JPS62190170U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS62190170U JPS62190170U JP7871986U JP7871986U JPS62190170U JP S62190170 U JPS62190170 U JP S62190170U JP 7871986 U JP7871986 U JP 7871986U JP 7871986 U JP7871986 U JP 7871986U JP S62190170 U JPS62190170 U JP S62190170U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- partition plate
- housing
- opening
- vacuum
- stopper
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000005192 partition Methods 0.000 claims description 10
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
Landscapes
- Sliding Valves (AREA)
Description
第１図は真空応用装置の概要を示す説明図、第
２図ａ，ｂは本考案真空仕切弁の一実施例の構成
と動作を説明するための縦断面図、第３図は本考
案における仕切板の正面図、第４図は第２図ａの
―線断面図、第５図ａ，ｂはそれぞれ第２実
施例の構成と動作を説明するための縦断面図、第
６図は従来の真空仕切弁の一例を示す斜視図であ
る。 １……真空処理容器、２……真空排気装置、３
……真空仕切弁、４……真空処理容器側パイプ、
５……真空排気装置側パイプ、６，７……開口、
８……ハウジング、８ａ，８ｂ……ハウジング部
、９……Ｏリング、１０，１１……仕切板、１２
……ストツパ、１３……リンク機構、１４……作
動ロツド、１５……往復動装置（シリンダ）、１
６……ガイド。
２図ａ，ｂは本考案真空仕切弁の一実施例の構成
と動作を説明するための縦断面図、第３図は本考
案における仕切板の正面図、第４図は第２図ａの
―線断面図、第５図ａ，ｂはそれぞれ第２実
施例の構成と動作を説明するための縦断面図、第
６図は従来の真空仕切弁の一例を示す斜視図であ
る。 １……真空処理容器、２……真空排気装置、３
……真空仕切弁、４……真空処理容器側パイプ、
５……真空排気装置側パイプ、６，７……開口、
８……ハウジング、８ａ，８ｂ……ハウジング部
、９……Ｏリング、１０，１１……仕切板、１２
……ストツパ、１３……リンク機構、１４……作
動ロツド、１５……往復動装置（シリンダ）、１
６……ガイド。
Claims (1)
- 真空処理容器１と真空排気装置２とを連結する
真空仕切弁３において、真空処理容器側パイプ４
と真空排気装置側パイプ５にそれぞれ連結される
開口６，７を有するハウジング８と、このハウジ
ング８の両開口６，７のあるハウジング部８ａ，
８ｂの内面に沿つて移動せしめられ、両開口６，
７または一方の開口を開閉しＯリング９を板面の
リング溝に嵌着した２つの仕切板１０，１１また
は１つの仕切板と、この仕切板によつて開閉され
る開口部分を除くハウジング部の内面にこの仕切
板の移動方向に並設され、当該仕切板のＯリング
部分以外の部分に対接してガイドする多数の球状
または円筒状のガイド１６と、ハウジング８の内
面に設けられ、上記開口に対向した位置で仕切板
を係止するストツパ１２と、上記仕切板に連結さ
れ当該仕切板をこのストツパ１２と上記ガイド１
６群との間を移動させ、かつ上記開口を開閉する
方向に移動させるためのリンク機構１３と、この
リンク機構１３の作動ロツド１４に連結され当該
リンク機構１３を駆動するための往復動装置１５
とよりなる真空仕切弁。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7871986U JPS62190170U (ja) | 1986-05-23 | 1986-05-23 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7871986U JPS62190170U (ja) | 1986-05-23 | 1986-05-23 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62190170U true JPS62190170U (ja) | 1987-12-03 |
Family
ID=30927918
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7871986U Pending JPS62190170U (ja) | 1986-05-23 | 1986-05-23 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62190170U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002540612A (ja) * | 1999-03-29 | 2002-11-26 | ラム リサーチ コーポレーション | デュアル側面スロットバルブおよび同バルブを実施するための方法 |
-
1986
- 1986-05-23 JP JP7871986U patent/JPS62190170U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002540612A (ja) * | 1999-03-29 | 2002-11-26 | ラム リサーチ コーポレーション | デュアル側面スロットバルブおよび同バルブを実施するための方法 |
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