JPH0945709A - リードフレームの吸着保持装置 - Google Patents

リードフレームの吸着保持装置

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JPH0945709A
JPH0945709A JP21095895A JP21095895A JPH0945709A JP H0945709 A JPH0945709 A JP H0945709A JP 21095895 A JP21095895 A JP 21095895A JP 21095895 A JP21095895 A JP 21095895A JP H0945709 A JPH0945709 A JP H0945709A
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    • Y10S414/114Adjust to handle articles or groups of different sizes

Abstract

(57)【要約】 【目的】リードフレームのリード表面を傷つけることが
なく、またリードフレームを安定して吸着保持できると
共に、迅速にリードフレームの供給が可能である。 【構成】上下方向に移動及びガイドレールの搬送方向で
あるX方向と直角で水平なY方向に移動させられる吸着
保持体72に取付けられたX方向ガイド板84A、85
A、84B、85Bには、リードフレームの長手方向の
両側端部側を吸着保持するように、複数個のリードフレ
ーム用吸着ノズル120を2列設け、この2列のリード
フレーム用吸着ノズル120の中間部に紙用吸着ノズル
110及びリードフレームであるか紙であるかを検出す
る検出端子100を設けた。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、リードフレームの供給
・排出装置に用いるリードフレームの吸着保持装置に関
する。
【0002】
【従来の技術】例えば、リードフレームへのダイボンデ
イング作業においては、マガジンに積み重ねられたリー
ドフレームを1枚づつ吸着保持体に設けられた複数個の
吸着ノズルによって吸着保持して移送し、、ガイドレー
ル上に載置する。そして、ガイドレール上に載置された
リードフレームは、ガイドレールのガイド溝にガイドさ
れ、プッシャ又は送り爪によってボンデイング部に搬送
される。なお、この種のリードフレームの供給・排出装
置として、例えば特開昭62−175324号公報があ
げられる。
【0003】ところで、マガジンに積み重ねて収納され
たリードフレームは、リードフレーム同志が接触してリ
ード表面が傷付くのを防止するために、リードフレーム
間に紙を挟んで収納したものがある。このようにリード
フレームと紙を交互に積み重ねしたものに適用する吸着
保持装置は、リードフレーム用吸着ノズルの他に紙用吸
着ノズルを有する。かかる吸着保持装置の概略構成は図
8に示すようになっている。
【0004】図8に示すように、リードフレーム1間に
紙2を挟んで積み重ねて収納したマガジン4は、エレベ
ータ装置の位置決め板140上に位置決め載置される。
リードフレーム1及び紙2は、エレベータ装置の押し上
げ棒141によって押し上げられる。マガジン4よりリ
ードフレーム1を吸着保持してガイドレール3に移送す
る吸着保持装置145は、ガイドレール3によるリード
フレーム搬送方向(X方向)と直角なY方向に移動及び
上下方向(Z方向)に移動する保持体ホルダ146を有
し、保持体ホルダ146には、リードフレーム用吸着保
持体147と紙用吸着保持体148とが設けられてい
る。
【0005】リードフレーム用吸着保持体147には、
X方向に複数個のリードフレーム用吸着ノズル149が
1列に設けられ、紙用吸着保持体148には2個の紙用
吸着ノズル150と2個の検出端子151とがX方向に
1列に設けられている。ここで、リードフレーム用吸着
ノズル149と紙用吸着ノズル150の間隔Y1は、ガ
イドレール3の中心とマガジン4の中心の間隔Y1と等
しくなっている。従って、リードフレーム用吸着保持体
147がガイドレール3の上方に位置した時は、紙用吸
着保持体148はマガジン4の上方に位置する。またリ
ードフレーム用吸着保持体147がマガジン4の上方に
位置した時における紙用吸着保持体148の下方には、
紙2を収納する紙収納箱152が設けられている。
【0006】そこで、まず、保持体ホルダ146のY方
向の移動によって紙用吸着保持体148がマガジン4の
上方に移動し、続いて紙用吸着保持体148のZ方向の
移動による下降によって紙用吸着ノズル150及び検出
端子151がマガジン4の最上のリードフレーム1又は
紙2に接触する。検出端子151による検出結果、紙2
である場合には、紙用吸着ノズル150の真空が吸引に
なり、紙用吸着ノズル150は紙2を吸着保持する。そ
して、保持体ホルダ146が上昇し、続いて紙用吸着保
持体148が紙捨て箱152の上方に移動する。次に紙
用吸着ノズル150の真空が停止となり、紙2は紙収納
箱152に収納される。
【0007】前記したように、紙用吸着ノズル150及
び検出端子151がマガジン4の最上のリードフレーム
1又は紙2に接触し、検出端子151による検出結果、
リードフレーム1である場合は、保持体ホルダ146は
上昇し、次にリードフレーム用吸着保持体147がマガ
ジン4の上方に移動し、続いて下降してリードフレーム
用吸着ノズル149がリードフレーム1に接触する。次
にリードフレーム用吸着ノズル149の真空が吸引とな
り、リードフレーム1を吸着保持する。そして、保持体
ホルダ146が上昇し、続いてリードフレーム用吸着保
持体147がガイドレール3の上方に移動し、次にリー
ドフレーム用吸着保持体147が下降してリードフレー
ム用吸着ノズル149に吸着保持されたリードフレーム
1をガイドレール3上に位置させ、リードフレーム用吸
着ノズル149の真空が停止となり、リードフレーム1
をガイドレール3に載置する。その後、保持体ホルダ1
46は上昇する。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】上記従来技術における
吸着保持装置145は、リードフレーム用吸着保持体1
47に複数個のリードフレーム用吸着ノズル149が1
列に設けられ、リードフレーム1の長手方向の中央部を
吸着するようになっている。しかし、リードフレーム1
の長手方向の中央部には、打ち抜かれた空間があり、ま
たリードが形成されているので、中央部を吸着するのは
好ましくない。また幅広のリードフレーム1において
は、中央部のみで保持することは、リードフレーム1を
歪めたりするので安定性に問題がある。
【0009】またリードフレーム用吸着保持体147と
紙用吸着保持体148との間隔Y1は、ガイドレール3
とマガジン4の間隔Y1に等しくなるように設けられて
いるので、品種変更に対して大変である。更にリードフ
レーム1と紙2は必ず交互に積み重ねられているとは限
らなく、時にはリードフレーム1間に紙2が存在しない
ことがある。このため、検出端子151でマガジン4の
最上のものがリードフレーム1であるか紙2であるかを
まず検出し、リードフレーム1の場合は、リードフレー
ム用吸着ノズル149によってリードフレーム1を吸着
保持するように保持体ホルダ146をZ方向及びY方向
に移動させる動作を必要とする。この動作により、リー
ドフレーム1を迅速にガイドレール3上に供給すること
ができない。
【0010】また上記従来技術は、品種にそれぞれ応じ
た専用の吸着保持装置であるので、品種変更によりリー
ドフレーム1の長さ又は幅が変わった場合、それに適合
する吸着保持装置に交換しなければならなかった。この
ため、品種に応じた吸着保持装置を準備する必要があ
り、保管管理及び経済性等に問題があった。
【0011】本発明の第1の目的は、リードフレームの
リード表面を傷つけることがなく、またリードフレーム
を安定して吸着保持できると共に、迅速にリードフレー
ムの供給が可能なリードフレームの吸着保持装置を提供
することにある。
【0012】本発明の第2の目的は、各品種に対応でき
る汎用性を有するリードフレームの吸着保持装置を提供
することにある。
【0013】
【課題を解決するための手段】上記第1の目的を達成す
るための本発明の第1の手段は、マガジンに収納された
リードフレームを吸着保持してガイドレール上に載置す
るリードフレームの吸着保持装置において、上下方向及
びガイドレールの搬送方向であるX方向と直角で水平な
Y方向に移動させられる吸着保持体には、リードフレー
ムの長手方向の両側端部側を吸着保持するように、複数
個のリードフレーム用吸着ノズルを2列設け、この2列
のリードフレーム用吸着ノズルの中間部に紙用吸着ノズ
ル及びリードフレームであるか紙であるかを検出する検
出端子を設けたことを特徴とする。
【0014】上記第1及び第2の目的を達成するための
本発明の第2の手段は、上記第1の手段において、前記
2列の複数個のリードフレーム用吸着ノズルは、各列毎
にリードフレームの幅方向に移動させて幅方向位置調整
可能に、また各列の複数個のリードフレーム用吸着ノズ
ルは、リードフレームの長手方向に移動させて長手方向
位置調整可能に設けたことを特徴とする。
【0015】上記第1及び第2の目的を達成するための
本発明の第3の手段は、吸着保持体のX方向の両側に
は、それぞれY方向に伸びたY軸の中央部が固定され、
この2本のY軸の両端側には、それぞれスライダが摺動
可能でかつY軸に固定可能に設けられ、前記4個のスラ
イダのX方向に対向する対のスライダには、それぞれX
方向に伸びたX方向ガイド板が固定され、このX方向ガ
イド板には、複数個のリードフレーム用吸着ノズルが摺
動可能でかつ前記X方向ガイド板に固定可能に設け、前
記吸着保持体に紙用吸着ノズル及びリードフレームであ
るか紙であるかを検出する検出端子を設けたことを特徴
とする。
【0016】
【作用】第1の手段は、リードフレームの長手方向の両
側端部側を複数個のリードフレーム用吸着ノズルで吸着
保持するので、リードフレームのリード表面を傷付ける
ことがなく、またリードフレームを安定して保持するこ
とができる。また2列のリードフレーム用吸着ノズルの
中間部に紙用吸着ノズル及び検出端子が設けられてい
る。また検出端子でマガジンの最上のリードフレーム又
は紙を検出した場合、紙であればその状態で紙用吸着ノ
ズルの真空を吸引にして紙用吸着ノズルは紙を吸着保持
する。またリードフレームであればその状態でリードフ
レーム用吸着ノズルの真空を吸引としてリードフレーム
用吸着ノズルはリードフレームを吸着保持する。即ち、
吸着保持体は無駄な動作をしないので、リードフレーム
をガイドレール上に迅速に供給できる。
【0017】第2の手段は、2列の複数個のリードフレ
ーム用吸着ノズルをY方向に移動させることにより、リ
ードフレームの幅の変化に対応できる。また各列の複数
個のリードフレーム用吸着ノズルをX方向に移動させる
ことにより、リードフレームの長さの変化に対応でき
る。従って、前記第1の手段による効果の他に、各品種
に対応でき汎用性を有する。
【0018】第3の手段は、スライダをY軸に沿って動
かすことにより、X方向ガイド板に取付けられた複数個
のリードフレーム用吸着ノズルがY方向に移動し、リー
ドフレームの幅の変化に対応できる。またX方向ガイド
板に取付けられたリードフレーム用吸着ノズルをX方向
に動かすことにより、リードフレームの長さの変化に対
応できる。従って、前記第2の手段と同様の効果が得ら
れる。また2列のリードフレーム用吸着ノズルの中間部
に紙用吸着ノズル及び検出端子が設けられているので、
前記第1の手段と同様の効果が得られる。
【0019】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図1乃至図7によ
り説明する。図1に示すように、リードフレーム1をガ
イドするガイドレール3の一方の側方の正面側には、リ
ードフレーム1及び紙2を収納したマガジン4を位置決
め保持するエレベータ装置10が配設されている。ここ
で、マガジン4には、リードフレーム1と紙2が交互に
挟んで積み重ねられ、リードフレーム1同志が接触して
回路面を傷付けるのを防止している。
【0020】次にエレベータ装置10の構造について説
明する。基板11、側板12及びマガジン載置板13か
らなる架台の前記マガジン載置板13上には、マガジン
4を位置決めする位置決め板14が設けられている。基
板11とマガジン載置板13には、ねじ軸15の上下端
が回転自在に支承され、また2本の回り止め軸(図示せ
ず)の上下端が固定されている。ねじ軸15には雌ねじ
16が螺合されており、雌ねじ16には前記した回り止
め軸に上下動可能に嵌挿された上下動軸ホルダ17が固
定されている。上下動軸ホルダ17には、マガジン載置
板13及びマガジン4の底板5を貫通して上方に伸びた
上下動軸18が固定されており、上下動軸18の上端に
は押し上げ板19が固定されている。
【0021】側板12にはモータ20が固定されてお
り、モータ20の出力軸にはタイミングプーリ21が固
定されている。前記ねじ軸15には前記タイミングプー
リ21に対応してタイミングプーリ22が固定されてお
り、タイミングプーリ21とタイミングプーリ22には
タイミングベルト23が掛けられている。なお、24は
ノズル吸着位置を示す。以下、ガイドレール3に沿った
方向をX方向、このX方向に直角な水平方向をY方向、
上下方向をZ方向とする。
【0022】前記ガイドレール3の他方の側方の裏面側
には、後記する吸着保持装置70をZ方向及びY方向に
移動させる吸着保持装置駆動手段30が配設されてい
る。次に吸着保持装置駆動手段30の構造について説明
する。4本の支持脚31上に固定された固定板32上に
は、2個の軸受ホルダ33が固定されており、軸受ホル
ダ33には軸受34を介して上下動軸35が上下動可能
に嵌挿されている。上下動軸35には上下動板36が固
定され、上下動板36の下面には作動板37が固定され
ている。前記固定板32上にはカム支持板38が固定さ
れており、カム支持板38には作動板37が圧接するよ
うにカム39が回転自在に支承されている。前記軸受ホ
ルダ33の一方の側面には、シリンダ支持板40が固定
されており、シリンダ支持板40にはエアシリンダ41
が回転自在に支承されている。エアシリンダ41の作動
ロッドに固定された連結軸42にはピン43が回転自在
に支承され、ピン43は前記カム39に固定されてい
る。
【0023】前記上下動板36上には側板50が固定さ
れ、側板50にはレール支持板51が固定されている。
レール支持板51の下面にはY方向に伸びたレール52
が固定され、レール52にはガイド板53が摺動可能に
取付けられている。ガイド板53にはY方向移動軸ホル
ダ54が固定され、Y方向移動軸ホルダ54にはY方向
に伸びたY方向移動軸55の一端側が固定されている。
Y方向移動軸55の他端側のガイドレール3側には、吸
着保持装置ホルダ56が固定され、吸着保持装置ホルダ
56には後記する吸着保持装置70が固定されている。
【0024】側板50には、Y方向移動軸55の下方の
左右にタイミングプーリ57、58が回転自在に支承さ
れ、また側板50には、タイミングプーリ57、58間
で該タイミングプーリ57、58より僅か下方に近接し
て2個のガイドローラ59、60が回転自在に支承され
ている。ガイドローラ59、60の下方の前記上下動板
36の下面にはモータ支持板61が固定され、モータ支
持板61にはモータ62が固定されている。モータ62
の出力軸にはタイミングプーリ63が固定され、前記タ
イミングプーリ57、58、ガイドローラ59、60及
びタイミングプーリ63にはタイミングベルト64が掛
けられている。そして、タイミングプーリ57、58間
のタイミングベルト64の上方部の一部は、前記Y方向
移動軸ホルダ54に固定されている。
【0025】前記軸受ホルダ33のガイドレール3側に
は、上方部に紙受けシュート65が固定され、紙受けシ
ュート65の下方には紙捨て箱66を保持する紙捨て箱
保持部67が固定されている。
【0026】次に前記吸着保持装置70の構造を図2乃
至図7により説明する。図2及び図4に示すように、前
記吸着保持装置ホルダ56(図1参照)に固定される固
定部71を有する吸着保持体72には、X方向に伸びた
2個の長穴73が形成されている。また吸着保持体72
の下面には、長穴73より幅広の回り止め溝74が形成
されている。吸着保持体72のX方向の端部側上には、
それぞれY軸支持ホルダ75が固定され、2個のY軸支
持ホルダ75にはそれぞれY軸76の中央部が固定され
ている。2本のY軸76の両端部側には、それぞれスラ
イダ77A、77B及び78A、78Bが軸受79を介
して摺動自在に嵌挿されている。スライダ77A、77
B及び78A、78Bの内側のY軸76部分には、それ
ぞれ固定ホルダ80が挿通され、固定ホルダ80のY軸
76の挿通穴部は、スリット81(図3参照)によって
2つ割りになっている。
【0027】固定ホルダ80のスリット81の下部はそ
れぞれスライダ77A、77B及び78A、78Bにね
じ82で固定され、スライダ77A、77B及び78
A、78Bには上方よりスリット81の上側部分を押し
付けるようにスライダ77A、77B及び78A、78
Bのスリット81の下方部分にスライダ固定ねじ83が
螺合されている。前記スライダ77Aと78A及び77
Bと78Bの下面には、それぞれX方向に伸びた2個の
X方向ガイド板84A、85A及び84B、85Bがガ
イド部86A、86B(隙間)を有するように両端がそ
れぞれねじ87(図4参照)で固定され、X方向ガイド
板84A、85A及び84B、85Bの下面の内側部分
には回り止め溝88A及び88Bが形成されている。
【0028】前記吸着保持体72の一方側には、真空連
結ブロック90が固定されており、真空連結ブロック9
0には盲穴よりなる2個の通路91、92が形成されて
いる。通路91、92にはそれぞれ連結具93、94が
取付けられており、連結具93、94は、それぞれ図示
しないパイプ及び電磁弁を介して真空ポンプに接続され
ている。真空連結ブロック90上には、通路91に連通
するように4個の連結具95と、通路92に連通するよ
うに6個の連結具96とが取付けられている。
【0029】前記吸着保持体72には、それぞれ長穴7
3に沿って摺動可能に1個の検出端子100と2個の紙
用吸着ノズル110が取付けられている。即ち、吸着保
持体72には、合計、2個の検出端子100と4個の紙
用吸着ノズル110が取付けられている。前記X方向ガ
イド板84A、85A及び84B、85Bには、ガイド
部86A、86Bにそれぞれ3個のリードフレーム用吸
着ノズル120が摺動及び調節可能に固定されている。
【0030】次に検出端子100の構造を図5により説
明する。吸着保持体72の長穴73には、回り止め溝7
4に当接するように絶縁体101が挿通され、絶縁体1
01の上部に形成したねじ部にはナット102が螺合し
ている。絶縁体101にはブッシュ103を介して金属
製の検出端子部104が摺動可能に嵌挿されており、検
出端子部104の上部に形成したねじ部にはナット10
5が螺合されている。またナット105が絶縁体101
の上面に圧接するように、検出端子部104にはスプリ
ング106が配設されている。そして、このように形成
された2個の検出端子100のそれぞれの検出端子部1
04の上端にはコード(図示せず)が接続され、コード
は図示しない検出器に接続されている。
【0031】次に紙用吸着ノズル110の構造を図6に
より説明する。吸着保持体72の長穴73には、真空吸
着パッド111を有するねじパイプ112が挿通され、
ねじパイプ112のねじ部には、吸着保持体72の下面
側に回り止め溝74に嵌挿するようにナット113が螺
合され、吸着保持体72の上面側にナット114が螺合
されている。従って、ねじパイプ112は、ナット11
3とナット114によって吸着保持体72に固定され
る。そして、4個の紙用吸着ノズル110のねじパイプ
112は、それぞれ図2に示す4個の連結具93、94
に図示しないパイプで接続されている。
【0032】次にリードフレーム用吸着ノズル120の
構造を図6及び図7により説明する。X方向ガイド板8
4A、85A及び84B、85B間のガイド部86A、
86Bには、ホルダ121のねじ部が上方に突出するよ
うに挿通されており、ホルダ121のねじ部にはナット
122が螺合され、ホルダ121はそれぞれX方向ガイ
ド板84A、85A及び84B、85Bに固定されてい
る。ホルダ121にはねじ軸123が螺合されており、
ねじ軸123の上端部にはナット124、125が螺合
され、更にナット125にはボルト126が螺合されて
いる。ねじ軸123の下端にはL字状のノズルホルダ1
27が上下摺動可能に嵌挿されており、ノズルホルダ1
27は回転しないようにホルダ121の下方部の切欠き
側面128に上下摺動自在に嵌挿されている。そして、
ノズルホルダ127がねじ軸123の下端のストッパ1
29に圧接するように、ホルダ121とノズルホルダ1
27間にはスプリング130が装着されている。ノズル
ホルダ127の先端部には、吸着ノズル部131が固定
されている。そして、6個のリードフレーム用吸着ノズ
ル120の吸着ノズル部131は、それぞれ図2に示す
6個の連結具95に図示しないパイプで接続されてい
る。
【0033】従って、ボルト126を充分に締め付ける
ことにより、ナット125はねじ軸123に固定された
状態となる。そこで、ナット124を緩め、ナット12
5を回すと、ねじ軸123はホルダ121に対して上下
動する。即ち、吸着ノズル部131が取付けられたノズ
ルホルダ127は、ねじ軸123に設けられたストッパ
129で支持されているので、吸着ノズル部131も上
下動する。これにより、吸着ノズル部131の下端の位
置が調整できる。リードフレーム用吸着ノズル120
は、前記したように6個設けられているので、前記した
操作によって全てのリードフレーム用吸着ノズル120
の吸着ノズル部131の下端の位置を同一平面上に調整
することができる。吸着ノズル部131の下端の位置を
調整した後は、ナット122がホルダ121の上面に圧
接するようにナット122を締め付け、ねじ軸123の
位置を固定する。
【0034】次に吸着保持装置70の調整方法を図2乃
至図7により説明する。図2乃至図3は最も大きなリー
ドフレーム1に適合する場合を示す。品種変更によりリ
ードフレーム1の幅及び長さが変わった場合は、その品
種に適合するように検出端子100、紙用吸着ノズル1
10及びリードフレーム用吸着ノズル120の位置調整
を行う。リードフレーム1の幅に適合させるには、4個
のスライダ固定ねじ83を緩めると、スライダ77A、
77B及び78A、78BはY軸76に沿って摺動可能
となる。そこで、リードフレーム用吸着ノズル120の
吸着ノズル部131がそのリードフレーム1の幅方向
(Y方向)の端部側に位置するように、X方向ガイド板
84A、85Aを矢印E方向に、X方向ガイド板84
B、85Bを矢印F方向に移動させる。そして、スライ
ダ固定ねじ83を締め付けると、固定ホルダ80のスリ
ット81が狭まって固定ホルダ80はY軸76に固定さ
れる。
【0035】リードフレーム1の長さ方向(X方向)に
適合するように紙用吸着ノズル110の位置を調整する
には、ナット114を緩めると、ねじパイプ112は長
穴73に沿って摺動可能となる。そこで、紙用吸着ノズ
ル110を長穴73に沿って移動させ、そのリードフレ
ーム1に適合する位置にする。そして、ナット114を
締め付ける。検出端子100の位置はナット102を緩
めると、絶縁体101が長穴73に沿って摺動可能とな
る。そこで、検出端子100が両側の2個の紙用吸着ノ
ズル110のほぼ中央に位置するように移動させ、ナッ
ト102を締め付ける。リードフレーム1の長さ方向
(X方向)に適合するようにリードフレーム用吸着ノズ
ル120の位置を調整するには、ナット122を緩める
と、ホルダ121は長穴86A、86Bに沿って摺動可
能となる。そこで、リードフレーム用吸着ノズル120
を長穴86A、86Bに沿って移動させ、そのリードフ
レーム1に適合する位置にする。そして、ナット122
を締め付ける。
【0036】次にマガジン4内のリードフレーム1をガ
イドレール3上に移載する動作を図1により説明する。
図1の状態より吸着保持装置駆動手段30のモータ62
が矢印G方向に回転し、タイミングベルト64が矢印H
方向に移動する。これにより、Y方向移動軸ホルダ54
及びガイド板53がレール52にガイドされて矢印H方
向に移動する。即ち、Y方向移動軸55及び吸着保持装
置ホルダ56が矢印H方向に移動し、吸着保持装置70
はマガジン4の上方に位置する。次にエアシリンダ41
が作動し、該エアシリンダ41の作動ロッドが引っ込
み、カム39が回転する。これにより、作動板37を介
して上下動板36、即ち吸着保持装置70が下降し、検
出端子100の検出端子部104、紙用吸着ノズル11
0の真空吸着パッド111及びリードフレーム用吸着ノ
ズル120の吸着ノズル部131のそれぞれの先端部が
ノズル吸着位置24より僅かに下方に位置し、マガジン
4内の最上のリードフレーム1又は紙2に当接する。
【0037】今、マガジン4内の最上にリードフレーム
1がある場合について説明する。2個の検出端子100
の検出端子部104がリードフレーム1に接触すると、
2個の検出端子部104は導通状態となる。従って、図
示しない検出器は吸着するものがリードフレーム1であ
る旨の信号を出力する。これにより、連結具94が真空
吸引され、通路92、図示しないパイプ、連結具96を
通して6個のリードフレーム用吸着ノズル120の吸着
ノズル部131が真空吸引され、吸着ノズル部131は
リードフレーム1を吸着する。次にエアシリンダ41の
作動ロッドが前記と逆方向に突出してカム39が回転
し、作動板37及び上下動板36が上昇する。即ち、吸
着保持装置70はリードフレーム1を吸着保持して上昇
する。また吸着保持装置70がリードフレーム1を吸着
保持して上昇すると、次の最上のリードフレーム1がノ
ズル吸着位置24に位置するようにモータ20が駆動す
る。
【0038】続いてモータ62が前記と逆方向に回転
し、タイミングベルト64は前記と逆方向に移動する。
前記したように、リードフレーム1である旨を検出して
いるので、モータ62は吸着保持装置70がガイドレー
ル3の上方に位置するまで駆動する。次にエアシリンダ
41の作動ロッドが引っ込み、作動板37及び上下動板
36が下降して吸着保持装置70に吸着されたリードフ
レーム1がガイドレール3に当接する。続いて連結具9
4、即ちリードフレーム用吸着ノズル120の吸着ノズ
ル部131の真空が切れる。次にエアシリンダ41の作
動ロッドが突出及びモータ62が正回転し、吸着保持装
置70はリードフレーム1をガイドレール3に載置して
マガジン4の上方に位置する。
【0039】マガジン4内の最上に紙2がある場合は、
吸着保持装置70が下降して2個の検出端子100の検
出端子部104が当接するのは紙2であるので、導通し
なく、図示しない検出器は吸着するものが紙2である旨
の信号を出力する。これにより、連結具95が真空吸引
され、通路91、図示しないパイプ、連結具95を通し
て4個の紙用吸着ノズル110の真空吸着パッド111
が真空吸引され、真空吸着パッド111は紙2を吸着す
る。次に吸着保持装置70が上昇するようにエアシリン
ダ41が作動し、続いて吸着保持装置70が紙受けシュ
ート65の上方に位置するようにモータ62が回転す
る。そして、連結具93の真空が切れ、即ち紙用吸着ノ
ズル110の真空吸着パッド111の真空が切れ、真空
吸着パッド111に吸着保持された紙2は紙受けシュー
ト65に落下し、紙捨て箱66内に収納される。次に吸
着保持装置70がマガジン4の上方に位置するようにモ
ータ62が回転する。そして、エアシリンダ41が作動
して吸着保持装置70は下降する。この一連の動作を行
い、リードフレーム1はガイドレール3上に載置され、
紙2は紙捨て箱66に収納される。
【0040】このように、上下方向に移動及びガイドレ
ール3の搬送方向であるX方向と直角で水平なY方向に
移動させられる吸着保持体72には、リードフレーム1
の幅手方向の両側端部側を吸着保持するように、複数個
のリードフレーム用吸着ノズル120を2列設けたの
で、リードフレーム1のリード表面を傷つけることがな
く、またリードフレーム1を安定して吸着保持できる。
また2列の複数個のリードフレーム用吸着ノズル120
は、各列毎にリードフレーム1の幅方向に移動させて幅
方向位置調整可能に、また各列の複数個のリードフレー
ム用吸着ノズル120は、リードフレーム1の長手方向
に移動させて長手方向位置調整可能に設けたので、更に
各品種に対応でき汎用性を有する。
【0041】
【発明の効果】本発明によれば、上下方向に移動及びガ
イドレールの搬送方向であるX方向と直角で水平なY方
向に移動させられる吸着保持体には、リードフレームの
長手方向の両側端部側を吸着保持するように、複数個の
リードフレーム用吸着ノズルを2列設けたので、リード
フレームのリード表面を傷つけることがなく、またリー
ドフレームを安定して吸着保持できる。また2列のリー
ドフレーム用吸着ノズルの中間部に紙用吸着ノズル及び
検出端子が設けられているので、迅速にリードフレーム
の供給が行える。また前記2列の複数個のリードフレー
ム用吸着ノズルは、各列毎にリードフレームの幅方向に
移動させて幅方向位置調整可能に、また各列の複数個の
リードフレーム用吸着ノズルは、リードフレームの長手
方向に移動させて長手方向位置調整可能に設けたので、
前記効果の他に、各品種に対応でき汎用性を有する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のリードフレームの吸着保持装置を用い
たリードフレームの供給・排出装置の一実施の形態を示
す一部断面側面図である。
【図2】リードフレームの吸着保持装置の平面図であ
る。
【図3】図2のA−A線断面図である。
【図4】図2の側面図である。
【図5】図2のB−B線断面図である。
【図6】図2のC−C線断面図である。
【図7】図6のD−D線断面図である。
【図8】従来のリードフレームの吸着保持装置の1例を
示し、(a)は平面図、(b)は側面図である。
【符号の説明】
1 リードフレーム 2 紙 3 ガイドレール 4 マガジン 30 吸着保持装置駆動手段 66 紙捨て箱 70 吸着保持装置 72 吸着保持体 75 Y軸支持ホルダ 76 Y軸 77A、77B、78A、78B スライダ 84A、85A、84B、85B X方向ガイド板 100 検出端子 110 紙用吸着ノズル 120 リードフレーム用吸着ノズル
【手続補正書】
【提出日】平成8年9月18日
【手続補正1】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0031
【補正方法】変更
【補正内容】
【0031】次に紙用吸着ノズル110の構造を図6に
より説明する。吸着保持体72の長穴73には、真空吸
着パッド111を有するねじパイプ112が挿通され、
ねじパイプ112のねじ部には、吸着保持体72の下面
側に回り止め溝74に嵌挿するようにナット113が螺
合され、吸着保持体72の上面側にナット114が螺合
されている。従って、ねじパイプ112は、ナット11
3とナット114によって吸着保持体72に固定され
る。そして、4個の紙用吸着ノズル110のねじパイプ
112は、それぞれ図2に示す4個の連結具95に図示
しないパイプで接続されている。
【手続補正2】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0032
【補正方法】変更
【補正内容】
【0032】次にリードフレーム用吸着ノズル120の
構造を図6及び図7により説明する。X方向ガイド板8
4A、85A及び84B、85B間のガイド部86A、
86Bには、ホルダ121のねじ部が上方に突出するよ
うに挿通されており、ホルダ121のねじ部にはナット
122が螺合され、ホルダ121はそれぞれX方向ガイ
ド板84A、85A及び84B、85Bに固定されてい
る。ホルダ121にはねじ軸123が螺合されており、
ねじ軸123の上端部にはナット124、125が螺合
され、更にナット125にはボルト126が螺合されて
いる。ねじ軸123の下端にはL字状のノズルホルダ1
27が上下摺動可能に嵌挿されており、ノズルホルダ1
27は回転しないようにホルダ121の下方部の切欠き
側面128に上下摺動自在に嵌挿されている。そして、
ノズルホルダ127がねじ軸123の下端のストッパ1
29に圧接するように、ホルダ121とノズルホルダ1
27間にはスプリング130が装着されている。ノズル
ホルダ127の先端部には、吸着ノズル部131が固定
されている。そして、6個のリードフレーム用吸着ノズ
ル120の吸着ノズル部131は、それぞれ図2に示す
6個の連結具96に図示しないパイプで接続されてい
る。
【手続補正3】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0039
【補正方法】変更
【補正内容】
【0039】マガジン4内の最上に紙2がある場合は、
吸着保持装置70が下降して2個の検出端子100の検
出端子部104が当接するのは紙2であるので、導通し
なく、図示しない検出器は吸着するものが紙2である旨
の信号を出力する。これにより、連結具93が真空吸引
され、通路91、図示しないパイプ、連結具95を通し
て4個の紙用吸着ノズル110の真空吸着パッド111
が真空吸引され、真空吸着パッド111は紙2を吸着す
る。次に吸着保持装置70が上昇するようにエアシリン
ダ41が作動し、続いて吸着保持装置70が紙受けシュ
ート65の上方に位置するようにモータ62が回転す
る。そして、連結具93の真空が切れ、即ち紙用吸着ノ
ズル110の真空吸着パッド111の真空が切れ、真空
吸着パッド111に吸着保持された紙2は紙受けシュー
ト65に落下し、紙捨て箱66内に収納される。次に吸
着保持装置70がマガジン4の上方に位置するようにモ
ータ62が回転する。そして、エアシリンダ41が作動
して吸着保持装置70は下降する。この一連の動作を行
い、リードフレーム1はガイドレール3上に載置され、
紙2は紙捨て箱66に収納される。

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 マガジンに収納されたリードフレームを
    吸着保持してガイドレール上に載置するリードフレーム
    の吸着保持装置において、上下方向及びガイドレールの
    搬送方向であるX方向と直角で水平なY方向に移動させ
    られる吸着保持体には、リードフレームの長手方向の両
    側端部側を吸着保持するように、複数個のリードフレー
    ム用吸着ノズルを2列設け、この2列のリードフレーム
    用吸着ノズルの中間部に紙用吸着ノズル及びリードフレ
    ームであるか紙であるかを検出する検出端子を設けたこ
    とを特徴とするリードフレームの吸着保持装置。
  2. 【請求項2】 前記2列の複数個のリードフレーム用吸
    着ノズルは、各列毎にリードフレームの幅方向に移動さ
    せて幅方向位置調整可能に、また各列の複数個のリード
    フレーム用吸着ノズルは、リードフレームの長手方向に
    移動させて長手方向位置調整可能に設けたことを特徴と
    する請求項1記載のリードフレームの吸着保持装置。
  3. 【請求項3】 吸着保持体のX方向の両側には、それぞ
    れY方向に伸びたY軸の中央部が固定され、この2本の
    Y軸の両端側には、それぞれスライダが摺動可能でかつ
    Y軸に固定可能に設けられ、前記4個のスライダのX方
    向に対向する対のスライダには、それぞれX方向に伸び
    たX方向ガイド板が固定され、このX方向ガイド板に
    は、複数個のリードフレーム用吸着ノズルが摺動可能で
    かつ前記X方向ガイド板に固定可能に設け、前記吸着保
    持体に紙用吸着ノズル及びリードフレームであるか紙で
    あるかを検出する検出端子を設けたことを特徴とするリ
    ードフレームの吸着保持装置。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2007007642A1 (ja) * 2005-07-08 2007-01-18 Asahi Glass Company, Limited 基板の搬送装置及び搬送方法
JP2021034395A (ja) * 2019-08-14 2021-03-01 株式会社ディスコ 加工装置

Families Citing this family (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1996009644A1 (fr) * 1994-09-22 1996-03-28 Advantest Corporation Conteneur pour plateaux a circuits integres et sa plaque de base de montage
JP3225336B2 (ja) * 1995-07-13 2001-11-05 株式会社新川 リードフレームの吸着保持装置
KR100190926B1 (ko) * 1995-12-14 1999-06-01 윤종용 슬라이딩 블록을 갖는 리드프레임 언로딩 장치
US5937993A (en) * 1997-01-14 1999-08-17 Tamarac Scientific Co., Inc. Apparatus and method for automatically handling and holding panels near and at the exact plane of exposure
JPH11163000A (ja) * 1997-12-02 1999-06-18 Mitsubishi Electric Corp リードフレーム移送装置
US6729837B1 (en) * 1999-09-17 2004-05-04 Fuji Photo Film Co., Ltd. Sheet feeder and sheet feeding method
US20030070584A1 (en) 2001-05-15 2003-04-17 Cynthia Gulian Dip coating compositions containing cellulose ethers
US8309118B2 (en) 2001-09-28 2012-11-13 Mcneil-Ppc, Inc. Film forming compositions containing sucralose
US7429619B2 (en) 2002-08-02 2008-09-30 Mcneil Consumer Healthcare Polyacrylic film forming compositions
US6979032B2 (en) * 2002-11-15 2005-12-27 Fmc Technologies, Inc. Vacuum pick-up head with vacuum supply valve
JP4935488B2 (ja) * 2007-04-25 2012-05-23 村田機械株式会社 板材搬送装置
RU2010115255A (ru) * 2007-09-17 2011-10-27 МакНЕЙЛ-ППС, ИНК. (US) Составы для нанесения покрытия погружением, содержащие сополимер поливинилового спирта и полиэтиленгликоля и камедь
JP2010076929A (ja) * 2008-09-29 2010-04-08 Ushio Inc 基板搬送アーム
CN102152978B (zh) * 2010-12-31 2013-01-02 东莞市金格机械有限公司 一种纸品四面包边机转弯送料装置
MY192591A (en) * 2012-12-19 2022-08-29 Ismeca Semiconductor Holding Sa Device and method for limiting force
CN108573780A (zh) * 2018-06-19 2018-09-25 杭州良淋电子科技股份有限公司 柔性扁平线缆理线机
CN110544657A (zh) * 2019-10-09 2019-12-06 青岛航天半导体研究所有限公司 用于自动金丝键合机上的工装、系统

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SE362231B (ja) * 1972-01-18 1973-12-03 Asea Ab
SU1238834A1 (ru) * 1984-12-18 1986-06-23 Специальное Конструкторско-Технологическое Бюро Аналитического Приборостроения Устройство дл подачи плоских заготовок в рабочую зону пресса
JPS62175324A (ja) * 1986-01-29 1987-08-01 Toshiba Seiki Kk リ−ドフレ−ムの供給・排出装置
US4685714A (en) * 1986-12-18 1987-08-11 Hoke Thomas A Lifting assembly
JPH04145641A (ja) * 1990-10-08 1992-05-19 Hitachi Electron Eng Co Ltd Icデバイスのロード機構

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2007007642A1 (ja) * 2005-07-08 2007-01-18 Asahi Glass Company, Limited 基板の搬送装置及び搬送方法
JP4984075B2 (ja) * 2005-07-08 2012-07-25 旭硝子株式会社 基板の搬送装置及び搬送方法
JP2021034395A (ja) * 2019-08-14 2021-03-01 株式会社ディスコ 加工装置

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