JP2767459B2 - 真空バルブ - Google Patents
真空バルブInfo
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- JP2767459B2 JP2767459B2 JP12488889A JP12488889A JP2767459B2 JP 2767459 B2 JP2767459 B2 JP 2767459B2 JP 12488889 A JP12488889 A JP 12488889A JP 12488889 A JP12488889 A JP 12488889A JP 2767459 B2 JP2767459 B2 JP 2767459B2
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- Japan
- Prior art keywords
- disk
- opening
- valve
- valve box
- pusher
- Prior art date
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- Sliding Valves (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） この発明は、逆圧になってもシール性が悪くならない
真空バルブに関するものである。
真空バルブに関するものである。
（従来の技術） 従来の真空バルブは、第８図に示すようにシリンダ31
のロッド32の先端にはスライダ33が固着され、スライダ
33には回動自在なリンク34a、34bを介して弁体35が取り
つけられているが、その弁体35はスライダ33に取り付け
られたバネ36によって弾圧されている。開口37を持った
弁座38は弁体35とほぼ平行に配置され、その弁座38の一
部には、ブラケット39を介して、ストッパー40のローラ
41は、弁体35が移動した時、弁体35の一端部と当接する
ようになっている。
のロッド32の先端にはスライダ33が固着され、スライダ
33には回動自在なリンク34a、34bを介して弁体35が取り
つけられているが、その弁体35はスライダ33に取り付け
られたバネ36によって弾圧されている。開口37を持った
弁座38は弁体35とほぼ平行に配置され、その弁座38の一
部には、ブラケット39を介して、ストッパー40のローラ
41は、弁体35が移動した時、弁体35の一端部と当接する
ようになっている。
したがって、従来の真空バルブにおいて、シリンダ31
が駆動して、スライダ33が図中のＡ矢示の方向に水平に
移動すると、この水平移動にともなって、弁体35も水平
に移動するが、弁体35の一部がストッパー40のローラ41
と当接すると、弁体35の水平移動は停止する。しかし、
スライダ33が水平移動を継続すると、リンク34a、34bは
回動して、弁体35がローラ41と当接しながら、図中Ｂ矢
示の方向に垂直移動して、弁座38の上に着座するように
なる。
が駆動して、スライダ33が図中のＡ矢示の方向に水平に
移動すると、この水平移動にともなって、弁体35も水平
に移動するが、弁体35の一部がストッパー40のローラ41
と当接すると、弁体35の水平移動は停止する。しかし、
スライダ33が水平移動を継続すると、リンク34a、34bは
回動して、弁体35がローラ41と当接しながら、図中Ｂ矢
示の方向に垂直移動して、弁座38の上に着座するように
なる。
（発明が解決しょうとする課題） 従来の真空バルブは、弁体35がローラ41と当接しなが
ら垂直移動して弁座38上に着座する構成をしているの
で、弁体35に逆圧、即ち第８図中のＢ矢示と反対方向に
圧力が作用すると、弁体35の弁座38への着座状態が悪く
なり、弁のシール性が悪化する問題があった。
ら垂直移動して弁座38上に着座する構成をしているの
で、弁体35に逆圧、即ち第８図中のＢ矢示と反対方向に
圧力が作用すると、弁体35の弁座38への着座状態が悪く
なり、弁のシール性が悪化する問題があった。
この発明は、上記問題を解決して、逆圧時における弁
のシール性を向上する真空バルブを提供することを目的
としている。
のシール性を向上する真空バルブを提供することを目的
としている。
（課題を解決するための手段） 上記目的を達成するために、請求項１記載の発明は、
ガイドプレートと、中央に開口が設けられた第１のディ
スクと、上記開口内に摺動自在に嵌合された第２のディ
スクと、開口が設けられた弁箱とを有し、上記第１のデ
ィスクが上記弁箱の開口に着座可能に構成された真空バ
ルブであって、ガイドプレートに軸支された複数のプッ
シャーを有し、上記第１のディスクが上記弁箱の開口に
着座した状態で、上記第１、第２のディスクに、上記着
座を悪化させる逆圧が作用した場合、上記第２のディス
クが上記第１のディスクの開口内を摺動しながら後退し
て上記プッシャーを回動させ、その回動により、上記第
１のディスクが上記第２のディスクの摺動方向とは反対
方向に押圧され、上記第１のディスクの上記弁箱の開口
への着座状態を強めるように構成されたことを特徴とす
るものである。
ガイドプレートと、中央に開口が設けられた第１のディ
スクと、上記開口内に摺動自在に嵌合された第２のディ
スクと、開口が設けられた弁箱とを有し、上記第１のデ
ィスクが上記弁箱の開口に着座可能に構成された真空バ
ルブであって、ガイドプレートに軸支された複数のプッ
シャーを有し、上記第１のディスクが上記弁箱の開口に
着座した状態で、上記第１、第２のディスクに、上記着
座を悪化させる逆圧が作用した場合、上記第２のディス
クが上記第１のディスクの開口内を摺動しながら後退し
て上記プッシャーを回動させ、その回動により、上記第
１のディスクが上記第２のディスクの摺動方向とは反対
方向に押圧され、上記第１のディスクの上記弁箱の開口
への着座状態を強めるように構成されたことを特徴とす
るものである。
また、請求項２記載の発明は、請求項１記載の真空バ
ルブであって、上記第２のディスクの上記弁箱の開口に
臨む面積は、上記第１のディスクの上記弁箱の開口に臨
む面積よりも大きくされたことを特徴とするものであ
る。
ルブであって、上記第２のディスクの上記弁箱の開口に
臨む面積は、上記第１のディスクの上記弁箱の開口に臨
む面積よりも大きくされたことを特徴とするものであ
る。
（作用） この発明の真空バルブにおいては、第１のディスクの
弁箱の開口に臨む面積より第２のディスクの弁箱の開口
に臨む面積の方が大きいから、逆圧が作用したときに
は、第２のディスクが第１のディスクの中央の開口内を
摺動しながら後退して、プッシャーの一端を押圧し、プ
ッシャーを回動させる。プッシャーが回動すると、プッ
シャーの他端が第１のディスクを、第２のディスクの摺
動方向と反対方向に押圧するようになる。そのため、逆
圧時における弁のシール性が向上するようになる。
弁箱の開口に臨む面積より第２のディスクの弁箱の開口
に臨む面積の方が大きいから、逆圧が作用したときに
は、第２のディスクが第１のディスクの中央の開口内を
摺動しながら後退して、プッシャーの一端を押圧し、プ
ッシャーを回動させる。プッシャーが回動すると、プッ
シャーの他端が第１のディスクを、第２のディスクの摺
動方向と反対方向に押圧するようになる。そのため、逆
圧時における弁のシール性が向上するようになる。
（実施例） 以下、この発明の実施例について図面を参照しながら
説明する。
説明する。
第１図〜第７図はこの発明の一実施例を示すものであ
る。これらの図において、真空バルブは、カバー１及び
側部２で囲まれた弁箱３と、この弁箱３内に配設された
弁機構４と、弁箱３のカバー１の外側に固定された駆動
機構５等から構成されている。弁箱３は弁機構４の配置
された対応着座位置に円形の開口６が形成されている。
弁機構４は、第１のディスク７と、第２のディスク８と
ガイドプレート９とがガイドレール10に沿って移動可能
に構成されており、アーム11を介して連結された駆動機
構５により駆動される。第１のディスク７は、中央に円
形の開口を有し、弁箱３の開口６にＯリング12を介して
着座するようになっている。第２のディスク８は、円形
をしており、第１のディスク７の中央の開口にＯリング
13を介して摺動自在に嵌合されている。第２のディスク
８の上方には、ガイドプレート９が配置されており、こ
のガイドプレート９には複数のプッシャー14が軸支され
ている。また、第２のディスク８とガイドプレート９と
の間には、スプリング15が配設され、スプリング15によ
って、第２のディスク８を弁箱３の開口６方向に弾圧し
ている。
る。これらの図において、真空バルブは、カバー１及び
側部２で囲まれた弁箱３と、この弁箱３内に配設された
弁機構４と、弁箱３のカバー１の外側に固定された駆動
機構５等から構成されている。弁箱３は弁機構４の配置
された対応着座位置に円形の開口６が形成されている。
弁機構４は、第１のディスク７と、第２のディスク８と
ガイドプレート９とがガイドレール10に沿って移動可能
に構成されており、アーム11を介して連結された駆動機
構５により駆動される。第１のディスク７は、中央に円
形の開口を有し、弁箱３の開口６にＯリング12を介して
着座するようになっている。第２のディスク８は、円形
をしており、第１のディスク７の中央の開口にＯリング
13を介して摺動自在に嵌合されている。第２のディスク
８の上方には、ガイドプレート９が配置されており、こ
のガイドプレート９には複数のプッシャー14が軸支され
ている。また、第２のディスク８とガイドプレート９と
の間には、スプリング15が配設され、スプリング15によ
って、第２のディスク８を弁箱３の開口６方向に弾圧し
ている。
したがって、第２のディスク８が第１のディスク７の
中央の開口内を、スプリング15の弾圧に抗して摺動しな
がら後退して、プッシャー14の一端を押圧すると、プッ
シャー14が回動し、プッシャー14の他端が第２のディス
ク７の摺動方向と反対方向に押圧されるようになる。ガ
イドプレート９は、ピン16を介してアーム11に連結され
ている。ガイドプレート９の両側に横設されたピン17に
はボールベアリング18が介装され、そのボールベアリン
グ18は、ガイドレール10内に移動可能に遊嵌されてい
る。したがって、アーム11によりガイドプレート９は、
ガイドレール10に沿って平行移動する。ガイドプレート
９と第１のディスク７とは、ガイドプレート９の先端に
おいて、継手リンク19によりピン結合されている。ガイ
ドプレート９の先端にはブラケット20がスプリング21を
介して接続されている。
中央の開口内を、スプリング15の弾圧に抗して摺動しな
がら後退して、プッシャー14の一端を押圧すると、プッ
シャー14が回動し、プッシャー14の他端が第２のディス
ク７の摺動方向と反対方向に押圧されるようになる。ガ
イドプレート９は、ピン16を介してアーム11に連結され
ている。ガイドプレート９の両側に横設されたピン17に
はボールベアリング18が介装され、そのボールベアリン
グ18は、ガイドレール10内に移動可能に遊嵌されてい
る。したがって、アーム11によりガイドプレート９は、
ガイドレール10に沿って平行移動する。ガイドプレート
９と第１のディスク７とは、ガイドプレート９の先端に
おいて、継手リンク19によりピン結合されている。ガイ
ドプレート９の先端にはブラケット20がスプリング21を
介して接続されている。
したがって、ガイドプレート９に接続されているブラ
ケット20が弁箱３の側部２と当接したとき、継手リンク
19が回動して、第１のディスク７が弁箱３の開口６に着
座するようになる。ここで、第１のディスク７の弁箱３
の開口６に臨む面積をA1、第２のディスク８の弁箱３の
開口６に臨む面積をA2とすると、A1よりA2の方が大きく
なる関係が成り立つように構成されている。なお。駆動
機構５はシリンダ22とラック23、ピニオン24、主アーム
25、アーム11等を備えている。
ケット20が弁箱３の側部２と当接したとき、継手リンク
19が回動して、第１のディスク７が弁箱３の開口６に着
座するようになる。ここで、第１のディスク７の弁箱３
の開口６に臨む面積をA1、第２のディスク８の弁箱３の
開口６に臨む面積をA2とすると、A1よりA2の方が大きく
なる関係が成り立つように構成されている。なお。駆動
機構５はシリンダ22とラック23、ピニオン24、主アーム
25、アーム11等を備えている。
次に、上記のように構成された真空バルブの動作につ
いて説明する。
いて説明する。
先ず、弁を閉じる場合には駆動機構５を作動させ、シ
リンダ22により、ピニオン24及びラック23を介して、主
アーム25を押すと、ガイドプレート９がガイドレール10
に沿って前進する。ガイドプレート９の前進に伴って、
第１のディスク７及び第２のディスク８も前進するよう
になるが、ガイドプレート９に接続されているブラケッ
ト20が弁箱３の側部２と当接したとき、継手リンク19が
回動して、第１のディスク７が弁箱３の開口６に着座す
るようになる。
リンダ22により、ピニオン24及びラック23を介して、主
アーム25を押すと、ガイドプレート９がガイドレール10
に沿って前進する。ガイドプレート９の前進に伴って、
第１のディスク７及び第２のディスク８も前進するよう
になるが、ガイドプレート９に接続されているブラケッ
ト20が弁箱３の側部２と当接したとき、継手リンク19が
回動して、第１のディスク７が弁箱３の開口６に着座す
るようになる。
このように第１のディスク７が弁箱３の開口６に着座
して弁が閉じているときに、逆圧、即ち、第２のディス
クの摺動方向と反対方向の圧力が作用した場合、第１の
ディスク７の弁箱３の開口６に臨む面積A1より第２のデ
ィスク８の弁箱３の開口６に臨む面積A2の方が大きいの
で、第２のディスク８が第１のディスク７の中央の開口
内を、スプリング15の弾圧に抗して摺動しながら後退し
て、プッシャー14の一端を押圧し、プッシャー14を回動
させる。プッシャー14が回動すると、プッシャー14の他
端が第１のディスク７を、第２のディスク８の摺動方向
と反対方向に押圧するようになる。そのため、逆圧時に
おける弁のシール性が向上するようになる。
して弁が閉じているときに、逆圧、即ち、第２のディス
クの摺動方向と反対方向の圧力が作用した場合、第１の
ディスク７の弁箱３の開口６に臨む面積A1より第２のデ
ィスク８の弁箱３の開口６に臨む面積A2の方が大きいの
で、第２のディスク８が第１のディスク７の中央の開口
内を、スプリング15の弾圧に抗して摺動しながら後退し
て、プッシャー14の一端を押圧し、プッシャー14を回動
させる。プッシャー14が回動すると、プッシャー14の他
端が第１のディスク７を、第２のディスク８の摺動方向
と反対方向に押圧するようになる。そのため、逆圧時に
おける弁のシール性が向上するようになる。
次に、弁を開く場合には、駆動機構５を作動させ、主
アーム25を縮めと、ガイドプレート９がガイドレール10
に沿って後進するため、第１のディスク７及び第２のデ
ィスク８も後退するようになり、弁が開くようになる。
アーム25を縮めと、ガイドプレート９がガイドレール10
に沿って後進するため、第１のディスク７及び第２のデ
ィスク８も後退するようになり、弁が開くようになる。
（発明の効果） この発明によれば、第１のディスクの弁箱の開口に臨
む面積より第２のディスクの弁箱の開口に臨む面積の方
が大きいから、逆圧が作用したときには、第２のディス
クが第１のディスクの中央の開口内を、摺動しながら後
退して、プッシャーの一端を押圧し、プッシャーが回動
する。プッシャーが回動すると、プッシャーの他端が第
１のディスクを、第２のディスクの摺動方向と反対方向
に押圧するようになる。そのため、逆圧時における弁の
シール性が向上するようになる。
む面積より第２のディスクの弁箱の開口に臨む面積の方
が大きいから、逆圧が作用したときには、第２のディス
クが第１のディスクの中央の開口内を、摺動しながら後
退して、プッシャーの一端を押圧し、プッシャーが回動
する。プッシャーが回動すると、プッシャーの他端が第
１のディスクを、第２のディスクの摺動方向と反対方向
に押圧するようになる。そのため、逆圧時における弁の
シール性が向上するようになる。
第１図〜第７図は本発明の一実施例を示すものであり、
第１図は本発明の真空バルブを示す全体斜視図、第２
図、第３図は、弁機構部を示す要部断面斜視図、第４図
は、本発明の真空バルブを示す一部切り欠き平面図、第
５図は本発明の真空バルブを示す一部切り欠き側面図、
第６図はプッシャーが第１のディスクを押圧する状態を
示す縦断面図、第７図はプッシャーが第１のディスクを
押圧していない状態を示す縦断面図、第８図は従来の真
空バルブの一例を示す構成図である。 図中、 １……カバー ２……側部 ３……弁箱 ４……弁機構 ５……駆動機構 ６……弁箱の開口 ７……第１のディスク ８……第２のディスク 14……プッシャー 尚、図中、同一符号は、同一または相当部分を示してい
る。
第１図は本発明の真空バルブを示す全体斜視図、第２
図、第３図は、弁機構部を示す要部断面斜視図、第４図
は、本発明の真空バルブを示す一部切り欠き平面図、第
５図は本発明の真空バルブを示す一部切り欠き側面図、
第６図はプッシャーが第１のディスクを押圧する状態を
示す縦断面図、第７図はプッシャーが第１のディスクを
押圧していない状態を示す縦断面図、第８図は従来の真
空バルブの一例を示す構成図である。 図中、 １……カバー ２……側部 ３……弁箱 ４……弁機構 ５……駆動機構 ６……弁箱の開口 ７……第１のディスク ８……第２のディスク 14……プッシャー 尚、図中、同一符号は、同一または相当部分を示してい
る。
Claims (2)
- 【請求項１】ガイドプレートと、中央に開口が設けられ
た第１のディスクと、上記開口内に摺動自在に嵌合され
た第２のディスクと、開口が設けられた弁箱とを有し、
上記第１のディスクが上記弁箱の開口に着座可能に構成
された真空バルブであって、ガイドプレートに軸支され
た複数のプッシャーを有し、上記第１のディスクが上記
弁箱の開口に着座した状態で、上記第１、第２のディス
クに、上記着座を悪化させる逆圧が作用した場合、上記
第２のディスクが上記第１のディスクの開口内を摺動し
ながら後退して上記プッシャーを回動させ、その回動に
より、上記第１のディスクが上記第２のディスクの摺動
方向とは反対方向に押圧され、上記第１のディスクの上
記弁箱の開口への着座状態を強めるように構成されたこ
とを特徴とする真空バルブ。 - 【請求項２】上記第２のディスクの上記弁箱の開口に臨
む面積は、上記第１のディスクの上記弁箱の開口に臨む
面積よりも大きくされたことを特徴とする請求項１記載
の真空バルブ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12488889A JP2767459B2 (ja) | 1989-05-18 | 1989-05-18 | 真空バルブ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12488889A JP2767459B2 (ja) | 1989-05-18 | 1989-05-18 | 真空バルブ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02304273A JPH02304273A (ja) | 1990-12-18 |
| JP2767459B2 true JP2767459B2 (ja) | 1998-06-18 |
Family
ID=14896581
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12488889A Expired - Fee Related JP2767459B2 (ja) | 1989-05-18 | 1989-05-18 | 真空バルブ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2767459B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4982679B2 (ja) * | 2007-02-07 | 2012-07-25 | Ｓｍｃ株式会社 | ゲートバルブ |
| JP6587233B1 (ja) * | 2018-03-30 | 2019-10-09 | 株式会社アルバック | 仕切弁 |
-
1989
- 1989-05-18 JP JP12488889A patent/JP2767459B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH02304273A (ja) | 1990-12-18 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
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