JPH1126553A - 吸着コレット - Google Patents
吸着コレットInfo
- Publication number
- JPH1126553A JPH1126553A JP18400497A JP18400497A JPH1126553A JP H1126553 A JPH1126553 A JP H1126553A JP 18400497 A JP18400497 A JP 18400497A JP 18400497 A JP18400497 A JP 18400497A JP H1126553 A JPH1126553 A JP H1126553A
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- Japan
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- suction
- vacuum
- vacuum tank
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ウエハー等を真空吸着する吸着コレットに関
し、コードレスとすることで吸着コレットの取扱いを容
易とし、電池を使用することの不都合をなくす。 【解決手段】 吸着口が開口する吸着面３′に所望部品
を真空吸着する吸着部３と、真空タンク４と、吸着部３
と真空タンク４とに連通する吸気路５と、外部操作で吸
気路５を開閉する吸気路開閉手段７と、真空逆止弁を介
して真空装置の吸気口に着脱自在に接続する接続部８と
真空タンク４とに連通する排気路６を備えている。
し、コードレスとすることで吸着コレットの取扱いを容
易とし、電池を使用することの不都合をなくす。 【解決手段】 吸着口が開口する吸着面３′に所望部品
を真空吸着する吸着部３と、真空タンク４と、吸着部３
と真空タンク４とに連通する吸気路５と、外部操作で吸
気路５を開閉する吸気路開閉手段７と、真空逆止弁を介
して真空装置の吸気口に着脱自在に接続する接続部８と
真空タンク４とに連通する排気路６を備えている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体装置の製造
に使用されるウェハーやチップのハンドリング等に、真
空吸着力を利用する吸着コレット、特にコードレスタイ
プの吸着コレットに関する。
に使用されるウェハーやチップのハンドリング等に、真
空吸着力を利用する吸着コレット、特にコードレスタイ
プの吸着コレットに関する。
【０００２】
【従来の技術】ウェハーや半導体チップ等のハンドリン
グには色々な方法があるが、一般に真空吸着力を利用す
るものが使用されており、真空吸着方式のものでは、ホ
ースで真空装置に接続して使用するもの、吸着力の維持
に電力（電池）を使用したコードレスタイプのものが知
られている。
グには色々な方法があるが、一般に真空吸着力を利用す
るものが使用されており、真空吸着方式のものでは、ホ
ースで真空装置に接続して使用するもの、吸着力の維持
に電力（電池）を使用したコードレスタイプのものが知
られている。
【０００３】ホースで真空装置に接続して使用する吸着
コレットは、ホースによって使用範囲が限定されると共
に作業性が損なわれる。特に、使用範囲を広くするため
ホースを長くすると、ホースを他のものに引っ掛けたり
折り曲げ易くなり、その結果、吸着力が低下しウエハー
等を落として破損させるという問題点があった。
コレットは、ホースによって使用範囲が限定されると共
に作業性が損なわれる。特に、使用範囲を広くするため
ホースを長くすると、ホースを他のものに引っ掛けたり
折り曲げ易くなり、その結果、吸着力が低下しウエハー
等を落として破損させるという問題点があった。
【０００４】そこで、吸着力の維持に電池を使用したコ
ードレスタイプのものが出現した。しかし、従来のそれ
は吸着力の低下に係わる電池の消耗度が不明であり、か
つ、クリーンルーム内では電池交換時に発生する塵埃が
問題となっていた。
ードレスタイプのものが出現した。しかし、従来のそれ
は吸着力の低下に係わる電池の消耗度が不明であり、か
つ、クリーンルーム内では電池交換時に発生する塵埃が
問題となっていた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】以上説明したように、
ホースで真空装置に接続して使用する従来の吸着コレッ
トは、ホースによって作業性が損なわれると共に、使用
できる範囲が限定されるという問題点があり、電池を内
蔵するポータブル方式の従来の吸着コレットは、早めに
電池交換が必要であり、電池交換時の発塵がクリーンル
ームを汚染すると共に、使用済み電池が地球環境を害す
るという問題点があった。
ホースで真空装置に接続して使用する従来の吸着コレッ
トは、ホースによって作業性が損なわれると共に、使用
できる範囲が限定されるという問題点があり、電池を内
蔵するポータブル方式の従来の吸着コレットは、早めに
電池交換が必要であり、電池交換時の発塵がクリーンル
ームを汚染すると共に、使用済み電池が地球環境を害す
るという問題点があった。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明の目的は前記問題
点を解決することであり、本発明の第１の吸着コレット
は、吸着口が開口する吸着面に所望部品を真空吸着する
吸着部と、真空タンクと、該吸着部と該真空タンクとに
接続する吸気路と、外部操作で該吸気路を開閉する吸気
路開閉手段と、真空逆止弁を介して真空装置の吸気口に
着脱自在に接続する接続部と該真空タンクとに連通する
排気路を備えたことである。
点を解決することであり、本発明の第１の吸着コレット
は、吸着口が開口する吸着面に所望部品を真空吸着する
吸着部と、真空タンクと、該吸着部と該真空タンクとに
接続する吸気路と、外部操作で該吸気路を開閉する吸気
路開閉手段と、真空逆止弁を介して真空装置の吸気口に
着脱自在に接続する接続部と該真空タンクとに連通する
排気路を備えたことである。
【０００７】本発明の第２の吸着コレットは、前記本発
明の第１の吸着コレットにおいて、前記吸気路と吸着部
との接続部が着脱自在であることである。本発明の第３
の吸着コレットは、前記本発明の第１の吸着コレットに
おいて、前記吸気路開閉手段には、前記吸気路を閉じた
とき前記吸着口に連通する通気路を有することである。
明の第１の吸着コレットにおいて、前記吸気路と吸着部
との接続部が着脱自在であることである。本発明の第３
の吸着コレットは、前記本発明の第１の吸着コレットに
おいて、前記吸気路開閉手段には、前記吸気路を閉じた
とき前記吸着口に連通する通気路を有することである。
【０００８】本発明の第４の吸着コレットは、前記本発
明の第１の吸着コレットにおいて、前記真空タンクの内
部圧力の変化に伴って移動する慴動子を該真空タンクに
内蔵し、該慴動子を透視可能な部材で該真空タンクの構
成部材の少なくとも一部が形成され、該慴動子の位置を
知る目盛が該慴動子の透視可能な領域に設けられている
ことである。
明の第１の吸着コレットにおいて、前記真空タンクの内
部圧力の変化に伴って移動する慴動子を該真空タンクに
内蔵し、該慴動子を透視可能な部材で該真空タンクの構
成部材の少なくとも一部が形成され、該慴動子の位置を
知る目盛が該慴動子の透視可能な領域に設けられている
ことである。
【０００９】本発明の第５の吸着コレットは、前記本発
明の第４の吸着コレットにおいて、前記目盛が吸着可否
領域で色分けされていることである。前記本発明の第１
の吸着コレットは、真空タンクを例えば水中で３００ｍ
ｍ程度の真空とし、その真空を利用して所望部品を吸着
部の吸着面に吸着するようになる。従って、従来の真空
ホースおよび電池が不要となり、真空ホースおよび電池
を使用することで生じる前記問題点が解決される。
明の第４の吸着コレットにおいて、前記目盛が吸着可否
領域で色分けされていることである。前記本発明の第１
の吸着コレットは、真空タンクを例えば水中で３００ｍ
ｍ程度の真空とし、その真空を利用して所望部品を吸着
部の吸着面に吸着するようになる。従って、従来の真空
ホースおよび電池が不要となり、真空ホースおよび電池
を使用することで生じる前記問題点が解決される。
【００１０】前記本発明の第２の吸着コレットは、吸着
する所望部品に適した吸着部を、選択的に利用できるよ
うにする。前記本発明の第３の吸着コレットは、吸着し
ていた所望部品の吸着解除に際し、吸着部吸着口の真空
が吸気路開閉手段の操作で大気圧になる。従って、吸着
されていた所望部品と吸着コレットとの離脱は、容易か
つ迅速化が可能になる。
する所望部品に適した吸着部を、選択的に利用できるよ
うにする。前記本発明の第３の吸着コレットは、吸着し
ていた所望部品の吸着解除に際し、吸着部吸着口の真空
が吸気路開閉手段の操作で大気圧になる。従って、吸着
されていた所望部品と吸着コレットとの離脱は、容易か
つ迅速化が可能になる。
【００１１】前記本発明の第４の吸着コレットは、真空
タンク内の真空度が使用できるかどうかを、慴動子と目
盛シートから目視できるようになる。前記本発明の第５
の吸着コレットは、真空タンク内の真空度が使用できる
かどうかの目視確認が容易になる。
タンク内の真空度が使用できるかどうかを、慴動子と目
盛シートから目視できるようになる。前記本発明の第５
の吸着コレットは、真空タンク内の真空度が使用できる
かどうかの目視確認が容易になる。
【００１２】
【発明の実施の形態】図１は本発明の実施例による吸着
コレットの説明図、図２は図１の吸着コレットに貼着し
た目盛シートの説明図、図３は図１の吸着コレットに使
用した吸着部の吸着面の説明図、図４は本発明の他の実
施例による吸着コレットの説明図である。
コレットの説明図、図２は図１の吸着コレットに貼着し
た目盛シートの説明図、図３は図１の吸着コレットに使
用した吸着部の吸着面の説明図、図４は本発明の他の実
施例による吸着コレットの説明図である。
【００１３】図１において、吸着コレット１は、本体部
２から突出する吸気路５の先端に吸着部３を挿着してな
る。本体部２は真空タンク４と、一端（右端）が真空タ
ンク４の真空室４′に連通する吸気路（吸気管）５と排
気路（排気管）６および、吸気路５の中間部が貫通する
操作ピン（吸気路開閉手段）７を備え、吸気路５の他端
（図の左端）には吸着部３が挿着され、排気路６の他端
には真空装置の吸気口に着脱自在な接続部８が接続さ
れ、接続部８には真空逆止弁を内蔵している。
２から突出する吸気路５の先端に吸着部３を挿着してな
る。本体部２は真空タンク４と、一端（右端）が真空タ
ンク４の真空室４′に連通する吸気路（吸気管）５と排
気路（排気管）６および、吸気路５の中間部が貫通する
操作ピン（吸気路開閉手段）７を備え、吸気路５の他端
（図の左端）には吸着部３が挿着され、排気路６の他端
には真空装置の吸気口に着脱自在な接続部８が接続さ
れ、接続部８には真空逆止弁を内蔵している。
【００１４】真空タンク４は、透視可能な部材例えばガ
ラスにてなる円筒部材９と、円筒部材９の一端（右端）
に接合した蓋部材１０と、円筒部材９の他端（左端）に
気密接合させたフランジ部材１１にてなり、フランジ部
材１１に吸気路５と排気路６の一端が気密接合されてい
る。
ラスにてなる円筒部材９と、円筒部材９の一端（右端）
に接合した蓋部材１０と、円筒部材９の他端（左端）に
気密接合させたフランジ部材１１にてなり、フランジ部
材１１に吸気路５と排気路６の一端が気密接合されてい
る。
【００１５】真空タンク４には、真空室４′即ち円筒部
材９とフランジ部材１１および慴動部材１２で区画され
た真空室４′の圧力変化で慴動する慴動子１２を内蔵
し、慴動子１２には円筒部材９の内面に沿って慴動する
真空用Ｏリング１３が嵌着されている。
材９とフランジ部材１１および慴動部材１２で区画され
た真空室４′の圧力変化で慴動する慴動子１２を内蔵
し、慴動子１２には円筒部材９の内面に沿って慴動する
真空用Ｏリング１３が嵌着されている。
【００１６】蓋部材１０と慴動子１２との間には圧縮コ
イルばね１４が挿設されており、排気路６の接続部８を
真空装置に接続して真空室４′内のエアーを排気する
と、真空室４′の圧力減少に伴って慴動子１２は図の左
方向に移動する。そして、減圧された真空室４′にエア
ーが注入されると慴動子１２は、図の右方向に移動する
ようになる。
イルばね１４が挿設されており、排気路６の接続部８を
真空装置に接続して真空室４′内のエアーを排気する
と、真空室４′の圧力減少に伴って慴動子１２は図の左
方向に移動する。そして、減圧された真空室４′にエア
ーが注入されると慴動子１２は、図の右方向に移動する
ようになる。
【００１７】吸気路５と排気路６は、円筒部材１７と円
筒部材１７に嵌着した一対のフランジ部材１８および１
９によって支持されており、円筒部材１７の一部（右端
部）にフランジ部材１１が嵌合し、フランジ部材１１と
１９の当接面およびフランジ部材１１と円筒部材１７の
嵌合部は、はんだまたは接着剤等を用い固着されてい
る。
筒部材１７に嵌着した一対のフランジ部材１８および１
９によって支持されており、円筒部材１７の一部（右端
部）にフランジ部材１１が嵌合し、フランジ部材１１と
１９の当接面およびフランジ部材１１と円筒部材１７の
嵌合部は、はんだまたは接着剤等を用い固着されてい
る。
【００１８】図示しないストッパーによって上下方向の
移動量が設定された操作ピン７は、圧縮コイルばね１５
によって常時上方に押し上げられており、吸気路５の中
間部は操作ピン７によって遮断されている。そこで、手
指によって操作ピン７を所定量だけ押し下げると、操作
ピン７の中間部に設けられた透孔１６は吸気路５に連通
するようになり、吸着部３の吸着面３′には、吸着面
３′が接する所望部品例えば半導体ウエハーを真空吸着
するようにる。
移動量が設定された操作ピン７は、圧縮コイルばね１５
によって常時上方に押し上げられており、吸気路５の中
間部は操作ピン７によって遮断されている。そこで、手
指によって操作ピン７を所定量だけ押し下げると、操作
ピン７の中間部に設けられた透孔１６は吸気路５に連通
するようになり、吸着部３の吸着面３′には、吸着面
３′が接する所望部品例えば半導体ウエハーを真空吸着
するようにる。
【００１９】次いで、操作ピン７の押下力を解除すると
操作ピン７は、圧縮コイルばね１５の復元力により図示
の位置に上昇復帰し、吸気路５の中間部が操作ピン７に
よって遮断されるようになる。すると、吸着面３′に吸
着されていた所望部品例えば半導体ウエハーは、吸着面
３′からの僅かなリークまたは吸着面３′を軽く捩じる
ようにすることで、吸着部３から解放されるようにな
る。
操作ピン７は、圧縮コイルばね１５の復元力により図示
の位置に上昇復帰し、吸気路５の中間部が操作ピン７に
よって遮断されるようになる。すると、吸着面３′に吸
着されていた所望部品例えば半導体ウエハーは、吸着面
３′からの僅かなリークまたは吸着面３′を軽く捩じる
ようにすることで、吸着部３から解放されるようにな
る。
【００２０】図１および図２において、透視可能なガラ
ス部材にてなる円筒部材９には、真空タンク４の長さ方
向に整列する目盛り線２３を記した目盛シート２２が貼
着されており、円筒部材９を通して見える慴動子１２と
目盛シート２２の位置関係が分かるようになっている。
ス部材にてなる円筒部材９には、真空タンク４の長さ方
向に整列する目盛り線２３を記した目盛シート２２が貼
着されており、円筒部材９を通して見える慴動子１２と
目盛シート２２の位置関係が分かるようになっている。
【００２１】そこで、目盛シート２２を左右方向に色分
け、例えば左側の所定領域（図２の左斜線記入領域）Ａ
を青、右側の所定領域（図２の右斜線記入領域）Ｂを赤
に色分けし、その色分けの境界を吸着コレット１の吸着
の可否判定位置に合わせて貼着すれば、青の所定領域Ａ
に慴動子１２が位置するときは吸着コレット１の吸着が
可能で、赤の所定領域Ｂに慴動子１２が位置するときは
吸着コレット１の吸着が不可となることが、一目で分か
るようになる。
け、例えば左側の所定領域（図２の左斜線記入領域）Ａ
を青、右側の所定領域（図２の右斜線記入領域）Ｂを赤
に色分けし、その色分けの境界を吸着コレット１の吸着
の可否判定位置に合わせて貼着すれば、青の所定領域Ａ
に慴動子１２が位置するときは吸着コレット１の吸着が
可能で、赤の所定領域Ｂに慴動子１２が位置するときは
吸着コレット１の吸着が不可となることが、一目で分か
るようになる。
【００２２】図１および図３において吸着部３は、吸着
面３′に吸着口２０が開口し、吸着口２０は吸着部３内
に設けた通路２１を通って、吸気路５に連通されるよう
になる。かかる吸着部３は、吸着した部品を傷付けず、
吸気路５への気密嵌着を容易にするため、ゴム弾性部材
で作成することが望ましい。
面３′に吸着口２０が開口し、吸着口２０は吸着部３内
に設けた通路２１を通って、吸気路５に連通されるよう
になる。かかる吸着部３は、吸着した部品を傷付けず、
吸気路５への気密嵌着を容易にするため、ゴム弾性部材
で作成することが望ましい。
【００２３】図４において、吸着コレット３１は本体部
３２の吸気路５に吸着部３を挿着してなる。吸着コレッ
ト１の本体部２に対する本体部３２の相違点は、ガラス
にてなる円筒部材９に変えて金属製の円筒部材３３を使
用し、円筒部材３３には慴動部材１２の一部が目視可能
な気密窓３４を設けたこと、操作ピン７に変えて使用す
る操作ピン３５には、透孔１６の他に通気孔３６を設け
たことである。
３２の吸気路５に吸着部３を挿着してなる。吸着コレッ
ト１の本体部２に対する本体部３２の相違点は、ガラス
にてなる円筒部材９に変えて金属製の円筒部材３３を使
用し、円筒部材３３には慴動部材１２の一部が目視可能
な気密窓３４を設けたこと、操作ピン７に変えて使用す
る操作ピン３５には、透孔１６の他に通気孔３６を設け
たことである。
【００２４】金属例えばステンレスにてなる円筒部材３
３は、円筒部材９に比べて衝撃に対する強度が向上する
利点がある半面、吸着の可否を目視で判断可能にする、
即ち慴動子１２の位置を目視可能にするため、円筒部材
３３の中が透視できる気密窓３４を設ける必要が生じ
る。
３は、円筒部材９に比べて衝撃に対する強度が向上する
利点がある半面、吸着の可否を目視で判断可能にする、
即ち慴動子１２の位置を目視可能にするため、円筒部材
３３の中が透視できる気密窓３４を設ける必要が生じ
る。
【００２５】そして、操作ピン３５の通気孔３６は、非
操作時に吸着部３の吸着口２０に連通するように設けて
ある。従って、操作ピン３５を押下し吸着部３に所望部
品を吸着したのち、操作ピン３５の押下力を解除すると
吸着口２０の吸着力は直ちに零となり、所望部品からの
吸着コレット３１の離脱が即座に可能になる。
操作時に吸着部３の吸着口２０に連通するように設けて
ある。従って、操作ピン３５を押下し吸着部３に所望部
品を吸着したのち、操作ピン３５の押下力を解除すると
吸着口２０の吸着力は直ちに零となり、所望部品からの
吸着コレット３１の離脱が即座に可能になる。
【００２６】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によるコー
ドレスタイプの吸着コレットは、ホースで真空装置に接
続して使用する従来の吸着コレットに対し、作業性が向
上すると共にホースにより発生する障害を解決し、電池
を必要とする従来の吸着コレットに対し、電池交換によ
るクリーンルームの汚染および使用済み電池による環境
汚染を解決した。
ドレスタイプの吸着コレットは、ホースで真空装置に接
続して使用する従来の吸着コレットに対し、作業性が向
上すると共にホースにより発生する障害を解決し、電池
を必要とする従来の吸着コレットに対し、電池交換によ
るクリーンルームの汚染および使用済み電池による環境
汚染を解決した。
【図１】 本発明の実施例による吸着コレットの説明図
【図２】 図１の吸着コレットに貼着した目盛シートの
説明図
説明図
【図３】 図１の吸着コレットに使用した吸着部の吸着
面の説明図
面の説明図
【図４】 本発明の他の実施例による吸着コレットの説
明図
明図
１、３１ 吸着コレット ２、３２ 吸着コレット本体部 ３ 吸着部 ４ 真空タンク ４′ 真空室 ５ 吸気路 ６ 排気路 ７、３５ 操作ピン（吸気路開閉手段） ８ 接続部 １２ 慴動子 ２２ 目盛シート ３４ 気密窓 ３６ 通気孔
Claims (5)
- 【請求項１】 吸着口が開口する吸着面に所望部品を真
空吸着する吸着部と、真空タンクと、該吸着部と該真空
タンクとに連通する吸気路と、外部操作で該吸気路を開
閉する吸気路開閉手段と、真空逆止弁を介して真空装置
の吸気口に着脱自在に接続する接続部と該真空タンクと
に連通する排気路を備えたことを特徴とする吸着コレッ
ト。 - 【請求項２】 前記吸気路と吸着部との接続部が着脱自
在であることを特徴とする請求項１記載の吸着コレッ
ト。 - 【請求項３】 前記吸気路開閉手段は、前記吸気路を閉
じたとき前記吸着口に連通する通気路を有することを特
徴とする請求項１記載の吸着コレット。 - 【請求項４】 前記真空タンクの内部圧力の変化に伴っ
て移動する慴動子を該真空タンクに内蔵し、該慴動子を
透視可能な部材で該真空タンクの構成部材の少なくとも
一部が形成され、該慴動子の位置を知る目盛が該慴動子
の透視可能な領域に設けられていることを特徴とする請
求項１記載の吸着コレット。 - 【請求項５】 前記目盛が吸着可否領域で色分けされて
いることを特徴とする請求項４記載の吸着コレット。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18400497A JPH1126553A (ja) | 1997-07-09 | 1997-07-09 | 吸着コレット |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18400497A JPH1126553A (ja) | 1997-07-09 | 1997-07-09 | 吸着コレット |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1126553A true JPH1126553A (ja) | 1999-01-29 |
Family
ID=16145647
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18400497A Pending JPH1126553A (ja) | 1997-07-09 | 1997-07-09 | 吸着コレット |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1126553A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2007007642A1 (ja) * | 2005-07-08 | 2007-01-18 | Asahi Glass Company, Limited | 基板の搬送装置及び搬送方法 |
| JP2007019172A (ja) * | 2005-07-06 | 2007-01-25 | Mitsubishi Electric Corp | 真空ピンセット |
| WO2009001889A1 (ja) * | 2007-06-26 | 2008-12-31 | Yoshioka Seiko Co., Ltd. | チャックテーブルおよび被加工物検査装置 |
| EP2182549A1 (en) * | 2008-11-03 | 2010-05-05 | Eurotron B.V. | Mobile table and lamination system comprising such table |
| KR101539200B1 (ko) * | 2015-02-16 | 2015-07-24 | 최병근 | 휴대용 진공생성유지장치 |
| JP2016162914A (ja) * | 2015-03-03 | 2016-09-05 | 株式会社ディスコ | 真空ピンセット |
| CN108436515A (zh) * | 2018-03-23 | 2018-08-24 | 昆山冠品优精密机械有限公司 | 快速装夹夹头 |
| CN113607101A (zh) * | 2021-07-30 | 2021-11-05 | 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所 | 一种圆柱筒类零件检测固定装置及固定方法 |
-
1997
- 1997-07-09 JP JP18400497A patent/JPH1126553A/ja active Pending
Cited By (11)
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