JPH02304273A - 真空バルブ - Google Patents
真空バルブInfo
- Publication number
- JPH02304273A JPH02304273A JP12488889A JP12488889A JPH02304273A JP H02304273 A JPH02304273 A JP H02304273A JP 12488889 A JP12488889 A JP 12488889A JP 12488889 A JP12488889 A JP 12488889A JP H02304273 A JPH02304273 A JP H02304273A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- disk
- valve
- opening
- pusher
- valve body
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000007789 sealing Methods 0.000 abstract description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Sliding Valves (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
この発明は、逆圧になってもシール性が悪くならない真
空バルブに関するものである。
空バルブに関するものである。
（従来の技術）
従来の真空バルブは、第８図に示すようにシリンダ３１
のロッド３２の先端にはスライダ３３が固着され、スラ
イダ３３には回動自在なリンク３４ａ、３４ｂを介して
弁体３５が取りつけられているが、その弁体３５はスラ
イダ３３に取り付けられたバネ３６によって弾圧されて
いる。開口３７を持った弁座３８は弁体３５とほぼ平行
に配置され、その弁座３８の一部には、ブラケット３９
を介して、ストッパー４０のローラ４Ｉは、弁体３５が
移動した時、弁体３５の一端部と当接するようになって
いる。
のロッド３２の先端にはスライダ３３が固着され、スラ
イダ３３には回動自在なリンク３４ａ、３４ｂを介して
弁体３５が取りつけられているが、その弁体３５はスラ
イダ３３に取り付けられたバネ３６によって弾圧されて
いる。開口３７を持った弁座３８は弁体３５とほぼ平行
に配置され、その弁座３８の一部には、ブラケット３９
を介して、ストッパー４０のローラ４Ｉは、弁体３５が
移動した時、弁体３５の一端部と当接するようになって
いる。
したがって、従来の真空バルブにおいて、シリンダ３１
が駆動して、スライダ３３が図中のＡ矢示の方向に水平
に移動すると、この水平移動にともなって、弁体３５も
水平に移動するが、弁体３５の一部がストッパー４０の
ローラ４１と当接すると、弁体３５の水平移動は停止す
る。しかし、スライダ３３が水平移動を継続すると、リ
ンク３４ａ、３４ｂは回動して、弁体３５がローラ４１
と当接しながら、図中Ｂ矢示の方向に垂直移動して、弁
座３８の上に着座するようになる。
が駆動して、スライダ３３が図中のＡ矢示の方向に水平
に移動すると、この水平移動にともなって、弁体３５も
水平に移動するが、弁体３５の一部がストッパー４０の
ローラ４１と当接すると、弁体３５の水平移動は停止す
る。しかし、スライダ３３が水平移動を継続すると、リ
ンク３４ａ、３４ｂは回動して、弁体３５がローラ４１
と当接しながら、図中Ｂ矢示の方向に垂直移動して、弁
座３８の上に着座するようになる。
（発明が解決しようとする課題）
従来の真空バルブは、弁体３５がローラ４１と当接しな
がら垂直移動して弁座３８上に着座する構成をしている
ので、弁体３５に逆圧、即ち第８図中のＢ矢示と反対方
向に圧力が作用すると、弁体３５の弁座３８への着座状
態が悪（なり、弁のシール性が悪化する問題があった。
がら垂直移動して弁座３８上に着座する構成をしている
ので、弁体３５に逆圧、即ち第８図中のＢ矢示と反対方
向に圧力が作用すると、弁体３５の弁座３８への着座状
態が悪（なり、弁のシール性が悪化する問題があった。
この発明は、上記問題を解決して、逆圧時における弁の
シール性を向上する真空バルブを提供することを目的と
している。
シール性を向上する真空バルブを提供することを目的と
している。
（課題を解決するための手段）
上記目的を達成するために、この発明の真空バルブは、
弁箱と、この弁箱の開口に着座する第１のディスクと、
この第１のディスクの中央の開口に摺動自在に嵌合され
た第２のディスクと、この第２のディスクが上記第１の
ディスクの中央の開口内で上記弁箱の開口より後退した
とき、上記第１のディスクを上記弁箱の開口に押圧する
複数のプッシャーとを備え、上記第１のディスクの上記
弁箱の開口に臨む面積より上記第２のディスクの上記弁
箱の開口に臨む面積の方を大きくしたことを特徴とする
ものである。
弁箱と、この弁箱の開口に着座する第１のディスクと、
この第１のディスクの中央の開口に摺動自在に嵌合され
た第２のディスクと、この第２のディスクが上記第１の
ディスクの中央の開口内で上記弁箱の開口より後退した
とき、上記第１のディスクを上記弁箱の開口に押圧する
複数のプッシャーとを備え、上記第１のディスクの上記
弁箱の開口に臨む面積より上記第２のディスクの上記弁
箱の開口に臨む面積の方を大きくしたことを特徴とする
ものである。
（作用）
この発明の真空バルブにおいては、第１のディスクの弁
箱の開口に臨む面積より第２のディスクの弁箱の開口に
臨む面積の方が大きいから、逆圧が作用したときには、
第２のディスクが第１のディスクの中央の開口内を摺動
しながら後退して、ブツシャ−の一端を押圧し、プッシ
ャーを回動させる。プッシャーが回動すると、ブツシャ
−の他端が第１のディスクを、第２のディスクの摺動方
向と反対方向に押圧するようになる。そのため、逆圧時
における弁のシール性が向上するようになる。
箱の開口に臨む面積より第２のディスクの弁箱の開口に
臨む面積の方が大きいから、逆圧が作用したときには、
第２のディスクが第１のディスクの中央の開口内を摺動
しながら後退して、ブツシャ−の一端を押圧し、プッシ
ャーを回動させる。プッシャーが回動すると、ブツシャ
−の他端が第１のディスクを、第２のディスクの摺動方
向と反対方向に押圧するようになる。そのため、逆圧時
における弁のシール性が向上するようになる。
（実施例）
以下、この発明の実施例について図面を参照しながら説
明する。
明する。
第１図〜第７図はこの発明の一実施例を示すものである
。これらの図において、真空バルブは、カバー１及び側
部２で囲まれた弁箱３と、この弁箱３内に配設された弁
機構４と、弁箱３のカバー１の外側に固定された駆動機
構５等から構成されている。弁箱３は弁機構４の配置さ
れた対応着座位置に円形の開口６が形成されている。弁
機構４は、第１のディスク７と、第２のディスク８とガ
イドプレート９とがガイドレール１０に沿って移動可能
に構成されており、アーム１１を介して連結された駆動
機構５により駆動される。第１のディスク７は、中央に
円形の開口を有し、弁箱３の開口６にＯリング１２を介
して着座するようになっている。第２のディスク８は、
円形をしており、第１のディスク７の中央の開口に０リ
ング１３を介して摺動自在に嵌合されている。第２のデ
ィスク８の上方には、ガイドプレート９が配置されてお
り、このガイドプレート９には複数のプッシャー１４が
軸支されている。また、第２のディスク８とガイドプレ
ート９との間には、スプリング１５が配設され、スプリ
ング１５によって、第２のディスク８を弁箱３の開口６
方向に弾圧している。
。これらの図において、真空バルブは、カバー１及び側
部２で囲まれた弁箱３と、この弁箱３内に配設された弁
機構４と、弁箱３のカバー１の外側に固定された駆動機
構５等から構成されている。弁箱３は弁機構４の配置さ
れた対応着座位置に円形の開口６が形成されている。弁
機構４は、第１のディスク７と、第２のディスク８とガ
イドプレート９とがガイドレール１０に沿って移動可能
に構成されており、アーム１１を介して連結された駆動
機構５により駆動される。第１のディスク７は、中央に
円形の開口を有し、弁箱３の開口６にＯリング１２を介
して着座するようになっている。第２のディスク８は、
円形をしており、第１のディスク７の中央の開口に０リ
ング１３を介して摺動自在に嵌合されている。第２のデ
ィスク８の上方には、ガイドプレート９が配置されてお
り、このガイドプレート９には複数のプッシャー１４が
軸支されている。また、第２のディスク８とガイドプレ
ート９との間には、スプリング１５が配設され、スプリ
ング１５によって、第２のディスク８を弁箱３の開口６
方向に弾圧している。
したがって、第２のディスク８が第１のディスク７の中
央の開口内を、スプリング１５の弾圧に抗して摺動しな
がら後退して、プッシャー１４の一端を押圧すると、プ
ッシャー１４が回動し、プッシャー１４の他端が第２の
ディスク７の摺動方向と反対方向に押圧されるようにな
る。ガイドプレート９は、ピン１６を介してアーム１１
に連結されている。ガイドプレート９の両側に横設され
たビン１７にはボールベアリング１８が介装され、その
ボールベアリング１８は、ガイドレールｌＯ内に移動可
能に遊嵌されている。したがって、アーム１１によりガ
イドプレート９は、ガイドレール１０に沿って平行移動
する。ガイドプレート９と第１のディスク７とは、ガイ
ドプレート９の先端において、継手リンク１９によりピ
ン結合されている。ガイドプレート９の先端にはブラケ
ット２０がスプリング２１を介して接続されている。
央の開口内を、スプリング１５の弾圧に抗して摺動しな
がら後退して、プッシャー１４の一端を押圧すると、プ
ッシャー１４が回動し、プッシャー１４の他端が第２の
ディスク７の摺動方向と反対方向に押圧されるようにな
る。ガイドプレート９は、ピン１６を介してアーム１１
に連結されている。ガイドプレート９の両側に横設され
たビン１７にはボールベアリング１８が介装され、その
ボールベアリング１８は、ガイドレールｌＯ内に移動可
能に遊嵌されている。したがって、アーム１１によりガ
イドプレート９は、ガイドレール１０に沿って平行移動
する。ガイドプレート９と第１のディスク７とは、ガイ
ドプレート９の先端において、継手リンク１９によりピ
ン結合されている。ガイドプレート９の先端にはブラケ
ット２０がスプリング２１を介して接続されている。
したがって、ガイドプレート９に接続されているブラケ
ット２０が弁箱３の側部２と当接したとき、継手リンク
１９が回動して、第１のディスク７が弁箱３の開口６に
着座するようになる。ここで、第１のディスク７の弁箱
３の開口６に臨む面積をＡＩ％第２のディスク８の弁箱
３の開口６に臨む面積をＡ、とすると、Ａ、よりＡ、の
方が大きくなる関係が成り立つよう構成されている。な
お。駆動機構５はシリンダ２２とラック２３、ピニオン
２４、主アーム２５、アーム１１等を備えている。
ット２０が弁箱３の側部２と当接したとき、継手リンク
１９が回動して、第１のディスク７が弁箱３の開口６に
着座するようになる。ここで、第１のディスク７の弁箱
３の開口６に臨む面積をＡＩ％第２のディスク８の弁箱
３の開口６に臨む面積をＡ、とすると、Ａ、よりＡ、の
方が大きくなる関係が成り立つよう構成されている。な
お。駆動機構５はシリンダ２２とラック２３、ピニオン
２４、主アーム２５、アーム１１等を備えている。
次に、上記のように構成された真空バルブの動作につい
て説明する。
て説明する。
先ず、弁を閉じる場合には駆動機構５を作動させ、シリ
ンダ２２により、ピニオン２４及びラック２３を介して
、主アーム２５を伸すと、ガイドプレート９がガイドレ
ール１０に沿って前進する。
ンダ２２により、ピニオン２４及びラック２３を介して
、主アーム２５を伸すと、ガイドプレート９がガイドレ
ール１０に沿って前進する。
ガイドプレート９の前進に伴って、第１のディスク７及
び第２のディスク８も前進するようになるが、ガイドプ
レート９に接続されているブラケット２０が弁箱３の側
部２と当接したとき、継手リンク１９が回動して、第１
のディスク７が弁箱３の開口６に着座するようになる。
び第２のディスク８も前進するようになるが、ガイドプ
レート９に接続されているブラケット２０が弁箱３の側
部２と当接したとき、継手リンク１９が回動して、第１
のディスク７が弁箱３の開口６に着座するようになる。
このように第１のディスク７が弁箱３の開口６に着座し
て弁が閉じているときに、逆圧、即ち、第２のディスク
の摺動方向と反対方向の圧力が作用した場合、第１のデ
ィスク７の弁箱３の開口６に臨む面積Ａ、より第２のデ
ィスク８の弁箱３の開口６に臨む面積Ａ、の方が大きい
ので、第２のディスク８が第１のディスク７の中央の開
口内を、スプリング１５の弾圧に抗して摺動しながら後
退して、プッシャー１４の一端を押圧し、プッシャー１
４を回動させる。ブツシャ−１４が回動すると、プッシ
ャー１４の他端が第１のディスク７を、第２のディスク
８の摺動方向と反対方向に押圧するようになる。そのた
め、逆圧時における弁のシール性が向上するようになる
。
て弁が閉じているときに、逆圧、即ち、第２のディスク
の摺動方向と反対方向の圧力が作用した場合、第１のデ
ィスク７の弁箱３の開口６に臨む面積Ａ、より第２のデ
ィスク８の弁箱３の開口６に臨む面積Ａ、の方が大きい
ので、第２のディスク８が第１のディスク７の中央の開
口内を、スプリング１５の弾圧に抗して摺動しながら後
退して、プッシャー１４の一端を押圧し、プッシャー１
４を回動させる。ブツシャ−１４が回動すると、プッシ
ャー１４の他端が第１のディスク７を、第２のディスク
８の摺動方向と反対方向に押圧するようになる。そのた
め、逆圧時における弁のシール性が向上するようになる
。
次に、弁を開く場合には、駆動機構５を作動させ、主ア
ーム２５を縮めと、ガイドプレート９がガイドレール１
０に沿って後進するため、第１のディスク７及び第２の
ディスク８も後進するようになり、弁が開くようになる
。
ーム２５を縮めと、ガイドプレート９がガイドレール１
０に沿って後進するため、第１のディスク７及び第２の
ディスク８も後進するようになり、弁が開くようになる
。
（発明の効果）
この発明によれば、第１のディスクの弁箱の開口に臨む
面積より第２のディスクの弁箱の開口に臨む面積の方が
大きいから、逆圧が作用したときには、第２のディスク
が第１のディスクの中央の開口内を、摺動しながら後退
して、プッシャーの一端を押圧し、プッシャーが回動す
る。プッシャーが回動すると、プッシャーの他端が第１
のディスクを、第２のディスクの摺動方向と反対方向に
押圧するようになる。そのため、逆圧時における弁のシ
ール性が向上するようになる。
面積より第２のディスクの弁箱の開口に臨む面積の方が
大きいから、逆圧が作用したときには、第２のディスク
が第１のディスクの中央の開口内を、摺動しながら後退
して、プッシャーの一端を押圧し、プッシャーが回動す
る。プッシャーが回動すると、プッシャーの他端が第１
のディスクを、第２のディスクの摺動方向と反対方向に
押圧するようになる。そのため、逆圧時における弁のシ
ール性が向上するようになる。
第１図〜第７図は本発明の一実施例を示すものであり、
第１図は本発明の真空バルブを示す全体斜視図、第２図
、第３図は、弁機構部を示す要部断面斜視図、第４図は
、本発明の真空バルブを示す一部切り欠き平面図、第５
図は本発明の真空バルブを示す一部切り欠き側面図、第
６図はブツシャ−が第１のディスクを押圧する状態を示
す縦断面図、第７図はプッシャーが第１のディスクを押
圧していない状態を示す縦断面図、第８図は従来の真空
バルブの一例を示す構成図である。 図中、 ｌ・・・カバー ２・・・側部 ３・・・・弁箱 ４・・・・弁機構 ５・・・・駆動機構 ６・・・・弁箱の開口 ア・・・・第１のディスク ８・・・９第２のディスク １４・・・プッシャー 尚、図中、同一符号は、同一または相当部分を示してい
る。 特許出願人 日本真空技術株式会社 第１ 図 第２図 第３図 第４ 図 第５図 第６閏 第７図
第１図は本発明の真空バルブを示す全体斜視図、第２図
、第３図は、弁機構部を示す要部断面斜視図、第４図は
、本発明の真空バルブを示す一部切り欠き平面図、第５
図は本発明の真空バルブを示す一部切り欠き側面図、第
６図はブツシャ−が第１のディスクを押圧する状態を示
す縦断面図、第７図はプッシャーが第１のディスクを押
圧していない状態を示す縦断面図、第８図は従来の真空
バルブの一例を示す構成図である。 図中、 ｌ・・・カバー ２・・・側部 ３・・・・弁箱 ４・・・・弁機構 ５・・・・駆動機構 ６・・・・弁箱の開口 ア・・・・第１のディスク ８・・・９第２のディスク １４・・・プッシャー 尚、図中、同一符号は、同一または相当部分を示してい
る。 特許出願人 日本真空技術株式会社 第１ 図 第２図 第３図 第４ 図 第５図 第６閏 第７図
Claims (1)
- 弁箱と、この弁箱の開口に着座する第１のディスクと、
この第１のディスクの中央の開口に摺動自在に嵌合され
た第２のディスクと、この第２のディスクが上記第１の
ディスクの中央の開口内で上記弁箱の開口より後退した
とき、上記第１のディスクを上記弁箱の開口に押圧する
複数のプッシャーとを備え、上記第１のディスクの上記
弁箱の開口に臨む面積より上記第２のディスクの上記弁
箱の開口に臨む面積の方を大きくしたことを特徴とする
真空バルブ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12488889A JP2767459B2 (ja) | 1989-05-18 | 1989-05-18 | 真空バルブ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12488889A JP2767459B2 (ja) | 1989-05-18 | 1989-05-18 | 真空バルブ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02304273A true JPH02304273A (ja) | 1990-12-18 |
| JP2767459B2 JP2767459B2 (ja) | 1998-06-18 |
Family
ID=14896581
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12488889A Expired - Fee Related JP2767459B2 (ja) | 1989-05-18 | 1989-05-18 | 真空バルブ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2767459B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008190698A (ja) * | 2007-02-07 | 2008-08-21 | Smc Corp | ゲートバルブ |
| CN110603396A (zh) * | 2018-03-30 | 2019-12-20 | 株式会社爱发科 | 闸阀 |
-
1989
- 1989-05-18 JP JP12488889A patent/JP2767459B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008190698A (ja) * | 2007-02-07 | 2008-08-21 | Smc Corp | ゲートバルブ |
| CN110603396A (zh) * | 2018-03-30 | 2019-12-20 | 株式会社爱发科 | 闸阀 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2767459B2 (ja) | 1998-06-18 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
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