JPS6122772Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 本考案は、半導体ウエフアー等の精密な操作を
必要とする物体の処理に用いられるバキユームピ
ンセツトに関し、さらに詳しくは、簡単な構造に
改良された閉鎖型バキユームピンセツトに関す
る。

従来のバキユームピンセツトには、閉鎖型と開
放型の二つのタイプがあり、それぞれの長所とと
もに種々の問題を兼ね備えている。即ち、従来の
開放型バキユームピンセツトは、一端にペン先状
のピンセツト先端部が嵌合され他端にはバキユー
ムポンプからの配管との結合の為の接合部が設け
られた本体に、バキユームポンプで吸引される空
気を通す管が貫通されていて、かつ、この管を横
切る方向に管と連通した穴が設けられている簡単
な構造のもので、その操作は前記穴を指で閉じる
ことによりピンセツト先端部にバキユームが効い
て所望の物体を吸いつけるものであるが、不要な
時にも常に本体の管および穴（ともに開放されて
いる）を通して空気がバキユームポンプに吸引さ
れる為、バキユームポンプに負担がかかりすぎる
と他の同様なピンセツトや、そのバキユームポン
プを使用している機械等に影響を及ぼし、機能上
に支障をきたす例がしばしば見られた。また、不
要時にも常にバキユームポンプに空気が吸引され
るということは、バキユームポンプが常時フル回
転することであり、エネルギー消費の面において
も問題があつた。

一方、従来の閉鎖型バキユームピンセツトは、
バキユームポンプからの管をゴムパツキンする為
のチユーブジヨイントおよびストツパから成るジ
ヨイント部と、操作者が手で持つハンドル部と、
バキユームされた空気の流入を開閉する為のシヤ
ツターバネ、シヤツター台座、シヤツター、シヤ
ツター皿、シヤツター押さえおよびコイルバネか
ら成るシヤツター部と、ピンセツト先端ホルダー
部とで順次構成される10個以上の金属部品から成
る本体に物体を吸引するペン先状のピンセツト先
端が取付けられていて、構造が複雑であり、保守
が充分に行われないと、動きが悪くなつたり、バ
キユームのもれが発生し易かつた。これは(a)金属
製である為サビが発生し、バキユームされた空気
のピンセツト先端への流入を開閉するシヤツター
部の動きが悪くなり易い、(b)シヤツターバネとし
て板バネを使用している為この部分が損傷し易
く、損傷すると動きが悪くなる、(c)ゴムパツキン
によりシールしている為そこからバキユームのも
れが発生し易いなどといつた構造上の欠点を原因
とするものである。

これら両タイプの長所を生かしつつ短所を克服
する為に、本考案における主たる目的は、従来の
閉鎖型の欠点である保守の困難性を構造を簡略化
し、欠陥箇所を改善することによつて打開すると
同時に、閉鎖型の利点であるバキユームポンプへ
の負担とエネルギー消費両面における経済性を維
持した、半導体ウエフアー等の微小な物体の取扱
いに最適なバキユームピンセツトを提供すること
で、さらに他の目的としては、構造が簡略化さ
れ、安価で経済性の高いバキユームピンセツトを
半導体装置製造に用いることによつて、半導体装
置の製造コストの引き下げに貢献しようとするも
のである。

次に、添付図面を参照して本考案について詳細
に説明する。第１図に示す本考案のバキユームピ
ンセツトは、好ましくは透明であるアクリル等の
合成樹脂製で長手方向にバキユームされた空気が
通る管（通路）２が設けられた本体１を含んでい
る。該本体１はバキユームされた空気の流入を開
閉する為の押ボタン３およびピストン４から成る
シヤツター部ないし弁体を有しており、一端に金
属製のピンセツト先端６（従来例と同様のもの）
が嵌合され、他端にはバキユームポンプと継ぐ為
の金属製の結合部５が設けられている。本体に設
けられた管２は、ピストンスイツチを設ける部分
２′が細くなつている。ここにピン７を嵌合する
管１０およびピストン４が上下に摺動可能に嵌合
される管（シリンダー孔）１１（第１図のＢ方向
からみた第４図参照）を設ける。このピストンの
嵌合される管１１は前記空気の通る管２を該管と
交差する方向に貫いていて、管１１の直径は管
２′より大きくなつており、ここにピストン４が
収容される。上記の如く、管２は部分２′のとこ
ろで部分的に細くなつているので、ここを通る空
気の圧力は他の部分より低くなり、ピストン４を
引きあげるのに充分な力を発生する為、真空の負
圧がかかつている時は、ピストン４が自動的に上
にあがり管１１の終端がピストン４と当接し停止
位置規制手段１３として機能し、ピストン４は、
管２を遮断する位置で停止する。第２図に示した
ように、指で押ボタンピストン移動手段３を押し
た場合のみ、ピストン４が下にさがり管２を遮断
させない位置まで移動する。従つて、バキユーム
された空気がピンセツト先端６まで伝わり、物を
吸引できるようになる。この空気を通す管２は、
前部でピンセツト先端６と嵌合され、（第１図の
Ａ方向からみた第３照参照）、後部にはバキユー
ムポンプからの管とのシールの為の金属結合部５
がねじではめこまれている（第１図のＣ方向から
みた第５図参照）。

本考案は以上の様な構造を有する為、通常、バ
キユームされた空気が通つている時は、従来の閉
鎖型のものに設けられていたバネ等がなくとも、
自動的にピストンが上にあがつて閉の状態になり
ピンセツト先端へのバキユームは遮断される。使
用する時（即ち、物体を吸いつけたい時）は、押
ボタンを指で押してピストンをさげることで開の
状態になり、ピンセツト先端にバキユームが効
き、物体（スライス等、微細な取扱いを必要とす
るもの）を吸いつけることができる。不要になれ
ば、押ボタンを離せば自動的に閉の状態となりバ
キユームされた空気は遮断される。

以上の様に本考案は、従来例の閉鎖型のもので
用いていたバネを使用せずに、バキユームの負圧
のみを利用することにより、ボタンを押したり離
したりするだけで、ピンセツト先端にバキユーム
を効かせて物を吸いつけたり放したりできること
を特徴とする。この様な閉鎖型バキユームピンセ
ツトは先に述べた閉鎖型の従来例と同様にバキユ
ームポンプへの負担およびエネルギー消費両面で
の経済性における利点を有するとともに、自動的
にバキユームが遮断されることによりバキユーム
のもれを防止することができる。さらに、構造が
簡単である為、ただ単に故障が少くなるだけでな
く保守に関する閉鎖型バキユームピンセツトの問
題点を改善し、さらに種々の利点を与えている。
即ち、(a)本体は合成樹脂で作ることができる為、
従来例で多くみられたようなサビによる機能低下
は考えられず、また、合成樹脂として透明プラス
チツク（主にアクリル樹脂）材料を使用すれば、
バキユームの通る管２の状態がわかり、ここにゴ
ミの付着等があれば洗滌し、常に清浄な状態に保
つことができる（ゴミは半導体装置製造において
常に問題となるもので、この意味で重要な利点で
ある）；(b)バネを使用していない為、従来例のよ
うな板バネの損傷による問題は避けらる；(c)使用
する押ボタンのタツチは軽く、操作における疲労
を軽減できる；(d)殆んどの部分が金属製である従
来のものに比べ軽い為、操作し易く、従来の約３
分の１以下のコストで製造できるといつた点であ
る。

以上の様に、本考案に従えば従来の長所を生か
したまま短所が改善され、より半導体ウエフア等
の処理（移動）に用いるのに適したバキユームピ
ンセツトを安価に得ることができ、ひいては、半
導体装置製造におけるコストダウン、歩留りの向
上に貢献する。

尚、本バキユームピンセツトは、半導体ウエフ
アーに限らず、その他の微小な部品の取扱いにも
最適である。さらに、本考案の細部における一部
の改変は、本考案の主旨の中に含まれるものと考
える。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案によるバキユームピンセツトの
全体の断面図、第２図は押ボタンを押した状態に
おけるシヤツター部の断面図、第３図は第１図Ａ
方向から見た本体の前部を示す図、第４図は第１
図Ｂ方向からみた本体のシヤツター部の図、第５
図は第１図Ｃ方向からみた本体の後部を示す図で
ある。 １……本体、２……管、３……押ボタン、４…
…ピストン、５……接合部、６……ピンセツト先
端。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 一端が被吸着物に吸着可能に開口され他端が負
   圧源に連通する通路２と前記通路２の途中に設け
   られ且つ一端が大気に連通するシリンダー孔１１
   とが形成された本体と、前記シリンダー孔１１内
   における前記通路２を遮断する第１の位置とこの
   第１の位置より大気側であり且つ前記通路２を遮
   断させない第２の位置との間に前記シリンダー孔
   １１内の気密性を保ちながら前記シリンダー孔１
   １内を移動するピストン４と、前記ピストンが前
   記シリンダー孔１１内と大気側の圧力差により移
   動されたときに、前記ピストン４を前記第１の位
   置で停止させるピストン停止位置規制手段１３
   と、前記ピストン停止位置規制手段１３により前
   記第１の位置に停止された前記ピストン４を前記
   負圧源に抗して強制的に前記第２の位置に移動さ
   せる移動手段３と、を有するバキユームピンセツ
   ト。