JPH0436049Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この考案は電子顕微鏡用仕切弁、特に電子顕微
鏡の陽極室と鏡筒を仕切る仕切弁に関するもので
ある。

〔従来の技術〕

第３図は電子顕微鏡の陽極室と鏡筒を仕切る従
来の仕切弁（エアロツク弁）の断面図、第４図お
よび第５図はその動作状態を示す一部の断面図で
ある。図において、１は電子顕微鏡の陽極室、２
は鏡筒で、これらを仕切る仕切弁３が設けられて
いる。仕切弁３は、陽極室１および鏡筒２間に形
成された弁座４を閉じるように、陽極室１側に形
成された仕切弁取付穴５内を移動可能に設けられ
ている。

仕切弁３は、Ｏリング６を介して弁座４にスラ
イド可能に当接する弁体７と、この弁体７の上に
重合される押え板８と、弁体７および押え板８の
対向面に形成された三角溝９，１０間に挿入され
たボール１１と、押え板８を弁体７側に押圧する
ばね（板ばね）１２と、先端部がボール１１に係
合し他端にピストン１３を有するロツド１４と、
ピストン１３を移動させるエアシリンダ１５と、
ピストン１３を仕切弁取付穴５側に押圧するばね
１６と、ピストン１３の移動位置を限定するスト
ツパ１７と、エアシリンダ１５にエアを供給する
給気口１８とを有している。

第４図は仕切弁３が開いている状態を示し、第
５図は閉じている状態を示している。

上記仕切弁３はばね１６により閉じ、エアによ
り開かれる。仕切弁３を閉じるときは、エアシリ
ンダ１５へのエアの供給を停止すると、ばね１６
の押圧力によりピストン１３が左側に押され、ボ
ール１１が三角溝９，１０に系合した状態で、ロ
ツト１４がボール１１を押し、これにより弁体７
および押え板８も仕切弁取付穴５内を前進する。
第４図に示すように、弁体７および押え板８が取
付穴５の奥壁１９に当り、さらにばね１６の力に
よりロツド１４がボール１１を押すと、第５図に
示すように、ボール１１が三角溝９，１０の中心
からはずれて、弁体７および押え板８を押し広
げ、これによつてＯリング６が弁座４に押し付け
られシールが行われる。

仕切弁３を開くときは、給気口１８にエアを供
給すると、ばね１６に抗してピストン１３がスト
ツパ１７に当るまで右に移動し、これによりボー
ル１１が引かれて三角溝９，１０の中心部に戻
り、さらにロツド１４が移動すると弁７および押
え板８が取付穴５内を引出され、弁座４が開放さ
れる。

〔考案が解決しようとする問題点〕

しかしながら、このような従来の仕切弁におい
ては、ボール１１が三角溝９，１０の斜面に載つ
て弁体７を押しているため、鏡筒２を大気にした
とき、大気圧でボール１１およびロツド１４が押
し戻され、Ｏリング６を押える力が弱くなつて陽
極室１に大気が流入するという問題点があつた。

この考案は上記問題点を解決するためのもの
で、ボールを平面で支持することにより、十分逆
圧に耐え、かつ部品の寸法誤差を吸収でき、加工
精度が低くてもよい電子顕微鏡用仕切弁を提供す
ることを目的としている。

〔問題点を解決するための手段〕

この考案は、シール部材を介して弁座に当接す
る弁体と、この弁体に重合される押え板と、前記
弁体および押え板の対向面に形成されたボール収
納溝と、このボール収納溝に収納されかつボール
収納溝から出て弁体および押え板の対向面間に移
動可能に設けられたボールと、このボールを移動
させるように係合するロツドと、前記押え板を弁
体側に押圧するばねと、前記押え板および仕切弁
取付部の上壁間に設けられた弾性体とを備えた電
子顕微鏡用仕切弁である。

シール部材としてはＯリング等が使用できる。
ボール収納溝は三角溝が好ましいが、他の構造の
ものでもよい。ボールは２個づつ並べて対向する
ボール収納溝に収納しかつ移動できるようにする
のが好ましい。ロツドはボールと係合した状態で
移動できるようにし、ばねおよび（または）エア
シリンダ等の流体圧シリンダで移動させるのが好
ましいが、手動にすることもできる。仕切弁取付
部は仕切弁取付穴その他の仕切弁を取付けてシー
ルを行う部分である。

〔作用〕

以上のように構成された仕切弁を閉じるとき
は、仕切弁取付部においてロツドを移動させる
と、ボールがボール収納溝から出て弁体および押
え板の対向面間に移動して弁体および押え板を押
し広げ、これによりシール部材が弁座に押し付け
られてシールが行われ、押え板に取付けられた弾
性体は仕切弁取付部の上壁に押し付けられて押え
板を支持する。

この状態ではボールが弁体および押え板の対向
面間にあるため弁体に対する逆圧に十分耐えるこ
とができる。また弁体および押え板の寸法誤差は
弾性体により吸収されるため部品の加工精度は低
くてもよい。

仕切弁を閉くときは、ロツドを逆方向に移動さ
せると、ボールはボール収納溝に戻り、押え板が
下つて弾性体と上壁間にすき間ができ、そのまま
ロツドを引くとボールとともに弁体および押え板
が引出され、シールは解除される。

〔実施例〕

以下、この考案を図面の実施例により説明す
る。第１図はこの考案の一実施例を示す一部の断
面図であり、仕切弁が閉じた状態を示し、第３図
ないし第５図と同一符号は同一または相当部分を
示す。

この実施例は基本的な構成は従来のものとほぼ
同様になつているが、ボール１１はボール収納溝
である三角溝９，１０に収納された状態から図の
ように弁体７および押え板８の対向面（平面）２
０，２１間に移動できるようになつている。この
ように移動可能とするためには、ばね１２の押圧
力よりもばね１６の押圧力を大きくする。ばね１
２は、押え板８の上部中央部に形成されたばね取
付溝２２に弁体７から突出する取付ロツド２３の
先端部に取付けられている。押え板８の上面２４
と仕切弁取付穴５の上壁２５間には弾性体２６が
設けられており、ボール１１が三角溝９，１０内
に収納されているときは上壁２５との間にすき間
が形成され、ボール１１が対向面２０，２１間に
あるときは上壁２５に押し付けられるようになつ
ている。他の構成は第３図ないし第５図と同様で
ある。

以上のように構成された仕切弁３の開閉の操作
は、従来のものとほぼ同様に行われる。仕切弁３
を閉じるには、給気口１８へのエアの供給を停止
すると、ばね１６の押圧力によりピストン１３が
押され、これによりロツド１４が移動して弁体７
および押え板８が奥壁１９に当つた後、ボール１
１が三角溝９，１０から対向面２０，２１の平面
に乗り上げて弁体７および押え板８を押し広げ、
これによりシール部材であるＯリング６が弁座４
に押し付けられてシールが行われ、押え板８の上
面２４に取付けられた弾性体２６は仕切弁取付穴
５の上壁２５に押し付けられて押え板８を支持す
る。

仕切弁３を閉じるときは、ロツド１４を逆方向
に移動させると、ボール１１は三角溝９，１０内
に戻り、押え板８が下つて弾性体２６と上壁２５
との間にすき間ができ、そのままロツド１４を引
くとボール１１とともに弁体７および押え板８が
引出され、シールは解除される。

仕切弁３が閉じた状態ではボール１１が弁体７
および押え板８の対向面２０，２１間にあるため
弁体７に対する逆圧に十分耐えることができる。
また弁体７および押え板８の寸法誤差は弾性体２
６により吸収されるため部品の加工精度は低くて
もよい。

第２図は他の実施例を示す一部の断面図であ
る。この実施例ではばね１２としてコイルばねが
使用され、弾性体２６としてＯリングが使用され
ているほかは第１図と同様の構成となつており、
ほぼ同様の作用効果を有する。

なお、以上の実施例ではロツド１４をばね１６
で押圧するようにしたが、ロツド１４の駆動源は
空圧または油圧でも可能である。

〔考案の効果〕

この考案によれば、ボールが弁体および押え板
の対向面の平面に当るため、ロツドを戻す力が働
かず、シールが確実で、逆圧に十分耐えることが
できる。また部品の寸法操作は弾性体で吸収でき
るため、加工精度を低くすることができ、製造コ
ストの引下げが可能である。

【図面の簡単な説明】

第１図および第２図はそれぞれこの考案の別の
実施例を示す一部の断面図、第３図は従来の仕切
弁の断面図、第４図および第５図はその一部の拡
大断面図である。 各図中、同一符号は同一または相当部分を示
し、３は仕切弁、４は弁座、６はＯリング、７は
弁体、８は押え板、９，１０は三角溝、１１はボ
ール、１２，１６はばね、１３はピストン、１４
はロツド、１５はエアシリンダ、１８は吸気口、
２６は弾性体である。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) シール部材を介して弁座に当接する弁体と、
   この弁体に重合される押え板と、前記弁体およ
   び押え板の対向面に形成されたボール収納溝
   と、このボール収納溝に収納されかつボール収
   納溝から出て弁体および押え板の対向面間に移
   動可能に設けられたボールと、このボールを移
   動させるように係合するロツドと、前記押え板
   を弁体側に押圧するばねと、前記押え板および
   仕切弁取付部の上壁間に設けられた弾性体とを
   備えた電子顕微鏡用仕切弁。 (2) シール部材がＯリングである実用新案登録請
   求の範囲第１項記載の電子顕微鏡用仕切弁。 (3) ボール収納溝が三角溝である実用新案登録請
   求の範囲第１項または第２項記載の電子顕微鏡
   用仕切弁。 (4) ロツドがばねおよび（または）流体圧シリン
   ダにより移動するものである実用新案登録請求
   の範囲第１項ないし第３項のいずれかに記載の
   電子顕微鏡用仕切弁。