JPS63177371U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS63177371U JPS63177371U JP6848987U JP6848987U JPS63177371U JP S63177371 U JPS63177371 U JP S63177371U JP 6848987 U JP6848987 U JP 6848987U JP 6848987 U JP6848987 U JP 6848987U JP S63177371 U JPS63177371 U JP S63177371U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- valve
- vacuum
- valve body
- vacuum path
- path
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Landscapes
- Details Of Valves (AREA)
- Sliding Valves (AREA)
Description
第１図乃至第４図は夫々本考案の一実施例を示
す断面図、第５図は従来のバルブの一例を示す図
である。 １：真空筐体、２ａ，２ｂ：真空路、３：ガイ
ド溝、４：バルブ保持体、７：バルブ、９：弁座
、１０：シヤフト、１１：駆動機構、１３：ベロ
ーズ、１４：パイプ、１５：切換バルブ、１６：
圧搾空気源、１７：シリンダー、１８：ピストン
、１９ａ，１９ｂ：パイプ、２０：切換バルブ、
２１：ベローズ。
す断面図、第５図は従来のバルブの一例を示す図
である。 １：真空筐体、２ａ，２ｂ：真空路、３：ガイ
ド溝、４：バルブ保持体、７：バルブ、９：弁座
、１０：シヤフト、１１：駆動機構、１３：ベロ
ーズ、１４：パイプ、１５：切換バルブ、１６：
圧搾空気源、１７：シリンダー、１８：ピストン
、１９ａ，１９ｂ：パイプ、２０：切換バルブ、
２１：ベローズ。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 真空路を横切る方向に移動可能に置かれた
バルブ本体と、前記真空路と一定角度をなして設
けられた弁座と、前記バルブ本体にベローズを介
して弁座に向う方向に移動可能に支持されたバル
ブと、前記バルブ本体を真空路を横切る方向に移
動させるための機構と、前記バルブとバルブ本体
を連結したベローズ内の圧力を変化させて前記バ
ルブを弁座に押圧・離間させるバルブ開閉機構と
からなる真空ゲートバルブ。 (2) 前記バルブ本体の両側に２個バルブを設け
、少なくとも１個はベローズにより支持された構
造であり、真空路を両バルブで開閉する構造の実
用新案登録請求の範囲第１項記載の真空ゲートバ
ルブ。 (3) 前記バルブとは直交する方向にもう１個の
バルブをバルブ本体に設け、直交する方向の真空
路の開閉を可能にする実用新案登録請求の範囲第
１項又は第２項記載の真空ゲートバルブ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6848987U JPS63177371U (ja) | 1987-05-08 | 1987-05-08 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6848987U JPS63177371U (ja) | 1987-05-08 | 1987-05-08 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63177371U true JPS63177371U (ja) | 1988-11-17 |
Family
ID=30908349
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6848987U Pending JPS63177371U (ja) | 1987-05-08 | 1987-05-08 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63177371U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0448481U (ja) * | 1990-08-29 | 1992-04-24 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5753179B2 (ja) * | 1974-10-05 | 1982-11-11 |
-
1987
- 1987-05-08 JP JP6848987U patent/JPS63177371U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5753179B2 (ja) * | 1974-10-05 | 1982-11-11 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0448481U (ja) * | 1990-08-29 | 1992-04-24 |
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