KR102054714B1 - 트레이순환형 비접촉 정밀 처리 시스템 - Google Patents

트레이순환형 비접촉 정밀 처리 시스템 Download PDF

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Abstract

본 발명은 피처리 부재가 상면에 안착되는 트레이를 자동으로 공정구간 및 회수구간을 순환시키면서 피처리 부재에 대한 비접촉 정밀 처리 과정을 효율적인 자동화 공정으로 수행할 수 있는 트레이순환형 비접촉 정밀 처리 시스템에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 비접촉 정밀 처리 시스템은, 비접촉식 정밀 공정 처리될 피처리 부재가 상면에 로딩되는 트레이; 상기 트레이를 상면에 장착한 상태에서 공정 구간을 수평 이동하는 공정구간 이동부; 상기 공정구간 이동부의 상측에 설치되며, 상기 트레이에 로딩된 피처리 부재에 비접촉식 공정 처리하는 정밀공정 처리부; 상기 공정구간 이동부의 일측에 설치되며, 상기 트레이를 상기 공정구간 이동부 높이로 상승시키고 트레이 상면에 공정이 진행될 피처리 부재를 로딩하며, 상면에 피처리 부재가 로딩된 트레이를 상기 공정구간 이동부로 공급하는 로딩부; 상기 공정구간 이동부의 타측에 설치되며, 공정 구간을 지나온 트레이를 상기 공정구간 이동부로터 배출하고, 배출된 트레이 상면에 로딩되어 있는 피처리 부재를 언로딩하며 피처리 부재가 언로딩된 트레이를 상기 공정 구간 이동부보다 낮은 높이로 하강시키는 언로딩부; 상기 공정구간 이동부 하측에 설치되며, 상기 언로딩부로부터 상기 로딩부로 상기 트레이를 이동시키는 트레이 이동부;를 포함한다.

Description

트레이순환형 비접촉 정밀 처리 시스템{A SYSTEM FOR PROCESSING EXACT TREATMENT}
본 발명은 비접촉 정밀 처리 시스템에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 피처리 부재가 상면에 안착되는 트레이를 자동으로 공정구간 및 회수구간을 순환시키면서 피처리 부재에 대한 비접촉 정밀 처리 공정을 효율적인 자동화 공정으로 수행할 수 있는 트레이순환형 비접촉 정밀 처리 시스템에 관한 것이다.
일반적으로 기판 또는 박막의 결정화를 위한 방법으로는 엑시머 레이저를 이용한 어닐링(Eximer Laser Annealing; ELA) 방법이 많이 사용되고 있다. 이러한 레이저 어닐링 방법은 엑시머 레이저를 기판 또는 박막 상에 조사하여, 기판 또는 박막을 순간적으로 가열하여 결정화를 유도하는 방법이다.
이러한 ELA 방법은 기판 또는 박막 전체에 대한 어닐링 균일도가 우수하여 대면적 기판에 적용하기가 용이하고, 레이저빔이 조사되는 국부적인 영역만을 순간적으로 가열하게 되므로, 박판의 기판에의 적용성도 뛰어난 장점이 있으며, 생산성이 높아 최근 연구 및 적용이 활발한 실정이다.
일반적으로 이러한 ELA 방법을 수행하기 위한 장치로는 챔버, 챔버 내부에 배치되며, 기판이 안착되는 트레이, 챔버 외부에 배치되어 레이저빔을 발생시키는 레이저 발생기, 챔버의 일측에 형성되어 레이저빔을 챔버 내부로 투과시키는 윈도우 및 챔버의 외부에서 레이저 빔의 경로 상에 형성되어 레이저빔을 윈도우를 통해 챔버 내부로 안내하여, 기판 또는 박막 상으로 조사시키는 광학계 등을 포함하여 구성될 수 있다.
이렇게 레이저 처리 장비에는 공정 처리 과정 동안 기판 등 피처리 부재를 안착시키는 지지모듈인 트레이가 이용된다. 그런데 이 트레이는 처리되는 공정에 따라 약간의 구조적인 차이는 있지만, 전반적으로 상당한 크기와 무게를 가져서 일정한 방향으로 피처리 부재를 수평 이동시키면서 진행되는 레이저 처리장치의 특성상, 지속적으로 공정 처리 방향과 반대 방향으로 이동시켜 새로운 공정에 투입되어야 할 필요성이 있다.
따라서 비접촉 정밀 처리 공정의 자동화를 위해서는 이러한 트레이를 공정의 지속적인 진행에도 불구하고 안정적으로 자동화 공정에 의하여 회수 및 공급할 수 있는 기술의 개발이 요구되고 있다.
본 발명이 해결하고자 하는 기술적 과제는 피처리 부재가 상면에 안착되는 트레이를 자동으로 공정구간 및 회수구간을 순환시키면서 피처리 부재에 대한 비접촉 정밀 처리 공정을 효율적인 자동화 공정으로 수행할 수 있는 트레이순환형 비접촉 정밀 처리 시스템을 제공하는 것이다.
전술한 기술적 과제를 해결하기 위한 본 발명에 따른 비접촉 정밀 처리 시스템은, 비접촉 정밀 처리될 피처리 부재가 상면에 로딩되는 트레이; 상기 트레이를 상면에 장착한 상태에서 공정 구간을 수평 이동하는 공정구간 이동부; 상기 공정구간 이동부의 상측에 설치되며, 상기 트레이에 로딩된 피처리 부재에 비접촉 정밀 처리 공정을 수행하는 정밀 공정 처리부; 상기 공정구간 이동부의 일측에 설치되며, 상기 트레이를 상기 공정구간 이동부 높이로 상승시키고 트레이 상면에 공정이 진행될 피처리 부재를 로딩하며, 상면에 피처리 부재가 로딩된 트레이를 상기 공정구간 이동부로 공급하는 로딩부; 상기 공정구간 이동부의 타측에 설치되며, 공정 구간을 지나온 트레이를 상기 공정구간 이동부로터 배출하고, 배출된 트레이 상면에 로딩되어 있는 피처리 부재를 언로딩하며 피처리 부재가 언로딩된 트레이를 상기 공정 구간 이동부보다 낮은 높이로 하강시키는 언로딩부; 상기 공정구간 이동부 하측에 설치되며, 상기 언로딩부로부터 상기 로딩부로 상기 트레이를 이동시키는 트레이 이동부;를 포함한다.
그리고 본 발명에서 상기 공정구간 이동부는, 상기 트레이가 상면에 안착되는 스테이지 플레이트; 상기 스테이지 플레이트를 상하 방향으로 이동시키는 플레이트 상하 이동부; 상기 스테이지 플레이트 및 플레이트 상하 이동부를 일정한 속도로 수평 이동시키는 플레이트 수평 이동부;를 포함하는 것이 바람직하다.
또한 본 발명에서 상기 언로딩부는, 상기 공정구간 이동부의 타측에 설치되며, 상기 트레이가 슬라이딩 이동 가능하게 상면에 안착되는 언로딩 롤러부; 상기 공정구간 이동부의 타측 말단에 설치되며, 상기 스테이지 플레이트 상에 안착되어 있는 상기 트레이를 넘겨받아서 상기 언로딩 롤러부로 이동시키는 상에 내려놓는 제1 트레이 이송부; 상기 언로딩 롤러부의 일측에 설치되며, 상기 언로딩 롤러부에 안착되어 있는 트레이 상면의 피처리 부재를 언로딩시키는 피처리부재 언로딩수단; 상기 언로딩 롤러부를 상하 방향으로 반복하여 이동시키는 제1 롤러부 승강수단;을 포함하는 것이 바람직하다.
또한 본 발명에서 상기 로딩부는, 상기 공정구간 이동부의 일측에 설치되며, 상기 트레이가 슬라이딩 이동 가능하게 상면에 안착되는 로딩 롤러부; 상기 공정구간 이동부의 일측 말단에 설치되며, 상기 로딩 롤러부에서 전달되는 상기 트레이를 넘겨받아서 상기 스테이지 플레이트에 넘겨주는 제2 트레이 이송부; 상기 로딩 롤러부의 일측에 설치되며, 상기 로딩 롤러부에 안착되어 있는 트레이 상면에 피처리 부재를 로딩하는 피처리부재 로딩수단; 상기 로딩 롤러부를 상하 방향으로 반복하여 이동시키는 제2 롤러부 승강수단;을 포함하는 것이 바람직하다.
또한 본 발명에서 상기 언로딩 롤러부는, 자체 동력으로 회전하는 다수개의 파워 롤러가 일정 간격 이격되어 배치되는 구조인 것이 바람직하다.
또한 본 발명에서 상기 로딩 롤러부는, 자체 동력으로 회전하는 다수개의 파워 롤러가 일정 간격 이격되어 배치되는 구조인 것이 바람직하다.
또한 본 발명에서 상기 제1 트레이 이송부는, 상기 공정구간 이동부의 타측 말단 양측에 나란하게 설치되는 한 쌍의 트레이 지지부; 상기 트레이 지지부 상에 지지되어 있는 상기 트레이를 언로딩 롤러부로 수평 이동시키는 트레이 수평 이동수단;을 포함하는 것이 바람직하다.
또한 본 발명에서 상기 제2 트레이 이송부는, 상기 공정구간 이동부의 일측 말단 양측에 일정 간격 이격되어 설치되는 한 쌍의 트레이 지지부인 것이 바람직하다.
또한 본 발명에서 상기 정밀 공정 처리부는, 상기 트레이 상면에 안착된 피처리부재의 위치를 검사하고 정위치로 얼라인하는 얼라인부; 상기 얼라인부에 인접하게 설치되며, 상기 피처리부재에 레이저를 조사하는 정밀공정 처리부; 상기 레이저조사부에 인접하게 설치되며, 상기 피처리부재 상면을 초음파로 클리닝하는 초음파 클리닝부;를 포함하는 것이 바람직하다.
본 발명의 트레이순환형 비접촉 정밀 처리 시스템에 의하면 피처리 부재가 상면에 안착되는 트레이를 자동으로 공정구간 및 회수구간을 순환시키면서 피처리 부재에 대한 비접촉 정밀 처리 공정을 효율적인 자동화 공정으로 수행할 수 있는 현저한 효과를 달성할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 비접촉 정밀 처리 시스템의 구성을 도시하는 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 공정구간 이동부의 구성을 도시하는 도면이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 비접촉 정밀 처리 시스템의 구성을 도시하는 정면도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 트레이 전달 과정을 도시하는 도면이다.
이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 구체적인 실시예를 상세하게 설명한다.
본 실시예에 따른 트레이순환형 비접촉 정밀 처리 시스템(100)은, 도 1에 도시된 바와 같이, 트레이(110), 공정구간 이동부(120), 정밀공정 처리부(도면에 미도시), 로딩부(130), 언로딩부(140) 및 트레이 이동부(150)를 포함하여 구성될 수 있다.
먼저 상기 트레이(110)는 기판 등의 레이저 처리될 피처리될 피처리 부재(1)가 상면에 로딩(loading)되는 구성요소이며, 처리가 진행되는 구체적인 비접촉 정밀 처리 공정에 따라 구조 및 형상이 다양하게 변화될 수 있다.
다음으로 상기 공정구간 이동부(120)는 도 1에 도시된 바와 같이, 상기 트레이(110)를 상면에 장착한 상태에서 공정 구간을 매우 정밀하게 수평 이동시키는 구성요소이다. 즉, 상기 공정구간 이동부(120)는 상기 로딩부(130)에 의하여 로딩되는 트레이(110)를 상기 정밀공정 처리부에 의하여 비접촉 정밀 처리 공정이 진행되는 공정 구간을 미리 설정된 높이 및 일정한 속도로 정밀하게 수직 및 수평이동시킨 후, 상기 언로딩부(140)에 전달하는 것이다.
이를 위하여 상기 공정구간 이동부(120)는 구체적으로 도 1 내지 4에 도시된 바와 같이, 스테이지 플레이트(122), 플레이트 상하 이동부(124) 및 플레이트 수평 이동부(126)를 포함하여 구성될 수 있다. 먼저 상기 스테이지 플레이트(122)는 전체적으로 얇은 플레이트(plate) 형상을 가지며, 상기 트레이(110)가 상면에 안착되는 구성요소이다. 상기 스테이지 플레이트(122)는 상기 트레이(110) 형상과 대응되는 평면 형상을 가지며, 필요에 따라 다양한 형상의 관통공(121)이 다수개 형성될 수 있다.
다음으로 상기 플레이트 상하 이동부(124)는 상기 스테이지 플레이트(122)를 상하 방향으로 이동시키는 구성요소이며, 제어부(도면에 미도시)의 제어 신호에 따라 상기 트레이(110)의 로딩(loading) 및 언로딩(unloading) 과정 그리고 레이저 처리 과정에서 상기 제어부의 제어 신호에 따라 상기 트레이(110)를 정밀하게 상하 방향으로 이동시킨다.
다음으로 상기 플레이트 수평 이동부(126)는 도 1, 2에 도시된 바와 같이, 상기 스테이지 플레이트(122) 및 플레이트 상하 이동부(1)24를 일정한 속도로 수평 이동시키는 구성요소이다. 즉, 상기 플레이트 수평 이동부(126)는 공정 구간에서 필요에 따라 상기 트레이(110) 및 이를 장착하고 있는 스테이지 플레이트(122)를 제어부의 제어 신호에 따라 수평 이동시키면서 공정 수행 및 트레이 전달 기능을 수행하는 것이다.
다음으로 상기 정밀공정 처리부는 상기 공정구간 이동부(120)의 상측에 설치되며, 상기 트레이(110)에 로딩되어 있는 피처리 부재(1)에 비접촉식 정밀 공정을 처리하는 구성요소이다. 상기 정밀공정 처리부는 수행되는 공정에 따라 다양한 구성을 가질 수 있으며, 예를 들어 엑시머 레이저를 조사하는 구성을 가질 수 있다.
그리고 상기 공정구간 이동부(120)의 상측에는 이러한 정밀공정 처리부 외에 얼라인부와 초음파 클리닝부 등의 다른 구성요소들이 더 설치될 수도 있다. 상기 얼라인부는 상기 트레이(110) 상면에 안착된 피처리 부재(1)의 위치를 검사하고 정위치로 얼라인하는 구성요소이며, 상기 초음파 클리닝부는 상기 정밀공정 처리부에 인접하게 설치되며, 상기 피처리 부재(1) 상면을 초음파로 클리닝(cleaning)하는 구성요소이다. 레이저 처리 과정에서 발생할 수 있는 파티클(particle)의 제거를 위하여 상기 초음파 클리닝부가 구비되는 것이다.
다음으로 상기 로딩부(130)는, 도 1 내지 4에 도시된 바와 같이, 상기 공정구간 이동부(120)의 일측에 설치되며, 상기 트레이(110)를 상기 공정구간 이동부(120) 높이로 상승시키고 트레이(110) 상면에 공정이 진행될 피처리 부재(1)를 로딩하며, 상면에 피처리 부재(1)가 로딩된 트레이(110)를 상기 공정구간 이동부(120)로 공급하는 구성요소이다. 즉, 상기 로딩부(130)는 본 실시예에 따른 비접촉 정밀 처리 시스템(100)의 전단에 설치되며, 상기 트레이 이동부(150)에 의하여 이동되는 트레이(110)를 받아서 그 상면에 피처리 부재(1)를 로딩한 후 상기 공정구간 이동부(120)에 공급하는 것이다.
이를 위하여 상기 로딩부(130)는 구체적으로 도 1 내지 4에 도시된 바와 같이, 로딩 롤러부(131), 제2 트레이 이송부(132), 피처리부재 로딩수단(도면에 미도시) 및 제2 롤러부 승강수단(133)을 포함하여 구성될 수 있다. 먼저 상기 로딩 롤러부(131)는 상기 공정구간 이동부(120)의 전측에 설치되며, 상기 트레이(110)가 슬라이딩(sliding) 이동 가능하게 상면에 안착되는 구성요소이다. 따라서 상기 로딩 롤러부(131)는 자체 동력으로 회전하는 다수개의 파워 롤러가 일정 간격 이격되어 배치되는 구조를 가져서, 그 상면에 안착된 트레이(110)를 자체 동력으로 특정한 방향으로 수평 이동시킬 수 있는 것이 바람직하다.
그리고 상기 제2 트레이 이송부(132)는 도 1에 도시된 바와 같이, 상기 공정구간 이동부(120)의 일측 말단에 설치되며, 상기 로딩 롤러부(131)에서 전달되는 상기 트레이(110)를 넘겨받아서 상기 스테이지 플레이트(122)에 넘겨주는 구성요소이다. 구체적으로 상기 제2 트레이 이송부(132)는, 도 1, 4에 도시된 바와 같이, 상기 공정구간 이동부(120)의 전측 말단 양측에 일정 간격 이격되어 설치되는 한 쌍의 트레이 지지부(132a, 132b)인 것이 바람직하다. 각 트레이 지지부(132a, 132b)는 다수개의 롤러로 구성되며, 상기 롤러들은 상승된 상기 로딩 롤러부(131)와 동일한 높이에 고정된 상태로 자유회전 가능하게 설치된다. 따라서 상기 로딩 롤러부(131)의 자체 회전에 의하여 우측으로 슬라이딩 이동되는 트레이(110) 하면이 자연스럽게 상기 트레이 지지부(132a, 132b)의 롤러로 넘어오면서 상기 롤러의 자유 회전에 의하여 상기 트레이(110)가 완전히 제2 트레이 이송부(132) 상으로 이동되는 것이다.
이렇게 제2 트레이 이송부(132) 상으로 이동된 상기 트레이(110)는 상기 한 쌍의 트레이 지지부(132a, 132b) 사이의 공간으로 진입하여 있던 상기 스테이지 플레이트(122)가 상기 플레이트 상하 이동부(124)에 의하여 상측으로 이동하면서 상기 스테이지 플레이트(122)로 전달된다.
다음으로 상기 피처리부재 로딩수단은, 상기 로딩 롤러부(131)의 일측에 설치되며, 상기 로딩 롤러부(131)에 안착되어 있는 트레이(110) 상면에 피처리 부재(1)를 로딩하는 구성요소이다. 상기 피처리부재 로딩수단은 제어부의 제어신호에 따라 로딩 위치로 이동되는 트레이(110) 상면에 피처리 부재(1)를 자동으로 로딩할 수 있는 다양한 구조를 가질 수 있으며, 예를 들어 2차원 진공 흡착 수단 등으로 구성될 수 있다.
다음으로 상기 제2 롤러부 승강수단(133)은, 도 1에 도시된 바와 같이, 상기 로딩 롤러부(131)를 상하 방향으로 반복하여 이동시키는 구성요소이다. 즉, 상기 제2 롤러부 승강수단(133)은 상기 로딩 롤러부(131)를 상기 트레이 이동부(150)의 전측 말단 높이로 하강시켜 대기하다가 상기 트레이 이동부(150)에 의하여 전달되는 트레이(110)를 받으면, 상기 로딩 롤러부(131)를 상기 제2 트레이 이송부(132) 높이까지 상승시키는 것이다.
그리고 피처리부재 로딩 과정과 트레이 로딩 과정이 완료되면 다시 상기 로딩 롤러부(131)를 하강시켜 트레이 이동부(150)의 전측 말단에서 다음 트레이를 수취하기 위하여 대기한다.
다음으로 상기 언로딩부(140)는 도 1 내지 4에 도시된 바와 같이, 상기 공정구간 이동부(120)의 타측에 설치되며, 공정 구간을 지나온 트레이(110)를 상기 공정구간 이동부(120)로터 배출하고, 배출된 트레이(110) 상면에 로딩되어 있는 피처리 부재(1)를 언로딩(unloading)하며 피처리 부재(1)가 언로딩된 트레이(110)를 상기 공정 구간 이동부(120)보다 낮은 높이 즉, 상기 트레이 이동부(150) 높이로 하강시키는 구성요소이다. 즉, 상기 언로딩부(140)는 상기 공정구간 이동부(120)에 의하여 수평 이동한 트레이(110)를 상기 스테이지 플레이트(122)로부터 전달받고, 그 상면에 안착되어 있는 피처리 부재(1)를 언로딩한 후 하강하여 상기 트레이(110)를 상기 트레이 이동부(150)에 전달하는 것이다.
이를 위하여 상기 언로딩부(140)는 구체적으로 언로딩 롤러부(141), 제1 트레이 이송부(142), 피처리부재 언로딩 수단(도면에 미도시) 및 제1 롤러부 승강수단(143)을 포함하여 구성될 수 있다. 먼저 상기 언로딩 롤러부(141)는 도 1, 2에 도시된 바와 같이, 상기 공정구간 이동부(120)의 타측에 설치되며, 상기 트레이(110)가 슬라이딩 이동 가능하게 상면에 안착되는 구성요소이다. 상기 언로딩 롤러부(141)는 구체적으로 상기 로딩 롤러부(131)와 마찬가지로 자체 동력으로 회전하는 다수개의 파워 롤러가 일정 간격 이격되어 배치되는 구조를 가져서 그 상부에 안착된 트레이(110)를 자체 동력으로 회전하면서 수평 이동시킬 수 있다.
다음으로 상기 제1 트레이 이송부(142)는 도 1, 4에 도시된 바와 같이, 상기 공정구간 이동부(120)의 후측 말단에 설치되며, 상기 스테이지 플레이트(122) 상에 안착되어 있는 상기 트레이(110)를 넘겨받아서 상기 언로딩 롤러부(141)로 이동시키는 구성요소이다. 본 실시예에서 상기 제1 트레이 이송부(142)는 구체적으로 한 쌍의 트레이 지지부(142a, 142b)와 트레이 수평 이동수단(도면에 미도시)으로 구성될 수 있다. 상기 트레이 지지부(142a, 142b)는 상기 언로딩 롤러부(141)와 동일한 높이에 자유회전 가능하게 설치되는 다수개의 롤러로 이루어지며, 상기 공정구간 이동부(120)의 타측 말단 양측에 나란하게 설치된다. 따라서 상기 한 쌍의 트레이 지지부(142a, 142b) 사이의 공간으로 진입한 상기 스테이지 플레이트(122)가 상기 플레이트 상하 구동부(124)에 의하여 하강하면서 상기 트레이(110)가 상기 트레이 지지부(142a, 142b) 상에 전달된다.
그리고 상기 트레이 수평 이동수단은 상기 트레이 지지부(142a, 142b) 상에 지지되어 있는 상기 트레이(110)를 언로딩 롤러부(142)로 수평 이동시키는 구성요소이다. 즉, 상기 트레이 수평 이동수단은 상기 트레이 지지부(142a, 142b) 상에 슬라이딩 이동할 수 있도록 지지되어 있는 트레이(110) 하면과 접촉되어 상기 트레이(110)를 상기 언로딩 롤러부(142) 방향으로 밀어서 이동시킨다.
다음으로 상기 피처리부재 언로딩수단(도면에 미도시)은 상기 언로딩 롤러부(142)의 일측에 설치되며, 상기 언로딩 롤러부(142)에 안착되어 있는 트레이(110) 상면의 피처리 부재(1)를 언로딩시키는 구성요소이다. 따라서 상기 피처리부재 언로딩수단은 상기 피처리부재 로딩수단과 마찬가지로 상기 트레이(110) 상면에 안착되어 있는 피처리 부재(1)를 손상 없이 이동시킬 수 있도록 2차원 진공 흡착수단으로 구성될 수 있다.
다음으로 상기 제1 롤러부 승강수단(142)은 상기 언로딩 롤러부(141)를 상하 방향으로 반복하여 이동시키는 구성요소이다. 즉, 상기 제1 롤러부 승강수단(142)은 상기 언로딩 롤러부(141)와 결합되어 설치되며, 상기 언로딩 롤러부(141)를 상기 트레이 지지부(142a, 142b) 높이로 상승시켜 대기하다가 전달되는 트레이(110)를 받아서 상기 피처리 부재 언로딩 공정이 완료되면, 상기 언로딩 롤러부(141)를 상기 트레이 이동부(150) 높이까지 하강시켜서 상기 트레이 이동부(150)로 트레이(110)를 전달할 수 있는 상태를 반복하는 것이다.
마지막으로 상기 트레이 이동부(150)는 도 1, 2에 도시된 바와 같이, 상기 공정구간 이동부(120) 하측에 설치되며, 상기 언로딩부(140)로부터 상기 로딩부(130) 방향으로 상기 트레이(110)를 이동시키는 구성요소이다. 따라서 상기 트레이 이동부(150)는 단순하게 상기 트레이(110)를 우측에서 좌측으로 수평이동시킬 수 있는 롤러 컨베이어 등 비정밀한 구조로 구성될 수 있다.
100 : 본 발명의 일 실시예에 따른 트레이순환형 비접촉 정밀 처리 시스템
110 : 트레이 120 : 공정구간 이동부
130 : 로딩부 140 : 언로딩부
150 : 트레이 이동부 1 : 피처리 부재

Claims (4)

  1. 비접촉식 정밀 공정 처리될 피처리 부재가 상면에 로딩되는 트레이;
    상기 트레이를 상면에 장착한 상태에서 정밀 구간인 공정 구간을 정밀하게 수직 및 수평 이동시키는 공정구간 이동부;
    상기 공정구간 이동부의 상측에 설치되며, 상기 트레이에 로딩된 피처리 부재에 레이저를 조사하는 정밀공정 처리부;
    상기 공정구간 이동부의 일측에 설치되며, 상기 트레이를 상기 공정구간 이동부 높이로 상승시키고 트레이 상면에 공정이 진행될 피처리 부재를 로딩하며, 상면에 피처리 부재가 로딩된 트레이를 상기 공정구간 이동부로 공급하는 로딩부;
    상기 공정구간 이동부의 타측에 설치되며, 공정 구간을 지나온 트레이를 상기 공정구간 이동부로터 배출하고, 배출된 트레이 상면에 로딩되어 있는 피처리 부재를 언로딩하며 피처리 부재가 언로딩된 트레이를 상기 공정 구간 이동부보다 낮은 높이로 하강시키는 언로딩부;
    상기 공정구간 이동부 하측에 설치되며, 비정밀 구간인 상기 언로딩부로부터 상기 로딩부로 상기 트레이를 이동시키는 트레이 이동부;를 포함하며,
    상기 공정구간 이동부는,
    상기 트레이가 상면에 안착되는 스테이지 플레이트;
    상기 스테이지 플레이트를 상하 방향으로 이동시키는 플레이트 상하 이동부;
    상기 스테이지 플레이트 및 플레이트 상하 이동부를 일정한 속도로 수평 이동시키는 플레이트 수평 이동부;를 포함하고,
    상기 로딩부는,
    상기 공정구간 이동부의 일측에 설치되며, 상기 트레이가 슬라이딩 이동 가능하게 상면에 안착되는 로딩 롤러부;
    상기 공정구간 이동부의 일측 말단에 설치되며, 상기 로딩 롤러부에서 전달되는 상기 트레이를 넘겨받아서 상기 스테이지 플레이트에 넘겨주는 제2 트레이 이송부;
    상기 로딩 롤러부의 일측에 설치되며, 상기 로딩 롤러부에 안착되어 있는 트레이 상면에 피처리 부재를 로딩하는 피처리부재 로딩수단;
    상기 로딩 롤러부를 상하 방향으로 반복하여 이동시키는 제2 롤러부 승강수단;을 포함하는 것을 특징으로 하는 트레이순환형 처리시스템.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서, 상기 언로딩부는,
    상기 공정구간 이동부의 타측에 설치되며, 상기 트레이가 슬라이딩 이동 가능하게 상면에 안착되는 언로딩 롤러부;
    상기 공정구간 이동부의 타측 말단에 설치되며, 상기 스테이지 플레이트 상에 안착되어 있는 상기 트레이를 넘겨받아서 상기 언로딩 롤러부로 이동시키는 제1 트레이 이송부;
    상기 언로딩 롤러부의 일측에 설치되며, 상기 언로딩 롤러부에 안착되어 있는 트레이 상면의 피처리 부재를 언로딩시키는 피처리부재 언로딩수단;
    상기 언로딩 롤러부를 상하 방향으로 반복하여 이동시키는 제1 롤러부 승강수단;을 포함하는 것을 특징으로 하는 트레이순환형 처리시스템.
  4. 삭제
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