JP4984075B2 - 基板の搬送装置及び搬送方法 - Google Patents
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Description
10:基板の搬送装置
12:フレーム
14:本体
16:吸着パッド
18:真空チャンバ(中空の角パイプ)
20:作業者
22:把手
24:ホース
26:3ポートバルブ(第1のバルブに相当)
28:開閉バルブ(第2のバルブに相当)
30:カプラ(連結部に相当)
32:カプラ(連結部に相当)
34:ホース
36:真空ポンプ
38:電源コード
40:圧力ゲージ
42:ホース
44:圧力ゲージ
P1V1=n1RT、P2V2=n2RT
である(ただし、P2の初期値は大気圧)。
仮に絶対圧力下でP1=0kPaとすると、初期の状態では
P1=0、
P2V2=n2RT…(I)である。
そして、3ポートバルブ26を開ポート26Bに切り換えて薄板ガラス基板Gが吸着パッド16によって吸着されると、真空チャンバ18の内部圧力P1’は、P1’(V1+V2)=n2RT=P2V2で表される(P1’は吸着パッド16によって薄板ガラス基板Gを吸着した後の真空チャンバ18の内部圧力)。
P1’V1={n2V1/(V1+V2)}RT
となる。さらに、3ポートバルブ26を開ポート26Bに再度切り換えて薄板ガラス基板Gが吸着パッド16によって再吸着されると、真空チャンバ18の内部圧力P1’’は、
P1’’(V1+V2)=〔n2+{n2V1/(V1+V2)}〕RT
なる関係になる(P1’’は吸着パッド16によって薄板ガラス基板Gを吸着した後に一度開放し、さらに再び吸着パッド16によって薄板ガラス基板Gを吸着した後の真空チャンバ18の内部圧力)。つまり、
P1’’=〔n2+{n2V1/(V1+V2)}〕RT/(V1+V2)
={n2/(V1+V2)+n2V1/(V1+V2)2}RT…(II)
となる。
一方(I)式により、RT=P2V2/n2であるので、断熱変化と仮定し計算を簡略した場合、(II)式は、
P1’’={n2/(V1+V2)+n2V1/(V1+V2)2}P2V2/n2…(III)
となり、(III)式は、
P1’’={1/(V1+V2)+V1/(V1+V2)2}P2V2…(IV)
となる(このときP2は大気圧である)。
なお、2005年7月8日に出願された日本特許出願2005−200051号の明細書、特許請求の範囲、図面及び要約書の全内容をここに引用し、本発明の明細書の開示として、取り入れるものである。
Claims (7)
- 本体に複数の吸着パッドが取り付けられ、これらの吸着パッドによって基板を真空吸着し保持することにより、該基板を搬送する基板の搬送装置において、
前記本体は複数本のフレームによって構成され、これらのフレームは中空のフレームを有し、
前記吸着パッドには第1のバルブを介して前記中空のフレームからなる真空チャンバが設けられており、該真空チャンバは第2のバルブと連結部を介して真空ポンプに脱着可能に取り付けられ、前記吸着パッドによって前記基板を複数回繰り返して保持することができる真空が得られる容積を有していることを特徴とする基板の搬送装置。 - 前記基板の搬送装置は、前記真空ポンプが前記連結部において前記真空チャンバから切り離されて使用される請求項1に記載の基板の搬送装置。
- 前記本体は複数本のパイプを格子状に組み付けし、さらに中空のパイプをたすき状に設けて構成されており、該中空のパイプが前記真空チャンバとして兼用されている請求項1又は2に記載の基板の搬送装置。
- 前記基板は、板厚が0.5〜1.1mm、一辺が1500mmを超えるガラス基板である請求項1〜3のいずれか一項に記載の基板の搬送装置。
- 前記フレームの材質がアルミニウムである請求項1〜4のいずれか一項に記載の基板の搬送装置。
- 前記本体に、真空チャンバの真空度を測定する圧力ゲージと吸着パッドの真空度を測定する圧力ゲージが設けられている請求項1〜5のいずれか一項に記載の基板の搬送装置。
- 中空のフレームを含む複数本のフレームからなる本体に複数の吸着パッドが取り付けられ、これらの吸着パッドによって基板を真空吸着し保持することにより、該基板を搬送する基板の搬送方法であって、
前記中空のフレームからなり、前記吸着パッドによって前記基板を複数回繰り返して保持することができる真空が得られる容積を有する真空チャンバに、前記吸着パッドを第1のバルブを介して接続し、該真空チャンバに第2のバルブと連結部を介して真空ポンプを脱着可能に取り付けし、
まず、基板の吸着前に、第1のバルブを閉じるとともに第2のバルブを開放し、真空チャンバを真空ポンプによって真空状態にし、
次に、第2のバルブを閉じるとともに、真空チャンバから真空ポンプを連結部において切り離し、
次いで、搬送装置の吸着パッドを基板に当接し、基板に対して吸着パッドを位置決めした後、第1のバルブを開放し、基板を吸着パッドによって真空吸着し、
この後、搬送装置を搬送することにより、基板を所定の位置に搬送することを特徴とする基板の搬送方法。
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