JPS61222567A

JPS61222567A - 真空処理装置用ゲ−ト弁

Info

Publication number: JPS61222567A
Application number: JP61016654A
Authority: JP
Inventors: ジヨン　イー　マドツクス; アレツクス　ブージニー
Original assignee: BOC Group Inc
Current assignee: Messer LLC
Priority date: 1985-01-28
Filing date: 1986-01-27
Publication date: 1986-10-03
Also published as: FR2576660B1; GB2170885B; DE3602369A1; GB8601906D0; DE3602369C2; US4753417A; GB2170885A; FR2576660A1; CA1282769C

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】本発明は室、特に真空塗装装置の室間の開口部を密封す
るための弁に関する。

高速真空塗装装置はしばしば、別々に真空吸収すること
ができる一連のインライン室を備えている。このような
装置は、基質を１つの室から次の室に通すように開くゲ
ート弁によって連結された入口係止／保持すなわち処理
室を備えている。大きな基質の処理は大きな室および大
きなゲート弁の使用を必要とする。このような室の大き
さの最小化は、それらのコストおよびしばしば全体の処
理時間を定める際に主な要因である真空吸引時間を最小
にするのに重要である。

いくつかの型式のゲー′ト弁が知られている。時々、ゲ
ートは、米国特許第３，６５６．４５４号（シュレーダ
）におけるように、ゲートを基質の運動方向と直角な線
に沿って移動させるアクチュエータに直接連結されてい
る。米国特許第３，６４１，９７３号、（シュレーダ）
は、ゲートが水平トラックに沿って転勤するホイールを
４つ有するゲート弁を示している。他の場合では、枢着
ゲートが適当な連結リンクによってアクチュエータに連
結されている。米国特許第４．０６５．０９７号（テイ
ミン）は、枢軸を中心としたほぼ９０゛回転するゲート
と、ゲートの各機縁部の中心を空気圧シリンダのピスト
ンロフトの端部に取付けられた横棒に連結する一対のリ
ンクとを有するスリット弁を開示している。横棒には、
ホイールの直径よりわずかに幅の広いチャンネルを有す
るトラックによって形成された直線路に沿うで移動する
２対のホイールが取付けられている。アクチュエータの
ロフトの移動は弁の開口部を通る基質の運動方向と直角
な線に沿う、かかる設計は、アクチュエータの走行に順
応するのに十分な寸法を有する弁か、さもなくば、アク
チュエータを室から突出させる弁ボディの開口部のいず
れかを必要とし、後者の場合には開口部のシールのまわ
りに漏れの可能性がある。

１肌色監！本発明は真空処理室の壁部の開口部を密封するためのゲ
ート弁である。この弁はゲートを有し、このゲートはそ
の両端に設けられた一対のホイールと、ゲートがその密
封位置と解放位置との間を移動するとき、ゲートの平面
を回転させて基質の経路からはずれるようにするために
ホイールをある角度案内するように整合しかつ成形され
た弯曲トラックとを有する。

ゲートを回転させるために一対のホイールおよびトラッ
クを使用することにより、線形アクチュエータを、その
移動が弁の開口部を通る基質の運動とほぼ平行であるよ
うに配向させることができる。トランクの弯・曲は、ゲ
ートを少なくとも６０゜の角度回転させるのに十分であ
るべきである。この角度は、基質の走行方向と直角な室
の寸法を最小にするために、好ましくは７０〜１０５°
の範囲である。はぼ９０°の角度が特に好ましい、トラ
ックに第２弯曲部を設けることにより、開口部の周囲を
取囲むＯリングシールの摩擦損傷を最小にするようにゲ
ートを開口部の平面と実質的に直角な方向に開口部に対
して近づけたり遠ざけたりすることができる。

゛な−　　の１日第１図は本発明によるゲート弁の周囲を示している。真
空処理装置は第１包囲室１０を備え、この室は側壁部１
２、底壁部１４および第１図を示していない頂カバー１
６を有している。室および弁の構成要素は鋼または他の
適当な材料でもよい。

真空吸引により生じる圧力に耐えるために、室の壁部を
リブ１３で強化するのがよい、第１室１０は、第２の真
空吸収可能な室２０の端壁部２１に密封されるフランジ
１７を有する。壁部２１は、基質を矢印５の方向に沿っ
て室１０と室２０との間に通す開口部２２（第２図）を
有する。この開口部の形状および寸法は基質により決ま
る。第３図に示すように、開口部２２は２つの機縁部２
４（１つのみを図示）および２つの細長い縁部２５を備
える矩形である。基質は、多数のホイールまたはローラ
７．８（これらのうち２つを第２図に点線外形で示しで
ある）のような任意の有利なコンベヤによって室１０．
２０内でこれらの室間で搬送し得る。室１０，２０およ
び開口部２２は第１図と直角で中心線４を通る平面に対
称である。

本発明による弁は、ゲー）３０．１つ以上のアクチュエ
ータ４０、一対の第１ホイール５０および双レールトラ
ック６０を備えている。好ましくは、この弁は又一対の
第２ホイール７０および一対の横ガイドローラ８０を備
えている。この弁は第１図の中心線４を通る垂直平面に
対称であり、ホイール５０．ＴＯの一方のみ、１つのロ
ーラ８０、およびトラック６０の一方のレールを示しで
ある。

室１０．２０間の加工片の移送を容易にするために、弁
は、コイベヤ７．８間の距離が最小になるように構成さ
れている。

第１図および第３図に、ゲー）３０が第２図に３２で示
すその密封位置に示されている。線形アクチュエータ４
０の収縮で、ホイール５０は弯曲部分６２を通ってトラ
ック６０に沿って移動して、ゲートをその垂直密封位置
３２から開口部２２が実質的に妨げられない第２図に破
線で示す水平位置３４まで回転させる。

ゲート３０は開口部２２を覆うように寸法法めされてい
る。図示のように、ゲートは２つの横縁部（これらの一
方は３６である）、および２つの細長い縁部３７．３８
を有する矩形である。８５インチ×１０インチ×１．５
インチのような大きいゲートを有する弁を本発明により
作った。開口部２２の周囲のまわりにシールを作るため
に、０リング３９がゲートの溝に嵌め込まれている。

各アクチュエータ４０は、ボディ４１と、ピストンロッ
ド４２と、このロッドの位置を制御するためにボディの
各端部に設けられた空気供給／抜き取付体４３とを有す
る空気圧シリンダである。

これらの取付体の空気管路は図示していない。各アクチ
ュエータ４０の一端はブツシュ４５を有する取付体４４
によってゲート３０に連結され、ブツシュ４５は、ゲー
ト３０の細長い縁部３７、即ち第３図の上縁部に沿って
設けられた４対の支持ブロック４７を通っている軸４６
を取囲んでいる。

軸４６の部分は明確にするために第１図および第３図か
ら省いである。各アクチュエータ４０の他端は、ブラケ
ット１９によって室１０の壁部に固定されたビーム１８
に枢着されている。ゲートが移動すると、枢軸４８によ
りアクチュエータの角移動を行なわせる。

各ホイール３０は、ゲート３０の各横縁部を越えて突出
しているスタップシャフト５２に回転自在に装着されて
いる。シャフト５２は共軸であり、それらの各々は、ゲ
ート３０の細長い縁部３８の近くに位置決めされた一対
のブロック５４に挟まれている。

好ましくは、ゲートは軸４６の突出端部に装着された一
対の第２支持ホイール７０を有し、軸４６はゲート３０
の細長い縁部３７に沿って延びている。かくして、ゲー
トは、その細長い縁部と平行な軸に装着された４つのホ
イールを有する。軸４６には、ホイール７０を、これら
が互いに回転し、かくしてアクチュエータ４０が軸４６
に異なる力を及ぼすとき、ゲートの斜動を最小にする傾
向があるように固定するのがよい。

トラック６０は、基質が開口部を通るのを妨げないよう
に設けられた一対の同一の平行板６１（１つのみを図示
）を備えている。好適な実施例では、これらの板は多数
のスペーサ６３およびボルト６４で各側壁１２に隣接し
て取付けられている。各板の縁部は少なくとも第１弯曲
部分６２を有し、好ましくは第２弯曲部分６Ｂも有して
いる。

これらの板は、ホイール付きゲートを、これがその解放
位置と密封位置との間を移動するとき、案内するように
成形されかつ整合されている。

ゲートは、これが当初その解放位置３４にあれば、第２
図ではほぼ水平であって、その４つのホイール５０．７
０によって支持されている。一対ずつの第１および第２
ホイール各々の一方は各板６１の平らな水平縁部６５の
上に位置している。

アクチュエータが延びると、第１ホイールは平らな部分
６５に沿って転動し、次いで第１弯曲部分６２に沿って
トラックの垂直部分６６まで約９０゜の角度、下方に転
勤する。同時に、一対の第２ホイールは、同じ水平部分
６５に沿って転勤するが、次いで、ゲートが約９０°の
角度回転して実質的に垂直配向になると、弯曲部分６２
からトラックを離れる。

ゲートの密封はゲートの細長い縁部３８に沿って整合し
た保合装置９０によって行なわれる。一連の圧力板９１
が相応数の圧力部材と整合しており、これらの圧力部材
は調整ねじ９４および室１０の底壁部１４に取付けられ
たブロックを備えている。各圧力板９１の一方の側は、
ホイール５０がトラックの垂直部分６６の底部に接近す
ると、ねじ９４の端部に接触する。これらのねじは、ア
クチュエータがその延びを終了すると、ゲートがこれら
のねじに対抗して開けられるように、係止ナツト９５に
より適所に固定される。かくして、アクチュエータの完
全な延びにより、ゲートの上下両方の細長い縁部を室の
壁部２１に向けて駆動し、モして０リング３９を圧縮し
て開口部を密封する。

ゲートはねじ９４と壁部２１との間でくさび留めされて
密なシールをなす。ゲートの最後の運動は０リングの摩
擦損傷を最小にするために壁部と実質的に直角である。

０リングの交換は、ゲートがその解放位置にありかつ頂
カバー１６が取りはずされているときには容易に達成さ
れる。

好適な実施例では、トラックの垂直部分６６は、トラッ
クが第２図の水平線に向って弯曲し、それにより、アク
チュエータが引込んで弁を開くとき、ゲート３０が初め
にわずかに下方にその密封位置から離れるようにホイー
ル５０にわずかな傾斜を生じさせるような第２弯曲部分
６８に達している。

また、弁は好ましくは一対の横案内ローラ８０（１つの
みを図示）を有する。各ローラ８０は短いスタンプシャ
フト８２に設けられ、シャフト８２は各横縁部３６の中
心に近い箇所からゲートと直角に延びている。横方向に
調節可能なブラケット８８により、ゲートは、室１０の
内部に面するプレート６１の側部６９と接触している各
ホイール８０と整合される。これらのホイールはゲート
をこれが移動するとき、案内して望ましくない横方向運
動を防ぐ。

プロセス°制御を容易にするために、ゲート弁には、ゲ
ートがその解放および密封位置にあるとき、作動される
センサを取付けるのがよい、このようなセンサは調節可
能なブラケット１０３．１０５に夫々設けられる在来の
マイクロスイッチ１００．１０２でもよい、ゲートがそ
の密封位置に対して近づいたり遠ざけたりするとき、マ
イクロスイッチのアクチュエータ１０６がゲート３０の
細長い縁部３８と接触すると、マイクロスイッチ１００
の状態は変化する。ゲートの細長い縁部３７が第１図に
ゲートの完全解放位置を示す線６に対して近づいたり遠
ざかったりするとき、マイクロスイッチ１０２は作動す
る。

好適で実施例のゲート弁は本発明の精神から逸脱するこ
となしにいくつかの点で変更し得る０例えば、異なる型
式のアクチュエータを使用してもよい。

好適な実施例では、第２弯曲部の角度は９Ｇ”より大き
いが、この角度は、ゲートの適切な密封が行われれば、
９０’またはそれ以下でもよい。

この角度が９０”より小さい場合、アクチュエータがそ
の延びの終りに近づ（と、トラックは一対の第１ホイー
ル５０およびゲートをそれらの密封位置へ押す。第２弯
曲部の角度は好ましくは６０’〜１１０°の範囲である
。

好適な実施例では、弁は、ゲートが垂直密封位置と水平
解放位置との間を回転するように配向されている。わず
かに変更した弁を上記と異なるように配向させ、それに
より、例えば、ゲートが水平密封位置と垂直解放位置と
の間を回転したり、回転ゲートが常に垂直平面にあるよ
うにしたりしてもよいと思われる。後者の２つの状態で
は、トラックは、ホイールをトラックと接触状態に保つ
かつ弁を円滑に作動するためにチャンネル部分を備える
ことが望ましいかも知れない。

特許請求の範囲により定められる本発明から逸脱するこ
となしに、さらに他の変更例も可能である。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明によるゲート弁を収容する真空吸引可能
な室の一部の頂面図；第２図は第１図の線２−２に沿い
、隣接した矢印の方向における第１図の室および弁の部
分横断面側面図；第３図は第１図の線３−３に沿い、隣
接した矢印の方向における第１図の室および弁の部分横
断面端面図である。１０・・・室、１２・・・側壁部、１４・・パ底壁部、
１６・・・頂カバー、２０・・・第２室、２２・・・開
口部、２４．２５・・・縁部、３０・・・ゲート、４０
・・・アクチュエータ、５０．７０・・・ホイール、６
０・−−）ラック、８０・・・ローラ。Ｉ！１ｗの浄書（内容に変更なし）ＦＩＧ、１昭和　　年　　月　　日１．事件の表示　　　昭和６１年特許願第１６６５４号
２、発明の名称　　　　　真空処理装置用ゲート弁３、
補正をする者事件との関係　　出願人名　称　　　ザ　ビーオーシー　グループインコーホレ
ーテッド４、代理人

Claims

【特許請求の範囲】

（１）真空処理装置の壁部の開口部を密封するゲート弁
において、ゲートと、ゲートを移動させるアクチュエータと、ゲートに設けられた平行軸を備えた一対の第１ホイール
と、ゲートがその密封位置と解放位置との間を移動するとき
、ゲートの平面を約６０°より大きい角度回転させるた
めに第１ホイールを第１角度案内するように整合されか
つ成形された弯曲トラックと、を備えていることを特徴
とするゲート弁。
（２）ゲートに設けられた平行軸を備え、ゲートをトラ
ックに沿って案内する一対の第２ホイールをさらに備え
ていることを特徴とする特許請求の範囲第（１）項に記
載のゲート弁。
（３）トラックは、ゲートがその密封位置に接近すると
き、第１ホイールを約６０°より大きい第２角度案内す
る第２弯曲部を有することを特徴とする特許請求の範囲
第（１）項に記載のゲート弁。
（４）第２角度はほぼ９０°と１１０°との間であるこ
とを特徴とする特許請求の範囲第（３）項に記載のゲー
ト弁。
（５）ゲートがトラックに沿って移動するとき、ゲート
を横方向に案内するようにゲートと直角な平行軸に設け
られた一対のローラをさらに備えることを特徴とする特
許請求の範囲第（１）項に記載のゲート弁。
（６）ゲートは細長く、一対の第１ホイールはゲートの
細長い第１縁部に隣接して両端に設けられ、アクチュエ
ータはゲートの反対側の細長い縁部に隣接してゲートに
連結されていることを特徴とする特許請求の範囲第（１
）項に記載のゲート弁。
（７）ゲートをその密封位置に保持するのに助けるため
にゲートに細長い第１縁部の近くに係合する圧力部材を
さらに備えていることを特徴とする特許請求の範囲第（
６）項に記載のゲート弁。
（８）ゲートは、これがその密封位置にあるとき、圧力
部材と壁部との間にくさび留めされていることを特徴と
する特許請求の範囲第（７）項に記載のゲート弁。
（９）ゲートの反対の細長い縁部に隣接して両端に設け
られた、平行軸を備え、ゲートをトラックに沿って案内
する一対の第２ホイールをさらに備えていることを特徴
とする特許請求の範囲第（８）項に記載のゲート弁。
（１０）ゲートがトラックに沿って移動するとき、ゲー
トを横方向に案内するようにゲートと直角な平行軸に設
けられた一対のローラをさらに備えることを特徴とする
特許請求の範囲第（９）項に記載のゲート弁。
（１１）トラックは、ゲートがその密封位置に接近する
とき、第１ホイールを約６０°より大きい第２角度案内
する第２弯曲部を有することを特徴とする特許請求の範
囲第（１０）項に記載のゲート弁。
（１２）ゲートは７５°と１０５°との間、回転される
ことを特徴とする特許請求の範囲第（１）項に記載のゲ
ート弁。
（１３）ゲートは実質的に垂直な密封位置と実質的に水
平な解放位置との間に回転されることを特徴とする特許
請求の範囲第（１２）項に記載のゲート弁。