KR100899363B1

KR100899363B1 - 기판의 경사조절장치

Info

Publication number: KR100899363B1
Application number: KR1020080067804A
Authority: KR
Inventors: 신동혁
Original assignee: 주식회사 인아텍
Priority date: 2008-07-11
Filing date: 2008-07-11
Publication date: 2009-05-26

Abstract

본 발명은 기판의 경사조절장치에 관한 것으로서, 기판 경사조절장치에 있어서, 고정프레임과; 상기 고정프레임에 고정되며 제1 경사면을 가지는 제1 경사부재와; 상기 고정프레임에 고정되며 상기 제1 경사면과 다른 경사도의 제2 경사면을 가지는 제2 경사부재와; 그 하단부가 상기 제1,2경사면에 안내수단에 의해서 슬라이딩 가능하게 지지되는 회동프레임과; 상기 제1,2경사면을 따라 상기 회동프레임을 이송시키는 이송실린더와; 상기 회동프레임의 상단부에 각각 회전가능하게 지지되며 동일평면상에 마련되는 복수의 회전봉을 구비하여 상기 기판을 이송시키는 이송레일;을 포함하는 것을 특징으로 한다.

Description

기판의 경사조절장치{Apparatus for tilting substrate}

본 발명은 기판의 경사조절장치에 관한 것으로, 특히 기판의 세정작업 후 기판이 이송되는 이송레일을 기울여 잔류하는 세정액을 기판으로부터 흘러내릴 수 있도록 한 기판의 경사조절장치에 관한 것이다.

예컨대, 평판디스플레이(FPT;flat panel display), 반도체 웨이퍼, LCD 글라스 등에 사용되는 기판은 증착, 에칭, 스트립, 세정, 린스 등의 일련의 공정을 거치면서 처리된다.

이러한 일련의 기판 처리공정은 기판의 이송장치에 의해 이송되어 기판의 공급, 처리, 배출의 과정이 하나의 순환 싸이클을 이루게 된다.

본 발명은, 본 발명의 출원인이 선출원한 특허출원발명(특허출원번호 제07-141641호)에 있어서, 이송레일을 기울이는 부분을 개선한 것이다.

도1은, 본 발명의 출원인이 선출원한 상기 특허출원발명(특허출원번호 제07-141641호)의 "기판의 이송방법 및 장치"에 대한 도면이다.

도1에 도시된 바와 같이, 기판(400)이 상부위치(A)에 위치되면, 자외선 세정 작업이 행해지고, 기판(400)이 하부위치(B)로 이동되면 세정액에 의해 세정작업 등 의 공정이 이루어진다. 기판(400)을 상부위치(A)에서 하부위치(B)로 이송시키는 과정에 대하여는 그 구체적인 설명은 생략한다.

기판을 상부위치(A)에서 하부위치(B)로 이송시킨후, 경사실린더(320)가 회동프레임(310)의 일측을 가압하면, 회동프레임(320)의 타측이 힌지(311)를 중심으로 회전되면서 이송레일(300)이 기울어져, 기판(400) 상에 잔류하는 세정액이 기판으로부터 흘러내리도록 구성된다.

그러나, 이와 같이 이송레일(300)을 기울이는 경우에는, 회동프레임(310)의 일측을 경사실린더(320)가 지면에 대하여 수직 상방으로 밀어올리게 되므로, 경사실린더(320)에 가해지는 가동부하가 커지게 되어, 경사실린더(320)의 고장 발생률이 높아지는 문제점이 있었다.

또한, 이송레일(300)을 경사실린더(320)로 기울림으로써, 기판(400) 상에 잔류하는 세정액을 기판(400)으로부터 흘려보낸 후 이송레일(300)을 경유하여 기판(400)을 배출시켜야 하는 일련의 연속적인 작업이 경사실린더(320)에 고장으로 지연되어 생산성을 저하시키는 문제점이 있었다.

본 발명은 상술한 바와 같은 사항을 고려하여 안출된 것으로, 회동프레임을 기울리는 이송실린더에 가해지는 가동부하를 줄이고, 안정적으로 회동프레임을 기울일 수 있도록 구조개 개선된 기판의 경사조절장치를 제공함을 그 목적으로 한다.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 기판의 경사조절장치는, 고정프레임과 상기 고정프레임에 고정되며 제1 경사면을 가지는 제1 경사부재와 상기 고정프레임에 고정되며 상기 제1 경사면과 다른 경사도의 제2 경사면을 가지는 제2 경사부재와 그 하단부가 상기 제1,2경사면에 안내수단에 의해서 슬라이딩 가능하게 지지되는 회동프레임과 상기 제1,2경사면을 따라 상기 회동프레임을 이송시키는 이송실린더와 상기 회동프레임의 상단부에 각각 회전가능하게 지지되며 동일평면상에 마련되는 복수의 회전봉을 구비하여 상기 기판을 이송시키는 이송레일을 포함하여 구성된다.

또한, 상기 안내수단은 상기 제1 경사면을 따라 슬라이딩되는 제1 슬라이딩부재와, 상기 제2 경사면을 따라 슬라이딩되는 제2 슬라이딩부재와, 일단이 상기 회동프레임에 고정되고 타단이 상기 제1 슬라이딩부재에 회동가능하게 연결되는 제1 링크부재와, 일단이 상기 회동프레임에 고정되고 타단이 상기 제2 슬라이딩부재에 회동가능하게 연결되는 제2 링크부재를 구비하는 것이 바람직하다.

또한, 상기 제1,2 경사면에 마련되며, 상기 제1,2 슬라이딩부재를 각각 안내 하는 제1,2가이드돌기와, 상기 제1,2 슬라이딩부재의 길이방향을 따라 각각 길게 형성되며, 상기 제1,2 가이드돌기가 각각 삽입되는 제1,2 가이드홈이 마련된 것이 바람직하다.

또한, 상기 고정프레임에 설치되며, 상기 고정프레임과 상기 회동프레임이 서로 평행 상태를 유지할 때, 상기 고정프레임으로부터 상기 회동프레임을 지지하는 지지부재를 더 포함하는 것이 바람직하다.

본 발명에 따른 기판의 경사조절장치는, 이송실린더가 수평으로부터 일정 각도 기울어진 상태에서 회동프레임을 가압하여 밀어올리고, 회동프레임에 연결된 슬라이딩부재가 서로 다른 기울기를 갖는 경사부재를 따라 이동되면서 회동프레임이 수평면에 대하여 기울어지게 되므로, 이송실린더에 가해지는 가동부하를 저하시키면서도 회동프레임을 안정적으로 기울일 수 있는 효과를 제공한다.

본 발명의 기판의 경사조절장치는 예컨대, LCD 글라스와 같은 기판을 증착, 에칭, 스트립, 세정, 린스 등의 일련의 공정을 거칠 수 있도록 기판을 자동이송시키는 기판 이송라인에 적용되는 것으로서, 기판을 이송시키는 이송레일 상에서 기판의 세정작업을 위해 상기 기판에 가해진 세정액 등을 상기 기판 표면으로부터 흘러내리도록 한다.

본 발명은, 본 출원인이 선출원한 특허출원발명(특허출원번호 제07-141641호)에 있어서, 이송레일을 기울이는 부분을 개선한 것이다. 기판을 상부위치(A)에 서 하부위치(B)로 이송시키는 과정에 대하여는 그 구체적인 설명은 생략하기로 한다.

이하, 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.

도2은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판의 경사조절장치의 작동 전 상태의 정면도이며, 도3은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판의 경사조절장치의 작동 후 상태의 정면도이다. 도4a 및 도4b는 도2의 요부를 발췌하여 나타낸 사시도이다.

도1 내지 도4b를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판의 경사조절장치는, 이송레일(10)과, 회동프레임(20)과, 고정프레임(30)과, 제1 경사부재(40)와, 제2 경사부재(50)와, 이송실린더(100)를 포함한다.

상기 이송레일(10)은 기판과 구름접촉하여 기판을 이송시키는 것으로서, 회전봉(11)과 롤러(12)를 구비한다.

상기 회전봉(11)은 기판이 이송되는 방향과 수직한 방향으로 동일한 평면상에 복수개가 배치되며, 각각의 회전봉(11)에는 회전봉(11)의 중심축과 동축적으로 배치되는 롤러(12)가 복수개 설치되어 있다.

상기 회동프레임(20)은 수평면에 대하여 일정 각도로 기울림 가능하며, 상기 회동프레임(20)의 상단부에 상기 회전봉(11) 각각의 양단부가 회전가능하게 결합되어 있다. 상기 회전봉(11)은 상기 회동프레임(20)과 함께 기울림 가능하다. 또한, 후술하는 바와 같이, 상기 회동프레임(20)은 안내수단에 의해 제1,2 경사면(41,51)을 따라 슬라이딩가능하도록 지지된다.

상기 고정프레임(30)은 상기 회동프레임(20)의 하방으로 이격되어 배치되어 있다.

상기 제1 경사부재(40)는 상기 고정프레임(30)에 고정되며, 제1 경사면(41)을 구비한다.

상기 제1 경사면(41)은 수평면에 대하여, α각도의 일정한 기울기를 갖는다. 상기 제1 경사면(41)의 하단에는 제1 받침부재(110)가 마련된다.

상기 제2 경사부재(50)는 상기 제1 경사부재(40)와 마찬가지로, 상기 고정프레임(30)에 고정되며, 상기 제1 경사면(41)과 다른 경사도를 갖는 제2 경사면(51)을 구비한다.

상기 제2 경사면(51)은 수평면에 대하여, β각도의 일정한 기울기를 가지며, β는 α보다 크게 구성된다. 상기 제2 경사면(51)의 하단에는 제2 받침부재(120)가 마련된다.

상기 이송실린더(100)는 상기 제1,2 경사면(41,51)을 따라 회동프레임(20)을 이송시켜, 상기 회동프레임(20)을 수평면에 대하여 경사지도록 하기 위해서 마련된 것으로, 본 실시예에서 일단부는 상기 회동프레임(20)에 결합되고, 타단부는 상기 고정프레임(30)에 결합된다.

상기 이송실린더(100)는 상기 회동프레임(20)을 가압하는 로드(101)를 구비한다.

상기 로드(101)는 수평면에 대하여 일정 각도로 기울어진 상태에서 상기 회동프레임(20)을 가압하도록 구성된다.

본 발명의 일 실시예에 따른 기판의 경사조절장치에 있어서, 상기 안내수단은, 상기 회동프레임(20)이 상기 제1,2 경사면(41,51)을 따라서 안내되어 슬라이딩될 수 있도록 마련된 것으로, 제1 슬라이딩부재(60)와, 제2 슬라이딩부재(70)와, 제1 링크부재(80)와, 제2 링크부재(90)를 포함한다.

상기 제1 슬라이딩부재(60)는 제1 경사부재(40)의 제1 경사면(41)을 따라서 슬라이딩되며, 상기 제2 슬라이딩부재(70)는 제2 경사부재(50)의 제2 경사면(51)을 따라서 슬라이딩되도록 구성된다.

상기 제1 링크부재(80)는 상기 회동프레임(20)과 상기 제1 슬라이딩부재(60)를 연결하기 위해서 마련된 것으로서, 제1 고정부재(81)와, 제1 회전축(82)과, 제1 회동부재(83)를 포함한다.

상기 제1 고정부재(81)는 상기 회동프레임(20)에 고정설치되며, 일단부에 후술할 제1 회동부재(83)가 제1 회전축(82)에 의해 결합된다.

상기 제1 회동부재(83)의 일단부는 상기 제1 슬라이딩부재(60)에 고정되고, 타단부는 상기 제1 회전축(82)을 중심으로 회동가능하도록 상기 제1 고정부재(81)에 결합된다.

상기 제2 링크부재(90)는 상기 제1 링크부재(80)와 마찬가지로, 상기 회동프레임(20)과 상기 제1 슬라이딩부재(60)를 연결하기 위해서 마련된 것으로서, 제2 고정부재(91)와, 제2 회전축(92)과, 제2 회동부재(93)를 포함한다.

상기 제2 고정부재(91)는 상기 회동프레임(20)에 고정설치되며, 일단부에 제2 회동부재(93)가 제2 회전축(92)에 의해 결합된다.

상기 제2 회동부재(93)는 그 일단부가 제2 슬라이딩부재(70)에 고정되고, 그 타단부가 제2 회전축(92)을 중심으로 회동가능하도록 상기 제2 고정부재(91)에 결합된다.

또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판의 경사조절장치는, 제1,2 가이드돌기(42,52)와 제1,2 가이드홈(61,71)을 더 포함한다.

상기 제1 가이드돌기(42)는 상기 제1 슬라이딩부재(60)가 상기 제1 경사부재(40)를 따라서 슬라이딩될 때, 제1 슬라이딩부재(60)를 안내하도록, 제1 경사면(41)에 마련된다.

상기 제2 가이드돌기(52)는 상기 제2 슬라이딩부재(70)가 상기 제2 경사부재(50)를 따라서 슬라이딩될 때, 제2 슬라이딩부재(70)를 안내하도록, 제2 경사면(51)에 마련된다.

상기 제1 가이드홈(61)은 제1 슬라이딩부재(60)에 마련되며, 상기 제1 가이드돌기(42)가 삽입될 수 있도록 제1 슬라이딩부재(60)의 길이방향을 따라서 길게 형성된다.

상기 제2 가이드홈(71)은 제2 슬라이딩부재(70)에 마련되며, 상기 제2 가이드돌기(52)가 삽입될 수 있도록 제2 슬라이딩부재(70)의 길이방향을 따라서 길게 형성된다.

또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판의 경사조절장치는, 도5 및 도6에 도시한 바와 같이, 지지부재(140)를 더 포함한다.

상기 지지부재(140)는 상기 고정프레임(30)에 설치되며, 상기 고정프레 임(30)과 상기 회동프레임(20)이 서로 평행 상태를 유지할 때, 상기 고정프레임(30)으로부터 상기 회동프레임(20)을 지지하기 위해서 마련된다.

이하, 상기 구성에 의한 기판의 경사조절장치의 작용을 설명한다.

이송레일(10) 상으로 공급된 기판을 세정시키기 위해서 세정액 등으로 세정작업이 이루어진 후, 상기 기판 상에 잔류하는 세정액 등의 처리물질을 기판으로부터 흘러내리게 하는 과정을 설명한다.

먼저, 도2에 도시된 바와 같이, 세정작업이 이루어지는 과정에서는 회동프레임(20)과 고정프레임(30)이 수평을 유지한 상태에서 기판 상에 세정액 등의 처리물질들이 가해진다. 이때, 제1 슬라이딩부재(60)는 제1 받침부재(110)에 의해 지지되고, 제2 슬라이딩부재(70)는 제2 받침부재(120)에 의해 지지되어 있다.

세정작업의 완료 후, 이송실린더(100)의 로드(101)가 회동프레임(20)을 가압하게 된다. 이때, 상기 로드(101)는 수평면에 대하여 일정 각도로 기울어진 상태에서 회동프레임(20)을 가압하므로, 로드(101)의 가압력의 수평성분은 상기 회동프레임(20)을 수평방향, 구체적으로, 도2 및 도3에 도시된 바와 같이, 회동프레임(20)을 우측방향으로 가압하며, 로드(101)의 가압력의 수직성분은 상기 회동프레임(20)을 지면에 대하여 수직한 방향으로 가압하게 된다.

상기 회동프레임(20)이 로드(101) 가압력의 수평성분에 의해 우측방향으로 가압되면, 상기 제1,2 링크부재(80,90)도 우측방향으로 가압되어 이동되고, 상기 제1,2 링크부재(80,90)에 결합된 제1,2 슬라이딩부재(60,70)가 각각 제1,2 경사부재(40,50)의 제1,2 경사면(41,51)을 따라서 슬라이딩되게 된다. 제1,2 슬라이딩부 재(60,70)가 제1,2 경사면(41,51)을 따라서 슬라이딩되는 과정을 구체적으로 설명한다.

상기 제1 슬라이딩부재(60)는 제1 링크부재(80)의 제1 회동부재(83)에 결합되어, 상기 제1 회동부재(83)가 우측으로 이동될 때, 제1 회동부재(83)와 함께 우측으로 이동된다. 제1 슬라이딩부재(60)에 마련된 제1 가이드홈(61)에 제1 가이드돌기(42)가 삽입된 상태에서, 상기 제1 슬라이딩부재(60)는 제1 경사면(41)을 따라서 이동하게 된다.

상기 제2 슬라이딩부재(70)는 제2 링크부재(90)의 제2 회동부재(93)에 결합되어, 상기 제2 회동부재(93)가 우측으로 이동될 때, 제2 회동부재(93)와 함께 우측으로 이동된다. 제2 슬라이딩부재(70)에 마련된 제2 가이드홈(71)에 제2 가이드돌기(52)가 삽입된 상태에서, 상기 제2 슬라이딩부재(70)는 제2 경사면(51)을 따라서 이동하게 된다.

이때, 제2 경사면(51)의 기울기가 제1 경사면(41)의 기울기 보다 크므로, 제1,2 슬라이딩부재(60,70)가 각각 제1,2 경사면(41,51)을 따라 이동될수록, 회동프레임(20)은 수평면에 대하여 기울어지게 된다.

결과적으로, 도3에 도시된 바와 같이, 로드(101)가 회동프레임(20)을 밀어올리면서, 회동프레임(20)도 수평면에 대하여 기울어지게 되어 기판 상에 잔류하는 세정액 등의 처리물질이 기판으로부터 흘러내리게 된다.

그 후, 다시 로드(101)가 이송실린더(100)의 내측으로 당겨지면 상기 제1,2 슬라이딩부재(60,70) 각각은 제1,2 경사부재(40,50)의 제1,2 경사면(41,51)을 따라 서 그 각각의 경사면의 하방으로 슬라이딩되어, 도2에 도시된 바와 같이, 회동프레임(20)과 고정프레임(30)이 다시 수평인 상태가 된다.

그 후, 이송레일(10)의 회전봉(11)이 회전되고, 도7에 도시된 바와 같이, 기판이 회전봉(11)에 마련된 롤러(12)에 구름접촉하면서 기판의 경사조절장치의 외측으로 배출되게 된다.

이처럼, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판의 경사조절장치는, 수평면에 대하여 일정각도 기울어진 상태에서 이송실린더(100)의 로드(101)에 의해 회동프레임(20)이 가압되어 이동될 때, 제1,2 슬라이딩부재(60,70)가 서로 다른 기울기를 갖는 제1,2 경사부재(40,50)를 따라 이동되도록 함으로써, 종래 경사실린더(320)가 회동프레임(310)의 일측을 수평면에 대하여 수직한 방향으로 밀어올리고, 힌지결합된 타측을 회동시키면서 회동프레임(310)을 기울이는 방식에 비하여, 이송실린더(100)의 가동부하를 줄이면서 효과적이고 안정적으로 회동프레임(20)을 경사지도록 할 수 있는 효과를 제공한다.

이상, 본 발명을 바람직한 실시예를 들어 상세하게 설명하였으나, 본 발명은 상기 실시예에 한정되지 않으며, 본 발명의 범주를 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 많은 변형이 제공될 수 있다.

도1은 종래 기판의 경사조절장치에 대한 개략적인 정면도이다.

도2은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판의 경사조절장치의 작동 전 상태의 정면도이다.

도3은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판의 경사조절장치의 작동 후 상태의 정면도이다.

도4a 및 도4b는 도2의 요부를 발췌하여 나타낸 사시도이다.

도5는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판의 경사조절장치의 작동 전 상태의 측면도이다.

도6은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판의 경사조절장치의 작동 후 상태의 측면도이다.

도7은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판의 경사조절장치에 채용된 이송레일에 대한 사시도이다.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>

10... 이송레일 20... 회동프레임

30... 고정프레임 40... 제1 경사부재

41... 제1 경사면 50... 제2 경사부재

51... 제2 경사면 60... 제1 슬라이딩부재

70... 제2 슬라이딩부재 80... 제1 링크부재

90... 제2 링크 100... 이송실린더

Claims

기판 경사조절장치에 있어서,

고정프레임(30)과;

상기 고정프레임(30)에 고정되며 제1 경사면(41)을 가지는 제1 경사부재(40)와;

상기 고정프레임(30)에 고정되며 상기 제1 경사면(41)과 다른 경사도의 제2 경사면(51)을 가지는 제2 경사부재(50)와;

그 하단부가 상기 제1,2경사면(41)(51)에 안내수단에 의해서 슬라이딩 가능하게 지지되는 회동프레임(20)과;

상기 제1,2경사면(41)(51)을 따라 상기 회동프레임(20)을 이송시키는 이송실린더(100)와;

상기 회동프레임(20)의 상단부에 각각 회전가능하게 지지되며 동일평면상에 마련되는 복수의 회전봉(11)을 구비하여 상기 기판을 이송시키는 이송레일(10);을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판의 경사조절장치.
제1항에 있어서, 상기 안내수단은 상기 제1 경사면(41)을 따라 슬라이딩되는 제1 슬라이딩부재(60)와,

상기 제2 경사면(51)을 따라 슬라이딩되는 제2 슬라이딩부재(70)와,

일단이 상기 회동프레임(20)에 고정되고 타단이 상기 제1 슬라이딩부재(60) 에 회동가능하게 연결되는 제1 링크부재(80)와,

일단이 상기 회동프레임(20)에 고정되고 타단이 상기 제2 슬라이딩부재(70)에 회동가능하게 연결되는 제2 링크부재(90)를 구비하는 것을 특징으로 하는 기판의 경사조절장치.
제2항에 있어서,

상기 제1,2 경사부재(40,50)의 제1,2 경사면(41,51)에 각각 제1,2 가이드돌기(42,52)가 형성되고,

상기 제1,2 슬라이딩부재(60,70)에는 상기 제1,2 가이드돌기(42,52)에 슬라이딩가능하게 결합되는 제1,2 가이드홈(61,71)이 각각 형성된 것을 특징으로 하는 기판의 경사조절장치.
제1항에 있어서,

상기 고정프레임(30)에 설치되며, 상기 고정프레임(30)과 상기 회동프레임(20)이 서로 평행 상태를 유지할 때, 상기 고정프레임(30)으로부터 상기 회동프레임(20)을 지지하는 지지부재(140)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판의 경사조절장치.