JP2929935B2 - 半導体装置の分類装置 - Google Patents
半導体装置の分類装置Info
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- JP2929935B2 JP2929935B2 JP6053439A JP5343994A JP2929935B2 JP 2929935 B2 JP2929935 B2 JP 2929935B2 JP 6053439 A JP6053439 A JP 6053439A JP 5343994 A JP5343994 A JP 5343994A JP 2929935 B2 JP2929935 B2 JP 2929935B2
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B07—SEPARATING SOLIDS FROM SOLIDS; SORTING
- B07C—POSTAL SORTING; SORTING INDIVIDUAL ARTICLES, OR BULK MATERIAL FIT TO BE SORTED PIECE-MEAL, e.g. BY PICKING
- B07C5/00—Sorting according to a characteristic or feature of the articles or material being sorted, e.g. by control effected by devices which detect or measure such characteristic or feature; Sorting by manually actuated devices, e.g. switches
- B07C5/36—Sorting apparatus characterised by the means used for distribution
- B07C5/361—Processing or control devices therefor, e.g. escort memory
- B07C5/362—Separating or distributor mechanisms
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/01—Subjecting similar articles in turn to test, e.g. "go/no-go" tests in mass production; Testing objects at points as they pass through a testing station
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
- G01R31/2851—Testing of integrated circuits [IC]
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
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- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体装置の特性選別
装置で特性分類された半導体装置を特性毎に所定の収納
箱に収納する半導体装置の分類装置に関する。
装置で特性分類された半導体装置を特性毎に所定の収納
箱に収納する半導体装置の分類装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に、一種類の多数の半導体装置を同
一の半導体基板を同一プロセスで処理し製造しても、そ
のロット内で基準値特性からかなりばらつきが生ずる。
しかしながらばらつきがあっても、基準値から外れた特
性値をもつ半導体装置の全部を不良品にせず、特性値に
よって分類しその特性値に適合した電気回路に使用され
ていた。この半導体装置を特性選別しで種分けする装置
は、選別装置と分類装置と結合した装置である。そし
て、この装置の選別速度と分類装置の分類速度とで処理
速度が決定ずけられていた。また、選別速度は分類速度
よりもともと早く、このため如何に装置の処理速度を早
めるかは、この分類装置の処理速度を如何に早くするか
にかかっていた。
一の半導体基板を同一プロセスで処理し製造しても、そ
のロット内で基準値特性からかなりばらつきが生ずる。
しかしながらばらつきがあっても、基準値から外れた特
性値をもつ半導体装置の全部を不良品にせず、特性値に
よって分類しその特性値に適合した電気回路に使用され
ていた。この半導体装置を特性選別しで種分けする装置
は、選別装置と分類装置と結合した装置である。そし
て、この装置の選別速度と分類装置の分類速度とで処理
速度が決定ずけられていた。また、選別速度は分類速度
よりもともと早く、このため如何に装置の処理速度を早
めるかは、この分類装置の処理速度を如何に早くするか
にかかっていた。
【０００３】図６は従来の半導体装置の分類装置の一例
を示す図である。従来、この種の半導体装置の分類装置
は、例えば、図６に示すように、選別装置の測定部２１
より排出される半導体装置（図示せず）を下方に落し込
む斜めシュート１９と、斜めシュート１９の下部に設け
られたファンネルシュート１８と、駆動モータ１７の回
転で所定の回転角度の位置に位置決めされるソータパイ
プ１６と、ソータパイプ１６の回転円周上に設けられた
複数のクラスシュート２０と、これらクラスシュート２
０に対応する複数の収納箱６とを備えていた。
を示す図である。従来、この種の半導体装置の分類装置
は、例えば、図６に示すように、選別装置の測定部２１
より排出される半導体装置（図示せず）を下方に落し込
む斜めシュート１９と、斜めシュート１９の下部に設け
られたファンネルシュート１８と、駆動モータ１７の回
転で所定の回転角度の位置に位置決めされるソータパイ
プ１６と、ソータパイプ１６の回転円周上に設けられた
複数のクラスシュート２０と、これらクラスシュート２
０に対応する複数の収納箱６とを備えていた。
【０００４】次に動作について説明する。まず、測定部
２１において半導体装置の電気的特性の測定が終了する
と、駆動モータ１７が回転し測定結果に対応し収納箱６
上のクラスシュート２０の位置とソータパイプ１６の位
置が一致する。そして、測定部２１から測定済みの半導
体装置が斜めシュート１９、ファンネルシュート１８、
ソータパイプ１６およびクラスシュート２０を経て指定
の収納箱６に落ち込む。この収納箱６に落ち込む間で、
半導体装置がクラスシュート２０を通過する際、光セン
サ（図示せず）により半導体装置の通過が確認される
と、次の半導体装置の測定が開始される。このように選
別装置で特性選別された半導体装置は特性分類され分類
別にそれぞれの収納箱６に収納される。
２１において半導体装置の電気的特性の測定が終了する
と、駆動モータ１７が回転し測定結果に対応し収納箱６
上のクラスシュート２０の位置とソータパイプ１６の位
置が一致する。そして、測定部２１から測定済みの半導
体装置が斜めシュート１９、ファンネルシュート１８、
ソータパイプ１６およびクラスシュート２０を経て指定
の収納箱６に落ち込む。この収納箱６に落ち込む間で、
半導体装置がクラスシュート２０を通過する際、光セン
サ（図示せず）により半導体装置の通過が確認される
と、次の半導体装置の測定が開始される。このように選
別装置で特性選別された半導体装置は特性分類され分類
別にそれぞれの収納箱６に収納される。
【０００５】ここで、半導体装置の測定時間をｔ１，ソ
ータパイプ１６の回転時間をｔ３０，測定済みの半導体
装置が測定部２１からファンネルシュート１８を通過す
るまでの時間をｔ２，測定済みの半導体装置がソータパ
イプ１６からクラスシュート２０を経て収納箱６まで通
過する時間をｔ４とすれば、この半導体装置の分類装置
の１個当りの処理時間はｔ１＋ｔ３０＋ｔ２＋ｔ４とな
っていた。
ータパイプ１６の回転時間をｔ３０，測定済みの半導体
装置が測定部２１からファンネルシュート１８を通過す
るまでの時間をｔ２，測定済みの半導体装置がソータパ
イプ１６からクラスシュート２０を経て収納箱６まで通
過する時間をｔ４とすれば、この半導体装置の分類装置
の１個当りの処理時間はｔ１＋ｔ３０＋ｔ２＋ｔ４とな
っていた。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】この従来の半導体装置
の分類装置では、測定終了後、測定結果に基づきソータ
パイプ１６の位置を移動させ、移動終了後に測定済半導
体装置を落下させファンネルシュート１８，ソータパイ
プ１６，クラスシュート２０を経由して収納箱６へ収納
させ、クラスシュート２０を半導体装置が通過する際、
光センサで半導体装置の通過が確認されたのち、次の半
導体装置の測定を開始するという処理を行っているた
め、クラスシュート２０までの落ち込む経路が長くそれ
に伴なう時間がかかるばかりかややもすると落下経路途
中に引掛かり（以下ジャミングと呼ぶ）円滑に半導体装
置が落下しない問題が生じた。
の分類装置では、測定終了後、測定結果に基づきソータ
パイプ１６の位置を移動させ、移動終了後に測定済半導
体装置を落下させファンネルシュート１８，ソータパイ
プ１６，クラスシュート２０を経由して収納箱６へ収納
させ、クラスシュート２０を半導体装置が通過する際、
光センサで半導体装置の通過が確認されたのち、次の半
導体装置の測定を開始するという処理を行っているた
め、クラスシュート２０までの落ち込む経路が長くそれ
に伴なう時間がかかるばかりかややもすると落下経路途
中に引掛かり（以下ジャミングと呼ぶ）円滑に半導体装
置が落下しない問題が生じた。
【０００７】また、このような問題を解決するために、
半導体装置の落下経路に高圧エアー吹き付け手段を設
け、半導体装置を強制的に落下させその落下速度を上げ
ることを試みたが、ジャミングを解消するまでに至ら
ず、むしろ落下した際の衝撃が大きく半導体装置のリー
ドが曲ったり半導体装置の樹脂外郭体に欠けを生じたり
するという新たな問題を生じさせた。さらに、位置決め
時間を短縮するために、駆動モータの回転速度を上げソ
ータパイプの位置決め速度を早くすることを試みたが、
ソータパイプ１６の位置決め停止時の反動による振動が
大きくなりソータパイプ１６の先端が撓みファネルシュ
ート１８の落し口と合わず、ファネルシュート１８から
ソートタイプ１６への半導体装置の落ち込みが円滑に行
かずしばしばソータパイプ１６から外れて落下するとい
った問題が起った。結局、これらの手段はいずれもこの
問題を解消するまでに至らなかった。
半導体装置の落下経路に高圧エアー吹き付け手段を設
け、半導体装置を強制的に落下させその落下速度を上げ
ることを試みたが、ジャミングを解消するまでに至ら
ず、むしろ落下した際の衝撃が大きく半導体装置のリー
ドが曲ったり半導体装置の樹脂外郭体に欠けを生じたり
するという新たな問題を生じさせた。さらに、位置決め
時間を短縮するために、駆動モータの回転速度を上げソ
ータパイプの位置決め速度を早くすることを試みたが、
ソータパイプ１６の位置決め停止時の反動による振動が
大きくなりソータパイプ１６の先端が撓みファネルシュ
ート１８の落し口と合わず、ファネルシュート１８から
ソートタイプ１６への半導体装置の落ち込みが円滑に行
かずしばしばソータパイプ１６から外れて落下するとい
った問題が起った。結局、これらの手段はいずれもこの
問題を解消するまでに至らなかった。
【０００８】従って、本発明の目的は、半導体装置にリ
ードの曲りや樹脂外郭体の欠けあるいはジャミングなど
を起すこと無くより早い処理速度で分類できる半導体装
置の分類装置を提供することである。
ードの曲りや樹脂外郭体の欠けあるいはジャミングなど
を起すこと無くより早い処理速度で分類できる半導体装
置の分類装置を提供することである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明の特徴は、選別装
置により分布数の異なる複数の特性別に分類された半導
体装置を該特性別に複数の収納箱にそれぞれ収納する半
導体装置の分類装置において、特性選別後の前記半導体
装置が前記選別装置の落し口から落し込まれる複数の穴
が円周上に並べ形成される回転ドラムと、落し込まれた
前記半導体装置を前記穴の開閉によって停留させるか落
下させるかするとともに複数の前記穴のそれぞれに独立
して設けられるシャッタ部材と、前記回転ドラムのそれ
ぞれの前記穴から前記シャッタ部材が開くことにより落
し込まれる前記半導体装置を収納する分類数に応じた複
数の収納箱と、前記回転ドラムを正逆回転させ前記半導
体装置が停留する前記穴を予じめ指定の収納箱に位置決
めするインデックス機構と、分類された該特性における
分布数の最も多い特性に分類された前記半導体装置を落
し込む前記穴を基準穴と指定するとともに前記分布数が
少なくなるにつれて前記基準穴に対して時計方向と反時
計方向とを交互に遠ざかる位置にある前記穴をそれぞれ
分類された前記半導体装置を落し込む穴として指定しか
つ前記インデックス機構の動作および前記シャッタの開
閉を制御し指定された前記穴に対応する前記収納箱にそ
れぞれ分類された前記半導体装置を収納させる制御手段
とを備える半導体装置の分類装置である。
置により分布数の異なる複数の特性別に分類された半導
体装置を該特性別に複数の収納箱にそれぞれ収納する半
導体装置の分類装置において、特性選別後の前記半導体
装置が前記選別装置の落し口から落し込まれる複数の穴
が円周上に並べ形成される回転ドラムと、落し込まれた
前記半導体装置を前記穴の開閉によって停留させるか落
下させるかするとともに複数の前記穴のそれぞれに独立
して設けられるシャッタ部材と、前記回転ドラムのそれ
ぞれの前記穴から前記シャッタ部材が開くことにより落
し込まれる前記半導体装置を収納する分類数に応じた複
数の収納箱と、前記回転ドラムを正逆回転させ前記半導
体装置が停留する前記穴を予じめ指定の収納箱に位置決
めするインデックス機構と、分類された該特性における
分布数の最も多い特性に分類された前記半導体装置を落
し込む前記穴を基準穴と指定するとともに前記分布数が
少なくなるにつれて前記基準穴に対して時計方向と反時
計方向とを交互に遠ざかる位置にある前記穴をそれぞれ
分類された前記半導体装置を落し込む穴として指定しか
つ前記インデックス機構の動作および前記シャッタの開
閉を制御し指定された前記穴に対応する前記収納箱にそ
れぞれ分類された前記半導体装置を収納させる制御手段
とを備える半導体装置の分類装置である。
【００１０】
【００１１】
【実施例】次に本発明について図面を参照して説明す
る。
る。
【００１２】図１（ａ）および（ｂ）は本発明の関連技
術における半導体装置の分類装置の一例を示す斜視図お
よび断面図である。を示す断面である。この半導体装置
の分類装置は、図１に示すように、ファンネルシュート
７からの測定済みの半導体装置１５が落ち込む複数の穴
３が円周上に形成された回転ドラム１と、これらの穴３
に落ち込む半導体装置を受け止め穴３内に停留させるシ
ャッタ機構２と、回転ドラム１を回転させ所定の穴３と
半導体装置１５を収納箱６に落し込む管状のクラスシュ
ート４との位置合せるインデックス機構５および駆動用
のモータ８とを備えている。
術における半導体装置の分類装置の一例を示す斜視図お
よび断面図である。を示す断面である。この半導体装置
の分類装置は、図１に示すように、ファンネルシュート
７からの測定済みの半導体装置１５が落ち込む複数の穴
３が円周上に形成された回転ドラム１と、これらの穴３
に落ち込む半導体装置を受け止め穴３内に停留させるシ
ャッタ機構２と、回転ドラム１を回転させ所定の穴３と
半導体装置１５を収納箱６に落し込む管状のクラスシュ
ート４との位置合せるインデックス機構５および駆動用
のモータ８とを備えている。
【００１３】また、シャッタ機構２は、回転ドラム１の
穴３を塞いだり連通させたりする穴２ｅを有するシャッ
タ２ａと、このシャッタ２ａの後端をハンマ２ｃで押す
ソレノイド２ｂと、シャッタ２ａを押し戻すスプリング
２ｄとで構成されている。そして、このシャッタ機構２
で半導体装置１５が停留しているか否かを確認するため
に、図面には示していないが、このシャッタ２ａの上側
に半導体装置１５の有無を確認する光センサを設けるこ
とが望ましい。
穴３を塞いだり連通させたりする穴２ｅを有するシャッ
タ２ａと、このシャッタ２ａの後端をハンマ２ｃで押す
ソレノイド２ｂと、シャッタ２ａを押し戻すスプリング
２ｄとで構成されている。そして、このシャッタ機構２
で半導体装置１５が停留しているか否かを確認するため
に、図面には示していないが、このシャッタ２ａの上側
に半導体装置１５の有無を確認する光センサを設けるこ
とが望ましい。
【００１４】ここで、回転ドラム１は回転や停止によっ
て撓まないように剛性度が高くしかも慣性力が小さくな
るようにバランスとれた構造に製作してある。また、回
転ドラム１の穴３の数とクラスシュート４または収納箱
６の数は必ずしも一致する必要はなく、クラスシュート
４または収納箱６の数は穴３の数より少くとも良い。言
い換えれば、収納箱６の数は分類する数と同一にするこ
とである。
て撓まないように剛性度が高くしかも慣性力が小さくな
るようにバランスとれた構造に製作してある。また、回
転ドラム１の穴３の数とクラスシュート４または収納箱
６の数は必ずしも一致する必要はなく、クラスシュート
４または収納箱６の数は穴３の数より少くとも良い。言
い換えれば、収納箱６の数は分類する数と同一にするこ
とである。
【００１５】なお、図面ではクラスシュート４と収納箱
６と切離されているが、収納箱６とクラスシュート４と
一体化されていても良いし、場合によっては、クラスシ
ュート４を無くし収納箱６の半導体装置１５の落し込む
開口を直接回転ドラムの穴と対面させても良い。しか
し、この場合は、クラスシュート４と同じように収納箱
６の開口から底部に向けて傾斜部を設け、半導体装置１
５の落下衝撃を緩和し半導体装置１５が底部に向って滑
るようすることが望ましい。また、クラスシュート４は
必要に応じて透明な管状部材に製作し、不透明な管状部
材であれば、管の長手方向にスリットなどを設け、ジャ
ミングを監視するようにすると良い。
６と切離されているが、収納箱６とクラスシュート４と
一体化されていても良いし、場合によっては、クラスシ
ュート４を無くし収納箱６の半導体装置１５の落し込む
開口を直接回転ドラムの穴と対面させても良い。しか
し、この場合は、クラスシュート４と同じように収納箱
６の開口から底部に向けて傾斜部を設け、半導体装置１
５の落下衝撃を緩和し半導体装置１５が底部に向って滑
るようすることが望ましい。また、クラスシュート４は
必要に応じて透明な管状部材に製作し、不透明な管状部
材であれば、管の長手方向にスリットなどを設け、ジャ
ミングを監視するようにすると良い。
【００１６】インデックス機構５は市販のゼネバ機構を
利用したインデックス盤を用いると良い。勿論、ストッ
パとマイクロスイッチの組合せによる安価なインデック
ス機構でも良い。要は割り出し精度が０．３ｍｍ以内の
精度をもつインデックス機構であれば充分である。
利用したインデックス盤を用いると良い。勿論、ストッ
パとマイクロスイッチの組合せによる安価なインデック
ス機構でも良い。要は割り出し精度が０．３ｍｍ以内の
精度をもつインデックス機構であれば充分である。
【００１７】図２は図１の回転ドラムの平面図である。
次に、図１および図２を参照してこの半導体装置の分類
装置の動作を説明する。ここで、回転ドラム１には、図
２に示すように、回転ドラム１の中心から一定の半径の
円弧上に等中心角で８個の穴３ａ〜３ｈとし、収納箱６
の位置をそれぞれＡ〜Ｈと仮定する。まず、選別されフ
ァネルシュート７から穴ト３ａに入った半導体装置１５
はＧに位置する収納箱６に収納されるものとする。そし
て、測定済みの半導体装置１５が穴３ａに入った後、回
転ドラム２は一定角度（本例では４５°）回転し、穴３
ｂが位置Ａに移動し回転ドラム１の回転が完了する。こ
こで、穴３ｂに収納された半導体装置が、位置Ｈに位置
する収納箱６に収納されるべきものとする。回転ドラム
２が一定角度の回転を完了すると穴３ａは位置Ｇに、穴
３ｂは位置Ｈに移動している。次に新しい半導体装置の
測定が開始されるわけであるが、この時点で穴３ａに収
納されている半導体装置は収納されるべき位置Ｇに来て
いるので、図１に示すシャッタ２ａが開き、クラスシュ
ート４を通ってＧの収納箱６に収納される。
次に、図１および図２を参照してこの半導体装置の分類
装置の動作を説明する。ここで、回転ドラム１には、図
２に示すように、回転ドラム１の中心から一定の半径の
円弧上に等中心角で８個の穴３ａ〜３ｈとし、収納箱６
の位置をそれぞれＡ〜Ｈと仮定する。まず、選別されフ
ァネルシュート７から穴ト３ａに入った半導体装置１５
はＧに位置する収納箱６に収納されるものとする。そし
て、測定済みの半導体装置１５が穴３ａに入った後、回
転ドラム２は一定角度（本例では４５°）回転し、穴３
ｂが位置Ａに移動し回転ドラム１の回転が完了する。こ
こで、穴３ｂに収納された半導体装置が、位置Ｈに位置
する収納箱６に収納されるべきものとする。回転ドラム
２が一定角度の回転を完了すると穴３ａは位置Ｇに、穴
３ｂは位置Ｈに移動している。次に新しい半導体装置の
測定が開始されるわけであるが、この時点で穴３ａに収
納されている半導体装置は収納されるべき位置Ｇに来て
いるので、図１に示すシャッタ２ａが開き、クラスシュ
ート４を通ってＧの収納箱６に収納される。
【００１８】また、穴３ｂに入っている半導体装置につ
いても同様に、シャッタ２ａが開き、Ｈの収納箱６に収
納される。このように半導体装置の収納動作は、別の半
導体装置の測定と同時に行われるため、半導体装置の分
類装置の処理速度に影響を及ぼさない。すなわち、１サ
イクルに要する時間は、半導体装置の測定時間をｔ１，
測定済みの半導体装置が測定部からファンネルシュート
１を経てシャッタ２ａまでの通過する時間をｔ２，回転
ドラムが一定角度回転する時間をｔ３とすれば、ｔ１＋
ｔ２＋ｔ３で常に一定となる。このことは、シャッタ２
ａから収納箱６に落ち込む時間が無くなり、その分短縮
できることになる。
いても同様に、シャッタ２ａが開き、Ｈの収納箱６に収
納される。このように半導体装置の収納動作は、別の半
導体装置の測定と同時に行われるため、半導体装置の分
類装置の処理速度に影響を及ぼさない。すなわち、１サ
イクルに要する時間は、半導体装置の測定時間をｔ１，
測定済みの半導体装置が測定部からファンネルシュート
１を経てシャッタ２ａまでの通過する時間をｔ２，回転
ドラムが一定角度回転する時間をｔ３とすれば、ｔ１＋
ｔ２＋ｔ３で常に一定となる。このことは、シャッタ２
ａから収納箱６に落ち込む時間が無くなり、その分短縮
できることになる。
【００１９】図３（ａ）および（ｂ）は本発明の一実施
例における半導体装置の分類装置を示す斜視図および断
面図である。この半導体装置の分類装置は、図３に示す
ように、時計方向あるいは反時計方向に一ステップ毎に
割出して位置決めする前述の実施例のインデックス機構
と異なり正逆回転が可能で任意に指定された位置で停止
できるインデックス機構５ａを設けたことである。
例における半導体装置の分類装置を示す斜視図および断
面図である。この半導体装置の分類装置は、図３に示す
ように、時計方向あるいは反時計方向に一ステップ毎に
割出して位置決めする前述の実施例のインデックス機構
と異なり正逆回転が可能で任意に指定された位置で停止
できるインデックス機構５ａを設けたことである。
【００２０】このインデックス機構５ａは、回転ドラム
１を回転するモータ１２と同軸に取付けられるインデッ
クスプレート９と、このインデックスプレート９の切欠
きにはめ込まれ係止し回転ドラム２を停止させるストッ
パ１３と、このストッパ１３を動作させるアクチュエー
タ１４と、モータ１２と同軸の歯車対１０を介して取付
けられる角度計１１で構成されている。
１を回転するモータ１２と同軸に取付けられるインデッ
クスプレート９と、このインデックスプレート９の切欠
きにはめ込まれ係止し回転ドラム２を停止させるストッ
パ１３と、このストッパ１３を動作させるアクチュエー
タ１４と、モータ１２と同軸の歯車対１０を介して取付
けられる角度計１１で構成されている。
【００２１】また、このインデックス機構５ａの動作
は、まず、半導体装置が特性が検査されどの分類に所属
すべきかの信号で穴３の番地が指定される。この穴３の
番地指定によってファンネルシュート７に対面する基準
の穴３の位置から指定の収納箱６上の穴３位置までの回
転角度で回転方向にかかわらず小さい方の回転角度だけ
回転ドラム１を回転するようにする。そして、モータ１
２の回転による回転角度は角度計１１によって読み込ま
れ、読み込み角度が指定の回転角度に達すると、モータ
１２は停止しストッパ１３が突出しインデックスプレー
ト９のＶ字状切欠きに入り込み回転ドラム１を停止させ
る。このことによって、指定番地の穴３の下に収納箱６
が位置決めされる。
は、まず、半導体装置が特性が検査されどの分類に所属
すべきかの信号で穴３の番地が指定される。この穴３の
番地指定によってファンネルシュート７に対面する基準
の穴３の位置から指定の収納箱６上の穴３位置までの回
転角度で回転方向にかかわらず小さい方の回転角度だけ
回転ドラム１を回転するようにする。そして、モータ１
２の回転による回転角度は角度計１１によって読み込ま
れ、読み込み角度が指定の回転角度に達すると、モータ
１２は停止しストッパ１３が突出しインデックスプレー
ト９のＶ字状切欠きに入り込み回転ドラム１を停止させ
る。このことによって、指定番地の穴３の下に収納箱６
が位置決めされる。
【００２２】図４は半導体装置の特性と分布数を示すグ
ラフ、図５は図３の回転ドラムの平面図である。通常、
半導体装置の特性値による派生数は、例えば、図３に示
すような分布になる。この中で最も分布数の多いのは特
性１である。次に多いのは分布数は特性２および３とな
る。このような分布は生産ロットによっては多少変るが
傾向としては略同じように正規分布となる。
ラフ、図５は図３の回転ドラムの平面図である。通常、
半導体装置の特性値による派生数は、例えば、図３に示
すような分布になる。この中で最も分布数の多いのは特
性１である。次に多いのは分布数は特性２および３とな
る。このような分布は生産ロットによっては多少変るが
傾向としては略同じように正規分布となる。
【００２３】そこで、本実施例は、この派生分布を利用
して、分類された半導体装置を収納する収納箱６を予じ
め指定したことである。このことによって回転ドラム１
の回転に費やす時間の短縮を図ったことである。従っ
て、半導体装置の分類数が少ない場合に適用することで
ある。
して、分類された半導体装置を収納する収納箱６を予じ
め指定したことである。このことによって回転ドラム１
の回転に費やす時間の短縮を図ったことである。従っ
て、半導体装置の分類数が少ない場合に適用することで
ある。
【００２４】例えば、図５の穴３ａの下にある収納箱６
を最も分布数の多い特性１の半導体装置とし、次の特性
２を穴３ｂの下の収納箱６、さらに、次の特性３を３
ｃ、そして、特性４、特性５、特性６および特性７をそ
れぞれ３ｄ、３ｅ、３ｆおよび３ｇの順に予じめ指定す
る。ただし、穴３ｈの下の収納箱が無いと仮定する。
を最も分布数の多い特性１の半導体装置とし、次の特性
２を穴３ｂの下の収納箱６、さらに、次の特性３を３
ｃ、そして、特性４、特性５、特性６および特性７をそ
れぞれ３ｄ、３ｅ、３ｆおよび３ｇの順に予じめ指定す
る。ただし、穴３ｈの下の収納箱が無いと仮定する。
【００２５】まず、ファンネルシュート７と基準である
穴３ａと一致させておく、言い換えれば、この位置が回
転ドラム１の原位置となる。次に、選別装置の特性値が
特性１という検査結果が出たなら、指定収納箱は穴３ａ
の下にあることが確認される。そして、半導体装置１５
はファンネルシュート７から穴３ａに落し込まれ一時的
にシャッタ２ａで停留する。そして、次の半導体装置の
検査が開始されるとき、シャッタ２ａが開き検査済みの
半導体装置は指定の収納箱６に落し込む。
穴３ａと一致させておく、言い換えれば、この位置が回
転ドラム１の原位置となる。次に、選別装置の特性値が
特性１という検査結果が出たなら、指定収納箱は穴３ａ
の下にあることが確認される。そして、半導体装置１５
はファンネルシュート７から穴３ａに落し込まれ一時的
にシャッタ２ａで停留する。そして、次の半導体装置の
検査が開始されるとき、シャッタ２ａが開き検査済みの
半導体装置は指定の収納箱６に落し込む。
【００２６】次に、次の半導体装置の特性の信号が特性
２であったと仮定すると、回転ドラム１が時計方向に回
転し回転ドラム１の穴３ｂが原位置に位置決めされる。
位置決めが完了すると、ファンネルシュート７より検査
済みの半導体装置１５が落ち込みシャッタ２ａで停留さ
れる。次に、回転ドラム１が反時計方向に回転し原位置
に穴３ａが位置決めされると同時に穴３ｂは指定の収納
箱６の上に来る。そしてシャッタ２ａが開き検査済みの
半導体装置は穴３ｂの下にある収納箱６に落ち込み収納
される。このシャッタ機構２の動作と同時に次の半導体
装置の特性検査が行なわれる。
２であったと仮定すると、回転ドラム１が時計方向に回
転し回転ドラム１の穴３ｂが原位置に位置決めされる。
位置決めが完了すると、ファンネルシュート７より検査
済みの半導体装置１５が落ち込みシャッタ２ａで停留さ
れる。次に、回転ドラム１が反時計方向に回転し原位置
に穴３ａが位置決めされると同時に穴３ｂは指定の収納
箱６の上に来る。そしてシャッタ２ａが開き検査済みの
半導体装置は穴３ｂの下にある収納箱６に落ち込み収納
される。このシャッタ機構２の動作と同時に次の半導体
装置の特性検査が行なわれる。
【００２７】次に、半導体装置の特性が特性５であった
とすると、回転ドラム１が反時計方向に回転し穴３ｅを
原位置に位置決めする。そして、ファンネルシュート７
より検査済みの半導体装置１５を穴３ｅに落し込みシャ
ッタ２ｅに停留させる。それと同時に選別装置は次の半
導体装置の特性を検査する。一方回転ドラム１は半導体
装置の停留を確認後に時計方向に回転し原位置に穴３ａ
を位置決めする。これと同時に必然的に半導体装置の入
った穴３ｅは指定の収納箱６の上に来る。そして、シャ
ッタ２ａが開き半導体装置１５は指定の収納箱に納ま
る。
とすると、回転ドラム１が反時計方向に回転し穴３ｅを
原位置に位置決めする。そして、ファンネルシュート７
より検査済みの半導体装置１５を穴３ｅに落し込みシャ
ッタ２ｅに停留させる。それと同時に選別装置は次の半
導体装置の特性を検査する。一方回転ドラム１は半導体
装置の停留を確認後に時計方向に回転し原位置に穴３ａ
を位置決めする。これと同時に必然的に半導体装置の入
った穴３ｅは指定の収納箱６の上に来る。そして、シャ
ッタ２ａが開き半導体装置１５は指定の収納箱に納ま
る。
【００２８】このように落し込む穴３と収納すべき穴３
の下の収納箱６の間を回転ドラムを無段で往復回転させ
ることによって任意の指定の収納箱６に収納できること
から、前述の実施例のように、一方向に一定角度でステ
ップ状に送り、所定の収納箱位置でシャッタを開いて収
納箱６に収納するのに比べ、回転ドラム１による半導体
装置の送りに要する時間がトータル的に短くて済む。特
に、分類数が少ない場合は有利である。
の下の収納箱６の間を回転ドラムを無段で往復回転させ
ることによって任意の指定の収納箱６に収納できること
から、前述の実施例のように、一方向に一定角度でステ
ップ状に送り、所定の収納箱位置でシャッタを開いて収
納箱６に収納するのに比べ、回転ドラム１による半導体
装置の送りに要する時間がトータル的に短くて済む。特
に、分類数が少ない場合は有利である。
【００２９】すなわち、最も分布数の多い特性のものを
収納する収納箱６をファンネルシュート７の下に置き、
派生頻度の少ない順にファンネルシュート７より遠ざか
った位置に指定の収納箱を置けば、回転ドラム１の回転
位置決めに費やす時間がトータル的には短かくなるから
である。また、分類数が少なければ、回転ドラムの回転
角が小さくなり、それに要する時間も短かくなる。
収納する収納箱６をファンネルシュート７の下に置き、
派生頻度の少ない順にファンネルシュート７より遠ざか
った位置に指定の収納箱を置けば、回転ドラム１の回転
位置決めに費やす時間がトータル的には短かくなるから
である。また、分類数が少なければ、回転ドラムの回転
角が小さくなり、それに要する時間も短かくなる。
【００３０】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、選別済み
の半導体装置の落し口に面し同一円周上に複数の穴が形
成された回転ドラムと、各穴のそれぞれを独立して開閉
し落ち込む半導体装置を停留させるか落すかを行なうシ
ャッタ機構と、回転ドラムの下部に配置し回転ドラムの
各穴に対応した複数の収納箱と、回転ドラムを回転させ
半導体装置が停留する穴を予じめ指定の収納箱に位置決
めするインデックス機構とを設け、選別済みの半導体装
置の落し込む経路を前記落し口から穴のシャッタ機構ま
での経路とシャッタ機構から収納箱への経路に分割し、
シャッタ機構で一時的に停留する半導体装置が収納箱に
落ち込む時間を選別動作時間内に含ませることによって
全体の処理時間を短縮することができた。
の半導体装置の落し口に面し同一円周上に複数の穴が形
成された回転ドラムと、各穴のそれぞれを独立して開閉
し落ち込む半導体装置を停留させるか落すかを行なうシ
ャッタ機構と、回転ドラムの下部に配置し回転ドラムの
各穴に対応した複数の収納箱と、回転ドラムを回転させ
半導体装置が停留する穴を予じめ指定の収納箱に位置決
めするインデックス機構とを設け、選別済みの半導体装
置の落し込む経路を前記落し口から穴のシャッタ機構ま
での経路とシャッタ機構から収納箱への経路に分割し、
シャッタ機構で一時的に停留する半導体装置が収納箱に
落ち込む時間を選別動作時間内に含ませることによって
全体の処理時間を短縮することができた。
【００３１】また、経路が分割されてはいるものの前記
落し口から半導体装置の落し込む経路を短くしたので、
経路途中でジャミングを起すこと無く円滑に収納箱に半
導体装置を納めることができた。さらに、シャッタ機構
より落し込む経路に衝撃を緩和するための傾斜路を設け
ることによって、半導体装置のリードの曲りや樹脂外郭
体の欠けなどの発生が皆無となった。
落し口から半導体装置の落し込む経路を短くしたので、
経路途中でジャミングを起すこと無く円滑に収納箱に半
導体装置を納めることができた。さらに、シャッタ機構
より落し込む経路に衝撃を緩和するための傾斜路を設け
ることによって、半導体装置のリードの曲りや樹脂外郭
体の欠けなどの発生が皆無となった。
【図１】本発明の関連技術における半導体装置の分類装
置の一例を示す斜視図および断面図である。
置の一例を示す斜視図および断面図である。
【図２】図１の回転ドラムの平面図である。
【図３】本発明の一実施例における半導体装置の分類装
置を示す斜視図および断面図である。
置を示す斜視図および断面図である。
【図４】半導体装置の特性と分布数を示すグラフであ
る。
る。
【図５】図３の回転ドラムの平面図である。
【図６】従来の半導体装置の分類装置の一例を示す図で
ある。
ある。
１ 回転ドラム ２ シャッタ機構 ２ａ シャッタ ２ｂ ソレノイド ２ｃ ハンマ ２ｄ スプリング ２ｅ，３，３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄ，３ｅ，３ｆ，３
ｇ，３ｈ 穴 ４，２０ クラスシュート ５，５ａ インデックス機構 ６ 収納箱 ７，１８ ファンネルシュート ８，１２ モータ ９ インデックスプレート １０ 歯車対 １１ 角度計 １３ ストッパ １４ アクチュエータ １５ 半導体装置 １６ ソータパイプ １７ 駆動モータ １９ 斜めシュート ２１ 測定部
ｇ，３ｈ 穴 ４，２０ クラスシュート ５，５ａ インデックス機構 ６ 収納箱 ７，１８ ファンネルシュート ８，１２ モータ ９ インデックスプレート １０ 歯車対 １１ 角度計 １３ ストッパ １４ アクチュエータ １５ 半導体装置 １６ ソータパイプ １７ 駆動モータ １９ 斜めシュート ２１ 測定部
フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) G01R 31/26 B07C 1/00 - 9/00 H01L 21/64 - 21/66
Claims (1)
- 【請求項１】 選別装置により分布数の異なる複数の特
性別に分類された半導体装置を該特性別に複数の収納箱
にそれぞれ収納する半導体装置の分類装置において、特
性選別後の前記半導体装置が前記選別装置の落し口から
落し込まれる複数の穴が円周上に並べ形成される回転ド
ラムと、落し込まれた前記半導体装置を前記穴の開閉に
よって停留させるか落下させるかするとともに複数の前
記穴のそれぞれに独立して設けられるシャッタ部材と、
前記回転ドラムのそれぞれの前記穴から前記シャッタ部
材が開くことにより落し込まれる前記半導体装置を収納
する分類数に応じた複数の収納箱と、前記回転ドラムを
正逆回転させ前記半導体装置が停留する前記穴を予じめ
指定の収納箱に位置決めするインデックス機構と、分類
された該特性における分布数の最も多い特性に分類され
た前記半導体装置を落し込む前記穴を基準穴と指定する
とともに前記分布数が少なくなるにつれて前記基準穴に
対して時計方向と反時計方向とを交互に遠ざかる位置に
ある前記穴をそれぞれ分類された前記半導体装置を落し
込む穴として指定しかつ前記インデックス機構の動作お
よび前記シャッタの開閉を制御し指定された前記穴に対
応する前記収納箱にそれぞれ分類された前記半導体装置
を収納させる制御手段とを備えることを特徴とする半導
体装置の分類装置。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6053439A JP2929935B2 (ja) | 1994-03-24 | 1994-03-24 | 半導体装置の分類装置 |
| US08/407,663 US5584395A (en) | 1994-03-24 | 1995-03-21 | High speed sorting apparatus for semiconductor device equipped with rotatable sorting drum |
| CN95104529A CN1054783C (zh) | 1994-03-24 | 1995-03-23 | 具有可转动分检鼓轮的半导体器件快速分检装置 |
| MYPI95000730A MY112449A (en) | 1994-03-24 | 1995-03-23 | High speed sorting apparatus for semiconductor device equipped with rotatable sorting drum |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6053439A JP2929935B2 (ja) | 1994-03-24 | 1994-03-24 | 半導体装置の分類装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07260880A JPH07260880A (ja) | 1995-10-13 |
| JP2929935B2 true JP2929935B2 (ja) | 1999-08-03 |
Family
ID=12942890
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6053439A Expired - Lifetime JP2929935B2 (ja) | 1994-03-24 | 1994-03-24 | 半導体装置の分類装置 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5584395A (ja) |
| JP (1) | JP2929935B2 (ja) |
| CN (1) | CN1054783C (ja) |
| MY (1) | MY112449A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101868615B1 (ko) * | 2016-01-29 | 2018-06-18 | 이석정 | 이형 제품 중량별 분류장치 |
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| US5996996A (en) * | 1998-02-20 | 1999-12-07 | Micron Electronics, Inc. | Method of sorting computer chips |
| US5998751A (en) * | 1998-02-20 | 1999-12-07 | Micron Electronics, Inc. | Sorting system for computer chips |
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| KR100972502B1 (ko) * | 2003-12-30 | 2010-07-26 | 엘지디스플레이 주식회사 | 액정표시장치의 등급표시 자동화 장치 및 이의 동작 방법 |
| CN100362357C (zh) * | 2004-04-01 | 2008-01-16 | 华硕电脑股份有限公司 | 探针检查装置 |
| CA2656676C (en) | 2006-06-28 | 2016-04-26 | Monsanto Technology Llc | Small object sorting system and method |
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| CN101823056A (zh) * | 2010-04-09 | 2010-09-08 | 福建省德传电子科技有限公司 | 全自动咪头测试机 |
| KR20120015034A (ko) * | 2010-08-11 | 2012-02-21 | 디엔씨엔지니어링 주식회사 | 엘이디 패키지 분류장치 |
| CN102107186A (zh) * | 2010-12-07 | 2011-06-29 | 苏州和林精密科技有限公司 | 一种器件分拣系统 |
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| DE212011100227U1 (de) | 2011-11-29 | 2014-07-29 | Osram Opto Semiconductors Gmbh | Anordnung zum Sortieren von optoelektronischen Vorrichtungen |
| CN102716862A (zh) * | 2012-06-08 | 2012-10-10 | 秦皇岛视听机械研究所 | 一种高压二极管裸芯粒分选机分仓机构 |
| KR102028785B1 (ko) * | 2012-07-12 | 2019-10-04 | 가부시키가이샤 휴모 라보라토리 | 칩 전자 부품의 검사 선별 장치 |
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| CN105537155B (zh) * | 2016-01-04 | 2017-09-29 | 常州久煜自动化设备有限公司 | 物料剔除机构 |
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| BR112022025113A2 (pt) | 2020-06-30 | 2022-12-27 | Monsanto Technology Llc | Sistemas automatizados para uso em separação de pequenos objetos, e métodos relacionados |
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1994
- 1994-03-24 JP JP6053439A patent/JP2929935B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1995
- 1995-03-21 US US08/407,663 patent/US5584395A/en not_active Expired - Fee Related
- 1995-03-23 MY MYPI95000730A patent/MY112449A/en unknown
- 1995-03-23 CN CN95104529A patent/CN1054783C/zh not_active Expired - Fee Related
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19990420 |