KR20070063130A - 기판이송장치 - Google Patents

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KR20070063130A
KR20070063130A KR1020050123076A KR20050123076A KR20070063130A KR 20070063130 A KR20070063130 A KR 20070063130A KR 1020050123076 A KR1020050123076 A KR 1020050123076A KR 20050123076 A KR20050123076 A KR 20050123076A KR 20070063130 A KR20070063130 A KR 20070063130A
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Abstract

본 발명은 기판이송장치에 관한 것으로, 상호 이격되어 마주보는 양측 수직면의 사이로 기판이송축이 기판이송방향을 따라 다수 횡설되어 회전지지되는 프레임과, 상기 프레임의 일측을 기판이송방향을 따라 적어도 3지점 이상 지지하고 각 지지부위에서 상호 균일승강하여 상기 프레임의 일측을 상향 또는 하향선회시키는 승강수단을 포함한다. 본 발명에 의하면, 프레임의 복수 부위를 지지하여 편차없이 균일승강시키므로 프레임 및 이송축의 진동, 뒤틀림 및 처짐을 방지하므로 기판의 자세를 안정적으로 제어하여 이송효율을 향상시키는 효과가 있다.
기판, 이송, 틸팅, 프레임, 승강수단

Description

기판이송장치{Device for transferring substrate}
도 1은 본 발명 기판이송장치의 제1실시 사시도이다.
도 2는 도 1에 도시된 기판이송장치의 제2승강기재의 분리사시도이다.
도 3은 도 1에 도시된 기판이송장치의 측면도이다.
도 4는 도 3에 도시된 기판이송장치의 작동상태를 나타낸 측면도이다.
도 5는 본 발명 기판이송장치의 제2실시 정면도이다.
도 6은 본 발명 기판이송장치의 제3실시 정면도이다.
*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명*
100 : 프레임 101 : 기판이송축
103 : 이송롤러 104 : 측면가이드 롤러
110 : 제1수직프레임 111, 121 : 축삽입홈
120 : 제2수직프레임 130 : 연결프레임
200 : 승강수단 201 : 제1베이스
202 : 제2베이스 210 : 제1승강기재
211 : 실린더 212 : 피스톤
220 : 제2승강기재` 221 : 수직렉기어봉
222 : 수평봉 223 : 피니언
225 : 피니언하우징 231, 232, 233 : 힌지결합기재
본 발명은 기판이송장치에 관한 것으로, 특히 기판을 경사이송하여 기판 표면에 처리된 처리액을 자연 낙하시켜 제거하는 기판이송장치에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체 웨이퍼 또는 평판 디스플레이(FPD; flat panel display) 기판은 사진, 이온확산, 식각, 화학기상증착, 금속증착 및 세정 등의 다양한 제조공정을 거쳐 제조된다.
이와 같이, 기판이 다양한 제조공정을 거쳐 제조되므로 각 제조공정 간에 기판을 이송하는 기판이송장치가 사용되고 있으며, 상기 기판이송장치는 기판을 지지하여 이송하는 다수개의 이송축과, 상기 이송축을 회전지지하는 프레임과, 상기 이송축에 회전력을 전달하는 구동부 등을 포함한다.
또한, 기판이송장치는 기판을 각 제조공정 간에 단순이송시키는 것은 물론 특정공정의 진행 중에도 사용된다.
일례로, 기판이송장치는 기판 표면에 특정 처리를 하는 일부 제조공정에서 사용되는데, 약액 또는 세정액 등의 처리액을 기판 표면에 분사하는 공정에서는 분사장치측으로 기판을 이송하고 표면 처리된 기판은 다른 공정장치로 이송하는 작업을 수행한다.
더욱이, 기판 표면에 처리되는 약액 또는 세정액이 기판 표면 전체에 빠르게 도포되도록 기판을 일측으로 기울여 경사이송하는 기판이송장치가 제시된 바 있다.
즉, 기판의 표면에 처리된 약액 또는 세정액이 기판 표면의 특정부위에 집중되지 않고 빠른시간 내에 전체적으로 도포시키는 목적 및 기판 표면에 처리된 약액 또는 세정액을 일측으로 자연낙하시켜 제거하는 목적을 달성하고자 기판이송장치의 프레임 일측을 상향 또는 하향선회하여 틸팅(titling)시킨다.
이처럼 다수의 이송축이 설치된 기판이송장치가 틸팅(tilting)되면 기판도 일측으로 기울어진 상태로 경사이송된다.
한편, 반도체 제조기술의 발달로 인해 기판이 대형화되는 추세이므로 기판이송장치의 프레임 및 이송축도 이에 대응하여 점점 대형화되고 있다.
그러나, 대형화되는 기판이송장치에 상기한 틸팅방식을 단순적용하게 되면, 기판이송장치의 자체 자중에 의해 프레임 및 이송축이 뒤틀리거나 처지는 문제점이 있었다.
즉, 종래 기판이송장치는 프레임의 일측에 실린더를 설치하여 단일지점에서 승강시키므로, 프레임의 상기 실린더가 설치된 부위에서 멀어지는 부위는 틸팅진행시 진동이 발생되거나, 틸팅완료 후 뒤틀림 및 처짐이 발생하여 기판을 정상이송시키지 못하는 결함이 있었다.
상기와 같은 문제점을 감안한 본 발명은, 프레임 및 이송축의 틸팅시 진동 및 틸팅후 변형이 방지되는 기판이송장치를 제공하고자 함에 그 목적이 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 상호 이격되어 마주보는 양측 수직면의 사이로 기판이송축이 기판이송방향을 따라 다수 횡설되어 회전지지되는 프레임과, 상기 프레임의 일측을 기판이송방향을 따라 적어도 3지점 이상 지지하고 각 지지부위에서 상호 균일승강하여 상기 프레임의 일측을 상향 또는 하향선회시키는 승강수단을 포함한다.
상기와 같이 구성되는 본 발명의 바람직한 실시 예들을 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.
<실시예 1>
도 1은 본 발명 기판이송장치의 제1실시 사시도이다.
도 1을 참조하면, 본 발명에 따른 기판이송장치의 제1실시예는 다수의 기판이송축(101)을 회전지지하는 프레임(100)과, 상기 프레임(100)의 일측을 3점지지하여 상향선회시키는 승강수단(200)을 포함한다.
상기 프레임(100)은 상호 이격되어 마주보는 한쌍의 제1수직프레임(110)과 제2수직프레임(120), 상기 제1수직프레임(110)과 제2수직프레임(120)을 연결하는 연결프레임(130)을 포함한다.
또한, 상기 제1수직프레임(110)과 제2수직프레임(120)은 상호 마주보는 내측 면에 기판이송방향을 따라 다수의 축삽입홈(111, 121)이 형성되고, 상기 축삽입홈(111, 121)에 기판이송축(101)을 회전지지하는 다수의 베어링(112, 122)이 설치되어 기판이송축(101)의 양단을 회전지지한다.
또한, 프레임(100)은 구동모터(미도시)의 동력을 전달받아 각 기판이송축(101)에 회전구동력을 제공하는 감속부(102)가 설치되며, 기판이송축(101)에 결합되어 기판이송축(101)과 일체로 회전하는 복수의 이송롤러(103)가 구비될 수 있다.
따라서, 기판은 제1수직프레임(110)과 제2수직프레임(120)의 사이에서 기판이송축(101)과 일체로 회전하는 이송롤러(103)에 의해 연속하여 수평이송된다.
상기 승강수단(200)은 기판이 제1수직프레임(110) 또는 제2프레임(120)측으로 기울어져 경사이송되도록, 제1수직프레임(110) 또는 제2수직프레임(120)을 적어도 3지점 이상 지지하여 상향 또는 하향선회시킨다.
본 일실시예에서는 승강수단(200)이 제1수직프레임(110)을 상향선회시켜 프레임(100)을 틸팅(tilting)하는 것을 예시한다.
따라서, 제2수직프레임(120)측으로 기울어져 경사이송되는 기판의 측면을 지지하도록 측면가이드 롤러(104)가 설치될 수 있다.
구체적으로, 승강수단(200)은 프레임(100)의 하부에서 상하구조로 순차 설치되는 제1베이스(201) 및 제2베이스(202)와, 상기 제1베이스(201)상에 설치되고 상단은 제1수직프레임(110)을 지지하는 제1승강기재(210)와, 상기 제1승강기재(210)와 상호 이격되어 제1수직프레임(110)의 일측을 적어도 2지점 이상 지지하고 상기 제1승강기재(210)의 승강에 연동하여 승강되며 각 지지부위가 동시 승강되는 제2승 강기재(220)와, 제1베이스(201)와 제2베이스(202), 제1수직프레임(110)과 제1승강기재(210), 제1수직프레임(210)과 제2승강기재(220) 및 상기 제2수직프레임(120)과 기기의 고정부위를 각각 힌지결합하는 다수의 힌지결합기재(231, 232, 233)를 포함한다. 여기서, 힌지결합기재(232)는 도 2 및 도 3에 도시되어 있고, 힌지결합기재(233)는 도 3에 도시되어 있다.
상기 제2베이스(202)는 기기의 고정부위에 고정설치되는 것이고, 그 상부로 제1베이스(201)가 힌지결합기재(231)에 의해 힌지결합된다.
상기 제1승강기재(210)는 제1베이스(201)상에 수직상방향으로 설치되는 실린더(211), 상기 실린더(211)에 수직방향 가이드되어 왕복동되고 상단이 제1수직프레임(110)과 힌지결합기재(232)에 의해 힌지결합되는 피스톤(212)을 포함한다.
도 2는 도 1에 도시된 기판이송장치의 제2승강기재의 분리사시도이고, 도 3은 도 1에 도시된 기판이송장치의 측면도이다.
도 2 및 도 3을 참조하면, 상기 제2승강기재(220)는 제1베이스(201)상에 기판이송방향을 따라 설치되는 수평봉(222), 상기 수평봉(222)의 양단에 각각 결합되는 한쌍의 피니언(223), 상기 피니언(223)과 치합되는 렉기어부(221a)가 형성되고 수직상방향으로 설치되어 상단이 제1수직프레임(110)과 힌지결합기재(232)에 의해 힌지결합되는 한쌍의 수직렉기어봉(221)을 포함한다.
상기 수평봉(222)은 제2베이스(202)상에 설치되는 피니언하우징(225)의 베어링(224)에 회전지지되고, 상기 수평봉(222)의 양단부에 결합되는 피니언(223)은 피 니언하우징(225) 내에 설치되는 수직렉기어봉(221)의 렉기어부(221a)와 치합된다.
따라서, 한쌍의 수직렉기어봉(221)은 수평봉(222)이 정방향 또는 역방향으로 회전하면 동일한 피치로 승강된다.
상기 힌지결합기재(232)는 수직렉기어봉(221)의 상단부에 일체로 형성되는 끼움홈(232a)과, 제1수직프레임(110)에 일체로 형성되어 상기 끼움홈(232a)에 결합되는 끼움편(232b)을 포함한다. 나머지 힌지결합기재(231, 233)도 상기한 바와 같이 끼움홈과 끼움편의 조합에 의해 이루어짐은 물론이다.
그리고, 수직렉기어봉(222)의 이격 간격은 제1수직프레임(110)의 길이에 따라 최적 작동되도록 다양하게 변경될 수 있을 것이다.
도 4는 도 3에 도시된 기판이송장치의 작동상태를 나타낸 측면도이다.
도 4 및 도 1을 함께 참조하면, 본 발명에 따른 기판이송장치의 제1실시예는 프레임(100)을 틸팅시키고자 할 경우, 먼저 제1승강기재(210)의 실린더(211)측으로 구동력을 공급하여 피스톤(212)을 상승시킨다.
이때, 피스톤(212)은 그 상단부가 제1수직프레임(110)과 힌지결합기재(232)에 의해 힌지결합되어 있고 제2수직프레임(110)은 기기의 고정부위에 힌지결합기재(233)에 의해 힌지결합되어 있으므로, 제2힌지결합기재(233)의 힌지축을 중심으로 제2수직프레임(120)은 자전되고 제2힌지결합기재(233)와 이격된 제1수직프레임(110)은 상향선회된다.
이와 동시에, 한쌍의 수직렉기어봉(221)은 상단부가 제1수직프레임(110)과 힌지결합기재(232)에 의해 힌지결합됨과 아울러 렉기어부(221a)가 수평봉(222) 양단부의 피니언(223)과 치합되므로, 피스톤(212)과 함께 상호 편차없이 균일 상승된다.
이와 같이, 제1수직프레임(110)측이 상향 선회되어 제2수직프레임(120)측의 힌지결합기재(233)가 회전되면, 링크식이므로 나머지 힌지결합기재(231, 232)도 도시되 바와같이 회전각 a,b 만큼 회전되어야 함은 물론이다.
따라서, 기판(S)은 제2수직프레임(120)측으로 하향 경사지되, 측면가이드 롤러(104)에 의해 하향 경사진 일측면이 가이드되어 경사이송된다.
<실시예 2>
도 5는 본 발명 기판이송장치의 제2실시 측면도이다. 여기서 앞서 도시된 도면에서와 동일한 도면부호는 동일한 기능을 하는 부재를 가리킨다.
도 5를 참조하면, 본 발명에 따른 기판이송장치의 제2실시예는 다수의 기판이송축(101)이 설치되는 프레임(100)과, 상기 프레임(100)의 일측을 4점지지하여 상향선회시키는 승강수단(200)을 포함한다.
본 발명에 따른 기판이송장치의 제2실시예는, 상기 제1실시예의 구성에서 제2승강부재(220)의 수직렉기어봉(221) 및 피니언(미도시)이 하나 더 추가되어 제1수직프레임(110)을 4점지지하는 것이다.
<실시예 3>
도 6은 본 발명 기판이송장치의 제3실시 측면도이다. 여기서 앞서 도시된 도면에서와 동일한 도면부호는 동일한 기능을 하는 부재를 가리킨다.
도 6을 참조하면, 본 발명에 따른 기판이송장치의 제3실시예는 다수의 기판이송축(101)이 설치되는 프레임(100)과, 상기 프레임(100)의 일측을 5점지지하여 상향선회시키는 틸팅수단(200)을 포함한다.
본 발명에 따른 기판이송장치의 제3실시예는, 상기 제2실시예의 구성에서 제2승강부재(220)의 수직렉기어봉(221) 및 피니언(미도시)이 하나 더 추가되어 제1수직프레임(110)을 5점지지하는 것이다.
이상에서는 본 발명을 특정의 바람직한 실시 예들을 들어 도시하고 설명하였으나, 본 발명은 상기한 실시 예들에 한정되지 않으며 본 발명의 기술사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 당해 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 다양한 변경과 수정이 가능함은 물론이다.
상기한 바와같이 본 발명은 프레임의 복수 부위를 지지하여 편차없이 균일승강시키므로 프레임 및 이송축의 진동, 뒤틀림 및 처짐을 방지하므로 기판의 자세를 안정적으로 제어하여 이송효율을 향상시키는 효과가 있다.

Claims (4)

  1. 상호 이격되어 마주보는 양측 수직면의 사이로 기판이송축이 기판이송방향을 따라 다수 횡설되어 회전지지되는 프레임;
    상기 프레임의 일측을 기판이송방향을 따라 적어도 3지점 이상 지지하고, 각 지지부위에서 상호 균일승강하여 상기 프레임의 일측을 상향 또는 하향선회시키는 승강수단을 포함하는 기판이송장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 승강수단은,
    상기 프레임의 하부에서 상하구조로 순차 설치되는 제1베이스 및 제2베이스;
    상기 제1베이스상에 설치되고, 상단은 상기 프레임의 일측을 지지하는 제1승강기재;
    상기 제1승강기재와 상호 이격되어 상기 프레임의 일측을 적어도 2지점 이상 지지하고, 상기 제1승강기재의 승강에 연동하여 승강되며, 각 지지부위가 동시 승강되는 제2승강기재; 및
    상기 제1베이스와 제2베이스, 상기 프레임과 제1승강기재, 상기 프레임과 제2승강기재 및 상기 프레임의 타측과 다른 고정부위를 각각 힌지결합하는 다수의 힌지결합기재를 포함하는 기판이송장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 제1승강기재는 상기 제1베이스상에 수직상방향으로 설치되는 실린더, 상기 실린더에 수직방향 가이드되고 상단이 상기 프레임 일측에 힌지결합되는 피스톤을 포함하는 기판이송장치.
  4. 제2항 또는 제3항에 있어서,
    상기 제2승강기재는 상기 제1베이스상에 기판이송방향을 따라 설치되는 수평봉, 상기 수평봉의 양단에 각각 결합되는 한쌍의 피니언, 상기 피니언과 치합되는 렉기어부가 형성되고 수직상방향으로 설치되어 상단이 상기 프레임 일측에 힌지결합되는 한쌍의 수직렉기어봉을 포함하는 기판이송장치.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR100815521B1 (ko) * 2007-09-21 2008-03-24 주식회사 케이씨텍 기판건조장치
KR101394482B1 (ko) * 2012-01-31 2014-05-14 (주)에스티아이 기판 처리장치

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