JPS61103066A - 真空仕切弁 - Google Patents
真空仕切弁Info
- Publication number
- JPS61103066A JPS61103066A JP22277984A JP22277984A JPS61103066A JP S61103066 A JPS61103066 A JP S61103066A JP 22277984 A JP22277984 A JP 22277984A JP 22277984 A JP22277984 A JP 22277984A JP S61103066 A JPS61103066 A JP S61103066A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- valve body
- slide plate
- valve
- link
- vacuum
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K51/00—Other details not peculiar to particular types of valves or cut-off apparatus
- F16K51/02—Other details not peculiar to particular types of valves or cut-off apparatus specially adapted for high-vacuum installations
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K3/00—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing
- F16K3/02—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor
- F16K3/16—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor with special arrangements for separating the sealing faces or for pressing them together
- F16K3/18—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor with special arrangements for separating the sealing faces or for pressing them together by movement of the closure members
- F16K3/182—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor with special arrangements for separating the sealing faces or for pressing them together by movement of the closure members by means of toggle links
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Sliding Valves (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明はプラズマＣＶＤ装置等の真空室を真空シールす
る真空仕切弁に関する。
る真空仕切弁に関する。
従来、プラズマＣＶＤ装置等に用いられている真空仕切
弁は逆圧にても真空シールできるものが少なく、たとえ
あったとしても弁の構造が複雑で、弁体の厚さが厚くな
り、弁開閉用の空気又は油圧シリンダーのボア径が大き
くなる等の欠点があった。
弁は逆圧にても真空シールできるものが少なく、たとえ
あったとしても弁の構造が複雑で、弁体の厚さが厚くな
り、弁開閉用の空気又は油圧シリンダーのボア径が大き
くなる等の欠点があった。
本発明はこのような事情に鑑みなされたもので、その目
的とするところは逆圧が作用しても十分に真空シールが
行なえ、構造が簡単で弁体の厚さが薄く、経世でコンパ
クトな構造の真空仕切弁を提供することにある。
的とするところは逆圧が作用しても十分に真空シールが
行なえ、構造が簡単で弁体の厚さが薄く、経世でコンパ
クトな構造の真空仕切弁を提供することにある。
本発明は上記の目的を達成するために、次のような構成
としたことを特徴とするものである。すなわち本発明に
よる真空仕切弁は、左右側面のほぼ対向する位置に２つ
の開口部を有し上記開口部の一方が真空室に連通する弁
本体と、この弁本体内に設けられ上記真空室に連通する
開口部を閉塞する弁体と、この弁体の後方に設けられ上
記弁体を上下方向にスライドさせるスライド板と、この
スライド板を駆動する駆動改構と、前記スライド板と弁
体との間に回動自在に連結され閉弁時に上記弁体のシー
ル面を真空室に連通した開口部へ押付けるリンクと、前
記スライド板の後方に設けられスライド板の後面を支持
するスライド板支持ローラと、前記弁体の上部に固設さ
れ閉弁時に弁体を所定位置に停止させるストッパローラ
と、前記弁体とスライド板との間に張架され前記リンク
を一定方向に回動付勢するスプリングとを具備してなる
ものである。
としたことを特徴とするものである。すなわち本発明に
よる真空仕切弁は、左右側面のほぼ対向する位置に２つ
の開口部を有し上記開口部の一方が真空室に連通する弁
本体と、この弁本体内に設けられ上記真空室に連通する
開口部を閉塞する弁体と、この弁体の後方に設けられ上
記弁体を上下方向にスライドさせるスライド板と、この
スライド板を駆動する駆動改構と、前記スライド板と弁
体との間に回動自在に連結され閉弁時に上記弁体のシー
ル面を真空室に連通した開口部へ押付けるリンクと、前
記スライド板の後方に設けられスライド板の後面を支持
するスライド板支持ローラと、前記弁体の上部に固設さ
れ閉弁時に弁体を所定位置に停止させるストッパローラ
と、前記弁体とスライド板との間に張架され前記リンク
を一定方向に回動付勢するスプリングとを具備してなる
ものである。
以下、本発明の一実施例を第１図ないし第５図を参照し
て説明する。
て説明する。
第１図は本発明の一実施例を示す真空仕切弁の縦断面図
で、第２図は同じく第１図の■−■線矢視断面図、第３
図は第２図の■−■線矢視断面図である。図中１は左右
側面のほぼ対向した位置に２つの矩形状の開口部２ａ、
２ｂを有する弁本体で、開口部２ａが形成された外面に
は０リング３ａが装着されている。すなわちこの弁本体
１は開口部２ａ側が真空室（図示せず）に連通するもの
である。上記弁本体１内には真空室に連通ずる開口部２
ａを閉塞する弁体４が設けられている。この弁体４のシ
ール面４ａにはＯリング３ｂが装着されており、このＯ
リング３ｂにより開ロア１１！２ａをシールするように
構成されている。また弁本体１内には上記弁体４を上下
方向にスライドさせるスラ゛イド板５が設けられている
。このスライド板５は弁体４の後方に設けられており、
弁本体１下部に設けられた駆ａｍ構としてのエアシリン
ダー６により駆動されるようになっている。上記スライ
ド板５と弁体４との間にはリンク７が回動自在
□に連結されている。このリンク７は閉弁時に弁体４の
シール面４ａを開口部２ａへ押付けるもので、スライド
板５の上下動により回！ｌ１ｌｖＪ作するようになって
いる。またスライド板５の後方にはスライド板支持ロー
ラ８が設けられている。このスライド板支持ローラ８は
前記弁本体１の開口部２ｂの上部と下部に配設されてお
り、スライド板５の後面５ａを支持している。前記弁体
４の上部にはストッパローラ９が固設されている。この
ストッパローラ９は閉弁時に弁体４を所定位置に停止さ
せるもので、弁本体１内上部に設けられたストッパロー
ラ当接板１０に当接するようになっている。
で、第２図は同じく第１図の■−■線矢視断面図、第３
図は第２図の■−■線矢視断面図である。図中１は左右
側面のほぼ対向した位置に２つの矩形状の開口部２ａ、
２ｂを有する弁本体で、開口部２ａが形成された外面に
は０リング３ａが装着されている。すなわちこの弁本体
１は開口部２ａ側が真空室（図示せず）に連通するもの
である。上記弁本体１内には真空室に連通ずる開口部２
ａを閉塞する弁体４が設けられている。この弁体４のシ
ール面４ａにはＯリング３ｂが装着されており、このＯ
リング３ｂにより開ロア１１！２ａをシールするように
構成されている。また弁本体１内には上記弁体４を上下
方向にスライドさせるスラ゛イド板５が設けられている
。このスライド板５は弁体４の後方に設けられており、
弁本体１下部に設けられた駆ａｍ構としてのエアシリン
ダー６により駆動されるようになっている。上記スライ
ド板５と弁体４との間にはリンク７が回動自在
□に連結されている。このリンク７は閉弁時に弁体４の
シール面４ａを開口部２ａへ押付けるもので、スライド
板５の上下動により回！ｌ１ｌｖＪ作するようになって
いる。またスライド板５の後方にはスライド板支持ロー
ラ８が設けられている。このスライド板支持ローラ８は
前記弁本体１の開口部２ｂの上部と下部に配設されてお
り、スライド板５の後面５ａを支持している。前記弁体
４の上部にはストッパローラ９が固設されている。この
ストッパローラ９は閉弁時に弁体４を所定位置に停止さ
せるもので、弁本体１内上部に設けられたストッパロー
ラ当接板１０に当接するようになっている。
また弁体４下部とスライド板５上部との間にはスプリン
グ１１が張架されている。このスプリング１１は前記リ
ンク７を一定方向に回動付勢するもので、図ではリンク
７は時計方向に回動付勢されている。なあ、スライド板
５の両端部にはガイドローラ１２が取付けられている。
グ１１が張架されている。このスプリング１１は前記リ
ンク７を一定方向に回動付勢するもので、図ではリンク
７は時計方向に回動付勢されている。なあ、スライド板
５の両端部にはガイドローラ１２が取付けられている。
次に上記実施例の作用について説明する。
第４図は真空仕切弁の開弁状態を示す図で、開弁時には
弁体４およびスライド板５は開口部２ａより下方の位置
にある。この状態でエアシリンダー６を駆動させると、
スライドＦｆｉ５はロッド１３により上方へ押し上げら
れ、弁体４を上方へ移動させる。このときリンク７はス
プリング１１により時計方向に付勢されているので、回
動せずにそのままの状態で弁体４とともに上方へ移動す
る。
弁体４およびスライド板５は開口部２ａより下方の位置
にある。この状態でエアシリンダー６を駆動させると、
スライドＦｆｉ５はロッド１３により上方へ押し上げら
れ、弁体４を上方へ移動させる。このときリンク７はス
プリング１１により時計方向に付勢されているので、回
動せずにそのままの状態で弁体４とともに上方へ移動す
る。
そして弁体４が開口部２ａの位置まて８動すると、スト
ッパローラ９がストッパローラ当接板１０に当接する。
ッパローラ９がストッパローラ当接板１０に当接する。
これにより弁体４は第５図（ａ）に示すように開口部２
ａの中心とシール面４ａの中心とがほぼ一致する位置で
停止し、上方への移動が禁止される。一方、このときス
ライド板５にはエアシリンダー６の押し上げ力（矢印ａ
）が作用しており、この押し上げ力はスプリング１１の
バネ力よりも大きい。このためリンク７はスプリング１
１のバネ力に抗して矢印すで示す如く反時計方向に回動
する。ここでスライド板５は後面５ａがスライド板支持
ローラ８によって支持されているため、リンク７が反時
計方向に回動すると第５図に示すように弁体７のみが間
口部２ａ側へ移動する。これにより弁体４のシール面４
ａは矢印Ｃで示す如く開口部２ａの内面に強く押付けら
れ、真空空を真空シールする。
ａの中心とシール面４ａの中心とがほぼ一致する位置で
停止し、上方への移動が禁止される。一方、このときス
ライド板５にはエアシリンダー６の押し上げ力（矢印ａ
）が作用しており、この押し上げ力はスプリング１１の
バネ力よりも大きい。このためリンク７はスプリング１
１のバネ力に抗して矢印すで示す如く反時計方向に回動
する。ここでスライド板５は後面５ａがスライド板支持
ローラ８によって支持されているため、リンク７が反時
計方向に回動すると第５図に示すように弁体７のみが間
口部２ａ側へ移動する。これにより弁体４のシール面４
ａは矢印Ｃで示す如く開口部２ａの内面に強く押付けら
れ、真空空を真空シールする。
このように本実施例においては弁体をリンク機病により
真空至に連通した開口部に押付けるようにしたので、逆
圧がかかつても十分に真空シールを行なうことができ、
従来のように弁体の厚さを厚くする必要がない。したが
って、空気又は油圧シリンダーのボア径を大きくする必
要がなく、弁の構造をコンパクトにすることができる。
真空至に連通した開口部に押付けるようにしたので、逆
圧がかかつても十分に真空シールを行なうことができ、
従来のように弁体の厚さを厚くする必要がない。したが
って、空気又は油圧シリンダーのボア径を大きくする必
要がなく、弁の構造をコンパクトにすることができる。
なお、上記実施例ではスライド板５を上下方向にスライ
ドさせる駆動間溝としてエアシリンダー６を用いたが、
本発明によれば油圧シリンダーその他を用いても同様の
効果を得ることができる。
ドさせる駆動間溝としてエアシリンダー６を用いたが、
本発明によれば油圧シリンダーその他を用いても同様の
効果を得ることができる。
以上説明したように本発明によれば、左右側面のほぼ対
向する位置に２つの開口部を有し上記開口部の一方が真
空至に連通する弁本体と、この弁本体内に設けられ上記
真空掌に連通ずる開口部を閉塞する弁体と、この弁体の
後方に設けられ上記弁体を上下方向にスライドさせるス
ライド板と、このスライド板を駆動する駆動門構と、前
記スライド板と弁体との間に回動自在に連結され閉弁時
に上記弁体のシール面を真空至に連通ずる開口部へ押付
けるリンクと、前記スライド板の後方に設けられ上記ス
ライド板の後面を支持するスライド板支持ローラと、前
記弁体の上部に固設され閉弁時に上記弁体を所定位置に
停止させるストッパローラと、前記弁体とスライド板と
の間に張架さ机前記リンクを一定方向に回動付勢するス
プリングとを具備したので、逆圧が作用しても十分に真
空シールが行なえ、構造が簡単で弁体の厚さが薄く、軽
量でコンパクトな構造の真空仕切弁を得ることができる
。
向する位置に２つの開口部を有し上記開口部の一方が真
空至に連通する弁本体と、この弁本体内に設けられ上記
真空掌に連通ずる開口部を閉塞する弁体と、この弁体の
後方に設けられ上記弁体を上下方向にスライドさせるス
ライド板と、このスライド板を駆動する駆動門構と、前
記スライド板と弁体との間に回動自在に連結され閉弁時
に上記弁体のシール面を真空至に連通ずる開口部へ押付
けるリンクと、前記スライド板の後方に設けられ上記ス
ライド板の後面を支持するスライド板支持ローラと、前
記弁体の上部に固設され閉弁時に上記弁体を所定位置に
停止させるストッパローラと、前記弁体とスライド板と
の間に張架さ机前記リンクを一定方向に回動付勢するス
プリングとを具備したので、逆圧が作用しても十分に真
空シールが行なえ、構造が簡単で弁体の厚さが薄く、軽
量でコンパクトな構造の真空仕切弁を得ることができる
。
第１図ないし第５図は本発明の一実施例を示す図で、第
１図は真空仕切弁の内部構造を示す縦断面図、第２図は
第１図の■−■線矢視断面図、第３図は第２図の■−■
線矢視断面図、第４図は真空仕切弁の開弁状態を示す縦
断面図、第５図（ａ）（ｂ）は閉弁時の弁体の動作を示
す説明図である。 ７・−・弁本体、２ａ、２ｂ−Ｊｊ口部、３ａ、３ｂ・
・・Ｏリング、４・・・弁体、５・・・スライド板、６
・・・エアシリンダー、７・・・リンク、８・・・スラ
イド板支持ローラ、９・・・ストッパローラ、１０・・
・ストッパローラ当接板、１１・・・スプリング、１２
・・・ガイドローラ。 出願人代理人 弁理士 鈴江武彦 第５図
１図は真空仕切弁の内部構造を示す縦断面図、第２図は
第１図の■−■線矢視断面図、第３図は第２図の■−■
線矢視断面図、第４図は真空仕切弁の開弁状態を示す縦
断面図、第５図（ａ）（ｂ）は閉弁時の弁体の動作を示
す説明図である。 ７・−・弁本体、２ａ、２ｂ−Ｊｊ口部、３ａ、３ｂ・
・・Ｏリング、４・・・弁体、５・・・スライド板、６
・・・エアシリンダー、７・・・リンク、８・・・スラ
イド板支持ローラ、９・・・ストッパローラ、１０・・
・ストッパローラ当接板、１１・・・スプリング、１２
・・・ガイドローラ。 出願人代理人 弁理士 鈴江武彦 第５図
Claims (1)
- 左右側面のほぼ対向する位置に２つの開口部を有し上記
開口部の一方が真空室に連通する弁本体と、この弁本体
内に設けられ上記真空室に連通する間口部を閉塞する弁
体と、この弁体の後方に設けられ上記弁体を上下方向に
スライドさせるスライド板と、このスライド板を駆動す
る駆動機構と、前記スライド板と弁体との間に回動自在
に連結され閉弁時に上記弁体のシール面を真空室に連通
する開口部へ押付けるリンクと、前記スライド板の後方
に設けられ上記スライド板の後面を支持するスライド板
支持ローラと、前記弁体の上部に固設され閉弁時に上記
弁体を所定位置に停止させるストッパローラと、前記弁
体とスライド板との間に張架され前記リンクを一定方向
に回動付勢するスプリングとを具備したことを特徴とす
る真空仕切弁。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22277984A JPS61103066A (ja) | 1984-10-23 | 1984-10-23 | 真空仕切弁 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22277984A JPS61103066A (ja) | 1984-10-23 | 1984-10-23 | 真空仕切弁 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61103066A true JPS61103066A (ja) | 1986-05-21 |
Family
ID=16787759
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22277984A Pending JPS61103066A (ja) | 1984-10-23 | 1984-10-23 | 真空仕切弁 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61103066A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6440765A (en) * | 1987-08-06 | 1989-02-13 | Tokyo Electron Ltd | Gate valve mechanism |
| EP1182387A1 (en) * | 1999-06-02 | 2002-02-27 | Tokyo Electron Limited | Gate valve for semiconductor processing system |
| WO2008120837A1 (en) * | 2007-03-29 | 2008-10-09 | Presys Co., Ltd | Rectangular gate valve |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58156780A (ja) * | 1982-03-11 | 1983-09-17 | Kishikawa Tokushu Valve Seisakusho:Kk | 超高真空バルブの弁デスク |
-
1984
- 1984-10-23 JP JP22277984A patent/JPS61103066A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58156780A (ja) * | 1982-03-11 | 1983-09-17 | Kishikawa Tokushu Valve Seisakusho:Kk | 超高真空バルブの弁デスク |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6440765A (en) * | 1987-08-06 | 1989-02-13 | Tokyo Electron Ltd | Gate valve mechanism |
| EP1182387A1 (en) * | 1999-06-02 | 2002-02-27 | Tokyo Electron Limited | Gate valve for semiconductor processing system |
| EP1182387A4 (en) * | 1999-06-02 | 2005-09-07 | Tokyo Electron Ltd | SHUT-OFF VALVE FOR SEMICONDUCTOR PROCESSING SYSTEM |
| WO2008120837A1 (en) * | 2007-03-29 | 2008-10-09 | Presys Co., Ltd | Rectangular gate valve |
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