JP4834604B2 - 基板の角度変換装置及び基板の処理装置 - Google Patents
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Description
上面に上記基板が載置される基板支持体と、
この基板支持体の下面に上端を連結して設けられたアームと、
このアームを中途部を支点として回動可能に支持した支軸と、
上記アームを介して上記基板支持体を上記支軸を支点として所定の傾斜角度から水平状態或いはその逆に回動させる駆動機構を具備し、
上記駆動機構は、
上記支軸の軸線と平行に配置された第1のガイド体と、
この第1のガイド体に沿って移動可能に設けられた第1の可動体と、
上記第1のガイド体と直交する角度で配置された第2のガイド体と、
この第2のガイド体に移動可能に設けられた第2の可動体と、
上記第1の可動体を上記第1のガイド体に沿って駆動する駆動手段と、
上記第1の可動体に一端が枢着され他端が上記第2の可動体に枢着されていて、上記駆動手段によって上記第1の可動体が上記第1のガイド体に沿う方向に駆動されたときに上記第1の可動体に枢着された一端を支点として回動しながら他端で上記第2の可動体を上記第2のガイド体に沿って駆動する第1のリンクと、
上記第2の可動体に一端が枢着され他端が上記アームの下端に枢着されていて、上記第1のリンクによって上記第2の可動体が上記第2のガイド体に沿って駆動されたときに、上記第2の可動体とともに上記第2のガイド体に沿って移動しながら上記他端に連結された上記アームを介して上記基板支持体を上記支軸を支点として回動させる第2のリンクと
を具備したことを特徴とする基板の角度変換装置にある。
傾斜して搬送される上記基板を処理液によって処理する処理チャンバと、
この処理チャンバの上記基板が搬入される搬入側及び搬出側に設けられ水平な状態で搬送されてくる基板を受けて所定の角度で傾斜させて上記処理チャンバに供給するとともに、上記処理チャンバ内で処理液によって処理された基板を所定の角度で傾斜した状態から水平な状態に戻す角度変換装置を具備し、
上記角度変換装置は請求項1に記載された構成であることを特徴とする基板の処理装置にある。
なお、支軸56の両端部を支持片58に固定し、上記アーム55に対して上記支軸56を回転可能に貫通させてもよい。
つまり、駆動機構の第1の可動体及び第2の可動体の数は2つに限定されず、1つ或いは3つ以上であってもよい。
Claims (3)
- 基板を所定の傾斜角度から水平状態或いはその逆に変換する基板の角度変換装置であって、
上面に上記基板が載置される基板支持体と、
この基板支持体の下面に上端を連結して設けられたアームと、
このアームを中途部を支点として回動可能に支持した支軸と、
上記アームを介して上記基板支持体を上記支軸を支点として所定の傾斜角度から水平状態或いはその逆に回動させる駆動機構を具備し、
上記駆動機構は、
上記支軸の軸線と平行に配置された第1のガイド体と、
この第1のガイド体に沿って移動可能に設けられた第1の可動体と、
上記第1のガイド体と直交する角度で配置された第2のガイド体と、
この第2のガイド体に移動可能に設けられた第2の可動体と、
上記第1の可動体を上記第1のガイド体に沿って駆動する駆動手段と、
上記第1の可動体に一端が枢着され他端が上記第2の可動体に枢着されていて、上記駆動手段によって上記第1の可動体が上記第1のガイド体に沿う方向に駆動されたときに上記第1の可動体に枢着された一端を支点として回動しながら他端で上記第2の可動体を上記第2のガイド体に沿って駆動する第1のリンクと、
上記第2の可動体に一端が枢着され他端が上記アームの下端に枢着されていて、上記第1のリンクによって上記第2の可動体が上記第2のガイド体に沿って駆動されたときに、上記第2の可動体とともに上記第2のガイド体に沿って移動しながら上記他端に連結された上記アームを介して上記基板支持体を上記支軸を支点として回動させる第2のリンクと
を具備したことを特徴とする基板の角度変換装置。 - 同一直線上に位置する複数の第1の可動体が連結部材によって連結されていて、この連結部材が1つの上記駆動源によって上記第1のガイド体に沿って駆動される構成であることを特徴とする請求項1記載の基板の角度変換装置。
- 基板を傾斜させて搬送しながら処理液によって処理する基板の処理装置であって、
傾斜して搬送される上記基板を処理液によって処理する処理チャンバと、
この処理チャンバの上記基板が搬入される搬入側及び搬出側に設けられ水平な状態で搬送されてくる基板を受けて所定の角度で傾斜させて上記処理チャンバに供給するとともに、上記処理チャンバ内で処理液によって処理された基板を所定の角度で傾斜した状態から水平な状態に戻す角度変換装置を具備し、
上記角度変換装置は請求項1に記載された構成であることを特徴とする基板の処理装置。
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