JP2007227634A - 基板の処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】チャンバ12と、チャンバの内底部に位置する上端面が同一平面をなすよう位置決め固定された複数の基準部材35と、基板の下端を支持する駆動ローラ17が設けられた回転軸19及び回転軸が回転可能に支持された上部ベース部材25及び上部ベース部材と一体に設けられた下部ベース部材24を有し、下部ベース部材が基準部材の上端面に取付け固定される駆動ユニット18とを具備する。
【選択図】 図3
Description
チャンバと、
このチャンバの内底部に位置する上端面が同一平面をなすよう位置決め固定された複数の基準部材と、
上記基板の下端を支持する駆動ローラが設けられた回転軸及びこの回転軸が回転可能に支持されたベース部材を有し、このベース部材が上記基準部材の上端面に取付け固定される駆動ユニットと
を具備したことを特徴とする基板の処理装置にある。
図1乃至図5はこの発明の第1の実施の形態を示す。図1はこの発明の処理装置の概略的構成を示す斜視図であって、この処理装置は装置本体1を有する。この装置本体1は分割された複数の処理ユニット、この実施の形態では第1乃至第5の処理ユニット1A〜1Eを分解可能に一列に連結してなる。
Claims (4)
- 基板を所定の角度で傾斜させて搬送しながら処理する基板の処理装置であって、
チャンバと、
このチャンバの内底部に位置する上端面が同一平面をなすよう位置決め固定された複数の基準部材と、
上記基板の下端を支持する駆動ローラが設けられた回転軸及びこの回転軸が回転可能に支持されたベース部材を有し、このベース部材が上記基準部材の上端面に取付け固定される駆動ユニットと
を具備したことを特徴とする基板の処理装置。 - 上記基準部材は上記チャンバの底板を貫通して設けられ、上記底板の外面には上記基準部材の上記底板の外部に突出した部分が固定される補強部材が上記底板に固着されることを特徴とする請求項1記載の基板の処理装置。
- 上記ベース部材には取付け部材が高さ調整機構によって高さ調整可能に設けられていて、上記取付け部材に上記回転軸を回転可能に支持する軸受が設けられていることを特徴とする請求項1記載の基板の処理装置。
- 複数の上記基準部材を上記チャンバに取付け固定する際、これらの基準部材は、上端面をプレート治具の板面に接触させて固定してから、上記チャンバの底板に形成された取付け孔に挿入して上記底板に固定されることを特徴とする請求項1記載の基板の処理装置。
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