치될 수 있다.

상기 DC테스트부(200)는, 트레이(20)의 선형이동방향(Y축)과 수직방향(X축)으로 트레이로딩부(100)와 간격을 두고 설치되며 트레이로딩부(100)로부터 전달된 소자(10)가 삽입되는 테스트소켓(210)을 구비하여 DC특성을 테스트하는 구성으로서 소자(10)의 규격 및 검사목적에 따라서 다양한 구성이 가능하며, 복수의 소자(10)들을 한번에 검사를 수행할 수 있도록 테스트소켓(210)은 복수개로 설치된다.

한편 상기 DC테스트부(200)는, 소자(10)의 규격 및 검사목적에 따라서 다양한 검사가 가능하도록 본 장치에 분리가능하게 설치됨이 바람직하다.

상기 제1이송툴(410) 및 상기 제2이송툴(420)은, 각각 트레이로딩부(100)의 트레이(20)로부터 복수의 소자(10)들을 인출하여 DC테스트부(200)로 전달하거나, DC테스트부(200)로부터 테스트를 마친 소자(10)들을 언로딩부(300)로 전달하는 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.

특히 상기 제1이송툴(410) 및 상기 제2이송툴(420)은, 복수의 소자(10)들을 한번에 이송할 수 있도록 복수의 픽커(미도시)들 및 복수의 픽커들을 이송라인(L)을 따라서 이동시키는 픽커이동부(미도시)를 포함할 수 있다.

여기서 이송라인(L)은, 트레이로딩부(100)로부터의 소자(10)의 이송방향으로서, 제1이송툴(410) 및 상기 제2이송툴(420)의 이동방향을 가리킨다.

상기 픽커는, 소자(10)의 픽업 및 플레이스 기능을 가지는 구성으로서, 진공압에 의하여 소자(10)를 픽업하는 픽업헤드(미도시)와, 픽업헤드를 상하로 이동시키는 픽업구동부를 포함하는 등 다양한 구성이 하다.

또한 상기 복수의 픽커들은 소자(10)의 효율적인 이송을 위하여 n×1(예를 들면 8×1), n×m (예를 들면 8×2) 등 다양한 구조로 배치될 수 있으며 트레이(20)에서의 피치 및 DC테스트부(200)에서의 소켓(210) 간의 피치가 다름을 고려하여 픽커들간의 피치가 조절가능하도록 구성됨이 바람직하다.

또한 상기 DC테스트부(200)를 기준으로 소자(10)의 인출 및 적재가 순차적으로 이루어짐을 고려하여, 제1이송툴(410) 및 상기 제2이송툴(420)은 쌍을 이루어 이동되도록 구성됨이 바람직하다.

구체적으로 상기 제1이송툴(410) 및 제2이송툴(420)은 트레이로딩부(100)에서의 트레이(20)의 선형이동방향(Y축)과 수직을 이루는 이송라인(L)을 X축으로 하여 X축을 따라서 왕복이동되는 지지구조물(미도시)에 고정되어 상호 구속되어 이동되도록 구성될 수 있다.

또한 상기 제1이송툴(410) 및 상기 제2이송툴(420)은, 상호 동일한 수의 소자(10)들을 이송하도록 구성됨이 바람직하다.

상기 언로딩부(300)는, DC테스트부(200)를 중심으로 트레이로딩부(100)와 대향되어 설치되며 DC테스트부(200)에서 테스트를 마친 소자(10)들을 미리 설정된 분류등급으로 분류하여 트레이(20)에 적재하는 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.

일예로서, 상기 언로딩부(300)는, 도 1에 도시된 바와 같이, DC테스트부(200)로부터 소자(10)을 전달받아 임시로 적재하는 버퍼부(550)와, DC테스트부(200)의 검사결과에 따라서 미리 분류된 분류등급이 각각 부여되며 트레이(20)가 선형이동되는 복수의 소팅트레이부(310, 330, 340, 350)들과, 버퍼부(550)로부터 소자(10)를 인출하여 분류등급에 따라서 해당 소팅트레이부(310, 330, 340, 350)의 트레이(20)로 소자(10)를 전달하는 소팅툴(430)을 포함할 수 있다.

상기 버퍼부(550)는, DC테스트부(200)로부터 소자(10)을 전달받아 임시로 적재하는 구성으로서 소자(10)가 적재될 수 있는 구성이면 어떠한 구성도 가능하다.

그리고 상기 버퍼부(550)는, 도 1에 도시된 바와 같이, 후술하는 소팅툴(430)에 의한 소자픽업이 용이하도록 이송라인(L)과 Y축 방향으로 간격을 두고 설정된 소팅라인(S) 사이에서 왕복이동이 가능하도록 설치될 수 있다.

상기 복수의 소팅트레이부(310, 330, 340, 350)들은, DC테스트부(200)의 검사결과에 따라서 미리 분류된 분류등급이 각각 부여되며 트레이(20)가 Y축 방향으로 선형이동되는 구성으로서 트레이로딩부(100)와 유사한 구성을 가질 수 있다.

또한 상기 복수의 소팅트레이부(310, 330, 340, 350)들은, 소자(10)의 적재를 마친 트레이(20)가 적재되는 트레이적재부(미도시)가 그 끝단에 설치되거나 별도로 설치될 수 있다.

한편 상기 복수의 소팅트레이부(310, 330, 340, 350)들은, 그 분류등급에 따라서 굿(GOOD), 분류등급1, 분류등급2, 분류등급3으로 부여되는 등 소자(10)의 분류기준에 따라서 다양하게 부여될 수 있으며 그 분류등급들의 수, 분류등급들에 분류되는 소자(10)의 비율에 따라서 소팅트레이부(310, 330, 340, 350)들의 수 및 배치가 결정된다.

예를 들면, 통상 굿으로 분류되는 소자(10)가 다수임을 고려하여 소팅툴(430)은, 버퍼부(550)로부터 일차적으로 굿 분류등급을 가지는 소팅트레이부(310)으로 전달한 후 분류등급에 따라서 나머지 소팅트레이부(330, 340, 350)들로 소자(10)들을 전달할 수 있다.

한편 상기 복수의 소팅트레이부(310, 330, 340, 350)들은, 소자(10)가 적재될 트레이(20)의 공급이 필요한데 이는 트레이로딩부(100)로부터 소자(10)가 비워진 후 전달받거나, 별도로 설치된 공트레이부(320)로부터 전달받을 수 있다.

여기서 상기 복수의 소팅트레이부(310, 330, 340, 350)들로의 트레이(20) 전달을 위한 트레이전달부(미도시)가 설치됨은 물론이다.

또한 상기 트레이로딩부(100)로부터 복수의 소팅트레이부(310, 330, 340, 350)들로 트레이(20)를 공급받을 때 트레이(20)에서 소자(10)를 확실히 비우기 위하여 상하로 반전시켜 트레이(20)를 비우는 트레이비움부(450)가 추가로 설치될 수 있다.

상기 공트레이부(320)는, 소자(10)가 적재될 트레이(20)를 공급하는 구성으로서 다양한 구성이 가능하며, 도 1에 도시된 바와 같이, 트레이로딩부(100)와 유사한 구성을 가질 수 있다.

상기 소팅툴(430)은, 버퍼부(550)로부터 소자(10)를 인출하여 분류등급에 따라서 해당 소팅트레이부(310, 330, 340, 350)의 트레이(20)로 소자(10)를 전달하는 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.

상기 소팅툴(430)은, 버퍼부(550)로부터 소자(10)를 인출하여 분류등급에 따라서 해당 소팅트레이부(310, 330, 340, 350)의 트레이(20)로 소자(10)를 전달하는 구성으로서 앞서 설명한 제1이송툴(410)과, 유사한 구성을 가질 수 있다.

구체적으로 상기 소팅툴(430)은, 복수의 소자(10)들을 한번에 이송할 수 있도록 복수의 픽커(미도시)들 및 복수의 픽커들을 소팅라인(S)을 따라서 이동시키는 픽커이동부(미도시)를 포함할 수 있다.

여기서 소팅라인(S)은, 버퍼부(550)로부터 소자(10)를 인출하여 분류등급에 따라서 해당 소팅트레이부(310, 330, 340, 350)의 트레이(20)로의 소자(10)의 이송방향으로서, 소팅툴(430)의 이동방향을 가리킨다.

특히 소팅라인(S)은, 이송라인(L)과 일렬로 배치될 수 있으나, 제2이송툴(420)과의 이동간섭을 방지하기 위하여 이송라인(L)과 간격, 즉 Y축방향, 수평방향으로 간격을 두고 평행하게 배치됨이 바람직하다.

상기 픽커는, 소자(10)의 픽업 및 플레이스 기능을 가지는 구성으로서, 진공압에 의하여 소자(10)를 픽업하는 픽업헤드(미도시)와, 픽업헤드를 상하로 이동시키는 픽업구동부를 포함하는 등 다양한 구성이 하다.

또한 상기 복수의 픽커들은 소자(10)의 효율적인 이송을 위하여 n×1(예를 들면 8×1), n×m (예를 들면 8×2) 등 다양한 구조로 배치될 수 있다.

여기서 상기 소팅툴(430)은, 소자(10)의 이송효율을 고려하여 제1이송툴(410) 및 제2이송툴(420)이 이송하는 소자(10)의 수(8×2)의 1/2임(8×1) 또는 동일한 수로 구성될 수 있다.

한편 도 1에 도시된 DC테스트핸들러는, 소팅라인의 수, 버퍼부(550)의 유무, 소팅트레이부(310, 320, 330, 340)들의 수에 따라서 다양한 변형이 가능하다.

- 제2실시예

예를 들면, 본 발명의 제2실시예에 따른 DC테스트핸들러는, 도 2에 도시된 바와 같이, 제1실시예의 구성에서, 한 쌍의 이송라인(L1, L2)들 및 한 쌍의 소팅라인(S1, S2)들이 설정되고, 한 쌍의 이송라인(L1, L2)들 각각에 제1이송툴(410) 및 제2이송툴(420)이 설치되고 한 쌍의 소팅라인(S1, S2)들 각각에 소팅툴(430)이 설치될 수 있다.

여기서 DC테스트부(200)는, 한 쌍의 이송라인(L1, L2)에 대응하여 Y축방향으로 테스트소켓(210)들이 2열로 배치된다. 예를 들면, 상기 DC테스트부(200)는, 한 쌍의 이송라인(L1, L2)에 대응하여 Y축방향으로 테스트소켓(210)들이 8×1씩 2열로 배치될 수 있다.

또한 상기 버퍼부(550) 또한 한 쌍의 DC테스트부(200)에 대응되어 한 쌍으로 설치되어 각각 한 쌍의 이송라인(L1, L2)들 및 한 쌍의 소팅라인(S1, S2)들로 이동하도록 설치된다.

이때 상기 복수의 소팅트레이부(310, 330, 340, 350)들은, 그 분류등급에 따라서 굿(Good), 분류등급1, 분류등급2, 분류등급3으로 부여되는 등 소자(10)의 분류기준에 따라서 다양하게 부여될 수 있으며 그 분류등급들의 수, 분류등급들에 분류되는 소자(10)의 비율에 따라서 소팅트레이부(310, 330, 340, 350)들의 수 및 배치가 결정된다.

예를 들면, 통상 굿으로 분류되는 소자(10)가 다수임을 고려하여 소팅툴(430)은, 버퍼부(550)로부터 일차적으로 굿 분류등급을 가지는 소팅트레이부(310)으로 전달한 후 분류등급에 따라서 나머지 소팅트레이부(330, 340, 350)들로 소자(10)들을 전달할 수 있다.

한편 상기 한 쌍의 이송라인(L1, L2) 및 한 쌍의 소팅라인(S1, S2)들은 번갈아 가면서 서로 교차하면서 평행하게 배치되거나, 한 쌍의 소팅라인(S1, S2)들 사이로 한 쌍의 이송라인(L1, L2)이 배치되는 등 다양한 배치가 가능하다.

특히 상기 한 쌍의 소팅라인(S1, S2)들 사이로 한 쌍의 이송라인(L1, L2)이 배치되는 경우 제1이송툴(410) 및 제2이송툴(420)이 한 쌍으로 이동함에 있어서 그 가이드부재를 중앙에 설치하여 전후방에 각각 한 쌍으로 설치함으로써 안정적인 구조를 가질 수 있는 이점이 있다.

또한 상기 소팅툴(430)은, 소자(10)의 이송효율을 고려하여 제1이송툴(410) 및 제2이송툴(420)이 이송하는 소자(10)의 수(8×2)의 1/2임(8×1)이 되거나, 굿 비율이 낮은 경우 제1이송툴(410) 및 제2이송툴(420)이 이송하는 소자(10)의 수(8×1)와 동일(8×1)하게 구성될 수 있다.

상기와 같이, 한 쌍의 이송라인(L1, L2)들 및 한 쌍의 소팅라인(S1, S2)들이 설정되게 되면 굿의 비율이 작고 다른 분류등급들이 상대적으로 높은 경우 보다 효과적으로 소자(10)들을 분류할 수 있게 된다.

한편 도시되지 않았지만 상기 한 쌍의 이송라인(L1, L2)들은 하나만으로 구성되고 소팅라인(S1, S2)들만이 한 쌍으로 구성될 수 있다.

이 경우 굿 이외의 분류등급의 비율이 상대적으로 높은 경우 소팅효율을 고려하여 테스트 숫자에 대한 소팅 숫자의 비율을 높임으로써 전체 처리속도를 향상시킬 수 있게 된다.

- 제3 및 제4실시예

한편 본 발명의 제3실시예 및 제4실시예에 따른 DC테스트핸들러는, 제2실시예에서, 버퍼부(550)가 설치되지 않고, 언로딩부(300), 즉 소팅트레이부들 중 적어도 일부는 DC테스트부(200)로부터 소자(10)들을 직접 전달받도록 구성될 수 있다.

여기서 트레이로딩부(100)로부터 DC테스트부(200)를 거쳐 언로딩부(300)까지 소자(10)를 전달하는 소자(10)의 이송라인(L)은 하나로 구성하고, 소팅라인(S)은 한 쌍으로 구성됨이 바람직하다.

상기 소팅툴(430)은, 소자(10)의 이송효율을 고려하여 제1이송툴(410) 및 제2이송툴(420)이 이송하는 소자(10)의 수(8×2)의 1/2임(8×1)이 되거나, 굿 비율이 낮은 경우 제1이송툴(410) 및 제2이송툴(420)이 이송하는 소자(10)의 수(8×1)와 동일(8×1)하게 구성될 수 있다.

또한 상기 언로딩부(300)는, 복수의 소팅트레이부(310, 330, 340, 350)들 이외에 제1실시예와 같이 공트레이부(320)을 더 포함하거나, 제4실시예를 도시하는 도 4에 도시된 바와 같이, 버퍼부(550)로부터 소자를 전달받는 보조트레이부(360)를 추가로 포함할 수 있다.

상기 보조트레이부(360)는, 트레이(20)가 선형이동 가능하게 설치되는 구성으로서 앞서 설명한 소팅트레이부(310, 320, 33, 340, 350)과 유사한 구성을 가진다.

한편 상기 DC테스트부(200)로부터 소자(10)들을 직접 전달받는 소팅트레이부는, DC테스트부(200)에 바로 인접된 소팅트레이부가 바람직하다.

또한 상기 소팅툴(430)은, DC테스트부(200)로부터 소자(10)들을 직접 전달받는 소팅트레이부의 트레이(20)로부터 해당 분류등급에 따라서 해당 소팅트레이부로 분류하여 적재하게 된다.

이때 소팅툴(430)은, 복수개, 즉 2개의 소팅라인(S1, S2)를 통하여 해당 분류등급에 따라서 해당 소팅트레이부로 분류하여 적재됨으로써 그 분류작업이 신속하게 수행될 수 있다.

한편 제3 및 제4실시예에 따른 DC테스트핸들러는, DC테스트부(200)를 중심으로 트레이로딩부(100)를 한 쌍으로 배치할 수 있다 - 이 경우 도 3 및 도 4에서 도면부호 310이 100으로 대체된다.

그리고 DC테스트부(200)에서 테스트를 마친 소자(10)들은 각각 제1이송툴(410) 및 제2이송툴(420)에 의하여 원래의 트레이(20)로 반환될 수 있다.

그리고 상기 트레이로딩부(100)에서 테스트를 마친 소자(10)들은 트레이(20)에 담긴 상태로 언로딩부(300)의 소팅트레이부들로 전달될 수 있다.

여기서 트레이(20)가 전달되는 소팅트레이부들은 분류등급을 특정하여 전달하거나 임의의 소팅트레이부로 전달되는 등 다양한 방식에 의하여 트레이(20)를 전달받을 수 있다.

마지막으로 소팅트레이부로 전달된 트레이(20)에 담긴 소자(10)는 소팅툴(430)에 의하여 해당 분류등급을 가지는 소팅트레이부로 전달, 즉 덤빙방식에 의하여 최종 분류될 수 있다.

- 제5실시예

한편 상기와 같은 구성을 가지는 DC테스트핸들러는, 기존의 번인소터의 구성, 예를 들면 등록특허 제1177319호(출원번호 제10-2010-0086721호)에 개시된 구성에 조합되어 구성될 수 있다.

구체적으로 본 발명의 제5실시예에 따른 소자핸들러는, 도 5에 도시된 바와 같이, 도 2에 도시된 제2실시예에서 트레이로딩부(100), DC테스트부(200)의 이전까지의 구성, 및 등록특허 제1177319호(출원번호 제10-2010-0086721호)의 도 1 및 2에 도시된 구성 일부가 조합되어 구성될 수 있다.

구체적으로, 본 발명의 제5실시예에 따른 소자핸들러는, 도 5에 도시된 바와 같이, 제1실시예의 구성에서, 한 쌍의 이송라인(L1, L2)들 및 한 쌍의 소팅라인(S1, S2)들이 설정되고, 한 쌍의 이송라인(L1, L2)들 각각에 제1이송툴(410) 및 제2이송툴(420)이 설치되고 한 쌍의 소팅라인(S1, S2)들 각각에 후술하는 한 쌍의 제4이송툴(920)이 설치될 수 있다.

여기서 DC테스트부(200)는, 한 쌍의 이송라인(L1, L2)에 대응하여 Y축방향으로 테스트소켓(210)들이 2열로 배치된다. 예를 들면, 상기 DC테스트부(200)는, 한 쌍의 이송라인(L1, L2)에 대응하여 Y축방향으로 테스트소켓(210)들이 8×1씩 2열로 배치될 수 있다.

또한 상기 버퍼부(550) 또한 한 쌍의 DC테스트부(200)에 대응되어 한 쌍으로 설치되어 각각 한 쌍의 이송라인(L1, L2)들 및 한 쌍의 소팅라인(S1, S2)들로 이동하도록 설치된다.

한편 상기 한 쌍의 이송라인(L1, L2) 및 한 쌍의 소팅라인(S1, S2)들은 번갈아 가면서 서로 교차하면서 평행하게 배치되거나, 한 쌍의 소팅라인(S1, S2)들 사이로 한 쌍의 이송라인(L1, L2)이 배치되는 등 다양한 배치가 가능하다.

특히 상기 한 쌍의 소팅라인(S1, S2)들 사이로 한 쌍의 이송라인(L1, L2)이 배치되는 경우 제1이송툴(410) 및 제2이송툴(420)이 한 쌍으로 이동함에 있어서 그 가이드부재를 중앙에 설치하여 전후방에 각각 한 쌍으로 설치함으로써 안정적인 구조를 가질 수 있는 이점이 있다.

상기와 같이, 한 쌍의 이송라인(L1, L2)들 및 한 쌍의 소팅라인(S1, S2)들이 설정되게 되면 굿의 비율이 작고 다른 분류등급들이 상대적으로 높은 경우보다 효과적으로 소자(10)들을 이송할 수 있게 된다.

한편 상기 언로딩부(300)는, 소자를 언로딩하기 위한 제1언로딩트레이부(311), 소팅트레이부(313) 및 소자(10)들을 이송하기 위한 복수개의 이송툴(920, 930, 940, 950, 960)들을 포함하며, 제1실시예 및 제2실시예의 구성과는 달리, 번인보드(40)와의 소자교환을 위한 구성, 번인보드(40)의 교환을 위한 구성 등을 더 포함할 수 있다.

상기 번인보드(30)는 번인테스트장치(미도시)에서 번인테스트를 거칠 수 있도록 제1소자(10)들이 적재되는 보드를 말하며, 고온 하에서 전기특성, 신호특성들에 대한 테스트가 가능하도록 소자(10)들이 각각 삽입되는 소켓들을 구비한다.

상기 번인보드(30)는 소자소팅장치에 설치된 X-Y테이블(910)에 탑재되어 번인테스트를 마친 제2소자(10)들이 언로딩됨과 아울러 제1소자(10)들이 적재된다.

상기 X-Y테이블(910)은 제2소자(10)들-번인테스트를 마친 후 번인보드(30)에 삽입된 소자-이 삽입된 번인보드(30)를 로딩하는 동시에 제1소자(10)들-버퍼부(550)으로부터 전달되어 번인보드(30)로 삽입되는 소자-이 삽입된 번인보드(30)를 언로딩하기 위하여 번인보드(30)를 한 구성으로서, 도 5에 도시된 바와 같이, 소자(10)의 교환을 수행할 번인보드(30)를 공급받거나 소자(10)의 교환을 마친 번인보드(30)를 배출하기 위하여 번인보드교환장치(미도시)를 포함한다.

그리고 상기 X-Y테이블(910)은 제5이송툴(930)에 의하여 번인보드(30)의 빈자리에 제1소자(10)들이 삽입되거나 번인보드(30)로부터 제2소자(10)들이 인출될 수 있도록 X-Y테이블구동부(미도시)에 의하여 구동되어 번인보드(30)를 이동시키도록 구성된다.

상기 X-Y테이블구동부는 제6이송툴(940) 및 제5이송툴(930)이 소자(10)들을 번인보드(30)로부터 인출하거나 적재하는데 용이하도록 제6이송툴(940) 및 제5이송툴(930)과 연동하여 번인보드(30)가 로딩된 X-Y테이블(910)의 X-Y이동 또는 X-Y-θ이동 등 다양한 구성이 가능하다.

즉, 상기 X-Y테이블구동부는 제6이송툴(940)과 연동하여 번인보드(30)로부터 제2소자(10)들을 인출함과 아울러 제5이송툴(930)과 연동하여 제1소자(10)들을 번인보드(30)의 빈자리로 삽입하도록 X-Y테이블(910)을 이동시키고 번인보드(30)에 제1소자(10)들의 삽입이 완료되면, X-Y테이블(910)을 번인보드 교환위치로 이동시키도록 구성될 수 있다.

한편 상기 X-Y테이블(910)은 본 발명에 따른 소자소팅장치를 구성하는 본체(1)에 설치되며, 본체(1)는 제6이송툴(940) 및 제5이송툴(930)이 소자(10)들을 번인보드(30)로부터 인출하거나 적재하기 위한 개구부(2)가 형성된 상판(3)을 포함할 수 있다.

상기 제1언로딩트레이부(311)는 제2소자(10)들 중 양호한 소자(이하 '양품'이라 한다)들을 트레이(20)(이하 '언로딩트레이'라 한다)에 적재하여 언로딩하기 위한 구성으로서, 다양한 구성이 가능하다.

상기 로딩부(100) 및 제1언로딩트레이부(311)는 도 5에 도시된 바와 같이, 각각 트레이(20)가 이동될 수 있도록 가이드하는 한 쌍의 가이드레일(미도시)과, 트레이(20)를 이동시키기 위한 구동부(미도시)를 포함하여 구성됨이 일반적이다.

또한 상기 로딩부(100) 및 제1언로딩트레이부(311)는 설계조건에 따라 다양한 배치가 가능하나, 도 5에 도시된 바와 같이, DC테스트부(200), 제1언로딩트레이부(311), 소팅트레이부(313), 제1이동버퍼(600), 제2이동버퍼(700) 등이 사이에 설치되도록 서로 평행하게 배치됨이 일반적이나 반드시 이에 한정되는 것은 아니다.

한편 상기 로딩부(100)에서 트레이(20)로부터 제1소자(10)들이 인출된 후 빈 트레이(20)들은 트레이이송부(미도시)에 의하여 제2소자(10)들이 적재될 수 있도록 제1언로딩트레이부(311)로 전달될 수 있다.

이때 상기 트레이(20)에 소자(10)가 잔존할 수 있는바, 트레이(20)가 로딩부(100)에서 제1언로딩트레이부(311)로 전달되기 전에 트레이(20)에 잔존하는 소자(10)들을 제거하기 위하여 트레이(20)를 회전시켜 잔존하는 소자(10)를 제거하는 트레이회전부(150)가 추가로 설치될 수 있다.

상기 트레이회전부(150)는 도 5에 도시된 바와 같이, 로딩부(100) 및 제1언로딩트레이부(311) 사이에서 트레이(20)의 이송경로 상에 설치되며 트레이이송부에 의하여 로딩부(100)로부터 트레이(20)를 전달받아 트레이(20)를 회전시킨 후 제1언로딩트레이부(311)로 트레이(20)를 전달하도록 구성된다.

이때 상기 본 발명에 따른 소자핸들러는 제1언로딩트레이부(311) 등으로 빈 트레이(20)를 공급하거나 로딩부(100)로부터 빈 트레이(20)를 임시로 적재할 수 있는 공트레이부(160)가 추가로 설치될 수 있다.

상기 공트레이부(160)는, 제1언로딩트레이부(311) 등으로 빈 트레이(20)를 공급하거나 로딩부(100)로부터 빈 트레이(20)를 임시로 적재할 수 있는 구성이면 어떠한 구성도 가능하다.

일예로서, 도 5에 도시된 바와 같이, 로딩부(100)의 구성과 유사하며 로딩부(100)에서 트레이(20)의 이동방향에 평행하게 배치될 수 있다.

한편 본 발명에 따른 소자소팅장치는 DC테스트부(200)의 테스트결과 불량으로 판정된 제1불량소자(10)들, 제2소자(10)들 중 분류가 필요한 제2불량소자(10)들을 분류하여 적재하기 위한 소팅트레이부(313)를 포함할 수 있다.

상기 소팅트레이부(313)는 그 배치 및 분류기준에 따라서 다양한 구성이 가능하며, 각 분류기준(양호(Good), 불량1(Contact Reject), 불량2(DC Failure) 등)에 따라서 소자(10)가 적재되는 적정한 수의 트레이(20)-소팅트레이-들을 포함하며, 앞서 설명한 로딩부(100)의 구성과 유사한 구성을 가지거나 도 5에 도시된 바와 같이, 본체(1)에 고정된 상태로 로딩부(100) 및 제1언로딩트레이부(311) 사이에 배치될 수 있다.

또한 상기 소팅트레이부(313)는 도 5에 도시된 바와 같이 고정되어 설치되는 구성이외에, 로딩부(100) 및 제1언로딩트레이부(311)의 구성과 유사하게 각각 트레이(20)가 이동될 수 있도록 가이드하는 한 쌍의 가이드레일과, 트레이(20)를 이동시키기 위한 구동부(미도시)를 포함하여 구성될 수 있다.

상기 이송툴은 번인보드(30), 한 쌍의 버퍼부(550), 제1언로딩트레이부(311), 소팅트레이부(313), 후술하는 제1이동버퍼(600), 제2이동버퍼(700) 사이에서 소자(10)들을 이송하기 위한 구성으로 각 구성의 배치에 따라서 다양한 구성이 가능하다.

예를 들면, 상기 이송툴은 한 쌍의 버퍼부(550) 및 제1이동버퍼(600) 사이에서 소자(10)들을 이송하는 한 쌍의 제4이송툴(920)과, 제2이동버퍼(700) 및 제1언로딩트레이부(311) 사이에서 소자(10)들을 이송하는 제7이송툴(950) 및 제1이동버퍼(600), 및 제2이동버퍼(700)와 소팅트레이부(313) 사이에서 소자(10)들을 이송하는 소팅툴(960)을 포함할 수 있다.

또한 상기 이송툴(920, 930, 940, 950, 960)은 제1이동버퍼(600) 및 번인보드(30) 사이에서 로딩부(100)의 트레이(20)에 적재된 소자(10)들을 전달받아 번인보드(30)의 빈자리로 삽입하는 제5이송툴(930)과, 번인보드(30) 및 제2이동버퍼(700) 사이에서 번인보드(30)로부터 제2소자(10)들을 이송하는 제6이송툴(940)을 포함하여 구성될 수 있다.

한편 상기 번인보드(30)에 적재되는 소자(10)들의 배열은 로딩부(100) 등의 트레이(20)에 적재되는 소자(10)들의 배열과 서로 다르며, 번인보드(30) 상의 배열이 상대적으로 많다.

따라서 상기 번인보드(30)로 소자(10)를 이송하거나 인출하는 제5이송툴(930) 및 제6이송툴(940)은 나머지 이송툴들과는 상대적으로 많은 수의 소자(10)들을 이송하도록 구성됨이 바람직하다. 예를 들면, 제5이송툴(930) 및 제6이송툴(940)은 10×2로하고, 제4이송툴(920)은 8×1, 나머지 이송툴들은 8×1, 8×2 등으로 할 수 있다.

상기와 같이 이송툴들을 구성하는 경우 상대적으로 많은 수의 소자(10)들의 이송이 필요한 위치를 제외하고 상대적으로 적은 수의 이송이 필요한 위치에서 적은 수의 소자(10)들을 이송하는 이송툴의 사용이 가능해져 장치의 제조비용을 절감함과 동시에 장치의 크기 및 안정성을 향상시킬 수 있게 된다.

한편 상기 제5이송툴(930) 및 제6이송툴(940)은 번인보드(30) 상에서 소자(10)의 적재 및 인출이 번갈아 수행됨을 고려하여 서로 일체로 이동하도록 구성될 수 있다.

상기 제3이송툴(510) 및 제4이송툴(920) 또한 DC테스트부(200)를 사이에 두고 소자(10)를 이송하게 되므로 서로 일체로 이동하도록 구성될 수 있다.

또한 상기 제5이송툴(930) 및 제6이송툴(940)의 픽커들의 가로방향 개수는 소자(10)의 효율을 고려하여 제1이동버퍼(600) 및 제2이동버퍼(700)에서 소자(10)의 적재를 위한 소자수용홈(미도시)의 가로방향 개수와 같게 구성될 수 있다.

상기 소팅툴(960)은 하나 또는 복수개로 구성되는 등 다양한 구성이 가능하며, 제1이동버퍼(600) 및 소팅트레이부(313) 사이에서 소자(10)들을 이송하고 제2이동버퍼(700) 및 소팅트레이부(313) 사이에서 소자(10)들을 이송하는 제2소팅툴(920)로 구성될 수 있다.

한편 상기 이송툴들은 각각 끝단에 소자(10)를 진공압에 의하여 흡착하는 흡착헤드를 구비하는 하나 이상의 픽커와 픽커를 X-Z, Y-Z 또는 X-Y-Z방향으로 이동시키기 위한 픽커이송장치를 포함하여 구성될 수 있다.

특히 상기 이송툴들은 픽커들이 일렬로 배치되거나, 12×2 등 복렬로 배치될 수 있다.

한편 본 발명에 따른 소자소팅장치는 로딩부(100)로부터 제1소자(10)들을 번인보드(30)에 적재하거나 번인보드(30)로부터 제2소자(10)들을 제1언로딩트레이부(311)로 인출할 때 그 적재 및 인출속도를 향상시킬 수 있도록 로딩부(100) 및 번인보드(30) 사이, 번인보드(30) 및 제1언로딩트레이부(311) 사이에 각각 설치되어 제1소자(10) 및 제2소자(10)들이 임시적재 및 전달하는 제1이동버퍼(600)들 및 제2이동버퍼(700)들을 포함할 수 있다.

상기 제1이동버퍼(600) 및 제2이동버퍼(700)는 본체(1)에 이동가능하게 설치되어 번인보드(30)와 소자를 교환하는 소자교환위치③, 버퍼부(550) 또는 제1언로딩트레이부(311)와 소자를 교환하는 소자교환위치①(제1소팅라인(S1) 및 제2소팅라인(S2)) 및 소팅트레이부(313)와 소자를 교환하는 소팅위치②를 이동하면서 소자(10)의 교환이 끊김없이 원활하게 이루어지도록 함으로써 소팅작업속도를 현저하게 향상시킬 수 있다.

상기 제1이동버퍼(600)는 버퍼부(550)로부터 제1소자(10)들을 제6이송툴(940)에 의하여 전달받아 적재하는 로딩위치(소자교환위치) ①과, 제1불량소자(10)들을 소팅트레이부(313)의 소팅트레이(20)로 소팅툴(960)에 의하여 이송하는 소팅위치 ②와, 제1불량소자(10)들이 제거된 나머지 제1소자(10)들을 후술하는 제3이송툴(510)에 의하여X-Y테이블(910)의 번인보드(30)에 적재하는 적재위치(소자교환위치) ③으로 이동하도록 구성된다.

상기 제1이동버퍼(600)의 구체적 구성은 등록특허 제1177319호에 개시되어 있는바 자세한 설명은 생략한다.

상기 제2이동버퍼(700)는 제1이동버퍼(600)와 유사한 구성으로서, 번인보드(30)로부터 제2소자(10)들을 전달받아 제6이송툴(940)에 의하여 적재하는 적재위치(소자교환위치) ③과, 제2불량소자(10)들을 소팅트레이부(313)의 트레이(20)-소팅트레이-로 이송툴에 의하여 이송하는 소팅위치 ②와, 제2불량소자(10)들이 제거된 나머지 제2소자(10)들을 제7이송툴(950)에 의하여 트레이(20)-언로딩트레이-에 적재하는 언로딩위치(소자교환위치) ①로 반복하여 이동하도록 구성된다.

상기와 같은 구성을 가지는 제2이동버퍼(700)는 제1이동버퍼(700)와 유사한 구성을 가지는바 자세한 설명은 생략한다.

상기와 같은 구성을 가지는 상기 제2이동버퍼(700)는 제1이동버퍼(600)와 유사한 방식으로 작동하며, 적재위치 ③에서 번인보드(30)로부터 제2소자(10)들이 소자수용부(710)에 적재되는 적재과정과, 소팅위치 ②에서 제2불량소자(10)들을 소팅트레이부(313)로 이송하는 제2소팅과정과, 언로딩위치 ①에서 나머지 제2소자(10)들을 제1언로딩트레이부(311)의 트레이(20)로 이송하는 언로딩과정을 수행하게 된다.

상기 적재과정에서는 제1이동버퍼(600)에서 적재되는 소자(10)들의 개수와 동일한 개수의 소자들, 예를 들면 8×2와 같이 배열된 소자들을 한꺼번에 이송한다.

상기 제2소팅과정에서는 이송툴에 의하여 제2불량소자(10)들이 소자수용부(710)에서 소팅트레이부(313)로 이송된다. 이때 각 제2불량소자(10)들은 그 불량기준에 따라서 소팅트레이부(313)의 트레이(20)에 적재된다.

여기서 상기 소팅위치 ②에서 소자수용부(710) 중 제2불량소자들이 제거된 자리에는 제2정상소자(10)들이 미리 적재된 제2고정버퍼(342)로부터 제2정상소자(10)들이 채워진다-버퍼링과정.

한편 상기 제2고정버퍼(342)는 본체(1)에 설치되어 제2정상소자(10)들이 미리 적재되어 있으며, 최초 또는 작동 중에 비워진 경우 제2이동버퍼(700)가 소팅위치 ②에 위치된 제2이동버퍼(700)의 소자수용부(710)에 제2정상소자(10)들이 적재될 수 있다.

한편 X-Y테이블(910) 상의 번인보드(30)에서 제1소자(10) 및 제2소자(10)의 교환이 완료되면 X-Y테이블(910)은 보드로더(800)와 제2소자(10)들이 적재된 새로운 번인보드(30)와 교환한다.

그런데 X-Y테이블(910) 및 보드로더(800) 사이의 번인보드(30) 교환은, 등록특허 제1177319호에 개시되어 있는바 자세한 설명은 생략한다.

한편 본 발명에 따른 소자소팅장치는 도 5에 도시된 바와 같이, 번인보드(30)를 지속적으로 공급받을 수 있도록 일측에 설치된 보드로더(800)를 포함한다.

상기 보드로더(800)는 제2소자(20)들이 삽입된 번인보드(30)들을 적재하여 로딩함과 아울러 제1소자(10)들이 삽입된 번인보드(30)들을 순차적으로 적재하여 번인테스트로 이송하기 구성, 즉 X-Y테이블(910)과 번인보드(30)를 지속적으로 교환하기 위한 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.

한편 상기 랙(50)들 중 어느 하나의 번인보드(30)들 모두에 제1소자(10)들이 적재되면, 제1소자(10)들의 적재가 완료된 랙(50)은 언로딩될 제2소자(10)들을 적재하고 있는 다른 랙(50)과 교체된다.

그런데 상기 X-Y테이블(910) 등은 보드로더(800)에서 랙(50)이 교체가 완료되어 새로운 번인보드(30)를 공급받을 때까지 대기하여야 하므로 그만큼 소자소팅장치의 처리속도가 저하되는 문제점이 있다.

이에 본 발명에 따른 소자소팅장치의 보드로더(800)는 도 5에 도시된 바와 같이, 번인보드(30) 상의 소자(10)의 로딩 및 언로딩에 영향을 주지 않고 랙(50)을 교환할 수 있도록, X-Y테이블(910)의 Y축방향으로 배치되어 다수개의 번인보드(30)들이 적재된 랙(50)이 복수개의 단으로 적재되는 한 쌍의 랙적재부(810)와 한 쌍의 랙적재부(810) 사이에 설치되어 랙적재부(810)로부터 랙(50)을 인출하여 랙(50)을 상하이동시키는 엘리베이터부(820)를 포함하여 구성될 수 있다.

상기 랙적재부(810)는 랙(50)이 적재될 수 있는 구성이면 어떠한 구성도 가능하다.

특히 상기 랙적재부(810)는 한 쌍으로 구성되어 엘리베이터부(820)를 중심으로 엘리베이터부(820)의 양측에 설치됨이 바람직하다.

상기 엘리베이터부(820)는 랙적재부(810)로부터 랙(50)을 인출하여 상하로 이동시키면서 X-Y테이블(910)과 번인보드(30)를 교환하도록 구성된다.

한편 본 발명에 따른 소자핸들러는 사용용도에 따라서, 소자에 대한 DC테스트 후 소자가 번인보드에 삽입되지 않고 언로딩하는데 사용될 수 있다.

이 경우 제1언로딩트레이부(311)는, 소자의 이송라인이 복잡해져 그 처리속도가 저하되는 문제점이 있다.

따라서 본 발명에 따른 소자핸들러는, 번인보드 삽입과정이 없는 경우에 사용하기 위하여 한 쌍의 버퍼부(550)의 직하방 등 그 부근에 DC테스트부(200)의 테스트 후 굿으로 검사된 소자(10)들이 적재되는 제2언로딩트레이부(312)를 추가로 포함할 수 있다.

상기 제2언로딩트레이부(312)는, 앞서 설명한 제1언로딩트레이부(311)와 그 위치만 다를 뿐 동일하거나 유사한 구성을 가질 수 있다.

특히 상기 제2언로딩트레이부(312)는, 도 2에 310으로 표시된 구성과 같이 설치될 수 있다.

한편 상기 제2언로딩트레이부(312)의 설치에도 불구하고 DC테스트부(200)의 테스트 후 불량으로 판정된 소자(10)들은 제1소팅라인 및 제2소팅라인을 통하여 소팅트레이부(313)로 전달되어 분류된다.

한편 상기 버퍼부(550)로부터 제1이동버퍼(600) 및 소팅트레이부(313)로의 소자이동은 다양한 방식에 의하여 이송될 수 있따.

또한 상기 제2언로딩트레이부(312)는 번인보드(30) 상의 소자교환시에도 활용될 수 있음은 물론이다.

이상에서는 본 발명의 바람직한 실시예에 대해서 설명하였으나, 본 발명은 상술한 특정의 실시예에 한정되지 아니하며, 당해 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본원 발명의 요지를 벗어남이 없이 다양한 변형 실시가 가능함은 물론이다. 따라서, 본 발명의 범위는 위의 실시예에 국한해서 해석되어서는 안되며, 후술하는 특허청구범위 뿐만 아니라 이 특허청구범위와 균등한 것들에 의해 정해져야 할 것이다.

100 : 트레이로딩부 200 : DC테스트부
300 : 언로딩부
L : 이송라인 S : 소팅라인

Claims (1)

1. 테스트가 수행될 소자(10)가 적재된 트레이(20)가 로딩되어 선형이동되는 트레이로딩부(100)와; 트레이(20)의 선형이동방향과 수직방향으로 트레이로딩부(100)와 간격을 두고 설치되는 DC테스트부(200)와, DC테스트부(200)를 중심으로 트레이로딩부(100)와 대향되어 설치되며 DC테스트부(200)에서 테스트를 마친 소자(10)들을 미리 설정된 분류등급으로 분류하여 트레이(20)에 적재하는 언로딩부(300)와, 트레이로딩부(100)의 트레이(20)로부터 복수의 소자(10)들을 인출하여 DC테스트부(200)로 전달하는 제1이송툴(410)과, DC테스트부(200)로부터 테스트를 마친 소자(10)들을 언로딩부(300)로 전달하는 제2이송툴(420)을 포함하는 DC테스트핸들러.

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