DE112004001210T5

DE112004001210T5 - Transportvorrichtung und Transportsteuerverfahren für eine dünne Platte

Info

Publication number: DE112004001210T5
Application number: DE112004001210T
Authority: DE
Inventors: Katsunori Sakata; Hidekzu Okutsu; Seiichi Fujii
Original assignee: Rorze Corp
Current assignee: Rorze Corp
Priority date: 2003-07-04
Filing date: 2004-07-02
Publication date: 2006-06-08
Also published as: WO2005004230A1

Abstract

Transportvorrichtung, die in einer gegebenen, reinen Umgebung eingerichtet ist, zum Transportieren einer dünnen Platte großer Abmessung von einer gegebenen Abhebeposition zu einer Verarbeitungskammer, die aufweist:
ein Paar von senkrechten Tragteilen, die in einem vorgegebenen Intervall stehen;
mindestens einen horizontalen Tragtisch, der auf dem Paar von senkrechten Tragteilen anhebbar ausladend angebracht ist;
eine Hubantriebseinrichtung zum vertikalen Anheben des horizontalen Tragtisches; und
einen Roboter, der an dem horizontalen Tragtisch angeordnet ist und horizontale Dreharme zum Aufnehmen und Transportieren der dünnen Platte hat.

Description

Technisches Gebiet
Die vorliegende Erfindung betrifft eine Transportvorrichtung und ein Transportsteuerverfahren für dünne Platten, wobei die Transportvorrichtung in einer reinen Umgebung zum Transportieren oder Transferieren der dünnen Platten, z.B. von Halbleiterwafern, Flüssigkristallanzeigeeinheiten, Plasmaanzeigeeinheiten, Anzeigeeinheiten mit organischer Elektrolumineszenz, Anzeigeeinheiten mit anorganischer Elektrolumineszenz, Feldemissionsanzeigeeinheiten, Flüssigkristallanzeigesteuertafeln, Vorrichtungen mit gedruckten Leitern bzw. Teilfertigprodukten.
Hintergrund der Erfindung
Herkömmlich wird als Roboter zum Transportieren dünner Platten in einer reinen Umgebung ein Roboter vom Skalartyp verwendet, der in dem japanischen Patent Nr. 2,739,413 wiedergegeben ist. Heutzutage, da Anzeigeeinheiten, zum Beispiel Flüssigkristallanzeigeeinheiten (Flüssigkristallanzeige-TV), immer größer werden, werden jedoch die Glasplatten, die dafür verwendet werden, auch größer in der Abmessung, was das Verstärken eines Roboters zum Transportieren der Platten erfordert. Dementsprechend ist es erforderlich, wenn Glasplatten zu verschiedenen Verarbeitungskammern transportiert und transferiert werden, Glasplatten von 2 m × 2 m oder größer herzustellen, die Platte um 2 m oder mehr anzuheben und die Platte mit einer hohen Geschwindigkeit und genau zu transportieren. Da eine dünne Platte großer Abmessung (oder eine Glasplatte) schwer ist und durch ein Verbiegen bzw. Durchbiegen beschädigt werden kann, ist es schwierig, die schwere, dünne Platte großer Abmessung mit einer hohen Geschwindigkeit und stabil nach oben zu transportieren. Um dieses Problem lösen zu können, wurden verschiedene Erfindungen vorgeschlagen.
Zum Beispiel offenbart die japanische, offen gelegte Patentveröffentlichung Nr. Hei9-505384 eine Hubvorrichtung, die vielstufige Kugelgewindespindeln hat, und die japanische, offen gelegte Patentveröffentlichung Nr. Hei10-209241 offenbart eine Hubvorrichtung vom Wagenheber-Typ. Zudem offenbart die japanische, offen gelegte Patentveröffentlichung Nr. Heill-238779 eine Hubvorrichtung vom Gelenkarm-Typ, die in Roboterschweißmaschinen verwendet wird und die japanische, offen gelegte Patentveröffentlichung Nr. 2001-274218 offenbart einen Roboter, mit einem Hebemechanismus, der an der Basis von zwei horizontal drehenden Armen angeordnet ist, die sich vertikal gegenüberstehen.
Offenbarung der Erfindung
Probleme, die mit der Erfindung gelöst werden sollen.
Die Hubvorrichtung mit vielstufiger Kugelgewindespindel ist jedoch bezüglich dem Standhalten eines Rollens problematisch, da die Vorrichtung eine geringe Festigkeit in der Horizontalrichtung hat. Beim Roboter vom Wagenheber-Typ oder Gelenkarmtyp ist viel Kraft aufgrund des Umkehrhebels erforderlich, wenn er die Platte gegen die Schwerkraft nach oben bringen muss. Um die Belastung dieser Kraft tragen zu können, muss die Armantriebsvorrichtung zudem ein dickes und schweres Rahmenwerk haben, was ein Problem darstellt. Wenn ein Roboter, der eine Hubvorrichtung an der Basis der horizontal drehenden Arme hat, verwendet wird, ist ein freier Transport nur an der am Arm angebrachten Seite zugelassen. Um die Platte zu der entgegengesetzten Seite transportieren zu können, muss deshalb die Hubvorrichtung, die das schwere Gewicht trägt, mit einer Drehachse an ihrem Boden, die gedreht wird, versehen sein, was konstruktiv schwierig ist.
Wenn der Roboter mit der Vergrößerung der dünnen Platten größer wird, nimmt der Roboter zudem selbst im Gewicht zu und der Abstand der ausgestreckten Endeffektoren wird größer. Dies macht es wahrscheinlich, dass der Roboter selbst beim Betrieb (in Abhängigkeit von den Betriebspositionen der Endeffektoren) gebogen wird, was es schwierig macht, den Transportbetrieb durchzuführen, einschließlich des Herausnehmens einer dünnen Platte aus einer Kassette und des Einsetzens der dünnen Platte in eine Kassette, ohne dass eine Schrägstellung des Roboters durch Verbiegen bzw. Durchbiegung berücksichtigt wird. In der Beschreibung der Spezifikation dieser Anmeldung wird deshalb davon ausgegangen, dass "Transportieren" der dünnen Platte von einer Position A in eine Position B durch einen Transportroboter jede Bewegung einer dünnen Platte durch den Transportroboter bedeutet. Zum Beispiel enthält "Transportieren" den Betrieb des Herausnehmens einer dünnen Platte aus einer Kassette, um sie zu einer Verarbeitungskammer zu transportieren, und den Betrieb des Herausnehmens einer dünnen Platte aus der Verarbeitungskammer zurück in eine Kassette.
Zudem ist es wichtig, wenn eine dünne Platte großer Abmessung und starker Durchbiegung, zum Beispiel eine Glasplatte, die als eine Platte einer Flüssigkristallanzeigeeinheit verwendet wird, angehoben wird und durch die Endeffektoren gehalten wird und mit einer hohen Geschwindigkeit transportiert wird und in einer gegebenen Position angeordnet wird, die dünne Platte in einer gegebenen Referenzposition richtig anzuordnen. Wenn die Position, wo die dünne Platte an den Endeffektoren angeordnet wird, versetzt wird, wird es schwierig, nicht nur die dünne Platte in der richtigen Position anzuordnen, sondern auch den Transportweg der Glasplatte (der dünnen Platte) und die Ver biegung genau zu erhalten, was manchmal verursacht, dass die dünne Platte in Berührung mit anderen Vorrichtungen gebracht wird, und zerbricht.
Dementsprechend ist es eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Transportvorrichtung und ein Transportsystem bereitzustellen, wobei die Transportvorrichtung, die in einer gegebenen, reinen Umgebung eingerichtet ist und ein stabiles Verhalten beim Transportieren eines Plattenmediums großer Abmessung nach oben gegen die Schwerkraft bereitstellen kann, das Erfordernis einer großen Leistung beseitigt, die bislang erforderlich war.
Zudem ist es eine weitere Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Transportvorrichtung und deren Transportsteuerverfahren bereitzustellen, die eine dünne Platte genau befördern können, wenn ein Roboter verbogen bzw. durchgebogen ist.
Zudem ist es noch eine weitere Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Transportvorrichtung und ihr Transportsteuerverfahren bereitzustellen, die detektieren können, ob ein Plattenmedium in einer vorgesehenen bzw. richtigen Referenzposition gehalten wird, und die einen Versatz des Mediums gegenüber der richtigen Referenzposition derart berechnen können, dass der Transportweg korrigiert werden kann.
Einrichtungen zum Lösen des Problems
Gemäß der vorliegenden Erfindung wird ein horizontaler Tragtisch bereitgestellt, der zwischen einem Paar von senkrechten bzw. vertikalen Tragteilen angehoben werden kann, und ein Roboter ist auf dem horizontalen Tragtisch bzw. Lagertisch angeordnet, der horizontal drehende Arme hat. Zudem ist eine Kippeinstellvorrichtung an dem horizontalen Tragtisch vorgesehen, durch die der Kippwinkel bzw. Schieflagewinkel des Roboters eingestellt werden kann.
Gemäß einer ersten Ausführungsform der Transportvorrichtung der vorliegenden Erfindung ist die Transportvorrichtung in einer gegebenen, reinen Umgebung zum Transportieren einer dünnen Platte großer Abmessung von einer vorgegebenen Abhebeposition in eine Verarbeitungskammer eingerichtet und weist auf: ein Paar von senkrechten Tragteilen, die stehen und voneinander entfernt sind; mindestens einen horizontalen Tragtisch, der auf dem Paar von senkrechten Tragteilen anhebbar ausladend ist; eine Hubantriebseinrichtung zum vertikalen Anheben bzw. Heben des horizontalen Tragtisches; und einen Roboter, der auf dem horizontalen Tragtisch angeordnet ist und der horizontal drehende Arme zum Aufnehmen und Transportieren der dünnen Platte bzw. Scheibe hat.
In dieser Ausführungsform wird, da der Roboter durch die beiden senkrechten Tragteile getragen wird und vertikal entlang den senkrechten Tragteilen angehoben wird, ein stabiles Heben bzw. ein stabiler Hub auch in eine relativ hohe Position ermöglicht. Zudem hängt eine hinzugefügte Last für das Anheben des Roboters nicht von der Momentanposition des Roboters ab.
Gemäß einer weiteren Ausführungsform der Transportvorrichtung der vorliegenden Erfindung ist die Transportvorrichtung dadurch gekennzeichnet, dass der Roboter die horizontal drehenden Arme antreibt, um die dünne Platte zwischen dem Paar von senkrechten Tragteilen aufzunehmen oder zurückzugeben. In dieser Ausführungsform ist es möglich, da der Abstand des Paares von senkrechten Tragteilen größer als die Weite der dünnen Platte festgelegt ist, die dünne Platte zwischen dem Paar von senkrechten Tragteilen aufzunehmen.
Gemäß einer weiteren Ausführungsform der Transportvorrichtung der vorliegenden Erfindung ist die Transportvorrichtung dadurch gekennzeichnet, dass der horizontale Tragtisch eine Kippeinstelleinrichtung zum Ändern eines Winkels des Roboters, der auf dem horizontalen Tragtisch angeordnet ist, bezüglich der horizontalen Ebene aufweist. In dieser Ausführungsform ist es möglich, da die Kippeinstelleinrichtung an dem horizontalen Tragtisch vorgesehen ist, auf dem der Roboter derart angeordnet ist, dass die Neigung bzw. Schräglage oder Kippung des Roboters insgesamt leicht bzw. etwas geändert werden kann, die Schräglage des Roboters zu ändern. Die Kippeinstellung wird zum Beispiel durch ein Versetzen eines Punktes bzw. einer Stelle, zweier Punkte bzw. zweier Stellen oder einer Seite des Tisches, der den Roboter trägt, etwas nach unten bzw. etwas nach oben durch einen Nocken bereitgestellt.
Gemäß einer weiteren Ausführungsform der Transportvorrichtung der vorliegenden Erfindung ist die Transportvorrichtung dadurch gekennzeichnet, dass sie weiterhin eine Durchbiegungskompensationseinrichtung zum Kompensieren eines Durchbiegungsbetrages bzw. -wertes in einer Vertikalrichtung der Dreharme und eines Durchbiegungsbetrages von Endeffektoren bzw. Endhandhabungsgliedern aufweist, die an jeweiligen Enden der Dreharme zum Aufnehmen und Transportieren der dünnen Platte vorgesehen sind. In dieser Ausführungsform ist es möglich, eine Durchbiegung bzw. Verbiegung oder Auslenkung, die durch das Größerwerden der dünnen Platte und durch das Erhöhen des Bewegungsbetrages der Dreharme verursacht wird, zu kompensieren, wodurch die dünne Platte genau gehalten werden kann und zu einer Zielposition sicher und genau transportiert werden kann.
Gemäß einer weiteren Ausführungsform der Transportvorrichtung der vorliegenden Erfindung ist die Transportvorrichtung dadurch gekennzeichnet, dass die Durchbiegungskompensationseinrichtung beide Biegungsbeträge bzw. -werte kompensieren kann, wenn die Endeffektoren die dünne Platte aufnehmen. In dieser Ausführungsform wird die Kompensation auf der Basis des Durchbiegungsbetrages in Abhängigkeit davon gesteuert, ob die dünne Platte gehalten wird oder nicht.
Gemäß einer weiteren Ausführungsform der Transportvorrichtung der vorliegenden Erfindung ist die Transportvorrichtung dadurch gekennzeichnet, dass die Durchbiegungskompensationseinrichtung eine Durchbiegungsspeichereinrichtung zum Speichern von Durchbiegungsbeträgen bzw. -werten in einer Vertikalrichtung an einer Vielzahl von Messpunkten aufweist, die bei der Bewegung von einem Referenzpunkt an den Dreharmen oder den Endeffektoren auftreten, und dass die Durchbiegungskompensationseinrichtung immer dann, wenn sich der Referenzpunkt zu einem der Messpunkte bewegt, einen Durchbiegungsbetrag, der einer vorgegebenen Position entspricht, aus der Durchbiegungsspeichereinrichtung ausliest, um den Durchbiegungsbetrag zu kompensieren. In dieser Ausführungsform ist es möglich, eine Zeitmulitplexkompensationssteuerung auf der Basis des Durchbiegungsbetrages durchzuführen, der sich mit dem Bewegungsabstand der Dreharme ändert. Dies ermöglicht einen effizienteren Transportbetrieb.
Gemäß einer weiteren Ausführungsform der Transportvorrichtung der vorliegenden Erfindung ist die Transportvorrichtung dadurch gekennzeichnet, dass die Durchbiegungsspeichereinrichtung sowohl einen Durchbiegungsbetrag bzw. -wert aufgrund ihres eigenen Gewichts (nachfolgend auch als "Eigengewicht" bezeichnet) als auch einen Durchbiegungsbetrag bzw. -wert aufgrund des Haltens der dünnen Platte speichert und dass der Durchbiegungsbetrag aufgrund des Eigengewichts und der Durchbiegungsbetrag aufgrund des Haltens der dünnen Platte werden verwenden, um den Kompensationsbetrag bzw. -wert zu ändern.
Gemäß einer weiteren Ausführungsform der Transportvorrichtung der vorliegenden Erfindung ist die Transportvorrichtung dadurch gekennzeichnet, dass die Durchbiequngskompensationseinrichtung eine Kompensationssteuereinrichtung zum Steuern der Hubantriebseinrichtung aufweist, um den horizontalen Tragtisch auf der Basis des Durchbiegungsbetrages hochzuheben oder abzusenken, wodurch die Durchbiegung der Dreharme oder der Endeffektoren kompensiert wird. In dieser Ausführungsform wird die Durchbiegungskompensation durch Einstellen der Höhe des horizontalen Tragtisches, auf dem der Roboter angeordnet ist, auf der Basis des Durchbiegungsbetrages durchgeführt.
Gemäß einer weiteren Ausführungsform der Transportvorrichtung der vorliegenden Erfindung ist die Transportvorrichtung dadurch gekennzeichnet, dass die Durchbiegungskompensationseinrichtung eine Kompensationssteuereinrichtung zum Steuern der Kippeinstelleinrichtung aufweist, um den Roboter, der auf dem horizontalen Tragtisch angeordnet ist derart neigen bzw. kippen zu können, dass die Endeffektoren oder die Dreharme angehoben oder abgesenkt werden, wodurch die Durchbiegung der Dreharme oder der Endeffektoren kompensiert wird. In dieser Ausführungsform wird die Durchbiegungskompensation durch Schrägstellen des Roboters auf dem horizontalen Tragtisch durchgeführt, wodurch die Position der Enden der Endeffektoren angehoben wird.
Gemäß einer weiteren Ausführungsform der Transportvorrichtung der vorliegenden Erfindung ist die Transportvorrichtung dadurch gekennzeichnet, dass die Durchbiegungskompensationseinrichtung eine Kompensationssteuereinrichtung zum Steuern der Hubantriebseinrichtung und die Kippeinstelleinrichtung derart aufweist, dass der horizontale Tragtisch angehoben oder abgesenkt wird und/oder die Kippeinstelleinrichtung gesteuert wird, um ein Schrägstellen bzw. Kippen auf der Basis des Durchbiegungsbetrages durchführen zu können, wodurch die Durchbiegung der Dreharme oder der Endeffektoren kompensiert wird. In dieser Ausführungsform wird die Durchbiegungssteuerung durch sowohl das Einstellen der Vertikalrichtung des horizontalen Tragtisches als auch die Einstellung der Schrägstellung des Roboters ermöglicht. Dies ermöglicht einen geeigneten und effizienten Transport der dünnen Platte.
Gemäß einer weiteren Ausführungsform der Transportvorrichtung der vorliegenden Erfindung ist die Transportvorrichtung dadurch gekennzeichnet, dass sie weiterhin aufweist: eine Anordnungspositionsdetektionseinrichtung, die einen Anordnungspositionssensor zum Detektieren des Weges der dünnen Platte enthält, die durch die Endeffektoren gehalten wird, und eine Berechnungseinrichtung zum Berechnen eines Versatzbetrages bzw. -wertes der Anordnungsposition von dem Referenzpunkt auf der Basis eines Detektionssignals des Anordnungspositionssensors; und eine Versatzkompensationseinrichtung zum Kompensieren des Versatzbetrages der Anordnungsposition auf der Basis des berechneten Versatzbetrags. In dieser Ausführungsform kann, da der Versatz der Transportposition aufgrund des Versatzes der Anordnungsposition verhindert wird, der Transportbetrieb genau durchgeführt werden. Zudem ist es möglich, Unfälle, zum Beispiel das Berühren mit einem anderen Abschnitt, aufgrund des Versatzes der Anordnungsposition während des Transports zu verhindern.
Gemäß einer weiteren Ausführungsform der Transportvorrichtung der vorliegenden Erfindung ist die Transportvorrichtung dadurch gekennzeichnet, dass die Anordnungspositionsdetektionseinrichtung einen Versatzbetrag bzw. -wert in einer X-Achsenrichtung, einen Versatzbetrag bzw. -wert in einer Y-Achsenrichtung und einen Versatzbetrag bzw. -wert in einer Drehrichtung von dem vorgegebenen Referenzpunkt aus berechnet und dass die Versatzkompensationseinrichtung die Versatzbeträge durch Bewegen der Endeffektoren in einer solchen Richtung kompensiert, dass die berechneten Versatzbeträge bzw. -werte aufgehoben bzw. kompensiert werden. In dieser Ausführungsform ist es möglich, den Versatz der Anordnungsposition sowohl in der X-Richtung, der Y-Richtung als auch in der Drehrichtung zu kompensieren.
Gemäß einer weiteren Ausführungsform der Transportvorrichtung der vorliegenden Erfindung ist die Transportvorrichtung dadurch gekennzeichnet, dass sie weiterhin eine Bewegungseinrichtung zum horizontalen Bewegen eines Paares von senkrechten bzw. vertikalen Tragteilen aufweist. In dieser Ausführungsform kann, da der horizontale Tragtisch, auf dem der Roboter angeordnet ist, derart ausgelegt ist, dass er horizontal bewegt werden kann, der Roboter in sowohl die Horizontalrichtung als auch in die Vertikalrichtung bewegt werden. Dieser Aufbau ermöglicht, dass der Roboter frei in jede Position innerhalb des gegebenen Raumes bewegt werden kann.
Gemäß einer weiteren Ausführungsform der Transportvorrichtung der vorliegenden Erfindung ist die Transportvorrichtung dadurch gekennzeichnet, dass sie weiterhin einen Träger zum festen Koppeln der Oberseitenabschnitte jedes Paares von senkrechten Tragteilen aufweist, während das Paar von senkrechten Tragteilen parallel gehalten wird. In dieser Ausführungsform wird der Träger bzw. Querträger verwendet, um die Position der senkrechten Tragteile zu verstärken bzw. abzustützen.
Gemäß einer ersten Ausführungsform des Transportsteuerverfahrens einer Transportvorrichtung der vorliegenden Erfindung ist das Transportsteuerverfahren in einer vorgegebenen reinen Umgebung eingerichtet und hat Dreharme und Endeffektoren zum Transportieren einer dünnen Platte großer Abmessung von einer vorgegebenen Aufnahmeposition bzw. Abhebeposition in eine Verarbeitungskammer, wobei es die Schritte aufweist: (a) auf der Basis von Positionsdaten der ermittelten bzw. zugegriffenen Positionen der Dreharme und der Endeffektoren werden ein Bewegungsbetrag bzw. -wert in einer Horizontalrichtung, ein Bewegungsbetrag bzw. -wert in einer Vertikalrichtung und Antriebsdaten der Dreharme und der Endeffektoren berechnet; (b) Bewegen eines Roboters auf der Basis des Bewegungsbetrages in der Horizontalrichtung und des Bewegungsbetrages in der Vertikalrichtung und Antreiben der Dreharme und die Endeffektoren auf der Basis der Antriebsdaten; (c) aus der Speichereinrichtung werden Durchbiegungsdaten der Dreharme und der Endeffektoren gelesen, die ausgefahren bzw. ausgestreckt werden; (d) Berechnen von Kompensationsdaten zum Kompensieren eines Durchbiegungsbetrages bzw. -wertes auf der Basis der Durchbiegungsdaten; und (e) Steuern, um den Bewegungsbetrag in der Vertikalrichtung auf der Basis der Kompensationsdaten einzustellen, wodurch der Durchbiegungsbetrag kompensiert wird.
Gemäß einer weiteren Ausführungsform des Transportsteuerverfahrens der vorliegenden Erfindung ist das Transportsteuerverfahren dadurch gekennzeichnet, dass der Schritt (e) durch den Schritt (f) mit dem Einstellen eines Kippwinkels des Roboters auf der Basis der Kompensationsdaten ersetzt wird, wodurch der Durchbiegungsbetrag kompensiert wird. In dieser Ausführungsform wird die Durchbiegung beim Transportieren durch Einstellen der Höhe des Roboters kompensiert.
Gemäß einer weiteren Ausführungsform des Transportsteuerverfahrens der vorliegenden Erfindung ist das Transportsteuerverfahren dadurch gekennzeichnet, dass der Schritt (e) durch den Schritt (g) mit dem Einstellen des Bewegungsbetrages der Vertikalrichtung und/oder des Kippwinkels des Roboters auf der Basis der Kompensationsdaten ersetzt wird, wodurch der Durchbiegungsbetrag kompensiert wird. In dieser Ausführungsform wird die Durchbiegung durch Ändern des Kippwinkels des Roboters kompensiert, wodurch die Positionen der Endeffektoren geändert werden.
Gemäß einer weiteren Ausführungsform des Transportsteuerverfahrens der vorliegenden Erfindung ist das Transportsteuerverfahren dadurch gekennzeichnet, dass die Durchbiegungsdaten, die im Schritt (c) gelesen werden, Durchbiegungsdaten in einer Vielzahl von Bewegungspunkten der Dreharme und der Endeffektoren enthalten und dass die Kompensationsdaten, die im Schritt (d) berechnet werden, Kompensationsdaten in jedem der Bewegungspunkte enthalten. In dieser Ausführungsform wird die Durchbiegung durch Einstellen der Höhe und/oder des Kippwinkels des Roboters kompensiert.
Gemäß einer weiteren Ausführungsform des Transportsteuerverfahrens der vorliegenden Erfindung ist das Transportsteuerverfahren dadurch gekennzeichnet, dass im Schritt (c) die Durchbiegungsdaten, die aus der Speichereinrichtung gelesen werden, davon abhängen, ob die dünne Platte gehalten wird oder nicht. In dieser Ausführungsform variieren die Durchbiegungskompensationsdaten in Abhängigkeit davon, ob die Endeffektoren die dünne Platte halten oder nicht.
Gemäß einer weiteren Ausführungsform des Transportsteuerverfahrens der vorliegenden Erfindung ist das Transportsteuerverfahren dadurch gekennzeichnet, dass in dem Schritt (c) die Kompensationsdaten, die im vorhinein berechnet und gespeichert werden, in Abhängigkeit von dem Durchbiegungsbetrag bzw. -wert aus der Speichereinrichtung gelesen werden; dass die Berechnung der Kompensationsdaten in dem Schritt (d) nicht durchgeführt wird; und dass die Verarbeitung in dem Schritt (e) auf der Basis der gelesenen Kompensationsdaten durchgeführt wird. In dieser Ausführungsform wird die Durchbiegung durch Berechnen im vorhinein von Kompensationsdaten eines Durchbiegungsbetrages entsprechend jeder Bewegungsposition berechnet und die Kompensationsdaten werden ausgelesen. Dementsprechend wird es ermöglicht, dass sich die Notwendigkeit erübrigt, Kompensati onsdaten beim Bewegungsbetrieb zu berechnen, wodurch die Belastung der Steuereinheit bzw. des Controllers reduziert wird und die Verarbeitungsgeschwindigkeit erhöht wird.
Gemäß einer weiteren Ausführungsform des Transportsteuerverfahrens der vorliegenden Erfindung ist das Transportsteuerverfahren dadurch gekennzeichnet, dass es weiterhin die Schritte aufweist: (h) Detektieren einer Anordnungsposition der dünnen Platte, die durch die Endeffektoren gehalten wird; (i) Vergleichen der Anordnungsposition und einer vorgegebenen Referenzanordnungsposition, um einen Versatzbetrag bzw. -wert zu berechnen; und (j) Durchführen des Steuerbetriebs, um den Versatzbetrag zu kompensieren.
Gemäß einer weiteren Ausführungsform des Transportsteuerverfahrens der vorliegenden Erfindung ist das Transportsteuerverfahren dadurch gekennzeichnet, dass der Versatzbetrag in dem Schritt (i) einen Versatzbetrag in einer X-Achsenrichtung, einen Versatzbetrag in einer Y-Achsenrichtung und einen Versatzbetrag in einer Drehachsenrichtung von der Referenzanordnungsposition aus enthält, und dass die Betriebssteuerung in dem Schritt (j) ausgeführt wird, um jeden der Versatzbeträge in dem Schritt (i) zu kompensieren.
Kurzbeschreibung der Zeichnungen
1 ist eine ebene Ansicht, die ein Blech- bzw. Plattenherstellungssystem zeigt, das eine Transportvorrichtung gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung verdeutlicht;
2 ist eine perspektivische Ansicht der Transportvorrichtung 10, die in 1 gezeigt ist;
3 ist eine Querschnittsansicht, die entlang der Linie A-A' von 1 gesehen ist;
4A ist eine Seitenansicht, die ein Beispiel der Hubvorrichtung des Turms (senkrechte Tragteile) zeigt;
4B ist eine Querschnittsansicht, die entlang der Linie B-B' von 4A gesehen ist;
5 ist eine Seitenansicht einer Transportvorrichtung, die ein weiteres Beispiel der Hubvorrichtung zeigt, die an den Türmen bereitgestellt ist;
6 zeigt den Betriebsbereich (Richtung) des Roboters und seiner Endeffektoren;
7A ist eine Seitenansicht, die ein Beispiel der Kippeinstelleinrichtung zeigt;
7B ist eine Seitenansicht, die ein Beispiel der Kippeinstelleinrichtung zeigt;
7C ist eine Seitenansicht, die ein Beispiel der Kippeinstelleinrichtung zeigt;
8 ist eine Seitenansicht, die eine Kippeinstelleinrichtung gemäß einer weiteren Ausführungsform zeigt;
9 sind Musterdiagramme, die ein Konzept der Kippeinstelleinrichtung gemäß einer weiteren Ausführungsform zeigt;
10A ist ein Kurvenverlauf einer Durchbiegungskurvenlinie D, die Durchbiegungsbeträge zeigt, die erhalten werden, wenn sich ein Messpunkt (Referenzpunkt) an dem Endeffektor von einem Messpunkt A zu einem Messpunkt J bewegt, während die Dreharme ausgefahren sind;
10B ist ein Kurvenverlauf, der eine Durchbiegungskurvenlinie und eine Interpolationskurvenlinie zum Kompensieren der Durchbiegung zeigt;
11 ist ein Funktionsblockdiagramm, das die Transportsteuereinrichtung zum Steuern des Transports in der Horizontalrichtung und der Vertikalrichtung gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt;
12A ist eine Ansicht, die einen maximalen Transportabstand von den Endeffektoren 17 durch die Dreharme zeigt;
12B zeigt die Endeffektoren 17, die in einen vorgegebenen Speicher eingeführt sind, wenn der Durchbiegungsbetrag nicht kompensiert wird;
12C verdeutlicht den Durchbiegungsbetrag, der durch den Kippeinstellabschnitt kompensiert wird;
13 ist eine Draufsicht, die eine Transportposition der dünnen Platte durch einen Roboter zeigt;
14 ist eine perspektivische Ansicht, die eine Transportvorrichtung zeigt, die eine Anordnungspositionsdetektionseinrichtung gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung aufweist;
15 ist eine Ansicht, die eine Anordnungsposition (lehrende Position) zeigt, in der die Endeffektoren eine Glasplatte in einer X-Y-Ebene (horizontale Ebene) halten, die ein Drehzentrum des Roboters als Ur sprungspunkt hat;
16 ist ein Diagramm, das den Versatz in der X-Achsenrichtung der Anordnungsposition von der Lehrposition aus zeigt;
17 ist ein Diagramm, das den Versatz in der Y-Achsenrichtung der Anordnungsposition von der Lehrposition aus verdeutlicht;
18 ist ein Diagramm, das die Beziehung zwischen der Lehrposition und der Anordnungsposition verdeutlicht, wenn die Anordnungsposition von der Lehrposition in der X-Achsenrichtung, der Y-Achsenrichtung, der Parallelrichtung und der Drehrichtung versetzt ist;
19 verdeutlicht den Zustand, der in 18 gezeigt ist und um den Winkel α in Richtung der Lehrrichtung gedreht ist;
20 ist eine Ansicht, die die Lehrposition zeigt, wo zwei Positionsdetektionssensoren sind;
21 ist eine Ansicht, die die Art der Berechnung eines Versatzes in der Drehrichtung von der Lehrposition durch einen Messbetrag der zwei Positionsdetektionssensoren erläutert; und
22 ist eine perspektivische Teilansicht zum Erläutern einer Ausführungsform zum Verhindern der Staubverunreinigung in der reinen Umgebung.

10: Transportvorrichtung
11: Verfahrtisch
12: Turm (senkrechtes Tragteil)
13: horizontaler Tragtisch
14: Transportroboter
16: Dreharm
17: Endeffektor
27: Hubmotor
30: Kippvorrichtung (Kippeinstelleinrichtung)
40: Basistisch
41: Verfahrtisch
42: Schiene
50: Stufe
60: Verarbeitungskammer
77: Vertikalantriebseinrichtung
80: Ausstoßrohr
81a bis 81f: Drehachse
82a bis 82e: Ausstoßleitung
110: Positionsdetektionssensor.

Bester Modus zum Ausführen der Erfindung
Mit Bezug auf die beiliegenden Zeichnungen werden nachfolgend Ausführungsformen zum Ausführen der vorliegenden Erfindung im Detail unten stehend erläutert. Die nachfolgende Beschreibung handelt von dem Fall des Transportierens einer Glasplatte von ungefähr 2 m² als eine dünne Platte. Da die Transportvorrichtung der vorliegenden Erfindung eine Vorrichtung zum Transportieren eines scheibenförmigen Teils bzw. Blattteils ist, das bei der Herstellung einer integrierten Halbleiterschaltung verwendet wird, wird die Transportvorrichtung in einer Umgebung mit einer bestimmten Sauberkeit betrieben, die niedriger als die eines Reinraums ist. Die Transportvorrichtung der vorliegenden Erfindung ist dementsprechend eine Transportvorrichtung, die vorgegebene Erfordernisse zum Betreiben in einer reinen Umgebung einhält, zum Beispiel das Verhindern, dass Staub entsteht, und ist vollkommen unterschiedlich im Verhalten zu einer Transportvorrichtung, die ein normales Kranfahrzeug und eine Hubmaschine in einem Speicherwarenhaus enthält.
1 ist eine Draufsicht, die ein Plattenherstellsystem für integrierte Halbleiterschaltungen zeigt, das eine Transportvorrichtung gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung hat. Das Plattenherstellsystem enthält eine Transportvorrichtung 10, eine Stufe 50 bzw. Vorrichtung, die in Front der Transportvorrichtung 10 angeordnet ist, und eine Verarbeitungskammer 60, die hinter dieser angeordnet ist.
2 ist eine perspektivische Ansicht einer Transportvorrichtung gemäß einer weiteren Ausführungsform der vorliegenden Erfindung, in der nur ein Aufbau des horizontalen Tragtisches unterschiedlich zu der Transportvorrichtung 10 in 1 und 3 ist. 3 ist eine Querschnittsansicht, die entlang der Linie A-A' in 1 verläuft. Auf der Stufe 50 ist eine Kassette 51 mit einer Glasplatte 53 und eine leere Kassette 52 angebracht.
Die Transportvorrichtung 10 nimmt eine Glasplatte 53 aus der Kassette 51 (3) heraus und befördert sie zu der hinteren Verarbeitungskammer 60, in der die Glasplatte einer Verarbeitung in Übereinstimmung mit einem gegebenen Zweck unterzogen wird. Die behandelte Glasplatte 53 wird aus der Transportvorrichtung 10 herausgenommen und zu der leeren Kassette 52 transportiert. Die Kassetten 51 und 52 werden durch ein AGV (Automotive Ground Vehicle = Automobilbodenfahrzeug) oder Ähnlichem transportiert und in einer gegebenen Position der Stufe angeordnet oder daraus wegbefördert.
Die Transportvorrichtung 10 enthält einen Basistisch 40, ein Paar von senkrechten Türmen (senkrechte bzw. vertikale Trag teile) 12, einen horizontalen Tragtisch 13, der von dem Paar von Türmen 12 hebbar getragen wird, und einen Roboter 14, der auf dem horizontalen Tragtisch 13 angeordnet und befestigt ist. Der Basistisch 40 erhält drei Schienen 42, die sich nach rechts und links erstrecken, und einen Verfahrtisch 41, der bewegbar nach rechts und nach links (in der Richtung der X-Achse) auf den Schienen 42 vorgesehen ist.
Das Paar von Türmen 12 ist auf dem Verfahrtisch 41 vorgesehen und in der rechten Richtung und der linken Richtung (in der Richtung von X) bewegbar. Die Entfernung beziehungsweise der Abstand des Paares von Türmen 12 ist klein genug, dass die dünne Platte zwischen dem Paar von Türmen hindurchgeht, und die Höhe der Türme wird in Abhängigkeit von der Höhe der Kassette zum Aufnehmen der transferierten Glasplatte und der Höhe der Platte der Plattenverarbeitungskammer bestimmt. Zudem ist das Paar von Türmen 12 bevorzugt durch einen Träger bzw. Querträger an der Oberseite davon gekoppelt, um ähnlich einem Tor zu sein.
Der horizontale Tragtisch 13 ist an dem Paar von Türmen 12 angebracht. Der horizontale Tragtisch 13 ist wie ein Ausleger durch das Paar von Türmen 12 derart gehalten, dass er in Richtung der Verarbeitungskammer 60 vorsteht, und ist entlang des Paares der Türme 12 anhebbar. Die Horizontalfläche des horizontalen Tragtisches 13, der als ein Tisch verwendet wird, ist so klein wie möglich und ist bevorzugt in der Form einer "Platte vom Minokotyp" (gebogenen Platte) oder einer perforierten Platte. Da Staub, der an einer dünnen Platte anhaftet, die transportiert wird, die Ausbeute (Gutteilrate) reduziert und deshalb die dünne Platte eine Herstellumgebung mit einer hohen Reinheit bzw. Sauberkeit benötigt, wird es bevorzugt, die Verwirbelung von Luft während des Hubs soweit wie möglich derart zu reduzieren, dass eine Verwirbelung der Umgebung der Herstellung verhindert wird.
Auf dem horizontalen Tragtisch 13 ist ein Roboter 14 angeordnet und befestigt. Der Roboter 14 hat zwei Dreharme 16, die um Gelenke drehbar sind. Jeder der Dreharme 16 hat an einem Ende davon einen Endeffektor 17 zum Transportieren einer Glasplatte 53.
Wenn die Glasplatte 53 aus der Kassette 51 herausgenommen wird, wird der Verfahrtisch 41, an dem das Paar der Türme 12 befestigt ist, in einer Horizontalrichtung (X-Achsenrichtung) bewegt und wird der horizontale Tragtisch 13 nach oben und nach unten (in der Z-Achsenrichtung) bewegt, um die Höhe einzustellen, wodurch der Roboter 14 in Front der Kassette 51, in der die Glasplatte untergebracht ist, bewegt wird. Wenn die Glasplatte 53 aus der Kassette 51 herausgenommen wird, werden die Dreharme 16 derart angetrieben, dass sie die Endeffektoren 17 in die Kassette 51 einführen, und dann wird der horizontale Tragtisch 13 nach oben um die vorgegebene Höhe (etwas) bewegt, wodurch die Glasplatte 53 angehoben wird.
Dann, nachdem die Endeffektoren 17 nahe zu dem Körper des Roboters 14 hin (in der Y-Achsenrichtung) eingezogen worden sind, wird der Roboter 14 um 180° gedreht und der Verfahrtisch 41 und der horizontale Tragtisch 13 werden in der X-Richtung bzw. der Z-Achsenrichtung bewegt, um in Front der Verarbeitungskammer 60 anzuhalten. Dann wird das Tor 61 geöffnet, um die Arme 16 derart ausfahren zu können, dass die Endeffektoren 17 in die Verarbeitungskammer 60 eingeführt werden, um die Glasplatte 53 darin anzuordnen. Nachdem das Verarbeiten der Glasplatte 53 beendet worden ist, werden die Endeffektoren 17 verwendet, um die Glasplatte aus der Verarbeitungskammer 60 herauszunehmen und sie in der anderen Kassette 52 abzulegen.
Der Roboter, der Dreharme hat und in der vorliegenden Erfindung verwendet wird, enthält einen Roboter vom Skalartyp, der horizontal drehende Arme hat, und einen Roboter vom Vielgelenktyp, der Gelenke hat, die sich in der Vertikalebene drehen oder um eine Achse in der Armrichtung. Der Roboter, der auf dem horizontalen Tragtisch 13 angeordnet ist, kann derart aufgebaut sein, dass er eine Hubvorrichtung an sich selbst für eine Feineinstellung in der Vertikalrichtung hat. Das Bereitstellen des Roboters mit einer eigenen Hubvorrichtung stellt einen Vorteil dar, da eine Feineinstellung in der Z-Achsenrichtung möglich wird. Dies stellt jedoch auch Probleme dar, da der Roboteraufbau kompliziert wird und da die Aufwärtsbelastung auf dem horizontalen Tragtisch aufgrund der Erhöhung des Gewichtes erhöht wird.
Der Roboter, der auch in der vorliegenden Erfindung verwendet wird, hat Endeffektoren 17 zum Anordnen einer dünnen Platte, wobei die Endeffektoren 17 jeweils mit einer Adsorptionsvorrichtung bzw. einer Aufnahmevorrichtung versehen sind. Die Form der Aufnahmevorrichtung ist öffentlich gut bekannt. Zudem ist das Gelenk einer Abdichtung durch magnetisches Fluid unterzogen und alle Koppelabschnitte sind bevorzugt derart aufgebaut, dass sie verhindern, dass Staub in dem Roboter aus dem Roboter herauskommt, indem ein Packen bzw. ein Kapseln verwendet wird.
Wie vorstehend beschrieben wurde, hat das Paar von Türmen 12 den horizontalen Tragtisch 13, auf dem der Roboter 14 angeordnet ist, und der horizontale Tragtisch 13 wird in der Aufwärtsrichtung und der Abwärtsrichtung (Z-Achsenrichtung) bewegt. Das Turmpaar 12 ist an dem Verfahrtisch 41 befestigt, um in der Horizontalrichtung (X-Achsenrichtung) bewegt werden zu können. Zudem enthält der horizontale Tragtisch 13 eine Kippvorrichtung (Kippeinstelleinrichtung) 30 (3) und der Roboter 14 wird mittels der Kippeinstelleinrichtung angeordnet. Die nachfolgende Beschreibung handelt von den Einrichtungen zum Bewegen in der X-Achsenrichtung, von der Bewegungseinrich tung in der Z-Achsenrichtung und von der Kippeinstelleinrichtung für die Transportvorrichtung gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
(Einrichtung zum Bewegen in der X-Achsenrichtung)
Unter Verwendung von 1 und 3 wird der Aufbau des Basistisches 40 und die Bewegung in der X-Achsenrichtung des Turmpaares 12, das an dem Basistisch 40 befestigt ist, beschrieben. Der Basistisch 40 ist mit einem Verfahrtisch 41 versehen, der auf drei Schienen 42 bewegt werden kann, und an dem Verfahrtisch 41 ist das Turmpaar 12 befestigt. An dem Verfahrtisch 41 ist ein Motor 19 befestigt und ein Zahnrad bzw. Zahnradgetriebe, das an dem Motor 19 befestigt ist, und ein Gestell, das an der Schiene 42 angebracht ist, ermöglichen die Bewegung in der X-Achsenrichtung. Der Motor 19, das Gestell und das Zahnradgetriebe können an einer der Schienen 42 angebracht sein und sind bevorzugt an der mittleren der Schienen 42 angebracht.
Diese horizontale Bewegungsvorrichtung, die hier angewandt wird, enthält ein System aus horizontalen, parallelen Schienen und Gestell und Zahnrad, ein Seilbahnsystem, ein Kugelgewindespindelschienensystem, ein Schienenläufersystem, ein Luftkissensystem, ein System mit magnetischer Anhebung und andere bekannte Schwerlasthub- beziehungsweise Hebesysteme. Eine Antriebsquelle dieser horizontalen Bewegungsvorrichtung, die hier verwendet wird, enthält einen Servomotor, einen Schrittmotor, einen Linearmotor, einen Fluiddruckzylinder mit Hydraulikdruck oder Luftdruck und weitere bekannte Antriebsquellen.
(Einrichtung zum Bewegen in der Z-Achsenrichtung)
Das Turmpaar 12 hat mindestens die Funktion des Tragens des horizontalen Tragtisches 13, auf dem der Roboter 14 angeordnet ist, und die Funktion des Bewegens des horizontalen Tragti sches 13 in der Aufwärtsrichtung und der Abwärtsrichtung (der Z-Achsenrichtung). Das Antreiben in der Aufwärtsrichtung und der Abwärtsrichtung wird durch einen Führungsabschnitt zum Sicherstellen der genauen Bewegung in der Aufwärtsrichtung und der Abwärtsrichtung und durch eine Hubvorrichtungsantriebsabschnitt durchgeführt. Ein Beispiel der speziellen Vorrichtung wird unter Verwendung von 4A und 4B beschrieben.
4A ist eine seitliche Ansicht, die ein Beispiel der Hubvorrichtung, die an den Türmen (senkrechte Tragteile) 12 vorgesehen ist, zeigt. 4B ist eine Querschnittsansicht, die entlang der Linie B-B' verläuft, die in 4A gezeigt ist. In 4A dreht ein Hubvorrichtungsmotor 27 eine Koppelachse 26 über ein Kegelrad. Die Koppelachse 26 dreht eine Gewindestange 25, die in jeden der Türme des Turmpaares 12 vorgesehen ist, über ein Kegelrad, das an dem Boden jedes der Türme 12 vorgesehen ist.
Die Spindel 25 ist im Eingriff mit einem Spindellager 28, das an dem horizontalen Tragtisch 13 befestigt ist. Wenn sich die Spindel 25 dreht, bewegt sich das Spindellager 28 nach oben und nach unten in Übereinstimmung mit der Drehrichtung der Spindel 25. Dementsprechend verursacht die Drehung der Spindel 25 über das Spindellager 28, dass sich der horizontale Tragtisch 13 entlang einer entsprechenden Linearführung 24 nach oben bzw. nach unten bewegt. Da, wie vorstehend beschrieben wurde, der Roboter auf dem horizontalen Tragtisch 13 angeordnet ist, kann die Höhe der Dreharme 16 und der Endeffektoren 17 des Roboters 14 in der Z-Richtung eingestellt werden. Der horizontale Tragtisch 13 wird von der höchsten Position H bis zur niedrigsten Position L bewegt.
Hier enthält der Führungsabschnitt, der verwendet wird, ein Lager, eine Rolle und eine Führungsvorrichtung zum Anordnen eines Drehteils derart, zum Beispiel einer Rolle, entlang ei ner Referenzschiene, eine Berührungsführungsvorrichtung, die Gebrauch von einer magnetischen Abstoßungskraft macht, oder eine Luftschicht und Ähnliches. Die Hubvorrichtung, die hier verwendet wird, kann eine Kugelgewindespindel, ein Gestell und Zahnradgetriebe, ein Luftdruckzylinder mit Stange oder ohne Stange mit jedem Typ von Bremsen und weiteren bekannten Antriebsabschnitte sein.
(Weitere Beispiele für Einrichtungen zum Bewegen in der Z-Achsenrichtung)
5 ist eine Seitenansicht einer Transportvorrichtung, die ein weiteres Beispiel der Hubvorrichtung verdeutlicht, die an dem Turmpaar 12 vorgesehen ist. Diese Hubvorrichtung hat einen Luftdruckausgleichszylinder 34, um die Energie zu minimieren. Um einen Motor, der an dem Boden des Turmes 12 vorgesehen ist, und einem Kettenrad 32, das nahe an der Oberseite des Turms 12 vorgesehen ist, ist eine Ringkette 33 gehängt. Links von der Kette 33 ist der Luftdruckzylinder 34 angeordnet. Der horizontale Tragtisch 13, der sich wie geführt durch die Linearführung 24 bewegt, und das Einspannfutter des Luftdruckzylinders 34 sind mit der Kette 33 gekoppelt und ein Luftdruck, der dem Gewicht des horizontalen Tragtisches 13 mit dem Roboter 14 entspricht, der darauf angeordnet ist, wird an den Zylinder 34 angelegt. Der horizontale Tragtisch 13 kann von der untersten Position L zu der höchsten Position H bewegt werden.
(Bewegungsbereich durch den Roboter 14)
6 zeigt einen Betriebsbereich des Roboters 14 und der Endeffektoren 17. Das Paar von Dreharmen 16 und die Endeffektoren 17, die an den jeweiligen Enden davon vorgesehen sind, haben Zugang zu der Verarbeitungskammer 60, die innerhalb eines Sektorenbereichs von ungefähr 220° zur rechten Seite des Turmpaares 12 in 6 angeordnet ist. Zur linken Seite des Turm paares 12 in 6 haben, sobald der Roboter 14 gedreht wird, die Endeffektoren 17 Zugang zu den Kassetten 51 und 52 zwischen dem Turmpaar 12. Wenn die beiden Endeffektoren 17 gleichzeitig betrieben werden, kann die Transportgeschwindigkeit für eine Platte bzw. Scheibe verdoppelt werden.
(Kippeinstelleinrichtung)
Wie in 3 gezeigt ist, hat der horizontale Tragtisch 13 eine Kippvorrichtung (eine Kippeinstelleinrichtung) 30 und der Roboter 14 ist auf dem horizontalen Tragtisch 13 über die Kippeinstelleinrichtung angeordnet. Die Kippeinstelleinrichtung ist für das Einstellen des Kippwinkels des Roboters 14 innerhalb eines Winkels "T" vorgesehen. 7A bis 7C sind Seitenansichten, die Beispiele für die Kippeinstelleinrichtung 30 verdeutlichen.
Die Kippeinstelleinrichtung 30 enthält einen Kipptisch 31, der drehbar bzw. schwenkbar an einem Gelenkabschnitt 35 angebracht ist, der an dem horizontalen Tragtisch 13 befestigt ist, und eine Kippantriebsvorrichtung. Die Kippantriebsvorrichtung enthält eine Gewindestange 36, ein Gewindestangenlager 37, das in die Gewindestange 36 eingreift, einen Drehantriebsabschnitt 45 zum Drehen und Gegendrehen der Gewindestange 36 und ein Lager 46.
Wenn der Drehantriebsabschnitt 45 die Gewindestange 36 dreht, bewegt sich das Gewindestangenlager 37 nach links oder rechts in Übereinstimmung mit der Drehrichtung der Gewindestange 36. Das Gewindelager 37 hat ein Bewegungsgelenk 38, das daran angebracht ist, und das Bewegungsgelenk bzw. Gleitgelenk bewegt sich entlang einer Bewegungsführung 39. Dieses bewegt ein linkes Ende des Kipptisches 31 nach oben und nach unten und dadurch ändert sich der Winkel der oberen Fläche des Kipptisches 31. Da der Roboter 14 an der oberen Fläche des Kipptisches 31 befestigt ist, ändert sich die horizontale Stellung des Roboters 14 gemäß der Winkeländerung des Kipptisches 31.
7B zeigt eine Winkeländerung, wenn die Gewindestange 36 mit einem Gewinde im Uhrzeigersinn gedreht wird. Wenn die Gewindestange 36 im Uhrzeigersinn gedreht wird, bewegt sich das Gewindestangenlager 37 in die linke Richtung und das linke Ende des Kipptisches 31 wird nach unten bewegt. 7C zeigt die Winkeländerung, wenn die Gewindestange 36 entgegen dem Uhrzeigersinn gedreht wird. Wenn die Gewindestange 36 entgegen dem Uhrzeigersinn gedreht wird, bewegt sich das Gewindestangenlager 37 in der rechten Richtung und das linke Ende des Kipptisches 31 wird nach oben bewegt.
(Weitere Beispiele der Kippeinstelleinrichtung)
8 verdeutlicht ein weiteres Beispiel der Kippeinstelleinrichtung. In diesem Beispiel ändert sich der Winkel des Kipptisches 71, der drehbar mit dem Gelenkabschnitt 72 gekoppelt ist, durch den Antrieb eines Nockens 73.
Zudem verdeutlicht 9 ein weiteres Beispiel der Kippeinstelleinrichtung. In diesem Beispiel kann der Kippwinkel um 360° in der horizontalen Ebene geändert werden. Der Kipptisch 76 wird von drei Teilen getragen, die sich aus einer Drehachse 79 mit fester Position und vertikalen Antriebseinrichtungen 77 und 78 zusammensetzen. Die Drehachse 79 mit festgelegter Position ist in der Position festgelegt und kann um 360° in der Horizontalrichtung und um 90° in der Vertikalrichtung gedreht werden. Die Vertikalantriebseinrichtungen 77 und 78 haben eine Antriebseinrichtung 77a und 78a mit Öldruck oder Ähnlichem und Antriebsachsen 77b bzw. 78b, die den Kipptisch 76 nach oben bzw. nach unten durch die Antriebseinrichtung 77a bzw. 78a bewegen. In diesem Aufbau bewegen die Endabschnitte 77c und 78c der Antriebsachsen 77b und 78b den Kipptisch 76 nach oben und nach unten. Die Drehachse 79 mit festgelegter Position ist an der oberen Position und der unteren Position festgelegt und die beiden Punkte sind frei nach oben und nach unten bewegbar, was ermöglicht, dass ein Kippen bzw. eine Schrägstellung in der Horizontalrichtung mit 360° gesteuert werden kann, einschließlich in der Hin- und Herrichtung und in der Drehrichtung.
(Durchbiegungskompensation)
Eine Transportvorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung transportiert eine dünne Platte großer Abmessung. Der Roboter 14 hat dann eine große Abmessung und die Dreharme werden schwer. Wenn die Dreharme ausgefahren werden, können die Zentren der Endeffektoren 4.000 mm oder mehr von dem Zentrum des Roboters ausgefahren sein. Das Eigengewicht der Dreharme und das Gewicht der dünnen Platte verbiegen die Dreharme oder lenken diese aus, was bedeutet, dass die Ränder der Endeffektoren gegenüber den Ursprungspositionen abgesenkt werden. Dies erschwert es manchmal, die dünne Platte aus einer gegebenen Position innerhalb der Kassette genau herauszunehmen und sie in der genauen Position anzuordnen. Um die dünne Platte genau und sicher transportieren zu können, wird es deshalb bevorzugt, die Verformung zu kompensieren.
10A ist ein Kurvenverlauf einer Durchbiegungskurve D, die Durchbiegungsbeträge bzw. -werte zeigt, wenn ein Messpunkt (Referenzpunkt) an dem Endeffektor von einem Messpunkt A zu einem Messpunkt J beim Ausfahren des Dreharms bewegt wird. Die gerade Linie S in der Kurve zeigt eine Bewegungsspur mit keiner Durchbiegung und eine Durchbiegungskurve D zeigt, dass ein Durchbiegungsbetrag gleich 0 in dem Punkt A ist und immer größer wird bis zu einem maximalen Durchbiegungspunkt d in dem Punkt J.
In einer weiteren Ausführungsform der vorliegenden Erfindung wird diese Durchbiegung kontrolliert, damit sie kompensiert werden kann, um eine dünne Platte zu einem Ziel bzw. einer Zielplatte genau und sicher transportieren zu können. Die Durchbiegungssteuerung bzw. -kontrolle wird durchgeführt, um die Durchbiegung, die in 10A gezeigt ist, aufzuheben bzw. zu kompensieren. Genauer wird der horizontale Tragtisch 13 derart nach oben bewegt, dass die Bewegung eine Linie-zu-Linie-Symmetrie mit der gebogenen Linie bezüglich der geraden Linie S, wie in 10A gezeigt ist, derart verfolgt, dass die Durchbiegung ausgelöscht wird, wodurch die Durchbiegung in der Z-Achsenrichtung kompensiert wird.
Die Kurve von 10A ist jedoch nur ein Liniendiagramm, das mit Durchbiegungsbeträgen an den Messpunkten A bis J ausgedruckt ist. Eine Differenz von einem tatsächlichen Durchbiegungsbetrag an jedem der Messpunkte verursacht wahrscheinlich ein Problem des Schwingens in der Vertikalbewegung. Eine Interpolationssteuerung wird deshalb durchgeführt, um eine Übereinstimmung zwischen dem Liniendiagramm und der gebogenen Linie erreichen zu können, die als eine Basis zur Durchführung der Kompensation verwendet wird. Dies glättet den Ausfahrbetrieb der Dreharme. Die Interpolationssteuerung wird zum Beispiel in einem Verfahren zum Durchführen an jedem Messpunkt mittels Ausführen der Berechnung des Radius eines Kreises durchgeführt, der die Durchbiegungsbetrage an drei benachbarten Punkten enthält. Dieser ausgeführte Betrieb ermöglicht, dass eine gekrümmte Linie analog zu dem Liniendiagramm erhalten wird. Auf diese Art und Weise kann eine glatte, gekrümmte Linie C, die in 10B gezeigt ist, erhalten werden und durch einen Antrieb in der Z-Achsenrichtung auf der Basis dieser gekrümmten Linie wird ermöglicht, dass eine geglättete Kompensation durchgeführt werden kann.
(Transportantriebssteuerung)
11 ist ein Funktionsblockdiagramm einer Transportsteuereinrichtung gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. Eine Transportsteuereinheit 120 greift auf die dünne Platte zu und steuert die Bewegung in der Horizontalrichtung (X-Achsenrichtung), die Bewegung in der Vertikalrichtung (Z-Achsenrichtung), den Kippwinkel des Roboters 14, die Drehung des Roboters 14 und den Betrieb der Dreharme 16, um die dünne Platte zu einer Zielposition transportieren bzw. befördern zu können. Die Bewegung in der Z-Achsenrichtung wird durch die Hubantriebseinrichtung 121 durchgeführt, während die Bewegung in der X-Achsenrichtung durch die Horizontalbewegungseinrichtung 130 durchgeführt wird. Dieser Aufbau ermöglicht, dass der Roboter 14 als Ganzes in eine vorgegebene Position transportiert werden kann.
Die Robotersteuereinrichtung 135 steuert die Drehung des Roboters und den Betrieb der Dreharme. Zudem wird die Kippeinstelleinrichtung 125 verwendet, um den Kippwinkel des horizontalen Tragtisches 13 einstellen zu können. Jede Bewegungsvorrichtung und jeder Teil des Roboters sind mit verschiedenen Sensoren 138 versehen und ein Detektionssignal wird zu der Transportsteuereinheit 120 zurückgeführt.
Wenn die Transportsteuereinheit 120 die Transportsteuerdaten, z.B. Positionsdaten, die einen Ort angeben, wo eine dünne Platte vorhanden ist, und eine Transportposition, empfängt, berechnet die Transportsteuereinheit 120 bzw. der Controller eine Bewegungsrichtung und einen Bewegungsbetrag aus den Daten der gegenwärtigen Position und der empfangenen Positionsdaten. Die berechneten Bewegungsbetragdaten werden in Horizontalrichtungsdaten und Vertikalrichtungsdaten unterteilt, die zu den jeweiligen Antriebssteuereinrichtungen ausgegeben werden. Die Bewegungsbetragdaten in der X-Achsenrichtung werden zu der Horizontalantriebssteuereinheit 131 ausgegeben und werden als eine Basis zum Antreiben eines Horizontalantriebsabschnitts 132 verwendet. Die Bewegungsbetragdaten in der Z-Achsenrichtung werden zu der Vertikalantriebssteuereinheit 122 der Hubantriebseinrichtung 121 ausgegeben und werden als eine Basis zum Antreiben eines Hubantriebsabschnitts 123 verwendet. Der Roboter 14 bewegt sich in eine vorgegebene Position in der X-Achsenrichtung und in der Z-Achsenrichtung.
Die Robotersteuereinheit 136 treibt einen Armantriebsabschnitt 137 auf der Basis der Daten von der Transportsteuereinheit 120 an, um die Dreharme 16 und den Horizontaldrehbetrieb zu betreiben.
Die Transportsteuereinheit 120, die in 11 gezeigt ist, enthält weiterhin eine Durchbiegungskompensationseinrichtung 140. Die Durchbiegungskompensationseinrichtung 140 empfängt Informationen über die Momentanposition des Roboters 14 und Betriebspositionsinformationen der Dreharme von der Transportsteuereinheit 120, um die Höhe des Randes jedes der Endeffektoren 17 für die Durchbiegungskompensation einstellen zu können. Die Durchbiegungskompensationseinrichtung 140 enthält einen Kompensationsinformationenberechnungsabschnitt 141 zum Berechnen eines Kompensationsbetrages zum Kompensieren der Durchbiegung und einen Durchbiegungsinformationenspeicherabschnitt 143 zum Speichern der Durchbiegungsdaten jedes Messpunktes, wenn die Dreharme 16 ausgefahren werden bzw. sind. Der Kompensationsinformationenberechnungsabschnitt 141 liest einen Durchbiegungsbetrag (einen Kompensationsbetrag), der im vorhinein aus dem Durchbiegungsinformationenspeicherabschnitt 143 in Übereinstimmung mit den empfangenen Positionsinformationen und Ähnlichem gemessen wird, und berechnet Daten, die kompensiert werden sollen.
Die berechneten Kompensationsdaten werden zu der Hubantriebseinrichtung 121 oder der Kippantriebssteuereinheit 126 ausgegeben. Die Vertikalposition des horizontalen Tragtisches 13 oder der Kippwinkel des Roboters 14 werden geändert, um dadurch die Durchbiegungsbeträge bzw. die Durchbiegung zu kompensieren. Das Antreiben des horizontalen Tragtisches 13 und die Änderung des Kippwinkels des Roboters 14 können beide durchgeführt werden, um dadurch die Durchbiegung bzw. Verwindung oder Verformung genauer kompensieren zu können.
Ein Beispiel für das Kompensieren eines Durchbiegungsbetrages unter Verwendung des Kippeinstellabschnitts wird genauer mit Bezug auf 12A bis 12C beschrieben. 12A ist eine Ansicht, die eine maximale Transferentfernung der Endeffektoren 17 durch die Dreharme 16 verdeutlicht. Der maximale Transferabstand der Dreharme 16 ist ein Abstand (m) von einem Zustand 100, wo die Endeffektoren 17 nahe an dem Zentrum des Roboters gehalten werden, in einen Zustand 101, wo die Dreharme 16 ausgefahren sind, um die Endeffektoren 17 weiter herauszuziehen. Wenn die Transferentfernung größer wird, wird die Durchbiegung der Dreharme 16 größer.
12B ist eine Ansicht, die einen Fall des Einführens der Endeffektoren 17 in die vorgegebene Kassette 51 verdeutlichen, wenn eine Durchbiegung nicht kompensiert wird. In diesem Fall, wenn die Dreharme 16 nur angetrieben werden, um die Endeffektoren 17 geradeaus in der Horizontalrichtung auszufahren, ist es wahrscheinlich, dass die Endeffektoren 17 auf die Kassette 51 aufschlagen.
12C ist eine Ansicht, die einen Fall verdeutlicht, in dem der Kippeinstellabschnitt 30 verwendet wird, um die Durchbiegung zu kompensieren. Wenn der Kippeinstellabschnitt 30 verwendet wird, um den Kippwinkel etwas zu erhöhen, werden die Dreharme 16 ausgefahren, während ein vorgegebener Kippwinkel eingehalten wird, wodurch die Position der Endeffektoren 17 erhöht wird, was ermöglicht, dass verhindert wird, dass die Endeffektoren 17 an die Kassette 51 anschlagen.
(Betrieb der Überprüfungsexperimente)
Eine Transportvorrichtung der Form; die in 2, 4 und 13 gezeigt ist, wurde mit den folgenden Spezifikationen hergestellt und tatsächlich für eine Betriebsüberprüfung betrieben. 13 ist eine ebene Ansicht zum Verdeutlichen einer Transportposition einer dünnen Platte durch den Roboter 14. Der Roboter 14 ist, wie in 5 gezeigt ist, in der Lage, die Platte horizontal innerhalb 220° zu transportieren, und Verarbeitungskammern sind in jeweils 4 Richtungen für die Betriebsüberprüfung vorgesehen.
Die Türme 2 sind 4.250 mm in der Höhe, 3.820 mm in der Weite bzw. Abmessung zwischen den Turmaußenwänden, 2.620 mm in der Weite zwischen den Turminnenwänden und 600 mm × 500 mm in der Turmbreite beziehungsweise -weite und die Ecken der Türme zu der Roboterseite sind weggeschnitten.
Drei Schienen sind aufgebaut (Abstand zwischen den Schienen 830 mm und 2.000 mm), von denen jede 6.500 mm lang ist, wobei die Schienenbreite 33 mm × die Höhe der Schienenoberfläche 220 mm beträgt, der Ablageabschnitt 3 des Hubträgers auf der Turmseite 2.700 mm beträgt, mit einem Boden von 400 mm in der Weite und 1.800 mm in der Länge.
Der Roboter 4 ist ein Doppelarmroboter mit einem gemeinsamen ersten Arm (Roboter vom Bumerangtyp) und der Hauptkörper des Roboters ist in dem Zentrum des Ablageabschnitts 1.400 mm weg von dem Zentrum der Türme angeordnet. Die Höhe des Roboters beträgt 880 mm, der Durchmesser des Roboterkörpers beträgt 800 mm, die Länge des Arms beträgt 1.625 mm im Minimaldrehradius (1.450 mm in der Entfernung zwischen den Zentren der Gelenke) und der Öffnungsgrad des ersten Arms beträgt 130°. Die Endeffektoren werden linear durch Rad und Riemen angetrieben, die an den Armgelenken von der Robotermittenachse aus vorgesehen sind.
Die Kippvorrichtung hat die folgenden Spezifikationen: zwei Schneckengetriebemotoren sind 60° nach rechts und links relativ zu der Linie, die rechtwinklig zu den Schienen ist, von dem Roboterzentrum aus angeordnet, das Kippen ist frei auf 360° gesetzt und der maximale Kippwinkel (Kippeinstellwinkel) beträgt +/–2°.
Jeder der Endeffektoren beträgt 2.310 mm in der Länge, 1.260 mm in der Breite des Fingerabschnitts (60 mm × 4 Fingerabschnitte) × 1.800 mm in der Länge.
Die Kapazität dieser Transportvorrichtung beträgt 1.100 – 3.600 mm in dem zugelassenen Transporthubbereich, 2.500 mm/3,5 Sekunden in der Hubzeit und 2.500 mm in der Horizontalbewegungsentfernung. Der Drehwinkel des Roboters beträgt 500°, die Drehwinkelgeschwindigkeit beträgt 180°/2 Sekunden und die Kippgeschwindigkeit +/–2°/Sekunde. Wie in 6 gezeigt ist, beträgt der maximale Transportweg eines Arms des Roboters 4.150 mm, während sich die Mitte des Endeffektors für 4.300 mm weg von der Mitte des Roboters ausfahren kann. Seine Geschwindigkeit beträgt 4.150 mm/3 Sekunden. Die Hintransportrichtung und die Wegtransportrichtung des Roboters 14 entspricht den vier Richtungen P, Q, R und S, die in 7 gezeigt sind. Da die Türme 12 durch die Horizontalbewegungsvorrichtung 5, die Schienen hat, bewegt werden, kann das Transportziel frei gesetzt werden, solange die Horizontalbewegungsentfernung innerhalb von 2.730 mm liegt.
Diese Transportvorrichtung wird verwendet, um eine Glasplatte von 0,7 mm in der Dicke × 2.000 mm in der Breite × 2.200 mm in der Länge auf der Kassette 51 (2.200 mm in der Weite beziehungsweise Breite × 2.400 mm in der Tiefe × 1.600 mm in der Höhe, 1.200 mm in der Höhe von der Bodenstufe und 2.720 mm in der Höhe von der Oberseitenstufe) zu einem temporären Tisch in der Verarbeitungskammer 60 mit einer Höhe von 1.600 mm zu transportieren. Nach der Verarbeitung wird das Tor 61 geöffnet, nimmt der Roboter 14 der vorliegenden Erfindung die Glasplatte 8 heraus und lagert sie in der Kassette 52. Obwohl nur ein horizontaler Tragtisch 13 in der vorstehenden Beschreibung vorgesehen ist, kann auch eine Vielzahl von horizontalen Tragtischen 13 vorgesehen sein, auf denen jeweils ein Roboter angeordnet sein kann.
(Berechnung und Kompensation des Versatzes der Anordnungsposition der dünnen Platte)
Die Transportvorrichtung der vorliegenden Erfindung kann weiterhin mit der nachfolgenden Anordnungspositionsdetektionseinrichtung versehen sein. Zunächst, wie in 13 gezeigt ist, ist ein Detektionssensor 110 für die detektierbare Position der dünnen Platte in einer vorgegebenen Position in der Transportvorrichtung vorgesehen. Wenn die Endeffektoren die dünne Platte durch Adsorption halten, transportieren sie die dünne Platte derart, dass die beiden angrenzenden Seiten der gehaltenen Platte einem gegebenen Kreisbogen folgen, der über dem Positionsdetektionssensor 110 verläuft. Dann werden das Timing der Detektion durch den Sensor und die Größe und die Form der dünnen Platte, die im vorhinein bekannt sind, verwendet, um zu bestimmen, ob die dünne Platte richtig durch die Endeffektoren gehalten wird.
Mit diesem Aufbau wird ein Positionsversatz der dünnen Platte an den Endeffektoren detektiert und es kann zum Beispiel eine Steuereinrichtung verwendet werden, um den Positionsversatz zu detektieren. Anders ausgedrückt werden die vorgegebene Lehrpo sition bzw. programmierte Position und die tatsächliche Position miteinander verglichen, um den Versatz zu berechnen. Hier werden der Abstand und der Dinkel berechnet. Die Berechnung des Versatzwinkels erfordert jedoch die Verwendung einer Vielzahl von Sensoren oder mehrerer Detektionszeitpunkte durch einen Sensor, um die notwendigen Positionsinformationen erhalten zu können.
Dieses Verfahren ist vorteilhaft darin, dass es möglich ist, zu beurteilen, ob die dünne Platte geeignet gehalten wird oder nicht, indem das Passieren der Platte an dem mindestens einen Positionsdetektionssensor 110 nur einmal ausgeführt wird. Wenn dieses Transportieren für die Beurteilung in dem normalen Transportieren enthalten ist, kann die Beurteilung effizienter durchgeführt werden. Der Sensor, der hier verwendet wird, enthält einen Zeilensensor und einen Flächensensor und ein bekannter optischer Nicht-Kontaktsensor wird bevorzugt verwendet.
14 bis 21 werden verwendet, um im Detail eine Vorrichtung und ein Verfahren zum Detektieren der Anordnungsposition der dünnen Platte durch die Endeffektoren und den Kompensationsversatz der Anordnungsposition zu erläutern. In dem nachfolgenden Beispiel wird eine Glasplatte als die dünne Platte transportiert.
14 ist eine perspektivische Ansicht, die ein Beispiel der Transportvorrichtung veranschaulicht, die mit einer Anordnungspositionsdetektionseinrichtung der vorliegenden Erfindung versehen ist. 15 bis 21 sind Ansichten zum Erläutern der Analyse der Glasplatten-Anordnungsposition durch die Endeffektoren in der X-Y-Ebene (der horizontalen Ebene), wo die Drehachse des Roboters der Ursprungspunkt ist.
Die Transportvorrichtung, die in 14 gezeigt ist, ist mit der Anordnungspositionsdetektionseinrichtung versehen. Die Anordnungspositionsdetektionseinrichtung enthält einen Positionsdetektionssensor, der an dem horizontalen Tragtisch 13 vorgesehen ist, und einen Positionsberechnungsabschnitt zum Berechnen des Versatzes der dünnen Platte, die durch die Endeffektoren 17 gehalten wird, auf der Basis eines detektierten Signals von dem Positionsdetektionssensor. Der Positionsberechnungsabschnitt kann mittels eines herkömmlichen Mikroprozessors berechnen, der aus einer CPU, weiteren Logikschaltungen, einem Speicher und einem Steuerprogramm (einschließlich eines Betriebsprogramms) besteht. Als solches ist das Berechnen durch den Mikroprozessor bestens bekannt und eine weitere Beschreibung über den Aufbau des Mikroprozessors wird hier deshalb weggelassen. Die Beschreibung eines Berechnungsverfahrens wird später gegeben.
Der Positionsdetektionssensor hat einen Lichtemissionsabschnitt und einen Lichtempfangsabschnitt, die sich an horizontal vorstehenden Abschnitten gegenüber liegen, die voneinander vertikal entfernt sind. Der Positionsdetektionssensor detektiert das Vorhandensein eines blockierenden Objekts, indem beurteilt wird, ob das Licht von dem Lichtemissionsabschnitt durch den Lichtempfangsabschnitt empfangen wird (der optische Weg von dem Lichtemissionsabschnitt zu dem Lichtempfangsabschnitt ist blockiert oder nicht). Dementsprechend, wenn der Transportweg, der verwendet wird, wenn die Glasplatte, die aus der Kassette entnommen wird, zu der Verarbeitungskammer transportiert wird oder wenn die Glasplatte zurück von der Verarbeitungskammer zu der Kassette durch die Endeffektoren transportiert wird, derart festgelegt ist, dass mindestens eine Seite der Glasplatte den optischen Weg des Positionsdetektionssensors kreuzt, kann die Positionsdetektionseinrichtung die Position der Glasplatte an den Endeffektoren detektieren.
(Glasplattenpositionsmessverfahren durch Anordnungspositionsdetektionseinrichtung)
Wie in 13 gezeigt ist, kann der Roboter 14 die G1asplatte, die aus der Kassette 51 entnommen wird, zu der Verarbeitungskammer 60 transportieren, die innerhalb eines Winkels von 180° in der entgegengesetzten Richtung zu der Kassette 51 ist. In 13, als ein Beispiel, sind Verarbeitungskammern 60 in drei Richtungen vorgesehen. Wenn der Roboter 14 die Glasplatte aus der Kassette 51 herausnimmt, wird die Glasplatte in der Art transportiert, dass mindestens eine Seite der Glasplatte einem gegebenen Weg folgt, der den optischen Weg des Positionsdetektionssensors 110 kreuzt. 15 bis 21 zeigen eine detektierte Glasplatte, wenn die Glasplatte durch die Endeffektoren gehalten wird und der Roboter 14 in der Horizontalrichtung in einer gegebenen Referenzposition gedreht wird. In diesen Figuren ist die X-Y-Ebene gezeigt, in der die Drehachse des Roboters als ein Ursprungspunkt gesetzt ist, und die Anfangsposition O(r, 0) ist auf der X-Achse gegeben.
Die Anordnungspositionsdetektionseinrichtung kann die Position der Glasplatte aus den Positionsinformationen des Endeffektors durch eine Steuereinheit des Roboters und aus den Detektionsinformationen der Glasplatte, die durch den Positionsdetektionssensor detektiert werden, erhalten, um den Versatz der Messposition von der programmierten Position bzw. Lehrposition oder Sollposition zu berechnen. Die Positionsdetektionseinrichtung misst die Betriebswinkel des Roboters, die erhalten werden, wenn der Roboter aus der Anfangsposition O(r, 0) in die Positionen gedreht wird, die durch den Sensor der Anordnungspositionsdetektionseinrichtung detektiert werden, wie zum Beispiel die Position P1 (XP1, YP1) an dem Rand der Glasplatte, die Positionen P2 (XP2, YP2) und P3 (XP3, YP3) an einer Seite, die die Seite, die P1 enthält, in rechten Winkeln schneidet, und die Position P4 (XP4, YP4) an einer Seite, die die Seite, die P2 und P3 enthält, in rechten Winkeln (die Winkel werden hier nachfolgend als "Messwinkel θP1, θP2, θP3 und θP4" bezeichnet) (siehe 16 bis 19) schneidet.
Die Messergebnisse werden zu der Speichereinrichtung übertragen und darin gespeichert. Diese gespeicherten Messergebnisse und die Lehrposition, die im vorhinein in der Speichereinrichtung gespeichert wird, werden zu der Berechnungseinrichtung übertragen, wenn notwendig, um den Versatz zu berechnen. Wenn die Positionsinformationen in großer Menge nach Art und Betrag detektiert werden, ist es möglich, den Versatz in der Richtung (X-Achsenrichtung in den Figuren) rechtwinklig zu der Richtung (Y-Achsenrichtung in den Figuren), in der die Glasplatte transportiert wird oder in der die Endeffektoren durch den Roboter betätigt werden, und den Versatz in der Drehrichtung (θ-Richtung in den Figuren) zu detektieren. Die nachfolgende Beschreibung wird bezüglich eines Versatzbetragberechnungsverfahrens auf der Basis der detektierten Positionsinformationen ausgeführt.
(Lehrverfahren der Referenzanordnungsposition)
15 verdeutlicht den Winkel und die Position (nachfolgend als "Lehrposition" bezeichnet) jeder Seite der Glasplatte, die durch den Positionsdetektionssensor 110 detektiert werden, wenn die Endeffektoren die Glasplatte in der vorgegebenen Referenzposition halten. Wenn die Glasplatte in der vorgegebenen Referenzposition gehalten wird und die Endeffektoren in eine Anfangsposition bewegt werden, wird der Roboter 14 gedreht, um den Winkel θQ1 aus der Anfangsposition in die Position zum Detektieren des Rands der Glasplatte zu messen. Dieses Ergebnis wird in der Speichereinrichtung als Lehrwinkel θQ1 bzw. gelernter Winkel gespeichert. Diese Informationen werden als eine Basis zum Berechnen einer Lehrposition Q1 (XQ1, YQ1) durch die Berechnungseinrichtung verwendet. Eine Gleichung zum Berechnen dieser Lehrposition Q1 (XQ1, YQ1) wird wie folgt angegeben. In dieser Gleichung ist r eine Entfernung von dem Drehzentrum des Roboters zu der optischen Achse des Sensors.
(Gleichung 1)
Aus dieser Gleichung kann die Lehrposition Q1 (XQ1, YQ1) bzw. gelernte Position berechnet werden. Zudem kann diese Lehrposition Q1 (XQ1, YQ1) nicht ein gemessener Betrag sein, sondern es können gewünschte Koordinaten sein, die im vorhinein in der Speichereinrichtung gesetzt worden sind.
Die Winkel von Q2, Q3 und Q4 werden auf die gleiche Art und Weise gemessen, um Lehrpositionen berechnen zu können.
(Berechnungsverfahren für den Versatz in der X-Achsenrichtung)
Ein Berechnungsverfahren für den Versatz in der X-Achsenrichtung wird mit Bezug auf 16 beschrieben, in der die durchgezogene Linie eine tatsächliche Anordnungsposition und die unterbrochene Linie die Lehrposition zeigt. In 16 ist die Glasplatte an den Endeffektoren in der X-Achsennormalrichtung von der Lehrposition versetzt. Der Sensor wird relativ gedreht, um einen Betriebswinkel des Roboters (nachfolgend als "Messwinkel θP1" bezeichnet) aus der Anfangsposition zu der Position P1 (XP1, YP1) zu messen, wo die Glasplatte die optische Achse kreuzt. Wie in dem Fall mit dem Lehrwinkel wird die Glasplattenposition P1 (XP1, YP1) wie folgt berechnet.
(Gleichung 2)
Dieses Ergebnis wird verwendet, um einen Versatzbetrag (ΔXP1, ΔYP1) zu berechnen.
(Gleichung 3)
Aus diesem Berechnungsergebnis des Versatzes wird ein Versatzbetrag in der X-Achsenrichtung der Glasplatte an den Endeffektoren ΔXP1 (|XP1-XQ1|) berechnet.
(Berechnungsverfahren des Versatzes in der Y-Achsenrichtung)
Ein Berechnungsverfahren eines Versatzes in der Y-Achsenrichtung wird mit Bezug auf 17 beschrieben, in dem die durchgezogene Linie eine tatsächliche Anordnungsposition zeigt und die unterbrochene Linie die Lehrposition zeigt. In 17 ist die Glasplatte an den Endeffektoren in der Y-Achsennormalrichtung von der Lehrposition versetzt. Wie in dem Fall mit dem Versatz in der X-Achsenrichtung wird ein Messwinkel θP2 des Roboters aus der Anfangsposition zu dem Punkt P2 an einer Seite rechtwinklig zu der Seite, die P1 enthält, gemessen. Dieser P2 (XP2, YP2) wird verwendet, um einen Versatzbetrag in der Y-Achsenrichtung wie folgt zu berechnen.
(Gleichung 4)
Wenn die Koordinaten der Lehrposition Q2 (XQ2, YQ2) sind, ist ein Versatzbetrag in der Y-Achsenrichtung ΔY (ΔXP2, ΔYP2) wie folgt gegeben.
(Gleichung 5)
Daraus wird ein Versatzbetrag in der Y-Achsenrichtung ΔY als |YP2-Y42| berechnet.
(Berechnungsverfahren des Versatzes in der Drehrichtung)
Das Versatzberechnungsverfahren wird mit Bezug auf 18 beschrieben, wenn ein Versatz in der Drehrichtung vorhanden ist. Ähnlich wie in 16 und 17 zeigt hier die durchgezogene Linie die tatsächliche Anordnungsposition der Glasplatte und die unterbrochene Linie zeigt die Lehrposition. In 18 ist die Glasplatte, die mit der durchgezogene Linie gezeigt ist, gleichzeitig in der X-Achsenrichtung und der Y-Achsenrichtung und der Drehrichtung versetzt, wenn mit der Glasplatte in der Lehrposition verglichen wird. Das Verfahren zum Berechnen eines Versatzes in der Drehrichtung ist das Messen eines Messwinkels θP3 aus der Anfangsposition bis P3 (XP3, YP3) auf der gleichen Seite wie P2 zusätzlich zu den Punkten P1 und P2 auf den jeweiligen Seiten der Glasplatte, wie vorstehend beschrieben wurde, um die Koordinaten auf gleiche Art und Weise wie bei P1 und P2 berechnen zu können.
(Gleichung 6)
Aus dieser Gleichung wird P3 (XP3, YP3) berechnet.
Die Seite, die diesen Messpunkt P3 (XP3, YP3) enthält, ist drehend versetzt um einen Versatzbetrag α bezüglich der Seite, die die Lehrposition Q3 (XQ3, YQ3) enthält. Da der Versatzbetrag α ein Winkel ist, der durch einen Vektor P2P3 von P2 nach P3 und einem Vektor Q2Q3 von Q2 nach Q3 ausgebildet ist, wird er wie folgt berechnet.
(Gleichung 7)

P2P3·Q2Q3 = |P2P3| |Q2Q3| × Cosα

(Gleichung 8)
Aus dieser Gleichung wird der Versatzbetrag α berechnet.
(Versatzkompensierungsverfahren)
Wenn die Glasplatte in der X-Achsenrichtung versetzt ist, wie in 16 gezeigt ist, ist die Messposition der Glasplatte, die durch eine durchgezogene Linie gezeigt ist, um ΔX nach rechts in der 16 bezüglich der Lehrposition versetzt, die durch die unterbrochene Linie gezeigt ist. Mit der Transportvorrichtung der vorliegenden Erfindung kann, wenn die Glas platte gegenüber der gezeigten Position nach links in der Figur um ΔX versetzt ist, der Versatz kompensiert werden.
Das Gleiche gilt auch für 17, wo die Glasplatte in der Y-Achsenrichtung versetzt ist. Der Versatz wird kompensiert, indem die Glasplatte in einer entgegengesetzten Richtung zu der Versatzrichtung von der Lehrposition angeordnet wird.
Wenn die Glasplatte in der Drehrichtung versetzt ist, wird der Roboter um den Versatzbetrag α in der Drehrichtung in den experimentalen Glasplattenkoordinaten von 19 gedreht. Die Messpunkte P1 und P2 werden nach P4 bzw. nach P5 bewegt. Die Koordinaten von P4 und P5 werden durch die nachfolgenden Gleichungen berechnet.
(Gleichung 9)
(Gleichung 10)
Aus diesen Gleichungen können die Koordinaten von P4 (XP4, YP4) und P5 (XP5, YP5) berechnet werden. Obwohl der Drehversatz kompensiert werden kann, werden die Versätze in der X-Achsenrichtung und der Y-Achsenrichtung jedoch nicht kompensiert. Die Versatzbeträge können berechnet werden, indem die X-Koordinate zwischen P4 und Q1 für den Versatz in der X-Achsenrichtung verglichen wird und indem die Y-Koordinate zwi schen P5 und Q2 für den Versatz in der Y-Achsenrichtung verglichen werden. Diese berechneten Versatzbeträge werden verwendet, um die Lehrposition der Glasplatte zu korrigieren. In der Transportvorrichtung der vorliegenden Erfindung wird der Versatz in der X-Achsenrichtung durch Korrigieren des Verfahrtisches 41 korrigiert, wird der Versatz in der Y-Achsenrichtung durch Ausfahren der Dreharme 16 korrigiert und wird der Versatz in der Drehrichtung durch Drehen des Roboters, wie vorstehend beschrieben wurde, korrigiert.
Während 13 bis 19 den Fall eines verwendeten Sensors behandelt, hat die Transportvorrichtung, die in 20 gezeigt ist, zwei Anordnungspositionsdetektionseinrichtungen (Sensoren). Die Anordnungspositionsdetektianseinrichtung ist derart aufgebaut, dass die Positionsdetektionssensoren in unterschiedlichem Abstand von dem Drehzentrum des Roboters vorgesehen sind. Wie vorstehend beschrieben wurde, berechnet der Positionsberechnungsabschnitt einen Versatzbetrag aus der Anordnungsposition der Endeffektoren 17. In der nachfolgenden Beschreibung ist der zweite Sensor außerhalb des zuvor erwähnten Sensors vorgesehen und seine Lehrposition ist durch die Koordinaten V (x, y) angegeben.
<Lehrverfahren>
Wenn die Endeffektoren die Glasplatte in der vorgegebenen Referenzposition, wie zuvor erwähnt wurde, halten, werden Winkel und Positionen der Seiten der Glasplatte, die von den Positionsdetektionssensoren 110 detektiert werden, gezeigt. Die Glasplatte ist in der vorgegebenen Referenzposition gehalten und die Endeffektoren werden zu der Anfangsposition bewegt und dann wird der Roboter 14 gedreht, um Winkel θQ1, θV1 aus der Anfangsposition zu den Positionen hin zu messen, wo die Ränder der Glasplatte detektiert werden.
Diese Ergebnisse werden in der Speichereinrichtung als Lehrwinkel θQ1, θV1 gespeichert. Diese Informationen werden als Basis für die Berechnung der Lehrpositionen Q1 (XQ1, YQ1), V1 (XV1, YV1) durch die Berechnungseinrichtung verwendet. Die Gleichung zum Berechnen der Lehrposition Q1 (XQ1, YQ1) ist die gleiche wie die zuvor erwähnte Gleichung (2) und die Gleichung für die Berechnung von V1 (XV1, YV1) ist, wie zuvor erwähnt wurde. In der Gleichung sind r1 und r2 Abstände von dem Drehzentrum des Roboters zu den optischen Achsen der Sensoren.
(Gleichung 11)
(Gleichung 12)
Aus diesen Gleichungen werden die Lehrpositionen Q1 (XQ1, YQ1) und V1 (XV1, YV1) berechnet. Zudem müssen diese Lehrpositionen keine Messbeträge sein, sondern sie können gewünschte Koordinaten sein, die zuvor in der Speichereinrichtung gesetzt worden sind.
Ähnlich werden die Winkel von Q2, Q3, Q4, V1, V2, V3 und V4 berechnet, um die Lehrposition berechnen zu können. Ein Versatz in der X-Achsenrichtung kann durch jeden Sensor, wie vorstehend beschrieben worden ist, berechnet werden.
21 wird dann verwendet, um ein Verfahren zum Berechnen des Versatzes in der Drehrichtung aus der Lehrposition auf der Basis des Messbetrages zu erläutern, wenn zwei Sensoren vorgesehen sind. In der Figur zeigt die durchgezogene Linie die tatsächlichen Anordnungspositionen der Glasplatte und die unterbrochene Linie zeigt die Lehrposition. In 21 ist das Zentrum der Glasplatte von der Lehrposition zu den Koordinaten U versetzt und zudem ist die Glasplatte, die an den Endeffektoren angeordnet ist, in der Richtung entgegen dem Uhrzeigersinn um das Zentrum der Koordinaten U herum versetzt. Jeder der Sensoren wird relativ gedreht, um die Betriebswinkel des Roboters (hierin bezeichnet als "θP1, θW1") aus der Anfangsposition zu den Positionen P1 (XP1, YP1), W1 (XW1, YW1) hin zu messen, wo die Glasplatte die optischen Achsen schneidet. Genauso wie bei dem zuvor erwähnten Lehrwinkel wird der Messpunkt P1 (XP1, YP1), W1 (XW1, YW1) der Glasplatte wie folgt berechnet.
(Gleichung 13)
(Gleichung 14)
Aus den Koordinaten, die mit den Messbeträgen berechnet wurden, wird ein Versatz in der Drehrichtung wie folgt berechnet. Eine Seite, die die Messpunkte P1 (XP1, YP1), W1 (XW1, YW1) enthält, wird drehend um β von einer Seite aus versetzt, die die Lehrposition Q1 (XQ1, YQ1), V1 (XV1, YV1) enthält. Dieser Versatzbetrag β ist ein Winkel, der durch den Vektor P1W1 von P1 nach W1 und durch den Vektor Q1V1 von Q1 nach V1 ausgebildet wird, der wie folgt berechnet wird:
(Gleichung 15)

P1W1·Q1V1 = |P1W1| |Q1V1| × Cosα

(Gleichung 16)
Aus diesen Gleichungen wird der Versatzbetrag β berechnet.
Nachfolgend wird das Versatzkorrekturverfahren angewandt, wenn der zuvor erwähnte α durch β ersetzt wird.
(Staubablagerung)
Wie zuvor erwähnt wurde, stellt die vorliegende Erfindung eine Transportvorrichtung für eine dünne Platte bereit, die in einer reinen Umgebung betrieben wird. Beim Transportbetrieb ist es erwünscht, eine Stauberzeugung zu verhindern. Zuerst ist es wichtig, so wenig Staub wie möglich zu erzeugen. Da die Transportvorrichtung bewegliche Abschnitte enthält, ist es jedoch schwierig, diese Stauberzeugung aufgrund der Bewegung bzw. des Gleitens oder Ähnlichem der Komponenten vollständig zu beseitigen. Es wird deshalb bevorzugt, Staub von jedem Stauberzeugungsabschnitt der Transportvorrichtung aufzunehmen, um den Staub nach außen auszustoßen.
22 ist eine perspektivische Teilansicht zum Erläutern einer Ausführungsform, um eine Staubverunreinigung in der reinen Umgebung zu vermeiden. Staub wird an dem Roboter 14 (siehe 3), der auf dem Tragtisch 13 angeordnet ist, erzeugt und in einem Absaugkanal 82a über ein Absaugrohr 80 gesammelt, das mit der Staubquelle des Roboters 14 verbunden ist.
Der Absaugkanal 82a ist mit dem Absaugkanal 82b verbunden und weiterhin über ein Absaugrohr 83, das durch die Innenseite des senkrechten Tragteils 12 und die Innenseite des Verfahrtisches 41 hindurchgeht, und die Absaugkanäle 82c, 82d und 82e mit der Außenseite der reinen Umgebung verbunden. Das Innere jeder dieser Absaugkanäle 82a bis 82e bzw. Absaugleitungen wird dem Absaugen zu der Außenseite ausgesetzt und Luft oder Atmosphäre in den Absaugkanälen 82a bis 82e wird zu der Außenseite der reinen Umgebung ausgelassen. Zusätzlich sind verschiedene elektrische Verdrahtungen bzw. Drähte bevorzugt in dem Absaugrohr 80 und in den Absaugkanälen 82a bis 82e angeordnet.
Der Absaugkanal 82a ist drehbar durch die Drehachse 81a an dem Tragtisch 13 gehalten und weiterhin mit dem Absauganal 82b über eine Drehachse 81b verbunden. Der Absaugkanal 82b ist drehbar durch die Drehachse 81c an dem senkrechten Tragteil 12 getragen. Dementsprechend wird es ermöglicht, dass die Absaugkanäle 82a und 82b der Bewegung des horizontalen Tragtisches 13 oder sogar der Vertikalbewegung des horizontalen Tragtisches 13 durch die Drehung der Drehachsen 81a bis 81c folgen können. Dieser Aufbau verhindert, dass sich die Drehachsen 81a bis 81c über den horizontalen Tragtisch 13 bewegen, wodurch vermieden wird, dass die Drehachsen 81a bis 81f an den horizontalen Tragtisch 13 und den Roboter 14 anschlagen, ohne Berührung zwischen dem Boden und Ähnlichem und der Verdrahtung.
Der Absaugkanal 82c ist auch mit dem Verfahrtisch 41 durch die Drehachse 81d verbunden und mit dem Absaugkanal 82d über die Drehachse 81e verbunden. Der Absaugkanal 82d ist mit dem Absaugkanal 82e über die Drehachse 81f verbunden, die an einem Bewegungsteil 84 vorgesehen ist, das sich auf der Schiene 42 bewegt bzw. darauf gleitet. Wenn sich das Bewegungsteil 8a bewegt und die Drehachsen 81d, 81e und 81f die Rotationsbewegung freigeben, folgen, auch wenn sich der Tragtisch 41 in der Horizontalrichtung sich bewegt, die Absaugkanäle 82c, 82d und 82e seiner Bewegung, wodurch der Kanal zu der Außenseite entladen wird.
Obwohl 22 nur von dem Beispiel des Entladens von Staub von dem Roboter 14 handelt, wird es bevorzugt, dass der Staub, der durch die vertikale Gleitbewegung des Verfahrtisches 11 erzeugt wird, und der Staub, der durch die horizontale Gleitbewegung des Verfahrtisches 41 und des gleitenden Teils 84 erzeugt wird, insgesamt in den Absaugkanälen 82a und 82e gesammelt wird, um entladen zu werden.
(Weitere Ausführungsformen)
Die vorstehende Beschreibung handelt nicht von einer horizontalen Transportvorrichtung in der Y-Achsenrichtung. Die Transportvorrichtung der vorliegenden Erfindung ist jedoch bevorzugt mit einer Horizontalbewegungsvorrichtung versehen, da die Transportvorrichtung zum Transportieren einer Platte großer Abmessung (einer 2 m × 2 m Glasplatte oder Ähnlichem) vorgesehen ist und deshalb die Entfernung zwischen einer Vielzahl von Kassetten und dem Abstand zwischen einer Vielzahl von Verarbeitungskammern oft lang ist. Spezifische Beispiele der Horizontalbewegungsvorrichtung des Roboters 14 enthalten ein System von horizontalen Parallelschienen und ein Gestell und Zahnradgetriebe, ein Seilwagensystem, ein Kugelgewindespindelschienensystem, ein Schienenlaufsystem, ein Luftkissensystem, ein System mit magnetischer Anhebung und weitere bekannte Schwerlasthubsysteme. Eine Antriebsquelle dieser verwendeten Horizontalbewegungsvorrichtung enthält hier einen Servomotor, einen Schrittmotor, einen Linearmotor, einen Fluiddruckzylinder mit hydraulischem Druck oder Luftdruck und weitere bekannte Antriebsquellen.
ZUSAMMENFASSUNG
Eine Tragvorrichtung und ein Tragsteuerverfahren für plattenähnliche Substrate wird beschrieben, wobei die Vorrichtung zum Transportieren der plattenähnlichen Substrate, zum Beispiel von Flüssigkristallanzeigeplatten und Glassubstraten, in eine Behandlungsvorrichtung einen ziemlich großen Roboter (14) aufweist, der Dreharme (16) zum Tragen der plattenähnlichen Substrate großer Abmessung hat. Die Transportvorrichtung und ein Transportsystem für ein plattenähnliches Substrat können die Substrate bis zu einer Höhe von ungefähr 2 m anheben und können die Substrate mit dem Durchbiegungsbetrag der ausgefahrenen Dreharme (16) korrigiert transportieren. Horizontale Tragbasisteile (13), die an zwei senkrechten Tragkörper (12) ausladend angehoben werden können, sind in der Vorrichtung eingerichtet und der Transportroboter (14) mit den Dreharmen (16) ist an dem horizontalen Tragbasisteil (13) angeordnet. Der Durchbiegungsbetrag der ausgefahrenen Dreharme wird korrigiert, indem auf die Höhe des horizontalen Tragbasisteils (13) gemäß dem Betrag der Durchbiegung der Dreharme angehoben wird. Der Betrag der Durchbiegung der Dreharme kann auch durch das Variieren des Installationswinkels des Roboters (14) korrigiert werden, der auf dem horizontalen Tragbasisteil (13) angeordnet ist.

Claims

Transportvorrichtung, die in einer gegebenen, reinen Umgebung eingerichtet ist, zum Transportieren einer dünnen Platte großer Abmessung von einer gegebenen Abhebeposition zu einer Verarbeitungskammer, die aufweist: ein Paar von senkrechten Tragteilen, die in einem vorgegebenen Intervall stehen; mindestens einen horizontalen Tragtisch, der auf dem Paar von senkrechten Tragteilen anhebbar ausladend angebracht ist; eine Hubantriebseinrichtung zum vertikalen Anheben des horizontalen Tragtisches; und einen Roboter, der an dem horizontalen Tragtisch angeordnet ist und horizontale Dreharme zum Aufnehmen und Transportieren der dünnen Platte hat.
Transportvorrichtung, wie im Anspruch 1 beansprucht, worin der Roboter die horizontalen Dreharme antreibt, um die dünne Platte zwischen dem Paar von senkrechten Tragteilen herauszunehmen oder zwischen das Paar von senkrechten Tragteilen zurückzugeben.
Transportvorrichtung, wie im Anspruch 2 beansprucht, worin der horizontale Tragtisch eine Kippeinstelleinrichtung zum Andern eines Winkels des Roboters, der auf dem horizontalen Tragtisch angeordnet ist, bezüglich der horizontalen Ebene aufweist.
Transportvorrichtung, wie im Anspruch 3 beansprucht, die weiterhin eine Durchbiegungskompensationseinrichtung zum Kompensieren eines Durchbiegungsbetrages in einer Vertikalrichtung der Dreharme und eines Durchbiegungsbetrages von Endeffektoren, die an jeweiligen Enden der Dreharme zum Aufnehmen und Transportieren der dünnen Platte vorgesehen sind, aufweist.
Transportvorrichtung, wie im Anspruch 4 beansprucht, worin die Durchbiegungskompensationseinrichtung beide Durchbiegungsbeträge kompensiert, wenn die Endeffektoren die dünne Platte aufnehmen.
Transportvorrichtung, wie im Anspruch 5 beansprucht, worin die Durchbiegungskompensationseinrichtung eine Durchbiegungsspeichereinrichtung zum Speichern von Durchbiegungsbeträgen in der Vertikalrichtung an einer Vielzahl von vorgegebenen Messpunkten, die an der Bewegung eines Referenzpunktes an den Dreharmen oder den Endeffektoren teilnehmen, aufweist und worin jedesmal, wenn sich der Referenzpunkt zu einem der Messpunkte bewegt, die Durchbiegungskompensationseinrichtung einen Durchbiegungsbetrag, der einer momentanen Position entspricht, aus der Durchbiegungsspeichereinrichtung liest, um den Durchbiegungsbetrag zu kompensieren.
Transportvorrichtung, wie im Anspruch 6 beansprucht, worin die Durchbiegungsspeichereinrichtung sowohl einen Durchbiegungsbetrag aufgrund eines Eigengewichts als auch einen Durchbiegungsbetrag aufgrund des Haltens der dünnen Platte speichert und worin der Durchbiegungsbetrag aufgrund des Eigengewichts und der Durchbiegungsbetrag aufgrund des Haltens der dünnen Platte verwendet werden, um den Kompensationsbetrag zu ändern.
Transportvorrichtung, wie in einem der Ansprüche 4 bis 7 beansprucht, worin die Durchbiegungskompensationseinrichtung eine Kompensationssteuereinrichtung zum Steuern der Hubantriebseinrichtung zum Anheben oder Absenken des horizontalen Tragtisches auf der Basis des Durchbiegungsbetrages aufweist, wodurch die Durchbiegung der Dreharme oder der Endeffektoren kompensiert wird.
Transportvorrichtung, wie in irgendeinem der Ansprüche 4 bis 7 beansprucht, worin die Durchbiegungskompensationseinrichtung eine Kompensationssteuereinrichtung zum Steuern der Kippeinstelleinrichtung aufweist, um den Roboter derart zu kippen, der auf dem horizontalen Tragtisch angeordnet ist, dass die Endeffektoren oder die Dreharme angehoben oder abgesenkt werden, wodurch die Durchbiegung der Dreharme oder der Endeffektoren kompensiert wird.
Transportvorrichtung, wie in einem der Ansprüche 4 bis 7 beansprucht, worin die Durchbiegungskompensationseinrichtung eine Kompensationssteuereinrichtung zum Steuern der Hubantriebseinrichtung und der Kippeinstelleinrichtung derart aufweist, dass der horizontale Tragtisch angehoben oder abgesenkt wird und/oder die Kippeinstelleinrichtung gesteuert wird, um ein Kippen auf der Basis des Durchbiegungsbetrages durchzuführen, wodurch die Durchbiegung der Dreharme oder der Endeffektoren kompensiert wird.
Transportvorrichtung, wie in einem der Ansprüche 1 bis 7 beansprucht, die weiterhin aufweist: eine Anordnungspositionsdetektionseinrichtung, die einen Anordnungspositionssensor zum Detektieren des Durchgangs der dünnen Platte, die durch die Endeffektoren gehalten wird, und eine Berechnungseinrichtung zum Berechnen eines Versatzbetrages der Anordnungsposition aus dem Referenzpunkt auf der Basis eines detektierten Signals des Anordnungspositionssensors enthält; und eine Versatzkompensationseinrichtung zum Kompensieren des Versatzbetrages der Anordnungsposition auf der Basis des berechneten Anordnungsbetrages.
Transportvorrichtung, wie im Anspruch 11 beansprucht, worin die Anordnungspositionsdetektionseinrichtung einen Versatzbetrag in einer X-Achsenrichtung, einen Versatzbetrag in einer Y-Achsenrichtung und einen Versatzbetrag in einer Drehrichtung von dem vorgegebenen Referenzpunkt berechnet und worin die Versatzkompensationseinrichtung die Versatzbeträge bzw. Versatzwerte durch Bewegen der Endeffektoren in einer solchen Richtung kompensiert, dass die berechneten Versatzbeträge aufgehoben werden.
Transportvorrichtung, wie in einem der Ansprüche 1 bis 7 beansprucht, die weiterhin eine Bewegungseinrichtung zum horizontalen Bewegen des Paares von senkrechten Tragteilen aufweist.
Transportvorrichtung, wie in einem der Ansprüche 1 bis 7 beansprucht, die weiterhin einen Träger zum festen Koppeln der Oberseitenabschnitte des Paares von senkrechten Tragteilen aufweist, während das Paar von senkrechten Tragteilen parallel gehalten wird.
Transportsteuerverfahren einer Transportvorrichtung, die in einem vorgegebenen, reinen Raum eingerichtet ist und die Dreharme und Endeffektoren hat, zum Transportieren einer dünnen Platte großer Abmessung von einer vorgegebenen Abhebeposition zu einer Verarbeitungskammer, das die Schritte aufweist: (a) auf der Basis von Positionsdaten der zugegriffenen Position der Dreharme und der Endeffektoren, Berechnen eines Bewegungsbetrages in einer Horizontalrichtung, eines Bewegungsbetrages in einer Vertikalrichtung und von Antriebsdaten der Dreharme und der Endeffektoren; (b) Bewegen eines Roboters auf der Basis des Bewegungsbetrages in der Horizontalrichtung und des Bewegungsbetrages in der Vertikalrichtung und Antreiben der Dreharme und der Endeffektoren auf der Basis der Antriebsdaten; (c) Lesen von Durchbiegungsdaten der Dreharme und der Endeffektoren, die ausgefahren werden bzw. sind, aus der Speichereinrichtung; (d) Berechnen von Kompensationsdaten zum Kompensieren eines Durchbiegungsbetrages auf der Basis der Durchbiegungsdaten; und (e) Steuern, um den Bewegungsbetrag in der Vertikalrichtung einzustellen, auf der Basis der Kompensationsdaten, wodurch der Durchbiegungsbetrag kompensiert wird.
Transportsteuerverfahren, wie im Anspruch 15 beansprucht, wobei der Schritt (e) durch den Schritt (f) des Einstellens eines Kippwinkels des Roboters auf der Basis der Kompensationsdaten ersetzt wird, wodurch der Durchbiegungsbetrag kompensiert wird.
Transportsteuerverfahren, wie im Anspruch 15 beansprucht, wobei der Schritt (e) durch den Schritt (g) des Einstellens des Bewegungsbetrages in der Vertikalrichtung und/oder des Kippwinkels des Roboters auf der Basis der Kompensationsdaten ersetzt wird, wodurch der Durchbiegungsbetrag kompensiert wird.
Transportsteuerverfahren, wie in einem der Ansprüche 15 bis 17 beansprucht, worin die Durchbiegungsdaten, die in dem Schritt (c) gelesen werden, Durchbiegungsdaten bei einer Vielzahl von Bewegungspunkten der Dreharme und der Endeffektoren enthalten und wobei die Kompensationsdaten, die in dem Schritt (d) berechnet werden, Kompensationsdaten an jedem der Bewegungspunkte enthalten.
Transportsteuerverfahren, wie im Anspruch 18 beansprucht, worin in dem Schritt (c) die Durchbiegungsdaten, die aus der Speichereinrichtung gelesen werden, davon abhängen, ob die dünne Platte gehalten wird oder nicht.
Transportsteuerverfahren, wie in einem der Ansprüche 15 bis 17 beansprucht, worin in dem Schritt (c) aus der Spei chereinrichtung die Kompensationsdaten, die im vorhinein berechnet und gespeichert worden sind, auf der Basis des Durchbiegungsbetrages gelesen werden; worin das Berechnen der Kompensationsdaten in dem Schritt (d) nicht durchgeführt wird; und worin die Verarbeitung im Schritt (e) auf der Basis der gelesenen Kompensationsdaten durchgeführt wird.
Transportsteuerverfahren, wie in einem der Ansprüche 15 bis 19 beansprucht, das weiterhin die Schritte aufweist: (h) Detektieren einer Anordnungsposition der dünnen Platte, die durch die Endeffektoren gehalten wird; (i) Vergleichen der Anordnungsposition und einer vorgegebenen Referenzanordnungsposition, um einen Versatzbetrag zu berechnen; und (j) Durchführen einer Betriebssteuerung, um den Versatzbetrag zu kompensieren.
Transportsteuerverfahren, wie im Anspruch 21 beansprucht, worin der Versatzbetrag in dem Schritt (i) einen Versatzbetrag in einer X-Achsenrichtung, einen Versatzbetrag in einer Y-Achsenrichtung und einen Versatzbetrag in einer Drehachsenrichtung von der Referenzanordnungsposition aus enthält und worin die Betriebssteuerung in dem Schritt (j) durchgeführt wird, um jeden der Versatzbeträge in dem Schritt (i) zu kompensieren.