JP3269689B2 - 電子部品の測定装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、外周面に複数個の電極
を有するリングバリスタ等の電子部品の電気特性を計測
するための測定装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、外周面に複数個の電極を有するリ
ングバリスタ等の電子部品の測定装置としては、図１８
に示す構成のものがあった。この図に示すように、従来
の測定装置は２つの測定ラインＡ，Ｂを持ち、各測定ラ
インＡ，Ｂは、円環状で円周面に３個の側面電極を有す
るリングバリスタ１を供給するパーツフィーダ２と、該
パーツフィーダ２の直線供給路２Ａから真空パッドハン
ドリング３を介してリングバリスタ１の供給を受けるＬ
字型搬送レール４と、多数の送り爪５を有していてレー
ル４上のリングバリスタ１を定ピッチ送りするトランス
ファ６とを具備している。

【０００３】前記真空パッドハンドリング３は、図中矢
印に示すように、リングバリスタ１を吸着して上昇、定
ピッチ前進、下降してリングバリスタ１を解放、その後
上昇、定ピッチ後退、下降という動作を繰り返すもので
ある。この真空パッドハンドリング３の動作でパーツフ
ィーダ２の直線供給路２ＡからＬ字型搬送レール４にリ
ングバリスタ１が移し変えられ、さらにＬ字型搬送レー
ル４の長辺部分に送られる。

【０００４】前記トランスファ６の各送り爪５は、図中
矢印で示すように、Ｌ字型搬送レール４の長手方向に垂
直に突出し、長手方向に一定距離前進してリングバリス
タ１を定ピッチ前進させ、その後僅かに後退してリング
バリスタ１から離れてからレール長手方向に垂直に引っ
込み、さらに長手方向に後退するという動作を繰り返
す。

【０００５】Ｌ字型搬送レール４の途中位置にはセンタ
リング部７が設けられており、図１９乃至図２１に示す
ように、センタリング部７は、停止精度の良い直流モー
タ８で回転駆動されるセンタリングテーブル９を有する
とともに、センタリングテーブル９上に載置されたリン
グバリスタ１の外周面に対向するように配設された光電
センサ１０を備えている。前記センタリングテーブル９
はリングバリスタ１を真空吸着して固定する機能を備え
ている。なお、図２０及び図２１ではセンタリングテー
ブル９の回転中心は符号Ｃで示されている。

【０００６】前記Ｌ字型搬送レール４の前記センタリン
グ部７を通過した先には測定部１１が設けられており、
測定部１１のレール４部分には図２３のように絶縁テー
ブル２９が配設されている。該絶縁テーブル２９は真空
吸着でリングバリスタ１を固定する機能を備えている。
該測定部１１上には図２２及び図２３に示す測定プロー
ブ２０が昇降、開閉自在に設けられている。該測定プロ
ーブ２０は金属製本体部２１にそれぞれリンクピン２２
で枢着された複数の金属製開閉アーム２３と、該開閉ア
ーム２３に対して絶縁板２４及びプラスチックビス２５
で絶縁状態で固定された測定端子２６と、各開閉アーム
２３を開閉するテーパーカム２７と、常時各開閉アーム
２３を閉じる方向に付勢するコイルスプリング２８とを
有している。

【０００７】ここで測定対象となっているリングバリス
タ１は図２４のように一定厚みを有する円環状セラミッ
ク素地３０の外周面（円周面）に３個の側面電極３１
Ａ，３１Ｂ，３１Ｃを形成したもので、側面電極間はセ
ラミック素地が露出した電極間ギャップ３２となってい
る。したがって、上記測定プローブ２０の有する測定端
子２６はリングバリスタ１側の３個の側面電極に同時に
接触できるように３個設けられている。

【０００８】なお、図２２は前記測定プローブ２０のテ
ーパーカム２７が上昇位置で各測定端子２６が閉じた状
態、図２３はテーパーカム２７が下降位置で各測定端子
２６が開いた状態を示しており、各測定端子２６はリン
グバリスタ１の半径方向に開閉できるようになってい
る。

【０００９】前記Ｌ字型搬送レール４の前記測定部１１
を通過した先の部分は選別部３５となっており、該選別
部３５のレール４の下方には選別箱３６が配設されてい
る。また、選別部３５は、リングバリスタ１の各停止位
置に対応した複数の選別用エアーシリンダ３８が取り付
けられたスライドホルダ３９を備えている。このスライ
ドホルダ３９はＬ字型搬送レール４の長手方向に対して
直交する向きに往復運動を繰り返しており、選択された
選別用エアーシリンダ３８のロッドが伸長し対応するリ
ングバリスタ１の中心穴に嵌入したとき、当該リングバ
リスタ１はスライドホルダ３９の移動に伴って選別箱３
６方向に移動し、落下する。

【００１０】以上の従来装置において、パーツフィーダ
２の直線供給路２Ａ終端部に送り出されたリングバリス
タ１は、真空パッドハンドリング３で吸着されてＬ字型
搬送レール４に移送され、さらに真空パッドハンドリン
グ３によりＬ字型搬送レール４の長手部分に送られる。
該Ｌ字型搬送レール４の長手部分に到着したリングバリ
スタ１は、多数の送り爪５を有するトランスファ６によ
り定ピッチ毎レール４上を摺動して前進して行く。

【００１１】センタリング部７に着いたリングバリスタ
１に対しては側面電極３１Ａ，３１Ｂ，３１Ｃの位置合
わせを行う。すなわち、図１９の直流モータ８でセンタ
リングテーブル９を一定方向に回転させ、光電センサ１
０で電極間ギャップ３２を検出したら直ちに直流モータ
８を停止させる。以後、リングバリスタ１は側面電極３
１Ａ，３１Ｂ，３１Ｃの配置が揃った状態でトランスフ
ァ６により定ピッチずつ送られる。そして、図２３のよ
うに、測定部１１の絶縁テーブル２９上にリングバリス
タ１が到着すると、上昇位置で各測定端子２６を開いて
待機していた測定プローブ２０は、下降してリングバリ
スタ１の外周面を測定端子２６にて挟持する。このと
き、センタリングテーブル９で側面電極３１Ａ，３１
Ｂ，３１Ｃの位置が一定に揃えられているから、３個の
測定端子２６が３個の側面電極３１Ａ，３１Ｂ，３１Ｃ
にそれぞれ接触することができ、この接触時間中に側面
電極相互間の電気抵抗の測定を３個の測定端子２６に接
続された測定器で実行する。

【００１２】なお、リングバリスタ１の測定器による電
気抵抗の測定は２つの測定ラインＡ，Ｂで交互に実施さ
れる。

【００１３】測定後のリングバリスタ１はトランスファ
６の定ピッチ送りにより選別部３５に達し、ここで測定
結果に応じて特定の選別箱３６に振り分けられる。

【００１４】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上記した従
来装置は次に述べるような問題点があった。 （１） リングバリスタ１を供給するパーツフィーダ２
の直線供給路２Ａの終端には図示は省略したが、リング
バリスタ１の重なり防止のための蓋が付いており、詰ま
りの原因となっていた（なお、蓋がないと１００％重な
り詰まる。）。 （２） 真空パッドハンドリング３、センタリング部７
及び測定部１１では、吸着によるリングバリスタ１の固
定方法を採用しており、リングバリスタ１のかけらやご
み等が吸着部分に詰まり、故障の原因となっていた。 （３） センタリング部７では、リングバリスタ１とセ
ンタリングテーブル９との中心が合わず、回転時にリン
グバリスタ１と光電センサ１０との距離が変化し、電極
間ギャップ３２の検出が困難になって誤動作する場合が
あった。リングバリスタ１とセンタリングテーブル９と
の中心が合わない原因は、リングバリスタ１の外径が図
２０の仮想線１Ａや仮想線１Ｂの如くばらついている場
合と、図２１のようにトランスファ６の送り爪５でＬ字
型搬送レール４上を摺動しながら送られるリングバリス
タ１の側面電極３１Ａ，３１Ｂ，３１Ｃのばり３７が該
搬送レール４とセンタリングテーブル９の隙間Ｇに引っ
掛かり、その後送り方向に飛ばされる場合とがある。 （４） リングバリスタ１の側面電極３１Ａ，３１Ｂ，
３１Ｃの色のばらつきにより光電センサ１０で電極間ギ
ャップ３２の検出が困難になって誤動作することもあっ
た。原因は、パーツフィーダ２にリングバリスタ１が長
時間残留した場合、リングバリスタ１同士が振動で擦
れ、側面電極が変色するためである。 （５） 測定プローブ２０が有する測定端子２６はスプ
リング板材に銀めっきを施したものを用いるが、銀めっ
きが摩耗により無くなると、接触抵抗が高くなり、測定
値が狂う。 （６） 測定部１１における動作は、例えば、リングバ
リスタ１の搬送に０.２秒、測定プローブ２０の下降に
０.１秒、測定プローブ閉に０.１秒、測定器による特性
測定に０.２４秒、測定プローブ開に０.１秒、測定プロ
ーブ上昇に０.１秒かかり、実際のリングバリスタ１の
特性測定にかかる時間よりも周辺関連部の動作にかかる
時間の割合が大半を占めている。そのため、処理タクト
を上げるために、測定ラインＡ及び測定ラインＢの２つ
の機構を持つ構造となっているが、２つの機構を有する
ことで、装置寸法は大きくなり、故障発生の要素も２倍
になるため、保守が面倒となる。

【００１５】本発明は、上記の点に鑑み、処理速度を速
くすることが容易で、故障の発生が少なく、信頼性の高
い電子部品の測定装置を提供することを目的とする。

【００１６】

【００１７】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の電子部品の測定装置は、外周面が円周面と
なっていて当該円周面に複数個の電極を有する電子部品
を順次送り出すパーツフィーダと、該パーツフィーダか
ら送り出された電子部品を受けるロータリーテーブル
と、該ロータリーテーブルで移送されてきた電子部品を
移し変え位置に案内する案内部材と、前記移し変え位置
に到来した電子部品が載る押し上げ部材と、前記複数個
の電極の個数よりも多い個数の測定端子を持っていて前
記押し上げ部材で上昇位置となった電子部品を挟持する
測定プローブと、各測定端子を選択的に測定器に接続す
る選択切り換え手段とを備え、前記測定プローブは、本
体部に下向きの可撓性板材を介して取り付けられた測定
端子を前記電子部品の円周面に接触するように等角度間
隔で配置したものであり、前記可撓性板材の弾性により
前記測定端子を閉じる方向に付勢し、前記本体部に対し
て上下するカムを設け、前記可撓性板材に駒を前記カム
に対面するように設け、前記駒に前記カムを当接させて
前記可撓性板材を撓ませて開く構造を有することを特徴
としている。

【００１８】

【作用】本発明においては、電子部品をセンタリングし
てその外周面の電極位置を一定に揃えることは行わず、
外周面における電極位置は任意である。そのため、外周
面の電極個数よりも多い個数の測定端子の全てを電子部
品の外周面に接触させて仮測定を行い、仮測定によって
外周面の電極位置を認識し、測定が必要となる電極に接
触している測定端子を選んで測定器に接続して電子部品
の特性を測定することができる。また、測定プローブ
は、外周面が円周面となった円環乃至円板状の電子部品
の測定に適した簡素な構造となっている。

【００１９】

【実施例】以下、本発明に係る電子部品の測定装置の実
施例を図面に従って説明する。

【００２０】図１及び第２図は実施例の全体構成を示
す。これらの図において、基台１１０上には、被測定電
子部品としてのリングバリスタ１を供給するパーツフィ
ーダ４０と、該パーツフィーダ４０の直線供給路４０Ａ
からリングバリスタ１の供給を受けるロータリーテーブ
ル５０と、測定プローブ取付用アーム６１を９０度間隔
で有する間欠回転体６０と、各アーム６１の先端部に取
り付けられた測定プローブ７０と、選別テーブル８０と
を備えている。

【００２１】前記パーツフィーダ４０の上方にはリング
バリスタ１を多数収容したホッパー４１が配設されてお
り、パーツフィーダ４０内のリングバリスタ１が不足し
たときにそれを補充するためのものである。パーツフィ
ーダ４０は振動によりリングバリスタ１を１列にして直
線供給路４０Ａに送り出す機能を有する。

【００２２】図２乃至図３に示すように、ロータリーテ
ーブル５０は、基台１１０上に立設固定された中心軸５
１を回転支点として回転自在であり、該ロータリーテー
ブル５０にベルト車５２が固定、一体化されている。ま
た、中心軸５１にはロータリーテーブル駆動用モーター
５３が固定され、該モーター５３の回転軸に固定された
ベルト車５４と前記ロータリーテーブル５０に一体化さ
れたベルト車５２との間にベルト５５が巻き掛けられて
いる。従って、ロータリーテーブル５０はモーター５３
の回転駆動力を受けて図１及び図３で常時左回り（反時
計回り）に連続回転している。

【００２３】前記中心軸５１上には内側ガイド円板５６
が固定され、該内側ガイド円板５６に対し連結固定具５
７を介し外側ガイド板５８が固定されている。これらの
内側ガイド円板５６及び外側ガイド板５８は、ロータリ
ーテーブル５０上のリングバリスタ１がロータリーテー
ブル５０の周縁部に載って円弧状に移動するようにガイ
ドするために配設されている。また、内側ガイド円板５
６には取付具５９で光センサＳ１，Ｓ２が２箇所取り付
けられている。これらの光センサＳ１，Ｓ２はロータリ
ーテーブル５０上のリングバリスタ１が無くなったこと
を検出するためのものである。光センサＳ１がリングバ
リスタ１無しを検出したとき、パーツフィーダ４０及び
その直線供給路４０Ａを駆動するようにし、光センサＳ
２がリングバリスタ１無しを検出したとき、異常発生と
して装置を停止する。

【００２４】前記外側ガイド板５８の右端には、リング
バリスタ１をロータリーテーブル５０から外れた移し変
え位置Ｐに案内する案内路９０を持つ案内部材９１が固
定されている。該案内部材９１はロータリーテーブル５
０の周縁部上に斜めに延長した延長部９１Ａと、延長部
９１Ａで移し変え位置Ｐに導かれたリングバリスタ１を
位置決め、停止させるストッパ部９１Ｂとを備えてい
る。また、案内路９０の移し変え位置Ｐには切欠き９２
が形成され、該切欠き９２に押し上げ部材としての押し
上げ棒１００が基台１１０側に固定の支持筒１０１にて
昇降自在に支持されている。該押し上げ棒１００は、通
常、案内路９０と同じ高さでリングバリスタ１が到来す
るのを待機している。

【００２５】図２のように、前記間欠回転体６０は、基
台１１０に対して軸受６１で回転自在に支持された間欠
回転軸６２の上端部に固定され、当該間欠回転体６０の
４本の（９０度間隔の）測定プローブ取付用アーム６１
にはそれぞれ測定プローブ７０が取り付けられている。

【００２６】図４乃至図８に示すように、各々の測定プ
ローブ７０は５個の測定端子７１を持ち、各測定端子７
１は２枚の平行な可撓性板材としてのガラスエポキシ積
層板７２Ａ，７２Ｂの下端部に固定され、ガラスエポキ
シ積層板７２Ａ，７２Ｂの上端部は取付具７３を介し本
体部７４にビス止めで固定されている。内側のガラスエ
ポキシ積層板７２Ａの中間位置には可動駒７５がそれぞ
れ固着されている。本体部７４を上下方向に摺動自在に
貫通した軸体７６の下部にはテーパーカム７７が一体に
設けられ、該テーパーカム７７は各可動駒７５に当接し
てそれらの間隔を広げることができるようになってい
る。軸体７６の頭部７８は円板状となっており、該頭部
７８の下面と本体部７４間に前記テーパーカム７７を上
方に付勢する圧縮ばね７９が配設されている。前記本体
部７４の小径部７４Ａは前記測定プローブ取付用アーム
６１に固定されている。前記５個の測定端子７１の先端
は正五角形の頂点に位置し（７２度分割）、それらの測
定端子７１は摩耗による接触抵抗の変化を避けるため、
表面処理無しの焼き入れ鋼としている。

【００２７】各測定プローブ７０の開動作は、外力（テ
ーパーカム７７の押し下げ）で、閉動作はガラスエポキ
シ積層板７２Ａ，７２Ｂの自己復帰（弾性）によって行
うようになっている。

【００２８】図１及び図２に示すように、前記間欠回転
体６０に取り付けられた測定プローブ７０は、移し変え
位置Ｐの真上となる停止位置Ｑ１、この停止位置Ｑ１か
ら９０度回転した停止位置Ｑ２、この停止位置Ｑ２から
９０度回転した停止位置Ｑ３、この停止位置Ｑ３から９
０度回転した停止位置Ｑ４の４箇所の停止位置を持つ。
停止位置Ｑ１は、測定プローブ７０が移し変え位置Ｐ上
のリングバリスタ１を押し上げ棒１００の押し上げ動作
で上昇位置としたときに挟持する位置であり、停止位置
Ｑ３は、電気抵抗測定の終わったリングバリスタ１を測
定プローブ７０から解放して選別テーブル８０上に落下
させる位置である。

【００２９】それらの停止位置Ｑ１，Ｑ３の測定プロー
ブ７０を開閉駆動するために、基台１１０上に立設固定
された支柱６３に揺動レバー６４が枢支され、該揺動レ
バー６４の２股に分岐した先端部にローラー６５が枢着
されている。該ローラー６５は、停止位置Ｑ１，Ｑ３で
停止中の測定プローブ７０の図５及び図７に示すテーパ
ーカム駆動用の頭部７８に当接してこれを押し下げるこ
とにより測定プローブ７０を開閉する。すなわち、ロー
ラー６５が上昇位置では図５のようにテーパーカム７７
は上昇位置であり、ガラスエポキシ積層板７２Ａ，７２
Ｂは真っすぐで各測定端子７１の先端の間隔は最も狭
く、閉じた状態となる。一方、前記揺動レバー６４の揺
動に伴いローラー６５が下降位置となると頭部７８を介
しテーパーカム７７が下降位置に下がり、図７の如くテ
ーパーカム７７が可動駒７５に当接して各可動駒７５の
間隔を広げる。この結果、ガラスエポキシ積層板７２
Ａ，７２Ｂが撓んで各測定端子７１の先端の間隔が広が
り、開いた状態となる。なお、前記揺動レバー６４の後
端部には連結ロッド６６が連結され、基台下側の駆動部
からの駆動力が伝達されるようになっている。

【００３０】前記間欠回転体６０上には水銀リレー及び
ロータリーコネクタ６７が配設されている。該水銀リレ
ー及びロータリーコネクタ６７は停止位置Ｑ２を中心と
して±４５度の範囲にある測定プローブ７０の測定端子
７１と測定器（ここでは被測定電子部品がリングバリス
タ１であるので電気抵抗の測定を行うもの）とを接続す
るものであり、各測定端子７１を選択的に測定器に接続
する選択切り換え手段として機能する。

【００３１】図１及び図２に示す選別テーブル８０は、
基台１１０に対して軸受８１で回転自在に支持された間
欠回転軸８２の上端部に固定されている。すなわち、図
２のように選別テーブル８０の底面フレーム８３が間欠
回転軸８２に固定され、該底面フレーム８３にロータリ
ーソレノイド８４が固定されている。そして、該ロータ
リーソレノイド８４の回転軸に測定済みのリングバリス
タ１を受ける皿状乃至椀状の部品受け８５が固定されて
いる。前記ロータリーソレノイド８４の回転量は、上向
きであった部品受け８５を横転乃至反転できるように、
９０度乃至１８０度程度に設定されている。ロータリー
ソレノイド８４及び部品受け８５の個数は、図１に示す
ように８個であり、選別テーブル８０に対して４５度間
隔で設けられている。

【００３２】前記間欠回転体６０の間欠回転軸６２は１
回の間欠回転で９０度回転するのに対し、選別テーブル
８０の間欠回転軸８２は１回の間欠回転で４５度回転す
る。従って選別テーブル８０の下方の基台１１０に固定
的に配置された選別箱８６は４５度の配列間隔で７個設
置されている（測定プローブ７０の停止位置Ｑ３の真下
には配置していない。）。

【００３３】なお、前記選別テーブル８０において、各
部品受け８５がリングバリスタ１を受け取り、その後選
別箱８６に落下させ得るように、当該選別テーブルの上
面及び下面パネルに切欠きを形成しておく。また、選別
テーブル８０上には各ロータリーソレノイド８４を外部
電源に接続するためのロータリーコネクタ８７が配設さ
れている。

【００３４】図２のように、基台１１０の下側に格納固
定された駆動用モーター１２０の回転駆動力は、巻掛け
伝動機構１２１を介し第１の間欠駆動機構１２２に伝達
されるとともに、巻き掛け伝動機構１２３を介し第２の
間欠駆動機構１２４に伝達されている。そして、第１の
間欠駆動機構１２２の出力軸が１回の間欠回転で４５度
回転するもので前記選別テーブル側の間欠回転軸８２に
連結され、第２の間欠駆動機構１２４の出力軸が１回の
間欠回転で９０度回転するもので前記間欠回転体側の間
欠回転軸６２に連結されている。

【００３５】次に、上記実施例の全体的動作及びリング
バリスタ１の測定方法について説明する。

【００３６】パーツフィーダ４０から供給されたリング
バリスタ１は、その直線供給路４０Ａを経てロータリー
テーブル５０の外周縁上に載り、ロータリーテーブル５
０の連続回転に伴って内側ガイド円板５６及び外側ガイ
ド板５８でガイドされつつ円弧状に移送されて行き、図
３の案内部材９１の延長部９１Ａに当たる。この結果、
リングバリスタ１は延長部９１Ａに沿って案内路９０上
に移りストッパ部９１Ｂに当接して移し変え位置Ｐで停
止する。この移し変え位置Ｐでは案内路９０と同じ高さ
で押し上げ棒１００が待機しているため、リングバリス
タ１は押し上げ棒上端面に載ることになる。なお、ロー
タリーテーブル５０上にリングバリスタ１が連なっても
リングバリスタ１の推進力はリングバリスタ１とロータ
リーテーブル５０間に生じる摩擦だけなのでリングバリ
スタ同士が重なることはない。

【００３７】揺動レバー６４先端のローラー６５で停止
位置Ｑ１で停止中の測定プローブ７０の頭部７８が押し
下げられると、停止位置Ｑ１の測定プローブ７０の各測
定端子７１が図７及び図８の如く開き、これと同期して
移し変え位置Ｐの押し上げ棒１００が上昇位置に移動
し、その上端面に載ったリングバリスタ１を各測定端子
７１間に位置せしめる。その後、揺動レバー６４の先端
が上昇して停止位置Ｑ１の測定プローブ７０は閉じ、各
測定端子７１でリングバリスタ１を挟持する。なお、停
止位置Ｑ３の測定プローブ７０も停止位置Ｑ１のものと
同期して開閉する。

【００３８】停止位置Ｑ１の測定プローブ７０で保持さ
れたリングバリスタ１は、間欠回転体６０の９０度毎の
間欠回転に伴い停止位置Ｑ２、停止位置Ｑ３の順に移送
される。リングバリスタ１の電気特性の測定は、停止位
置Ｑ２を中心として±９０度未満の範囲（Ｑ１を出発後
Ｑ３に到着する前）にある測定プローブ７０の測定端子
７１を水銀リレー及びロータリーコネクタ６７を介し測
定器に接続して行う。

【００３９】ここでのリングバリスタ１の測定方法とし
ては、大別して第１の方法と第２の方法とがある。

【００４０】まず図９乃至図１４を用いて第１の方法に
ついて述べる。これらの図において、１はリングバリス
タであり、一定厚みを有する円環状セラミック素地３０
の外周面（円周面）に３個の側面電極３１Ａ，３１Ｂ，
３１Ｃを形成したもので、側面電極間はセラミック素地
が露出した電極間ギャップ３２となっている。また、測
定プローブ７０の５個の７２度分割で配置された測定端
子７１には乃至の符号を付してある。

【００４１】（イ） 仮測定において、図９及び図１０
のように、隣合う測定端子，がそれぞれ隣合う電極
３１Ａ，３１Ｂに接触するとき、隣合う測定端子，
の反対側の測定端子は異なる電極３１Ｃに接触してい
る。この状態を「ＯＫモード」と呼ぶことにする。 （ロ） 仮測定において、図１１及び図１２のように、
隣合う測定端子，が１つの電極３１Ａに接触すると
き、隣合う測定端子，の両脇の測定端子，はそ
れぞれ異なる電極３１Ｂ，３１Ｃに接触している。この
状態を「ショートモード」と呼ぶことにする。 （ハ） 仮測定において、図１３及び図１４のように、
隣合う測定端子，の一方が電極３１Ａに接触し、他
方が電極間ギャップ３２に接触しているとき、隣合う測
定端子，の両脇の測定端子，はそれぞれ異なる
電極３１Ｂ，３１Ｃに接触している。この状態を「オー
プンモード」と呼ぶことにする。

【００４２】以上のように、測定端子乃至のうち隣
り合う測定端子，について側面電極３１Ａ，３１
Ｂ，３１Ｃへの接触のしかたを整理すると、上記
（イ）、（ロ）、（ハ）の３モードになる。従って、仮
測定において、測定器と、隣り合う測定端子，とを
水銀リレー及びロータリーコネクタ６７を介して接続
し、隣り合う測定端子，間に定電流を通電して電圧
値を測定する。「ＯＫモード」のときの電圧値を１００
としたとき、「ショートモード」は０〜１、「オープン
モード」は２００〜３００となり、この電圧値より接触
モードを特定することができる。すなわち、適切な上限
値と下限値を設定し、測定電圧値が （下限値）＜（測定電圧値）＜（上限値） のとき、「ＯＫモード」と判断し、（測定電圧値）≦
（下限値）のとき「ショートモード」と判断し、（上限
値）≦（測定電圧値）のとき「オープンモード」と判断
する。

【００４３】仮測定によって接触モードを特定した後、
側面電極３１Ａ，３１Ｂ，３１Ｃ相互間の電気抵抗の測
定を行う。「ＯＫモード」では、側面電極３１Ａに測定
端子（第１極となる）が、側面電極３１Ｂに測定端子
（第２極となる）が、側面電極３１Ｃに測定端子
（第３極となる）が接触しているから、水銀リレー及び
ロータリーコネクタ６７を切り換えて、測定端子−
間の電気抵抗測定を行い、次いで測定端子−間の電
気抵抗測定を行い、さらに測定端子−間の電気抵抗
測定を行う。

【００４４】「ショートモード」では、側面電極３１Ａ
に測定端子と（第１極となる）が、側面電極３１Ｂ
に測定端子（第２極となる）が、側面電極３１Ｃに測
定端子（第３極となる）が接触しているから、水銀リ
レー及びロータリーコネクタ６７を切り換えて、測定端
子，−間の電気抵抗測定を行い、次いで測定端子
−間の電気抵抗測定を行い、さらに測定端子−
，間の電気抵抗測定を行う。

【００４５】「オープンモード」では、側面電極３１Ａ
に測定端子又は（第１極となる）が、側面電極３１
Ｂに測定端子（第２極となる）が、側面電極３１Ｃに
測定端子（第３極となる）が接触しているから、水銀
リレー及びロータリーコネクタ６７を切り換えて、測定
端子，−間の電気抵抗測定を行い、次いで測定端
子−間の電気抵抗測定を行い、さらに測定端子−
，間の電気抵抗測定を行う。

【００４６】次に図１５乃至図１７を用いて第２の方法
について述べる。この第２の方法は、リングバリスタ１
の１つの側面電極に対し２つの隣合う測定端子が接触す
る箇所が必ずあり、その隣合う測定端子の両脇の測定端
子はそれぞれ異なる側面電極に接触していることを利用
するものである。例えば、図１５の場合、隣合う測定端
子，が１つの電極３１Ｂに接触し、このとき両脇の
測定端子，はそれぞれ異なる電極３１Ａ，３１Ｃに
接触している。図１６の場合、隣合う測定端子，が
１つの電極３１Ｃに接触し、このとき両脇の測定端子
，はそれぞれ異なる電極３１Ｂ，３１Ａに接触して
いる。また、図１６の場合、隣合う測定端子，が１
つの電極３１Ａに接触し、両脇の測定端子，はそれ
ぞれ異なる電極３１Ｂ，３１Ｃに接触していると考える
こともできる。図１７の場合、隣合う測定端子，が
１つの電極３１Ｂに接触し、このとき両脇の測定端子
，はそれぞれ異なる電極３１Ａ，３１Ｃに接触して
いる。

【００４７】従って、仮測定において、まず測定端子
，を水銀リレー及びロータリーコネクタ６７を介し
測定器に接続し、両測定端子−間に定電流を通電し
て電圧値を読み込み、設定値以下であるかどうか判別
し、設定値以下であれば測定端子，が１つの電極に
接触していると判断し、これを第１極とする。従って、
以後の電気抵抗の測定では、測定端子，（第１極と
なる）と、その両脇の測定端子（第２極となる）と，
測定端子（第３極となる）とを選択し、水銀リレー及
びロータリーコネクタ６７を切り換えて、測定端子，
−間の電気抵抗測定を行い、次いで測定端子−
間の電気抵抗測定を行い、さらに測定端子−，間
の電気抵抗測定を行う。

【００４８】また、前記測定端子−間に定電流を通
電したときの電圧値が、設定値より大きければ、測定端
子−間、−間、−間、−間の順に定電
流を通電して電圧値が設定値以下となる所を特定して第
１極と定め、さらにその両脇の測定端子を選択して第２
極、第３極として、上記した場合と同様の電気抵抗の測
定を行う。

【００４９】上述のリングバリスタ１の電気特性測定
は、前記間欠回転体６０に取り付けられた測定プローブ
７０が停止位置Ｑ１を出発してから停止位置Ｑ２を通過
して停止位置Ｑ３に到着する前までの間で実行され、測
定完了後のリングバリスタ１は、間欠回転体６０の９０
度毎の間欠回転で停止位置Ｑ３に到着する。このとき、
選別テーブル８０は間欠回転体６０の間欠回転に同期し
て４５度毎の間欠回転を行っているので、停止位置Ｑ３
の真下で選別テーブル側の部品受け８５が上向きで待機
している。そして、揺動レバー６４先端のローラー６５
で停止位置Ｑ１，Ｑ３で停止中の測定プローブ７０の頭
部７８が押し下げられ、停止位置Ｑ１，Ｑ３の測定プロ
ーブ７０の各測定端子７１が図７及び図８の如く開き、
この結果、停止位置Ｑ３の測定プローブ７０で挟持され
ていた測定済みのリングバリスタ１は選別テーブル側の
部品受け８５上に落下する。

【００５０】前記選別テーブル８０の下方位置に固定的
に配置された７個の選別箱８６は、リングバリスタ１の
電気特性の測定結果に応じて選別できるように、例えば
設定特性値からのばらつきの程度に応じて選別箱を割り
当てるようにし、不良品についても１箱割り当てる。前
記選別テーブル側の部品受け８５上に落下したリングバ
リスタ１は、選別テーブル８０の４５度毎の間欠回転に
より４５度の配列間隔の選別箱８６上に順次移動して行
き、測定結果に対応した選別箱上で停止したときに、ロ
ータリーソレノイド８４で部品受け８５が横転乃至反転
することで当該選別箱内に落下する。

【００５１】上記実施例に構成によれば、次の通りの効
果を得ることができる。 （１） 被測定電子部品としてのリングバリスタ１の電
極数よりも多い個数の測定端子７１を有する測定プロー
ブ７０の全測定端子をリングバリスタ１の外周面に接触
させて仮測定を行い、この仮測定の結果によりリングバ
リスタ１の電極に接触している測定端子を特定して電気
特性を測定できる。したがって、従来装置で必要であっ
たリングバリスタ１の光電センサによるセンタリング
（電極位置を揃える工程）は不要となり、機構の簡略化
及び誤動作の解消ができる。また、測定端子の接触ミス
低減により、測定歩留りを向上させることができる。 （２） 間欠回転体６０に複数の測定プローブ７０を設
け、測定器に接続する測定プローブ７０を順次切り換え
て測定を行うことで、測定タクトと、装置タクトとを極
限まで近付けることが可能である。すなわち、機械的動
作時間（間欠回転体６０の動作時間）と測定時間との関
係は、並列に進行するので、装置タクト（処理タクト）
を容易に上げることができ、リングバリスタ１を移送す
る機構部分も１ラインで済み、リングバリスタ１の移送
機構も単純で省スペース及び保守性の向上が可能であ
る。例えば、従来装置では、測定部でのリングバリスタ
１の搬送、測定端子の開閉に時間がかかり、処理タクト
が約０.８４秒かかっていたが、本実施例では、処理タ
クトは０.３秒程度に短縮できる。この結果、従来２ラ
イン（交互処理）で１４０個／分であったものが、２０
０個／分に処理能力を向上させることができる。 （３） 測定プローブ７０の各測定端子７１を開閉自在
に支える機構部分に可撓性を有するガラスエポキシ積層
板７２Ａ，７２Ｂを用いたので、測定プローブ７０の機
構の簡略化を図ることができる。すなわち、従来の図２
２及び図２３の測定プローブ２０は、リンクピン２２、
開閉アーム２３、絶縁板２４、コイルスプリング２８等
の多数の部品が必要で、構造が複雑で測定端子数が増え
ると小型化が困難であるのに対し、本実施例で用いた測
定プローブ７０のガラスエポキシ積層板７２Ａ，７２Ｂ
は、スプリング特性の耐久性に優れ、リンク、アーム、
スプリング、絶縁材の４つの機能を持たせることがで
き、部品点数の削減や小型化ができる。さらに、２枚の
ガラスエポキシ積層板７２Ａ，７２Ｂを平行に用いたこ
とで、図５及び図７のように測定端子７１は平行状態を
保って開閉するため、リングバリスタ１の径が異なって
も接触に変化はない。そらに、測定端子７１を表面処理
無しの焼入れ鋼としたことで、摩耗による接触抵抗の変
化を発生させず、安定した測定を行うことができる。 （４） パーツフィーダ４０の直線供給路４０Ａ内でリ
ングバリスタ１が連なることを排除し、ロータリーテー
ブル５０上でリングバリスタ１が連なるようにしたた
め、振動により直線供給路４０Ａ上でリングバリスタ１
が重なり詰まる現象を解消できる。また、リングバリス
タ１の移送に際し、真空吸着を用いる必要性がなく、真
空吸着に起因する故障の発生も無くすることができ、こ
れらによって動作の信頼性の改善を図ることができる。

【００５２】なお、上記実施例では、３つの側面電極を
有するリングバリスタ１を測定する場合で説明したが、
２個又は４個以上の側面電極を有する円環乃至円板状の
電子部品の電気特性を測定する場合にも本発明は適用可
能である。また、測定内容も電気抵抗の他に、電子部品
がコンデンサの場合には静電容量を測定するようにで
き、電子部品がインダクタの場合にはインダクタンスを
測定するようにしても良い。

【００５３】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
外周面の電極個数よりも多い個数の測定端子の全てを電
子部品の外周面に接触させて仮測定を行い、仮測定によ
って外周面の電極位置を認識し、測定が必要となる電極
に接触している測定端子を選んで測定器に接続して電子
部品の特性を測定することができ、処理速度の高速化、
機構の簡略化、故障の発生の低減、ひいては信頼性の向
上を図ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る電子部品の測定装置の実施例を示
す平面図である。

【図２】同正断面図である。

【図３】実施例におけるロータリーテーブル及びその周
辺の機構を示す平面図である。

【図４】実施例における間欠回転体及び測定プローブを
示す下方よりみた斜視図である。

【図５】実施例で用いる測定プローブの閉じた状態の正
断面図である。

【図６】閉じた状態の測定プローブの測定端子配置を示
す底面図である。

【図７】実施例で用いる測定プローブの開いた状態の正
断面図である。

【図８】開いた状態の測定プローブの測定端子配置を示
す底面図である。

【図９】第１の測定方法において「ＯＫモード」となる
場合の１例を示す説明図である。

【図１０】第１の測定方法において「ＯＫモード」とな
る場合の他の例を示す説明図である。

【図１１】第１の測定方法において「ショートモード」
となる場合の１例を示す説明図である。

【図１２】第１の測定方法において「ショートモード」
となる場合の他の例を示す説明図である。

【図１３】第１の測定方法において「オープンモード」
となる場合の１例を示す説明図である。

【図１４】第１の測定方法において「オープンモード」
となる場合の他の例を示す説明図である。

【図１５】第２の測定方法における第１状態を示す説明
図である。

【図１６】第２の測定方法における第２状態を示す説明
図である。

【図１７】第２の測定方法における第３状態を示す説明
図である。

【図１８】従来の電子部品の測定装置を示す平面図であ
る。

【図１９】従来装置におけるセンタリング部を示す要部
断面図である。

【図２０】センタリング部にリングバリスタを移送した
所の平面図である。

【図２１】センタリング部の拡大断面図である。

【図２２】従来装置における測定プローブの閉じた状態
の正断面図である。

【図２３】従来装置における測定プローブの開いた状態
の正断面図である。

【図２４】被測定電子部品としてのリングバリスタの平
面図である。

【符号の説明】

１ リングバリスタ ４０ パーツフィーダ ４０Ａ 直線供給路 ４１ ホッパー ５０ ロータリーテーブル ５６ 内側ガイド円板 ５８ 外側ガイド板 ６０ 間欠回転体 ６７ 水銀リレー及びロータリーコネクタ ７０ 測定プローブ ７１ 測定端子 ７２Ａ，７２Ｂ ガラスエポキシ積層板 ８０ 選別テーブル ８４ ロータリーソレノイド ８５ 部品受け ８６ 選別箱 ９０ 案内路 ９１ 案内部材 ９１Ａ 延長部 ９１Ｂ ストッパ部 １００ 押し上げ棒 １１０ 基台 Ｐ 移し変え位置 Ｑ１，Ｑ２，Ｑ３，Ｑ４ 停止位置 Ｓ１，Ｓ２ 光センサ

フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭49−91775（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−193076（ＪＰ，Ａ) 実開 昭57−134676（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭59−8172（ＪＰ，Ｕ) 特公 昭44−27533（ＪＰ，Ｂ１) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) G01R 31/26 G01R 1/06 - 1/073 H01L 21/66

Claims (4)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 外周面が円周面となっていて当該円周面
   に複数個の電極を有する電子部品を順次送り出すパーツ
   フィーダと、該パーツフィーダから送り出された電子部
   品を受けるロータリーテーブルと、該ロータリーテーブ
   ルで移送されてきた電子部品を移し変え位置に案内する
   案内部材と、前記移し変え位置に到来した電子部品が載
   る押し上げ部材と、前記複数個の電極の個数よりも多い
   個数の測定端子を持っていて前記押し上げ部材で上昇位
   置となった電子部品を挟持する測定プローブと、各測定
   端子を選択的に測定器に接続する選択切り換え手段とを
   備え、 前記測定プローブは、本体部に下向きの可撓性板材を介
   して取り付けられた測定端子を前記電子部品の円周面に
   接触するように等角度間隔で配置したものであり、前記
   可撓性板材の弾性により前記測定端子を閉じる方向に付
   勢し、前記本体部に対して上下するカムを設け、前記可
   撓性板材に駒を前記カムに対面するように設け、前記駒
   に前記カムを当接させて前記可撓性板材を撓ませて開く
   構造を有することを特徴とする電子部品の測定装置。
2. 【請求項２】 外周面が円周面となっていて当該円周面
   に複数個の電極を有する電子部品を順次送り出すパーツ
   フィーダと、該パーツフィーダから送り出された電子部
   品を受けるロータリーテーブルと、該ロータリーテーブ
   ルで移送されてきた電子部品を移し変え位置に案内する
   案内部材と、前記移し変え位置に到来した電子部品が載
   る押し上げ部材と、前記複数個の電極の個数よりも多い
   個数の測定端子を持っていて前記押し上げ部材で上昇位
   置となった電子部品を挟持する測定プローブと、各測定
   端子を選択的に測定器に接続する選択切り換え手段と、
   回転駆動される選別テーブルと、該選別テーブルに取り
   付けられた横転乃至反転手段と、該横転乃至反転手段に
   取り付けられた部品受けと、複数個の選別箱とを備え、 前記測定プローブは、本体部に下向きの可撓性板材を介
   して取り付けられた測定端子を前記電子部品の円周面に
   接触するように等角度間隔で配置したものであり、前記
   可撓性板材の弾性により前記測定端子を閉じる方向に付
   勢し、前記本体部に対して上下するカムを設け、前記可
   撓性板材に駒を前記カムに対面するよう に設け、前記駒
   に前記カムを当接させて前記可撓性板材を撓ませて開く
   構造を有するとともに、 前記測定プローブで測定された電子部品を前記部品受け
   で受け取り、測定結果に対応する特定の選別箱上で前記
   部品受けを横転乃至反転させることを特徴とする電子部
   品の測定装置。
3. 【請求項３】 前記測定プローブが間欠回転体に複数個
   取り付けられており、前記移し変え位置上で電子部品を
   挟持してから所定解放位置上で電子部品を解放するまで
   の間に電子部品の測定を実行する請求項１又は２記載の
   電子部品の測定装置。
4. 【請求項４】 前記可撓性板材がガラスエポキシ積層板
   で構成されている請求項１，２又は３記載の電子部品の
   測定装置。