KR100190926B1 - 슬라이딩 블록을 갖는 리드프레임 언로딩 장치 - Google Patents

슬라이딩 블록을 갖는 리드프레임 언로딩 장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 성형 공정이 완료된 반제품 상태의 리드프레임을 언로딩하여 절단/절곡 장치로 공급되는 데 사용되는 장치에 관한 것으로, 리드프레임 이송 장치의 언로딩 장치에 슬라이딩 블록을 설치하여 언로딩될 리드프레임의 성형 부분이 상이한 경우에는 기계적인 간단한 조작에 의해 정확한 언로딩이 가능하도록 한 것을 특징으로 한다.

Description

슬라이딩 블록을 갖는 라드프레임 언로딩(unloading) 장치
제 1도는 종래 기술에 의한 리드프레임 이송 장치를 나타내는 사시도.
제 2도는 종래 기술에 의한 리드프레임 이송 장치의 언로딩 장치를 나타내는 사시도.
제 3도는 제 2도의 픽커를 나타내는 결합 사시도.
제 4도 ~ 제 6도는 종래 기술의 실시예에 의한 리드프레임 이송 장치에 의해 리드프레임이 언로딩되는 단계를 나타내는 도면.
제 7도 및 제 8도는 종래 기술의 다른 실시예에 의한 리드프레임 이송 장치에 의해 리드프레임이 언로딩된 상태를 나타내는 도면.
제 9도는 본 발명에 의한 리드프레임 이송 장치를 나타내는 사시도.
제 10도는 본 발명에 의한 리드프레임 언로딩 장치의 픽커를 나타내는 사시도.
제 11도는 본 발명에 의하 리드프레임 언로딩 장치의 슬라이딩 블록을 나타내는 결합 사시도.
제 12도는 제 10도의 A부분을 나타내는 결합 사시도.
제 13도 ~ 제 15도는 본 발명의 실시예에 의한 리드프레임 이송 장치에 의해 리드 프레임이 언로딩되는 단계를 나타내는 도면.
제 16도는 본 발명의 다른 실시예에 의한 리드프레임 이송 장치에 의해 리드프레임이 언로딩된 상태를 나타내는 도면.
제 17도는 제 16도를 확대하여 상세하게 나타내는 결합 사시도.
* 도면의 주요 부분에 대한 설명 *
310 : 슬라이딩 블록 312 : 전면부
314 : 고정 나사 홈 316 : 슬릿
318 ; 고정 나사 360 : 진공 흡입관
370 : 진공 흡입구 390 : 픽커
410 : 언로딩 장치 411, 413 : 나사
414 : 전면 판재 416 : 후면 판재
500 : 리드프레임 이송 장치
본 발명은 성형 공정이 완료된 반제품 상태의 리드프레임을 언로딩하여 절단/절곡 장치로 공급되는 데 사용되는 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 그 장치의 언로딩 장치의 소정 부분에 리드프레임의 길이 방향으로 움직임이 가능한 슬라이딩 블록(sliding block)을 설치하여 성형 부분의 위치가 상이한 다양한 리드프레임에 각기 대응되도록 하는 슬라이딩 블록을 갖는 리드프레임 언로딩 장치에 관한 것이다.
통상적인 패키지 제조 공정은, 우선 웨이퍼에서 개별로 분리된 칩이 은 에폭시 계열의 접착제에 의해 리드프레임의 다이패드 상부면 상에 접착되는 다이 접착 공정을 거치게 되고, 그 이후 상기 칩과 리드프레임의 내부리드간을 전기적 연결하는 본딩 공정을 거치게 된다.
그러나, 이러한 구조가 소정의 인쇄회로기판이나 모듈과 같은 반도체 장치에 실장되어 실제로 전원이 공급되어 작동될 경우에 있어서, 그 구조가 외부의 환경 즉, 습기, 먼지, 기계적 부하 등에 직접적으로 노출되어 신뢰성이 저하되기 때문에 그 구조가 실장된 반도체 장치의 전체적인 신뢰성이 저하되는 단점이 있다.
따라서, 상기 구조에 있어서, 칩과 내부리드간을 포함하는 전기적 연결 부분과 전술된 반도체 장치에 실장되어 전기적 연결되는 리드프레임의 외부리드를 제외한 부분을 에폭시와 같은 성형 수지에 의해 외부의 환경으로부터 보호하는 성형공정을 거치게 된다.
그리고, 이러한 반조립 상태의 패키지는 리드프레임 스트립 상에 복수개로 성형되어, 소위 매거진(magazine)과 같은 보관 수단에 적층·탑재되어 보관 및 운반된다.
또한, 상기 매거진에 적층·탑재된 반조립 상태의 패키지가 복수개 성형된 리드프레임 스트립(이하 리드프레임이라 한다)은 완제품인 패키지로 분리되기 위하여 절단/절곡 공정을 거치는 데, 이 매거진에 탑재된 리드프레임을 상기 절단/절곡 공정에 사용되는 장치에 개별적으로 공급하는 데 사용되는 장치가 리드프레임 이송 장치이다.
그리고, 상기 리드프레임 이송 장치는 적어도 하나 이상의 픽커와 같은 흡착 수단을 가지며, 그 픽커는 진공에 의해 상기 리드프레임의 성형 부분을 흡착하여 전술된 절단/절곡 장치로 그 리드프레임을 공급한다.
그런 다음, 절단/절곡 공정이 진행되고 그 이후에 소정의 추가적인 공정을 거쳐서 완제품으로서 패키지가 제조된다.
그러나, 현재의 패키지는 다양한 형태를 갖으며, 또한 리드프레임의 폭이 동일하더라도 성형 부분의 위치가 상이한 리드프레임이 생산되고 있다.
따라서, 상기와 같이 성형 부분의 위치가 상이한 리드프레임에 대해서는 그에 각기 대응되는 픽커가 설치된 언로딩 장치가 신규 제작되거나 상기 언로딩 장치의 많은 부분이 변경되어야 하는 단점이 있다.
제 1도는 종래 기술에 의한 리드프레임 이송 장치를 나타내는 사시도이다.
제 2도는 종래 기술에 의한 리드프레임 이송 장치의 언로딩 장치를 나타내는 사시도이다.
제 3도는 제 2도의 픽커를 나타내는 결합 사시도이다.
제 1도 ~ 제 3도를 참조하면, 리드프레임 이송 장치(400)는 리드프레임이 복수개 적층·탑재된 매거진; 그 매거진이 내부에 탈착되도록 삽입되어 있으며, 그 매거진에 적층·탑재된 리드프레임을 각기 하나씩 상승시켜 주는엘리베이터(elevator)(200); 그 상승된 리드프레임을 언로딩하는 픽커를 포함하는 언로딩 장치(100) 그리고 그 언로딩 장치(100)와 일 말단이 기계적 체결되어 있으며 또한 다른 말단이 실린더와 같은 구동 수단에 연결되어 상기 언로딩 장치(100)에 의해 언로딩된 리드프레임을 절단/절곡 장치로 공급되는 이송 바(300)를 포함한다.
상기 언로딩 장치(100)의 흡착에 의한 리드 프레임(5)의 언로딩을 제외한 모든 구동은 상기 이송바(300)에 의해 이루어진다. 제2도의 언로딩장치는 격벽(10)이 중심 부분에 설치된 몸체부(30)와 그몸체부(30)의 고정면(20)에 형성된 4개의 관통 구멍들(22)에 각기 대응되어 고정된 4개의 픽커(90)와 같은 흡입 수단을 포함하는 구조를 갖지만, 본 도면에서는 좌측에 나타나 있는 하나의 픽커(90)와 상기 고정면(20)의 일부를 절개하여 나타내고 그 이외의 구조는 가상 선으로 나타내거나 상기 다른 픽커들에 대해서는 나타내지 않았다.
상기 몸체부(30)는 상부가 개방되어 있으며, 상기 고정면(20)이 다른 면들에 비하여 더 두껍게 형성되어 있어, 그 고정면(30)에 상기 픽커(90)가 견고히 고정되어 있다.
제 3도를 참조하여 상기 픽커(90)를 좀 더 상세히 언급하면, 픽커(90)는 크게 나사(40)와 진공 흡입관(60) 및 진공 흡입구(70)를 포함하면 한 개의 와셔(washer)(43) 너트(65) 그리고 너트 풀림 방지용 스프링(68) 및 스토파(spring stoper)(63)를 갖는 구조로 되어 있다.
우선, 나사(40)는 그(40)의 상부면 상에 일(一)자 형의 홈(42)이 형성되어 있으며, 그 나사(40)의 일면에 진공 펌프와 같은 진공 수단에 연결된 튜브(41)가 끼워지도록 내부가 빈 돌기(48)가 형성되어 있으며, 그(40)의 하단부에 나사 산(46)이 형성된 구조를 갖는다.
여기서, 상기 나사(40)는 상부에서 하부까지 전체적으로 중심 부분이 공동(空洞)된 구조를 갖는다.
또한, 진공 흡입관(60)은 전체적으로 원통형의 형상을 갖으며, 그(60)의 상부의 내표면 상에 상기 나사 산(46)에 대응된 홈(64)이 형성되어 있으며, 그(60)의 외표면의 소정 위치에 홈(66)이 형성되어 있으며, 그(60)의 하부 상에 스프링 스토파 홈(61)이 형성되어 있는 구조를 갖는다.
그리고, 실질적으로 상기 리드프레임을 언로딩하는 진공 흡입구(70)는 상기 진공 흡입관(60)의 최하단에 일체형으로 형성되어 있다.
상기의 픽커(90)가 제 2도에서 나타낸 고정면(20)의 관통 구멍(22)에 고정된 상태를 좀더 상세히 언급하면, 상기 언급된 진공 흡입관(60)의 최상부와 중앙부분에 형성된 홈(66)의 소정위치가 상기 고정면(20)의 관통구멍(22)에 삽입되며, 상기 나사 산(46)이 상기 진공 흡입관(60)의 내부 홈(64)에 체결되기 전에 와셔(43)가 개재·체결됨으로써 상기 고정면(20)의 상부에 고정된다. 그리고, 상기 진공흡입관(60)의 외표면상에 형성된 홈(66)에 대응된 너트(65)가 체결됨으로써 상기 고정면의 하부와 고정이 되어 있으며, 상기 너트 풀림 방지용 스프링(68)이 상기 진공 흡입관(60)의 외부에 삽입되며, 그 압축된 그 스프링(68)이 튀어 나가지 못하도록 스프링 스토파(63)가 상기 진공 흡입관(60)의 스피링 스토파 홈(61)에 삽입되어 상기 스프링(68)이 고정된다.
제 4도 ~ 제 6도는 종래 기술의 실시에에 의한 리드프레임 이송 장치에 의해 리드프레임이 언로딩되는 단계를 나타내는 도면이다.
제 4도 ~ 제 6도를 참조하면, 언로딩 장치(100)와 체결된 이송 바(300)는 그(300)의 선단부에 연결된 실린더와 같은 구동 수단에 의해 최초 제 4도에 나타내고 있는 위치에서 하강되어 상기 픽커(90)의 진공 흡입구가 각기 대응하는 리드프레임(5)의 성형 부분(5')이 기계적으로 접촉될 때까지 하강되고 정지된다.
그런 다음, 제 5도에 나타낸 바와 같이 상기 픽커(90)의 공급된 진공에 의해 진공 흡입구에 각기 상기 성형 부분들(5')이 흡착된다.
그리고, 제 6도에 나타낸 바와 같이 상기 픽커(90)에 흡착된 상태로 리드프레임(5)이 언로딩되며, 그 픽커(90)는 이송 바(300)에 의해 상승되어 원 위치까지 복귀된다.
그런 다음, 도면에는 나타나 있지 않으나 상기 리드프레임(5)은 상기 이송 바(300)에 의해 절단/절곡 장치로 공급되어 절단/절곡 공정이 진행된다.
한편, 상기 매거진이 적층·탑재되어 있던 다른 리드프레임(5)이 엘리베이터(200)에 의해 전(前) 단계에서 언로딩된 리드프레임(5)이 배치되었던 위치까지 상승된다.
그런 다음, 제 4도 ~ 제 6도에서 나타내고 있는 단계가 반복 진행된다.
여기서, 상기 픽커들(90)의 고정된 위치와 언로딩된 리드프레임(5)의 성형 부분들(5')이 각기 정(正)위치에 위치되어 때문에 리드프레임(5)의 언로딩이 안정되게 진행된다.
제 7도 및 제 8도는 종래 기술의 다른 실시예에 의한 리드프레임 이송 장치에 의해 리드프레임이 언로딩된 상태를 나타내는 도면이다.
제 7도 및 제 8도를 참조하면, 제 4도 ~ 제 6도에서 나타나 있는 리드프레임(5)의 성형 부분들(5')과 상이하게 성형 부분들(15')의 위치가 배치된 경우로써, 제 7도에서 나타낸 바와 같이 상기 픽커들(90)에 의해 언로딩되는 리드프레임(15)의 성형 부분들(15')이 각기 정위치에서 언로딩되지 못하고 다른 위치에 다른 위치에 흡착되어 언로딩된 상태를 나타내고 있으며, 제 8도에 있어서는 심한 경우 픽커들(90)에 의해 흡착되어 언로딩되던 리드프레임(15)이 떨어져서 다음 단계의 리드프레임(15)의 언로딩을 방해하거나 상기 도면에서 나타낸 바와 같이 엘리베이터(200)의 아래로 추락되는 불량이 발생된다.
결과적으로, 이와 같은 구조를 갖는 리드프레임 이송 장치(400)는 그(400)의 픽커들(90)이 각기 대응되는 리드프레임(5)의 성형 부분들(5')과 항상 정위치에 정렬된 경우에만 언로딩의 신뢰성을 보장할 수 있다.
따라서, 상기 제 7도 및 제 8도에서의 리드프레임(15)의 언로딩에 있어서는 그 리드프레임(15)에 대응되는 언로딩 장치를 신규로 제작하여 대체하거나, 상기 언로딩 장치의 많은 부분을 변경하여야 하기 때문에 시간적·경제적으로 손실을 가져오는 단점이 있다.
따라서 본 발명의 목적으로 리드프레임 이송 장치의 언로딩 장치에 위치 조정을 설치하여 언로딩될 리드프레임의 성형 부분이 상이한 경우에도 기계적인 간단한 조작에 의해 정확한 언로딩이 가능한 슬라이딩 블록을 갖는 리드프레임 언로딩 장치를 제공하는데 있다.
상기 목적을 달성하기 위하여, 반도체 제조 공정에 사용되는 리드프레임의 언로딩 장치에 있어서, 각기 이격된 한 쌍의 판재와, 그 판재들의 좌우 말단에 구멍이 형성되어 있으며, 그 판재중의 어느 한 판재의 홈들 사이에 장홈이 형성되어 있으며, 그 판재들의 상하부가 서로 마주보고 절곡되어 있으며; 진공 수단과 연결된 돌기를 갖는 진공 나사와 그 진공 나사가 삽입된 진공 흡입관을 갖는 픽커와, 그 픽커가 삽입된 관통 구멍이 중심 부분에 형성되어 있으며, 상기 판재의 장홈이 형성된 부분에 대응되는 면에 고정 나사 홈이 형성된 슬라이딩 블록과; 상기 픽커의 진공 흡입관의 외부에 삽입된 스프링과; 그 스프링이 튀어나가지 못하게 하도록 상기 픽커의 홈에 체결된 스프링 스토파와; 한 쌍의 블록과, 그 각 블록의 양면에 홈이 형성되어 있으며; 상기 각 판재들의 각 구멍들과 그들에 각기 정렬된 상기 블록들의 구멍들에 각기 삽입되어 체결된 체결 나사들과; 상기 판재들 사이에 삽입된 상기 슬라이딩 블록의 나사 홈에 체결된 고정 나사를 포함하고, 상기 장치가 구동 장치에 체결되어, 구동되며, 상기 픽커에 의해 리드프레임이 언로딩되는 것을 특징으로 하는 슬라이딩 블록을 갖는 리드프레임 언로딩 장치를 제공한다.
이하, 첨부 도면을 참조하여 본 발명을 보다 상세하게 설명하고자 한다.
제 9도는 본 발명에 의한 리드프레임 이송 장치를 나타내는 사시도이다.
제 10도는 본 발명에 의한 리드프레임 언로딩 장치의 픽커를 나타내는 사시도이다.
제 11도는 본 발명에 의한 리드프레임 언로딩 장치의 슬라이딩 블록을 나타내는 결합 사시도이다.
제 12도는 제 10도의 A부분을 나타내는 결합 사시도이다.
제 9도 ~ 제 12도를 참조하면, 본 발명에 의한 리드프레임 이송 장치(500)는 각 픽커(390)가 슬라이딩 블록(310)에 의해 리드프레임(120)의 성형 부분(122)에 대응하여 각각 위치가 조정될 수 있는 구조를 갖는 것 외에는 종래 기술에 의한 리드프레임 이송 장치(400)와 동일한 구조를 갖는다.
제 10 ~ 제 12도를 참조하여 본 발명의 특징부인 언로딩 장치(410)를 설명하면, 언로딩 장치(410)는 4개의 픽커(390)를 포함하는 구조를 갖으며, 그 각 픽커(390)는 슬라이딩 블록(310)에 고정된 구조를 갖는다.
우선, 픽커(390)와 슬라이딩 블록(310)간의 관계를 설명하면, 본 발명에 의한 픽커(390)는 종래 기술의 픽커(90)에 있어서 제 2도의 고정면(20)의 하부와 체결되기 위해 형성된 홈(66)과 그(66)에 대응되는 너트(65)를 갖지 않는 구조를 갖으며, 진공 흡입관(360)의 외부에 삽입된 스프링(368)의 용도가 제 3도 종래 기술과는 달리 충격을 완충하기 위한 스프링(368)이고, 그 외의 구조는 종래 기술에 의한 픽커(90)와 동일한 구조를 갖기 때문에 설명을 생략하기로 한다.
그리고, 상기 진공 흡입관(360)이 제 2도 종래 기술의 몸체부(30)의 고정면(20)에 삽입되는 것과 같이 슬라이딩 블록(310)에 삽입되어 고정된다.
이 때, 슬라이딩 블록(310)의 내벽(311)의 재질은 고부 재질을 사용하여 그 내벽(311)에 삽입되는 상기 진공 흡입관(360)이 좌우로 치우치는 것을 방지한다.
여기서, 제 2도 종래 기술에 의한 고정면(20)에 고정된 픽커(90)는 언로딩 장치(100)와 일체로 움직이나 본 발명에 의한 픽커(390)는 언로딩 장치(410)와는 달리 움직인다. 이에 대해서는 후술하기로 한다.(제 13 도 ~ 제 15도 참조)
한편, 슬라이딩 블록(310)은 그(310)의 전면부(312)의 상하부가 단차지게 형성되어 제 12도의 절곡된 전면 판재(414)에 삽입되고, 또한 그(310)의 후면부의 상하부의 소정 부분에 한 쌍의 슬릿(316)이 형성되어 제 12도의 절곡된 후면 판재(416)에 삽입되도록 형성되어 있다.
상기 전면 판재(414)와 후면 판재(416)는 서로 마주보고 절곡되어 있다.
또한, 그 슬라이딩 블록(310)은 전면 판재(414)에 고정되기 위하여 그(310)의 전면부(312)의 소정 부분에 고정 나사 홈(314)이 형성되어 있으며, 그 고정 나사 홈(314)에 대응되는 고정 나사(318)가 체결되도록 전면 판재(414)의 소정 부분에 장홈(412)이 형성되어 있는 구조를 갖는다.
그리고, 제 12도를 참조하여 전후면 판재(414),(416)가 블록(418)에 고정된 관계를 설명하면, 상기 언로딩 장치(410)는 도면에 나타난 바와 같이 좌측 블록(418)의 전후에 나사 홈(419)이 형성되어 있으며, 그(418)의 나사 홈(419)에 대응하는 전·후면 판재(414),(416)에 형성된 구멍들(415)(417) 그리고, 상기 나사홈(419)에 각기 나사(411)가 상기 판재들(414),(416)의 외부에서 체결되어 고정되는 구조를 갖는다.
또한, 상기 언급된 체결 관계는 우측 역시 동일한 관계를 갖는다.
여기서, 상기 전면 판재(414)에 형성된 장홈(412)은 상기 그(412)의 좌우 측에 형성된 구멍(415)에 인접되도록 형성되어 있기 때문에 후술되겠지만 4개 정도의 픽커들(90)이 고정될 수 있다.
제 13도~제 15도는 본 발명의 실시예에 의한 리드프레임 이송 장치에 의해 리드프레임이 언로딩되는 단계를 나타내는 도면이다.
제 13도~제 15도는 본 발명의 실시예에 의한 언로딩 장치(410)는 리드프레임(120)의 성형 부분(122)이 4개인 경우의 예를 들고 있으며, 그(410)의 작동 관계는 전술된 제 4도~제 6도 언로딩 장치(100)의 작동 관계와 동이하다.
그러나, 제 14도를 참조하면 본 발명에 의한 언로딩 장치(410)의 픽커(390)는 슬라이딩 블록(310)의 하부면에 상기 픽커(390)가 고정된 것이 아니라 상기 슬라이딩 블록(310)의 하부면과 제 11도의 스프링 스토파(365)간에 존재되는 충격 완충용 스프링(368)이 상기 슬라이딩 블록을 탄성에 의해 밀어내고 있으며, 그 슬라이딩 블록(310)은 전술된 바와 같이 판재들(414),(416)에 의해 고정되어 있다.
따라서, 상기 픽커(390)의 진공 흡입구(370)가 리드프레임(120)의 성형부분(122)에 기계적으로 접촉된 후부터는 더 이상의 픽커(390)의 하강은 없으며, 대신 언로딩 장치(410) 자체가 하강되는 구조를 갖는다.
결국, 종래 기술에 있어서, 제 3도의 픽커(90)가 성형 부분(5'),(15')과 기계적 접촉이 된 후에 그 리드프레임(5)(15)이 진공에 의해 흡착되기 때문에 언로딩 장치(100)의 기계적 오차에 의해서 무리한 외력이 그 성형 부분(5'),(15')에 인가되는 경우에 있어서는 패키지 크랙 또는 칩 크랙을 유발하여 불량 제품이 발생되는 단점이 있다.
이와 같은 단점을 극복하기 위하여, 본 발명의 언로딩 장치(410)는 기계적 오차가 발생하되더락도 상기 픽커(390)의 진공 흡입구(370)가 상기 성형부분(122)에 기계적 접촉되더라도 조금은 더 하강되도록 세팅(setting)되어 있다.
이 때, 상기 픽커(390)는 더 이상 하강되고 않고 상기 언로딩 장치(410) 자체만이 하강되는 구조를 갖는다.
이것은 제 11도의 도면을 참조하면, 상기 픽커(390)는 상기 슬라이딩 블록(310)에 완전하게 고정된 것이 아니라 상기 픽커(390)의 스프링 스토파(365)와 상기 슬라이딩 블록(310) 사이에 삽입된 스프링(368)의 탄성에 의해서 고정된 것이다.
여기서, 상기 스프링(368)의 탄성력은 상기 슬라이딩 블록(310)을 과도하게 밀어내는 정도의 탄성을 갖는 것은 바람직하지 못하다.
따라서, 상기와 같이 픽커(390)의 진공 흡입구(370)가 상기 리드프레임(120)의 성형 부분(122)과 기계적 접촉이 이루어지며, 상기 하강되는 힘은 상기 스프링(368)을 누르는 힘으로 작용되며, 그의 반작용으로 상기 슬라이딩 블록(310)이 하강되는 것이다.
결국, 상기 접촉이 이루어진 다음, 상기 슬라이딩 블록(310)이 더 하강되더라도 상기 픽커(390)는 더 이상 하강되지 않기 때문에 상기 성형 부분(120)에 기계적 압력을 가하지 않는 구조를 갖는다.
제 16도는 본 발명의 다른 실시예에 의한 리드프레임 이송 장치에 의해 리드프레임이 언로딩 상태를 나타내는 도면이다.
제 17도는 제 16도를 확대하여 상세하게 나타내는 결합 사시도이다.
제 16도를 참조하면, 본 발명에 의한 리드프레임 이송 장치(410)를 이용하여 리드프레임(120')이 언로딩된 상태이며, 이는 그 리드프레임(120')의 성형 부분(122')이 3개인 경우를 나타내고 있다.
여기서, 제 17도는, 제 13도~제 15도와 같이 4개의 성형 부분(122)으로 이루어진 리드프레임(120)을 언로딩한 후, 소정 목적에 따라 3개의 성형 부분(122')으로 이루어진 리드프레임(120')을 언로딩하는 경우에 어떻게 제 7도 및 제 8도의 종래 기술과 달리 픽커(390)가 어떻게 배치되는 가에 대하여 설명하기로 한다.
우선, 종래 기술에서 설명한 바와 같이 이런 경우에 있어서는 언로딩 장치(100)의 많은 부분을 교체하거나 이에 대응되는 언로딩 장치가 신규로 제작되어야 했다.
그러나, 본 발명에서는 다음과 같이 이런 단점을 극복하고 있다.
(1) 우선, 전면 판재(414)의 우측에 체결된 나사(411)를 드라이브(driver)와 같은 수단을 이용하여 그 나사(411)를 풀어 제거한다.
상기 나사(411)와 한 쌍을 이루는 후면판재(416)의 나사(413) 또한 같은 방법을 이용하여 풀어 제거한다.
(2) 그런 다음, 우측 블록(418)을 제거한다.
(3) 그리고, 슬라이딩 블록(310)을 전면 판재(414)에 고정하는 고정 나사(318)를 손이나 기타 다른 수단에 의해 풀어 제거한다.
(4) 상기 고정 나사(318)가 제거된 다음, 슬라이딩 블록(418)은 손이나 기타 다른 수단에 의해서 언로딩 장치(410)의 외부로 완전히 제거한다.
(5) 그런 다음, 상기 제거된 블록(418)을 상기 전면 판재(414)와 후면 판재(416)에 삽입하고, 그 각 구멍들(415),(419),(417)이 각기 정렬되도록 한다.
(6) 이 정렬된 구멍들(415),(419),(417)에 대응되는 상기(1)단계에서 제거된 나사들(411),(413)을 체결한다.
이 때, 체결 방법은 상기 제거시 사용되던 수단을 이용한다.
(7) 그런 다음, 리드프레임(120')의 성형 부분(122')에 대응되도록 상기 픽커들(390)의 슬라이딩 블록(310)의 고정 나사(318)를 푼다.
이 때, 상기 고정 나사(318)가 제거되지 않고 풀린 상태에서 상기 리드프레임(120')의 성형 부분(122')에 대응되는 위치로 배치되도록 손이나 기타 수단을 이용하여 픽커들(390)을 이동한다.
(8) 그리고, 상기 슬라이딩 블록(310)의 고정 나사(318)를 조이면, 간단하게 리드프레임(120')의 성형 부분(122')이 다른 경우에 있어서도 유연하게 대처할 수 있다.
여기서, 상기(5)(6)단계는 상기(8)단계 다음에 진행하여도 동일한 효과를 갖는다. 그러나, 바람직한 것은 상기 (1)~(8)단계로 진행하는 것이다.
상기 제 16도 및 제 17도는 리드프레임의 성형 부분(122')이 3개인 경우에 대해서만 설명하였지만, 상기 리드프레임의 성형 부분이 5내지 그 이상인 경우에 있어서는 상기 전면 판재와 후면 판재의 길이가 긴 판재들을 이용하고, 또한 상기 성형 부분의 수에 대응되는 픽커들 상기 판재들의 사이에 삽입되면 된다.
그리고, 상기 리드프레임의 성형 부분이 많은 경우에는 그 성형 부분에 각기 대응되도록 픽커들을 삽입하여 사용하는 것이 가장 바람직하나, 그 성형 부분을 적절하게 간격을 두고 픽커를 배치하여도 된다.
이런 경우에는 리드프레임의 성형 부분을 충분히 흡착할 수 있는 경우에 한하는 것이 좋다.
또한, 상기 제 11도의 슬라이딩 블록이 전면부와 후면부의 형상이 다르게 되어 있으나, 동일하게 하거나 그 형상을 상기 슬라이딩 블록이 판재들에 슬라이딩이 될 수 있는 형상으로 바꾸어도 된다.
따라서, 본 발명에 따른 구조에 따르면, 간단한 수(手)조작에 의해 성형 부분의 수가 다른 리드프레임을 언로딩할 수 있기 때문에 성형 부분의 수가 각기 다른 리드프레임을 같은 작업에서 언로딩할 수 있으며, 그에 따른 작업 속도의 개선을 할 수 있다.
그리고, 그 성형 부분이 상이한 리드프레임에 각기 대응되는 언로딩 장치를 신규로 제작하거나 많은 부분을 교체해야 하는 경제적 손실을 방지할 수 있는 이점(利點)이 있다.

Claims (4)

  1. 반도체 제조 공정에 사용되는 리드프레임의 언로딩 장치에 있어서, 한 쌍의 판재(414, 416)로서, 양측 말단에 구멍이 형성되어 있으며, 그 판재(414, 416) 중의 어느 한 판재(414, 416)의 양측 말단에 형성된 구멍들 사이에 장홈(412)이 형성되어 있으며, 그 판재(414, 416)들의 상하부가 서로 마주보고 절곡되어 있는, 이격되어 마주보는 한 쌍의 판재(414, 416);
    상기 한 쌍의 판재(414, 416)의 양측 말단에 각각 위치하여 고정수단(411, 413)에 의해 상기 판재(414, 416)에 고정되어 있는 한 쌍의 블록(418);
    중심 부분에 관통 구멍이 형성되어 있으며 상기 판재(414, 416)의 장홈(412)이 형성된 부분에 대응되면 면에 나사 홈(314)이 형성된 하나 또는 그 이상의 슬라이딩 블록(310);
    상기 슬라이딩 블록(310)의 관통 구멍을 관통하여 고정되어 있으며, 진공수단과 연결된 가운데가 빈 돌기(348)를 갖는 진공나사(340)와 그 진공나사가 삽입되어 있는 진공 흡입관(360)을 갖는 하나 또는 그 이상의 피커(390);
    상기 픽커(390)의 진공 흡입관(360)의 외부, 상기 슬라이딩 블록(310)의 아래에 삽입된 스프링(368);
    그 스프링(368)이 튀어나가지 못하게 하도록 상기 스프링의 하부에 체결된 스프링 스토파(365);
    상기 판재(414, 416)에 상기 슬라이딩 블록(310)을 체결하기 위한 체결수단(316)을 포함하고,
    상기 장치(410)가 구동 장치에 체결되어 구동되며, 상기 픽커(390)에 의해 리드프레임이 언로딩되고, 상기 슬라이딩 블록(310)이 상기 판재(414, 416)들 사이에 형성된 공간에서 수평방향으로 움직일 수 있는 것을 특징으로 하는 슬라이딩 블록을 갖는 리드프레임 언로딩 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 슬라이딩 블록(310)은 상기 판재(414, 416)와 접촉되는 면에 수평방향으로 슬릿(316)이 형성되어 있고, 이 슬릿이 상기 판재(414, 416)의 굴곡된 단면에 끼워지도록 형성되어 상기 공간내에서 수평방향으로 이동될 수 있는 것을 특징으로 하는 슬라이딩 블록을 갖는 리드프레임 언로딩 장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 진공 나사(340)와 상기 진공 흡입관(360)의 사이에 와셔(345)가 개재되어 체결되는 것을 특징으로 하는 슬라이딩 블록을 갖는 리드프레임 언로딩 장치.
  4. 제1항에 있어서, 상기 슬라이딩 블록(310)의 관통 구멍에 삽입된 픽커(390)의 지름 방향의 움직임을 방지하기 위한 고무 재질의 내벽이 형성된 것을 특징으로 하는 슬라이딩 블록을 갖는 리드프레임 언로딩 장치.
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